JP2723909B2 - Semiconductor memory - Google Patents
Semiconductor memoryInfo
- Publication number
- JP2723909B2 JP2723909B2 JP63141703A JP14170388A JP2723909B2 JP 2723909 B2 JP2723909 B2 JP 2723909B2 JP 63141703 A JP63141703 A JP 63141703A JP 14170388 A JP14170388 A JP 14170388A JP 2723909 B2 JP2723909 B2 JP 2723909B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mis transistor
- input
- transistor
- differential amplifier
- mis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Static Random-Access Memory (AREA)
- Dram (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体メモリ及び、これの信号読出しを行う
センス回路に係り、特に、高速,高集積のDRAM,SRAMに
好適な高速,高安定なセンス回路に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory and a sense circuit for reading signals from the semiconductor memory, and more particularly to a high-speed, high-stability suitable for a high-speed, highly integrated DRAM and SRAM. It relates to a sense circuit.
従来のメモリのセンス回路としては、第2図に示すよ
うな構成が一般的である。また、それを改良する方式
が、アイ・イー・イー・イー・インターナショナル ソ
リッド ステート サーキット コンファレンス(1986
年)第262頁から第263頁(IEEE,International Solid−
State Circuits Conference 1986,pp.262−263)におい
て論じられている。As a sense circuit of a conventional memory, a configuration as shown in FIG. 2 is generally used. A method to improve it is the IEE International Solid State Circuit Conference (1986).
Years) 262 to 263 (IEEE, International Solid-
State Circuits Conference 1986, pp.262-263).
従来のセンス回路は、第2図に示すような構成をとっ
ている。なお、ここではダイナミックメモリのセンス回
路について述べるが、スタティックメモリにおいても、
メモリアレーとセンスアンプのかわりにスタティックメ
モリのメモリセルを置くことにより、同様にセンス回路
を構成できる。The conventional sense circuit has a configuration as shown in FIG. Here, the sense circuit of the dynamic memory will be described.
By placing a memory cell of a static memory in place of the memory array and the sense amplifier, a sense circuit can be similarly configured.
図中、1はダイナミック・メモリ・セル・アレー、2
はCMOSのセンスアンプ、3はカラムスイッチ、4はカラ
ムスイッチ3のゲートのオン,オフを行うアドレス指定
信号、5はアドレスの選択を行うデコーダ、6A,6Bは信
号の伝達を行うI/O線(入出力線)、8と20はI/O線6A,6
Bの電位を与える負荷素子、9と10はI/O線6A,6Bに寄生
的に発生する負荷容量、12はI/O線6A,,6Bの信号電圧差
を増幅する電圧増幅器である。In the figure, 1 is a dynamic memory cell array, 2
Is a CMOS sense amplifier, 3 is a column switch, 4 is an address designation signal for turning on / off the gate of the column switch 3, 5 is a decoder for selecting an address, and 6A and 6B are I / O lines for transmitting signals. (Input / output lines), 8 and 20 are I / O lines 6A and 6
A load element for applying the potential of B, 9 and 10 are load capacitors generated parasitically on the I / O lines 6A and 6B, and 12 is a voltage amplifier for amplifying the signal voltage difference between the I / O lines 6A and 6B.
従来のセンス回路では、信号源となるセンスアンプに
より、負荷20,8を駆動し、I/O線対6Aと6Bの間にあらわ
れる信号電圧差を電圧増幅器12により大きな電圧差に増
幅することにより、1つのセンスアンプに読み出された
情報を増幅して出力していた。In a conventional sense circuit, the load 20, 8 is driven by a sense amplifier serving as a signal source, and a signal voltage difference appearing between the I / O line pair 6A and 6B is amplified to a large voltage difference by the voltage amplifier 12. The information read out by one sense amplifier is amplified and output.
第3図は、この従来例において、アドレスを切換え
て、異なった情報を連続して読み出す際の動作波形を示
す。図中、τ1はアドレスを切換えてからI/O線の信号
電圧が交差するまでの時間、τ2はI/O線の信号電圧が
交差してから増幅器12の出力に信号出力があらわれるま
での時間を示している。FIG. 3 shows operation waveforms when different addresses are successively read out by switching addresses in the conventional example. In the figure, τ 1 is the time from when the address is switched to when the signal voltage on the I / O line crosses, and τ 2 is the time from when the signal voltage on the I / O line crosses until the signal output appears on the output of the amplifier 12. Shows the time.
従来のメモリにおいては、I/O線の電圧振幅を増幅す
る方式をとっているため、I/O線の電圧振幅を大きく
(>200mV)とする必要があった。このため、異なった
信号を読出す際、I/O線の電圧が交差するまでの時間τ
1が大きくなり、情報の読み出しに要する時間の増大に
つながっていた。τ1は、I/O線のインピーダンス(R1
とR2の並列抵抗) および負荷容量CLによってほぼ決まる。メモリ素子の高
集積化に伴い、配線抵抗,配線容量が増大するため、I/
O線での信号遅延τ1は高速のメモリLSI実現の大きな障
害となっていた。例えば、動作電流の大きさにも依る
が、τ1の値は全体の遅延τ1+τ2の値の70%にも及
ぶ。In the conventional memory, since the method of amplifying the voltage amplitude of the I / O line is adopted, it is necessary to increase the voltage amplitude of the I / O line (> 200 mV). Therefore, when reading different signals, the time τ until the voltages of the I / O lines cross
1 has increased, leading to an increase in the time required for reading information. τ 1 is the impedance of the I / O line (R 1
A parallel resistance of R 2) And the load capacity C L. As the integration of memory elements increases, the wiring resistance and wiring capacitance increase.
Signal delay tau 1 at O line had become a major obstacle to high-speed memory LSI realized. For example, depending on the magnitude of the operating current, tau 1 value extends to 70% of the total of the delay τ 1 + τ 2 values.
