JP2787609B2 - Honeycomb work board - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明はハニカム作業盤に関する。The present invention relates to a honeycomb work board.
さらに詳しくは、例えば、クリーンルームにおいて、
各種の計測用機器を所望の組合せ状態に取付け、光学機
器等精密機器の計測作業を実施するにあたって、特に、
高精度な計測作業をも、実施することが可能な防振装置
を内設したハニカム作業盤に関する。More specifically, for example, in a clean room,
Attach various measuring instruments to the desired combination and perform the measurement work of precision instruments such as optical instruments.
The present invention relates to a honeycomb work board having a built-in anti-vibration device capable of performing high-precision measurement work.
「従来の技術」 このようなハニカム作業盤としては、一般に、本体部
を構成するアルミハニカム材の両面に鋼板製の表面部材
が接合されており、然して、上側の表面部材には、所定
の間隔を存して多数のねじ孔が貫通して設けられてい
た。ところで、係るハニカム作業盤を用いて、特に、高
精度な計測作業を実施するにあたっては、例えば、ハニ
カム作業盤に取付けられた精密機器、計測用機器等に外
力が加わり、これらに振動が生じた場合、作業の遂行が
不可能なため、振動を直ちに静止させる必要がある。と
ころが、従来のハニカム作業盤にあっては、それ自体に
防振機能を有していないので、係る作業を実施する際に
は、通常、空気ばねシステムを利用した防振装置が組込
まれた支持台上にハニカム作業盤をセットし、係る作業
を実施していた。"Prior art" As such a honeycomb working board, generally, a surface member made of a steel plate is joined to both surfaces of an aluminum honeycomb material constituting a main body, and a predetermined distance is provided between upper surface members. Therefore, a large number of screw holes are provided to penetrate. By the way, using such a honeycomb working board, particularly, when performing high-precision measuring work, for example, an external force is applied to a precision instrument, a measuring instrument, or the like attached to the honeycomb working board, and vibration occurs in these. In such a case, it is necessary to stop the vibration immediately because the work cannot be performed. However, the conventional honeycomb working panel does not have a vibration isolating function itself, and therefore, when performing such work, a supporting device incorporating a vibration isolating device using an air spring system is usually used. The honeycomb work board was set on the table, and such work was performed.
「発明が解決しようとする課題」 ところで、このような従来のハニカム作業盤にあって
は、軽量性に主眼が置かれているため、上側の表面部材
の厚さは、平面精度を保持することができるとともに、
計測用機器等を強固に取付けることが可能な限り薄く、
すなわち、一般に、5mm程度に設定されている。よっ
て、ハニカム作業盤の平面精度が損われることの防止、
成形容易等のため、殆どの場合、予め表面部材に多数の
ねじ孔を貫通して設けた後、この表面部材を接着剤を介
してアルミハニカム材に接合することによって成形され
ている。"Problems to be Solved by the Invention" By the way, in such a conventional honeycomb working panel, since the main focus is on lightness, the thickness of the upper surface member is required to maintain planar accuracy. Can be done,
As thin as possible to firmly attach measuring instruments, etc.
That is, it is generally set to about 5 mm. Therefore, it is possible to prevent the planar accuracy of the honeycomb working board from being impaired,
In most cases, in order to facilitate molding and the like, molding is performed by providing a number of screw holes in the surface member in advance and then joining the surface member to an aluminum honeycomb material via an adhesive.
また、計測用機器等を取付けるための取付ねじの首下
長さについては、例えば、アルミハニカム材のセルを形
成するセル壁とねじ孔とが対向して位置しているねじ孔
に計測用機器等を取付けた際にも、取付ねじによってセ
ル壁が破損されることがない長さ、すなわち、計測用機
器等を取付けた状態において、取付ねじの先端が表面部
材の下面より突出することがないようにその首下長さ
は、短く設定されている。Further, the length under the neck of a mounting screw for mounting a measuring device or the like is, for example, a measuring device in a screw hole in which a cell wall forming a cell of an aluminum honeycomb material and a screw hole are opposed to each other. When mounting the device, the length of the cell wall is not damaged by the mounting screw, that is, the tip of the mounting screw does not protrude from the lower surface of the surface member when the measuring device or the like is mounted. As such, the length under the neck is set short.
ところで、表面部材とアルミハニカム材とは、表面部
材の下面とアルミハニカム材における各セルを形成する
セル壁の端部とが接着剤を介して接合されているので、
用いる接着剤の種類、例えば、二液性樹脂接着剤を用い
るか、或いはフイルム状接着剤を用いるか等により、ま
た、二液性樹脂接着剤を用いる場合であっても、表面部
材の下面側に塗布するか、或いはアルミハニカム材の各
セル壁の端部側に塗布するか等、その塗布手段により、
さらにアルミハニカム材に対してねじ孔が存在する位
置、すなわち、セル壁と対向して位置するか、セルの中
空部と対向して位置しているかによっても、生ずる結果
は異なるが、殆どの場合、接合時の加熱、加圧により、
一旦融解した接着剤の一部が、少なくとも一部のねじ孔
の下端部内に流入し、この流入した接着剤がその後硬化
し、ねじ孔内に付着したままの状態で残存したり、ま
た、時として、ねじ孔における下端部のねじ山が可なり
の高さに亘って接着剤により埋め尽されてしまうことが
あった。By the way, since the lower surface of the surface member and the end of the cell wall forming each cell in the aluminum honeycomb material are joined via an adhesive,
Depending on the type of adhesive to be used, for example, whether a two-component resin adhesive or a film adhesive is used, or even when a two-component resin adhesive is used, the lower surface side of the surface member Or to apply to the end side of each cell wall of the aluminum honeycomb material, such as,
Further, depending on the position where the screw hole exists in the aluminum honeycomb material, that is, whether it is located opposite to the cell wall or the hollow portion of the cell, the result to be produced differs, but in most cases, , By heating and pressing at the time of joining,
A part of the adhesive once melted flows into the lower end of at least a part of the screw hole, and the injected adhesive is thereafter hardened and remains as it is in the screw hole. As a result, the screw thread at the lower end of the screw hole may be filled up with the adhesive over a considerable height.
