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JP2801628B2 - Position detection device - Google Patents
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JP2801628B2 - Position detection device - Google Patents

Position detection device

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JP2801628B2
JP2801628B2 JP1058114A JP5811489A JP2801628B2 JP 2801628 B2 JP2801628 B2 JP 2801628B2 JP 1058114 A JP1058114 A JP 1058114A JP 5811489 A JP5811489 A JP 5811489A JP 2801628 B2 JP2801628 B2 JP 2801628B2
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image
processing unit
unit
measurement target
television camera
Prior art date
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JP1058114A
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雅紀 小林
茂行 秋元
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Topcon Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、輪郭部と中心部とでコントラストが異なる
直線状の測定対象部を有する被検物、たとえば磁区観察
用水性磁性流体が塗布されたVTR用磁気テープの磁気記
録パターンの磁気記録位置等の位置検出を高精度で行う
ことのできる位置検出装置の改良に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial application field) The present invention is applied to a test object having a linear measurement target portion having different contrast between a contour portion and a central portion, for example, an aqueous magnetic fluid for magnetic domain observation is applied. The present invention relates to an improvement in a position detecting device capable of detecting a position of a magnetic recording pattern of a magnetic recording pattern of a VTR magnetic tape with high accuracy.

(従来の技術) 従来から、たとえば、第22図に示すようなVTR用磁気
テープ1が知られているが、この種の磁気テープ1には
たとえば第23図に示すような磁気記録フォーマットが定
められており、磁気記録パターンが所定の規格内にある
か否かの検査を行なっている。
(Prior Art) Conventionally, for example, a VTR magnetic tape 1 as shown in FIG. 22 has been known, but a magnetic recording format as shown in FIG. The inspection is performed to determine whether the magnetic recording pattern is within a predetermined standard.

従来、この検査は、録画完了後のVTR用磁気テープ1
に磁区観察用水性磁性流体2を塗布し、この磁区観察用
水性磁性流体2が塗布されたVTR用磁気テープ1を現像
してコントロールパルス、ビデオトラック等の磁気記録
箇所の輪郭部と中心部とでコントラストが異なる直線状
の測定対象部をVTR用磁気テープ1に現出させ、精密測
定用工具顕微鏡等にこのVTR用磁気テープ1をセットす
ることにより磁区を目視観察して測定対象部としてのコ
ントロールパルス等の磁気記録位置等の位置を検出し、
規格の測定を行なっている。
Conventionally, this inspection was performed on a VTR magnetic tape 1 after recording was completed.
A magnetic domain observation aqueous magnetic fluid 2 is applied to the VTR, and the VTR magnetic tape 1 coated with the magnetic domain observation aqueous magnetic fluid 2 is developed to form a control pulse, a contour of a magnetic recording portion such as a video track, and a central portion. The linear measurement target portions having different contrasts are exposed on the magnetic tape 1 for VTR, and the magnetic domains are visually observed by setting the magnetic tape 1 for VTR on a tool microscope for precision measurement and the like as a measurement target portion. Detect the position such as the magnetic recording position of the control pulse, etc.
The standard is being measured.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、この従来の目視観察により位置を検出
して規格の測定を行うものは、目視測定に頼るので作業
効率が低く、また、測定にばらつきが大きく精度が低い
という不具合がある。
(Problems to be Solved by the Invention) However, the conventional method of measuring the standard by detecting the position by visual observation relies on visual measurement, so the work efficiency is low, and the measurement has large dispersion and low accuracy. There is a problem that.

また、輪郭部と中心部とでコントラストが異なる測定
対象部を有する被検物の規格の測定を画像処理により行
なう位置検出装置もあるが、単に2値化して測定を行な
うものであるので、得られた画像が不鮮明で良好でない
場合には、精度の良い位置検出を行なうことができない
問題点がある。
Further, there is a position detecting device which performs measurement of a standard of a test object having a measurement target portion having a contrast different between a contour portion and a central portion by image processing. If the obtained image is unclear and not good, there is a problem that accurate position detection cannot be performed.

そこで、本発明の目的は、作業効率を大幅に向上でき
かつ画像が不鮮明で良好でないときでも高精度で迅速に
測定を行なうことのできる位置検出装置を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a position detecting device capable of greatly improving work efficiency and performing high-accuracy and quick measurement even when an image is unclear and unsatisfactory.

(課題を解決するための手段) 本願の第1の発明は、二つの輪郭部とこの二つの輪郭
部の間に存在する中心部とでコントラストが異なりかつ
その中心部の明るさがその両側の輪郭部よりも低い直線
状の測定対象部を有する被検物の像を形成する像形成光
学系と、 前記像を電気的に検出するテレビカメラと、 前記テレビカメラにより得られた画像データから前記
測定対象部を基準軸線方向に位置させる像回転処理部
と、 前記像回転処理部により処理された画像データを同一
番地毎に多値化レベルで積分する多値化レベル積分処理
部と、 前記多値化レベル積分処理部で得られた中心部の極値
から前記測定対象部の位置を求める位置検出部とを有す
ることを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) According to the first invention of the present application, contrast is different between two contours and a central portion existing between the two contours, and brightness of the central portion is different on both sides thereof. An image forming optical system that forms an image of the test object having a linear measurement target portion lower than the contour portion, a television camera that electrically detects the image, and the image data obtained by the television camera. An image rotation processing unit that positions the measurement target unit in the reference axis direction; a multilevel quantization level integration processing unit that integrates image data processed by the image rotation processing unit at a multilevel quantization level for each same address; A position detection unit for obtaining the position of the measurement target unit from the extreme value of the central part obtained by the binarization level integration processing unit.