また、異なった信号を読出す際、I/O線に前の読み出
し情報に対応した信号電圧が残るので、センスアンプの
情報が反転してしまうという動作不良を起こし易い。そ
のため、カラムスイッチのトランジスタのW/L比(ゲー
ト幅対ゲート長比)をセンスアンプのトランジスタのW/
L比に比べて大きくできず、高速化、および回路の動作
余裕に対する大きな障害になっていた。Further, when a different signal is read, a signal voltage corresponding to the previous read information remains on the I / O line, so that an operation defect that information of the sense amplifier is inverted is likely to occur. Therefore, the W / L ratio (gate width to gate length ratio) of the transistor of the column switch is changed to the W / L ratio of the transistor of the sense amplifier.
It could not be larger than the L ratio, which was a major obstacle to high speed and circuit operation margin.
I/O線のセンス回路の動作速度を上げる手段として
は、前記の文献、アイ・イー・イー・イー・インターナ
ショナル・ソリッド・ステート・サーキット・コンファ
レンス(1986年)第262頁から第263頁において論じられ
ている。この例は、I/O線の微少な電圧変化を増幅する
ようにしたものであるが、その電圧ゲインは35と低いた
め、5Vの電圧振幅を得るためにはI/O線の信号電圧とし
ては140mV程度の値が必要となる。この値は先に述べた
従来のセンス回路を若干下まわりはするものの、大差な
い値であり、信号の遅延を大幅に改善することは期待で
きない。Means for increasing the operating speed of the I / O line sensing circuit are discussed in the aforementioned document, IEE International Solid State Circuit Conference (1986), pp. 262 to 263. Have been. In this example, a small voltage change of the I / O line is amplified.However, since the voltage gain is as low as 35, the signal voltage of the I / O line is required to obtain a voltage amplitude of 5V. Requires a value of about 140 mV. Although this value is slightly lower than that of the conventional sense circuit described above, it is a value that is not much different from that of the conventional sense circuit, and it cannot be expected that the signal delay is significantly improved.
上記問題点を解決するために、本発明では、信号を伝
達するI/O線の電位を安定化する機構と、I/O線に流れる
信号電流を信号電圧に変換する機構とを備えた電流電圧
変換機構を信号の増幅手段として用いた。In order to solve the above problems, the present invention provides a mechanism for stabilizing the potential of an I / O line transmitting a signal, and a mechanism for converting a signal current flowing through the I / O line to a signal voltage. A voltage conversion mechanism was used as a signal amplifying means.
本発明の電流電圧変換機構は、I/O線の電位を安定化
するように動作する。これにより、I/O線の電位は、情
報の如何に関わらず、ほぼ一定の値となる。したがっ
て、異なった情報を読み出した際にI/O線の電圧が交差
するまでの遅延を大幅に短縮することができる。さら
に、I/O線対間の電位差はほぼ0Vとなるために、異なる
情報の読み出しに際する動作余裕を改善することができ
る。The current-voltage conversion mechanism of the present invention operates to stabilize the potential of the I / O line. Thus, the potential of the I / O line has a substantially constant value regardless of the information. Therefore, the delay until the voltages of the I / O lines cross when different information is read can be significantly reduced. Further, since the potential difference between the I / O line pair is almost 0 V, the operation margin for reading different information can be improved.
以下、図面を参照して、この発明の実施例を説明す
る。なお、以下の実施例では、ダイナミックメモリのセ
ンス回路について述べるが、スタティックメモリにおい
ても、メモリ・アレーとセンスアンプのかわりにスタテ
ィックメモリのメモリセルを置くことにより、同様にセ
ンス回路を構成できる。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, a sense circuit of a dynamic memory will be described. However, in a static memory, a sense circuit can be similarly configured by placing a memory cell of the static memory in place of the memory array and the sense amplifier.
第1図は本発明の一実施例を示している。第1図中、
1はダイナミック・メモリのメモリ・セル・アレーであ
り、2はメモリセルから読み出した情報を増幅するセン
スアンプである。メモリ・セル・アレー1それ自体は、
周知のものと同様な構成とされるのでその詳細について
の説明は省略するが、それぞれ情報記憶用のキヤパシタ
と選択用のMISトランジスタとからなる複数のダイナミ
ック・メモリ・セルと、かかる情報記憶用のキヤパシタ
がかかる選択用のMISトランジスタを介して接続される
べき複数のデータ線と、かかる選択用のMISトランジス
タのゲートが接続される複数のワード線とからなる。同
図においては、メモリ・セル・アレーのデータ線は隣接
するもの同士が対とされ、図示のようにセンスアンプ2
に接続される。第1図において、3はセンスアンプで増
幅した情報をI/O線(入出力線)に読出し、またI/O線か
らメモリセルに情報を書き込むためのカラムスイッチ、
5は複数のセンスアンプのうちの1つを選択するアドレ
ス・デコーダ、4はその出力線、6A,6Bは信号の伝達を
行うI/O線(入出力線)、9,10はI/O線の寄生容量、8は
書込み回路、11はI/Vコンバータ(電流電圧変換器)、1
3,14は増幅器、15,16はフィードバック回路、7A,7BはI/
Vコンバータの出力、12は電圧増幅器、17,18は差動増幅
器をそれぞれ示している。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In FIG.
1 is a memory cell array of a dynamic memory, and 2 is a sense amplifier for amplifying information read from the memory cell. The memory cell array 1 itself is
Since the configuration is the same as that of a well-known device, a detailed description thereof will be omitted, but a plurality of dynamic memory cells each including an information storage capacitor and a selection MIS transistor, The capacitor is composed of a plurality of data lines to be connected via the selection MIS transistor and a plurality of word lines to which the gate of the selection MIS transistor is connected. In the figure, adjacent data lines of a memory cell array are paired with each other, and as shown in FIG.
Connected to. In FIG. 1, reference numeral 3 denotes a column switch for reading information amplified by a sense amplifier to an I / O line (input / output line) and writing information from the I / O line to a memory cell;
5 is an address decoder for selecting one of a plurality of sense amplifiers, 4 is its output line, 6A and 6B are I / O lines (input / output lines) for transmitting signals, and 9 and 10 are I / O lines. Line parasitic capacitance, 8 is a write circuit, 11 is an I / V converter (current-voltage converter), 1
3, 14 are amplifiers, 15, 16 are feedback circuits, 7A, 7B are I /
The output of the V converter, 12 indicates a voltage amplifier, and 17 and 18 indicate differential amplifiers, respectively.
