JP2720320B2 - Protection coating application method and protection element - Google Patents
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は保護コーティングをキャ
リヤー部材上に設置する方法に関し,特に,少なくとも
1つの保護板がキャリヤー部材上に形成された設置面と
一体的に結合されるようなやり方で試験装置用の保護素
子を製造するような方法に関する。さらに,本発明はキ
ャリヤー部材とキャリヤー部材に一体構造的に接続され
た少なくとも1個の保持板を有する保護素子にも関す
る。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method of applying a protective coating on a carrier member, and more particularly to a method in which at least one protective plate is integrally connected to an installation surface formed on the carrier member. Such a method for producing a protection element for a test device. Furthermore, the invention relates to a protective element having a carrier member and at least one holding plate integrally connected to the carrier member.
【0002】[0002]
【従来の技術】感応性部品を損傷から保護する問題が存
在している多くの適用例においては使用される材料の少
なくとも1種類の材料が特に使用中における損傷を生ぜ
しめる影響に対して抵抗性がある様な多くの材料で作製
されている保護素子を使用している。大部分の場合,最
適の保護機能と同時に最適の他の機能を補合させる問題
が存在している。BACKGROUND OF THE INVENTION In many applications where the problem of protecting sensitive components from damage exists, at least one of the materials used is particularly resistant to damaging effects during use. A protective element made of many materials is used. In most cases, there is the problem of complementing the optimal protection function with other optimal functions.
【0003】保護機能と保護素子の使用機能の間で必要
な補合の例は,回転試験探り針を有する試験装置内の機
械的損傷に対して磁気ストレー又は漏洩磁束探り針を保
護する目的で使用される保護素子である。こうした試験
装置において,試験探り針を有する試験ヘッドは円形横
断面を有する試験物体の表面上方即ち例えば金属管の外
面上の螺旋経路に沿って摺動又は引きずられる。この方
法の検出度は試験面と試験探り針の間の距離の減少と共
に増加し,典型的にはこの距離は1mm以下にすべきで
ある。従って,こうした装置の試験探り針の近くにおけ
る保護素子は一方では出来るだけ薄くなければならない
が,他方では保護素子を置換せずに試験装置の長いサー
ビス寿命期間を可能にすべく引きずり動作に依り発生す
る摩擦性磨耗に対して出来るだけ最も長い時間にわたり
耐えることが出来なければならない。一部の状況におい
ては,保護素子は又,試験物体の表面不規則性で発生す
る衝撃と打撃に対して損傷無しに耐えることが出来なけ
ればならない。保護素子は又,一方では摩擦熱に依り熱
応力を受けるが,近代の試験装置においては更に磁束漏
洩エネルギーの著しい上昇によっても熱応力を受け,試
験ヘッドと試験材料の著しい加熱が生じることも銘記す
べきである。An example of the necessary interlock between the protection function and the use function of the protection element is to protect the magnetic stray or leakage flux probe against mechanical damage in a test device having a rotating test probe. This is the protection element used. In such a test apparatus, a test head having a test probe is slid or dragged along a helical path above the surface of a test object having a circular cross section, for example, on the outer surface of a metal tube. The sensitivity of this method increases with decreasing distance between the test surface and the test tip, and this distance should typically be less than 1 mm. Therefore, the protection element in the vicinity of the test tip of such a device must on the one hand be as thin as possible, but on the other hand it is generated by dragging in order to allow a long service life of the test equipment without replacing the protection element. It must be able to withstand the most frictional wear for the longest time possible. In some situations, the protective element must also be able to withstand damage and impacts caused by surface irregularities of the test object without damage. It should also be noted that the protective element, on the one hand, is subject to thermal stresses due to frictional heat, but in modern test equipment is also subjected to thermal stresses due to the significant increase in magnetic flux leakage energy, resulting in significant heating of the test head and test material. Should.
【0004】試験ヘッドの近くにある公知形式の試験装
置においては,保護素子は円形通路開口部を有するレマ
ニット(Remanit)キャリヤー板を含み,この板
には片側において1mmの2−3/10mmの厚さを有
する硬質金属が固着されている。保護素子は試験探り針
が部分的に通路開口部内に挿入され装置の組み立て時に
硬質金属板の内側から約0.1mmのみ離れているよう
試験探り針に対して相対的に位置付けられる。摺動する
試験ヘッドの場合,試験探り針と試験材料表面の間の距
離は1mm以下である。In a test device of the known type near the test head, the protective element comprises a Remanit carrier plate having a circular passage opening, which plate has a thickness of 2-3 / 10 mm of 1 mm on one side. The hard metal having the hardness is fixed. The protective element is positioned relative to the test probe such that the test probe is partially inserted into the passage opening and is only about 0.1 mm from the inside of the hard metal plate during assembly of the device. For a sliding test head, the distance between the test probe and the surface of the test material is less than 1 mm.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】固着技術は100℃を
越える試験ヘッド作動温度が典型的な接着剤に対しての
機械的負荷限界を構成することから,この温度では最早
適切なものではない。キャリヤ部材と保護板を半田付
け,特に蝋付けに依り結合する場合,撓みの問題が生
じ,この問題はキャリヤー部材と保護板に対して使用さ
れる材料の広範囲に及ぶ熱膨張係数に依存する。従っ
て,加熱の場合,硬質金属保護板は特別の鋼材料製キャ
リヤー部材と同程度にほぼ半分程膨張するに過ぎない。
半田付けに依り発生するこうした2個の素子の間の結合
の場合,半田付け温度から冷却時に応力が発生し,この
応力が保護板とキャリヤー部材の撓みを生じさせること
がある。前述した試験装置における試験探り針と試験材
料の間の正確な間隔を確実にするのに必要とされる正確
に定められた幾何形状を有する保護素子はこの様式では
製造出来ない。一般に,撓んだ保護素子を引き続き直線
状化すると硬質金属の破断をもたらし,結果的に使用不
可能となる。Bonding techniques are no longer adequate at test head operating temperatures above 100 ° C., since these temperatures constitute a mechanical load limit for typical adhesives. When joining the carrier member and the guard plate by soldering, in particular by brazing, a problem of deflection arises, which depends on the wide range of coefficients of thermal expansion of the materials used for the carrier member and the guard plate. Therefore, in the case of heating, the hard metal protective plate expands almost half as much as a special steel carrier member.
