JP2794464B2 - Particle measurement device - Google Patents
Particle measurement deviceInfo
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Description
この発明は、被試験体から発生するパーティクル（ゴ
ミ）の計測装置に関する。The present invention relates to an apparatus for measuring particles (dust) generated from a device under test.
気体や液体などの流体の配管路中に設け、開閉制御す
ることにより流体の流れのオン／オフを制御したり、配
管中を流れる流体の流量を制御したり、伸縮動作を行な
う配管系の部品として、ベローズやバルブ（弁）やマス
フローメーターなどがある。 ところで、これらベローズやバルブやマスフローメー
ターにおいて、その内部の摺動部などにより生じたパー
ティクルが、流体中に混入してしまう。 このようなパーティクルは、例えば半導体工場などに
おいては、製品の歩留まりなどに影響するので、そのベ
ローズやバルブやマスフローメーターにおけるパーティ
クルの発生量を、予め計測あるいは検査しておく必要が
ある。 第２図は、そのようなパーティクルの計測装置の一例
を示し、これは開閉制御を行なうバルブのパーティクル
の計測を行なう場合である。 すなわち、ボンベ１からの例えばドライエアーやN2ガ
ス等の流体が、圧力調整器２において圧力が調整されて
から、フィルター３に供給されて、被試験体の例として
のバルブ５から以外のパーティクルが予め除去される。 続いて、フィルター３を通った流体例えばN2ガスはマ
スフローメーター４に供給されて流体の流量が所定値に
なるようにされる。これは、後述するパーティクルカウ
ンタ７は、一定量の流体を吸い込んだときのパーティク
ル数を計測するものであるためである。 そして、このマスフローメーター４からのN2ガスが、
被試験バルブ５に供給される。被試験バルブ５を通った
N2ガスはパーティクルカウンタ７に供給される。この場
合、被試験バルブ５を閉じたとき、カウンタ７に供給さ
れる流体がなくなってカウンタ７が誤動作してしまうの
で、そのようなとき、外部の流体源（図示せず）から清
浄な流体、例えばクリーンエアーを供給するため、吸入
口６が設けられている。 そして、バルブ５を開閉して、そのときに発生するパ
ーティクルをパーティクルカウンタ７にて計測する。Piping system components that are installed in the piping of fluids such as gas and liquid and control the on / off of the fluid flow by controlling the opening and closing, control the flow rate of the fluid flowing in the piping, and expand and contract. Examples include bellows, valves, and mass flow meters. By the way, in these bellows, valves and mass flow meters, particles generated by sliding parts and the like inside the bellows, valves and mass flow meters are mixed into the fluid. For example, in a semiconductor factory or the like, such particles affect the yield of products. Therefore, it is necessary to measure or inspect the amount of generated particles in the bellows, valves, and mass flow meters in advance. FIG. 2 shows an example of such a particle measuring device, in which particles of a valve for controlling opening and closing are measured. That is, the fluid such as dry air or N 2 gas from the cylinder 1 is supplied to the filter 3 after the pressure is adjusted by the pressure regulator 2, and the particles other than the fluid from the valve 5 as an example of the device under test. Is previously removed. Subsequently, the fluid, such as N 2 gas, that has passed through the filter 3 is supplied to the mass flow meter 4 so that the flow rate of the fluid becomes a predetermined value. This is because a particle counter 7 described later measures the number of particles when a certain amount of fluid is sucked. And the N 2 gas from this mass flow meter 4 is
It is supplied to the valve under test 5. Passed the valve under test 5
N 2 gas is supplied to the particle counter 7. In this case, when the valve under test 5 is closed, the fluid supplied to the counter 7 runs out and the counter 7 malfunctions. In such a case, a clean fluid from an external fluid source (not shown) is used. For example, an inlet 6 is provided to supply clean air. Then, the valve 5 is opened and closed, and particles generated at that time are measured by the particle counter 7.