以下、この図を用いて本実施例の動作について説明す
る。メモリセルから読出された情報はセンスアンプ2に
よって増幅される。その後、カラムスイッチ3により、
センスアンプ2とI/O線対・6A,6Bとが接続される。この
とき、センスアンプ2は、メモリセルから読出された情
報に従って、I/O線対のどちらかを低電圧側に引き落そ
うとする。すなわち、I/O線対の一方に信号電流源が接
続された状態と等価になる。次に、I/Vコンバータ11がI
/O線対上の信号電流を検出し、それに比例した電圧を7
A,7Bに出力する。同時にI/Vコンバータ11は、出力側(7
A・7B)から入力側(6A・6B)へフィードバック回路15,
16を通してネガティブフィードバックをかけることによ
り、I/O線対6A・6Bの電位を安定化する。Hereinafter, the operation of this embodiment will be described with reference to FIG. The information read from the memory cell is amplified by the sense amplifier 2. Then, by the column switch 3,
The sense amplifier 2 is connected to the I / O line pair 6A, 6B. At this time, the sense amplifier 2 tries to drop one of the I / O line pairs to the low voltage side according to the information read from the memory cell. That is, this is equivalent to a state in which a signal current source is connected to one of the I / O line pairs. Next, the I / V converter 11
The signal current on the / O line pair is detected, and the proportional voltage is
Output to A and 7B. At the same time, the I / V converter 11
A, 7B) to the input side (6A, 6B) feedback circuit 15,
By applying negative feedback through 16, the potential of the I / O line pair 6A and 6B is stabilized.
第4図に信号読出し動作時の各部波形を示す。I/O線
にはほとんど電位差が現れないため、異なった情報を読
出す際、I/O線の電位が交差するのに要する時間τ1を
極めて小さくすることができる。I/Vコンバータの出力
電圧が交差するまでの時間τcは、第1図においてI/V
コンバータの出力7A,7Bを増幅器13,14で充放電する時間
で決まる。出力7A,7Bの負荷容量はI/O線の容量に比べて
充分小さいため、遅延τcは極めて小さな値となる。こ
れらにより、総合の遅延τ1+τc+τ2を従来に比べ
て格段に短縮することができる。FIG. 4 shows waveforms at various points during the signal read operation. Since almost no potential difference appears in the I / O lines, the time τ 1 required for the potentials of the I / O lines to cross when reading different information can be extremely reduced. The time τ c required for the output voltage of the I / V converter to cross is represented by I / V in FIG.
It is determined by the time during which the outputs 7A and 7B of the converter are charged and discharged by the amplifiers 13 and 14. Since the load capacity of the outputs 7A and 7B is sufficiently smaller than the capacity of the I / O line, the delay τ c has an extremely small value. As a result, the total delay τ 1 + τ c + τ 2 can be significantly reduced as compared with the conventional case.
ここで、本発明の最大の特徴であるI/Vコンバータに
ついて詳細に説明する。I/Vコンバータの役割は、上に
述べたように、(1)I/O線上の信号電流を電圧に変換
すること、および(2)I/O線の電位を安定化すること
である。以下、I/Vコンバータの実施例を説明する。Here, the I / V converter which is the greatest feature of the present invention will be described in detail. As described above, the role of the I / V converter is (1) to convert the signal current on the I / O line into a voltage, and (2) to stabilize the potential of the I / O line. Hereinafter, embodiments of the I / V converter will be described.
[I/Vコンバータの実施例1] 第5図にI/Vコンバータの第1の実施例を示す。図
中、41A,41BがそれぞれI/O線6A,6Bに接続されるI/Vコン
バータである。各I/Vコンバータは、NチャネルMISトラ
ンジスタ42〜44、PチャネルMISトランジスタ45,46、お
よび抵抗47から成る。トランジスタ42〜46により、I/O
線6Aおよび基準電圧VRを入力とし、7Aを出力とする差動
増幅器を構成している。差動増幅器が第1図の増幅器
(13,14)に、抵抗47が第1図のフィードバック回路(1
5,16)にそれぞれ相当する。[First Embodiment of I / V Converter] FIG. 5 shows a first embodiment of the I / V converter. In the figure, 41A and 41B are I / V converters connected to the I / O lines 6A and 6B, respectively. Each I / V converter includes N-channel MIS transistors 42 to 44, P-channel MIS transistors 45 and 46, and a resistor 47. I / O by transistors 42-46
An input line 6A and the reference voltage V R, form a differential amplifier to output 7A. The differential amplifier is connected to the amplifiers (13, 14) of FIG. 1, and the resistor 47 is connected to the feedback circuit (1) of FIG.
5,16) respectively.
以下、本実施例の動作を説明する。I/Vコンバータの
出力信号電圧voは、I/O線の信号電流iiにより vo=Rc・ii と表される。ここで、Rcは47の抵抗値である。したがっ
てRcの値を適当に設定することによりI/O線の電位を一
定にしたまま、信号電流iiに比例した信号電圧を出力に
得ることができる。Hereinafter, the operation of the present embodiment will be described. The output signal voltage v o of the I / V converter is expressed as v o = R c · i i by the signal current i i of the I / O line. Here, R c is a resistance value of 47. Thus while a constant potential of I / O lines by setting the value of R c appropriately, it is possible to obtain a signal voltage proportional to the signal current i i to the output.