In the case of a connection between two elements caused by soldering, a stress is generated upon cooling from the soldering temperature, and this stress may cause the protection plate and the carrier member to bend. Protective elements having precisely defined geometries required to ensure a precise spacing between the test stylet and the test material in the test apparatus described above cannot be manufactured in this manner. In general, continued straightening of the flexed protection element will result in hard metal breakage and consequently render it unusable.
【0006】本発明の課題は実質的に撓みの問題を回避
すると共に異なる熱膨張対応特性を有する材料同志の熱
的に安定した接続若しくは接合を提供出来ることを可能
にする方法を提供することにある。本発明の他の課題は
熱膨張係数の異なる材料同志の結合から形成される熱的
に安定し,幾何形状的に安定した保護素子を提供するこ
とにある。[0006] It is an object of the present invention to provide a method which makes it possible to substantially avoid the problem of deflection and to provide a thermally stable connection or joining of materials having different thermal expansion responsive properties. is there. It is another object of the present invention to provide a thermally stable and geometrically stable protective element formed from a combination of materials having different coefficients of thermal expansion.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本願の第1発明は、保護コーティングをキャリヤ
ー部材(26)上に設置する方法であって,特に少なく
とも1つの保護板(27)がキャリヤー部材(26)上
に形成された設置面と一体的に結合されるようなやり方
で試験装置用の保護素子(22)を製造するような方法
において,保護板(27)が設置面とカウンター部材
(29)の間に保持され,キャリヤー部材(26),保
護板(27)及びカウンター部材(29)の加熱に伴
い,キャリヤー部材(26)と保護板(27),及び保
護板(27)とカウンター部材(29)が,半田付け工
程により同時にそれぞれ1つの半田層で少なくとも部分
的に接合され,そして,半田層が結晶化したら,カウン
ター部材(29)及びこれを保持している半田層が保護
板(27)から除去されることを特徴とする方法を要旨
とする。In order to solve the above-mentioned problems, a first invention of the present application is a method of installing a protective coating on a carrier member (26), in particular, at least one protective plate (27). ) Is manufactured in such a way that the protection plate (27) is integrally connected with the mounting surface formed on the carrier member (26). And the carrier member (26), the protection plate (27) and the counter member (29) are heated, and the carrier member (26), the protection plate (27), and the protection plate ( 27) and the counter member (29) are at least partially joined together by one solder layer at the same time by the soldering process, and when the solder layer crystallizes, the counter member (29) and the counter member (29) The solder layer holding the record is summarized as a method which is characterized to be removed from the protective plate (27).
【0008】また,本願の第2発明は,キャリヤー部材
(26)とキャリヤー部材(26)に一体構造的に接続
された少なくとも1個の保護板(27)を有する保護素
子において,キャリヤー部材(26)の実質的に平面状
の設置面に少なくとも部分的に特に面平行な保護板(2
7)が特に硬質半田によって半田付けされ,保護板(2
7)のキャリヤー部材(26)から遠方の外側領域の表
面が,カウンター部材(29)とそれに係る半田層を供
に,例えば研磨に依り,除去することで作成された表面
であることを特徴とする保護素子を要旨とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a protection element having a carrier member (26) and at least one protection plate (27) integrally connected to the carrier member (26). ) Are at least partially particularly plane-parallel to the substantially planar mounting surface
7) is soldered with hard solder, and the protection plate (2)
7) The surface of the outer region remote from the carrier member (26) is a surface formed by removing the counter member (29) and the related solder layer, for example, by polishing. The gist of the protection element is as follows.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】この課題は,保護コーティングを
キャリヤー部材上に設置する方法であって,少なくとも
1つの保護板がキャリヤー部材上に形成された設置面と
一体的に結合されるようなやり方で試験装置用の保護素
子を製造するような方法,及びキャリヤー部材とキャリ
ヤー部材に一体構造的に接続された少なくとも1個の保
護板を有する保護素子において,以下のようにして解決
される。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for installing a protective coating on a carrier member, in which at least one protective plate is integrated with an installation surface formed on the carrier member. In a method for producing a protective element for a test device, and a protective element having a carrier member and at least one protective plate integrally connected to the carrier member, the problem is solved as follows.
【0010】本発明に依れば,キャリヤー部材に保護コ
ーティングが適用され,少なくとも1つの保護板がキャ
リヤー部材の好適には平面状設置面に一体構造的に接続
され,これがサンドイッチの様式にて設置面とカウンタ
ー部材の間に保護板が保持されるようになっており,引
き続きキャリヤー部材,保護板及びカウンター部材の加
熱に伴い,キャリヤー部材と保護板及び保護板とカウン
ター部材が同時に少なくとも部分的(帯域的)に半田付
けに依り共に結合され,半田層の結晶化(固化)に引き
続き,即ち,慣用的な半田付けの場合,半田付け温度か
らの一部の冷却に引き続きカウンター部材とこのカウン
ター部材を保持している半田層が保護板から除去される
ようにして作製出来る。これは特に試験装置用の保護素
子として適している。In accordance with the present invention, a protective coating is applied to the carrier member and at least one protective plate is integrally connected to the preferably planar mounting surface of the carrier member, which is mounted in a sandwich manner. A protection plate is held between the surface and the counter member, and as the carrier member, the protection plate and the counter member are subsequently heated, the carrier member and the protection plate and the protection plate and the counter member are simultaneously at least partially ( The counter-member and this counter-member are joined together by soldering, following the crystallization (solidification) of the solder layer, ie, in the case of conventional soldering, following a partial cooling from the soldering temperature. Can be manufactured such that the solder layer holding the metal is removed from the protective plate. It is particularly suitable as a protective element for test equipment.
