JP2726142B2 - Fluidic flow meter - Google Patents
Fluidic flow meterInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、設定流量以上の流量はフルイディック素子
にて流量を計測し、以下の場合にはノズル部に挿入され
たフローセンサにて流量を計測するフルイディック流量
計に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention measures the flow rate at a flow rate equal to or higher than a set flow rate by a fluidic element, and in the following cases, the flow rate is measured by a flow sensor inserted into a nozzle portion. The present invention relates to a fluidic flow meter for measuring the flow rate.
［従来の技術］ フルイディック流量計は、液体振動を素子内において
発生させ、この振動を電気的にとらえて被測定流体の流
量を演算する方式であることから、比較的流量が大きい
場合には問題はないが、小流量域においては流体振動の
発生に問題が生じて測定誤差を生む心配がある。[Prior art] Fluidic flow meters generate liquid vibration in an element and calculate the flow rate of the fluid to be measured by electrically capturing the vibration. Although there is no problem, in a small flow rate region, there is a concern that a problem may occur in the generation of fluid vibration and a measurement error may occur.
そこで、一定流量以上についてはフルイディック素子
にて流量を計測し、以下についてはノズル部分にフロー
センサを挿入してこのフローセンサで計測するという、
流量別使い分けの提案がある（特開平１−58118）。Therefore, for a certain flow rate or more, measure the flow rate with a fluidic element, and for the following, insert a flow sensor in the nozzle part and measure with this flow sensor.
There is a proposal for different usage according to flow rate (Japanese Patent Laid-Open No. 1-58118).
［従来技術の課題］ しかし、上記公知例の場合、フルイディック素子で発
生する流体振動を検出するセンサ及びフローセンサ並び
にそれら２つのセンサと演算等を行う電子回路を結ぶリ
ード線において断線やショート或いは接触不良が発生し
た場合、それに気付かずに流量を測定してしまう心配が
ある。[Problems of the Related Art] However, in the case of the above-described known example, disconnection or short-circuit occurs in a sensor for detecting fluid vibration generated by a fluidic element, a flow sensor, and a lead wire connecting the two sensors to an electronic circuit for performing calculations and the like. When poor contact occurs, there is a concern that the flow rate may be measured without noticing it.
［課題を解決するための手段］ 本発明は、斯る点に鑑みて提案されるもので、その構
成は以下のとおりである。[Means for Solving the Problems] The present invention has been proposed in view of the above points, and has the following configuration.
設定流量以上の流量はフルイディック素子にて流量を
計測し、以下の場合にはノズル部に挿入されたフローセ
ンサにて流量を計測するフルイディック流量計におい
て、設定流量以上の流量信号がフローセンサ側からのみ
入力される場合、及び設定流量以上の流量信号がフルイ
ディック素子側からのみ入力される場合、または設定流
量以下の流量信号がフローセンサ側からのみ入力される
場合、及び設定流量以下の流量信号がフルイディック素
子側からのみ入力される場合に異常と判定して警報信号
を発する異常判定回路を設けたこと、を特徴とするフル
イディック流量計。In the case of a fluid flow meter that measures the flow rate with a fluidic element when the flow rate is higher than the set flow rate and measures the flow rate with a flow sensor inserted in the nozzle in the following cases, a flow signal that exceeds the set flow rate Side, and when a flow signal higher than the set flow rate is input only from the fluidic element side, or when a flow signal lower than the set flow rate is input only from the flow sensor side, and when lower than the set flow rate A fluid flow meter, comprising: an abnormality determination circuit that determines an abnormality when a flow signal is input only from the fluidic element side and issues an alarm signal.
上記フルイディック流量計は、設定された流量以上に
ついてはフルイディック素子で発生する流体振動を計測
し、この計測された流体振動は電気信号に変換され、演
算回路に入力されて流量換算が行われる。同じように、
設定流量以下については、フローセンサからの出力信号
で計測する。The fluidic flow meter measures fluid vibration generated by the fluidic element for a flow rate equal to or higher than a set flow rate, and the measured fluid vibration is converted into an electric signal, which is input to an arithmetic circuit to perform flow rate conversion. . Similarly,
When the flow rate is equal to or less than the set flow rate, measurement is performed using an output signal from the flow sensor.
上記計測はフルイディック素子とフローセンサの双方
から常時信号が入力されており、設定値以上か以下かの
判定は電気回路で行う。In the above measurement, a signal is always input from both the fluidic element and the flow sensor, and it is determined by an electric circuit whether the value is equal to or greater than the set value.