[I/Vコンバータの実施例2] 第6図にI/Vコンバータの第2の実施例を示す。図
中、51A,51BがそれぞれI/O線6A,6Bに接続されるI/Vコン
バータである。56はPチャネルMISトランジスタ、57は
電流源であり、56と57によりI/Vコンバータに含まれる
インバータのバイアス回路を構成している。各I/Vコン
バータは、NチャネルMISトランジスタ52,53、Pチャネ
ルMISトランジスタ54、および負荷55により構成されて
いる。52と54により、I/O線6Aを入力とし、7Aを出力と
するインバータを構成し、53,55により、インバータの
出力で駆動される電圧制御電流源を構成している。イン
バータが第1図の増幅器(13,14)に、電圧制御電流源
が第1図のフィードバック回路(15,16)にそれぞれ相
当する。Second Embodiment of I / V Converter FIG. 6 shows a second embodiment of the I / V converter. In the figure, 51A and 51B are I / V converters connected to the I / O lines 6A and 6B, respectively. 56 is a P-channel MIS transistor, 57 is a current source, and 56 and 57 constitute a bias circuit of an inverter included in the I / V converter. Each I / V converter includes N-channel MIS transistors 52 and 53, a P-channel MIS transistor 54, and a load 55. 52 and 54 constitute an inverter having the I / O line 6A as input and 7A as output, and 53 and 55 constitute a voltage controlled current source driven by the output of the inverter. The inverter corresponds to the amplifier (13, 14) in FIG. 1, and the voltage controlled current source corresponds to the feedback circuit (15, 16) in FIG.
以下、本実施例の動作について説明する。インバータ
は、一定の電流が流れるようにバイアスされる。したが
って50の電位Vcsを与えると、I/O線6Aの電位がVcs+Vth
(52)となるように出力7Aの電圧が決定される。出力の
電圧V(7A)は V(7A)=Vcs+Vth(52)+Vth(53) となる。ここに、Vth(52),Vth(53)はそれぞれ、N
チャネルMISトランジスタ52,53のしきい値電圧を表して
いる。I/O線の信号電圧をvi、I/O線の信号電流をii、I/
Vコンバータの出力信号電圧をvoとすると と表される。ここにgmはトランジスタ53の伝達コンダク
タンス、Gはインバータの電圧増幅率を示す。これによ
りI/O線の電圧振幅は出力電圧振幅の1/Gになる。したが
って、出力電圧振幅>200mVを得ようとすれば、例えば
G=50程度の値にすることは容易に可能であり、I/O線
の電圧振幅は4mV程度ですむ。Hereinafter, the operation of the present embodiment will be described. The inverter is biased so that a constant current flows. Therefore, when a potential V cs of 50 is applied, the potential of the I / O line 6A becomes V cs + V th
The voltage of the output 7A is determined so as to be (52). The output voltage V (7A) is expressed as V (7A) = Vcs + Vth (52) + Vth (53). Here, V th (52) and V th (53) are N
It shows the threshold voltages of the channel MIS transistors 52 and 53. Let the signal voltage of the I / O line be v i , and the signal current of the I / O line be i i , I /
Assuming that the output signal voltage of the V converter is vo It is expressed as Here g m is the transconductance of the transistor 53, G denotes a voltage gain of the inverter. Thereby, the voltage amplitude of the I / O line becomes 1 / G of the output voltage amplitude. Therefore, in order to obtain an output voltage amplitude> 200 mV, for example, it is possible to easily set G to a value of about 50, and the voltage amplitude of the I / O line may be about 4 mV.
これらにより、I/O線の電位を安定化した上で、I/O線
の信号電流に比例した信号電圧を出力に得ることができ
る。As a result, after stabilizing the potential of the I / O line, a signal voltage proportional to the signal current of the I / O line can be obtained at the output.
[I/Vコンバータの実施例3] 第7図にI/Vコンバータの第3の実施例を示す。図
中、61A,61BはそれぞれI/O線6A,6Bに接続されるI/Vコン
バータである。各I/Vコンバータは、NチャネルMISトラ
ンジスタ62〜65、PチャネルMISトランジスタ66,67、お
よび負荷68により構成されている。トランジスタ62,63,
64,66,67により、I/O線6Aおよび基準電圧VRを入力と
し、7Aを出力とする差動増幅器を構成し、63,68によ
り、差動増幅器の出力で駆動される電圧制御電流源を構
成している。差動増幅器が第1図の増幅器(13,14)
に、電圧制御電流源が第1図のフィードバック回路(1
5,16)にそれぞれ相当する。Third Embodiment of I / V Converter FIG. 7 shows a third embodiment of the I / V converter. In the figure, 61A and 61B are I / V converters connected to the I / O lines 6A and 6B, respectively. Each I / V converter includes N-channel MIS transistors 62 to 65, P-channel MIS transistors 66 and 67, and a load 68. Transistors 62, 63,
By 64,66,67 inputs the I / O line 6A and the reference voltage V R, form a differential amplifier to output 7A, by 63 and 68, a voltage controlled current driven by the output of the differential amplifier Make up the source. The differential amplifier is the amplifier in Fig. 1 (13,14)
First, the voltage-controlled current source is connected to the feedback circuit (1) shown in FIG.
5,16) respectively.
本実施例では差動増幅器を用いているため、I/O線の
電圧を基準電圧VRに等しい電圧にすることができる。す
なわちI/O線の電位をVRの制御により自由に設定できる
という特徴を有する。また、差動増幅器の動作電流の値
によらず、I/O線の電位は一定となるため、動作余裕の
大きい回路を提供することができる。Since in this embodiment uses a differential amplifier may be a voltage equal to the voltage of the I / O line to a reference voltage V R. That has the feature that the potential of the I / O line can be set freely by the control of the V R. Further, since the potential of the I / O line is constant irrespective of the value of the operation current of the differential amplifier, a circuit with a large operation margin can be provided.
[I/Vコンバータの実施例4] 第8図にI/Vコンバータの第4の実施例を示す。図
中、70A,70BはそれぞれI/O線6A,6Bに接続されるI/Vコン
バータである。各I/Vコンバータは、NチャネルMISトラ
ンジスタ71〜73、PチャネルMISトランジスタ74〜76、
および負荷77により構成されている。トランジスタ71,7
2,73,75,76により、I/O線6Aおよび基準電圧VRを入力と
し、7Bを出力とする差動増幅器を構成し、74,77によ
り、差動増幅器の出力で駆動される電圧制御電流源を構
成している。差動増幅器が第1図の増幅器(13,14)
に、電圧制御電流源が第1図のフィードバック回路(1
5,16)にそれぞれ相当する。Fourth Embodiment of I / V Converter FIG. 8 shows a fourth embodiment of the I / V converter. In the figure, 70A and 70B are I / V converters connected to the I / O lines 6A and 6B, respectively. Each I / V converter has N-channel MIS transistors 71 to 73, P-channel MIS transistors 74 to 76,
And a load 77. Transistors 71, 7
The 2,73,75,76, inputs the I / O line 6A and the reference voltage V R, form a differential amplifier to output 7B, by 74 and 77, a voltage which is driven by the output of the differential amplifier It constitutes a control current source. The differential amplifier is the amplifier in Fig. 1 (13,14)
First, the voltage-controlled current source is connected to the feedback circuit (1) shown in FIG.