【0011】保護板は好適には周囲温度にて設置面とカ
ウンター部材の間に設置され固定される。個々の部材の
他方の部材上での保持は前記部材が加熱時にその異なる
熱膨張係数に従って,自由に膨張出来るような様式で適
切に行うことが出来る。従って,当該部材は特に一か所
の部分で相互に大略中央部分で固定出来,そのため重ね
られた部材の外側領域は膨張時に相互に対して相対的に
移動出来る。次に,キャリヤー部材,保護板及びカウン
ター部材で構成される全体的な装置の均一な加熱に伴
い,これらの部材はこの装置に接触されるようにされた
半田材料が毛細管の力を原因として個々の素子又は部材
の間に進入出来るような様式で加熱出来る。この方法は
特に不活性ガスの雰囲気の下では好適に行われる。軟質
の又は硬質の半田を半田材料として使用出来る。軟質半
田付けの場合は半田層の熱的後処理が適切なものになり
得る。特に銀硬質半田等,硬質半田が望ましい。The protection plate is preferably installed and fixed between the installation surface and the counter member at ambient temperature. The holding of the individual components on the other component can be suitably effected in such a way that the components can freely expand upon heating according to their different coefficients of thermal expansion. Thus, the members can be fixed to one another in a substantially central part, in particular in one part, so that the outer regions of the superposed members can move relative to one another when inflated. Next, with the uniform heating of the entire device consisting of the carrier member, the protection plate and the counter member, these members are individually brought into contact by the solder material brought into contact with the device due to the force of the capillary. Can be heated in such a manner as to be able to enter between the elements or members. This method is preferably performed particularly under an inert gas atmosphere. Soft or hard solder can be used as the solder material. In the case of soft soldering, thermal post-treatment of the solder layer may be appropriate. Particularly, hard solder such as silver hard solder is desirable.
【0012】キャリヤー部材の設置面と保護板の間又は
保護板とカウンター部材の間で半田層の結晶化が生じ、
前述の複数部材が堅固に一体構造として接合される。半
田層の結晶化は慣用的には半田付け温度からの冷却中に
生じるが、半田付け温度においても部分的に生じること
もある。冷却のときに,複数材料の熱膨張係数が異なる
と、それが原因で、個々の材料内に応力が形成される。
そのとき、高い熱膨張係数を有する材料が引っ張り応力
を受け,一方,低い熱膨張係数を有する材料(一般に保
護板)が圧縮応力を受ける。Crystallization of the solder layer occurs between the installation surface of the carrier member and the protection plate or between the protection plate and the counter member,
The above-mentioned plurality of members are firmly joined as an integral structure. Crystallization of the solder layer conventionally occurs during cooling from the soldering temperature, but may also occur partially at the soldering temperature. The different coefficients of thermal expansion of the materials during cooling can cause stress to form in the individual materials.
At that time, a material having a high coefficient of thermal expansion receives a tensile stress, while a material having a low coefficient of thermal expansion (generally, a protective plate) receives a compressive stress.
【0013】一方,キャリヤー部材に対して自由に半田
付けされた保護板の場合,前記圧縮応力は保護板の片側
に作用するので,非対称応力が生じ,本発明に依る方法
においては又キャリヤー部材に対する反対側の合せ板上
でも生じるので冷却中における保護板内での応力比は自
由に半田付けされる保護板における比とは著しく異なっ
ている。保護板の両側における応力比は特に対称的に出
来る。半田付け過程中及び冷却過程中にカウンター部材
は保護板の特性に或る効果をもたらす補い作用を与える
ことが出来る。On the other hand, in the case of a protective plate which is freely soldered to the carrier member, the compressive stress acts on one side of the protective plate, so that an asymmetrical stress is produced, and in the method according to the invention, the carrier member also has an asymmetrical stress. The stress ratio in the protective plate during cooling is significantly different from the ratio in the freely soldered protective plate, as it also occurs on the opposite mating plate. The stress ratio on both sides of the protective plate can be made particularly symmetric. During the soldering process and during the cooling process, the counter member can provide a supplementary effect that has certain effects on the properties of the protective plate.
【0014】半田層の結晶化に続き,即ち,通常本装備
の冷却に続き,本発明に依れば,カウンター部材とその
カウンター部材を保持している半田層を保護板から除去
出来る。除去の目的のため,エッチング,ミリング又は
サンド・ブラストといった材料除去方法を使用すること
が出来る。好適には,カウンター部材とこのカウンター
部材を保持する半田層は研磨に依り保護板から除去され
る。研磨作用は好ましいか又は据え付け点の幾何形状に
対して適合出来る保護素子上に外部の幾何形状を作製可
能とする。Following the crystallization of the solder layer, ie, usually following the cooling of the equipment, according to the present invention, the counter member and the solder layer holding the counter member can be removed from the protective plate. For removal purposes, material removal methods such as etching, milling or sand blasting can be used. Preferably, the counter member and the solder layer holding the counter member are removed from the protective plate by polishing. The polishing action allows the creation of external geometries on the protection element which are preferred or which can be adapted to the geometry of the mounting point.
【0015】磨耗する滑り部内で摺動するか又は引きず
られる試験探り針を保護するための保護素子は,その磨
耗抵抗に対して,即ち研磨に起因するその滑り部上で生
じる材料除去に耐えるように最適なものを選定すること
ができる。保護板の材料は,その材料を通じて生じる測
定への影響が少なくなるように選ぶことも大切である。
従って,保護板材料は強磁性であってはならず,導電性
の低い導体でなければならない。従って,セラミック材
料の保護板を使用することが出来る。耐磨耗性,硬質若
しくは硬質化された金属,好適には硬質金属又は炭化物
製の保護板を使用することが好ましい。粉末冶金法に依
り作製された硬質金属製の保護板は一方では特に耐磨耗
性を呈する試験ヘッドに対して長い使用寿命期間を確実
にするものであり,他方では金属板は弱い衝撃中に容易
に破壊するような脆いものであってはならない。The protection element for protecting the test probe sliding or dragging in the abrading slide should be resistant to its abrasion resistance, ie to withstand material removal occurring on the slide due to polishing. The most suitable one can be selected. It is also important that the material of the guard plate is selected so that it has less influence on the measurements that occur through the material.
