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JP2741065B2 - Method for manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents
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JP2741065B2 - Method for manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents

Method for manufacturing solid electrolytic capacitor

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JP2741065B2
JP2741065B2 JP13067189A JP13067189A JP2741065B2 JP 2741065 B2 JP2741065 B2 JP 2741065B2 JP 13067189 A JP13067189 A JP 13067189A JP 13067189 A JP13067189 A JP 13067189A JP 2741065 B2 JP2741065 B2 JP 2741065B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、固体電解質膜としてラングミュアーブロジ
ェット法による薄膜を用いた固体電解コンデンサの製造
方法に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor using a thin film by a Langmuir-Blodgett method as a solid electrolyte membrane.

(従来の技術) 近年、電気機器のデジタル化にともない、そこで使用
されるコンデンサも高周波領域において、インピーダン
スが低く、小型で大容量のものへと要求が高まってい
る。
(Prior Art) In recent years, with the digitization of electric devices, there has been a growing demand for capacitors used therein to have low impedance, small size and large capacity in a high frequency range.

従来一般化しているアルミニウム箔からなる一対の陽
極・陰極箔のそれぞれに、一対の引き出し端子を接続
し、両極箔間にクラフト紙、マニラ紙などからなるスペ
ーサを介在させ、巻き回して形成したコンデンサ素子
に、電解液を含浸させてケースに収納し封口したコンデ
ンサより、スペーサを廃し、かつ電解液をテトラシアノ
キノジメタン(以下、TCNQと略す)錯体や導電性高分子
に転換することにより、諸特性の改善はもとより、小型
化並びに製造工程の改善が一段と進展する状況にある。
A capacitor formed by connecting a pair of lead-out terminals to each of a pair of anode and cathode foils made of aluminum foil that has been commonly used in the past, and wrapping a spacer made of kraft paper, manila paper, etc. between the two electrode foils and winding them By removing the spacers and converting the electrolyte to a tetracyanoquinodimethane (hereinafter abbreviated as TCNQ) complex or a conductive polymer from the capacitor that was impregnated with the electrolyte in the case, housed in the case, and sealed, In addition to the improvement of various characteristics, the miniaturization and the improvement of the manufacturing process are in further progress.

そしてこのような技術の一例として、表面に誘電体皮
膜を有する電極上に、ラングミュアーブロジェット法に
よる薄膜(以下、LB膜と略す)を積層させた固体電解コ
ンデンサの製造方法(特開昭63-122207号公報)が提案
されている。この方法を第3図により説明すると、ラン
グミュアーブロジェット装置(以下、LB装置と略す)8
内の水表面に、ピリジニウム−TCNQ錯体の単分子膜(図
示省略)が形成されており、滑車9によりプラスチック
フィルム基体上にアルミニウム薄膜とその陽極酸化膜が
積層した電極板10を連続的に上下に移動させ、かつ同時
に連続的に浮子11、12を電極板方向に接近させることに
より、電極板上にLB膜を累積させて積層するものであ
り、このようにして電極板上に設けられたLB膜をコンデ
ンサの固体電解質として使用するものである。
As an example of such a technique, a method of manufacturing a solid electrolytic capacitor in which a thin film (hereinafter abbreviated as LB film) is laminated on an electrode having a dielectric film on the surface by a Langmuir-Blodgett method (Japanese Patent Laid-Open No. -122207) has been proposed. This method will be described with reference to FIG. 3. A Langmuir-Blodget device (hereinafter abbreviated as LB device) 8
A monomolecular film (not shown) of a pyridinium-TCNQ complex is formed on the water surface in the inside, and an electrode plate 10 in which an aluminum thin film and its anodic oxide film are laminated on a plastic film substrate by pulleys 9 continuously up and down. The LB film is accumulated and laminated on the electrode plate by moving the floats 11 and 12 continuously in the direction of the electrode plate at the same time, and is simultaneously provided on the electrode plate. The LB film is used as a solid electrolyte of a capacitor.

