JP2778091B2 - コンデンサ用金属化フイルムおよびその製造方法 - Google Patents
コンデンサ用金属化フイルムおよびその製造方法Info
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- JP2778091B2 JP2778091B2 JP1073091A JP7309189A JP2778091B2 JP 2778091 B2 JP2778091 B2 JP 2778091B2 JP 1073091 A JP1073091 A JP 1073091A JP 7309189 A JP7309189 A JP 7309189A JP 2778091 B2 JP2778091 B2 JP 2778091B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、フイルムコンデンサに使用する金属化フイ
ルムおよびその製造方法に関するものである。
ルムおよびその製造方法に関するものである。
［従来の技術］ フイルムコンデンサ用金属化フイルムとは、ポリエス
テルなどのプラスチツクフイルムに金属薄膜を蒸着した
もので、プラスチツクフイルムが誘電体、金属薄膜が電
極となってコンデンサを形成するものである。金属薄膜
としては、蒸着容易さやコストの面で一般的にアルミニ
ウムや亜鉛が使用されている。
テルなどのプラスチツクフイルムに金属薄膜を蒸着した
もので、プラスチツクフイルムが誘電体、金属薄膜が電
極となってコンデンサを形成するものである。金属薄膜
としては、蒸着容易さやコストの面で一般的にアルミニ
ウムや亜鉛が使用されている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、金属薄膜としてアルミニウムや亜鉛を
使用したフイルムコンデンサには実用上大きな問題があ
る。すなわち、これらの金属薄膜は、耐湿性が十分でな
く、特に高温高湿下では金属薄膜の消失により、コンデ
ンサの静電容量が大幅に低下するという問題がある。
使用したフイルムコンデンサには実用上大きな問題があ
る。すなわち、これらの金属薄膜は、耐湿性が十分でな
く、特に高温高湿下では金属薄膜の消失により、コンデ
ンサの静電容量が大幅に低下するという問題がある。
これらの問題に対して、アルミニウム−銅などの合金
薄膜を使用する提案（特開昭60−1823号公報）や二層構
成の金属薄膜の提案（特開昭53−81941号公報）がなさ
れているが、耐湿性が十分でなく、またこれらの金属薄
膜を使用したフイルムコンデンサは自己回復性（電極薄
膜に生じた短絡欠陥部分が、短絡による大電流に伴う発
熱で消失して短絡が修復されること）やコストの点で問
題がある。
薄膜を使用する提案（特開昭60−1823号公報）や二層構
成の金属薄膜の提案（特開昭53−81941号公報）がなさ
れているが、耐湿性が十分でなく、またこれらの金属薄
膜を使用したフイルムコンデンサは自己回復性（電極薄
膜に生じた短絡欠陥部分が、短絡による大電流に伴う発
熱で消失して短絡が修復されること）やコストの点で問
題がある。
一方、特開昭51−147755号公報にはプラスチツクフイ
ルム上にアルミニウムの金属薄膜と酸化アルミニウム薄
膜をこの順に積層し、静電容量の大きくかつ耐食性に優
れたフイルムコンデンサが提案されている。すなわち、
プラスチツクフイルム上に真空蒸着法により厚さが300
Å〜500Åのアルミニウム薄膜と厚さが500Å〜8000Åの
酸化アルミニウム薄膜をこの順に積層したものが提案さ
れている。この場合、該酸化アルミニウム薄膜はコンデ
ンサの誘電体として、高絶縁抵抗であることが要求され
るものである。
ルム上にアルミニウムの金属薄膜と酸化アルミニウム薄
膜をこの順に積層し、静電容量の大きくかつ耐食性に優
れたフイルムコンデンサが提案されている。すなわち、
プラスチツクフイルム上に真空蒸着法により厚さが300
Å〜500Åのアルミニウム薄膜と厚さが500Å〜8000Åの
酸化アルミニウム薄膜をこの順に積層したものが提案さ
れている。この場合、該酸化アルミニウム薄膜はコンデ
ンサの誘電体として、高絶縁抵抗であることが要求され
るものである。
しかしながら、真空蒸着法により形成した酸化アルミ
ニウム薄膜は、酸化不足の時には絶縁抵抗の不足による
電力損失を生じ、酸化が進んでいくとクラツクの発生に
よる絶縁抵抗の不足や静電容量の低下の問題があり、さ
らに薄膜形成条件全般にわたり、結晶の欠陥が多く、こ
の欠陥による電力損失を抑えることが難しいことが、本
発明者らの検討で明らかになった。すなわち、真空蒸着
法では、絶縁抵抗が高く、電力損失の小さい誘電体薄膜
を得ることは極めて困難であることがわかった。
ニウム薄膜は、酸化不足の時には絶縁抵抗の不足による
電力損失を生じ、酸化が進んでいくとクラツクの発生に
よる絶縁抵抗の不足や静電容量の低下の問題があり、さ
らに薄膜形成条件全般にわたり、結晶の欠陥が多く、こ
の欠陥による電力損失を抑えることが難しいことが、本
発明者らの検討で明らかになった。すなわち、真空蒸着
法では、絶縁抵抗が高く、電力損失の小さい誘電体薄膜
を得ることは極めて困難であることがわかった。
アルミニウム薄膜と酸化アルミニウム薄膜をプラスチ
ツクフイルムの片面に積層したフイルムコンデンサを使
用する場合、コンデンサの構成単位は、第２図に示すご
とく、アルミニウム薄膜12/プラスチツクフイルム11/酸
化アルミニウム薄膜13/アルミニウム薄膜12となる。こ
の構成では、プラスチツクフイルムと酸化アルミニウム
薄膜の２つの誘電体が直列に並ぶこととなるため、コン
デンサ全体の静電容量はむしろ減少し、望ましくない。
ツクフイルムの片面に積層したフイルムコンデンサを使
用する場合、コンデンサの構成単位は、第２図に示すご
とく、アルミニウム薄膜12/プラスチツクフイルム11/酸
化アルミニウム薄膜13/アルミニウム薄膜12となる。こ
の構成では、プラスチツクフイルムと酸化アルミニウム
薄膜の２つの誘電体が直列に並ぶこととなるため、コン
デンサ全体の静電容量はむしろ減少し、望ましくない。
一方、アルミニウム薄膜と酸化アルミニウム薄膜がプ
ラスチツクフイルムの両面に積層された場合には、フイ
ルムコンデンサの構成単位は、第３図に示すごとく、ア
ルミニウム薄膜15/プラスチツクフイルム14/アルミニウ
ム薄膜15の図中Ａの部分と、アルミニウム薄膜15/酸化
アルミニウム薄膜16/アルミニウム薄膜15の図中Ｂの部
分の２つの並列したコンデンサとなる。第３図の構成で
は、第２図の構成のごとく、静電容量の減少はなく、構
成単位が並列に並んでいるため静電容量の増加が期待さ
れる。しかし、真空蒸着法では形成した酸化アルミニウ
ム薄膜は絶縁抵抗が低く、電力損失が大きいために、
Ａ、Ｂの部分を合せたコンデンサ全体の特性も著しく劣
ったものになってしまう。
ラスチツクフイルムの両面に積層された場合には、フイ
ルムコンデンサの構成単位は、第３図に示すごとく、ア
ルミニウム薄膜15/プラスチツクフイルム14/アルミニウ
ム薄膜15の図中Ａの部分と、アルミニウム薄膜15/酸化
アルミニウム薄膜16/アルミニウム薄膜15の図中Ｂの部
分の２つの並列したコンデンサとなる。第３図の構成で
は、第２図の構成のごとく、静電容量の減少はなく、構
成単位が並列に並んでいるため静電容量の増加が期待さ
れる。しかし、真空蒸着法では形成した酸化アルミニウ
ム薄膜は絶縁抵抗が低く、電力損失が大きいために、
Ａ、Ｂの部分を合せたコンデンサ全体の特性も著しく劣
ったものになってしまう。
これらの問題点に鑑み、鋭意検討した結果、本発明者
らは、アルミニウム薄膜上に積層する酸化アルミニウム
薄膜を高絶縁抵抗のものにせず、むしろ、半導電性の薄
膜とし、かつ厚さを特定の薄さとなすことにより、アル
ミニウム薄膜と酸化アルミニウム薄膜とを一体の電極用
薄膜となすことが有効であることを見出した。すなわ
ち、アルミニウム薄膜と酸化アルミニウム薄膜とが一体
となって電極として働くために、第３図中のＢ部分は全
体が一つの電極薄膜となり、第２図と第３図の構成は同
じ電極薄膜／プラスチツクフイルム／電極薄膜の一種類
の構成単位からなり、フイルムコンデンサの特徴であ
る、低電力損失、高耐電圧を生かし、かつ耐湿性の高い
コンデンサが得られることを知見し本発明に到達したも
のである。
らは、アルミニウム薄膜上に積層する酸化アルミニウム
薄膜を高絶縁抵抗のものにせず、むしろ、半導電性の薄
膜とし、かつ厚さを特定の薄さとなすことにより、アル
ミニウム薄膜と酸化アルミニウム薄膜とを一体の電極用
薄膜となすことが有効であることを見出した。すなわ
ち、アルミニウム薄膜と酸化アルミニウム薄膜とが一体
となって電極として働くために、第３図中のＢ部分は全
体が一つの電極薄膜となり、第２図と第３図の構成は同
じ電極薄膜／プラスチツクフイルム／電極薄膜の一種類
の構成単位からなり、フイルムコンデンサの特徴であ
る、低電力損失、高耐電圧を生かし、かつ耐湿性の高い
コンデンサが得られることを知見し本発明に到達したも
のである。
［課題を解決するための手段］ すなわち、本発明は、プラスチツクフイルムの少なく
とも片面にアルミニウム薄膜と反応性蒸着により形成さ
れた酸化アルミニウム薄膜をこの順に備えたコンデンサ
用金属化フイルムであって、該酸化アルミニウム薄膜は
膜厚が50Å〜300Åの範囲にあり、かつ該酸化アルミニ
ウム薄膜上で測定されたシート抵抗が0.5Ω／□から20
Ω／□の範囲にあることを特徴とするコンデンサ用金属
化フイルムである。
とも片面にアルミニウム薄膜と反応性蒸着により形成さ
れた酸化アルミニウム薄膜をこの順に備えたコンデンサ
用金属化フイルムであって、該酸化アルミニウム薄膜は
膜厚が50Å〜300Åの範囲にあり、かつ該酸化アルミニ
ウム薄膜上で測定されたシート抵抗が0.5Ω／□から20
Ω／□の範囲にあることを特徴とするコンデンサ用金属
化フイルムである。
また、本発明は、プラスチツクフイルムの少なくとも
片面にアルミニウム薄膜を形成後、引き続き反応性蒸着
により50Å〜300Åの酸化アルミニウムを形成すること
を特徴とするコンデンサ用金属化フイルムの製造方法で
ある。
片面にアルミニウム薄膜を形成後、引き続き反応性蒸着
により50Å〜300Åの酸化アルミニウムを形成すること
を特徴とするコンデンサ用金属化フイルムの製造方法で
ある。
本発明で使用できるプラスチツクフイルムとしては、
ポリエステル、ポリプロピレン、ポリフエニレンスルフ
イド、ポリ弗化ビニリデン、ポリスチレン、ポリカーボ
ネート、ポリパラキシレンなどのフイルムが挙げられ
る。寸法安定性と強度の点でこれらのフイルムは二軸延
伸されていることが好ましい。
ポリエステル、ポリプロピレン、ポリフエニレンスルフ
イド、ポリ弗化ビニリデン、ポリスチレン、ポリカーボ
ネート、ポリパラキシレンなどのフイルムが挙げられ
る。寸法安定性と強度の点でこれらのフイルムは二軸延
伸されていることが好ましい。
プラスチツクフイルムの厚さは特に限定されないが、
静電容量を大きくするためと強度を維持するために、0.
3μｍ〜25μｍが好ましく、0.5μｍ〜10μｍがさらに好
ましい。
静電容量を大きくするためと強度を維持するために、0.
3μｍ〜25μｍが好ましく、0.5μｍ〜10μｍがさらに好
ましい。
本発明で用いられるプラスチツクフイルムは金属薄膜
の形成に先立ち、易接着化処理などの表面処理やマージ
ン部形成のための前処理が施されていてもよい。
の形成に先立ち、易接着化処理などの表面処理やマージ
ン部形成のための前処理が施されていてもよい。
本発明におけるアルミニウム薄膜は、真空蒸着法やイ
オンプレーテイング法など公知の真空析出法によって形
成されるもので、その厚さとしては電極としての抵抗お
よび自己回復性のバランスの点から200〜1000Åの範囲
が好ましく、より好ましくは300〜800Åである。
オンプレーテイング法など公知の真空析出法によって形
成されるもので、その厚さとしては電極としての抵抗お
よび自己回復性のバランスの点から200〜1000Åの範囲
が好ましく、より好ましくは300〜800Åである。
本発明のアルミニウム薄膜は、電極としての機能を損
わない範囲でアルミニウム以外の元素を含有してもよい
が、抵抗を小さくかつ耐湿性を向上させるためには、ア
ルミニウムが90％以上であることが好ましい。
わない範囲でアルミニウム以外の元素を含有してもよい
が、抵抗を小さくかつ耐湿性を向上させるためには、ア
ルミニウムが90％以上であることが好ましい。
本発明の酸化アルミニウム薄膜は、Al2O3の他、AlOχ
で示される非化学量論的な酸化アルミニウムも含まれ
る。
で示される非化学量論的な酸化アルミニウムも含まれ
る。
電極の導電性を損わないためには酸化アルミニウムは
半導体であることが好ましく、一方耐湿性を向上させる
ためには化学量論的な組成であることが好ましいため、
酸化アルミニウムは、１×109〜１×1012Ω・cmの範囲
の体積抵抗をもつAlOχ（０＜ｘ＜3/2）であることが好
ましい。酸化アルミニウム薄膜の組成は膜厚方向に傾斜
をもっていてもよい。
半導体であることが好ましく、一方耐湿性を向上させる
ためには化学量論的な組成であることが好ましいため、
酸化アルミニウムは、１×109〜１×1012Ω・cmの範囲
の体積抵抗をもつAlOχ（０＜ｘ＜3/2）であることが好
ましい。酸化アルミニウム薄膜の組成は膜厚方向に傾斜
をもっていてもよい。
本発明の酸化アルミニウム薄膜はその特性を損わない
範囲で窒素、シリコンなどの元素を含んでいてもよい。
範囲で窒素、シリコンなどの元素を含んでいてもよい。
本発明の酸化アルミニウム薄膜の膜厚は50Å〜300Å
の範囲であることが重要であり、膜厚が50Å未満の場合
には耐湿性の向上効果が期待できず、また300Åを越え
る場合には電極としての抵抗が大きくなるため好ましく
ない。酸化アルミニウム薄膜の膜厚は80Å〜200Åの範
囲にあることがさらに好ましい。
の範囲であることが重要であり、膜厚が50Å未満の場合
には耐湿性の向上効果が期待できず、また300Åを越え
る場合には電極としての抵抗が大きくなるため好ましく
ない。酸化アルミニウム薄膜の膜厚は80Å〜200Åの範
囲にあることがさらに好ましい。
本発明においては酸化アルミニウム薄膜の膜厚を50Å
〜300Åに設定するとともに、アルミニウム薄膜上に酸
化アルミニウム薄膜を積層した状態で、そのシート抵抗
が0.5Ω／□〜20Ω／□であることが重要であり、これ
により良好な自己回復性と低電力損失を確実に満足せし
めることができる。
〜300Åに設定するとともに、アルミニウム薄膜上に酸
化アルミニウム薄膜を積層した状態で、そのシート抵抗
が0.5Ω／□〜20Ω／□であることが重要であり、これ
により良好な自己回復性と低電力損失を確実に満足せし
めることができる。
上記のシート抵抗が0.5Ω／□未満の場合には、かな
り大きな電流が流れても発熱が小さく、自己回復性が乏
しくなる欠点があり、また、シート抵抗が20Ω／□を越
えるとコンデンサの直列抵抗を構成する該電極用薄膜に
よる電力損失が大きくなるため好ましくない。より好ま
しくはシート抵抗が１Ω／□〜10Ω／□である。
り大きな電流が流れても発熱が小さく、自己回復性が乏
しくなる欠点があり、また、シート抵抗が20Ω／□を越
えるとコンデンサの直列抵抗を構成する該電極用薄膜に
よる電力損失が大きくなるため好ましくない。より好ま
しくはシート抵抗が１Ω／□〜10Ω／□である。
本発明の酸化アルミニウム薄膜の形成は、酸素雰囲気
中でアルミニウムを蒸発させる反応性蒸着法で行われ
る。反応性蒸着には、反応性イオンプレーティングを含
む。
中でアルミニウムを蒸発させる反応性蒸着法で行われ
る。反応性蒸着には、反応性イオンプレーティングを含
む。
本発明のコンデンサ用金属化フイルムの製法の１例を
第１図を用いて説明する。第１図は、真空蒸着装置の１
例を模式的に示したもので、長尺フイルム走行系とアル
ミニウム蒸発源を備えた真空層１内を図示していない真
空排気系によって１×10-5トール以下に排気する。プラ
スチツクフイルム５を巻き出し軸２により巻き出し、冷
却ドラム３を経由して巻き取り軸４へと走行させる。電
子ビーム加熱によりアルミニウムを溶融し蒸発源６より
アルミニウムを蒸発させる。かくしてプラスチツクフイ
ルム上に所定のアルミニウム薄膜を形成する。
第１図を用いて説明する。第１図は、真空蒸着装置の１
例を模式的に示したもので、長尺フイルム走行系とアル
ミニウム蒸発源を備えた真空層１内を図示していない真
空排気系によって１×10-5トール以下に排気する。プラ
スチツクフイルム５を巻き出し軸２により巻き出し、冷
却ドラム３を経由して巻き取り軸４へと走行させる。電
子ビーム加熱によりアルミニウムを溶融し蒸発源６より
アルミニウムを蒸発させる。かくしてプラスチツクフイ
ルム上に所定のアルミニウム薄膜を形成する。
次に真空を破ることなく、酸素ボンベ10より流量コン
トローラ９を経て、ガス吹き出し口８より酸素ガスを真
空槽内に５×10-5トール〜１×10-2トールの範囲の圧力
になるまで導入する。７はマスクである。
トローラ９を経て、ガス吹き出し口８より酸素ガスを真
空槽内に５×10-5トール〜１×10-2トールの範囲の圧力
になるまで導入する。７はマスクである。
ついで長尺フイルム走行系を逆転させ、巻き取り軸４
よりアルミニウム薄膜が形成されたプラスチツクフイル
ムを巻き出し、冷却ドラム３を経て、軸２に巻き取りな
がら、アルミニウムを蒸発源６より蒸発させると、アル
ミニウム薄膜上に酸化アルミニウム薄膜が形成される。
よりアルミニウム薄膜が形成されたプラスチツクフイル
ムを巻き出し、冷却ドラム３を経て、軸２に巻き取りな
がら、アルミニウムを蒸発源６より蒸発させると、アル
ミニウム薄膜上に酸化アルミニウム薄膜が形成される。
アルミニウム薄膜と酸化アルミニウム薄膜の膜厚は、
蒸発源からのアルミニウムの蒸発速度とフイルム走行速
度を制御することにより所定の値に設定できる。また酸
化アルミニウム薄膜の抵抗値は、蒸発源からのアルミニ
ウムの蒸発速度と酸素ガスの導入量および膜厚を調整す
ることによって所定の値に制御可能である。
蒸発源からのアルミニウムの蒸発速度とフイルム走行速
度を制御することにより所定の値に設定できる。また酸
化アルミニウム薄膜の抵抗値は、蒸発源からのアルミニ
ウムの蒸発速度と酸素ガスの導入量および膜厚を調整す
ることによって所定の値に制御可能である。
本発明のコンデンサ用金属化フイルムにおいては、マ
ージン部形成のため、レーザ処理や放電処理などの後処
理を施してもよい。また熱融着膜などをさらに積層する
ことは適宜許される。
ージン部形成のため、レーザ処理や放電処理などの後処
理を施してもよい。また熱融着膜などをさらに積層する
ことは適宜許される。
アルミニウム薄膜および酸化アルミニウム薄膜は、プ
ラスチツクフイルムの片面または両面に設けることがで
きる。また片面にアルミニウム薄膜と酸化アルミニウム
薄膜を積層し、他面にアルミニウム薄膜だけを設けるこ