Therefore, the protective plate material must not be ferromagnetic and must be a conductor with low conductivity. Therefore, a protection plate made of a ceramic material can be used. It is preferred to use a protective plate made of wear-resistant, hard or hardened metal, preferably hard metal or carbide. Hard metal protective plates made by powder metallurgy ensure a long service life, on the one hand, especially for test heads that exhibit abrasion resistance, and, on the other hand, the metal plate is exposed to weak shocks. It should not be brittle enough to break easily.
【0016】固着された例えば硬質金属製の保護板は上
記の作動後亀裂が少ない。これは基礎的な非均一材料に
多くの致命的欠陥が存在すること及び機械的負荷の場
合,亀裂の形成とその進展をもたらし得るという事実に
起因するものであろう。驚くべきことに本発明に依る方
法でキャリヤー部材に半田付けされた同じ組成を有する
硬質金属板の場合は,従来法で固着された保護板の場合
と比較して亀裂の個数が著しく低減化することが判明し
た。これは本発明に従って半田付けされる保護板内での
前述した特別の応力比に起因するものであろう。カウン
ター板の半田付けの結果,表面に近い領域においてキャ
リヤー部材から遠方の保護板の側の組成上の変化が在る
ことも可能性としてある。これは前記表面上での亀裂の
形成を一層困難なものとなし,これは本発明に依る半田
付けされた保護板に亀裂の低減化を説明出来ることにな
る。本発明に従って製造された保護素子の低減化された
亀裂は,同じ厚さを有する従来法で固着された保護素子
に比べ,長い寿命を与えることに役立つ。長い寿命を与
える良好な磨耗挙動は又,硬質金属の焼き付き体内に半
田材料を刺入すること及び表面構造の改善に依っても得
ることができる。The fixed protective plate made of, for example, hard metal has a small crack after the above-mentioned operation. This may be due to the presence of many critical defects in the underlying non-uniform material and the fact that in the case of mechanical loading, it can lead to the formation and propagation of cracks. Surprisingly, the number of cracks is significantly reduced in the case of a hard metal plate of the same composition, which is soldered to the carrier member in the method according to the invention, as compared to the case of a protection plate fixed in a conventional manner. It has been found. This may be due to the special stress ratio mentioned above in the protective plate which is soldered according to the invention. As a result of the soldering of the counter plate, it is possible that there is a change in composition on the side of the protective plate far from the carrier member in the area close to the surface. This makes the formation of cracks on the surface more difficult, which may explain the reduced cracking of the soldered protection plate according to the invention. The reduced cracking of protective elements manufactured according to the invention helps to provide a longer service life than conventionally secured protective elements of the same thickness. Good wear behavior which gives a long service life can also be obtained by penetrating the solder material into the hard metal seizure and by improving the surface structure.
【0017】キャリヤー部材への保護板の半田付け中に
おけるカウンター部材の本発明に依る使用は特定の所望
の表面曲率を有する保護素子を作製するのにも利用出来
る。これはキャリヤー部材とカウンター部材が熱膨張形
態に対して相互に対応させることで達成可能である。キ
ャリヤー部材とカウンター部材は同じ材料製であること
が特に有利である。適切なカウンター部材の厚さの場
合,実質的に同じ応力比が保護板の両側で発生する。こ
の実質的に対称的な応力分布は特に半田付け温度からの
冷却時における温度変化中にキャリヤー部材,保護板と
カウンター部材で形成されたサンドイッチ構成の内部に
曲がりを生ぜしめる応力が何ら形成されないことに依
る。これは特に可撓性キャリヤー部材にとって重要にな
り得る。The use according to the invention of the counter member during the soldering of the protective plate to the carrier member can also be used to produce a protective element having a specific desired surface curvature. This can be achieved by making the carrier member and the counter member mutually correspond to the thermal expansion configuration. It is particularly advantageous that the carrier member and the counter member are made of the same material. With an appropriate counter member thickness, substantially the same stress ratio occurs on both sides of the guard. This substantially symmetrical stress distribution ensures that no stresses are created which cause bending inside the sandwich structure formed by the carrier member, the protective plate and the counter member, especially during temperature changes during cooling from the soldering temperature. Depends on This can be particularly important for flexible carrier members.
【0018】好適に平面状で平行な保護板上に半田付け
する目的からカウンター部材には少なくとも1つの平面
状の表面が備えてある。好適にはカウンター部材は平面
状の平行カウンター板として構成され,このカウンター
板は平坦な材料から切断又は打ち抜きすることに依り容
易に製造出来る。平面状で平行なカウンター板を用いれ
ば,サンドイッチ構造を作るための配置・固定が容易と
なる。The counter member is provided with at least one planar surface for the purpose of soldering onto a suitably planar and parallel protective plate. Preferably, the counter member is configured as a planar parallel counter plate, which can be easily manufactured by cutting or punching from a flat material. The use of flat and parallel counter plates facilitates the placement and fixing of the sandwich structure.
【0019】保護板を次のようなキャリヤー部材に設置
することも可能である。それは実際の保護板並びにオプ
ションとして,カウンター部材と同様面状で平行な板と
して構成されるキャリヤー部材である。カウンター部材
の除去に引き続き,こうした保護素子はここで2つの材
料からその全体の表面領域上で本質的に構成されること
になる。こうした保護素子はそれが機械的磨耗及びオプ
ションとして衝撃に対しての保護が必要な場合には,ど
こでも使用可能である。It is also possible to install the protection plate on the following carrier member. It is the actual protective plate and, optionally, a carrier member configured as a planar and parallel plate similar to the counter member. Following the removal of the counter element, such a protective element now consists essentially of the two materials on its entire surface area. Such a protection element can be used wherever it needs protection against mechanical wear and optionally impact.