そこで、この双方から入力される出力信号を監視し、
少なくとも次の場合に何れか一方に異常があると判定す
る。Therefore, monitor the output signals input from both,
It is determined that there is an abnormality in at least one of the following cases.
a.設定流量以上の流量信号がフローセンサ側からのみ入
力される場合。a. When a flow rate signal higher than the set flow rate is input only from the flow sensor side.
b.設定流量以上の流量信号がフルイディック素子側から
のみ入力される場合。b. When a flow rate signal higher than the set flow rate is input only from the fluidic element side.
c.設定流量以下の流量信号がフローセンサ側からのみ入
力される場合。c. When a flow signal less than the set flow rate is input only from the flow sensor side.
d.設定流量以下の流量信号がフルイディック素子側から
のみ入力される場合。d. When a flow rate signal below the set flow rate is input only from the fluidic element side.
表１は、フルイディック素子で計測する流量を150/
h以上、フローセンサで計測する流量を０〜150/hの設
定した場合の異常判定基準の一例にして、この組み合わ
せ例は正常で、これ以外の場合には何れか一方又は双方
が異常であると判定する。Table 1 shows that the flow rate measured by the fluidic element is 150 /
h or more, as an example of an abnormality determination criterion when the flow rate measured by the flow sensor is set to 0 to 150 / h, this combination example is normal, and in any other case, one or both are abnormal. Is determined.
［実施例］ 第１図に本発明を実施したフルイディック流量計を示
す。１はフルイディック素子にして、このフルイディッ
ク素子１はノズル２と、付着壁３、3aと、フィードバッ
グ流路４、4aと、流体振動検出口５、5aと、から成る。 Embodiment FIG. 1 shows a fluidic flowmeter according to the present invention. Numeral 1 denotes a fluidic element. The fluidic element 1 includes a nozzle 2, attachment walls 3, 3a, feed bag flow paths 4, 4a, and fluid vibration detection ports 5, 5a.
６は前記ノズル２部分に挿入されたフローセンサにし
て、このフローセンサ６で検出された流量はフローセン
サ側流量信号変換回路７で電気信号に変換されて流量演
算・表示回路８側に出力される。Reference numeral 6 denotes a flow sensor inserted into the nozzle 2. The flow rate detected by the flow sensor 6 is converted into an electric signal by a flow sensor side flow signal conversion circuit 7 and output to a flow rate calculation / display circuit 8. You.
９は前記流体振動検出口５、5aに連通された流体振動
検出センサをもち、この流体振動検出センサで検出され
た流体振動を流量信号に変換するフルイディック素子側
流量信号変換回路にして、この流量信号変換回路９で電
気信号に変換された信号は流量演算・表示回路８側に出
力される。Reference numeral 9 denotes a fluidic element-side flow signal conversion circuit which has a fluid vibration detection sensor connected to the fluid vibration detection ports 5 and 5a and converts the fluid vibration detected by the fluid vibration detection sensor into a flow signal. The signal converted into the electric signal by the flow signal conversion circuit 9 is output to the flow calculation / display circuit 8 side.
流量演算・表示回路８は入力された電気信号を流量に
演算して積算し、表示する回路と、フルイディック素子
１とフローセンサ６を設定流量値に基づいて使い分ける
回路と、流量信号変換回路７と９からの出力（入力）
が、設定流量以上の流量信号がフローセンサ６側からの
み入力される場合、及び設定流量以上の流量信号がフル
イディック素子１側からのみ入力される場合、又は設定
流量以下の流量信号がフローセンサ６側からのみ入力さ
れる場合、及び設定流量以下の流量信号がフルイディッ
ク素子１側からのみ入力される場合に異常があると判定
する異常判定回路と、が組み込まれている。第２図にセ
ンサ異常を警報する場合のロジックを示す。The flow rate calculation / display circuit 8 calculates and integrates the input electric signal into a flow rate, integrates and displays the flow rate, a circuit that selectively uses the fluidic element 1 and the flow sensor 6 based on the set flow rate value, and a flow rate signal conversion circuit 7 (Input) from and 9
However, when a flow signal higher than the set flow rate is input only from the flow sensor 6 side, and when a flow signal higher than the set flow rate is input only from the fluidic element 1 side, or when a flow signal lower than the set flow rate is received An abnormality determination circuit that determines that there is an abnormality when the signal is input only from the side 6 and when a flow signal equal to or less than the set flow rate is input only from the fluidic element 1 is incorporated. FIG. 2 shows a logic for alarming a sensor abnormality.