したがって、係るねじ孔を利用して計測用機器等を取
付ける場合には、取付ねじの首下長さが、計測用機器等
を強固に取付けた状態において、そのねじ部の先端が表
面部材の下面より突出することがない長さに設定されて
いるにもかかわらず、取付ねじをねじ孔に螺合せしめた
際、取付ねじの螺合に伴い、ねじ孔内に付着等していた
接着剤は削られる。そして、この削られ粉状となった接
着剤の大部分は、セル内に落下し、そのまま止まる。Therefore, when mounting a measuring device or the like using such a screw hole, when the length of the mounting screw under the neck is firmly attached to the measuring device or the like, the tip of the threaded portion may be attached to the lower surface of the surface member. Even though the length is set so that it does not protrude, when the mounting screw is screwed into the screw hole, the adhesive that has adhered in the screw hole due to the screwing of the mounting screw will not Is shaved. Most of the powdered adhesive that has been scraped falls into the cell and stops as it is.
ところで、クリーンルームは、通常室内の陽圧が略1.
4気圧にコントロールされているとともに、温度、湿度
等も常に所定の状態を維持すべくコントロールされてい
る。By the way, in a clean room, the positive pressure inside the room is usually about 1.
In addition to being controlled at 4 atmospheres, the temperature, humidity, etc. are also controlled to maintain a predetermined state at all times.
よって、このようなクリーンルームにおいて、ハニカ
ム作業盤を用いて精密機器の各種の計測作業を実施する
場合、例えば、そのハニカム作業盤のセル内に粉状の接
着剤等が止まった状態で存在している場合には、クリー
ンルーム内の空気の対流により、また、ハニカム作業盤
に振動が発生した際等、今までセル内に止まった状態で
存在していた粉状の接着剤等は舞上がり、そのセルに連
通して位置しているねじ孔を経てクリーンルーム内に飛
散する虞がある。粉状の接着剤等が飛散した場合、クリ
ーンルームの清浄度が低下し、クリーンルームの機能が
損われるとともに、計測用機器、精密機器等が汚損され
るため、精密な計測作業が実施できないという問題が指
摘されていた。Therefore, in such a clean room, when performing various measurement work of precision equipment using a honeycomb work board, for example, a powdery adhesive or the like is present in a stopped state in the cells of the honeycomb work board. In such cases, the powdery adhesives, etc., which had existed in the cell until now, flew up due to the convection of air in the clean room, and when vibrations occurred in the honeycomb work board, etc. May be scattered into the clean room via the screw holes located in communication with the clean room. If powdery adhesive or the like is scattered, the cleanliness of the clean room will be reduced, the function of the clean room will be impaired, and the measurement equipment and precision equipment will be soiled. It was pointed out.
故に、上述の問題点を解消すべく、計測用機器を強固
に取付けた際、例えば、その取付けに用いたねじ孔の下
端部に位置するねじ山が可なりの高さに亘って付着した
接着剤により埋められているような場合であっても、取
付ねじの先端と付着している接着剤とが接触するという
事態が生じることが全くない長さを備えた表面部材を用
い、この表面部材にねじ孔を貫通して設けるか、或いは
取付ねじにより計測用機器等を取付けた際、その取付ね
じの先端が当接することがない深さを有し、表面部材の
上面側にのみ開口するねじ孔を設けたハニカム作業盤が
試みられた。しかし、係るハニカム作業盤にあっては、
クリーンルームにおいて用いた場合であっても、クリー
ンルームの機能を低下させるような事態は生じないが、
何れも表面部材の重量が著しく増加するため、ハニカム
作業盤の主眼である軽量性が損われるという難点を有
し、また、特に、後者にあっては、ねじ孔加工が面倒で
コスト高となるという問題があった。Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, when the measuring instrument is firmly attached, for example, a screw thread located at the lower end of the screw hole used for the attachment adheres over a considerable height. Even if it is buried with an agent, a surface member having a length that does not cause a situation in which the tip of the mounting screw comes into contact with the attached adhesive is used. A screw that has a depth such that the tip of the mounting screw does not come into contact with it when a measuring device or the like is mounted by mounting a screw hole through the mounting hole Perforated honeycomb work boards have been tried. However, in such a honeycomb work panel,
Even if it is used in a clean room, there is no situation that degrades the function of the clean room,
In any case, since the weight of the surface member is significantly increased, there is a disadvantage that the lightness, which is the main purpose of the honeycomb working board, is impaired, and in particular, in the latter, screw hole processing is troublesome and costly. There was a problem.