【0020】保護素子の厚さが重要な役割を果たすよう
な特別の場合,即ち,感応性のある試験探り針を試験物
体に対して近接させ同時に,機械的損傷に対して保護し
なければならない場合は,キャリヤー部材が少なくとも
保護板で完全に保護可能な1つの通路開口部を有するこ
とが有利である。従って,通路開口部の近辺では保護板
の厚さのみが保護素子の厚さを決定する。好適には円形
の通路開口部を包囲するキャリヤー部材の材料はキャリ
ヤー部材に対する保護板の一体構造的取り付けの目的で
使用される。保護板の厚さ,従って,例えば,間接的に
は試験探り針と試験材料の間の距離は,通路開口部を有
するキャリヤー部材の場合試験機能に対して適切な様式
で適合可能である。In special cases where the thickness of the protective element plays an important role, ie a sensitive test probe must be brought close to the test object and at the same time protected against mechanical damage. In this case, it is advantageous if the carrier element has at least one passage opening which can be completely protected by the protective plate. Therefore, only the thickness of the protection plate near the passage opening determines the thickness of the protection element. The material of the carrier member, which preferably surrounds the circular passage opening, is used for the purpose of monolithic attachment of the protective plate to the carrier member. The thickness of the protective plate, and thus, for example, the distance between the test probe and the test material indirectly, can be adapted in a manner suitable for the test function in the case of a carrier member having a passage opening.
【0021】固着された保護板の場合と比較して,本発
明に依る方法で設置された保護板は良好な使用寿命の特
性を備えている。換言すれば,受容可能な使用寿命を以
て試験結果に著しい改善をもたらすような更に薄い被覆
部を有することが可能である。保護板の厚さを例えば
1.8mmから0.6mmに低減化すると感応度が6d
Bから改善されたS/N比へ増加することになる。通路
開口部を1個以上備えたキャリヤー部材に対しては各開
口部に対してそれ自体の保護板を提供することが可能で
ある。保護板は通路開口部の間の領域内で相互に隣接し
て設けることが出来る。多数の通路開口部を有するキャ
リヤー部材は単一の保護板に接続されることが有利であ
り,この保護板は実質的に完全にキャリヤー部材の設置
面を被覆し,従って,又,キャリヤー部材の通路開口部
全てを被覆する。Compared to the case of a fixed protective plate, the protective plate installed by the method according to the invention has better service life characteristics. In other words, it is possible to have a thinner coating that provides a significant improvement in test results with an acceptable service life. When the thickness of the protection plate is reduced from, for example, 1.8 mm to 0.6 mm, the sensitivity becomes 6d.
From B to an improved S / N ratio. For carrier members with one or more passage openings, it is possible to provide each opening with its own protective plate. The guard plates can be provided adjacent to each other in the region between the passage openings. Advantageously, the carrier member having a plurality of passage openings is connected to a single protection plate, which covers the mounting surface of the carrier member substantially completely and thus also of the carrier member. Cover all passage openings.
【0022】カウンター板の表面領域は正確に保護板の
領域に対応出来る。幾分小さい領域を有するカウンター
板を使用すること及びそのカウンター板を全ての側にお
いて保護板が僅かにそのカウンター板上方に突出するよ
うな様式で位置付けることが好適である。これはキャリ
ヤー部材,保護板及びカウンター部材の半田付け装備が
カウンター部材を保持している半田層からのカウンター
部材の除去前に保持装置内に固定すべき場合に,特に有
利になり得る。除去前,特にカウンター板の研磨除去又
は研削前に,サンドイッチ方式のこの適切な保持は,保
持装置が保護板を有するキャリヤー部材を好適には間隙
の無い様式にて嵌合出来るその受け体を有する場合には
特に簡単になる。保持装置の受け体の外側面が保護板の
外側面と面位置になれば,カウンター板は保持装置外に
突出し,幾何学的に定められた様式にて研磨に依り除去
可能である。保持装置が挿入される保護素子を包囲する
領域において特に硬質か又は硬質化される場合は正確な
除去を助けることが出来る。保護素子を嵌合させる領域
は有利には例えばセラミック材料製にすることが出来
る。研磨材料が硬質の保護板包囲体上で研磨する場合は
カウンター板の研磨はそのため一層遅くなるか又は終了
される。The surface area of the counter plate can exactly correspond to the area of the protection plate. It is preferred to use a counter plate with a somewhat smaller area and to position the counter plate in such a way that on all sides the protection plate projects slightly above the counter plate. This can be particularly advantageous if the soldering equipment of the carrier member, the guard plate and the counter member is to be fixed in the holding device before removal of the counter member from the solder layer holding the counter member. Prior to removal, in particular before polishing or grinding of the counter plate, this suitable holding in a sandwich manner is such that the holding device has its receiver which can fit the carrier member with the protection plate in a preferably gap-free manner. This is especially easy in the case. When the outer surface of the receiving body of the holding device is flush with the outer surface of the protective plate, the counter plate protrudes out of the holding device and can be removed by grinding in a geometrically defined manner. Precise removal can be assisted, especially if the holding device is hardened or hardened in the area surrounding the protective element to be inserted. The area in which the protective element is fitted can advantageously be made, for example, of a ceramic material. If the abrasive material is polished on a hard protective plate enclosure, the polishing of the counter plate is therefore slower or terminated.
【0023】保持装置は磨耗シュー(滑り部)内に嵌合
され,特に固着された保護素子と併せてその前記シュー
に据え付けられた試験探り針を保護する磨耗シューの一
部として構成されることが有利である。磨耗シューの作
製はそこでサンドイッチ装備の挿入,カウンター板及び
カウンター板を保持している半田層の後続の研磨に依り
終了出来る。従って,各保護素子はこのようにしてその
固定される磨耗シューの寸法に個々に適合される。保護
板の実質的な撓みが無い結果,極めて正確な様式で試験
探り針の内側から即ちキャリヤー部材の側から保護板迄
移動が可能である。典型的な間隔は本例の場合大略0.
1mmであり,正確に定められた測定条件を達成する目
的から0.01mmの精度を有することを念頭に置かな
ねばならない。特に,試験探り針回路板上に共に配列さ
れ,そのため個々に調節することが出来ない多数の試験
探り針を保護板に関して正確な間隔内に共に移動せしめ
る場合は,こうした高精度の要件は満たすことが難し
く,又は,おそらくは撓みの生じた保護素子と共に例外
的状況においてのみ満たすことが出来ることも念頭に置
かねばならない。The holding device is fitted in a wear shoe (sliding part) and is constituted in particular as a part of the wear shoe which, together with the secured protective element, protects the test probe mounted on said shoe. Is advantageous. Fabrication of the wear shoe can then be completed by the insertion of sandwich equipment, subsequent polishing of the counter plate and the solder layer holding the counter plate. Thus, each protection element is thus individually adapted to the dimensions of its fixed wear shoe. As a result of the fact that there is no substantial deflection of the guard, it is possible to move in a very precise manner from the inside of the test probe, ie from the side of the carrier member, to the guard. A typical interval is approximately 0 in this example.