(発明が解決しようとする課題) 上記の電極板上に有機半導体LB膜を積層させる固体電
解コンデンサの製造方法は、小型で大容量の固体電解コ
ンデンサの製造を可能とするものではあるが、LB膜の積
層二あたり、表面圧制御のために浮子を必要としてお
り、複数なLB装置を使用する必要があった。また前記方
法では、LB膜を積層した電極板の該LB膜上に、更に銀の
蒸着膜を設けてコンデンサーとする等、工程的にも複雑
な方法を採用する必要があった。
(Problems to be Solved by the Invention) The above-mentioned method for manufacturing a solid electrolytic capacitor in which an organic semiconductor LB film is laminated on an electrode plate enables the manufacture of a small and large-capacity solid electrolytic capacitor. Two layers of the film required a float for controlling the surface pressure, and it was necessary to use a plurality of LB devices. In addition, in the above method, it is necessary to adopt a complicated method in terms of steps, such as providing a silver vapor deposition film on the LB film of the electrode plate on which the LB film is laminated to form a capacitor.

本発明の課題は、上記欠点を除去し、従来より簡単な
LB装置を用い、かつ一のLB装置で同時に二枚の電極板に
LB膜を積層させ、その後その二枚を重ねることにより容
易にペーパレス型コンデンサとし得る固体電解コンデン
サの製造方法を提供することである。
An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned disadvantages and to make it simpler than before.
Using an LB device and one LB device to simultaneously apply two electrode plates
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor which can be easily formed into a paperless type capacitor by laminating LB films and thereafter laminating the two films.

(課題を解決するための手段) 本発明は、かかる課題を解決するためになされたもの
であり、表面に誘電体皮膜を設けた陽極板上に固体電解
質膜を有する固体電解コンデンサの製造において、少な
くとも一方は表面に誘電体皮膜を有する二枚の電極板
を、固体電解質膜素材を展開したLB装置のトラフ内に対
向させ二枚の電極板を同時に連続的に垂直方向に引き上
げ、または引き下げ、かつ同時に連続的に水平方向に近
づくように移動させることにより、LB膜を積層させた電
極板を得、そして該電極板を固体電解コンデンサの構成
部材として使用することを特徴とするものであって、も
って従来法よりも簡単な方法で小型で大容量の固体電解
コンデンサの製造を可能としたものである。
(Means for Solving the Problems) The present invention has been made to solve such problems, and is directed to the production of a solid electrolytic capacitor having a solid electrolyte film on an anode plate provided with a dielectric film on the surface. At least one of the two electrode plates having a dielectric film on the surface is opposed to the trough of the LB device in which the solid electrolyte membrane material has been developed, and the two electrode plates are simultaneously pulled up continuously and vertically, or lowered, And simultaneously moving the electrode plate so as to approach the horizontal direction continuously, thereby obtaining an electrode plate on which an LB film is laminated, and using the electrode plate as a constituent member of a solid electrolytic capacitor. Thus, it is possible to manufacture a small and large-capacity solid electrolytic capacitor by a simpler method than the conventional method.

本発明の方法を図面によって説明すると、第一図及び
第2図は、LB膜を電極板上に積層する方法の概念図を示
すものでそれぞれ1はLB装置を示し、2及び3は対向す
る二枚の電極板であって、その少なくとも一方は表面に
誘電体皮膜を有するものである。4および4′は電極板
の垂直方向への引き上げ、または引き下げ速度Yをベク
トル表示したものであり、二枚の電極板2及び3の垂直
方向の連続的引き上げ、または引き下げを同じ速度で行
うことを示すものである。5及び5′は電極板の垂直方
向の引き上げ、または引き下げと同時に平行して行われ
る電極板の水平方向への接近の速度Xをベクトル表示し
たもので、二枚の電極板2及び3を水平方向に同じ速度
で接近させることを示すものである。したかって、二枚
の電極板は対向した状態でa方向またはb方向に連続的
に移動する。第1図及び第2図の下段は、電極板を移動
させた時に生じる単分子膜6、6′,7,7′の電極板への
累積状態を概念的に示したものである。
The method of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 and FIG. 2 show conceptual diagrams of a method of laminating an LB film on an electrode plate, where 1 is an LB device, and 2 and 3 are opposed. Two electrode plates, at least one of which has a dielectric film on the surface. 4 and 4 'are vector representations of the vertical lifting or lowering speed Y of the electrode plates, in which the two electrode plates 2 and 3 are continuously raised or lowered in the vertical direction at the same speed. It shows. 5 and 5 'are vector representations of the speed X of the approach of the electrode plate in the horizontal direction performed in parallel with the vertical lifting or lowering of the electrode plate. It indicates that they approach in the same direction at the same speed. Therefore, the two electrode plates continuously move in the a direction or the b direction while facing each other. The lower part of FIGS. 1 and 2 conceptually shows the state of accumulation of the monomolecular films 6, 6 ', 7, 7' on the electrode plate when the electrode plate is moved.

電極板へのLB膜の積層方法としては種種の方法を採用
することができる。第1図のように1回の積層操作で対
向する電極板を連続的にa方向分子引き上げつつ近接さ
せて累積させる方法や、第2図のように初めは連続的に
b方向に引き下げつつ接近させ、ついで連続的にa方向
に引き上げつつ接近させて累積させる方法や、またはこ
れらの積層操作を複数回繰り返す方法、等が挙げられる
が、本発明はこれらの方法に限定されるものではない。
Various methods can be adopted as a method of laminating the LB film on the electrode plate. As shown in FIG. 1, a method in which opposing electrode plates are successively pulled up in the a direction and accumulated in close proximity as shown in FIG. 1, or as shown in FIG. Then, there is a method of successively pulling up in the a-direction while approaching and accumulating, or a method of repeating these laminating operations a plurality of times. However, the present invention is not limited to these methods.

本発明で使用するLB装置も種種の構造のものを使用す
ることができる。例えば電極板の幅をトラフの幅より小
さくしたり、電極板の幅をトラフの幅と同じにしたり、
トラフ上を移動し水面上の単分子膜にゾーン加熱を施し
多層膜に変えることのできるゾーンヒータを設けたもの
等を使用することもできる。
The LB device used in the present invention may have various structures. For example, making the width of the electrode plate smaller than the width of the trough, making the width of the electrode plate the same as the width of the trough,
It is also possible to use a device provided with a zone heater capable of moving on a trough and applying zone heating to a monomolecular film on the water surface to convert it into a multilayer film.

また本発明の方法は、使用する固体電極しつ膜素材の
種類に応じて電極板へのLB膜の積層方法を種種変更して
実施することができる。
Further, the method of the present invention can be carried out by changing the method of laminating the LB film on the electrode plate in accordance with the type of the solid electrode material used.

例えば(1)有機半導体を水面上に展開した後、電極
板上に累積する方法、(2)単量体を水面上に展開し電
極板に累積した後、化学的酸化重合または電解酸化重合
する方法、(3)単量体を水面上で重合させた後、電極
板に累積する方法、(4)重合体を水面上に展開した
後、電極板上に累積する方法、(5)あらかじめ、水相
に荷電をもった水溶性重合体を溶解しておき、水面上に
反対荷電をもった両親媒性分子を転回することにり、ポ
リイオンコンプレックスとして電極板上に累積し、つい
で加熱処理を行って重合体積層膜とする方法、等が挙げ
られる。
For example, (1) a method in which an organic semiconductor is developed on a water surface and then accumulated on an electrode plate, and (2) a monomer is developed on a water surface and accumulated on the electrode plate, and then chemically oxidized or polymerized by electrolytic oxidation. Method, (3) a method in which monomers are polymerized on the water surface and then accumulated on the electrode plate, (4) a method in which the polymer is spread on the water surface and accumulated on the electrode plate, (5) By dissolving the charged water-soluble polymer in the aqueous phase and turning the oppositely charged amphipathic molecules on the water surface, they accumulate on the electrode plate as a polyion complex, and then heat-treated. To form a polymer laminated film.

(1)の方法に使用する固体電解質膜素材としては、
TCNQ錯体、例えば長鎖ピリジウム・TCNQ錯体、長鎖ピリ
ジウム・(TCNQ)2錯体、(テトラメチルテトラリアフル
バレン)・(長鎖TCNQ)錯体等の外、4−cアノ−
N−アルキル−ピリジニウム・(TCNQ)錯体、N−アル
キルキノリニム・(TCNQ)錯体、4−アミノ・2、3、
5、6−テトラアルキルアニリニウム・(TCNQ)2錯体、
2、2′−ビピリジニウム・(TCNQ)2錯体、4−ハイド
ロキシ−N−ベンジルアニリニウム・(TCNQ)2錯体等も
使用することができる。
As the solid electrolyte membrane material used in the method (1),
TCNQ complexes, such as long-chain pyridium / TCNQ complex, long-chain pyridium / (TCNQ) 2 complex, (tetramethyltetraliafulvalene) 3 · (long-chain TCNQ) 2 complex, etc., and 4-cano-
N-alkyl-pyridinium • (TCNQ) complex, N-alkylquinolinium • (TCNQ) complex, 4-amino • 2,3,
5,6-tetraalkylanilinium · (TCNQ) 2 complex,
2,2'-bipyridinium. (TCNQ) 2 complex, 4-hydroxy-N-benzylanilinium. (TCNQ) 2 complex and the like can also be used.

(2)または(3)の方法に使用する固体電解質膜素
材としては、両親媒性のピロール系単量体や両親媒性の
ネオフェン系単量体が挙げられる。例えば、4−メチル
ピロール−3−カルボン酸オクタデシルエステル、3−
オクタデシルピロール、3−オクチルチオフェン、3−
ヘキシルチオフェン、3−ドデシルチオフェン等を使用
することができる。
Examples of the solid electrolyte membrane material used in the method (2) or (3) include an amphiphilic pyrrole monomer and an amphiphilic neophene monomer. For example, 4-methylpyrrole-3-carboxylic acid octadecyl ester,
Octadecylpyrrole, 3-octylthiophene, 3-
Hexylthiophene, 3-dodecylthiophene and the like can be used.

(4)の方法に使用する固体電解質膜素材としては、
両親媒性のピロール系重合体、両親媒性のネオフェン系
重合体を挙げることができる。
As the solid electrolyte membrane material used in the method (4),
Examples include an amphiphilic pyrrole polymer and an amphiphilic neophene polymer.

(5)の方法に使用する固体電解質膜素材としては次
式(1)で示される繰り返し単位を有するポリ(p−フ
ェニレンビニレン)の可溶性前駆体等を挙げることがで
きる。
Examples of the solid electrolyte membrane material used in the method (5) include a soluble precursor of poly (p-phenylenevinylene) having a repeating unit represented by the following formula (1).

(式中R1及びR2は低級アルキル素、Xはパーフルオロ
カルボン酸アニオン、または[CH3-(CH2)11・O・CO]2
-CH2-CHSO3-等の二分子膜形成能をもつアニオンを示
す) 本発明の方法により電極板上に積層されたLB膜は必要
に応じドーピングを行うことができる。ドーピングは既
知の化学的ドーピング、電気化学的ドーピングのいずれ
の方法も採用することが可能である。
(Wherein R 1 and R 2 are lower alkyl groups, X is a perfluorocarboxylic acid anion, or [CH 3- (CH 2 ) 11 .O.CO] 2
-CH 2 -CHSO 3- and the like having an ability to form a bilayer film) The LB film laminated on the electrode plate by the method of the present invention can be doped as needed. As the doping, any of known chemical doping and electrochemical doping can be adopted.

本発明において使用する電極板としては、アルミニウ
ム、タンタル、ニオブ、チタン、タングステン等の弁金
属箔が挙げられる。二枚の電極板のうち少なくとも一方
はその表面に誘電体皮膜を有しているものを使用する。
通常これらの電極板は、弁金属箔をエッチング処理して
表面積を拡大し、必要に応じてその後その表面を酸化処
理して金属酸化物誘電体皮膜を形成したものを使用す
る。この場合、コンデンサの陰極として使用する電極に
対しても酸化処理をしてもよい。この酸化処理の方法と
しては、既知の種種の方法、例えば60〜80Vで弁金属箔
を陽極酸化する方法等を使用する。さらに本発明でLB膜
を積層するために使用される電極は前記のものに制限さ
れることなく、金属、プラスチック、ガラス等の基体上
に金属、導電性酸化物などの電極材料を真空蒸着、スパ
ッタリング、イオンプレーティング等の手段により薄膜
化し、必要に応じてその上に真空蒸着、スパッタリン
グ、イオンプレーティング、電極酸化等の手段により誘
電体皮膜を設けたものを使用することも可能である。
Examples of the electrode plate used in the present invention include valve metal foils such as aluminum, tantalum, niobium, titanium, and tungsten. At least one of the two electrode plates has a dielectric film on its surface.
Normally, these electrode plates are formed by etching a valve metal foil to increase the surface area, and then, if necessary, oxidizing the surface to form a metal oxide dielectric film. In this case, the electrode used as the cathode of the capacitor may be oxidized. As the method of the oxidation treatment, various known methods, for example, a method of anodizing the valve metal foil at 60 to 80 V, and the like are used. Further, the electrode used for laminating the LB film in the present invention is not limited to the above, metal, plastic, metal on a substrate such as glass, electrode material such as conductive oxide vacuum deposition, It is also possible to use a thin film formed by means such as sputtering or ion plating and, if necessary, a dielectric film provided thereon by means such as vacuum deposition, sputtering, ion plating or electrode oxidation.

本発明の方法で製造されるLB膜を積層した電極板は第
1図、第2図に示すように、製造された2枚の電極板を
重ねることによりペーパレスの固体電解コンデンサを容
易に製作することができる。
As shown in FIGS. 1 and 2, an electrode plate having an LB film laminated by the method of the present invention can easily produce a paperless solid electrolytic capacitor by laminating two produced electrode plates. be able to.

(実施例) 以下に実施例にて本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
(Examples) Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1: 基材として高純度アルミニウム(純度99.99%)の箔
を用い、このアルミニウム箔の表面をエッチングして表
面積を拡大させた後、その表面を充分水洗した。次いで
このアルミニウム箔を陽極として電圧約70Vで陽極酸化
処理を行い、その表面に酸化アルミニウムの誘電体皮膜
を形成した。この電極板を用い第1図の操作を繰り返し
て(テトラメチルテトラチアフルバレン)・(テトラ
デシルTCNQ)錯体を用い電極板上にLB膜を累積して積
層した。
Example 1: A high-purity aluminum (purity: 99.99%) foil was used as a base material. After the surface of the aluminum foil was etched to increase the surface area, the surface was sufficiently washed with water. Next, anodizing treatment was performed at a voltage of about 70 V using the aluminum foil as an anode, and a dielectric film of aluminum oxide was formed on the surface. The operation shown in FIG. 1 was repeated using this electrode plate, and an (LB) film was accumulated and laminated on the electrode plate using (tetramethyltetrathiafulvalene) 3. (Tetradecyl TCNQ) 2 complex.

このLB膜は導電率約1s/cm2と高い値を示した。LB膜を
積層した2枚の電極板を重ね合わせ、ペーパレス積層型
固体電解コンデンサを作成した。
This LB film showed a high value of conductivity of about 1 s / cm 2 . Two electrode plates having the LB film laminated thereon were overlapped to prepare a paperless laminated solid electrolytic capacitor.

実施例2: 実施例1と同じ電極板を用い、第2図の操作を繰り返
して電極板上にLB膜を累積した。
Example 2 Using the same electrode plate as in Example 1, the operation of FIG. 2 was repeated to accumulate LB films on the electrode plate.

固体電解質膜素材としては、4−メチル−ピロール−
3−カルボン酸オクタデシルエステルとオクタデカンの
混合物を使用した。
As the solid electrolyte membrane material, 4-methyl-pyrrole-
A mixture of 3-carboxylic acid octadecyl ester and octadecane was used.

LB膜を累積した電極板は次いでアセトニトリルを溶媒
とし、過塩素酸リチウムを支持電解質とする電解液中で
電解酸化重合し、上記ピロール重合体が積層した電極板
を得た。この電極板を第2図のように重ね合わせてペー
パレスコンデンサを作成した。
The electrode plate on which the LB film was accumulated was then subjected to electrolytic oxidation polymerization in an electrolytic solution using acetonitrile as a solvent and lithium perchlorate as a supporting electrolyte to obtain an electrode plate having the pyrrole polymer laminated thereon. The electrode plates were overlapped as shown in FIG. 2 to produce a paperless capacitor.

実施例3: 実施例1と同じ電極板を用い、第1図の操作を繰り返
して電極板上にLB膜を累積した。LB装置のトラフ内の水
相には酸化剤FeCl3を溶解しておき、このトラフ内に3
−オクタデシルピロールを展開した。3−オクタデシル
ピロールは酸化剤の作用により水面上で重合体膜を形成
した。
Example 3 Using the same electrode plate as in Example 1, the operation of FIG. 1 was repeated to accumulate LB films on the electrode plate. The oxidizing agent FeCl 3 is dissolved in the aqueous phase in the trough of the LB device, and
-Octadecyl pyrrole developed. 3-octadecylpyrrole formed a polymer film on the water surface by the action of the oxidizing agent.

次いでこの重合体膜を電極板上に累積した。 Then, the polymer film was accumulated on the electrode plate.

このようにして得られた2枚の電極板を合わせてペー
パレスコンデンサを作成した。
The two electrode plates thus obtained were combined to prepare a paperless capacitor.

実施例4: 実施例1と同じ電極板を用い第1図の操作を繰り返し
て電極板上にLB膜を累積した。
Example 4 Using the same electrode plate as in Example 1, the operation of FIG. 1 was repeated to accumulate LB films on the electrode plate.

固体電解質膜素材としては次式の繰返し単位 を有するポリ(p−フェニレンビニレン)の前駆体を
使用し、この前駆体をLB装置のトラフ内に展開し、水面
上に単分子膜を形成した後、電極板上に累積した。次い
でこの電極板を約2時間、約200℃で加熱処理し、ポリ
(フェニレンビニレン)LB膜を有する電極板を得た。こ
のLB膜は導電率が小さいので硫酸でドーピングを行い導
電率を高めた後、得られた電極板を合わせてペーパレス
コンデンサを作成した。
For the solid electrolyte membrane material, a repeating unit of the following formula A precursor of poly (p-phenylenevinylene) having the following formula was used. The precursor was developed in a trough of an LB apparatus, a monomolecular film was formed on a water surface, and then accumulated on an electrode plate. Next, this electrode plate was heat-treated at about 200 ° C. for about 2 hours to obtain an electrode plate having a poly (phenylene vinylene) LB film. Since the LB film has a low conductivity, the conductivity was increased by doping with sulfuric acid, and the obtained electrode plates were combined to form a paperless capacitor.

(発明の効果) 以上詳細に説明した通り、本発明の方法によれば、一
度に2枚のLB膜積層電極板を製造することができ、また
この2枚の電極板を合わせることにより容易にペーパレ
ス固体電解コンデンサを製作することができるため、生
産工程の簡略化が達成できる。さらに、本発明で使用す
るLB装置は、従来の装置に用いられている浮子を必要と
しないので製造装置の単純化を図ることができる。
(Effects of the Invention) As described in detail above, according to the method of the present invention, two LB film laminated electrode plates can be manufactured at a time, and the two electrode plates can be easily assembled by combining them. Since a paperless solid electrolytic capacitor can be manufactured, the production process can be simplified. Further, the LB apparatus used in the present invention does not require the float used in the conventional apparatus, so that the manufacturing apparatus can be simplified.

加えて、LB膜を使用するため小型で大容量のコンデン
サを製造することができる。
In addition, since the LB film is used, a small-sized and large-capacity capacitor can be manufactured.