異常と判定した場合、警報を発し、同時にメータの計
測を停止するか、一定時間監視して回復した場合はこの
間の事実を記録し、そのまま計測を継続する、等の対応
は任意に決める。If it is determined that there is an abnormality, an alarm is issued, and at the same time, the measurement of the meter is stopped or, if the measurement is recovered for a certain period of time, the fact during this time is recorded and the measurement is continued as it is.
［本発明の効果］ 本発明は以上のように、フルイディック素子とフロー
センサの出力を異常判定回路で監視し、異常と判定した
場合に少なくとも警報を発するようにしたので、流体振
動検出センサ及びフローセンサ、並びにそれら２つのセ
ンサと電子回路を結ぶ回線の断線、ショート、接触不良
等の異常に気付かずに計測を継続してしまうという心配
がない。[Effects of the present invention] As described above, the present invention monitors the outputs of the fluidic element and the flow sensor by the abnormality determination circuit, and issues at least an alarm when it is determined that the abnormality has occurred. There is no fear that the measurement will be continued without noticing any abnormality such as disconnection, short circuit, or poor contact of the flow sensor and the line connecting the two sensors and the electronic circuit.
第１図は本発明を実施したフルイディック流量計の概念
図、第２図は異常と判定する場合の説明図である。 １……フルイディック素子 ２……ノズル ６……フローセンサ ７……フローセンサ側流量信号変換回路 ８……流量演算・表示回路 ９……フルイディック素子側流量信号変換回路FIG. 1 is a conceptual diagram of a fluidic flow meter embodying the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram in a case where an abnormality is determined. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fluidic element 2 ... Nozzle 6 ... Flow sensor 7 ... Flow sensor side flow signal conversion circuit 8 ... Flow rate calculation / display circuit 9 ... Fluidic element side flow signal conversion circuit
Claims (1)
にて流量を計測し、以下の場合にはノズル部に挿入され
たフローセンサにて流量を計測するフルイディック流量
計において、設定流量以上の流量信号がフローセンサ側
からのみ入力される場合、及び設定流量以上の流量信号
がフルイディック素子側からのみ入力される場合、また
は設定流量以下の流量信号がフローセンサ側からのみ入
力される場合、及び設定流量以下の流量信号がフルイデ
ィック素子側からのみ入力される場合に異常と判定して
警報信号を発する異常判定回路を設けたこと、を特徴と
するフルイディック流量計。1. A fluid flow meter which measures a flow rate above a set flow rate with a fluidic element and measures a flow rate with a flow sensor inserted into a nozzle in the following cases. When the flow signal is input only from the flow sensor side, and when the flow signal above the set flow rate is input only from the fluidic element side, or when the flow signal below the set flow rate is input only from the flow sensor side, A fluid flow meter provided with an abnormality determination circuit that determines an abnormality and issues an alarm signal when a flow signal equal to or less than the set flow rate is input only from the fluidic element side.
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15709590A JP2726142B2 (en) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | Fluidic flow meter |
| FR9107231A FR2663416B1 (en) | 1990-06-14 | 1991-06-13 | FLUID FLOW METER AND METHODS FOR CORRECTING THE ZERO POINT AND THE GAIN OF A FLOW SENSOR. |
| GB9112779A GB2246630B (en) | 1990-06-14 | 1991-06-13 | Fluid flowmeter |
| US07/714,678 US5298886A (en) | 1990-06-14 | 1991-06-13 | Fluidic flowmeter equipped with a micro flow sensor |
| KR1019910009829A KR940003273B1 (en) | 1990-06-14 | 1991-06-14 | Fluidic flowmeter having micro flow sensor |
| DE19914119732 DE4119732C2 (en) | 1990-06-14 | 1991-06-14 | Zero point correction method and range factor correction method |
| GB9323179A GB2272288B (en) | 1990-06-14 | 1993-11-10 | Fluid flowmeter |
| GB9323178A GB2272287B (en) | 1990-06-14 | 1993-11-10 | Fluid flowmeter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15709590A JP2726142B2 (en) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | Fluidic flow meter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447224A JPH0447224A (en) | 1992-02-17 |
| JP2726142B2 true JP2726142B2 (en) | 1998-03-11 |
Family
ID=15642141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15709590A Expired - Fee Related JP2726142B2 (en) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | Fluidic flow meter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2726142B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3068649B2 (en) | 1992-04-29 | 2000-07-24 | シュラムバーガー アンデュストリエ ソシエテ アノニム | Flow meter with fluid oscillator |
-
1990
- 1990-06-14 JP JP15709590A patent/JP2726142B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3068649B2 (en) | 1992-04-29 | 2000-07-24 | シュラムバーガー アンデュストリエ ソシエテ アノニム | Flow meter with fluid oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0447224A (en) | 1992-02-17 |
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