It must be kept in mind that it is 1 mm and has an accuracy of 0.01 mm for the purpose of achieving precisely defined measurement conditions. These high-precision requirements shall be fulfilled, in particular, if a large number of test probes arranged together on the test probe circuit board, and thus cannot be individually adjusted, are to be moved together within precise intervals with respect to the guard plate. It must also be borne in mind that it can be fulfilled only in exceptional circumstances with difficult or possibly warped protective elements.
【0024】カウンター板を除去し、保持装置(特に磨
耗シュー)内に半田付けサンドイッチ構造体を据え付け
ると、部分的に、保護素子が僅かに緩むことがありう
る。しかし、本発明の方法によって作製された保護素子
は、磨耗シューとして構成された保持装置上に配置し
て,試験物体と接触させることが出来る。When the counter plate is removed and the soldered sandwich structure is installed in a holding device (especially a wear shoe), the protection element can in part be slightly loosened. However, the protective element made by the method of the invention can be placed on a holding device configured as a wear shoe and brought into contact with the test object.
【0025】本発明の他の諸特徴及び詳細な内容につい
ては図面と特許請求の範囲に関連して行われる好適実施
態様の以下の説明から集めることが出来る。単一にしろ
又は組み合わせた状態にしろ個々の諸特徴は実施態様に
おいて実施可能である。ストレー・フラックス探り針を
有する試験ヘッドに配列された保護素子を示す部分断面
の側面図である図1を参照して本発明の一実施態様を以
後説明する。Other features and details of the present invention can be gleaned from the following description of a preferred embodiment taken in conjunction with the drawings and the appended claims. Individual features, alone or in combination, can be implemented in embodiments. One embodiment of the present invention will now be described with reference to FIG. 1, which is a partial cross-sectional side view showing protection elements arranged on a test head having a stray flux probe.
【0026】[0026]
【実施例】図1は,試験ヘッド1を部分的に断面で示し
た側面図である。試験ヘッド1の下側に接触して配置さ
れた(非図示の)試験物体から出る漏洩磁束を受け入れ
る3個の試験探り針2、3,4が断面の近くに存在して
いる。試験探り針2,3,4は温度検出器7が貫通出来
る検出器穴6を有する共通の試験探り針回路板5上に隔
置した様式で配列され,実質的な先端8が試験探り針
2,3,4の実質的な先端9,10,11と同じ垂直高
さに位置付けられている。FIG. 1 is a side view showing a test head 1 partially in section. Close to the cross-section are three test tips 2, 3, 4 which receive the leakage flux emanating from a test object (not shown) arranged in contact with the lower side of the test head 1. The test probes 2, 3, and 4 are arranged in a spaced-apart manner on a common test probe circuit board 5 having a detector hole 6 through which a temperature detector 7 can penetrate, with a substantial tip 8 attached to the test probe 2. , 3, 4 are positioned at the same vertical height as the substantial tips 9, 10, 11.
【0027】試験探り針回路板5は接続回路板13から
スペーサー12に依って分離した状態に保持され,接続
回路板はネジ15と保持素子16に依ってスペーサー1
2上に試験装置たる試験ヘッド1のカバー14で押され
ている。試験探り針回路板5は磨耗シュー17上に位置
付けられ,この磨耗シュー17はカバー14と同様ガラ
ス繊維補強プラスチックで作製されている。磨耗シュー
17内には円形探り針通路18,19,20及び検出器
通路21が形成され,これらの検出器通路を通じて試験
探り針2,3,4及び温度検出器7がそれらの実質
(的)先端と共に磨耗シュー17下方の領域内に挿入可
能とされる。The test probe circuit board 5 is held separated from the connection circuit board 13 by the spacer 12, and the connection circuit board is held by the screw 15 and the holding element 16 in the spacer 1.
2 is pressed by the cover 14 of the test head 1 as a test device. The test probe circuit board 5 is positioned on a wear shoe 17, which, like the cover 14, is made of glass fiber reinforced plastic. Circular probe paths 18, 19, 20 and a detector path 21 are formed in the wear shoe 17, and the test probes 2, 3, 4 and the temperature detector 7 pass through these detector paths. It can be inserted into the area below the wear shoe 17 together with the tip.
【0028】図1の実施態様においては,保護素子22
が試験探り針2,3,4の実質的先端9,10,11が
保護素子22のキャリヤー部材26の通路開口部23,
24,25内に挿入されるような様式で磨耗シュー17
に固定されている。下方向において通路開口部23,2
4,25は完全にキャリヤー部材26上に延在する保護
板27で被覆される。同様にして,温度検出器7に対す
る検出器通路開口部28が被覆される。In the embodiment shown in FIG.
Are the substantial tips 9, 10, 11 of the test tips 2, 3, 4 are the passage openings 23 of the carrier member 26 of the protection element 22;
Wear shoes 17 in such a manner as to be inserted into 24, 25
It is fixed to. Passage openings 23, 2 in the downward direction
4 and 25 are completely covered with a protection plate 27 extending over the carrier member 26. Similarly, the detector passage opening 28 for the temperature detector 7 is covered.
【0029】図1において,キャリヤー部材26の反対
側の保護板の側では破線形態で示されたカウンター板2
9を見ることが出来,このカウンター板は保護板27と
同じ厚さを有し,これをこえて(境界)領域に前記保護
板27が突出している。従って,図1はカウンター板2
9の研磨前の試験ヘッドの状態を示している。In FIG. 1, on the side of the protective plate opposite to the carrier member 26, a counter plate 2 indicated by a broken line is shown.
9, the counter plate has the same thickness as the protection plate 27, beyond which the protection plate 27 protrudes in the region (boundary). Therefore, FIG.
9 shows the state of the test head before polishing.