従って、本発明は生産工程面、装置面及びコンデンサ
の性能面できわめて優れた効果を達成するものである。
Therefore, the present invention achieves extremely excellent effects in terms of the production process, the equipment, and the performance of the capacitor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図及び第2図は、本発明の方法に従い、電極板上に
固体電解質LB膜を積層する工程を示す概念図で、各図の
下段は各工程において電極板上にLB膜が累積する状態を
示すものである。 第3図は、電極板上にLB膜を累積する従来法におけるLB
装置の概念図を示すものである。 1,8:LB装置、2,3,10:電極板、4,4′:電極板の垂直方向
の引き上げ又は引き下げ速度を示す速度ベクトル、5,
5′:電極板の水平方向の接近速度を示す速度ベクト
ル、6,6′,7,7′:単分子膜、9:滑車、11,12:浮子、a,
b:電極板の移動方向
FIGS. 1 and 2 are conceptual diagrams showing a process of laminating a solid electrolyte LB film on an electrode plate in accordance with the method of the present invention. The lower part of each figure shows that the LB film is accumulated on the electrode plate in each process. It shows the status. FIG. 3 shows the LB in the conventional method of accumulating the LB film on the electrode plate.
FIG. 2 shows a conceptual diagram of the device. 1,8: LB device, 2, 3, 10: electrode plate, 4, 4 ': velocity vector indicating the vertical lifting or pulling speed of the electrode plate, 5,
5 ′: velocity vector indicating the approach speed of the electrode plate in the horizontal direction, 6, 6 ′, 7, 7 ′: monomolecular film, 9: pulley, 11, 12: float, a,
b: Moving direction of electrode plate

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−309615(JP,A) 特開 平2−21965(JP,A) 特開 平1−218630(JP,A)Continuation of the front page (56) References JP-A-2-309615 (JP, A) JP-A-2-21965 (JP, A) JP-A-1-218630 (JP, A)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】表面に誘電体皮膜を設けた陽極上に、固体
電解質膜を有する固体電解コンデンサの製造において、
少なくとも一方は表面に誘電体皮膜を有している二枚の
電極板を同時に連続的垂直方向に引き上げ、または引き
下げ、かつ同時に連続的に水平方向に近づくように移動
させることによりラングミュアーブロジェット膜を積層
させた電極板を得、そしてこの電極板を固体電解コンデ
ンサの構成部材として用いることを特徴とする固体電解
コンデンサの製造方法。
1. A method for producing a solid electrolytic capacitor having a solid electrolyte film on an anode having a dielectric film provided on a surface thereof.
A Langmuir-Blodgett film is obtained by simultaneously raising or lowering two electrode plates having a dielectric film on the surface at the same time continuously in the vertical direction and simultaneously moving them in the horizontal direction. A method for producing a solid electrolytic capacitor, characterized by obtaining an electrode plate on which is laminated, and using the electrode plate as a component of the solid electrolytic capacitor.
【請求項2】1回の積層操作で、電極板の垂直方向の引
き上げと水平方向の移動を同時に連続的に行う請求項1
に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the vertical lifting and the horizontal movement of the electrode plate are simultaneously and continuously performed in one lamination operation.
3. The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to item 1.
【請求項3】1回の積層操作で、電極板の垂直方向の引
き下げに続く引き上げと水平方向の移動を同時に連続的
に行う請求項1に記載の固体電解コンデンサの製造方
法。
3. The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein in a single laminating operation, the raising and lowering of the electrode plate in the vertical direction and the moving in the horizontal direction are simultaneously and continuously performed.
【請求項4】積層操作を複数回繰り返すことからなる請
求項1及至請求項3のいずれかに記載の固体電解コンデ
ンサの製造方法。
4. The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the laminating operation is repeated a plurality of times.
【請求項5】ラングミュアーブロジェット膜を積層した
上記二枚の電極板を重ね合わせることからなる請求項1
及至請求項4のいずれかに記載の電解コンデンサの製造
方法。
5. The method according to claim 1, wherein said two electrode plates on which a Langmuir-Blodgett film is laminated are overlapped.
A method for producing an electrolytic capacitor according to any one of claims 4 to 6.
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