また、上述の従来の作業盤にあっては、何れのタイプ
のものも、防振機能を有していないので、ハニカム作業
盤単独では、特に、高精度の計測作業を実施することは
極めて困難であり、もって、係る作業を実施するにあた
っては、空気ばねシステムを利用した防振装置が組込ま
れた構造複雑な支持台が必要なため、延いては、ハニカ
ム作業盤が高価となるとともに、重量も重くなるという
問題が指摘されていた。In addition, in the above-mentioned conventional work panels, none of the types have a vibration-proof function, and therefore, it is extremely difficult to perform a highly accurate measurement work using the honeycomb work panel alone. Therefore, when performing such work, a complicated support base having a built-in vibration damping device using an air spring system is necessary. It was pointed out that he became heavier.
本発明は上述の事情に鑑みなされたもので、その目的
とするところは、ハニカム作業盤の主眼である軽量性を
殆ど損うことなく、ハニカム作業盤自体に防振機能を付
与し、高価、かつ、重量の重い防振機能が組込まれた支
持台を用いることなく、ハニカム作業盤単独で、特に、
高精度な計測作業を実施することが可能で、しかも、ク
リーンルームで用いた場合であっても、何らクリーンル
ームの機能を低下させるような事態が生ずることなく、
なおかつ、成形も容易なハニカム作業盤を提案すること
にある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is to impart a vibration-proofing function to the honeycomb work board itself without substantially impairing the lightness which is the main purpose of the honeycomb work board, and to increase the cost, And, without using a support stand with a heavy anti-vibration function, the honeycomb work board alone,
High-precision measurement work can be performed, and even when used in a clean room, there is no situation that degrades the function of the clean room.
It is still another object of the present invention to provide a honeycomb working board that can be easily formed.
「課題を解決するための手段」 本発明は、上記目的を達成すべくなされたもので、そ
の技術的解決手段は、次のとおりである。"Means for Solving the Problems" The present invention has been made to achieve the above object, and the technical solutions thereof are as follows.
本発明に係るハニカム作業盤は、中空柱状のセルの平
面的集合体よりなるハニカム材と、このハニカム材の上
下のセル端面にそれぞれ接合された表面部材とを有して
なっており、そして、前記上側の表面部材は、所定の間
隔を存して多数のねじ孔が貫通して設けられた所定の厚
さを有する金属製の表面板と、適宜の厚さを有するシリ
コーンを素材としたゲル状物質からなる防振材層と、前
記表面板より軽量な板体よりなる支持板とが、上から順
に積層されてなっている。The honeycomb working board according to the present invention has a honeycomb member formed of a planar aggregate of hollow columnar cells, and surface members respectively joined to upper and lower cell end surfaces of the honeycomb member, and The upper surface member is a metal surface plate having a predetermined thickness provided with a large number of screw holes penetrating therethrough at a predetermined interval, and a gel made of silicone having an appropriate thickness. And a support plate made of a plate lighter than the surface plate.
「作用」 本発明は上記手段よりなるので、次の如く作用する。[Operation] The present invention comprises the above means, and operates as follows.
すなわち、本発明に係るハニカム作業盤は、本体部を
構成するハニカム材の上側に接合されている表面部材
が、所定の間隔を存して多数のねじ孔が貫通して設けら
れた所定の厚さを有する金属製の表面板と、適宜の厚さ
を有するシリコーンを素材としたゲル状物質からなる防
振材層と、表面板より軽量な支持板とが、上から順に積
層された構成よりなっている。That is, in the honeycomb working board according to the present invention, the surface member joined to the upper side of the honeycomb material forming the main body has a predetermined thickness in which a large number of screw holes are provided at predetermined intervals. Material, a vibration-absorbing material layer made of a gel-like substance made of silicone having an appropriate thickness, and a support plate lighter than the surface plate are stacked in order from the top. Has become.
したがって、このハニカム作業盤にあっては、上側の
表面部材を構成する表面板と支持板面に、優れた振動防
止特性を有するシリコーンを素材としたゲル状物質から
なる適宜厚さの防振材層が設けられているので、例え
ば、表面板や表面板に取付けられた計測用機器等に外力
が加わり、これらに振動が生じても、この振動は防振材
層によって大きく減衰されるため、振動が支持板へ伝達
されるという事態が生じることは殆どないとともに、表
面板等に生じた振動も略瞬時に静止される。Therefore, in this honeycomb working board, the surface plate and the support plate surface constituting the upper surface member are provided with a vibration-proof material of an appropriate thickness made of a gel material made of silicone having excellent vibration-proof properties. Since the layer is provided, for example, an external force is applied to the surface plate or a measuring device attached to the surface plate, and even if vibration is generated, these vibrations are greatly attenuated by the vibration isolator layer, Vibrations transmitted to the support plate rarely occur, and vibrations generated on the surface plate and the like are stopped almost instantaneously.