【0030】保護素子の製造と据え付け 最初に,保護素子のこの構成要素,即ち,レマニット
(Remanit,商品名)保護板27とカウンター板
29と同様図示の実施態様においてレマニット(Rem
anit)で作製されたキャリヤー部材26が,図1に
示す配置で重ねられ半田付け装置内に固定される。熱膨
張係数が異なる結果結合加熱の下において変動する範囲
へ個々の素子が膨張する場合はその接触面に対して相互
に平行の関係にて個々の素子が自由に移動出来るような
様式にてこの固定が生じる。個々の素子の相互に対する
固定は個々の素子の大略中央部分での保持に依り生じ
る。個々の構成素子の間の毛細管作用に依り液体状半田
材料が援助無しの様式で通過する場合の大略600℃に
おける構成素子の蝋付けに引き続き装備が冷却され,そ
の冷却後に半田付け装置から除去される。 Manufacture and Installation of the Protective Element First of all, the components of the protective element, namely the Remanit (trade name) protective plate 27 and the counter plate 29, as well as the Remanit (Remnit) in the illustrated embodiment,
The carrier member 26 manufactured by the above-described method is stacked in the arrangement shown in FIG. 1 and fixed in the soldering apparatus. If the individual elements expand to a range that fluctuates under combined heating as a result of the different coefficients of thermal expansion, this is done in such a way that the individual elements can move freely in a mutually parallel relationship to their contact surface Fixation occurs. The fixing of the individual elements to one another results from the retention of the individual elements in a generally central part. Following the brazing of the components at approximately 600 ° C. when the liquid solder material passes in an unassisted manner by capillary action between the individual components, the equipment is cooled and then removed from the soldering device after cooling. You.
【0031】キャリヤー部材26,保護板27及びカウ
ンター部材29で形成されるサンドイッチ装備は次に磨
耗シュー17の近くで試験ヘッド1の開口部内に嵌合さ
れ,これが磨耗シュー17下方に取り付けられたセラミ
ック板30に依り横方向の境界が定められる。このサン
ドイッチ装備は磨耗シュー17とその上のセラミック板
30にエポキシ接着剤の助けに依り付着される。保護板
の位置付けにおけるその必要とされる精度のために,前
記段階は特別の位置付け装置で実施可能である。これに
よって,試験探り針の実質的先端9,10,11と保護
板の内側31の間に大略0.1mmの小さい間隔のみが
確実に存在するように出来る。この間隔は保護板にかか
る衝撃とその対応する通路開口部内への保護板の対応す
る曲げが生じた場合に,試験探り針の感応性のある実質
的先端が保護板と接触しないようにするため必要であ
る。測定上の理由から試験探り針は出来るだけ保護板に
近接していることも必要である。保護板27と試験探り
針の有効チップ9,10,11の間の間隔の寸法は結果
的に補償した値となり,これが正確にセットされなけれ
ばならない。The sandwich equipment formed by the carrier member 26, the protective plate 27 and the counter member 29 is then fitted into the opening of the test head 1 near the wear shoe 17, which is mounted below the wear shoe 17. The board 30 defines a lateral boundary. This sandwich equipment is attached to the wear shoe 17 and the ceramic plate 30 thereon with the aid of an epoxy adhesive. Due to its required accuracy in the positioning of the guard plate, said steps can be performed with special positioning devices. This ensures that only a small gap of approximately 0.1 mm exists between the substantial tip 9, 10, 11 of the test probe and the inside 31 of the protective plate. This spacing is to ensure that the sensitive tip of the test tip does not come into contact with the protection plate in the event of an impact on the protection plate and a corresponding bending of the protection plate into its corresponding passage opening. is necessary. For measurement reasons it is also necessary that the test tip be as close as possible to the protective plate. The dimension of the spacing between the protection plate 27 and the effective tips 9, 10, 11 of the test probe results in a compensated value which must be set correctly.
【0032】このサンドイッチ装備が試験探り針に関し
て正確な間隔を以て据え付けられ,サンドイッチ装備を
保持している接着剤が乾燥すれば,サンドイッチ装備,
即ちカウンター板29でセラミック板30の下側をこえ
て突出する部分が研磨で除去出来る。このサンドイッチ
装備を包囲している硬質のセラミック板30は適切な研
磨境界部を提供するので,研磨過程の終了時に保護板2
7の外側面はセラミック板30の外側と面位置に終端す
る。When the sandwich equipment is mounted at a precise spacing with respect to the test probe and the adhesive holding the sandwich equipment dries, the sandwich equipment is
That is, a portion of the counter plate 29 projecting beyond the lower side of the ceramic plate 30 can be removed by polishing. The hard ceramic plate 30 surrounding the sandwich equipment provides a suitable polishing boundary so that at the end of the polishing process the protective plate 2
The outer surface of 7 terminates on the outside and surface position of the ceramic plate 30.
【図1】部分的に断面をとった試験ヘッド1の側面図。FIG. 1 is a side view of a test head 1 partially sectioned.
1 試験ヘッド 2 試験探り針 3 試験探り針 4 試験探り針 5 試験探り針回路板 6 検出器穴 7 温度検出器 8 有効チップ 9 有効チップ 10 有効チップ 11 有効チップ 12 スペーサー 13 接続回路板 14 カバー 15 ネジ 16 保持素子 17 磨耗シュー 18 円形探り針通路 19 円形探り針通路 20 円形探り針通路 21 検出器回路 22 保護素子 23 通路開口部 24 通路開口部 25 通路開口部 26 キャリヤー部材 27 保護板 28 検出器通路開口部 29 カウンター板 30 セラミック板 31 内側 REFERENCE SIGNS LIST 1 Test head 2 Test probe 3 Test probe 4 Test probe 5 Test probe circuit board 6 Detector hole 7 Temperature detector 8 Effective chip 9 Effective chip 10 Effective chip 11 Effective chip 12 Spacer 13 Connection circuit board 14 Cover 15 Screw 16 Holding element 17 Wear shoe 18 Circular probe path 19 Circular probe path 20 Circular probe path 21 Detector circuit 22 Protective element 23 Passage opening 24 Passage opening 25 Passage opening 26 Carrier member 27 Protective plate 28 Detector Passage opening 29 Counter plate 30 Ceramic plate 31 Inside
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−200098(JP,A) 特開 平3−204170(JP,A) 特開 平2−96655(JP,A) 特公 昭58−44636(JP,B2) 特公 平4−9000(JP,B2) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-4-200098 (JP, A) JP-A-3-204170 (JP, A) JP-A-2-96655 (JP, A) 44636 (JP, B2) JP 4-9000 (JP, B2)
Claims (13)
6)上に設置する方法であって,特に少なくとも1つの
保護板(27)がキャリヤー部材(26)上に形成され
た設置面と一体的に結合されるようなやり方で試験装置
用の保護素子(22)を製造するような方法において,
保護板(27)が設置面とカウンター部材(29)の間
に保持され,キャリヤー部材(26),保護板(27)
及びカウンター部材(29)の加熱に伴い,キャリヤー
部材(26)と保護板(27),及び保護板(27)と
カウンター部材(29)が,半田付け工程により同時に
それぞれ1つの半田層で少なくとも部分的に接合され,
そして,半田層が結晶化したら,カウンター部材(2
9)及びこれを保持している半田層が保護板(27)か
ら除去されることを特徴とする方法。1. The method according to claim 1, wherein the protective coating is provided on a carrier member.