5,16) respectively.
先の実施例と異なり、PチャネルMISトランジスタを
電圧制御電流駆動素子として用いているため、電源の利
用効率が良いという特徴を有する。すなわち、I/Vコン
バータの出力電圧は、I/O線の電圧VRに対して低い電圧
になるため、VRを電源電圧Vccに近い値まで高く設定す
ることが可能となる。Unlike the previous embodiment, since the P-channel MIS transistor is used as the voltage-controlled current driving element, it has a feature that the power supply efficiency is high. That is, the output voltage of the I / V converter, to become a low voltage relative to the voltage V R of I / O lines, it is possible to set a high V R to a value close to the supply voltage V cc.
なお、これまでの実施例はいずれも、反転形(位相が
入力6Aと出力7Aとで逆になる)の増幅器と非反転形(位
相が入力7Aと出力6Aとで逆にならない)のフィードバッ
ク回路を用いて、ネガティブフィードバックをかけてい
た。本実施例のフィードバック回路は、PチャネルMIS
トランジスタを用いる関係上、反転形である。そのた
め、増幅器の方を非反転形としている。In each of the embodiments described above, the inverting type (the phase is reversed between the input 6A and the output 7A) and the non-inverting type (the phase is not reversed between the input 7A and the output 6A). Was used to provide negative feedback. The feedback circuit of this embodiment is a P-channel MIS
Because of the use of transistors, it is an inversion type. Therefore, the amplifier is of a non-inverting type.
[I/Vコンバータの実施例5] 第9図にI/Vコンバータの第5の実施例を示す。図
中、70A,70BはそれぞれI/O線6A,6Bに接続されるI/Vコン
バータである。前実施例との相違点は、NチャネルMIS
トランジスタ78が追加されたことである。前実施例は、
I/O線がPチャネルMISトランジスタ74のドレインに接続
されるため、インピーダンスが高く、信号電流が過渡的
に流れたときの応答性にやや難点がある。それに対して
本実施例では、PチャネルMISトランジスタ74と並列
に、ダイオード接続したNチャネルMISトランジスタ78
を追加することにより、I/O線のインピーダンスを下
げ、過渡応答性を良くしている。なお、これに伴ってI/
O線の電圧がVcc−Vth(VthはNチャネルMISトランジス
タのしきい値電圧)になるので、NチャネルMISトラン
ジスタ79によってVcc−Vthなる電圧を発生し、それを基
準電圧VRとしている。[Fifth Embodiment of I / V Converter] FIG. 9 shows a fifth embodiment of the I / V converter. In the figure, 70A and 70B are I / V converters connected to the I / O lines 6A and 6B, respectively. The difference from the previous embodiment is that the N-channel MIS
That is, the transistor 78 is added. The previous example,
Since the I / O line is connected to the drain of the P-channel MIS transistor 74, the impedance is high, and the response when the signal current flows transiently has some difficulty. On the other hand, in the present embodiment, a diode-connected N-channel MIS transistor 78 is connected in parallel with the P-channel MIS transistor 74.
Is added to reduce the impedance of the I / O line and improve the transient response. In addition, I /
Since the voltage of the O line becomes V cc −V th (V th is the threshold voltage of the N-channel MIS transistor), a voltage of V cc −V th is generated by the N-channel MIS transistor 79, and the reference voltage V R
次にデータ書込み動作について説明する。第10図に書
込み回路(第1図の8)の実施例を、第11図に書込み動
作時の各部波形を示す。図中、Dinはデータ入力端子、8
0はデータ入力バッファ、81,82はインバータ、83,84は
NチャネルMISトランジスタであり、I/O線6A,6Bに接続
されている。Dinから入力されたデータはデータ入力バ
ッファによってラッチされる。書込みタイミング信号φ
Wが低電位である間は、読出し状態であるから、前述の
I/Vコンバータの電圧安定化機構が働いて、I/O線6A,6B
はほとんど同電位になっている。φWが高電位になって
トランジスタ83,84が導通すると、6A,6Bにはそれぞれ入
力データの真,補信号が書込まれる。すなわち、入力デ
ータに従って、6A,,6Bの一方が高電位、他方が低電位に
なる。このデータはカラムスイッチ5およびデータ線を
通して選択されたメモリセルに書込まれる。φWが低電
位になると、6A,6Bはほとんど同電位に戻る。Next, a data write operation will be described. FIG. 10 shows an embodiment of the write circuit (8 in FIG. 1), and FIG. 11 shows waveforms of respective parts during the write operation. In the figure, D in is the data input terminal, 8
0 is a data input buffer, 81 and 82 are inverters, 83 and 84 are N-channel MIS transistors, which are connected to I / O lines 6A and 6B. Data input from the D in is latched by the data input buffer. Write timing signal φ
While W is at a low potential, it is in a read state,
The voltage stabilization mechanism of the I / V converter works, and I / O lines 6A and 6B
Are almost at the same potential. phi W is the transistor 83 and 84 is turned on in a high potential, 6A, true each input data to the 6B, complement signal is written. That is, one of 6A and 6B has a high potential and the other has a low potential according to the input data. This data is written to the selected memory cell through the column switch 5 and the data line. When the φ W is a low potential, 6A, 6B return to almost the same potential.
なお、書込み動作時にはI/Vコンバータの動作を停止
させておくのが、消費電力の点で望ましい。そのために
は、たとえば書込み信号φWの逆相の信号を第5図(ま
たは第7図,第8図,第9図)のφEとすればよい。Note that it is desirable to stop the operation of the I / V converter during the writing operation in terms of power consumption. For this purpose, for example, a signal having a phase opposite to that of the write signal phi W 5 (or FIG. 7, FIG. 8, FIG. 9) may be the phi E of.