ところが、上述のようなパーティクル計測装置におい
ては、フィルター３あるいはマスフローメーター４から
パーティクルが発生し、これが計測時の誤差となってし
まう。 特に、被試験バルブ５を開閉すると、このとき、フィ
ルター３あるいはマスフローメーター４を流れるドライ
エアーの流量が変化し、特に、被試験バルブ５を「閉」
から「開」にしたとき、フィルター３あるいはマスフロ
ーメーター４に急に流体圧がかかる。すると、このと
き、フィルター３やマスフローメーター４に付着してい
たパーティクルが剥がれ落ち、これがカウンタ７におい
て計測時の誤差となってしまう。 また、流体圧の増加のため、フィルター３の濾材の目
開き現象が発生し、パーティクルがフィルター３を通過
してしまい、やはり、計測時の誤差となってしまうこと
もある。 さらに、被試験バルブ５を閉じているときには、ある
いはバルブ５が「閉」と「開」との中間状態にあるとき
には、吸入口６から別のクリーンエアーを吸い込んでい
るので、そのクリーンエアーの洗浄度が、そのままカウ
ンタ７における計測値に影響してしまう。 この発明は、これらの問題点を一掃しようとするもの
である。However, in the above-described particle measuring device, particles are generated from the filter 3 or the mass flow meter 4, and this causes an error in measurement. In particular, when the valve under test 5 is opened and closed, the flow rate of the dry air flowing through the filter 3 or the mass flow meter 4 changes at this time, and particularly, the valve 5 under test is closed.
, The fluid pressure is suddenly applied to the filter 3 or the mass flow meter 4. Then, at this time, the particles adhering to the filter 3 and the mass flow meter 4 are peeled off, and this becomes an error in the measurement at the counter 7. Also, due to an increase in the fluid pressure, an opening phenomenon of the filter medium of the filter 3 occurs, and the particles pass through the filter 3, which again may cause an error in measurement. Further, when the valve under test 5 is closed, or when the valve 5 is in an intermediate state between “closed” and “open”, another clean air is sucked from the suction port 6. The degree directly affects the value measured by the counter 7. The present invention seeks to eliminate these problems.
この発明によるパーティクル計測装置は、 流量が調整された流体が供給される被試験体と、 この被試験体を介して出力される上記流体中に含まれ
るパーティクルの数をカウントするパーティクルカウン
タと、 上記試験体をバイパスして上記流体を上記パーティク
ルカウンタに供給するバイパス路と、 前記バイパス路中に設けられ、このバイパス路を流れ
る流体の流量を監視するための手段と、 を備えることを特徴とする。A particle measuring apparatus according to the present invention includes: a test object to which a fluid whose flow rate is adjusted is supplied; a particle counter that counts the number of particles contained in the fluid output through the test object; A bypass for bypassing a test object and supplying the fluid to the particle counter; and means provided in the bypass for monitoring a flow rate of the fluid flowing through the bypass. .
この発明においては、バイパス路を設けたのでフィル
ターあるいはマスフローメーターを流れる流体の流量が
被試験体例えばバルブの開閉にかかわらず一定ないしほ
ぼ一定になる。したがって、フィルタからパーティクル
が剥がれ落ちることはなく、また、バルブ閉時の吸入口
を設ける必要がなく、カウンタ７の計測の誤差を抑えら
れる。In this invention, since the bypass path is provided, the flow rate of the fluid flowing through the filter or the mass flow meter becomes constant or almost constant regardless of the opening and closing of the test object, for example, the valve. Therefore, particles do not peel off from the filter, and there is no need to provide a suction port when the valve is closed, so that a measurement error of the counter 7 can be suppressed.
以下、この発明によるパーティクル計測装置の一実施
例を図を参照しながら説明する。 第１図において、流体源（図示せず）からの例えばド
ライエアーは、流体の圧力の調整を行なう、例えば圧力
調整器12からマスフローメーター14を通じてフィルター
13に供給される。さらに、このフィルター13からのドラ
イエアーが、被試験バルブ15を通じてパーティクルカウ
ンタ17に供給される。なお、21〜25は、これら手段12〜
17の間を結ぶ流体路用のパイプである。 そして、特に、この発明においては、フィルター13及
び被試験バルブ15を結ぶパイプ24と、被試験バルブ15及
びカウンタ17を結ぶパイプ25との間に、被試験バルブ15
をバイパスするバイパス用パイプ20を設ける。 この場合、従来の吸入口６は設けない。 また、バイパス用パイプ20のいずれかの位置には、こ
のバイパス路を流れる流体の流量を測定し、被試験体に
流れる流体の流量を常に監視するマスフローメーター26
を設ける。このマスフローメーター26としては、被試験
体に供給される流体中のパーティクル数よりも十分に少
ない数のパーティクルしか発生しないものを使用すると
よい。 このような構成によれば、被試験バルブ15の開閉に対
応してこのバルブ15を流れるドライエアーの流量は変化
するが、この変化と相補的な流量でドライエアーがバイ
パス用パイプ20を流れ、マスフローメーター14あるいは
フィルター13を流れるドライエアーの流量は、被試験バ
ルブ15の開閉にかからわず一定となる。 したがって、マスフローメーター14あるいはフィルタ
ー13からパーティクルが剥がれ落ちる、あるいはフィル
タ部からパーティクルが通過することがなく、カウンタ
17の計測に誤差を生じることがない。 また、従来のように、吸入口を設けて、別の流体を供
給する必要がないので、その流体による計測の誤差を生
じることもない。 さらに、マスフローメーター14の後段にフィルター13
を設けたので、仮にマスフローメーター14においてパー
ティクルを生じても、このパーティクルはフィルター13
で除去され、やはり、測定の誤差となることがない。 また、バイパス用パイプ20のバイパス路には、このバ
イパス路を流れる流体の流量を監視するマスフローメー
ター26が設けられているので、被試験バルブ15のバルブ
開閉量を制御して試験を行ったときに、このマスフロー
メーター26により、パイパス路を流れる流体の流量が監
視され、どの程度のバルブ開閉量であるかを監視するこ
とができる。 また、この発明装置の計測対象である被試験体は、上
記の例のような開閉バルブに限られるものではないこと
はいうまでもない。特に、一定の流量の流体を供給した
とき、出力流量が変化するような可変流量制御手段が被
試験体であるとき、この発明は有効である。Hereinafter, an embodiment of a particle measuring apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. In FIG. 1, for example, dry air from a fluid source (not shown) adjusts the pressure of the fluid, for example, a filter from a pressure regulator 12 through a mass flow meter 14.
Supplied to 13. Further, the dry air from the filter 13 is supplied to the particle counter 17 through the valve under test 15. Incidentally, 21 to 25 correspond to these means 12 to
This is a pipe for a fluid path connecting between 17. In particular, in the present invention, the valve under test 15 is connected between a pipe 24 connecting the filter 13 and the valve under test 15 and a pipe 25 connecting the valve under test 15 and the counter 17.
A bypass pipe 20 is provided to bypass the pipe. In this case, the conventional inlet 6 is not provided. A mass flow meter 26 that measures the flow rate of the fluid flowing through the bypass passage and constantly monitors the flow rate of the fluid flowing through the device under test is provided at any position of the bypass pipe 20.
Is provided. As the mass flow meter 26, a mass flow meter that generates only a sufficiently small number of particles than the number of particles in the fluid supplied to the test object may be used. According to such a configuration, the flow rate of the dry air flowing through the valve under test 15 changes according to the opening and closing of the valve under test 15, but the dry air flows through the bypass pipe 20 at a flow rate complementary to this change. The flow rate of the dry air flowing through the mass flow meter 14 or the filter 13 is constant regardless of whether the valve under test 15 is opened or closed. Therefore, the particles do not peel off from the mass flow meter 14 or the filter 13 or do not pass through the filter portion, and the
There is no error in 17 measurements. Further, unlike the related art, there is no need to provide an inlet and supply another fluid, so that there is no measurement error caused by the fluid. Furthermore, a filter 13 is provided after the mass flow meter 14.
Therefore, even if particles are generated in the mass flow meter 14, the particles are
, And again, no measurement error occurs. Further, since the mass flow meter 26 for monitoring the flow rate of the fluid flowing through the bypass passage is provided on the bypass passage of the bypass pipe 20, the test is performed by controlling the valve opening / closing amount of the valve under test 15. In addition, the mass flow meter 26 monitors the flow rate of the fluid flowing through the bypass path, and can monitor how much the valve is opened and closed. Further, it is needless to say that the test object to be measured by the apparatus of the present invention is not limited to the open / close valve as in the above example. In particular, the present invention is effective when the variable flow rate control means that changes the output flow rate when the fluid at a constant flow rate is supplied is the test object.
この発明において、被試験バルブに対してバイパス用
のパイプを並列に設け、マスフローメーターあるいはフ
ィルターを流れるドライエアーの流量を、被試験体の開
閉にかかわらず一定としているので、マスフローメータ
ーあるいはフィルターからパーティクルが剥がれ落ちる
ことがなく、カウンタの計測に誤差を生じることがな
い。 また、パーティクルカウンタと被試験体との間のパイ
プに吸入口を設け、この吸入口から別の流体を供給する
必要がないので、その流体による計測の誤差を生じるこ
ともない。 さらに、マスフローメーターの後段にフィルターを設
けたので、仮にマスフローメーターにおいてパーティク
ルを生じても、このパーティクルはフィルターで除去さ
れ、やはり、測定の誤差となることがない。 そして、バイパス路には、このバイパス路に流れる流
体の流量を監視する監視手段が設けられているので、こ
の監視手段により、被試験体が主力流量を制御できる可
変流量制御手段である場合に、被試験体でどの程度の出
力流量としたかを監視することができる。In the present invention, a bypass pipe is provided in parallel with the valve under test, and the flow rate of dry air flowing through the mass flow meter or the filter is kept constant regardless of the opening and closing of the test object. Does not peel off, and no error occurs in the measurement of the counter. In addition, since a suction port is provided in the pipe between the particle counter and the device under test, it is not necessary to supply another fluid from the suction port, so that a measurement error due to the fluid does not occur. Furthermore, since the filter is provided at the subsequent stage of the mass flow meter, even if particles are generated in the mass flow meter, the particles are removed by the filter, and again there is no measurement error. Further, since the bypass path is provided with monitoring means for monitoring the flow rate of the fluid flowing through the bypass path, this monitoring means allows the test object to be a variable flow rate control means capable of controlling the main flow rate. It is possible to monitor the output flow rate of the test object.
第１図はこの発明によるパーティクル計測装置の一例を
示す略線図、第２図は従来例を示す略線図である。 1;流体源 2,12;圧力調整器 3,13;フィルター 4,14;マスフローメーター 5,15;被試験バルブ 7,17;パーティクルカウンタ 20;バイパス用パイプFIG. 1 is a schematic diagram showing an example of a particle measuring device according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram showing a conventional example. 1; fluid source 2, 12; pressure regulator 3, 13; filter 4, 14; mass flow meter 5, 15; valve under test 7, 17; particle counter 20; bypass pipe
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 15/00 - 15/14──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01N 15/00-15/14
Claims (1)
体と、 この被試験体を介して出力される上記流体中に含まれる
パーティクルの数をカウントするパーティクルカウンタ
と、 上記被試験体をバイパスして上記流体を上記パーティク
ルカウンタに供給するバイパス路と、 上記バイパス路中に設けられ、このバイパス路を流れる
流体の流量を監視する手段と、 からなることを特徴とするパーティクル計測装置。1. A test object to which a fluid whose flow rate has been adjusted is supplied, a particle counter for counting the number of particles contained in the fluid output through the test object, and the test object And a means for monitoring the flow rate of the fluid flowing through the bypass passage, the bypass passage supplying the fluid to the particle counter by bypassing the particle counter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1242717A JP2794464B2 (en) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | Particle measurement device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1242717A JP2794464B2 (en) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | Particle measurement device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03103749A JPH03103749A (en) | 1991-04-30 |
| JP2794464B2 true JP2794464B2 (en) | 1998-09-03 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1242717A Expired - Fee Related JP2794464B2 (en) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | Particle measurement device |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP2794464B2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6437644U (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-07 |
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1989
- 1989-09-19 JP JP1242717A patent/JP2794464B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH03103749A (en) | 1991-04-30 |
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