6) A method of mounting on a protection element, in particular in such a way that at least one protection plate (27) is integrally connected with a mounting surface formed on a carrier member (26). In a method for producing (22),
A protection plate (27) is held between the installation surface and the counter member (29), and the carrier member (26) and the protection plate (27)
With the heating of the counter member (29), the carrier member (26) and the protection plate (27), and the protection plate (27) and the counter member (29) are simultaneously at least partially formed by one solder layer by a soldering process. Are joined together,
When the solder layer is crystallized, the counter member (2
9) and a method wherein the solder layer holding the same is removed from the protective plate (27).
7)の間と同様保護板(27)とカウンター部材(2
9)の間の接続が特に銀硬質半田の蝋付けにより実行さ
れることを特徴とする請求項1に記載の方法。2. A carrier member (26) and a protection plate (2).
7) and the counter plate (2)
2. The method according to claim 1, wherein the connection during 9) is performed by brazing silver hard solder.
硬質若しくは硬質化した金属で作成され,好適には硬質
金属又は炭化物製であることを特徴とする請求項1又は
請求項2に記載の方法。3. The protective plate (27) is made of a wear-resistant material, in particular,
3. A method according to claim 1 or claim 2, wherein the method is made of a hard or hardened metal, preferably made of a hard metal or carbide.
材(29)の熱膨張特性が相互に合致し特に実質的に同
一になっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれ
か1項に記載の方法。4. The method according to claim 1, wherein the thermal expansion characteristics of the carrier member and the counter member are substantially identical to one another. The described method.
材(29)が同一材料製であることを特徴とする請求項
1〜4のいずれか1項に記載の方法。5. The method according to claim 1, wherein the carrier member and the counter member are made of the same material.
行なカウンター板(29)として構成されることを特徴
とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。6. The method according to claim 1, wherein the counter element is configured as a plane-parallel counter plate.
護板(27)で被覆可能な少なくとも1個の通路開口部
(23,24,25)を有することを特徴とする請求項
1〜6のいずれか1項に記載の方法。7. The method according to claim 1, wherein the carrier member has at least one passage opening which can be completely completely covered by the protective plate. A method according to any one of the preceding claims.
材を保持している半田層を除去する前に,キャリヤー部
材(26),保護板(27)及びカウンター部材(2
9)を半田付けしたものが保持装置(17)内に固定さ
れることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記
載の方法。8. The carrier member (26), the protective plate (27) and the counter member (2) before removing the counter member (29) and the solder layer holding the counter member.
Method according to any of the preceding claims, characterized in that the soldered version of (9) is fixed in a holding device (17).
材を保持している半田層が研磨に依り保護板(27)か
ら除去されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか
1項に記載の方法。9. The device according to claim 1, wherein the counter member and the solder layer holding the counter member are removed from the protective plate by polishing. the method of.
部材(26)に一体構造的に接続された少なくとも1個
の保護板(27)を有する保護素子において,キャリヤ
ー部材(26)の実質的に平面状の設置面に少なくとも
部分的に特に面平行な保護板(27)が特に硬質半田に
よって半田付けされ,保護板(27)のキャリヤー部材
(26)から遠方の外側領域の表面が,カウンター部材
(29)とそれに係る半田層を供に,例えば研磨に依
り,除去することで作成された表面であることを特徴と
する保護素子。10. A protection device having the with the carrier member (26) at least one protection plate integrally structurally connected to the carrier member (26) to (27), substantially planar carrier member (26) A protective plate (27), at least partially parallel to the plane, is soldered, in particular with hard solder, the surface of the protective plate (27) in the outer region remote from the carrier member (26) being a counter member (27). 29) A protective element characterized in that the surface is formed by removing the solder layer together with the solder layer, for example, by polishing.
30)に配置され少なくとも1個の試験探り針(2,
3,4)を保護するようになっており,その探り針は,
特にストレー・フラックス探り針であって,その作動領
域において試験物体と相対的に移動可能であり,前記保
護素子が試験物体に接触する接触面を有することを特徴
とする請求項10に記載の保護素子。11. The protection device (22) includes a holding device (17,
30) and at least one test tip (2,
3, 4) are protected, and the stylet is
11. The protection according to claim 10, wherein the stylus flux probe is movable relative to the test object in its working area, and the protection element has a contact surface for contacting the test object. element.
に,硬質若しくは硬質化された金属で作成され,好適に
は硬質金属若しくは炭化物で作製されることを特徴とす
る請求項10又は請求項11のいずれかに記載の保護素
子。12. The protective plate (27) is made of a wear-resistant material, in particular hard or hardened metal, preferably made of hard metal or carbide. A protection element according to claim 11.
(27)で完全に被覆された少なくとも1個の通路開口
部(23,24,25)を有することを特徴とする請求
項10乃至請求項12のいずれか1項に記載の保護素
子。13. The carrier member (26) has at least one passage opening (23, 24, 25) completely covered by a protective plate (27). 13. The protection device according to any one of the above items 12.
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