以上の実施例では、相補形のMISトランジスタを用い
たメモリのセンス回路について述べたが、I/O線の電圧
を安定化する手段と、I/O線の信号電流に関した電圧を
出力する手段とを備えていれば、本発明が同様に適用で
きる。例えば、単一極性のMISトランジスタ、あるいは
それらの組合せ、あるいは他の回路方式を用いてもセン
ス回路を同様に構成することができる。In the above embodiments, the memory sense circuit using the complementary MIS transistor has been described. However, means for stabilizing the voltage of the I / O line and means for outputting a voltage related to the signal current of the I / O line The present invention can be similarly applied as long as the above is provided. For example, the sense circuit can be similarly configured by using a single-polarity MIS transistor, a combination thereof, or another circuit method.
特に、メモリアレーをMISトランジスタ、I/O線のセン
ス回路にバイポーラトランジスタを用いることにより、
素子の性能を活かした、極めて高速,高集積のメモリLS
Iを提供することもできる。In particular, by using MIS transistors for memory arrays and bipolar transistors for I / O line sensing circuits,
Extremely high-speed, highly integrated memory LS utilizing element performance
I can also provide.
本発明によれば、ダイナミックメモリ、あるいはスタ
ティックメモリのセンス回路部での遅延を低減できるた
め、より高速の半導体メモリを提供することができる。
さらに、異なった情報を読出す際の動作不良を防止でき
るため、高信頼性の半導体メモリを提供することができ
る。According to the present invention, a delay in a sense circuit portion of a dynamic memory or a static memory can be reduced, so that a higher-speed semiconductor memory can be provided.
Further, since an operation failure when reading different information can be prevented, a highly reliable semiconductor memory can be provided.
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の一実施例のセンス回路図、第2図は従
来のセンス回路図、第3図は従来のセンス回路の動作を
示す信号タイミング図、第4図および第11図は本発明の
一実施例の動作を示す信号タイミング図、第5図,第6
図,第7図,第8図,第9図は本発明の実施例における
I/Vコンバータの具体的な構成を示す図、第10図は本発
明の実施例における書込み回路の具体的な構成図示す図
である。 5.符号の説明 1……ダイナミックメモリ・セル・アレー、 2……センスアンプ、3……カラムスイッチ、4……ア
ドレス指定信号、5……アドレス・デコーダ、 6A,6B……I/O線、8……書込み回路、 11……I/Vコンバータ、12……電圧増幅器。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a sense circuit diagram of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a conventional sense circuit diagram, FIG. 3 is a signal timing diagram showing the operation of the conventional sense circuit, FIG. FIG. 11 and FIG. 11 are signal timing diagrams showing the operation of one embodiment of the present invention, and FIGS.
FIGS. 7, 7, 8 and 9 show an embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a diagram showing a specific configuration of the I / V converter, and FIG. 10 is a diagram showing a specific configuration diagram of the write circuit in the embodiment of the present invention. 5. Description of reference numerals 1 ... Dynamic memory cell array, 2 ... Sense amplifier, 3 ... Column switch, 4 ... Address designating signal, 5 ... Address decoder, 6A, 6B ... I / O line , 8 ... write circuit, 11 ... I / V converter, 12 ... voltage amplifier.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 清男 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 池永 伸一 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭57−150185(JP,A) 特開 平1−311497(JP,A) 特開 平1−155589(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kiyoo Ito 1-280 Higashi Koikekubo, Kokubunji City, Tokyo Inside the Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Shinichi Ikenaga 1-280 Higashi Koikekubo Kokubunji City, Tokyo Hitachi, Ltd. (56) References JP-A-57-150185 (JP, A) JP-A-1-3111497 (JP, A) JP-A-1-155589 (JP, A)
Claims (9)
ように設けられた複数対のデータ線と、該データ線と該
ワード線との交点に設けられた複数のメモリセルとを持
つメモリセルアレーと、 対の共通線と、 アドレス選択を行うデコーダと、 上記メモリセルアレーの複数対のデータ線と上記対の共
通線との間に設けられ上記複数対のデータ線のうちの選
択されるべき対のデータ線を上記対の共通線に接続させ
るように上記デコーダの出力によって動作されるカラム
スイッチと、 上記カラムスイッチを介して上記共通線に伝達された上
記メモリセルからの情報に対応した信号電流を電圧に変
換する電流電圧交換器とを有し、 上記電流電圧変換器は、上記対の共通線の一方と上記対
の共通線の他方の信号をその対の入力とする第1の増幅
器と該第1の増幅器の対の入力にそれぞれネガテイブフ
イードバックをかけるフイードバック回路とからなり上
記メモリセルからの上記情報に対応した信号を上記第1
の増幅器の出力から得るようにしてなる、 ことを特徴とする半導体メモリ。A plurality of word lines; a plurality of pairs of data lines provided to intersect the word lines; and a plurality of memory cells provided at intersections of the data lines and the word lines. A memory cell array; a pair of common lines; a decoder for selecting an address; and a plurality of pairs of data lines provided between the plurality of pairs of data lines and the pair of common lines of the memory cell array. A column switch operated by the output of the decoder so as to connect the pair of data lines to be connected to the pair of common lines; and information from the memory cell transmitted to the common line via the column switch. A current-to-voltage converter for converting a corresponding signal current into a voltage, wherein the current-to-voltage converter uses one of the pair of common lines and the other signal of the pair of common lines as an input of the pair. With one amplifier The first input to each Negate Eve off Eid put back consists of a feedback circuit the first signal corresponding to said information from the memory cell of the pair of amplifiers
A semiconductor memory obtained from the output of the amplifier.