もって、高価、かつ、重量の重い空気ばねシステムを
利用した防振装置が組込まれた支持台を用いることな
く、ハニカム作業盤のみを単独で用いた場合であって
も、高精度な計測作業を実施することができる。Therefore, high-precision measurement work can be performed even when only the honeycomb work board is used alone without using a support base in which an anti-vibration device using an expensive and heavy air spring system is incorporated. Can be implemented.
また、上側の表面部材を形成するにあたって、シリコ
ーンを素材としたゲル状物質からなる防振材層を、表面
板と支持板間に介装状態に積層させる際、係るゲル状物
質からなる防振材層は、それ事態が優れた粘着性を有す
るため、他の接着剤を用いずとも、殆どの場合加圧する
のみによって表面板と支持板に直接接着することができ
るので、表面板に、予めねじ孔が貫通して設けられてい
る場合であっても、従来、多数のねじ孔が貫通して設け
られた表面部材を接着剤を介してハニカム材に接合して
いた際に生じていた一部のねじ孔における下端部のねじ
山が接着剤によって埋められるという事態が生ずること
はない。Further, in forming the upper surface member, when a vibration damping material layer made of a gel material made of silicone is laminated in an interposed state between the surface plate and the supporting plate, the vibration damping material made of the gel material is used. Since the material layer has excellent tackiness in that situation, it can be directly bonded to the face plate and the support plate only by pressing in most cases without using other adhesives. Conventionally, even when the screw holes are provided through, a surface member provided with a large number of screw holes is conventionally caused when the surface member is joined to the honeycomb material via an adhesive. There is no possibility that the thread at the lower end of the screw hole of the portion is filled with the adhesive.
よって、所定の厚さを有する表面板、すなわち、表面
板の厚さは、計測用機器等を強固に取付けることが可能
な限り首下長さが短く設定されている従来の取付ねじ
と、その首下長さが同一の取付ねじを用いた場合、従来
の一般のハニカム作業盤における上側の表面部材の厚さ
と、同じ厚さに設定することができる。Therefore, the surface plate having a predetermined thickness, that is, the thickness of the surface plate, the conventional mounting screw is set as short as possible under the neck length is possible to firmly attach the measuring instrument and the like, When the mounting screws having the same length under the neck are used, the thickness can be set to be the same as the thickness of the upper surface member of the conventional general honeycomb work board.
したがって、このハニカム作業盤は、従来の一般のハ
ニカム作業盤に比し、防振材層と支持板に略相当する
分、重量は増加するものの、支持板は表面板より軽量な
板体よりなっており、かつ、防振材層は金属材等と異な
りその重量が軽量なため、重量が増加する分は僅かであ
る。また、従来の改良型のハニカム作業盤と比べた場合
には、その重量は極めて軽量である。Therefore, this honeycomb work panel is substantially equal to the vibration-proof material layer and the support plate as compared with the conventional general honeycomb work board, but the weight is increased, but the support plate is made of a lighter plate than the surface plate. In addition, since the weight of the vibration damping material layer is different from that of the metal material and the like, the weight is slightly increased. Further, when compared with the conventional improved honeycomb working board, its weight is extremely light.
また、表面板に設けられるねじ孔は、予め、貫通して
設けることができるので、上側の表面部材の形成は容易
である。Further, since the screw holes provided in the surface plate can be provided in advance by penetrating, the formation of the upper surface member is easy.
さらに、このハニカム作業盤は、表面板におけるねじ
孔の下面が防振材層によって閉鎖されているとともに、
この防振材層は、それ自体が有する粘着性を利用して表
面板に接着されているので、ねじ孔に取付ねじを螺合せ
しめた際、取付ねじによって接着剤が削られる等の事態
が生ずる虞は全くない。もって、このハニカム作業盤を
クリーンルームで用いても、クリーンルームの機能が損
われることはない。Furthermore, in this honeycomb working panel, the lower surface of the screw hole in the surface plate is closed by the vibration-proof material layer,
Since the vibration-proof material layer is adhered to the surface plate by utilizing the adhesiveness of the vibration-proof material layer, when the mounting screw is screwed into the screw hole, the mounting screw may cut off the adhesive. There is no danger at all. Therefore, even if this honeycomb work panel is used in a clean room, the function of the clean room is not impaired.
「実施例」 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明す
る。"Example" Hereinafter, the present invention will be described based on an example shown in the drawings.
第1図は、ハニカム作業盤の要部の縦断面図、第2図
は、ハニカム作業盤の一部切欠き全体斜視図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a main part of the honeycomb working board, and FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of the honeycomb working board.
先ず、その構成等について説明する。 First, the configuration and the like will be described.
1はハニカム作業盤であり、このハニカム作業盤1
は、中空柱状のセル3の平面的集合体よりなるアルミハ
ニカム材2と、このアルミハニカム材2の上下のセル3
の端面にそれぞれ接着剤15を介して接合された表面部材
5と6とを有してなっている。Reference numeral 1 denotes a honeycomb work board, and the honeycomb work board 1
Is an aluminum honeycomb material 2 formed of a planar assembly of hollow columnar cells 3 and upper and lower cells 3 of the aluminum honeycomb material 2.
Has surface members 5 and 6 joined to each other with an adhesive 15 at the end faces.
