JP2796482B2 - 内圧防爆機構 - Google Patents
内圧防爆機構Info
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 5
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
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- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は内圧防爆機構に関し、エ
アー供給系統及び配線系統を簡単にすることができるよ
うに工夫したものである。
アー供給系統及び配線系統を簡単にすることができるよ
うに工夫したものである。
【０００２】
【従来の技術】ロボットにより塗装作業をしていると、
塗料等から爆発性（又は引火性）の気体が発生すること
があり、この場合にはロボットを防爆構造にする必要が
ある。
塗料等から爆発性（又は引火性）の気体が発生すること
があり、この場合にはロボットを防爆構造にする必要が
ある。
【０００３】図２は内圧防爆構造を採用したロボット装
置を示す。なお図中において点線ラインは電線を示し、
実線ラインはエアーパイプを示している。また符号に
「Ｓ」を付した部材は本質安全型の部材、つまりたとえ
短絡しても引火性気体に引火を生じないよう使用電力を
小さくしている等の対策をしている部材である。
置を示す。なお図中において点線ラインは電線を示し、
実線ラインはエアーパイプを示している。また符号に
「Ｓ」を付した部材は本質安全型の部材、つまりたとえ
短絡しても引火性気体に引火を生じないよう使用電力を
小さくしている等の対策をしている部材である。
【０００４】図２に示すようにロボット１は引火性ガス
等が存在する危険場所に設置され、ロボット制御装置１
０及び保護監視装置２０は引火性ガス等が存在しない非
危険場所に設置される。
等が存在する危険場所に設置され、ロボット制御装置１
０及び保護監視装置２０は引火性ガス等が存在しない非
危険場所に設置される。
【０００５】ロボット１は外部フレーム２内に電気部分
（サーボモータや各種センサ等）３を備えている。電線
Ｌ1 ，Ｌ2 はシールド４，５を介してロボット制御装置
１０とロボット１の電気部分３とを電気的に接続してお
り、ロボット制御装置１０と電気部分３との間での信号
の授受は電線Ｌ1 で行い、ロボット制御装置１０から電
気部分３への電力供給は電線Ｌ2 で行う。
（サーボモータや各種センサ等）３を備えている。電線
Ｌ1 ，Ｌ2 はシールド４，５を介してロボット制御装置
１０とロボット１の電気部分３とを電気的に接続してお
り、ロボット制御装置１０と電気部分３との間での信号
の授受は電線Ｌ1 で行い、ロボット制御装置１０から電
気部分３への電力供給は電線Ｌ2 で行う。
【０００６】ロボット１の外部フレーム２には、上限圧
力検出器（本質安全型）３０Ｓ、下限圧力検出器３１、
リリーフ弁３２、ノーマルオープン型の電磁弁３３、給
気孔３４，３５が備えられている。給気孔３４，３５に
は、エアー源（図示省略）からエアーパイプ３６及びこ
れを分岐したパイプ３６Ｈ，３６Ｌを介してエアーが供
給される。エアーパイプ３６には、ハンドバルブ３７、
フィルタ３８、減圧弁３９が介装され、分岐したパイプ
３６Ｈ，３６Ｌには減圧弁４０，４１が介装されてい
る。そして給気孔３４は電磁弁３３に連結されている。
力検出器（本質安全型）３０Ｓ、下限圧力検出器３１、
リリーフ弁３２、ノーマルオープン型の電磁弁３３、給
気孔３４，３５が備えられている。給気孔３４，３５に
は、エアー源（図示省略）からエアーパイプ３６及びこ
れを分岐したパイプ３６Ｈ，３６Ｌを介してエアーが供
給される。エアーパイプ３６には、ハンドバルブ３７、
フィルタ３８、減圧弁３９が介装され、分岐したパイプ
３６Ｈ，３６Ｌには減圧弁４０，４１が介装されてい
る。そして給気孔３４は電磁弁３３に連結されている。
【０００７】電磁弁３３が非励磁となり開状態となって
いるときにハンドバルブ３７を開くと、電磁弁３３（給
気孔３４）及び給気孔３５からエアーが供給される。エ
アー圧をＰ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，Ｐ4 （但し、Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞
Ｐ3 ＞Ｐ4 ＞大気圧）としたとき、電磁弁３３から吹き
出すエアー圧はＰ1 となり、給気孔３５から吹き出すエ
アー圧がＰ3 となるように、減圧弁３９，４０，４１が
調整されている。またリリーフ弁３２は、外部フレーム
２内のエアー圧（フレーム内エアー圧）がＰ2以上にな
ると開き、上限圧力検出器３０Ｓはフレーム内エアー圧
がＰ2 以上になったら検出信号ＤＰ2 を出力し、下限圧
力検出器３１はフレーム内エアー圧がＰ 4 以下になった
ら検出信号ＤＰ4 を出力する。
いるときにハンドバルブ３７を開くと、電磁弁３３（給
気孔３４）及び給気孔３５からエアーが供給される。エ
アー圧をＰ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，Ｐ4 （但し、Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞
Ｐ3 ＞Ｐ4 ＞大気圧）としたとき、電磁弁３３から吹き
出すエアー圧はＰ1 となり、給気孔３５から吹き出すエ
アー圧がＰ3 となるように、減圧弁３９，４０，４１が
調整されている。またリリーフ弁３２は、外部フレーム
２内のエアー圧（フレーム内エアー圧）がＰ2以上にな
ると開き、上限圧力検出器３０Ｓはフレーム内エアー圧
がＰ2 以上になったら検出信号ＤＰ2 を出力し、下限圧
力検出器３１はフレーム内エアー圧がＰ 4 以下になった
ら検出信号ＤＰ4 を出力する。
【０００８】保護監視装置２０は、保護監視部２１と本
質安全バリアリレー（本質安全型）２２Ｓとで構成され
ている。保護監視部２０は、電線Ｌ4 を介して電磁弁３
３の励磁・非励磁を制御すると共に、電線Ｌ3 を介して
下限圧力検出器３１から検出信号ＤＰ4 を受けると、ロ
ボット制御部１０及びロボット１への電力供給を遮断す
る。また本質安全バリアリレー２２Ｓは電線Ｌ5 を介し
て上限圧力検出器３０Ｓから検出信号ＤＰ1 を受ける。
質安全バリアリレー（本質安全型）２２Ｓとで構成され
ている。保護監視部２０は、電線Ｌ4 を介して電磁弁３
３の励磁・非励磁を制御すると共に、電線Ｌ3 を介して
下限圧力検出器３１から検出信号ＤＰ4 を受けると、ロ
ボット制御部１０及びロボット１への電力供給を遮断す
る。また本質安全バリアリレー２２Ｓは電線Ｌ5 を介し
て上限圧力検出器３０Ｓから検出信号ＤＰ1 を受ける。
【０００９】上述した内圧防爆構造を持ったロボット装
置では、ロボット１の実作動前に、外部フレーム２内に
引火性ガスが浸入しないようにする防爆作業をする。即
ち、ハンドバルブ３７を開き外部フレーム４２内にエア
ーを供給する。フレーム内エアー圧がＰ2 を越えるとリ
リーフ弁３２からエアーが排出される。したがって非危
険場所から導かれた外気が外部フレーム２内に入ると共
にフレーム内空気が排出され掃気が行なわれることとな
る。フレーム内エアー圧がＰ2 になったら上限圧力検出
器３０Ｓから検出信号ＤＰ2 が出力され、保護監視装置
２０ではタイマのカウントをスタートする。外部フレー
ム２及びエアーパイプ３６，３６Ｈ，３６Ｌの内部が、
その容積の５倍以上のエアーで掃気されるのに要する時
間が、タイマ時間としてあらかじめ設定されている。そ
こでタイマのカウントをスタートしてからタイマ時間経
過したところで、保護監視部２１は励磁により電磁弁３
３を閉じて掃気を完了する。
置では、ロボット１の実作動前に、外部フレーム２内に
引火性ガスが浸入しないようにする防爆作業をする。即
ち、ハンドバルブ３７を開き外部フレーム４２内にエア
ーを供給する。フレーム内エアー圧がＰ2 を越えるとリ
リーフ弁３２からエアーが排出される。したがって非危
険場所から導かれた外気が外部フレーム２内に入ると共
にフレーム内空気が排出され掃気が行なわれることとな
る。フレーム内エアー圧がＰ2 になったら上限圧力検出
器３０Ｓから検出信号ＤＰ2 が出力され、保護監視装置
２０ではタイマのカウントをスタートする。外部フレー
ム２及びエアーパイプ３６，３６Ｈ，３６Ｌの内部が、
その容積の５倍以上のエアーで掃気されるのに要する時
間が、タイマ時間としてあらかじめ設定されている。そ
こでタイマのカウントをスタートしてからタイマ時間経
過したところで、保護監視部２１は励磁により電磁弁３
３を閉じて掃気を完了する。
【００１０】掃気が完了したら、ロボット制御部１０に
よりロボット１を作動させる。ロボット１の作動中でも
エアーパイプ３６Ｌからエアー圧がＰ3 となったエアー
が供給されるため、特別な事故や不良がない限り、外部
フレーム２内のエアー圧はＰ 3 以上に保持される。
よりロボット１を作動させる。ロボット１の作動中でも
エアーパイプ３６Ｌからエアー圧がＰ3 となったエアー
が供給されるため、特別な事故や不良がない限り、外部
フレーム２内のエアー圧はＰ 3 以上に保持される。
【００１１】何らかの事故や不良が生じると、外部フレ
ーム２の中のエアー圧が低下しエアー圧がＰ4 より小さ
くなると、下限圧力検出器３１から検出信号ＤＰ4 が出
力される。フレーム内エアー圧がＰ4 以下になると引火
性ガス等が外部フレーム２内に浸入するおそれがでてく
るため、保護監視装置２０は、ロボット制御部１０及び
ロボット１の電源を遮断し、ショート等を発生させない
ようにして、引火・爆発の発生を防止している。また非
常警告等を発する。
ーム２の中のエアー圧が低下しエアー圧がＰ4 より小さ
くなると、下限圧力検出器３１から検出信号ＤＰ4 が出
力される。フレーム内エアー圧がＰ4 以下になると引火
性ガス等が外部フレーム２内に浸入するおそれがでてく
るため、保護監視装置２０は、ロボット制御部１０及び
ロボット１の電源を遮断し、ショート等を発生させない
ようにして、引火・爆発の発生を防止している。また非
常警告等を発する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで図２に示す従
来技術では、分岐した２系統のエアパイプ３６Ｈ，３６
Ｌにより、外部フレーム２内にエアー供給をしなければ
ならないため、エアー系統が複雑になる。また保護監視
装置２０とロボット１との間で信号や電力を伝送するた
め３本の電線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５が必要なため、配線系統
が複雑になる。
来技術では、分岐した２系統のエアパイプ３６Ｈ，３６
Ｌにより、外部フレーム２内にエアー供給をしなければ
ならないため、エアー系統が複雑になる。また保護監視
装置２０とロボット１との間で信号や電力を伝送するた
め３本の電線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５が必要なため、配線系統
が複雑になる。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、危険場所に設置されると共に外部フレーム
内にエアーが供給される防爆対象機器と、非危険場所に
設置されると共に、前記防爆対象機器に指令信号と電力
を供給する制御装置と、前記外部フレーム内のエアー圧
が一定値以下に低下したら前記制御装置及び防爆対象機
器の電源を遮断する保護監視装置と、を有する内圧防爆
機構において、前記外部フレーム内にエアーを供給する
一本のエアーパイプと、前記外部フレーム内のエアー圧
を検出しエアー圧に応じた検出信号を前記保護監視装置
に送る圧力検出機と、前記外部フレーム内に設置されて
おり開状態では外部フレームの内外を連通状態にすると
共に前記防爆対象機構に送られてくる電力により励磁さ
れて閉状態となるノーマルオープン型の電磁弁を備えた
ことを特徴とする。
明の構成は、危険場所に設置されると共に外部フレーム
内にエアーが供給される防爆対象機器と、非危険場所に
設置されると共に、前記防爆対象機器に指令信号と電力
を供給する制御装置と、前記外部フレーム内のエアー圧
が一定値以下に低下したら前記制御装置及び防爆対象機
器の電源を遮断する保護監視装置と、を有する内圧防爆
機構において、前記外部フレーム内にエアーを供給する
一本のエアーパイプと、前記外部フレーム内のエアー圧
を検出しエアー圧に応じた検出信号を前記保護監視装置
に送る圧力検出機と、前記外部フレーム内に設置されて
おり開状態では外部フレームの内外を連通状態にすると
共に前記防爆対象機構に送られてくる電力により励磁さ
れて閉状態となるノーマルオープン型の電磁弁を備えた
ことを特徴とする。
【００１４】
【作用】大気開放用の電磁弁の励磁を、防爆対象機器
（ロボット）に送る電力により励磁するようにしたた
め、電力供給用と励磁用の電線を共用化でき、配線系統
を簡略化できる。また１本のエアーパイプにより防爆対
象機器にエアーを供給するようにしたので、エアー系統
の簡略化ができる。
（ロボット）に送る電力により励磁するようにしたた
め、電力供給用と励磁用の電線を共用化でき、配線系統
を簡略化できる。また１本のエアーパイプにより防爆対
象機器にエアーを供給するようにしたので、エアー系統
の簡略化ができる。
【００１５】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。なお従来技術と同一機能をはたす部分には同
一符号を付し、重複する説明は省略する。
説明する。なお従来技術と同一機能をはたす部分には同
一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１６】図１は本発明の実施例を示す。同図に示す
ようにロボット制御装置１０とロボット１の電気部分３
との間の信号授受は電線Ｌ1 により行い、ロボット制御
部１０から電力の供給は電線Ｌ2 により行う。
ようにロボット制御装置１０とロボット１の電気部分３
との間の信号授受は電線Ｌ1 により行い、ロボット制御
部１０から電力の供給は電線Ｌ2 により行う。
【００１７】ロボット１の外部フレーム２には、排気孔
５０、電磁弁５１、給気孔５２、圧力検出器５３Ｓを備
えている。電磁弁５１は外部フレーム２の内部空間に配
置されており、そのコイル５１ａが電力用の電線Ｌ2 に
接続されたノーマルオープン型であり、その弁５１ｂが
排気孔５０に連通している。電線Ｌ2 は電気部分３に電
力を供給する機能と、電磁弁５１のコイル５１ａを励磁
する電流を送る機能とを有することになる。圧力検出器
５３Ｓは、外部フレーム２の内部のエアー圧を検出して
おり、検出したフレーム内エアー圧に応じた検出信号Ｄ
Ｐを、保護監視装置２０の本質安全バリアリレー２２Ｓ
に送る。
５０、電磁弁５１、給気孔５２、圧力検出器５３Ｓを備
えている。電磁弁５１は外部フレーム２の内部空間に配
置されており、そのコイル５１ａが電力用の電線Ｌ2 に
接続されたノーマルオープン型であり、その弁５１ｂが
排気孔５０に連通している。電線Ｌ2 は電気部分３に電
力を供給する機能と、電磁弁５１のコイル５１ａを励磁
する電流を送る機能とを有することになる。圧力検出器
５３Ｓは、外部フレーム２の内部のエアー圧を検出して
おり、検出したフレーム内エアー圧に応じた検出信号Ｄ
Ｐを、保護監視装置２０の本質安全バリアリレー２２Ｓ
に送る。
【００１８】給気孔５２には、１本のエアーパイプ６０
を介してエアー源（図示省略）からエアーが供給され
る。パイプ６０には、ハンドブルブ６１、フィルタ６
２、減圧器６３が介装されている。
を介してエアー源（図示省略）からエアーが供給され
る。パイプ６０には、ハンドブルブ６１、フィルタ６
２、減圧器６３が介装されている。
【００１９】上述した内圧防爆構造を採った本発明のロ
ボット装置では、実作業の前の防爆作業を次のようにし
て行う。即ちハンドバルブ６１を開き外部フレーム２内
にエアーを供給する。このとき、ロボット制御装置１０
及びロボット１の電源をあらかじめ遮断しているので電
磁弁５１の弁５１ｂは開状態となっており、外部フレー
ム２にエアーを供給するにつれてフレーム内のエアーが
弁５１ｂ及び排気孔５０を介して外部に排出されて掃気
が実行される。
ボット装置では、実作業の前の防爆作業を次のようにし
て行う。即ちハンドバルブ６１を開き外部フレーム２内
にエアーを供給する。このとき、ロボット制御装置１０
及びロボット１の電源をあらかじめ遮断しているので電
磁弁５１の弁５１ｂは開状態となっており、外部フレー
ム２にエアーを供給するにつれてフレーム内のエアーが
弁５１ｂ及び排気孔５０を介して外部に排出されて掃気
が実行される。
【００２０】フレーム内エアー圧が上限値Ｐmax に達し
たことを圧力検出器５３Ｓが検出したら保護監視装置２
０ではタイマのカウントをスタートする。外部フレーム
２及びパイプ６０の内部が、その容積の５倍以上のエア
ーで掃気されるのに要する時間が、タイマ時間としてあ
らかじめ設定されている。そこでタイマのカウントをス
タートしてからタイマ時間が経過したところで、保護監
視部２１はロボット制御装置１０及びロボット１の電源
を投入する。
たことを圧力検出器５３Ｓが検出したら保護監視装置２
０ではタイマのカウントをスタートする。外部フレーム
２及びパイプ６０の内部が、その容積の５倍以上のエア
ーで掃気されるのに要する時間が、タイマ時間としてあ
らかじめ設定されている。そこでタイマのカウントをス
タートしてからタイマ時間が経過したところで、保護監
視部２１はロボット制御装置１０及びロボット１の電源
を投入する。
【００２１】そうすると電線Ｌ2 に電流が通って電磁弁
５１のコイル５１ａが励磁され弁５１ｂが閉じる。この
ため外部フレーム２内のエアー圧は大気圧よりも高いま
ま保持されている。よって外部フレーム２内に引火性ガ
スが浸入することはできない。
５１のコイル５１ａが励磁され弁５１ｂが閉じる。この
ため外部フレーム２内のエアー圧は大気圧よりも高いま
ま保持されている。よって外部フレーム２内に引火性ガ
スが浸入することはできない。
【００２２】何らかの事故や故障により外部フレーム２
内のエアー圧が下限値Ｐmin を下ったことを圧力検出器
５３Ｓが検出したら、保護監視装置２０はロボット制御
装置１０及びロボット１の電源を遮断する。
内のエアー圧が下限値Ｐmin を下ったことを圧力検出器
５３Ｓが検出したら、保護監視装置２０はロボット制御
装置１０及びロボット１の電源を遮断する。
【００２３】本実施例では、電磁弁５１のコイル５１ａ
を励磁するために用いる電線Ｌ2 と、電気部分３に電力
供給するために用いる電線Ｌ2 を共用化しているため、
その分だけ電線本数を少なくすることができる。またエ
アーパイプを分岐する必要はなく、１本のエアーパイプ
６０だけで済む。
を励磁するために用いる電線Ｌ2 と、電気部分３に電力
供給するために用いる電線Ｌ2 を共用化しているため、
その分だけ電線本数を少なくすることができる。またエ
アーパイプを分岐する必要はなく、１本のエアーパイプ
６０だけで済む。
【００２４】なお本発明はロボット装置のみならず他の
防爆型の電子・電気機器にも適用することができる。
防爆型の電子・電気機器にも適用することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上実施例と共に具体的に説明したよう
に本発明によれば、エアー系統及び配線系統の簡略化が
でき、構成がシンプルになる。
に本発明によれば、エアー系統及び配線系統の簡略化が
でき、構成がシンプルになる。
【図１】本発明の実施例を示すブロック図。
【図２】従来技術を示すブロック図。
１ ロボット ２ 外部フレーム ３ 電気部分 ４，５ シールド １０ ロボット制御装置 ２０ 保護監視装置 ２１ 保護監視部 ２２Ｓ 本質安全バリアリレー ３０Ｓ 上限圧力検出器 ３１ 下限圧力検出器 ３２ リリーフ弁 ３３ 電磁弁 ３４，３５ 給気孔 ３６，３６Ｈ，３６Ｌ エアーパイプ ３７ ハンドバルブ ３８ フィルタ ３９，４０，４１ 減圧弁
Claims (1)
- 【請求項１】 危険場所に設置されると共に外部フレー
ム内にエアーが供給される防爆対象機器と、 非危険場所に設置されると共に、前記防爆対象機器に指
令信号と電力を供給する制御装置と、 前記外部フレーム内のエアー圧が一定値以下に低下した
ら前記制御装置及び防爆対象機器の電源を遮断する保護
監視装置と、を有する内圧防爆機構において、 前記外部フレーム内にエアーを供給する一本のエアーパ
イプと、前記外部フレーム内のエアー圧を検出しエアー
圧に応じた検出信号を前記保護監視装置に送る圧力検出
機と、前記外部フレーム内に設置されており開状態では
外部フレームの内外を連通状態にすると共に前記防爆対
象機構に送られてくる電力により励磁されて閉状態とな
るノーマルオープン型の電磁弁を備えたことを特徴とす
る内圧防爆機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13161293A JP2796482B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 内圧防爆機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13161293A JP2796482B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 内圧防爆機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06339890A JPH06339890A (ja) | 1994-12-13 |
| JP2796482B2 true JP2796482B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=15062142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13161293A Expired - Lifetime JP2796482B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 内圧防爆機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2796482B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10840763B2 (en) | 2015-09-17 | 2020-11-17 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Explosion-proof device |
| US11518041B2 (en) | 2016-10-28 | 2022-12-06 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Explosion-proof robot |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09168991A (ja) * | 1995-12-20 | 1997-06-30 | Tokico Ltd | 工業用ロボット |
| JP4496541B2 (ja) * | 2005-05-25 | 2010-07-07 | 株式会社安川電機 | 内圧防爆システム及びその掃気方法 |
| JP6307230B2 (ja) * | 2013-08-13 | 2018-04-04 | 三菱重工業株式会社 | 産業用ロボット |
| CN106313121A (zh) * | 2016-10-11 | 2017-01-11 | 北京工业大学 | 一种基于一体化气密通道的防爆型工业机器人 |
| JP6927242B2 (ja) * | 2019-03-07 | 2021-08-25 | 株式会社安川電機 | 内圧調節システム、ロボットシステム及び内圧調節方法 |
| CN112531278B (zh) * | 2020-10-30 | 2023-07-07 | 华瑞矿业科技有限公司 | 防爆电池电源 |
-
1993
- 1993-06-02 JP JP13161293A patent/JP2796482B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10840763B2 (en) | 2015-09-17 | 2020-11-17 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Explosion-proof device |
| US11518041B2 (en) | 2016-10-28 | 2022-12-06 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Explosion-proof robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06339890A (ja) | 1994-12-13 |
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