信号を入力とする第1のインバータと、上記共通線の他
方の信号を入力とする第2のインバータとからなり、 上記フイードバック回路は、上記第1のインバータの入
力にネガテイブフイードバックをかける第1のフイード
バック回路と、上記第2のインバータの入力にネガテイ
ブフイードバックをかける第2のフイードバック回路と
からなる、 ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の半導体
メモリ。2. The first amplifier according to claim 1, wherein said first amplifier comprises a first inverter which receives one signal of said common line and a second inverter which receives another signal of said common line. The circuit comprises: a first feedback circuit for applying negative feedback to an input of the first inverter; and a second feedback circuit for applying negative feedback to an input of the second inverter. 2. The semiconductor memory according to item 1, wherein
ゲートに入力を受けドレインから出力信号を出力する第
1導電形のMISトランジスタを持ち、 上記第1フイードバック回路は、上記第1のインバータ
の出力をそのゲートに受けかつ上記第1のインバータの
入力にフイードバックすべき信号をそのソースに出力す
るMISトランジスタを持ち、 上記第2フイードバック回路は、上記第2のインバータ
の出力をそのゲートに受けかつ上記第2のインバータの
入力にフイードバックすべき信号をそのソースに出力す
るMISトランジスタを持ってなる、 ことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の半導体メ
モリ。3. The first and second inverters each have a first conductivity type MIS transistor that receives an input at a gate and outputs an output signal from a drain, and the first feedback circuit includes a first inverter. The MIS transistor receives the output of the second inverter at its gate and outputs a signal to be fed back to the input of the first inverter to its source. The second feedback circuit receives the output of the second inverter at its gate. 3. The semiconductor memory according to claim 2, further comprising: an MIS transistor that outputs a signal to be fed back to an input of said second inverter to a source thereof.
方の信号を一方の入力とし、基準電圧を他方の入力とす
る第1の差動増幅器と、上記対の共通線の他方の信号を
一方の入力とし、基準電圧を他方の入力とする第2の差
動増幅器とからなり、 上記フイードバック回路は、上記第1の差動増幅器の上
記一方の入力にネガテイブフイードバックをかける第1
のフイードバック回路と、上記第2の差動増幅器の上記
一方の入力にネガテイブフイードバックをかける第2の
フイードバック回路とからなる、 ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の半導体
メモリ。4. The first amplifier includes a first differential amplifier having one signal of one of the pair of common lines as one input and a reference voltage as the other input, and the other of the pair of common lines. And a second differential amplifier having the reference signal as one input and the reference voltage as the other input, wherein the feedback circuit comprises a first differential amplifier for applying a negative feedback to the one input of the first differential amplifier.
2. The semiconductor memory according to claim 1, further comprising a feedback circuit configured to apply negative feedback to said one input of said second differential amplifier.
ゲートが上記一方の入力とされた一方の導電形の第1MIS
トランジスタと、ゲートが上記他方の入力とされた一方
の導電形の第2MISトランジスタと、上記第1、第2MISト
ランジスタの共通接続点に接続された一方の導電形の第
3MISトランジスタと、上記第1MISトランジスタに接続さ
れた他方の導電形の第4MISトランジスタと、上記第2MIS
トランジスタに接続された他方の導電形の第5MISトラン
ジスタとを持ち、かつ上記第1MISトランジスタと上記第
4MISトランジスタとの上記接続点を反転出力端子として
なり、 上記第1のフイードバック回路は、上記第1の差動増幅
器の上記反転出力端子と上記第1の差動増幅器の上記一
方の入力との間に設けられた抵抗素子からなり、 上記第2のフイードバック回路は、上記第2の差動増幅
器の上記反転出力端子と上記第2の差動増幅器の上記一
方の入力との間に設けられた抵抗素子からなる、 ことを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の半導体メ
モリ。5. The first and second differential amplifiers each have a first MIS of one conductivity type whose gate is the one input.
A transistor, a second MIS transistor of one conductivity type whose gate is the other input, and a second MIS transistor of one conductivity type connected to a common connection point of the first and second MIS transistors.
A third MIS transistor, a fourth MIS transistor of the other conductivity type connected to the first MIS transistor, and a second MIS transistor.
A fifth MIS transistor of the other conductivity type connected to the transistor, and the first MIS transistor and the fifth MIS transistor
The connection point with the 4MIS transistor is used as an inverted output terminal, and the first feedback circuit is provided between the inverted output terminal of the first differential amplifier and the one input of the first differential amplifier. The second feedback circuit includes a resistor provided between the inverting output terminal of the second differential amplifier and the one input of the second differential amplifier. The semiconductor memory according to claim 4, comprising an element.
ゲートが上記一方の入力とされた一方の導電形の第1MIS
トランジスタと、ゲートが上記他方の入力とされた一方
の導電形の第2MISトランジスタと、上記第1、第2MISト
ランジスタの共通接続点に接続された一方の導電形の第
3MISトランジスタと、上記第1MISトランジスタに接続さ
れた他方の導電形の第4MISトランジスタと、上記第2MIS
トランジスタに接続された他方の導電形の第5MISトラン
ジスタとを持ち、かつ上記第1MISトランジスタと上記第
4MISトランジスタとの上記接続点を反転出力端子として
なり、 上記第1のフイードバック回路は、ゲートが上記第1の
差動増幅器の上記反転出力端子に接続されソースが上記
第1の差動増幅器の上記一方の入力に接続されたMISト
ランジスタからなり、 上記第2のフイードバック回路は、ゲートが上記第2の
差動増幅器の上記反転出力端子に接続されソースが上記
第2の差動増幅器の上記一方の入力に接続されたMISト
ランジスタからなる、 ことを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の半導体メ
モリ。6. The first and second differential amplifiers each include a first conductive type first MIS having a gate as the one input.
A transistor, a second MIS transistor of one conductivity type whose gate is the other input, and a second MIS transistor of one conductivity type connected to a common connection point of the first and second MIS transistors.
A third MIS transistor, a fourth MIS transistor of the other conductivity type connected to the first MIS transistor, and a second MIS transistor.
A fifth MIS transistor of the other conductivity type connected to the transistor, and the first MIS transistor and the fifth MIS transistor
The connection point with the 4MIS transistor is used as an inverted output terminal. The first feedback circuit has a gate connected to the inverted output terminal of the first differential amplifier, and a source connected to the first differential amplifier. The second feedback circuit comprises a MIS transistor connected to one input, and the second feedback circuit has a gate connected to the inverted output terminal of the second differential amplifier, and a source connected to the one of the second differential amplifier. 5. The semiconductor memory according to claim 4, comprising a MIS transistor connected to an input.