これらについて詳述すると、先ず、本体部を構成する
アルミハニカム材2は、箔状のアルミ材を基材とし、こ
れら所定枚数の基材を互いに所定の位置関係に接着する
ことにより重着し、これを重着方向に展張することによ
って成形されており、セル壁4により形成された所定の
セルサイズ、高さを備えた略正六角形の中空柱状のセル
3の平面的集合体よりなり、軽量性に優れているととも
に、重量比強度にも優れ、かつ、平面精度にも優れてい
る。To describe these in detail, first, the aluminum honeycomb material 2 constituting the main body portion is made of a foil-shaped aluminum material as a base material, and a predetermined number of the base materials are adhered to each other in a predetermined positional relationship, and are laminated. This is formed by expanding the cell in the direction of the attachment, and is formed of a planar aggregate of substantially regular hexagonal hollow columnar cells 3 having a predetermined cell size and height formed by the cell walls 4, and is lightweight. In addition to excellent properties, it also has excellent weight ratio strength and excellent planar accuracy.
5はアルミハニカム材2におけるセル3の上側の端面
に接合された表面部材であり、この上側の表面部材5
は、表面板7と、防振材層9と、支持板10とが上から順
に積層されてなっている。そして、この表面部材5にお
ける表面板7は、アルミハニカム材2よりその周囲が若
干延出する大きさを備え、かつ、略その全面に亘り所定
の間隔を存して多数のねじ孔8が貫通して設けられてい
るとともに、所定の厚さ、すなわち、計測用機器12の取
付縁部13に穿設された取付孔14に、計測用機器12を強固
に取付けることが可能な限り、その首下長さlが短く設
定されている取付ねじ11を挿通するとともに、ねじ孔8
に螺合せしめ、計測用機器12を表面板7に強固に取付け
た際、取付ねじ11のねじ部先端が、表面板7の下面より
突出することなく、若干表面板7の内側に位置すること
ができる厚さを備えたステンレス鋼板により形成されて
いる。また、支持板10は、その大きさがアルミハニカム
材2と同じ大きさを備え、アルミ板等、表面板7より可
なり軽量で、かつ、その厚さも可なり薄く設定された金
属板によって形成されており、これら表面板7と支持板
10との間には介装状態に、例えば、αGBL(株式会社シ
ーゲルの登録商標)等のシリコーンを素材としたゲル状
物質からなる適宜の厚さを有する防振材層9が積層され
ている。Reference numeral 5 denotes a surface member joined to the upper end surface of the cell 3 in the aluminum honeycomb material 2, and the upper surface member 5
Has a surface plate 7, an anti-vibration material layer 9, and a support plate 10 laminated in order from the top. The surface plate 7 of the surface member 5 has a size such that its periphery slightly extends from the aluminum honeycomb material 2, and a large number of screw holes 8 penetrate therethrough at predetermined intervals over substantially the entire surface. As long as it is possible to firmly attach the measuring device 12 to a predetermined thickness, that is, to a mounting hole 14 formed in the mounting edge 13 of the measuring device 12, Insert the mounting screw 11 whose lower length 1 is set short, and
When the measuring instrument 12 is firmly attached to the surface plate 7, the tip of the screw portion of the mounting screw 11 is located slightly inside the surface plate 7 without protruding from the lower surface of the surface plate 7. It is formed of a stainless steel plate having a thickness capable of forming the same. The support plate 10 has the same size as the aluminum honeycomb material 2 and is made of a metal plate such as an aluminum plate which is lighter and more lightweight than the surface plate 7 and whose thickness is set to be considerably thinner. The surface plate 7 and the support plate
A vibration damping material layer 9 having an appropriate thickness made of, for example, a gel-like substance made of silicone such as αGBL (registered trademark of Seagel Co., Ltd.) is laminated between the base material 10 and the base material 10. .
ところで、表面板7と支持板10間に介装状態に積層さ
れるシリコーンを素材としたゲル状物質からなる防振材
層9を形成するにあたっては、主剤と硬化剤とからなる
二液性の原料を適宜割合で混合し、型材等に注入し、加
圧する(必要に応じ加熱もする)ことによって形成する
ことができ、優れた振動防止特性を有しているととも
に、優れた粘着性を有している。By the way, in forming the vibration damping material layer 9 made of a gel material made of silicone which is laminated between the surface plate 7 and the support plate 10, a two-component It can be formed by mixing raw materials in appropriate proportions, injecting them into molds and the like, and pressurizing (and heating if necessary), and has excellent anti-vibration properties and excellent adhesiveness doing.
したがって、上側の表面部材5を形成するたにあたっ
ては、予め、表面板7と同一の大きさで、かつ、適宜厚
さを有する防振材層9を形成し、この防振材層9を表面
板7と支持板10間に介装状態にセットし、加圧すること
によって、他の接着剤を用いることなく、表面板7と支
持板10は防振材層9を介して積層され、表面部材5は形
成される。Therefore, when the upper surface member 5 is formed, a vibration isolator layer 9 having the same size and an appropriate thickness as the surface plate 7 is formed in advance, and this vibration isolator layer 9 is The surface plate 7 and the support plate 10 are stacked via the vibration-insulating material layer 9 without using another adhesive by being set in an interposed state between the face plate 7 and the support plate 10 and applying pressure. 5 is formed.
なお、予め、防振材層9を形成することなく、例え
ば、適宜の高さで回りを囲い、かつ、各ねじ孔8の下面
部をテープ等で閉鎖した表面板7における下面上に、適
宜割合で混合した適宜量の原料を注入した後、支持板10
を被せ、加圧することにより防振材層9を形成するとと
もに、同時に、各部材を積層することによって、表面部
材5を形成するようにしてもよい。In addition, without forming the vibration isolator layer 9 in advance, for example, on the lower surface of the surface plate 7 surrounding the circumference at an appropriate height and closing the lower surface of each screw hole 8 with a tape or the like, as appropriate. After injecting an appropriate amount of raw materials mixed in proportions, the support plate 10
And pressurizing to form the vibration isolating material layer 9, and at the same time, the surface member 5 may be formed by laminating each member.
また、表面板7と支持板10間に介装状態に積層される
防振材層9の厚さについては、ハニカム作業盤1の大き
さ、用途等によって異なるが、例えば、表面板7や表面
板7に取付けられた計測用機器12等に外力が加わり、こ
れらに振動が生じた場合、この振動が防振材層9によっ
て大きく減衰され、支持板10への振動の伝達を殆ど阻止
するとともに、表面板7等に生じた振動も略瞬時に静止
させることができる厚さに設定すればよい。The thickness of the vibration isolating material layer 9 laminated between the surface plate 7 and the support plate 10 varies depending on the size, use, and the like of the honeycomb work board 1. When an external force is applied to the measuring device 12 or the like attached to the face plate 7 and these are vibrated, the vibrations are greatly attenuated by the vibration isolating material layer 9, and the transmission of the vibrations to the support plate 10 is almost prevented. The thickness may be set so that the vibration generated on the surface plate 7 and the like can be stopped almost instantaneously.
なお、6はアルミハニカム材2の下側のセル3の端面
に接合されたアルミハニカム材2と同一の大きさを有す
る金属板製の表面部材である。また、16はハニカム作業
盤1の側面部に設けられた金属板製の側枠であり、この
側枠16は、表面板7の周囲に垂下して設けられた上部側
枠16aと、この上部側枠16aの内側に位置すべく、アルミ
ハニカム材2、下側の表面部材6の側部に接合された下
部側枠16bとからなっている。よって、このハニカム作
業盤1は、例えば、表面盤7に振動が生じた際、防振材
層9の上面に積層された表面板7のみが揺動可能となっ
ている。Reference numeral 6 denotes a surface member made of a metal plate having the same size as the aluminum honeycomb material 2 joined to the end surface of the cell 3 on the lower side of the aluminum honeycomb material 2. Reference numeral 16 denotes a side plate made of a metal plate provided on a side surface portion of the honeycomb work board 1. The side frame 16 includes an upper side frame 16a hanging down around the surface plate 7, and an upper side frame 16a. An aluminum honeycomb material 2 and a lower side frame 16b joined to the side of the lower surface member 6 are located inside the side frame 16a. Therefore, in the honeycomb working board 1, for example, when vibration occurs on the front board 7, only the front board 7 laminated on the upper surface of the vibration-proof material layer 9 can swing.
ハニカム作業盤1はこのようになっている。 The honeycomb work board 1 is configured as described above.
次に、その作動等について説明する。 Next, the operation and the like will be described.
このハニカム作業盤1は、本体部を構成するアルミハ
ニカム材2の上側に接合された表面部材5が、所定の間
隔を存して多数のねじ孔8が貫通して設けられた所定の
厚さを有するステンレス鋼板製の表面板7と、適宜の厚
さを有する例えばαGEL等のシリコーンを素材としたゲ
ル状物質からなる防振材層9と、表面板7よりその厚さ
が可なり薄く、かつ、可なり軽量なアルミ板等の金属薄
板により形成された支持板10とが、上から順に積層され
た構成よりなっている。The honeycomb working board 1 has a surface member 5 joined to an upper side of an aluminum honeycomb material 2 constituting a main body, and has a predetermined thickness in which a large number of screw holes 8 are provided at predetermined intervals. A surface plate 7 made of a stainless steel plate having a thickness; a vibration-proof material layer 9 made of a gel-like material made of silicone such as αGEL having an appropriate thickness; Further, the support plate 10 is formed by laminating a support plate 10 formed of a metal sheet such as an aluminum plate which is considerably lighter in order from the top.
したがって、このハニカム作業盤1にあっては、上側
の表面部材5を構成する表面盤7と支持板10間に、優れ
た振動防止特性を有する防振材層9が設けられているの
で、例えば、表面板7や表面板7に取付けられた計測用
機器12等に外力が加わり、これらに振動が生じても、こ
の振動は、防振材層9によって大きく減衰されるため、
支持板10へ振動が伝達されるという事態が生じることは
殆どなく、また、表面板7等に生じた振動も略瞬時に静
止される。Therefore, in the honeycomb working board 1, since the vibration damping material layer 9 having excellent vibration preventing properties is provided between the surface board 7 constituting the upper surface member 5 and the support plate 10, for example, Even if an external force is applied to the surface plate 7 or the measuring device 12 attached to the surface plate 7 and the vibration is generated, the vibration is greatly attenuated by the vibration isolating material layer 9.
Vibration is hardly transmitted to the support plate 10, and the vibration generated on the surface plate 7 and the like is stopped almost instantaneously.
もって、高価、かつ、重量の重い空気ばねシステムを
利用した防振装置が組込まれた支持台を用いることな
く、ハニカム作業盤1のみを単独で用いた場合であって
も、高精度な計測作業を実施することができる。Therefore, even if only the honeycomb work board 1 is used alone without using a support base in which an anti-vibration device using an expensive and heavy air spring system is incorporated, high-precision measurement work can be performed. Can be implemented.
また、上側の表面部材5を形成するにあたって、防振
材層9を、表面板7と支持板10間に介装状態に積層させ
る際、係るゲル状物質からなる防振材層9は、それ自体
が優れた粘着性を有し、別に他の接着剤を用いずとも、
直接接着することができるので、表面板7に、予めねじ
孔が貫通して設けられている場合であっても、従来、多
数のねじ孔が貫通して設けられた表面部材を接着剤を介
してアルミハニカム材に接合していた際に生じていた一
部のねじ孔における下端部のねじ山が、接着剤によって
埋められる等の事態が生ずることは全くない。Further, when forming the upper surface member 5, when the vibration damping material layer 9 is laminated between the surface plate 7 and the support plate 10, the vibration damping material layer 9 made of the gel-like substance is It has excellent tackiness itself, even without using other adhesives separately.
Since it is possible to directly adhere, even if a screw hole is provided through the surface plate 7 in advance, conventionally, a surface member provided with a large number of screw holes is conventionally provided with an adhesive. Thus, there is no possibility that the thread at the lower end of some of the screw holes generated when joining to the aluminum honeycomb material is filled with the adhesive.
よって、表面板7の厚さは、計測用機器12等を強固に
取付けることが可能な限り首下長さが短く設定されてい
る従来の取付けねじと、その首下長さlが同一の取付け
ねじ11を用いた場合、従来の一般のハニカム作業盤にお
ける上側の表面部材の厚さと、同じ厚さに設定すること
ができる。Therefore, the thickness of the surface plate 7 is the same as that of a conventional mounting screw whose under-neck length is set as short as possible so that the measuring instrument 12 or the like can be firmly mounted. When the screw 11 is used, the thickness can be set to be the same as the thickness of the upper surface member in a conventional general honeycomb work board.
したがって、このハニカム作業盤1は、従来の一般の
ハニカム作業盤に比し、防振材層9と支持板10に略相当
する分、重量は増加するものの、支持板10は表面板7よ
り可なり軽量な金属板よりなり、しかも、その厚さも表
面板7より可なり薄く設定されており、また、防振材層
9は金属材等と異なり、その重量が軽量なため、重量が
増加する分は僅かである。また、従来の改良型のハニカ
ム作業盤と比べた場合には、その重量は極めて軽量であ
る。Therefore, the honeycomb work board 1 has a weight that is substantially equivalent to that of the conventional honeycomb work board and substantially corresponds to the vibration damping material layer 9 and the support plate 10, but the support plate 10 is more movable than the surface plate 7. It is made of a lightweight metal plate, and its thickness is set to be considerably thinner than that of the surface plate 7. Further, unlike a metal material, the vibration-proof material layer 9 has a light weight, so that the weight increases. Minutes are small. Further, when compared with the conventional improved honeycomb working board, its weight is extremely light.
また、表面板7に設けられているねじ孔8は、予め、
貫通して設けることができるので、表面部材5の形成は
容易である。The screw holes 8 provided in the surface plate 7 are
Since the surface member 5 can be provided so as to penetrate, it is easy to form the surface member 5.
さらに、このハニカム作業盤1は、表面板7における
ねじ孔8の下面が防振材層9によって閉鎖されていると
ともに、この防振材層9は、それ自体が有する粘着性を
利用して表面板7に接着されているので、ねじ孔8に取
付ねじ11を螺合せしめた際、ねじ孔8内に付着していた
接着剤が削られる等の事態が生ずる虞は全くない。もっ
て、係るハニカム作業盤1をクリーンルームで用いて
も、クリーンルームの機能が損なわれることはない。Further, in the honeycomb working board 1, the lower surface of the screw hole 8 in the surface plate 7 is closed by the vibration-proof material layer 9, and the vibration-proof material layer 9 is formed by utilizing the adhesiveness of the vibration-proof material layer 9 itself. Since it is adhered to the face plate 7, when the mounting screw 11 is screwed into the screw hole 8, there is no possibility that the adhesive adhered in the screw hole 8 is scraped off. Therefore, even if such a honeycomb working panel 1 is used in a clean room, the function of the clean room is not impaired.
以上が作動等の説明である。 The above is the description of the operation and the like.
「発明の効果」 本発明に係るハニカム作業盤は、以上詳述した如く、
ハニカム材の上側に接合された表面部材が、所定の間隔
を存して多数のねじ孔が貫通して設けられた所定の厚さ
を有する金属製の表面板と、適宜の厚さを有するシリコ
ーンを素材としたゲル状物質からなる防振材層と、前記
表面板より軽量な板体により形成された支持板とが、上
から順に積層されてなっていることにより、次の効果を
発揮する。"Effect of the Invention" The honeycomb working board according to the present invention, as described in detail above,
A surface member joined to the upper side of the honeycomb material, a metal surface plate having a predetermined thickness provided with a large number of screw holes penetrating at predetermined intervals, and a silicone having an appropriate thickness The following effects are exhibited by the fact that the vibration-proof material layer made of a gel-like substance and the support plate formed of a plate lighter than the surface plate are laminated in order from the top. .
すなわち、このハニカム作業盤は、ハニカム作業盤自
体が優れた防振機能を有しているので、高価、かつ重量
が重い防振装置が組込まれた支持台を用いることなく、
ハニカム作業盤のみによっても、特に、高精度な計測作
業を実施することができ、かつ、このハニカム作業盤
は、クリーンルームで用いた場合、クリーンルームの機
能等を損う虞があった従来の一般のハニカム作業盤に比
し、その重量が僅かに重くなることは否めないが、クリ
ーンルームで用いた場合にも、クリーンルームの機能等
を損う虞の全くない従来の改良型のハニカム作業盤に比
し、極めて軽量であり、もって、ハニカム作業盤の主眼
である軽量性が損われることは殆どなく、なおかつ、ク
リーンルームで用いた場合であっても、何らクリーンル
ームの機能等を低下させることがなく、しかも、その成
形も容易である。That is, since the honeycomb working board has an excellent vibration isolating function itself, the honeycomb working board itself is expensive, and without using a support base in which a heavy vibration isolating device is incorporated.
By using only the honeycomb work panel, it is possible to perform particularly high-precision measurement work, and when this honeycomb work panel is used in a clean room, there is a risk that the function of the clean room may be impaired. It is undeniable that the weight becomes slightly heavier than that of the honeycomb work board, but even when used in a clean room, compared to the conventional improved honeycomb work board, which does not impair the function of the clean room at all. It is extremely lightweight, so that the lightness, which is the main focus of the honeycomb work board, is hardly impaired, and even when used in a clean room, the function of the clean room is not reduced at all, and The molding is also easy.
このように、この種従来例に存した問題点が一掃され
る等、本発明の発揮する効果は顕著にして大なるものが
ある。As described above, the effects exhibited by the present invention are remarkable and large, for example, the problems existing in this type of conventional example are eliminated.
図面は本発明の実施例を示すもので、第1図は、ハニカ
ム作業盤の要部の縦断面図、第2図は、ハニカム作業盤
の一部切欠き全体斜視図である。 1……ハニカム作業盤、2……アルミハニカム材、3…
…セル、4……セル壁、5……表面部材(上側)、6…
…表面部材(下側)、7……表面板、8……ねじ孔、9
……防振材層、10……支持板、11……取付ねじ、12……
計測用機器、13……取付縁部、14……取付孔、15……接
着剤、16……側枠、16a……上部側枠、16b……下部側
枠、l……首下長さ。The drawings show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a main part of a honeycomb working board, and FIG. 2 is a partially cutaway overall perspective view of the honeycomb working board. 1 ... Honeycomb work board, 2 ... Aluminum honeycomb material, 3 ...
... cells, 4 ... cell walls, 5 ... surface members (upper side), 6 ...
... surface member (lower side), 7 ... surface plate, 8 ... screw hole, 9
…… Vibration isolator layer, 10… Support plate, 11… Mounting screw, 12 ……
Measuring equipment, 13: Mounting edge, 14: Mounting hole, 15: Adhesive, 16: Side frame, 16a: Upper side frame, 16b: Lower side frame, l: Neck length .
Claims (1)
ニカム材と、その上下のセルの端面にそれぞれ接合され
た表面部材とを有してなるハニカム作業盤であって、上
側の前記表面部材が、所定の間隔を存して多数のねじ孔
が貫通して設けられた所定の厚さを有する金属製の表面
板と、適宜の厚さを有するシリコーンを素材としたゲル
状物質からなる防振材層と、前記表面板より軽量な板体
により形成された支持板とが、上から順に積層されてな
っていることを特徴とするハニカム作業盤。1. A honeycomb work board comprising a honeycomb material formed of a planar aggregate of hollow columnar cells and surface members joined to end faces of upper and lower cells, respectively, wherein the upper surface is The member is composed of a metal surface plate having a predetermined thickness provided with a large number of screw holes penetrating therethrough at a predetermined interval, and a gel material made of silicone having an appropriate thickness. A honeycomb working board, wherein a vibration-proof material layer and a support plate formed of a plate lighter than the surface plate are laminated in order from the top.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11026290A JP2787609B2 (en) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | Honeycomb work board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11026290A JP2787609B2 (en) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | Honeycomb work board |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048483A JPH048483A (en) | 1992-01-13 |
| JP2787609B2 true JP2787609B2 (en) | 1998-08-20 |
Family
ID=14531235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11026290A Expired - Fee Related JP2787609B2 (en) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | Honeycomb work board |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2787609B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016110881A1 (en) * | 2015-01-06 | 2016-07-14 | 特許機器株式会社 | Lightweight surface plate |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP11026290A patent/JP2787609B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH048483A (en) | 1992-01-13 |
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