ともできる。
ラスチツクフイルムの片面または両面に設けることがで
きる。また片面にアルミニウム薄膜と酸化アルミニウム
薄膜を積層し、他面にアルミニウム薄膜だけを設けるこ
ともできる。
さらに、コンデンサ引出し電極を取付けるための溶射
金属付着部ではその全部または一部においてアルミニウ
ム薄膜を露出せしめておくことが、溶射金属と金属化フ
イルムの接着力を大きくするために好ましい。
金属付着部ではその全部または一部においてアルミニウ
ム薄膜を露出せしめておくことが、溶射金属と金属化フ
イルムの接着力を大きくするために好ましい。
［発明の効果］ 本発明のコンデンサ用金属化フイルムは、上述のごと
く構成したため、フイルムコンデンサの耐湿性を著しく
向上できるとともにコロナ放電等に起因する静電容量の
減少を確実に防止できるものである。さらに酸化アルミ
ニウム薄膜が半導電性でかつ特定の薄膜で形成されてい
るため、フイルムコンデンサの特長である、低電力損失
性や高耐電圧性を損なうことがないという利点を有す
る。
く構成したため、フイルムコンデンサの耐湿性を著しく
向上できるとともにコロナ放電等に起因する静電容量の
減少を確実に防止できるものである。さらに酸化アルミ
ニウム薄膜が半導電性でかつ特定の薄膜で形成されてい
るため、フイルムコンデンサの特長である、低電力損失
性や高耐電圧性を損なうことがないという利点を有す
る。
［評価手段］ （１） 耐湿性の評価 金属化フイルムのカットシートを試料とし、これを60
℃の純水に浸漬し、耐湿性の加速テストを行なう。アル
ミニウム薄膜は、剥離や水酸化により透明化を生じ、金
属化フイルムは時間とともに金属光沢を失っていく。試
料の浸漬部分全体が金属光沢を失い、透明化するまでの
時間を耐湿性の指標とする。この時間が長い程、耐湿性
が高いことを表わす。
℃の純水に浸漬し、耐湿性の加速テストを行なう。アル
ミニウム薄膜は、剥離や水酸化により透明化を生じ、金
属化フイルムは時間とともに金属光沢を失っていく。試
料の浸漬部分全体が金属光沢を失い、透明化するまでの
時間を耐湿性の指標とする。この時間が長い程、耐湿性
が高いことを表わす。
（２） シート抵抗の測定 金属化フイルムを35mm幅の長方形に切り出し試料とす
る。幅35mmの電極２つを有し、電極間を平行に35mm離し
て固定したプローブを用意し、前記試料の長さ方向に直
角に前記２つの電極を配置させて抵抗値を測定する。す
なわち、35mm四方の試料の対辺の間の抵抗を測定し、こ
れをシート抵抗とし、単位はΩ／□で表わす。
る。幅35mmの電極２つを有し、電極間を平行に35mm離し
て固定したプローブを用意し、前記試料の長さ方向に直
角に前記２つの電極を配置させて抵抗値を測定する。す
なわち、35mm四方の試料の対辺の間の抵抗を測定し、こ
れをシート抵抗とし、単位はΩ／□で表わす。
（３） 酸化アルミニウム薄膜の膜厚測定法 ２次イオン質量分析法やオージェ電子分光法などの表
面組成分析法とアルゴンイオンエッチングを組み合わせ
て、試料の深さ方向のアルミニウムと酸素の濃度分布を
測定する。酸素原子は酸化アルミニウム薄膜の表面から
酸化アルミニウム薄膜とアルミニウム薄膜の界面に向っ
て漸減していくが、原子個数比で、酸素原子がアルミニ
ウム原子の50％まで減少した深さを酸化アルミニウム薄
膜の膜厚とする。
面組成分析法とアルゴンイオンエッチングを組み合わせ
て、試料の深さ方向のアルミニウムと酸素の濃度分布を
測定する。酸素原子は酸化アルミニウム薄膜の表面から
酸化アルミニウム薄膜とアルミニウム薄膜の界面に向っ
て漸減していくが、原子個数比で、酸素原子がアルミニ
ウム原子の50％まで減少した深さを酸化アルミニウム薄
膜の膜厚とする。
［実施例］ 以下実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例１ ５μｍ厚のポリエステルフイルム（“ルミラー”東レ
（株）製）を第１図の真空蒸着装置の長尺走行系に装着
した。蒸発源にはアルミニウムのインゴットを装填し
た。真空槽内を１×10-5トール以下に排気してから、電
子ビーム加熱によりアルミニウムを蒸発させ、走行する
フイルム上に10μm/分の速さで500Å厚のアルミニウム
薄膜を形成した。この時、冷却ドラムは５℃に冷却し
た。
（株）製）を第１図の真空蒸着装置の長尺走行系に装着
した。蒸発源にはアルミニウムのインゴットを装填し
た。真空槽内を１×10-5トール以下に排気してから、電
子ビーム加熱によりアルミニウムを蒸発させ、走行する
フイルム上に10μm/分の速さで500Å厚のアルミニウム
薄膜を形成した。この時、冷却ドラムは５℃に冷却し
た。
アルミニウム薄膜を形成したポリエステルフイルムを
第１図の真空蒸着装置の長尺フイルム走行系に装着し、
蒸発源にはアルミニウムのインゴットを装填した。真空
槽内を１×10-5トール以下に排気してから、電子ビーム
加熱によりアルミニウムを蒸発させる。同時に冷却ドラ
ム近傍に設置したガス吹き出し口より酸素ガスを導入
し、流量を調整して槽内の圧力を４×10-4トールにし
た。アルミニウム薄膜上に５μm/分の速さで100Å厚み
の酸化アルミニウム薄膜を形成した。この時、冷却ドラ
ムは５℃に冷却した。
第１図の真空蒸着装置の長尺フイルム走行系に装着し、
蒸発源にはアルミニウムのインゴットを装填した。真空
槽内を１×10-5トール以下に排気してから、電子ビーム
加熱によりアルミニウムを蒸発させる。同時に冷却ドラ
ム近傍に設置したガス吹き出し口より酸素ガスを導入
し、流量を調整して槽内の圧力を４×10-4トールにし
た。アルミニウム薄膜上に５μm/分の速さで100Å厚み
の酸化アルミニウム薄膜を形成した。この時、冷却ドラ
ムは５℃に冷却した。
得られた金属化フイルムのシート抵抗は、９Ω／□
で、コンデンサ用電極として十分な抵抗値であった。金
属化フイルムを50mm四方に切り出し、60℃の純水に浸漬
し耐湿性を評価した。試料全体が金属光沢を失い透明化
するまでの時間は、18分であり、アルミニウム薄膜だけ
の従来のコンデンサ用金属化フイルム（比較例１）に比
べて著しく耐湿性が改善された。
で、コンデンサ用電極として十分な抵抗値であった。金
属化フイルムを50mm四方に切り出し、60℃の純水に浸漬
し耐湿性を評価した。試料全体が金属光沢を失い透明化
するまでの時間は、18分であり、アルミニウム薄膜だけ
の従来のコンデンサ用金属化フイルム（比較例１）に比
べて著しく耐湿性が改善された。
比較例１ 実施例１と同様にして厚さ５μｍのポリエステルフイ
ルム上に厚さ500Åのアルミニウム薄膜を形成した。
ルム上に厚さ500Åのアルミニウム薄膜を形成した。
得られた金属化フイルムのシート抵抗は、５Ω／□で
あり、コンデンサ用電極として十分な抵抗値であった
が、この金属化フイルムを50mm四方に切り出し、60℃の
純水中に浸漬したところ、試料全体が金属光沢を失い透
明化するまで５分しかかからず耐湿性が著しく劣るもの
であった。
あり、コンデンサ用電極として十分な抵抗値であった
が、この金属化フイルムを50mm四方に切り出し、60℃の
純水中に浸漬したところ、試料全体が金属光沢を失い透
明化するまで５分しかかからず耐湿性が著しく劣るもの
であった。
比較例２ 実施例１と同様にして厚さ５μｍのポリエステルフイ
ルム上に厚さ500Åのアルミニウム薄膜を形成した。
ルム上に厚さ500Åのアルミニウム薄膜を形成した。
次いで、該アルミニウム薄膜上に厚さ350Åの酸化ア
ルミニウム薄膜を実施例１と同様にして形成した。
ルミニウム薄膜を実施例１と同様にして形成した。
得られた金属化フイルムのシート抵抗は、22Ω／□で
あり、直列抵抗の増加による電力損失の増大が生じ、コ
ンデンサ用電極として不適当であった。
あり、直列抵抗の増加による電力損失の増大が生じ、コ
ンデンサ用電極として不適当であった。
第１図は本発明を実施するための真空蒸着装置の１例を
示す概略図、第２図および第３図はフイルムコンデンサ
の構成を説明する概略図である。 1:真空槽、3:冷却ドラム 5:長尺プラスチツクフイルム 6:蒸発源、8:ガス吹き出し口 11,14:プラスチツクフイルム 12,15:アルミニウム薄膜 13,16:酸化アルミニウム薄膜
示す概略図、第２図および第３図はフイルムコンデンサ
の構成を説明する概略図である。 1:真空槽、3:冷却ドラム 5:長尺プラスチツクフイルム 6:蒸発源、8:ガス吹き出し口 11,14:プラスチツクフイルム 12,15:アルミニウム薄膜 13,16:酸化アルミニウム薄膜
Claims (2)
- 【請求項１】プラスチツクフイルムの少なくとも片面に
アルミニウム薄膜と反応性蒸着により形成された酸化ア
ルミニウム薄膜をこの順に備えたコンデンサ用金属化フ
イルムであって、該酸化アルミニウム薄膜は膜厚が50Å
〜300Åの範囲にあり、かつ該酸化アルミニウム薄膜上
で測定されたシート抵抗が0.5Ω／□から20Ω／□の範
囲にあることを特徴とするコンデンサ用金属化フイル
ム。 - 【請求項２】プラスチツクフイルムの少なくとも片面に
アルミニウム薄膜を形成後、引き続き反応性蒸着により
50Å〜300Åの酸化アルミニウムを形成することを特徴
とするコンデンサ用金属化フイルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1073091A JP2778091B2 (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | コンデンサ用金属化フイルムおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1073091A JP2778091B2 (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | コンデンサ用金属化フイルムおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02250306A JPH02250306A (ja) | 1990-10-08 |
| JP2778091B2 true JP2778091B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=13508322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1073091A Expired - Fee Related JP2778091B2 (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | コンデンサ用金属化フイルムおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2778091B2 (ja) |
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| CN111295413A (zh) | 2017-11-08 | 2020-06-16 | 大金工业株式会社 | 膜 |
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| JPS60187528U (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-12 | ニチコン株式会社 | 金属化フイルムコンデンサ |
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-
1989
- 1989-03-23 JP JP1073091A patent/JP2778091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02250306A (ja) | 1990-10-08 |
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