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JP2786727B2 - Displacement detector - Google Patents
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JP2786727B2 - Displacement detector - Google Patents

Displacement detector

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JP2786727B2
JP2786727B2 JP21313590A JP21313590A JP2786727B2 JP 2786727 B2 JP2786727 B2 JP 2786727B2 JP 21313590 A JP21313590 A JP 21313590A JP 21313590 A JP21313590 A JP 21313590A JP 2786727 B2 JP2786727 B2 JP 2786727B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、回転角即ち角変位を検出する変位検出装置
に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a displacement detection device for detecting a rotation angle, that is, an angular displacement.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、角変位を検出する変位検出装置として、羅針盤
その他のジャイロ装置が開発されている。殊に機械ジャ
イロ、レーザージャイロ等のジャイロ装置については、
それぞれ種々の方式若しくは機構が検討されている。
Conventionally, compass and other gyro devices have been developed as displacement detection devices for detecting angular displacement. Especially for gyro devices such as mechanical gyro and laser gyro,
Various schemes or mechanisms are under consideration.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかし、従来の羅針盤では小型で高精度のものが存在
しなかった。また、従来のジャイロ装置では、精度が高
いものの機構・構造が複雑で、調整等が容易でなく、取
扱いに注意を要した。さらに、ジャイロ装置自体が大型
で、取扱いにくく用途が限定され、しかも非常に高価で
あった。
However, there has been no conventional compass of small size and high precision. Further, in the conventional gyro apparatus, although the accuracy is high, the mechanism and structure are complicated, adjustment and the like are not easy, and attention is required for handling. Further, the gyro apparatus itself is large, difficult to handle, has a limited use, and is very expensive.

そこで、上述の事情に鑑み、本発明は、構造が極めて
簡単で、小型・軽量で、なおかつ高い精度を有する変位
検出装置を提供することを目的としている。
In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a displacement detection device having a very simple structure, small size and light weight, and high accuracy.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上述の目的を達成するため、本発明による変位検出装
置においては、(a)変位が検出されるべき変位被検出
部材に支持され、該変位被検出部材に設定された互いに
交差しかつ同一平面内にない3本の回転軸に平行なX
軸、Y軸及びZ軸のまわりで回転可能な支持手段と、
(b)前記支持手段に設定された互いに交差しかつ同一
平面内にない3本の回転軸に平行なx軸、y軸及びz軸
のまわりで回動自在に支持された可動部材と、(c)可
動部材が慣性力に応じて支持手段に対し相対的に回転し
て支持手段の基準位置からずれた場合に、そのずれが生
じたことと、x軸、y軸及びz軸の各々に関するずれ方
向とを検出するずれ検出手段と、(d)ずれ検出手段が
可動部材の基準位置からのずれを検出した場合に、支持
手段をX軸、Y軸及びZ軸のまわりで変位被検出部材に
対し相対的に回転させ、支持手段をx軸、y軸及びz軸
に関する可動部材のずれ方向と同一の方向に回転させる
戻し手段と、(e)変位被検出部材と容器との相対的な
変位を、X軸、Y軸及びZ軸の各々のまわりに関して検
出する変位検出手段と、を備える構成となっている。
In order to achieve the above object, the displacement detecting device according to the present invention comprises: (a) supported by a displacement detected member whose displacement is to be detected; X not parallel to three rotating axes
Support means rotatable about an axis, a Y axis and a Z axis;
(B) a movable member rotatably supported around x-axis, y-axis, and z-axis, which are set in the support means and are parallel to three rotation axes which are not intersected and are not in the same plane; c) when the movable member is rotated relative to the support means in accordance with the inertial force and deviates from the reference position of the support means, the occurrence of the deviation and each of the x-axis, y-axis and z-axis And (d) when the displacement detecting means detects the displacement of the movable member from the reference position, the supporting means is used to detect the displacement of the movable member about the X, Y, and Z axes. Return means for rotating the support means in the same direction as the displacement direction of the movable member with respect to the x-axis, y-axis, and z-axis; and (e) relative movement between the displacement detection member and the container. Displacement detecting means for detecting displacement about each of the X, Y and Z axes And, it has a configuration with a.

本発明に係る変位検出装置の好適な実施態様にあって
は、支持手段を内部が減圧された容器としている。ま
た、この容器の内部空間内に可動部材を収容している。
In a preferred embodiment of the displacement detection device according to the present invention, the support means is a container whose inside is reduced in pressure. A movable member is accommodated in the interior space of the container.

本発明に係る変位検出装置の別の実施態様にあって
は、可動部材及びこれと略等しい比重を有する液体を、
支持手段の内部空間内に収容することとしている。
In another embodiment of the displacement detection device according to the present invention, the movable member and a liquid having substantially the same specific gravity as this,
It is to be accommodated in the internal space of the support means.

〔作用〕[Action]

本発明に係る変位検出装置においては、変位被検出部
材及び支持部材がX軸、Y軸及びZ軸のいずれかの回転
軸のまわりに回転しても、可動部材は慣性により一定方
向を維持する。例えば、変位被検出部材が回転して可動
部材がその基準位置からずれた場合、ずれ検出手段はこ
のずれの発生と、支持部材に設けられたx軸、y軸及び
z軸の各々に関するずれ方向とを検出する。ここで、基
準位置とは可動部材が容器に対して所定の位置関係にあ
ることをいい、この位置関係は予め任意に設定できる。
ただし、変位検出装置の動作中にこの位置関係を変更す
ることはできない。可動部材がこの基準位置からずれた
ことが検出された場合、戻し手段は、可動部材のx軸、
y軸及びz軸の各々に関するずれ方向に対応させて、支
持部材をX軸、Y軸及びZ軸のいずれかの回転軸のまわ
りに回転させる。この場合、戻し手段は、支持手段を可
動部材がずれた方向に追従するように回転する。このた
め、容器及び可動部材の関係は、ずれが発生する以前の
状態、従って基準位置の状態に戻る。変位検出手段は、
変位被検出部材に対する支持手段の相対的な回転量をX
軸、Y軸及びZ軸に関して検出し、変位被検出部材即ち
変位検出装置自体の変位を検出する。
In the displacement detection device according to the present invention, the movable member maintains a fixed direction due to inertia even when the displacement detection member and the support member rotate around any one of the X axis, the Y axis, and the Z axis. . For example, when the displacement detection member rotates and the movable member is displaced from its reference position, the displacement detection means generates the displacement and the displacement direction for each of the x-axis, y-axis, and z-axis provided on the support member. And detect. Here, the reference position means that the movable member has a predetermined positional relationship with respect to the container, and this positional relationship can be arbitrarily set in advance.
However, this positional relationship cannot be changed during the operation of the displacement detection device. When it is detected that the movable member has deviated from the reference position, the return means includes an x-axis of the movable member,
The support member is rotated around any one of the X, Y, and Z axes in accordance with the directions of displacement with respect to each of the y axis and the z axis. In this case, the return means rotates the support means so as to follow the direction in which the movable member has shifted. Therefore, the relationship between the container and the movable member returns to the state before the occurrence of the displacement, that is, the state of the reference position. The displacement detecting means is
The amount of rotation of the support means relative to the displacement detection member is X
The displacement is detected for the axis, the Y axis, and the Z axis, and the displacement of the displacement detection member, that is, the displacement detection device itself is detected.

なお、支持部材及び可動部材の位置関係は、基準位置
の近傍で微視的には振動を繰り返すものの、巨視的には
一定に保たれる。従って、支持部材と可動部材との間の
接触抵抗を正及び負の方向に常に相殺しつつ容器を駆動
していることになり、このような接触抵抗に起因する誤
差を最小限に抑えることができる。
Note that the positional relationship between the support member and the movable member is maintained macroscopically constant, although the vibration is repeated microscopically near the reference position. Therefore, the container is driven while always canceling the contact resistance between the support member and the movable member in the positive and negative directions, and errors caused by such contact resistance can be minimized. it can.

本発明に係る変位検出装置の好適な実施態様において
は、支持手段である容器内が減圧されているため、可動
部材が容器或いは外界に対して回転しても、可動部材が
受ける抵抗は極めて少ない。このため、可動部材は、慣
性に応じてその状態を正確に維持する。なお、支持手段
を減圧容器とせず、変位検出装置自体を減圧容器に収容
してもよい。この場合も同様に、可動部材が受ける抵抗
は極めて少なくなる。
In a preferred embodiment of the displacement detection device according to the present invention, since the inside of the container serving as the support means is depressurized, even if the movable member rotates with respect to the container or the outside, the resistance received by the movable member is extremely small. . Therefore, the movable member accurately maintains its state according to the inertia. Note that the displacement detection device itself may be housed in the depressurized container without using the depressurized container as the supporting means. In this case, similarly, the resistance applied to the movable member is extremely small.

本発明に係る変位検出装置の別の実施態様において
は、支持手段の内部空間内に可動部材のみならずこれと
略等しい比重を有する液体を収容することとしている。
このため、可動部材をx軸、y軸及びz軸のまわり回転
できるように支持する軸受け等にかかる負荷を減少させ
ることができる。つまり、可動部材がその慣性に応じて
動く場合に、支持部材から受ける抵抗が極めて少なくな
る。
In another embodiment of the displacement detecting device according to the present invention, not only a movable member but also a liquid having substantially the same specific gravity as the movable member is accommodated in the internal space of the support means.
For this reason, it is possible to reduce a load applied to a bearing or the like that supports the movable member so that the movable member can rotate around the x-axis, the y-axis, and the z-axis. That is, when the movable member moves according to its inertia, the resistance received from the support member is extremely small.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例について図面を参照しつつ、説
明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は、本発明に係る第1実施例の変位検出装置の
構成を説明したものである。
FIG. 1 illustrates the configuration of a displacement detection device according to a first embodiment of the present invention.

変位被検出部材である外箱1の内側には、第1の内箱
11が収容されている。この第1の内箱11は、外箱1に固
定されたサーボモータ2とベアリング5とによって、X
軸のまわりに回転可能に支持されており、また第1の内
箱11の回転は、駆動用のサーボモータ2とこの動力を伝
えるカップリング3とによって制御されている。第1の
内箱11の相対的な回転角はサーボモータ2に付属させた
回転エンコーダ4によって検出される。同様に、第1の
内箱11の内側には、第2の内箱21が収容されている。こ
の第2の内箱21は、第1の内箱11に固定されたサーボモ
ータ12とベアリング15とによって、Y軸のまわりに回転
可能に支持されており、また第2の内箱21の回転は、サ
ーボモータ12とその動力を伝えるカップリング13とによ
って制御されている。第2の内箱21の相対的な回転角は
サーボモータ12に付属された回転エンコーダ14によって
検出される。さらに、第2の内箱21の内側には、支持手
段であるプラスティック製の容器6が収容されている。
容器6は、第2の内箱21に固定されたサーボモータ22と
ベアリング25とによって、Z軸のまわりに回転可能に支
持されており、また容器6の回転は、サーボモータ22及
びカップリング23によって制御されている。容器の相対
的な回転角はサーボモータ22に付属させた回転エンコー
ダ24によって検出される。
A first inner box is provided inside the outer box 1 which is a displacement detection member.
11 are housed. The first inner box 11 is formed by a servo motor 2 and a bearing 5 fixed to the outer box
The first inner box 11 is rotatably supported about an axis, and the rotation of the first inner box 11 is controlled by a driving servomotor 2 and a coupling 3 for transmitting the power. The relative rotation angle of the first inner box 11 is detected by a rotation encoder 4 attached to the servo motor 2. Similarly, a second inner box 21 is accommodated inside the first inner box 11. The second inner box 21 is rotatably supported around the Y axis by a servomotor 12 and a bearing 15 fixed to the first inner box 11. Is controlled by a servomotor 12 and a coupling 13 that transmits the power of the servomotor. The relative rotation angle of the second inner box 21 is detected by the rotation encoder 14 attached to the servo motor 12. Further, inside the second inner box 21, a plastic container 6 as a support means is accommodated.
The container 6 is rotatably supported around the Z-axis by a servo motor 22 and a bearing 25 fixed to the second inner box 21. The rotation of the container 6 is controlled by the servo motor 22 and the coupling 23. Is controlled by The relative rotation angle of the container is detected by a rotation encoder 24 attached to the servomotor 22.

つまり、最も内部に収容された容器6は、3本の回転
軸(X軸、Y軸及びZ軸)のまわりで回転可能であると
共に、各軸のまわりでの回転量は、各回転エンコーダ
4、14、24によってモニタされる。
That is, the container 6 housed most inside can rotate around three rotation axes (X axis, Y axis, and Z axis), and the amount of rotation around each axis is , 14, and 24.

第2図及び第3図は、第1図の容器6の詳細を示した
図である。
2 and 3 show details of the container 6 of FIG.

容器6の内部には、可動部材である円盤錠のフロート
7が収容されている。このフロート7は、軸受け16及び
軸26によってその円盤の中心で支えられており、容器6
に設けられた3つの直交する回転軸(x軸、y軸及びz
軸)のまわりで回動可能になっている。このときのフロ
ート7及び容器の様子を側面図として第3図に示した。
容器4の内部は水で満たされていて、フロート7の比重
は水よりもわずかに大きくなっている。このため、フロ
ート7と軸26との間の摩擦抵抗は極めて小さくなってい
る。
Inside the container 6, a float 7 of a disk lock, which is a movable member, is housed. This float 7 is supported at the center of its disk by bearings 16 and 26,
, Three orthogonal rotation axes (x-axis, y-axis and z-axis)
(Axis). The appearance of the float 7 and the container at this time is shown in FIG. 3 as a side view.
The inside of the container 4 is filled with water, and the specific gravity of the float 7 is slightly larger than that of water. Therefore, the frictional resistance between the float 7 and the shaft 26 is extremely small.

容器6の上側の端面には、赤外光を発生する第1光源
31と第1光ディテクタ32とが対向して設けられている。
これらは1組のセンサとなっていて、フロート7上のミ
ラー17からの反射光量の変化から、フロート7のx軸の
まわりの回転を検出する。同様に、容器6の上端面に
は、第2光源33と第2光ディテクタ34とが対向して設け
らてている。これらも1組のセンサとなっていて、フロ
ート7のy軸のまわりの回転を検出する。また、容器6
の上端面には、一対の第3光源35a、35bが設けられてい
る。容器6の下側の端面には、この2つの光源に対向す
るように、第3光ディテクタ36a、36bが設けられてい
る。一方の光源35aと一方の光ディテクタ36aは、ホトカ
プラとなっている。同様に、他方の光源35bと他方の光
ディテクタ36bも、ホトカプラとなっている。フロート
7を二分して設けた透光部7aと透光部7bとはインタラプ
タとして機能する。このため、上記光源35a、35b及び光
ディテクタ36a、36bは、1組のセンサとしてフロート7
のz軸のまわりの回転を検出する。
A first light source for generating infrared light is provided on the upper end face of the container 6.
31 and the first photodetector 32 are provided to face each other.
These are a set of sensors that detect the rotation of the float 7 about the x-axis from the change in the amount of light reflected from the mirror 17 on the float 7. Similarly, a second light source 33 and a second light detector 34 are provided on the upper end surface of the container 6 so as to face each other. These also constitute a set of sensors for detecting the rotation of the float 7 about the y-axis. In addition, container 6
A pair of third light sources 35a and 35b are provided on the upper end surface of the light source. Third light detectors 36a and 36b are provided on the lower end surface of the container 6 so as to face the two light sources. One light source 35a and one light detector 36a are photocouplers. Similarly, the other light source 35b and the other light detector 36b are also photocouplers. The light transmitting part 7a and the light transmitting part 7b provided by dividing the float 7 into two parts function as an interrupter. Therefore, the light sources 35a and 35b and the photodetectors 36a and 36b are used as a set of
Rotation about the z-axis is detected.

第4図及び第5図は、フロート7の回転の検出方法を
具体的に説明したものである。
FIGS. 4 and 5 specifically illustrate a method of detecting the rotation of the float 7. FIG.

第4図は、第3図と同様、容器の側面を示した図であ
り、フロート7のx軸のまわりの回転の検出を説明する
ための図である。
FIG. 4 is a diagram showing a side surface of the container, similarly to FIG. 3, and is a diagram for explaining detection of rotation of the float 7 around the x-axis.

第4図(a)は、フロート7が基準位置にあるときの
容器6及びフロート7の位置関係を示したものである。
フロート7がこの状態にあるとき、第1光源31からの赤
外光ビームはフロート7上のミラー17に入射し、その反
射光は第1光ディテクタの中央を中心とした領域にスポ
ット状に入射する。第1光ディテクタ32はy軸方向(図
面上の左右方向)に並ぶ2つの受光面を備えており、こ
こに入射する光量がほぼ等しい場合、従って図示の基準
位置の場合、フロート7がx軸のまわりに傾いてないも
のと判断される。
FIG. 4 (a) shows the positional relationship between the container 6 and the float 7 when the float 7 is at the reference position.
When the float 7 is in this state, the infrared light beam from the first light source 31 is incident on the mirror 17 on the float 7 and the reflected light is spot-like incident on an area centered on the center of the first light detector. I do. The first light detector 32 has two light receiving surfaces arranged in the y-axis direction (the left-right direction in the drawing). When the amount of light incident on the first light detector 32 is substantially the same, that is, when the reference position shown in FIG. Is determined not to lean around.

第4図(b)は、フロート7がx軸のまわりで反時計
方向に回転した場合を示す。この場合、実際には容器6
が外界に対し時計方向に回転している。この様にフロー
ト7が傾くと、第1光源31からの赤外光ビームのミラー
17への入射角が小さくなり、その反射光は図示のように
第1光ディテクタ32の左側に入射する。したがって、左
側の受光面で検出される光量が増大し、右側の受光面で
検出される光量が減少する。これらの検出光量の差動出
力を測定することで、第4図(b)の場合、フロート7
がx軸のまわりで反時計方向に傾いたものと判断され
る。
FIG. 4 (b) shows the case where the float 7 has rotated counterclockwise around the x-axis. In this case, the container 6 is actually
Rotates clockwise with respect to the outside world. When the float 7 is tilted in this manner, the mirror of the infrared light beam from the first light source 31
The angle of incidence on 17 is reduced, and the reflected light is incident on the left side of the first photodetector 32 as shown. Therefore, the amount of light detected on the left light receiving surface increases, and the amount of light detected on the right light receiving surface decreases. By measuring the differential output of these detected light amounts, in the case of FIG.
Is tilted counterclockwise around the x-axis.

以上、x軸のまわりでの回転の検出について説明した
が、y軸のまわりでの動作も同様である。ただし、第1
光源31及び第1光ディテクタ32と直交する関係にある第
2光源33及び第2光ディテクタ34を用いることとなる。
この場合、1組のセンサである第2光源33及び第2光デ
ィテクタ34は、ミラー27即ち可動部材7のy軸まわりの
回転及びその方向を検出するために使用する。
The detection of the rotation around the x-axis has been described above, but the operation around the y-axis is also the same. However, the first
The second light source 33 and the second light detector 34 which are orthogonal to the light source 31 and the first light detector 32 will be used.
In this case, the second light source 33 and the second light detector 34, which are a set of sensors, are used to detect the rotation and the direction of the mirror 27, that is, the movable member 7 around the y axis.

第5図は、z軸の回りでの回転に関する動作について
説明したものである。
FIG. 5 illustrates an operation related to rotation about the z-axis.

第5図(a)は、容器6平面図で、フロート7が基準
位置にある場合の容器6及びフロート7の位置関係を示
したものである。フロート7がこの状態にあるとき、第
3光ディテクタ36a、36bのそれぞれで検出される第3光
源35a、35bからの赤外光ビームは、フロート7の遮光部
7bに遮られてそれぞれ最大時の約半分となっている。こ
の場合、それぞれの第3光ディテクタ36a、36bに入射す
る光量が等しくなっており、フロート7がz軸のまわり
に傾いてないものと判断される。
FIG. 5A is a plan view of the container 6 and shows the positional relationship between the container 6 and the float 7 when the float 7 is at the reference position. When the float 7 is in this state, the infrared light beams from the third light sources 35a and 35b detected by the third light detectors 36a and 36b respectively
It is about half of the maximum when blocked by 7b. In this case, the amounts of light incident on the respective third light detectors 36a and 36b are equal, and it is determined that the float 7 is not tilted around the z-axis.

第5図(b)は、フロート7がz軸のまわりで反時計
方向に回転した場合を示す。この場合、実際には容器7
が外界に対し時計方向に回転している。この様にフロー
ト7が回転すると、第3光源35aからの赤外光ビームの
ほとんどは、フロート7の透光部7aを通過して第3光デ
ィテクタ36aに到達する。一方、第3光源35bからの赤外
光ビームのほとんどは、フロート7の遮光部7bに遮られ
て第3光ディテクタ36bに到達しない。したがって、左
側の光源35aで検出される光量が増大し、右側の光源35b
で検出される光量が減少する。これらの検出光量の差動
出力を測定することで、第5図(b)の場合、フロート
7がz軸のまわりで反時計方向に回転したものと判断さ
れる。
FIG. 5 (b) shows the case where the float 7 has rotated counterclockwise around the z-axis. In this case, the container 7 is actually
Rotates clockwise with respect to the outside world. When the float 7 rotates in this manner, most of the infrared light beam from the third light source 35a passes through the light transmitting portion 7a of the float 7 and reaches the third light detector 36a. On the other hand, most of the infrared light beam from the third light source 35b is blocked by the light shielding portion 7b of the float 7 and does not reach the third light detector 36b. Therefore, the amount of light detected by the left light source 35a increases, and the right light source 35b
Reduces the amount of light detected. By measuring the differential output of these detected light amounts, in the case of FIG. 5B, it is determined that the float 7 has rotated counterclockwise around the z-axis.

第6図は、第3図から第5図に示す光源31、光ディテ
クタ32及びその制御回路等の回路構成を示したものであ
る。
FIG. 6 shows a circuit configuration of the light source 31, the light detector 32 and its control circuit shown in FIGS. 3 to 5.

LED等からなる第1光源31は、制御回路から給電され
赤外光を発生する。また、第1光ディテクタ32は、光源
からの赤外光に応答し、電圧又は電流を発生する。両光
ディテクタ32に入射する光量がほぼ等しくなったとき点
A1での出力電圧が零になるように回路を調節してあるの
で、両光ディテクタからの差動出力がアンバランスな場
合、点A1に正又は負の出力が発生する。点A1に発生する
出力が正又は負のいずれであるかによって、フロート7
のx軸のまわりでの回転方向が判別できる。
The first light source 31 including an LED or the like is supplied with power from the control circuit and generates infrared light. The first light detector 32 generates a voltage or a current in response to infrared light from a light source. The point when the amount of light incident on both light detectors 32 is almost equal
Since the circuit is adjusted so that the output voltage at A1 becomes zero, if the differential outputs from both photodetectors are unbalanced, a positive or negative output is generated at point A1. Depending on whether the output at point A1 is positive or negative, float 7
The rotation direction about the x-axis can be determined.

第2光源33及び第2光ディテクタ34も同様の回路によ
って制御される。この場合も、両光ディテクタ34からの
差動出力がアンバランスになると、点A2に正又は負の出
力が発生する。点A2に発生する出力の正・負によって、
フロート7のy軸のまわりでの回転方向が判別できる。
The second light source 33 and the second light detector 34 are controlled by a similar circuit. Also in this case, if the differential outputs from both photodetectors 34 are unbalanced, a positive or negative output is generated at point A2. Depending on the positive or negative output generated at point A2,
The direction of rotation of the float 7 about the y-axis can be determined.

また、第3光源35a、35b及び第2光ディテクタ36a、3
6bも同様の回路によって制御される。この場合も、両光
ディテクタ36a、36bからの差動出力がアンバランスにな
ると、点A3に正又は負の出力が発生する。
In addition, the third light sources 35a and 35b and the second light detectors 36a and 36a
6b is controlled by a similar circuit. Also in this case, when the differential outputs from the two photodetectors 36a and 36b become unbalanced, a positive or negative output is generated at the point A3.

点A1、A2、A3の出力信号は、変換回路8で検出され
る。検出された信号は、この変換回路で処理されて各サ
ーボモータ2、12、22を駆動するための出力に変換され
る。例えば第4図(b)のように、フロート7がx軸の
まわりに回転して点A1に出力が発生した場合、サーボモ
ータ2が回転して容器6をX軸のまわりで反時計方向に
回転させる。点A1の出力が零になるとサーボモータ2の
回転を停止させる。フロート7は元の基準位置に戻って
いる。フロート7がy軸又はz軸のまわりに回転した場
合も、同様に点A2、A3に出力が発生し、容器6はそれぞ
れY軸又はZ軸のまわりに回転し、フロート7は基準位
置に戻る。
The output signals at points A1, A2 and A3 are detected by the conversion circuit 8. The detected signal is processed by this conversion circuit and converted into an output for driving each of the servomotors 2, 12, 22. For example, as shown in FIG. 4 (b), when the float 7 rotates around the x-axis and an output is generated at the point A1, the servomotor 2 rotates to move the container 6 counterclockwise around the X-axis. Rotate. When the output at the point A1 becomes zero, the rotation of the servomotor 2 is stopped. The float 7 has returned to its original reference position. When the float 7 rotates around the y-axis or the z-axis, an output similarly occurs at points A2 and A3, the container 6 rotates around the Y-axis or the Z-axis, respectively, and the float 7 returns to the reference position. .

以上は、X軸、Y軸及びZ軸がそれぞれx軸、y軸及
びz軸に平行な場合について述べた。しかし実際の動作
において、これらの軸は、Z軸及びz軸を除き一定の関
係に保たれない。具体的には、第1図において、外箱1
がY軸まわりに約45度回転したとすると、X軸もこれに
連れて45度回転するため、X軸とx軸との成す角は45度
となり、これらは平行でなくなる。この様に実際の動作
で、X軸、Y軸及びZ軸のまわりの外箱1の回転が積算
されてくると、x軸、y軸及びz軸のまわりでの回転を
X軸、Y軸及びZ軸のまわりでの回転に座標変換する必
要が生じてくる。変換回路8は、このような演算も行っ
ている。
The above has described the case where the X, Y, and Z axes are parallel to the x, y, and z axes, respectively. However, in actual operation, these axes are not kept in a fixed relation except for the Z axis and the z axis. Specifically, in FIG.
Is rotated about 45 degrees around the Y axis, the X axis also rotates 45 degrees with it, so that the angle between the X axis and the x axis is 45 degrees, and they are not parallel. As described above, in the actual operation, when the rotation of the outer case 1 around the X axis, the Y axis, and the Z axis is integrated, the rotation around the x axis, the y axis, and the z axis is converted to the X axis, the Y axis. And a rotation around the Z axis. The conversion circuit 8 also performs such an operation.

各サーボモータ2、12、22の回転量は、回転エンコー
ダ4、14、24によって検出されて、角度表示器9に表示
される。角度表示器9に表示された回転変位に関するデ
ータは変換回路8にフィードバックされる。
The amount of rotation of each of the servomotors 2, 12, 22 is detected by the rotary encoders 4, 14, 24 and displayed on the angle display 9. Data on the rotational displacement displayed on the angle display 9 is fed back to the conversion circuit 8.

以下、第1図の変位検出装置の動作を簡単に説明す
る。
Hereinafter, the operation of the displacement detection device of FIG. 1 will be briefly described.

図示の変位検出装置は、変位検出装置を搭載すべき物
体、例えば垂直からの角変位の検出が要求される車両等
その他の装置に取り付けられる。
The illustrated displacement detection device is attached to an object on which the displacement detection device is to be mounted, for example, a vehicle or the like, which is required to detect angular displacement from vertical.

変位検出装置を搭載した物体が回転し、変位検出装置
が例えばx軸に平行な任意の軸のまわりに回転した場合
について考察する。この場合、容器6の回転はサーボモ
ータ2によってのみ制御されているため、容器6は外箱
1に体して回転せず、またこれら容器6及び外箱1の位
置関係に変化は生じない。一方、フロート7はその慣性
によって元の方位又は位置を保つ。この結果、フロート
7は容器6及び外箱1に対して相対的に回転する。予め
フロート7が基準位置にあったものとすると、フロート
7は基準位置からずれることとなる。
Consider a case where an object on which the displacement detection device is mounted rotates and the displacement detection device rotates around an arbitrary axis parallel to, for example, the x-axis. In this case, since the rotation of the container 6 is controlled only by the servomotor 2, the container 6 does not rotate with the outer box 1, and the positional relationship between the container 6 and the outer box 1 does not change. On the other hand, the float 7 maintains its original orientation or position due to its inertia. As a result, the float 7 rotates relative to the container 6 and the outer box 1. Assuming that the float 7 is at the reference position in advance, the float 7 is shifted from the reference position.

例えば、第2図のフロート7が、x軸のまわりで図面
右側から見て時計方向に回転したとすると(現実には、
外箱1及び容器6が反時計方向に回転したことにな
る。)、光ディテクタ32の検出光量がアンバランスとな
り、第6図の制御回路の点A1に所定値以上の出力が発生
する。変換回路8は、その差動出力にもとづいてサーボ
モータ2、12、22を駆動し、容器6をフロート7のずれ
た方向(この場合、第2図右側から見て時計方向)に回
転させる。光ディテクタ32からの出力差が所定値以下に
なると、変換回路8はサーボモータ2、12、22を停止し
容器6の回転を止める。この結果、フロート7は容器6
に対して再び基準位置に戻る。
For example, if the float 7 in FIG. 2 rotates clockwise around the x-axis as viewed from the right side of the drawing (in reality,
This means that the outer box 1 and the container 6 have rotated counterclockwise. 6), the amount of light detected by the light detector 32 becomes unbalanced, and an output of a predetermined value or more is generated at a point A1 of the control circuit in FIG. The conversion circuit 8 drives the servo motors 2, 12, and 22 based on the differential output to rotate the container 6 in a direction in which the float 7 is shifted (in this case, clockwise as viewed from the right side in FIG. 2). When the output difference from the light detector 32 becomes equal to or less than a predetermined value, the conversion circuit 8 stops the servomotors 2, 12, and 22 and stops the rotation of the container 6. As a result, the float 7 becomes the container 6
To the reference position again.

以上の動作はフロート7がx軸のまわりに回転した場
合についてのものであるが、フロート7がy軸又はz軸
の周りに回転した場合についても同様のことが成り立
ち、フロート7は基準位置に維持される。ここで、容器
6の回転量は回転エンコーダ4、14、24でモニタされて
いるので、変位検出装置全体の回転量、即ち角変位が検
出できる。
The above operation is for the case where the float 7 rotates around the x-axis, but the same holds for the case where the float 7 rotates around the y-axis or the z-axis. Will be maintained. Here, since the rotation amount of the container 6 is monitored by the rotation encoders 4, 14, and 24, the rotation amount of the entire displacement detection device, that is, the angular displacement can be detected.

実際の変位検出装置は、一般的には任意の方向に連続
的に回転する。従って、容器6もこの回転に打ち消すよ
うに滑らかにかつ正確に回転することが望ましい。その
ためには、光ディテクタからの出力差がわずかでもサー
ボモータを動作させることが望ましい。また、サーボモ
ータの回転が滑らかで応答性が良いことが望ましい。
An actual displacement detection device generally rotates continuously in an arbitrary direction. Therefore, it is desirable that the container 6 also rotates smoothly and accurately so as to cancel the rotation. For this purpose, it is desirable to operate the servomotor even if the output difference from the optical detector is slight. Further, it is desirable that the rotation of the servomotor be smooth and the response be good.

第7図及び第8図は、本発明の第2実施例の変位検出
装置を説明した図である。なお、第1実施例の変位検出
装置と共通する部分については同一の符号を付してあ
る。
7 and 8 are views for explaining a displacement detecting device according to a second embodiment of the present invention. Note that the same reference numerals are given to portions common to the displacement detection device of the first embodiment.

第2実施例の場合、第1実施例の場合と異なり、容器
6の内部を減圧している。その他の部分の構成は、第1
実施例の構成と全く同様である。この場合、容器6内の
減圧により、フロート7に加わっていた液体からの抵抗
を消滅させている。フロート7は容器6に軸受け等によ
ってのみ支えられることとなるが、フロート7に作用す
る軸受けからの抵抗力は、容器6及びフロート7の位置
関係が巨視的には変化しないので、正負の方向に相殺さ
れるように働く。したがって、変位検出の誤差を最小限
に抑えることができる。更に、磁気浮上等を利用して軸
受けを構成するならば、より抵抗を減少させることもで
きる。
In the case of the second embodiment, unlike the case of the first embodiment, the pressure inside the container 6 is reduced. The configuration of the other parts is the first
The configuration is completely the same as that of the embodiment. In this case, the resistance from the liquid added to the float 7 is eliminated by the reduced pressure in the container 6. The float 7 is supported only on the container 6 by a bearing or the like. However, since the resistance force from the bearing acting on the float 7 does not change macroscopically the positional relationship between the container 6 and the float 7, the float 7 moves in the positive and negative directions. Work to offset. Therefore, an error in displacement detection can be minimized. Further, if the bearing is formed by utilizing magnetic levitation or the like, the resistance can be further reduced.

本発明は上記実施例に限られるものではなく様々な変
形が可能である。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible.

例えば、容器6の内部に収容する液体として、水以外
のものも使用できる。ただし、粘性の低い液体が望まし
いことはいうまでもない。更に、実際の使用にあって
は、光源の光に対して透明で、融点が低く、比重の大き
な液体を使用することが望ましい。
For example, a liquid other than water can be used as the liquid contained in the container 6. However, needless to say, a liquid having a low viscosity is desirable. Further, in actual use, it is desirable to use a liquid that is transparent to the light of the light source, has a low melting point, and a large specific gravity.

また、容器の内部空間を略球状としても良い。ここ
で、容器の内部空間が略球状であるとは、容器の中心を
通る任意の回転軸のまわりで容器を回転しても、容器の
内部に収容した流体に乱流がほとんど発生しないような
形状を意味するものとする。容器内の流体に発生する乱
流を最小限に抑えることで、変位検出の誤差を減少させ
ることができる。この場合、可動部材の慣性モーメント
を小さくし、その形状を内部空間の中心で互いに直交す
るx軸、y軸及びz軸のいずれのまわりにも非回転対称
なものとしてもよい。この場合、流体は、容器が上記任
意の回転軸のまわりに回転しても、その慣性によって一
定方向を維持する。また、可動部材も、それ自身の慣性
と流体からの作用とによって流体と共に回転するため、
外界に体して一定方向を維持することとなる。つまり、
容器内の流体の動きを可動部材の動きから間接的に検出
し、これに応じて容器を回転させることで変位検出が可
能に成る。
Further, the inner space of the container may be substantially spherical. Here, that the interior space of the container is substantially spherical means that even if the container is rotated around an arbitrary rotation axis passing through the center of the container, almost no turbulence occurs in the fluid contained in the container. It means shape. By minimizing the turbulence generated in the fluid in the container, the error of displacement detection can be reduced. In this case, the moment of inertia of the movable member may be reduced, and its shape may be non-rotationally symmetric around any of the x-axis, y-axis, and z-axis orthogonal to each other at the center of the internal space. In this case, the fluid maintains a constant direction due to its inertia even when the container rotates around the above-mentioned arbitrary rotation axis. Also, since the movable member also rotates with the fluid due to its own inertia and the action from the fluid,
It will maintain a certain direction in the outside world. That is,
Displacement can be detected by detecting the movement of the fluid in the container indirectly from the movement of the movable member and rotating the container accordingly.

更に、容器6とその内部の液体との接触抵抗を小さく
するため、容器6の内壁にテフロン等のコーティング等
を施しても良い。
Further, the inner wall of the container 6 may be coated with Teflon or the like to reduce the contact resistance between the container 6 and the liquid in the container.

更に、容器6の内面に中空のチューブからなるバッフ
ァを設けても良い。このようなバッファは、容器内の液
体の圧力に応じて膨脹・収縮するので、温度変化による
水の体積変化を吸収でき、また気泡の発生を防止でき
る。
Further, a buffer made of a hollow tube may be provided on the inner surface of the container 6. Since such a buffer expands and contracts in accordance with the pressure of the liquid in the container, it can absorb a change in volume of water due to a change in temperature and can prevent the generation of bubbles.

更に、発光手段としては、LEDの他LD等の光源を使用
してもよい。また、信号光として、可視領域の外光をノ
イズとして受けないように赤外光を使用したが、各種波
長の信号光の使用が可能なことはいうまでもない。更
に、超音波発信源及び受信器の組み合わせを使用してず
れ検出手段としてもよい。更に、磁気的・静電的位置検
出装置をフロート7及び容器6に設け、これをずれ検出
手段としてもよい。
Further, as the light emitting means, a light source such as an LD other than the LED may be used. Although infrared light is used as signal light so as not to receive outside light in the visible region as noise, it goes without saying that signal light of various wavelengths can be used. Further, a combination of an ultrasonic wave transmission source and a receiver may be used as the deviation detecting means. Further, a magnetic / electrostatic position detecting device may be provided on the float 7 and the container 6, and this may be used as a deviation detecting means.

更に、本実施例の場合、x軸、y軸及びz軸に関する
3組の回転センサとしてそれぞれ一対の光検出部からな
る光ディテクタの差動出力を検出するものとしたが、単
一の光検出部からなる光ディテクタから1組の回転セン
サを構成してもよい。この場合、フロート7及び容器6
が所定の位置関係の範囲内にあるときに、光源から光デ
ィテクタへの光信号が遮られるようにしておく。例え
ば、光信号の断続が切り替わる点を基準位置とすれば、
この切り替わる点をのぞいてフロート7が基準位置から
ずれたこととなる。また、検出された光信号が断続いず
れの状態にあるかで基準位置からずれた方向がいずれで
あるかが定まる。
Further, in the case of this embodiment, three sets of rotation sensors for the x-axis, the y-axis, and the z-axis each detect the differential output of a photodetector including a pair of photodetectors. A set of rotation sensors may be constituted by a photodetector comprising a section. In this case, the float 7 and the container 6
When is within the range of the predetermined positional relationship, an optical signal from the light source to the optical detector is blocked. For example, if the point at which the intermittent switching of the optical signal switches is set as the reference position,
Except for this switching point, the float 7 has deviated from the reference position. Further, the direction in which the detected optical signal is shifted from the reference position is determined by the state of the intermittent light signal.

更に、容器6の外箱1に対する回転量は、抵抗体によ
って測定してもよい。例えば、抵抗体の可変の抵抗値を
サーボモータ2の回転量及び方向に応じて増減させる方
法がある。抵抗体の抵抗値をモニタすることにより、サ
ーボモータ2の駆動量及び方向を検出することができ
る。更に、容器6の回転量も測定できる。
Further, the amount of rotation of the container 6 with respect to the outer box 1 may be measured by a resistor. For example, there is a method of increasing or decreasing the variable resistance value of the resistor according to the rotation amount and direction of the servo motor 2. By monitoring the resistance value of the resistor, the drive amount and direction of the servo motor 2 can be detected. Further, the rotation amount of the container 6 can be measured.

更に、第2図に示したように、フロート7に磁針17を
設けることもできる。フロート7は、自重によって重力
の場に対し一定状態を保つと共に地磁気の場に対して一
定状態を保つ。よって、フロート7は、3軸の方向で常
に一定の方向を維持する力を受けることとなる。よっ
て、変位検出装置の動作停止後に変位検出装置が回転し
たとしてもフロート7は常に一定の方向に保たれるの
で、変位の絶対値を簡易に検出できる。しかも、通常の
動作中にあっては、容器内の液体からの作用の蓄積によ
る誤差を減少させることができる。
Further, as shown in FIG. 2, a magnetic needle 17 can be provided on the float 7. The float 7 keeps a constant state with respect to the gravitational field and a constant state with respect to the terrestrial magnetism field by its own weight. Therefore, the float 7 receives a force that always maintains a constant direction in the directions of the three axes. Therefore, even if the displacement detection device rotates after the displacement detection device stops operating, the float 7 is always kept in a fixed direction, so that the absolute value of the displacement can be easily detected. In addition, during normal operation, errors due to accumulation of action from the liquid in the container can be reduced.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明によれば、任意の方向で
変位が検出でき、構造が極めて簡単で、かつ、小型で軽
量の変位検出装置であって、精度の高い変位検出装置を
提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a displacement detection device which can detect displacement in any direction, has a very simple structure, is small and lightweight, and has high accuracy. Can be.

また、好適な実施態様の変位検出装置によれば、戻し
手段の駆動方向及び駆動量に基づいて、簡易に角変位を
検出することができる。
Further, according to the displacement detecting device of the preferred embodiment, the angular displacement can be easily detected based on the driving direction and the driving amount of the return means.

更に、好適な実施態様の変位検出装置によれば、3組
の光学的センサを使用したことにより、可動部材が基準
位置からずれたことと、基準位置からずれた方向と簡易
に判定できる。
Further, according to the displacement detecting device of the preferred embodiment, the use of three sets of optical sensors makes it possible to easily determine that the movable member has shifted from the reference position and the direction in which the movable member has shifted from the reference position.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明に係る変位検出装置の第1実施例の構成
を示した図、第2図は第1図の変位検出装置の容器及び
フロートの配置を示した斜視図、第3図は第1図の変位
検出装置の容器及びフロートの配置を示した側面図、第
4図は第2図のフロートのx軸まわりでの傾き検出を説
明するための図、第5図は第2図のフロートのz軸まわ
りでの回転検出を説明するための図、第6図は第1図の
変位検出装置を駆動する回路の構成を示した図、第7図
は変位検出装置の第2実施例の構成を示した図、第8図
は第7図の変位検出装置の容器及びフロートの配置を示
した斜視図。 2、12、22……戻し手段、4、14、24……変位検出手
段、6……支持手段、7……可動部材、31、32、33、3
4、35、36……ずれ検出手段。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a first embodiment of a displacement detecting device according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing the arrangement of a container and a float of the displacement detecting device of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a side view showing the arrangement of the container and the float of the displacement detecting device of FIG. 1, FIG. 4 is a view for explaining the detection of the tilt of the float of FIG. 2 around the x-axis, and FIG. FIG. 6 is a view for explaining rotation detection of the float around the z-axis, FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a circuit for driving the displacement detection device of FIG. 1, and FIG. 7 is a second embodiment of the displacement detection device. FIG. 8 is a perspective view showing an arrangement of a container and a float of the displacement detecting device of FIG. 2, 12, 22 ... return means, 4, 14, 24 ... displacement detection means, 6 ... support means, 7 ... movable members, 31, 32, 33, 3
4, 35, 36 ... shift detection means.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 祐二 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 藤田 勝吉 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松 ホトニクス株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−63913(JP,A) 特開 昭63−30712(JP,A) 特開 平1−217208(JP,A) 実開 昭63−23608(JP,U) 実公 昭38−4411(JP,Y1) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 21/22 - 21/26 G01C 9/00 - 9/36 G01C 19/00 - 19/54──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yuji Kobayashi 1126, Nomachi, Ichinomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture Inside (72) Inventor Katsuyoshi Fujita 1126, Nomachi, Ichinomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture Hamamatsu Photonics Co., Ltd. (56) References JP-A-63-63913 (JP, A) JP-A-63-30712 (JP, A) JP-A-1-217208 (JP, A) Japanese Utility Model Laid-Open No. 63-23608 (JP, U) JK 38-4411, JP, Y1 (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G01B 21/22-21/26 G01C 9/00-9/36 G01C 19/00-19 / 54

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】変位が検出されるべき変位被検出部材に支
持され、該変位被検出部材に設定された互いに交差しか
つ同一平面内にない3本の回転軸に平行なX軸、Y軸及
びZ軸のまわりで回転可能な支持手段と、 前記支持手段に設定された互いに交差しかつ同一平面内
にない3本の回転軸に平行なx軸、y軸及びz軸のまわ
りで回動自在に支持された可動部材と、 前記可動部材が前記支持手段に対し相対的に回転して前
記指示手段の基準位置からずれた場合に、そのずれが生
じたことと、前記x軸、y軸及びz軸の各々に関するず
れ方向とを検出するずれ検出手段と、 前記ずれ検出手段が前記可動部材の前記基準位置からの
ずれを検出した場合に、前記支持手段を前記X軸、Y軸
及びZ軸のまわりで前記変位被検出部材に対し相対的に
回転させ、前記支持手段を前記x軸、y軸及びz軸に関
する前記可動部材のずれ方向と同一の方向に回転させる
戻し手段と、 前記変位被検出部材と前記支持手段との相対的な変位
を、前記X軸、Y軸及びZ軸の各々のまわりに関して検
出する変位検出手段と、 を備えたことを特徴とする変位検出装置。
An X-axis and a Y-axis which are supported by a displacement detection member whose displacement is to be detected, and which are parallel to three rotation axes intersecting each other and not in the same plane, which are set in the displacement detection member. And support means rotatable about the Z axis, and rotation about x, y, and z axes parallel to three rotation axes intersecting each other and not in the same plane set in the support means. A movable member that is freely supported, and that when the movable member rotates relative to the support means and deviates from a reference position of the pointing means, the displacement occurs; and the x-axis and the y-axis. And a shift detecting unit for detecting a shift direction with respect to each of the z-axis and a shift detecting unit for detecting the shift direction from the reference position of the movable member. Rotation about the axis relative to the displacement detected member. Returning means for rotating the supporting means in the same direction as the direction of displacement of the movable member with respect to the x-axis, y-axis, and z-axis; and relative displacement between the displacement detection member and the supporting means, A displacement detection device, comprising: displacement detection means for detecting around each of an X axis, a Y axis, and a Z axis.
【請求項2】前記支持手段は、内部が減圧した容器であ
り、その内部空間内に前記可動部材を収容していること
を特徴とする請求項1記載の変位検出装置。
2. The displacement detecting device according to claim 1, wherein said support means is a container whose inside is decompressed, and said movable member is accommodated in an internal space thereof.
【請求項3】前記支持手段は、その内部空間内に前記可
動部材と該可動部材に対して略等しい比重を有する液体
とを収容していることを特徴とする請求項1記載の変位
検出装置。
3. The displacement detecting device according to claim 1, wherein said support means contains said movable member and a liquid having a specific gravity substantially equal to said movable member in an internal space thereof. .
【請求項4】前記戻し手段は、前記支持手段を前記X
軸、Y軸及びZ軸のまわりにそれぞれ回転させる3組の
駆動手段を備え、前記変位検出手段は、前記3組の駆動
手段の駆動方向及び駆動量にもとづき、前記変位被検出
部材と前記支持手段との相対的な変位を検出することを
特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか一項に
記載の変位検出装置。
4. The return means comprises:
Three sets of driving means for rotating about the axis, the Y axis, and the Z axis, respectively, wherein the displacement detecting means is configured to move the displacement detection member and the support based on a driving direction and a driving amount of the three sets of driving means. 4. The displacement detecting device according to claim 1, wherein a relative displacement with respect to the means is detected.
【請求項5】前記ずれ検出手段は、前記可動部材が前記
支持手段に対し相対的に回転して基準位置からずれた場
合に、前記可動部材の前記x軸のまわりのずれ方向と前
記可動部材の前記y軸のまわりのずれ方向と前記可動部
材の前記z軸のまわりのずれ方向とをそれぞれ光学的に
検出する3組のセンサを備えることを特徴とする請求項
1から請求項4までのいずれか一項に記載の変位検出装
置。
5. The apparatus according to claim 1, wherein said shift detecting means is configured to determine a shift direction of said movable member about said x-axis and said movable member when said movable member rotates relative to said support means and shifts from a reference position. 5. A sensor according to claim 1, further comprising three sets of sensors for optically detecting a shift direction around the y-axis and a shift direction around the z-axis of the movable member. The displacement detection device according to claim 1.
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