ゲートが上記一方の入力とされた一方の導電形の第1MIS
トランジスタと、ゲートが上記他方の入力とされた一方
の導電形の第2MISトランジスタと、上記第1、第2MISト
ランジスタの共通接続点に接続された一方の導電形の第
3MISトランジスタと、上記第1MISトランジスタに接続さ
れた他方の導電形の第4MISトランジスタと、上記第2MIS
トランジスタに接続された他方の導電形の第5MISトラン
ジスタとを持ち、かつ上記第2MISトランジスタと上記第
5MISトランジスタとの上記接続点を非反転出力端子とし
てなり、 上記第1のフイードバック回路は、ゲートが上記第1の
差動増幅器の上記非反転出力端子に接続されドレインが
上記第1の差動増幅器の上記一方の入力に接続されたMI
Sトランジスタからなり、 上記第2のフイードバック回路は、ゲートが上記第2の
差動増幅器の上記非反転出力端子に接続されドレインが
上記第2の差動増幅器の上記一方の入力に接続されたMI
Sトランジスタからなる、 ことを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の半導体メ
モリ。7. The first and second differential amplifiers each have a first MIS of one conductivity type whose gate is the one input.
A transistor, a second MIS transistor of one conductivity type whose gate is the other input, and a second MIS transistor of one conductivity type connected to a common connection point of the first and second MIS transistors.
A third MIS transistor, a fourth MIS transistor of the other conductivity type connected to the first MIS transistor, and a second MIS transistor.
A fifth MIS transistor of the other conductivity type connected to the transistor, wherein the second MIS transistor and the fifth MIS transistor are connected to each other;
The connection point with the 5MIS transistor is used as a non-inverting output terminal. The first feedback circuit has a gate connected to the non-inverting output terminal of the first differential amplifier, and a drain connected to the first differential amplifier. Connected to one of the above inputs
The second feedback circuit includes an S-transistor, a gate of which is connected to the non-inverting output terminal of the second differential amplifier, and a drain of which is connected to the one input of the second differential amplifier.
5. The semiconductor memory according to claim 4, comprising an S transistor.
を構成するメモリセルであり、 上記各対のデータ線にメモリセルからの読み出し情報を
増幅するセンスアンプが設けられてなる、 ことを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第7項の
うちの何れか1に記載の半導体メモリ。8. The memory cell according to claim 1, wherein said memory cell is a memory cell constituting a dynamic memory, and said pair of data lines is provided with a sense amplifier for amplifying information read from said memory cell. The semiconductor memory according to any one of claims 1 to 7, wherein:
上記情報を書き込む書き込み回路を有し、 上記書き込み回路が書き込み動作を行う際、上記第1の
増幅器の動作を停止せしめることを特徴とする特許請求
の範囲第1項乃至第9項のうちの何れか1に記載の半導
体メモリ。9. A writing circuit connected to the common line and writing the information in the memory cell, wherein the operation of the first amplifier is stopped when the writing circuit performs a writing operation. The semiconductor memory according to any one of claims 1 to 9, wherein:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63141703A JP2723909B2 (en) | 1987-06-19 | 1988-06-10 | Semiconductor memory |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15111387 | 1987-06-19 | ||
| JP62-151113 | 1987-06-19 | ||
| JP63141703A JP2723909B2 (en) | 1987-06-19 | 1988-06-10 | Semiconductor memory |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0198189A JPH0198189A (en) | 1989-04-17 |
| JP2723909B2 true JP2723909B2 (en) | 1998-03-09 |
Family
ID=26473891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63141703A Expired - Fee Related JP2723909B2 (en) | 1987-06-19 | 1988-06-10 | Semiconductor memory |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2723909B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1050060A (en) * | 1996-07-25 | 1998-02-20 | Texas Instr Inc <Ti> | Device and method for data bus using non-differential current mode technology |
| US6333866B1 (en) * | 1998-09-28 | 2001-12-25 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor device array having dense memory cell array and heirarchical bit line scheme |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0831278B2 (en) * | 1981-03-09 | 1996-03-27 | 富士通株式会社 | Memory circuit |
| JPS60256997A (en) * | 1984-06-01 | 1985-12-18 | Hitachi Ltd | Semiconductor storage device |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP63141703A patent/JP2723909B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0198189A (en) | 1989-04-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2607309B2 (en) | Semiconductor memory sense amplifier drive circuit | |
| JPH05198184A (en) | Electric current sense amplifier of sram | |
| JPH0750556A (en) | Flip-flop type amplifier circuit | |
| JP2756797B2 (en) | FET sense amplifier | |
| JPH0685564A (en) | Amplifier circuit | |
| US5519662A (en) | Semiconductor memory device | |
| KR960013844B1 (en) | Sense circuit and semiconductor memory ahving a current-voltage converter circuit | |
| EP0449311B1 (en) | Signal amplifier circuit and semiconductor memory device using the same | |
| JPH05274876A (en) | Semiconductor memory device | |
| JPH0462437B2 (en) | ||
| JP2766056B2 (en) | Current sense amplifier | |
| JP2723909B2 (en) | Semiconductor memory | |
| US6707703B2 (en) | Negative voltage generating circuit | |
| JPH07211081A (en) | Semiconductor memory device | |
| US4899309A (en) | Current sense circuit for a ROM system | |
| US5412607A (en) | Semiconductor memory device | |
| JP3113372B2 (en) | Data sense circuit | |
| JPS6196587A (en) | Sense amplifier circuit | |
| KR100326236B1 (en) | Sense amplifier using MOS/BIPOLAR composition transistor | |
| JP2523736B2 (en) | Semiconductor memory device | |
| JPS6129496A (en) | Semiconductor memory | |
| JP3154502B2 (en) | Signal amplifier circuit and semiconductor memory device using the same | |
| JPS62165787A (en) | Semiconductor memory device | |
| JPS6235191B2 (en) | ||
| JPH06215574A (en) | Memory system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |