JP2740966B2 - High frequency dielectric component and method of manufacturing the same - Google Patents
High frequency dielectric component and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は自動車電話、携帯電話、コードレス電話など
の無線通信機に使用される空中線共用器(デュプレク
サ)や電圧制御発振器等に使用される共振器、あるいは
CATV用チューナに使用されるフィルタなど、マイクロ波
の周波数領域に使用される高周波誘電体部品とその製造
方法に関する。The present invention relates to a resonator used for an antenna duplexer used for a radio communication device such as a car phone, a mobile phone, and a cordless phone, a resonator used for a voltage controlled oscillator, and the like. Or
The present invention relates to a high-frequency dielectric component used in a microwave frequency region, such as a filter used for a CATV tuner, and a method of manufacturing the same.
従来の技術 高周波誘電体部品は、自動車電話などの無線通信機な
ど、マイクロ波の周波数領域(1GHz〜30GHz)において
使用されるものであって、代表的なものとして共振器、
フィルタなどがある。2. Description of the Related Art A high-frequency dielectric component is used in a microwave frequency range (1 GHz to 30 GHz), such as a wireless communication device such as an automobile telephone, and typically includes a resonator,
There are filters and so on.
従来、この種の高周波誘電体部品としては、高誘電率
材料を使用することによって、高周波の波長を真空中の
εr −1/2(εr:比誘電率)の長さに短縮させ、該周波
数における1波長、1/2波長、あるいは1/4波長のマイク
ロ波を高周波誘電体部品の中に閉じ込め、所定の作用効
果が得られるよう、小形に構成したものが一般的に知ら
れている。Conventionally, as a high-frequency dielectric component of this type, by using a high dielectric constant material, the wavelength of the high frequency is reduced to the length of ε r -1/2 (ε r : relative permittivity) in a vacuum, It is generally known that a microwave having a wavelength of 1 wavelength, 1/2 wavelength, or 1/4 wavelength at the frequency is confined in a high-frequency dielectric component and has a small size so as to obtain a predetermined effect. I have.
第12図(a)、(b)は、この種の高周波誘電体部品
として、従来から使用されている共振器の一例を示して
いる。FIGS. 12 (a) and 12 (b) show an example of a resonator conventionally used as this kind of high-frequency dielectric component.
この共振器は、同軸型誘電体共振器と呼称されるもの
であって、円筒形状に形成された誘電体部品本体51の内
周面、つまり空洞部52の壁面に内部電極53が形成される
と共に、該誘電体部品本体51の外周面には外部電極54が
形成されている。This resonator is called a coaxial dielectric resonator, and an internal electrode 53 is formed on the inner peripheral surface of a dielectric component main body 51 formed in a cylindrical shape, that is, on the wall surface of a cavity 52. At the same time, an external electrode 54 is formed on the outer peripheral surface of the dielectric component body 51.
また、第13図(a)、(b)は高周波誘電体部品の他
の例として、従来から使用されているフィルタの一例を
示している。FIGS. 13A and 13B show an example of a conventionally used filter as another example of the high-frequency dielectric component.
このフィルタは、ブロック型フィルタと呼称されるも
のであり、略直方体形状に形成された誘電体部品本体51
に左右一対の空洞部52、52が貫設されると共に、これら
空洞部52、52の壁面にはそれぞれ内部電極53、53が形成
され、さらに前記誘電体部品本体51の外面には外部電極
54が形成されている。This filter is called a block filter, and has a dielectric component body 51 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.
A pair of left and right cavities 52, 52 penetrates, and internal electrodes 53, 53 are formed on the wall surfaces of these cavities 52, 52, respectively.
54 are formed.
このフィルタは構造的には前記共振器が2個連設され
た形態となっている。This filter has a structure in which two resonators are connected in series.
前記共振器及び前記フィルタにおいて、誘電体部品本
体51は、バインダを加えたセラミックス粉末を金型でプ
レス成形して成形体を形成するか、前記セラミックス粉
末とバインダの混合体を押し出し成形機により成形して
成形体を形成し、該成形体を焼結することにより製造さ
れていた。In the resonator and the filter, the dielectric component body 51 is formed by pressing a ceramic powder to which a binder is added with a mold to form a molded body, or molding a mixture of the ceramic powder and the binder by an extrusion molding machine. To form a molded body and sintering the molded body.
この他に従来から使用されている高周波誘電体部品と
しては、第14図(a)、(b)に示すようなマイクロス
トリップラインを応用した共振器が知られている。この
種の共振器は略方形平板状の誘電体部品本体51の表面に
前記内部電極53に対応する電極部55および励振電極59が
形成され、裏面には前記外部電極54に対応する電極56が
設けられている。そして、この種の共振器は共振周波数
におけるQ値を高くするため電極部55をリング状に形成
したものが一般に用いられている。In addition to this, a resonator using a microstrip line as shown in FIGS. 14 (a) and 14 (b) is known as a high-frequency dielectric component conventionally used. In this type of resonator, an electrode portion 55 corresponding to the internal electrode 53 and an excitation electrode 59 are formed on the surface of a substantially rectangular flat plate-shaped dielectric component body 51, and an electrode 56 corresponding to the external electrode 54 is formed on the back surface. Is provided. In general, a resonator of this type in which the electrode portion 55 is formed in a ring shape to increase the Q value at the resonance frequency is generally used.
また、リング状の電極部55にスリット部57を設け、共
振周波数における1/2波長を利用するようにした共振器
もある。There is also a resonator in which a slit portion 57 is provided in the ring-shaped electrode portion 55 so as to use a half wavelength at the resonance frequency.
発明が解決しようとする課題 第12図に示した同軸型誘電体共振器や第13図に示した
ブロック型フィルタにおいては、前述の如く、誘電体部
品本体51の製造過程において、プレス成形や押し出し成
形により成形体を製造していたので、空洞部52の形状を
U字形やS字形などの複雑な形状に形成したい場合に
は、製造が困難となり、特に押し出し成形によっては形
成することができないという欠点があった。Problems to be Solved by the Invention In the coaxial dielectric resonator shown in FIG. 12 and the block filter shown in FIG. 13, as described above, in the process of manufacturing the dielectric component body 51, press molding or extrusion is performed. Since the molded body was manufactured by molding, if it is desired to form the shape of the hollow portion 52 into a complicated shape such as a U-shape or an S-shape, the manufacturing becomes difficult, and it cannot be formed especially by extrusion molding. There were drawbacks.
また、空洞部52の形状が複雑になると、所謂メタライ
ズの点においても安定した内部電極53の形成が困難であ
るという欠点があった。Further, when the shape of the cavity 52 becomes complicated, there is a disadvantage that it is difficult to form a stable internal electrode 53 even in terms of so-called metallization.
さらに、第15図(a)、(b)に示すような所謂ステ
ップインピーダンス構造を有する共振器においては、空
洞部52の大径部58における壁面の肉厚tが薄くなり、こ
の部分で亀裂等が生じ、破損し易いという欠点があっ
た。Further, in a resonator having a so-called step impedance structure as shown in FIGS. 15 (a) and 15 (b), the wall thickness t of the large-diameter portion 58 of the cavity 52 becomes thin, and cracks and the like occur in this portion. And there is a disadvantage that it is easily broken.
前記空洞部52の形状をリング状あるいはスリットを設
けたリング状などにして高周波誘電体部品内のマイクロ
波伝送路を長くすることは、一定体積内により長い電磁
波を閉じ込めようとする方法として高周波誘電体部品の
軽薄短小化を図る上で重要なことである。Extending the microwave transmission path in the high-frequency dielectric component by making the shape of the cavity 52 ring-shaped or ring-shaped with slits is a method of confining a longer electromagnetic wave within a certain volume. This is important in reducing the weight and weight of body parts.
しかし、従来においては、前述の如く、プレス成形な
どの後に機械加工工程などがあるため、複雑な形状の空
洞部52を形成することができず、軽薄短小化を図る上で
限界があるという問題点があった。However, in the related art, as described above, since there is a machining process after press molding or the like, it is not possible to form the cavity 52 having a complicated shape, and there is a limit in reducing the size and weight. There was a point.
また、マイクロストリップラインを応用したものにつ
いては、上述したような製造上の問題は生じないが、導
体部分が外部に露出し、この導体部分の片面が空気と接
しているため、実効比誘電率が低くなり、また放射損失
を伴い、外界の影響も受けやすく、信頼性に欠けるとい
う問題点があった。In the case where a microstrip line is applied, the above-described manufacturing problem does not occur, but since the conductor is exposed to the outside and one surface of the conductor is in contact with air, the effective relative permittivity is reduced. However, there is a problem that the reliability is low, the radiation loss is high, the system is easily affected by the outside world, and the reliability is low.
本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであっ
て、実効比誘電率を低下させることなく、設計の自由度
を上げ、薄形化、小形化を図ることができる高周波誘電
体部品とその製造方法を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such a problem, and without reducing the effective relative permittivity, increases the degree of freedom in design, and achieves a high-frequency dielectric component that can be made thinner and smaller. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method thereof.
課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明に係る高周波誘電体
部品は、誘電体ブロックの内部に2個の平板状の内部電
極が空隙なく、かつこれらの主面が上下方向に重なるよ
うに埋設され、前記誘電体ブロックの外表面には第1の
外部電極が形成され、該第1の外部電極には前記2個の
内部電極のうちの1個の内部電極の一端が接続される一
方、他の内部電極の一端は開放端面に露出し、前記2個
の内部電極の他端には前記誘電体ブロックの外表面に形
成された第2の外部電極が接続され、該第2の外部電極
と前記第1の外部電極とは切り離されていることを特徴
としている(1)。Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, a high-frequency dielectric component according to the present invention has a structure in which two flat internal electrodes have no gaps inside a dielectric block, and their main surfaces are vertically oriented. A first external electrode is formed on the outer surface of the dielectric block, and one end of one of the two internal electrodes is connected to the first external electrode. While being connected, one end of the other internal electrode is exposed to the open end face, and the other end of the two internal electrodes is connected to a second external electrode formed on the outer surface of the dielectric block. The second external electrode and the first external electrode are separated from each other (1).
また、誘電体ブロックの内部に2個の平板状の内部電
極が空隙なく、かつこれらの主面が上下方向に重なるよ
うに埋設される一方、前記誘電体ブロックの前記内部電
極間には所定深さのスリットが形成され、前記誘電体ブ
ロックの外表面には前記内部電極の一端に接続された外
部電極が形成され、前記2個の内部電極の他端は開放端
面に露出していることを特徴としている(2)。In addition, two flat plate-like internal electrodes are buried inside the dielectric block such that there are no gaps and their main surfaces are vertically overlapped, while a predetermined depth is provided between the internal electrodes of the dielectric block. A slit is formed, an external electrode connected to one end of the internal electrode is formed on the outer surface of the dielectric block, and the other ends of the two internal electrodes are exposed to the open end faces. (2).
その第1の製造方法は、片面に内部電極を形成する高
周波用誘電体グリーンシートの所定部位に、所定厚さの
有機物を印刷した後、少なくとも該印刷面に適数枚の高
周波用誘電体グリーンシートを積層し、次いでこれらを
圧着後焼結成形して前記有機物が燃焼除去された空隙を
有する誘電体ブロックを形成した後、前記空隙に溶融金
属を充満凝固させて内部電極を形成し、この後前記誘電
体ブロックの外表面に外部電極を形成することを特徴と
している。In the first manufacturing method, an organic material having a predetermined thickness is printed on a predetermined portion of a high-frequency dielectric green sheet on which an internal electrode is formed on one side, and at least an appropriate number of high-frequency dielectric green sheets are printed on at least the printed surface. After laminating the sheets, then pressing and sintering them to form a dielectric block having voids in which the organic substances have been burned off, then filling the voids with molten metal and solidifying to form internal electrodes, After that, an external electrode is formed on an outer surface of the dielectric block.
第2の製造方法は、片面に内部電極を形成する高周波
用誘電体グリーンシートの所定部位に、所定厚さの有機
物を印刷した高周波用誘電体グリーンシートを前記内部
電極相互の主面が所定の間隔をもって上下方向に重なる
ように積層した後、これらを圧着後焼結成形して前記有
機物が燃焼除去された空隙を有する誘電体ブロックを形
成し、次いで前記空隙に溶融金属を充満凝固させて内部
電極を形成した後、さらに前記誘電体ブロックの外表面
に外部電極を形成することを特徴としている。In a second manufacturing method, a high-frequency dielectric green sheet on which an organic material having a predetermined thickness is printed is formed on a predetermined portion of a high-frequency dielectric green sheet having an internal electrode formed on one surface, and the main surfaces of the internal electrodes are arranged at predetermined positions. After laminating so as to be overlapped in the vertical direction with an interval, these are pressed and sintered and formed to form a dielectric block having a void from which the organic matter has been removed by burning, and then the molten metal has been filled and solidified by filling the void. After the electrodes are formed, an external electrode is further formed on the outer surface of the dielectric block.
第3の製造方法は、上記した第2の製造方法におい
て、空隙に溶融金属を充満凝固させて内部電極を形成し
た後、積層形成した内部電極間を接続し、さらに前記誘
電体ブロックの外表面に外部電極を形成することを特徴
としている。A third manufacturing method is the same as the above-described second manufacturing method, wherein the gap is filled with a molten metal to solidify, an internal electrode is formed, the internal electrodes laminated are connected, and the outer surface of the dielectric block is further formed. An external electrode is formed on the substrate.
作用 上記(1)記載の高周波誘電体部品によれば、安定し
た高い実効比誘電率を有する高周波誘電体部品が得られ
ることとなり、第2の外部電極を共振線路の一部として
動作させ得ると共に、内部電極の開放端側の共振線路間
容量を増加し得るため、共振波長の短縮作用が得られる
こととなり、前記内部電極の長さを短く設定し得ること
となる。また2個の平板状の内部電極が折り返し型の1
個の共振電極として動作し、しかも該内部電極間をつな
ぐ前記第2の外部電極が誘電体ブロックの内部に埋設さ
れていないため、埋設されたタイプのものに比べて前記
誘電体ブロックの長さをそれだけ短く設定し得ることと
なる。また平板状の内部電極が水平方向に並んだタイプ
のものに比べて前記誘電体ブロックの幅を短く設定し得
ることとなり、これらの結果、小形化を図り得ることと
なる。According to the high-frequency dielectric component described in the above (1), a high-frequency dielectric component having a stable high effective relative permittivity can be obtained, and the second external electrode can be operated as a part of the resonance line, and Since the capacitance between the resonance lines on the open end side of the internal electrode can be increased, the effect of shortening the resonance wavelength can be obtained, and the length of the internal electrode can be set short. Also, two flat internal electrodes are folded type 1
Since the second external electrode that operates as one resonant electrode and connects the internal electrodes is not embedded in the dielectric block, the length of the dielectric block is longer than that of the embedded type. Can be set shorter accordingly. Further, the width of the dielectric block can be set to be shorter than that of a type in which flat internal electrodes are arranged in a horizontal direction, and as a result, the size can be reduced.
また、上記(2)記載の高周波誘電帯部品によれば、
安定した高い実効比誘電率を有する高周波誘電体部品が
得られ、水平方向に並ぶ内部電極間にスリットが形成さ
れたタイプのものに比べ、前記スリットが対向する内部
電極の主面間に挟まれているため、両共振器の結合度の
変化量を大きくして、これらの制御を容易にし得ると共
に、前記誘電体ブロックの幅を短く設定し得ることとな
り、小形化を図り得ることとなる。According to the high-frequency dielectric band component described in the above (2),
A high-frequency dielectric component having a stable and high effective relative permittivity is obtained, and the slit is sandwiched between the main surfaces of the opposed internal electrodes, compared to a type in which a slit is formed between internal electrodes arranged in a horizontal direction. Therefore, the amount of change in the degree of coupling between the two resonators can be increased to facilitate these controls, and at the same time, the width of the dielectric block can be set short, and the size can be reduced.
また上記第1、第2及び第3の製造方法によれば、高
周波用誘電体グリーンシートの表面に、有機物による複
雑な印刷パターンが容易に形成され、空隙部も印刷パタ
ーンに対応して任意の複雑な形状を維持し、従って、金
属又は合金の注入により複雑な形状の内部電極が容易に
形成される。そのため、従来のプレス成形等により得ら
れた共振器に比べ、内部電極における形状の自由度が飛
躍的に向上する。Further, according to the first, second, and third manufacturing methods, a complicated print pattern made of an organic material is easily formed on the surface of the high-frequency dielectric green sheet, and the voids are also arbitrary corresponding to the print pattern. The complicated shape is maintained, and therefore, the complicated shape of the internal electrode is easily formed by the injection of the metal or the alloy. Therefore, the degree of freedom of the shape of the internal electrode is dramatically improved as compared with a resonator obtained by conventional press molding or the like.
さらに、上記第1、第2及び第3の製造方法により製
造される高周波誘電体部品は、高周波用誘電体グリーン
シートを積層させた積層型であるので、従来例における
空洞部の省略が可能となり、共振器の薄形化が可能とな
る。Furthermore, since the high-frequency dielectric component manufactured by the first, second and third manufacturing methods is of a laminated type in which high-frequency dielectric green sheets are stacked, it is possible to omit the cavity in the conventional example. Thus, the thickness of the resonator can be reduced.
また、内部電極が、誘電体ブロックにより完全に保護
された状態となっているので、マイクロストリップライ
ンを応用した共振器に比べ、放射損失もほとんどなくな
り、実効比誘電率が大きくなり、外界の影響を受けるこ
ともなく、安定した性能が得られ、信頼性の高いものと
なる。In addition, since the internal electrodes are completely protected by the dielectric block, there is almost no radiation loss, the effective relative permittivity increases, and the influence of the outside world, compared to a resonator using a microstrip line. Without this, stable performance is obtained and reliability is high.
上記第1、第2及び第3の製造方法に用いる空隙充満
用内部電極の素材として、Ag、Al、Cu等の融点の低い金
属あるいはこれらを含む合金を使用した場合は、金属の
溶融・硬化が容易となり、内部電極は容易に形成され
る。When a material having a low melting point, such as Ag, Al, or Cu, or an alloy containing these metals is used as the material of the internal electrode for filling the voids used in the first, second, and third manufacturing methods, the metal is melted and hardened. And the internal electrodes are easily formed.
これらの素材はマイクロ波領域における抵抗が低いた
め、これらの素材により形成された内部電極はマイクロ
波領域における導電性に優れたものとなる。Since these materials have low resistance in the microwave region, the internal electrodes formed of these materials have excellent conductivity in the microwave region.
実施例 以下、本発明に係る実施例を図面に基づき詳説する。Embodiment Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[実施例1] 第1図(a)、(b)、(c)は、実施例1に係る高
周波誘電体部品としての共振器であって、内部電極1が
断面コ字状に形成された折り返し型の共振器となってい
る該共振器の場合、誘電体ブロック2の正面6側におい
ては、第1図(a)、(b)に示すように、内部電極1
の一端が開放端とされると共に他端は外部電極3と電気
的に接続するように正面6側にも部分的に外部電極3が
形成されている。また、第1図(c)に示すように、誘
電体ブロック2の背面7側においては、内部電極1と外
部電極3とが短絡しないように、誘電体ブロック2の周
縁部にのみ外部電極3が形成されている。尚、内部電極
1同士の接続は、第2の外部電極3′で行いこの第2の
外部電極3′の形成は外部電極3の形成と同時に行なう
ことができる。Example 1 FIGS. 1A, 1B, and 1C show a resonator as a high-frequency dielectric component according to Example 1, in which an internal electrode 1 was formed in a U-shaped cross section. In the case of the folded resonator, the internal electrode 1 is formed on the front surface 6 side of the dielectric block 2 as shown in FIGS.
The external electrode 3 is partially formed also on the front surface 6 side so that one end of the external electrode 3 is an open end and the other end is electrically connected to the external electrode 3. As shown in FIG. 1 (c), on the back surface 7 side of the dielectric block 2, the external electrodes 3 are provided only on the peripheral edge of the dielectric block 2 so that the internal electrodes 1 and the external electrodes 3 are not short-circuited. Are formed. The internal electrodes 1 are connected to each other by the second external electrode 3 ', and the formation of the second external electrode 3' can be performed simultaneously with the formation of the external electrode 3.
内部電極に使用される金属導体については、Ag、Au、
Cu、Al、Pd、などの金属あるいはこれらを少なくとも一
種以上含む合金を使用することによって、一体成形性の
良好な部品を得ることができ、さらにはマイクロ波導電
性に優れた高周波誘電体部品を得ることができる。For metal conductors used for internal electrodes, Ag, Au,
By using a metal such as Cu, Al, Pd, or an alloy containing at least one of them, it is possible to obtain a part having good integral moldability, and furthermore, a high-frequency dielectric part having excellent microwave conductivity. Obtainable.
[実施例2] 第2図((a)、(b))は共振周波数における1/4
波長を利用する場合の実施例2に係る高周波誘電体部品
としてのフィルタであって、所謂重ね合せ型フィルタの
例である。したがって、第2図に示した高周波誘電体部
品における内部電極1はそれぞれ外部電極3と背面で接
続されている。Example 2 FIGS. 2 (a) and (b) show 1 of the resonance frequency.
It is a filter as a high-frequency dielectric component according to the second embodiment in the case of using a wavelength, and is an example of a so-called superposition type filter. Therefore, the internal electrodes 1 in the high-frequency dielectric component shown in FIG. 2 are respectively connected to the external electrodes 3 on the back surface.
このような方法で作製できるフィルタにおいては、共
振器内の導体部分を完全に重ね合わせることが容易にで
きる。例えば表面に内部電極1が形成された第1の高周
波用誘電体グリーンシートと、表面に内部電極が形成さ
れていない第2の高周波用誘電体グリーンシートとを積
層したものを2個製造し、それらを互いに重ね合わせた
後、焼結して一体的に成形することによって誘電体ブロ
ック2が得られ、所望のフィルタを容易に得ることがで
きる。In a filter that can be manufactured by such a method, it is easy to completely overlap conductor portions in the resonator. For example, two laminates of a first high-frequency dielectric green sheet having an internal electrode 1 formed on the surface and a second high-frequency dielectric green sheet having no internal electrode formed on the surface are manufactured. After they are superimposed on each other, they are sintered and integrally molded to obtain the dielectric block 2, and a desired filter can be easily obtained.
第2図に示した高周波誘電体部品は、内部電極1が前
記第1の高周波用誘電体グリーンシートの表面に印刷等
により形成されるように構成したので、任意の形状を有
する内部電極1を容易に形成することができ、したがっ
て高周波誘電体部品の小形化、薄形化を実現できなが
ら、しかも共振器間の結合度を自由に調整することもで
きる。また前記第1の高周波用誘電体グリーンシートに
積層される前記第2の高周波用誘電体グリーンシートの
積層枚数も任意に選択することができ、インピーダンス
や共振周波数の仕様変更に対しても容易に対処すること
ができ、また多段のフィルタをコンパクトに構成するこ
とも容易である。The high-frequency dielectric component shown in FIG. 2 is configured such that the internal electrode 1 is formed on the surface of the first high-frequency dielectric green sheet by printing or the like. The high frequency dielectric component can be easily formed, so that the size and thickness of the high frequency dielectric component can be reduced, and the degree of coupling between the resonators can be freely adjusted. Also, the number of the second high frequency dielectric green sheets laminated on the first high frequency dielectric green sheet can be arbitrarily selected, so that it is easy to change the specifications of impedance and resonance frequency. This can be dealt with, and it is easy to make the multi-stage filter compact.
さらに、内部電極1は誘電体ブロック2に埋設された
構成となっているので、安定した高い実効比誘電率を有
する高周波誘電体部品を得ることができる。Furthermore, since the internal electrodes 1 are embedded in the dielectric block 2, a high-frequency dielectric component having a stable and high effective relative permittivity can be obtained.
[実施例3〜8] 第3図は共振周波数における1/4波長を利用する共振
器(実施例3)の製造工程を示しており、第4図は前記
製造工程を経て製造された共振器(実施例3)を示して
いる。また、第5図は共振周波数における1波長を利用
する共振器(実施例4)の製造工程を示しており、第6
図は前記製造工程を経て製造された共振器(実施例4)
を示している。まず、これら第3図および第5図に基づ
きこれら共振器の第1の製造方法について説明する。[Embodiments 3 to 8] FIG. 3 shows a manufacturing process of a resonator (embodiment 3) using a quarter wavelength at a resonance frequency, and FIG. 4 shows a resonator manufactured through the above manufacturing process. (Example 3) is shown. FIG. 5 shows a manufacturing process of a resonator (Example 4) using one wavelength at a resonance frequency.
The figure shows a resonator manufactured through the above manufacturing process (Example 4)
Is shown. First, a first method for manufacturing these resonators will be described with reference to FIGS. 3 and 5.
まず、第3図(I)および第5図(I)に示すよう
に、高周波用誘電体材料からなる第2の高周波用誘電体
グリーンシート5の表面にカーボン、高分子材料などで
構成されるペーストなどの有機物系組成物(以下、「有
機物」と記す)により印刷パターン10をスクリーン印刷
等により形成して第3の高周波用誘電体グリーンシート
14とする。第3図(I)に示した実施例では、上記印刷
パターン10を短冊状に形成している。また第5図(I)
に示した実施例では励振用内部電極9、金属注入用開口
部11およびリング状の内部電極1となる印刷パターン10
を形成している。尚、共振周波数における1/2波長を利
用する共振器(第7図)を製造するには上記リング状の
部分にスリットを形成しておけばよい。First, as shown in FIGS. 3 (I) and 5 (I), the surface of a second high-frequency dielectric green sheet 5 made of a high-frequency dielectric material is formed of carbon, a polymer material, or the like. A third high frequency dielectric green sheet is formed by forming a printing pattern 10 by screen printing or the like using an organic composition (hereinafter, referred to as “organic substance”) such as a paste.
It is assumed to be 14. In the embodiment shown in FIG. 3 (I), the print pattern 10 is formed in a strip shape. FIG. 5 (I)
In the embodiment shown in FIG. 5, the internal electrode 9 for excitation, the opening 11 for metal injection, and the printed pattern 10 to be the ring-shaped internal electrode 1 are formed.
Is formed. In order to manufacture a resonator using a half wavelength at the resonance frequency (FIG. 7), a slit may be formed in the ring-shaped portion.
このように印刷パターン10は任意の形状でもって、前
記第2の高周波用誘電体グリーンシート5の表面に形成
することができる。As described above, the print pattern 10 can be formed on the surface of the second high-frequency dielectric green sheet 5 in any shape.
次いで、第3図(II)および第5図(II)に示すよう
に、第2の高周波用誘電体グリーンシート5に第3の高
周波用誘電体グリーンシート14を積層し、さらにこの第
3の高周波用誘電体グリーンシート14上に適数枚の第2
の高周波用誘電体グリーンシート5を積層する。これら
実施例においては、第3の高周波用誘電体グリーンシー
ト14上に2枚の第2の高周波用誘電体グリーンシート5
を積層したが、共振器のインピーダンスや共振周波数に
応じ、積層枚数は自由に選択できる。Next, as shown in FIG. 3 (II) and FIG. 5 (II), a third high-frequency dielectric green sheet 14 is laminated on the second high-frequency dielectric green sheet 5, and the third high-frequency dielectric green sheet 14 is further laminated. An appropriate number of second sheets are placed on the high-frequency dielectric green sheet 14.
Are laminated. In these embodiments, two second high-frequency dielectric green sheets 5 are placed on the third high-frequency dielectric green sheet 14.
Are stacked, but the number of stacked layers can be freely selected according to the impedance and resonance frequency of the resonator.
また、これら実施例では第3の高周波用誘電体グリー
ンシート14の下側にも1枚の第2の高周波用誘電体グリ
ーンシート5を積層したが、この枚数も任意であり、ま
た省略することも可能である。In these embodiments, one second high-frequency dielectric green sheet 5 is also laminated below the third high-frequency dielectric green sheet 14, but the number is arbitrary and may be omitted. Is also possible.
尚、第2の高周波用誘電体グリーンシート5も第3の
高周波用誘電体グリーンシート14と同様の高誘電率の高
周波用材料で形成されている。The second high-frequency dielectric green sheet 5 is also made of the same high-permittivity high-frequency material as the third high-frequency dielectric green sheet 14.
次に、適当な手段でもって第3の高周波用誘電体グリ
ーンシート14と第2の高周波用誘電体グリーンシート5
とを圧着する。Next, the third high-frequency dielectric green sheet 14 and the second high-frequency dielectric green sheet 5 are formed by appropriate means.
And crimp.
その後、500℃程度まで徐々に温度を上昇させて、前
記印刷パターン10を構成している有機物を燃焼させて除
去し、第3図(III)及び第5図(III)に示すように、
空隙部12および開口部11を形成する。Thereafter, the temperature is gradually increased to about 500 ° C., and the organic substances constituting the print pattern 10 are burned and removed, as shown in FIGS. 3 (III) and 5 (III).
The void 12 and the opening 11 are formed.
次いで、この状態で第3の高周波用誘電体グリーンシ
ート14と第2の高周波用誘電体グリーンシート5とを約
1,000℃〜1,400℃にて焼結させて一体的に成形し、第3
図(IV)および第5図(IV)に示すように、誘電体ブロ
ック2を形成する。Next, in this state, the third dielectric green sheet for high frequency 14 and the second dielectric green sheet 5 for high frequency are
Sintered at 1,000 ° C to 1,400 ° C and molded integrally,
As shown in FIG. 5 (IV) and FIG. 5 (IV), a dielectric block 2 is formed.
そしてこの後、いわゆる含浸法によって空隙部12およ
び開口部11に所定の金属又は合金を注入して、第3図
(V)および第5図(V)に示すように、内部電極1お
よび励振用内部電極9を形成する。すなわち、Cu、Al、
Agなど前記した特定の金属又は合金を適当な容器内で溶
融させた後、この容器内の溶融金属中に誘電体ブロック
2を浸漬し、空隙部12および開口部11内に前記金属又は
合金を注入する。この後、誘電体ブロック2を容器から
引き上げ、該誘電体ブロック2を冷却して空隙部12およ
び開口部11に注入された前記金属又は合金を硬化させ、
内部電極1および励振用内部電極9を形成する。Then, a predetermined metal or alloy is injected into the gap 12 and the opening 11 by a so-called impregnation method, and as shown in FIG. 3 (V) and FIG. 5 (V), the internal electrode 1 and the excitation An internal electrode 9 is formed. That is, Cu, Al,
After the above-mentioned specific metal or alloy such as Ag is melted in a suitable container, the dielectric block 2 is immersed in the molten metal in this container, and the metal or alloy is immersed in the cavity 12 and the opening 11. inject. Thereafter, the dielectric block 2 is pulled out of the container, the dielectric block 2 is cooled, and the metal or alloy injected into the gap 12 and the opening 11 is hardened,
The internal electrode 1 and the internal electrode 9 for excitation are formed.
尚、誘電体ブロック2に前記金属又は合金が付着する
のを防止するため、誘電体ブロック2を前記容器に浸漬
する前に適当な前処理を施すのが好ましい。In order to prevent the metal or alloy from adhering to the dielectric block 2, it is preferable to perform an appropriate pretreatment before immersing the dielectric block 2 in the container.
最後に、メッキ法、電極焼き付け法、蒸着法等の方法
によって、第3図(VI)に示した実施例では、誘電体ブ
ロック2の正面6を除いた誘電体ブロック2の外表面に
外部電極3を形成し、第5図(VI)に示した実施例で
は、誘電体ブロック2の励振用内部電極9および開口部
11を除いた誘電体ブロック2の外表面に外部電極3を形
成し、第4図および第6図に示した共振器の製造を完了
する。尚、第6図においては、開口部11を省略してい
る。外部電極3は、前述の如く、共振周波数における1/
4波長を利用する第4図の場合には図示されていない背
後の面で内部電極1と電気的に接続されており、共振周
波数における1波長を利用する共振器(第6図)の場合
には、外部電極3と内部電極1とは接続されていない。Finally, in the embodiment shown in FIG. 3 (VI), an external electrode is formed on the outer surface of the dielectric block 2 except for the front surface 6 of the dielectric block 2 by a plating method, an electrode baking method, a vapor deposition method, or the like. 5 is formed, and in the embodiment shown in FIG. 5 (VI), the excitation internal electrode 9 and the opening of the dielectric block 2 are formed.
The external electrodes 3 are formed on the outer surface of the dielectric block 2 except for 11 and the manufacture of the resonator shown in FIGS. 4 and 6 is completed. In FIG. 6, the opening 11 is omitted. The external electrode 3 is, as described above, 1 / at the resonance frequency.
In the case of FIG. 4 using four wavelengths, the back surface (not shown) is electrically connected to the internal electrode 1, and in the case of a resonator using one wavelength at the resonance frequency (FIG. 6). Is not connected between the external electrode 3 and the internal electrode 1.
注入時に用いた開口部11(第5図)は内部電極1の硬
化後も共振部に接合して残るため、その形状は共振に悪
影響をもたらさない様に設計する必要がある。そのた
め、できるだけ内部電極1は外部との距離を短縮したも
のが望ましい。Since the opening 11 (FIG. 5) used at the time of injection remains bonded to the resonance portion even after the internal electrode 1 is hardened, its shape needs to be designed so as not to adversely affect resonance. Therefore, it is desirable that the internal electrode 1 be as short as possible to the outside.
このような共振器においては、第2の高周波用誘電体
グリーンシート5の表面に、カーボンペーストなどの有
機物による印刷パターン10を、たとえ複雑なリング状あ
るいはスリットを有するリング形状であっても容易に形
成することができ、空隙部12も印刷パターン10に対応し
て任意の複雑な形状に形成容易である。内部電極1は空
隙部12に前記所定の金属又は合金が注入されて形成され
るので、複雑な形状の内部電極1を容易に形成すること
ができる。In such a resonator, a printed pattern 10 made of an organic substance such as a carbon paste can be easily formed on the surface of the second high-frequency dielectric green sheet 5 even if it has a complicated ring shape or a ring shape having slits. The gap 12 can be easily formed into an arbitrary complicated shape corresponding to the print pattern 10. Since the internal electrode 1 is formed by injecting the predetermined metal or alloy into the space 12, the internal electrode 1 having a complicated shape can be easily formed.
すなわち、従来のプレス成形等により得られた共振器
に比べ、内部電極1における形状の自由度は飛躍的に向
上する。That is, the degree of freedom of the shape of the internal electrode 1 is dramatically improved as compared with a resonator obtained by conventional press molding or the like.
また、従来のプレス成形等により得られた共振器にお
いては、共振器のインピーダンスや共振周波数等の仕様
を変更する場合、金型の変更で対処しなければならなか
ったが、上記実施例では第2の高周波用誘電体グリーン
シート5の表面に形成される印刷パターン10の形状を変
更して第3の高周波用誘電体グリーンシート14とした
り、第2の高周波用誘電体グリーンシート5の積層枚数
を変更することにより、容易に仕様変更に対処できる。Further, in the resonator obtained by the conventional press molding or the like, when the specifications such as the impedance and the resonance frequency of the resonator were changed, it was necessary to cope with the change in the mold, but in the above-described embodiment, the change was made in the mold. The shape of the print pattern 10 formed on the surface of the second high-frequency dielectric green sheet 5 is changed to a third high-frequency dielectric green sheet 14, or the number of stacked second high-frequency dielectric green sheets 5 , It is possible to easily cope with the specification change.
さらに、上記実施例に係る共振器は、第3の高周波用
誘電体グリーンシート14に第2の高周波用誘電体グリー
ンシート5を積層させた積層型であるので、従来例にお
ける空洞部52(第12図、第13図、第15図参照)の省略が
可能となり、共振器の薄形化を図ることができる。Further, since the resonator according to the above embodiment is of a laminated type in which the second high-frequency dielectric green sheet 5 is laminated on the third high-frequency dielectric green sheet 14, the cavity 52 (the 12, 13 and 15) can be omitted, and the thickness of the resonator can be reduced.
また、内部電極1が、誘電体ブロック2により完全に
保護された状態となっているので、マイクロストリップ
ラインを応用した共振器に比べ、放射損失もほとんどな
くなり、実効比誘電率が大きくなり、外界の影響を受け
ることもなく、安定した性能が得られ、信頼性の高いも
のとなる。Further, since the internal electrode 1 is completely protected by the dielectric block 2, compared with a resonator using a microstrip line, there is almost no radiation loss, the effective relative permittivity is increased, and , Stable performance is obtained and reliability is high.
そして、誘電体基板を重ね合わせて接着剤等により接
合させたものと異なり、接着剤やガラス等による悪影響
を受けることもない。Unlike the dielectric substrates that are superposed and bonded with an adhesive or the like, the dielectric substrates are not adversely affected by the adhesive or glass.
また、上記実施例に係る共振器において、内部電極1
の素材として使用される金属類としては、Cu、Ag、Alあ
るいはこれらを少なくとも一種以上含む合金のものが適
する。すなわち、これらの金属又は合金は、融点が低い
ため、溶融・硬化が容易であり、前述した含浸法等によ
り金属を空隙部12に注入するのに好都合である。また、
これらの金属又は合金はマイクロ波領域における抵抗が
低いため、高周波誘電体部品としての導電性においても
優れている。Further, in the resonator according to the above embodiment, the internal electrode 1
As the metals used as the raw material, Cu, Ag, Al or an alloy containing at least one of them is suitable. That is, since these metals or alloys have a low melting point, they can be easily melted and hardened, which is convenient for injecting the metal into the voids 12 by the above-described impregnation method or the like. Also,
Since these metals or alloys have low resistance in the microwave region, they also have excellent conductivity as high-frequency dielectric components.
上記した第1の製造方法によって、第8図〜第11図に
示す構造の高周波誘電体部品も容易に製造することがで
きる。According to the first manufacturing method described above, a high-frequency dielectric component having the structure shown in FIGS. 8 to 11 can be easily manufactured.
すなわち、第8図(a)、(b)は、第1の製造方法
により製造された高周波誘電体部品としての共振器(実
施例5)であって、該共振器は、マイクロ波が伝送され
る内部電極1がU字状に形成されたものである。すなわ
ち、内部電極1をU字状に形成することによって、共振
器内におけるマイクロ波伝送路を実質的に増加させ、共
振周波数の1/4波長を共振器内に閉じ込め、共振器の小
形化を図ったものである。この実施例では、内部電極1
の一端が開放端とされると共に他端は外部電極3と電気
的に接続されており、誘電体ブロック2の開放端面2aの
一部にも外部電極3が形成されている。That is, FIGS. 8A and 8B show a resonator (Example 5) as a high-frequency dielectric component manufactured by the first manufacturing method, and the resonator transmits microwaves. The internal electrode 1 is formed in a U-shape. That is, by forming the internal electrode 1 in a U-shape, the microwave transmission line in the resonator is substantially increased, a quarter wavelength of the resonance frequency is confined in the resonator, and the size of the resonator is reduced. It is intended. In this embodiment, the internal electrodes 1
Is open, and the other end is electrically connected to the external electrode 3. The external electrode 3 is also formed on a part of the open end face 2 a of the dielectric block 2.
第9図(a)、(b)は、第1の製造方法により製造
された高周波誘電体部品としての共振器(実施例6)で
あって、該共振器は、マイクロ波が伝送される内部電極
1がS字状に形成されたものである。すなわち、内部電
極1をS字状に形成することによって、前記実施例5と
同様、マイクロ波の伝送路を実質的に長くし、共振周波
数の1/4波長を閉じ込め、共振器の小形化を可能とした
ものである。FIGS. 9 (a) and 9 (b) show a resonator (Example 6) as a high-frequency dielectric component manufactured by the first manufacturing method. The resonator has an internal portion through which microwaves are transmitted. The electrode 1 is formed in an S-shape. That is, by forming the internal electrode 1 in an S-shape, as in the fifth embodiment, the microwave transmission path is substantially lengthened, a quarter wavelength of the resonance frequency is confined, and the size of the resonator is reduced. It was made possible.
第10図(a)、(b)は、第1の製造方法により製造
された高周波誘電体部品としての共振器(実施例7)で
あって、所謂ステップインピーダンス構造のものであ
る。従来においては、プレス成形などにより製造されて
いたため、「発明が解決しようとする課題」の項で述べ
たように、肉厚t(第15図参照)が薄くなった部分にお
いて亀裂などが生じて破損する虞があった。本発明では
第3の高周波用誘電体グリーンシート14の表面に内部電
極1が形成され、従来例に対応する空洞部52は形成され
ていないので、上述のような破損が生じることもない。FIGS. 10 (a) and (b) show a resonator (Example 7) as a high-frequency dielectric component manufactured by the first manufacturing method, which has a so-called step impedance structure. In the past, since it was manufactured by press molding or the like, as described in the section of “Problems to be Solved by the Invention”, cracks and the like occurred in the portion where the thickness t (see FIG. 15) became thin. There was a risk of damage. In the present invention, since the internal electrode 1 is formed on the surface of the third dielectric green sheet 14 for high frequency and the cavity 52 corresponding to the conventional example is not formed, the above-described damage does not occur.
また、本発明によれば、図示は省略するが3段以上の
ステップを有するステップインピーダンス構造のものも
容易に形成することができ、さらには連続的にインピー
ダンスを変化させる内部電極1も略台形形状をした構成
とすることによって容易に形成することができる。Further, according to the present invention, although not shown, a step impedance structure having three or more steps can be easily formed, and the internal electrode 1 for continuously changing the impedance is also substantially trapezoidal. It can be easily formed by adopting the configuration described above.
第11図(a)、(b)は、第1図の製造方法により製
造された高周波誘電体部品としてのフィルタ(実施例
8)であって、両共振器の結合度を上げるためにスリッ
ト8が形成された、所謂横並べ型フィルタの例である。
この高周波誘電体部品では、左右一対の前記内部電極
1、1が互いに干渉してフィルタの性能に悪影響を及ぼ
すのを防止するためにスリット8が形成されている。FIGS. 11 (a) and (b) show a filter (Embodiment 8) as a high-frequency dielectric component manufactured by the manufacturing method of FIG. 1, in which a slit 8 is provided to increase the degree of coupling between the two resonators. Is an example of a so-called side-by-side filter in which is formed.
In this high-frequency dielectric component, a slit 8 is formed to prevent the pair of left and right internal electrodes 1 and 1 from interfering with each other and adversely affecting the performance of the filter.
さらに第2及び第3の製造方法により実施例1及び実
施例2に係る高周波誘電体部品(第1図、第2図)を第
1の製造方法と略同様の手順により容易に製造すること
ができる。Furthermore, the high-frequency dielectric components (FIGS. 1 and 2) according to the first and second embodiments can be easily manufactured by the second and third manufacturing methods according to substantially the same procedure as the first manufacturing method. it can.
尚、本発明は以上記載した実施例に限定されることは
なく、要旨を逸脱しない範囲において変更可能である。
例えば上記実施例では、空隙部12を形成するために、有
機物からなる印刷パターン10を第2の高周波用誘電体グ
リーンシート5の表面に形成しているが、このような方
法による空隙部12の形成に代えて、所定のパターンが形
成された有機物からなるシートを第2の高周波用誘電体
グリーンシート5に積層し、その上に第2の高周波用誘
電体グリーンシート5を積層した後、圧着し、前述と同
様の方法でもって前記有機物を除去し、空隙部12を形成
してもよい。It should be noted that the present invention is not limited to the embodiments described above, and can be changed without departing from the scope of the invention.
For example, in the above embodiment, the printed pattern 10 made of an organic material is formed on the surface of the second high-frequency dielectric green sheet 5 in order to form the gap 12, but the gap 12 is formed by such a method. Instead of forming, a sheet made of an organic material on which a predetermined pattern is formed is laminated on the second high-frequency dielectric green sheet 5, and the second high-frequency dielectric green sheet 5 is laminated thereon, and then pressed. Then, the organic substance may be removed by the same method as described above to form the void portion 12.
発明の効果 以上詳述したように、上記(1)記載の高周波誘電体
部品にあっては、安定した高い実効比誘電率を有する高
周波誘電体部品を得ることができ、第2の外部電極を共
振線路の一部として動作させると共に、内部電極の開放
端側の共振線路間容量を増加することができるため、共
振波長の短縮効果を得ることができ、前記内部電極の長
さを短く設定することができる。また該内部電極間をつ
なぐ前記第2の外部電極が前記誘電体ブロックの内部に
埋設されていないため、埋設されたタイプのものに比べ
て誘電体ブロックの長さをそれだけ短く設定することが
できる。また平板状の内部電極が水平方向に並んだタイ
プのものに比べて前記誘電体ブロックの幅を短く設定す
ることができ、これらの結果、小形化を図ることができ
る。Effect of the Invention As described in detail above, in the high-frequency dielectric component according to the above (1), a high-frequency dielectric component having a stable and high effective relative permittivity can be obtained, and the second external electrode can be used. In addition to operating as a part of the resonance line, the capacitance between the resonance lines on the open end side of the internal electrode can be increased, so that the effect of shortening the resonance wavelength can be obtained, and the length of the internal electrode is set short. be able to. Further, since the second external electrode connecting between the internal electrodes is not embedded in the dielectric block, the length of the dielectric block can be set shorter than that of the embedded type. . Further, the width of the dielectric block can be set shorter than that of the type in which the plate-shaped internal electrodes are arranged in the horizontal direction, and as a result, the size can be reduced.
また、上記(2)記載の高周波誘電体部品にあって
は、安定した高い実効比誘電率を有する高周波誘電体部
品を得ることができ、水平方向に並ぶ内部電極間にスリ
ットが形成されたタイプのものに比べ、前記スリットが
対向する内部電極の主面間に挟まれているため、両共振
器の結合度の変化量を大きくして、これの制御を容易に
することができると共に、また誘電体ブロックの幅を短
く設定することができ、小形化を図ることができる。Further, in the high frequency dielectric component according to the above (2), a high frequency dielectric component having a stable and high effective relative permittivity can be obtained, and a slit is formed between the internal electrodes arranged in the horizontal direction. Since the slit is sandwiched between the main surfaces of the internal electrodes facing each other, the amount of change in the degree of coupling between the two resonators can be increased, and the control thereof can be facilitated. The width of the dielectric block can be set short, and the size can be reduced.
また上記第1、第2及び第3の製造方法にあっては、
高周波用誘電体グリーンシートの表面に、有機物による
印刷パターンを、たとえ複雑なパターンであっても容易
に形成することができ、空隙部も印刷パターンに対応し
て任意の複雑な形状に容易に形成することができ、従っ
て、金属又は合金の注入により複雑な形状の内部電極を
容易に形成することができる。そのため、従来のプレス
成形等により得られた共振器に比べ、内部電極における
形状の自由度は飛躍的に向上する。In the first, second and third manufacturing methods,
A printed pattern made of organic matter can be easily formed on the surface of the dielectric green sheet for high frequency even if it is a complicated pattern, and voids can be easily formed into any complex shape corresponding to the printed pattern. Therefore, an internal electrode having a complicated shape can be easily formed by injecting a metal or an alloy. Therefore, the degree of freedom of the shape of the internal electrode is dramatically improved as compared with a resonator obtained by conventional press molding or the like.
また、高周波用誘電体グリーンシートの表面に形成さ
れる印刷パターンの変更や、高周波用誘電体グリーンシ
ートの積層枚数の変更等により、容易にその仕様を変更
することができる。The specifications can be easily changed by changing the print pattern formed on the surface of the high-frequency dielectric green sheet, changing the number of laminated high-frequency dielectric green sheets, or the like.
さらに、上記第1、第2及び第3の製造方法により製
造される高周波誘電体部品は、高周波用誘電体グリーン
シートを積層させた積層型であるので、従来例における
空洞部の省略が可能となり、共振器の薄形化を図ること
ができる。Furthermore, since the high-frequency dielectric component manufactured by the first, second and third manufacturing methods is of a laminated type in which high-frequency dielectric green sheets are stacked, it is possible to omit the cavity in the conventional example. The thickness of the resonator can be reduced.
また、内部電極が、誘電体ブロックにより完全に保護
された状態となっているので、マイクロストリップライ
ンを応用した共振器に比べ、放射損失もほとんどなくな
り、実効比誘電率が大きくなり、外界の影響を受けるこ
ともなく、安定した性能が得られ、信頼性の高いものと
なる。In addition, since the internal electrodes are completely protected by the dielectric block, there is almost no radiation loss, the effective relative permittivity increases, and the influence of the outside world, compared to a resonator using a microstrip line. Without this, stable performance is obtained and reliability is high.
第1図(a)は本発明の実施例1に係る高周波誘電体部
品を示す斜視図、第1図(b)は第1図(a)のF−F
断面図、第1図(c)は第1図(a)の背面図、 第2図(a)は実施例2に係る高周波誘電体部品を示す
斜視図、第2図(b)は第2図(a)のG−G断面図、 第3図(I)〜(VI)は実施例3に係る高周波誘電体部
品の製造方法を示す工程図、第4図は実施例3に係る高
周波誘電体部品を示す斜視図、 第5図(I)〜(VI)は実施例4に係る高周波誘電体部
品の製造方法を示す工程図、第6図は実施例4に係る高
周波誘電体部品を示す斜視図、 第7図は共振周波数の1/2波長を利用した共振器の斜視
図、 第8図(a)は実施例5に係る高周波誘電体部品を示す
斜視図、第8図(b)は第8図(a)のB−B断面図、 第9図(a)は実施例6に係る高周波誘電体部品を示す
斜視図、第9図(b)は第9図(a)のC−C断面図、 第10図(a)は実施例7に係る高周波誘電体部品を示す
斜視図、第10図(b)は第10図(a)のD−D断面図、 第11図(a)は実施例8に係る高周波誘電体部品を示す
斜視図、第11図(b)は第11図(a)のE−E断面図、 第12図(a)は第1の従来例を示す斜視図、第12図
(b)は第12図(a)のX−X断面図、 第13図(a)は第2の従来例を示す斜視図、第13図
(b)は第13図(a)のY−Y断面図、 第14図(a)は1波長を利用したマイクロストリップラ
インを応用した従来の例を示す斜視図、第14図(b)は
1/2波長を利用したマイクロストリップラインを応用し
た従来の例を示す斜視図、 第15図(a)は従来例を示す斜視図、第15図(b)は第
15図(a)のZ−Z断面図である。 1……内部電極、 2……誘電体ブロック、 3……外部電極、 5……第2の高周波用誘電体グリーンシート、 12……空隙部、 14……第3の高周波用誘電体グリーンシート。FIG. 1 (a) is a perspective view showing a high-frequency dielectric component according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 1 (b) is FF of FIG. 1 (a).
1 (c) is a rear view of FIG. 1 (a), FIG. 2 (a) is a perspective view showing a high-frequency dielectric component according to Embodiment 2, and FIG. 2 (b) is a second view. FIG. 3A is a sectional view taken along line GG, FIGS. 3A to 3C are process diagrams showing a method for manufacturing a high-frequency dielectric component according to the third embodiment, and FIG. 4 is a high-frequency dielectric component according to the third embodiment. FIGS. 5 (I) to (VI) are process diagrams showing a method for manufacturing a high-frequency dielectric component according to the fourth embodiment, and FIG. 6 shows a high-frequency dielectric component according to the fourth embodiment. FIG. 7 is a perspective view of a resonator using a half wavelength of a resonance frequency, FIG. 8 (a) is a perspective view showing a high-frequency dielectric component according to a fifth embodiment, and FIG. 8 (b). 9A is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 8A, FIG. 9A is a perspective view showing a high-frequency dielectric component according to the sixth embodiment, and FIG. 9B is a view C in FIG. -C sectional view, FIG. 10 (a) Is a perspective view showing a high-frequency dielectric component according to Example 7, FIG. 10 (b) is a cross-sectional view taken along line DD of FIG. 10 (a), and FIG. 11 (a) is a high-frequency dielectric material according to Example 8; 11 (b) is a cross-sectional view taken along line E-E of FIG. 11 (a), FIG. 12 (a) is a perspective view showing a first conventional example, and FIG. 13 (a) is a perspective view showing a second conventional example, FIG. 13 (b) is a YY sectional view of FIG. 13 (a), FIG. 14 (a) is a perspective view showing a conventional example to which a microstrip line using one wavelength is applied, and FIG. 14 (b) is
FIG. 15 (a) is a perspective view showing a conventional example to which a microstrip line using 1/2 wavelength is applied, FIG. 15 (a) is a perspective view showing a conventional example, and FIG.
FIG. 15 is a sectional view taken along the line ZZ in FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Internal electrode, 2 ... Dielectric block, 3 ... External electrode, 5 ... Second high frequency dielectric green sheet, 12 ... Void, 14 ... Third high frequency dielectric green sheet .
Claims (5)
部電極が空隙なく、かつこれらの主面が上下方向に重な
るように埋設され、前記誘電体ブロックの外表面には第
1の外部電極が形成され、該第1の外部電極には前記2
個の内部電極のうちの1個の内部電極の一端が接続され
る一方、他の内部電極の一端は開放端面に露出し、前記
2個の内部電極の他端には前記誘電体ブロックの外表面
に形成された第2の外部電極が接続され、該第2の外部
電極と前記第1の外部電極とは切り離されていることを
特徴とする高周波誘電体部品。An internal electrode having two flat plates is buried inside a dielectric block so as to have no gap and their main surfaces are vertically overlapped with each other. An external electrode is formed, and the first external electrode is
One of the internal electrodes is connected to one end of one of the internal electrodes, one end of the other internal electrode is exposed to the open end face, and the other end of the two internal electrodes is connected to the outside of the dielectric block. A high-frequency dielectric component, wherein a second external electrode formed on the surface is connected, and the second external electrode and the first external electrode are separated from each other.
部電極が空隙なく、かつこれらの主面が上下方向に重な
るように埋設される一方、前記誘電体ブロックの前記内
部電極間には所定深さのスリットが形成され、前記誘電
体ブロックの外表面には前記2個の内部電極の一端が接
続された外部電極が形成され、前記2個の内部電極の他
端は開放端面に露出していることを特徴とする高周波誘
電体部品。2. Two internal electrodes in the form of a flat plate are buried inside a dielectric block so that there are no gaps and their main surfaces are vertically overlapped, and between the internal electrodes of the dielectric block. Is formed with a slit of a predetermined depth, an external electrode to which one end of the two internal electrodes is connected is formed on the outer surface of the dielectric block, and the other end of the two internal electrodes is an open end face. A high-frequency dielectric component that is exposed.
グリーンシートの所定部位に、所定厚さの有機物を印刷
した後、少なくとも該印刷面に適数枚の高周波用誘電体
グリーンシートを積層し、次いでこれらを圧着後焼結成
形して前記有機物が燃焼除去された空隙を有する誘電体
ブロックを形成した後、前記空隙に溶融金属を充満凝固
させて内部電極を形成し、この後前記誘電体ブロックの
外表面に外部電極を形成することを特徴とする高周波誘
電体部品の製造方法。3. An organic material having a predetermined thickness is printed on a predetermined portion of a high-frequency dielectric green sheet on which an internal electrode is formed on one side, and an appropriate number of high-frequency dielectric green sheets are laminated on at least the printed surface. Then, after pressing and sintering to form a dielectric block having a void in which the organic matter has been removed by burning, the void is filled with molten metal and solidified to form an internal electrode. A method for manufacturing a high-frequency dielectric component, comprising forming an external electrode on an outer surface of a body block.
グリーンシートの所定部位に、所定厚さの有機物を印刷
した高周波用誘電体グリーンシートを前記内部電極相互
の主面が所定の間隔をもって上下方向に重なるように積
層した後、これらを圧着後焼結成形して前記有機物が燃
焼除去された空隙を有する誘電体ブロックを形成し、次
いで前記空隙に溶融金属を充満凝固させて内部電極を形
成した後、さらに前記誘電体ブロックの外表面に外部電
極を形成することを特徴とする高周波誘電体部品の製造
方法。4. A high-frequency dielectric green sheet having a predetermined thickness of an organic material printed on a predetermined portion of a high-frequency dielectric green sheet having an internal electrode formed on one side thereof, wherein the main surfaces of the internal electrodes are spaced from each other by a predetermined distance. After laminating so as to overlap in the vertical direction, these are press-bonded and sintered and formed to form a dielectric block having voids in which the organic substances have been burned off, and then the voids are filled and solidified with a molten metal to form internal electrodes. After forming, an external electrode is further formed on the outer surface of the dielectric block.
を形成した後、積層形成した内部電極間を接続し、さら
に前記誘電体ブロックの外表面に外部電極を形成するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の高周波誘電
体部品の製造方法。5. An internal electrode is formed by filling and solidifying a molten metal in a void, connecting the laminated internal electrodes, and forming an external electrode on an outer surface of the dielectric block. A method for manufacturing a high-frequency dielectric component according to claim 4.
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