本願の第2の発明は、二つの輪郭部とこの二つの輪郭
部の間に存在する中心部とでコントラストが異なりかつ
その中心部の明るさがその両側の輪郭部よりも低い直線
状の測定対象部を有する被検物の像を形成する像形成光
学系と、 前記像を電気的に検出するテレビカメラと、 前記テレビカメラにより得られた画像データから前記
測定対象部の基準軸線に対する傾きを検出する傾き検出
部と、 前記テレビカメラで得られた画像データを前記傾き検
出部によって検出した前記測定対象部の傾き方向に多値
化レベルで積分する多値化レベル積分処理部と、 前記多値化レベル積分処理部で得られた出力の極値か
ら前記測定対象部の中心の位置を求める位置検出部とを
有することを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a linear measurement method in which contrast is different between two contour portions and a central portion existing between the two contour portions, and the brightness of the central portion is lower than the contour portions on both sides thereof. An image forming optical system that forms an image of the test object having the target portion, a television camera that electrically detects the image, and a tilt of the measurement target portion with respect to a reference axis line from image data obtained by the television camera. A tilt detection unit for detecting, a multi-level quantization level integration processing unit that integrates image data obtained by the television camera in a tilt direction of the measurement target unit detected by the tilt detection unit at a multi-level quantization level; A position detection unit for obtaining a position of the center of the measurement target unit from an extreme value of an output obtained by the quantification level integration processing unit.

(作用) 本発明に係わる位置検出装置によれば、各走査線毎に
得られた画像データを多値化積分して特徴点を抽出する
ようにしたから、得られた画像が良好でない場合でも、
特徴点を明瞭に抽出できることになり、高精度の測定を
迅速に行うことができる。
(Operation) According to the position detecting device of the present invention, since the image data obtained for each scanning line is multi-valued and integrated to extract feature points, even if the obtained image is not good, ,
The feature points can be clearly extracted, and high-accuracy measurement can be performed quickly.

(実施例) 以下に、本発明に係わる位置検出装置の実施例を図面
を参照しつつ説明する。
(Embodiment) Hereinafter, an embodiment of a position detecting device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

第20図は本発明に係わる位置検出装置の全体構成を示
す斜視図であり、この第20図において、3は操作テーブ
ル、4は工具顕微鏡設置テーブル、5はモニター、6は
CRT、7はX−Yプロッタ、8はキーボード、9はジョ
イステック(操作卓)、10はマウス、11は像形成光学系
を一部に有する工具顕微鏡、12は輪郭部と中心部とでコ
ントラストが異なる直線状の測定対象部を有する被検物
としてのVTR用磁気テープをセットするセットテーブ
ル、13は像を電気的に検出するTVカメラ、14′は接眼レ
ンズであり、各電気的構成要素は、第21図に示すような
CPU14、制御ユニット15、画像処理ユニット16、パルス
変換器17、モータドライバーユニット18と所定の接続関
係にある。
FIG. 20 is a perspective view showing the entire configuration of the position detecting device according to the present invention. In FIG. 20, 3 is an operation table, 4 is a tool microscope installation table, 5 is a monitor, and 6 is a monitor.
CRT, 7 is an XY plotter, 8 is a keyboard, 9 is a joystick (operation console), 10 is a mouse, 11 is a tool microscope having an image forming optical system in part, and 12 is a contrast between a contour and a center. Is a set table for setting a magnetic tape for VTR as a test object having a different linear measurement target portion, 13 is a TV camera for electrically detecting an image, 14 'is an eyepiece, and each electrical component Is as shown in Figure 21
It has a predetermined connection relationship with the CPU 14, the control unit 15, the image processing unit 16, the pulse converter 17, and the motor driver unit 18.

この位置検出装置は、あらかじめ測定する箇所、条件
を指定して、その後は、同一種のテープを自動的に計測
・演算処理できるもので、計測・演算処理結果は、CRT6
又はX−Yプロッタ7へ出力されると共に、データファ
イルにセーブすることができるようになっている。
This position detection device is capable of automatically measuring and calculating the same type of tape after specifying the location and conditions to be measured in advance.
Alternatively, the data is output to the XY plotter 7 and can be saved in a data file.

この位置検出装置では、ティーチング、自動計測、デ
ータ処理、ユーティリティの4種類のソフトウェアが準
備されており、メニュー指定方式で各ソフトウェアが実
行されるようになっている。
In this position detecting device, four types of software, teaching, automatic measurement, data processing, and utility, are prepared, and each software is executed by a menu designation method.

自動計測を行なう場合には、まずティーチングにより
測定場所等をあらかじめ指定し、測定可能なファイルと
して一覧表として登録し、この一覧表に基づき自動計測
を実行するものとなっている。CRT6には、通常測定開始
前にインメニューが表示されているもので、このメイン
メニューは、ティーチング、自動計測モード、データ処
理モード、ユーティリティからなっており、たとえば、
CRT6に表示されているカーソル又はマウス10によりメイ
ンメニューの自動計測モードを指定すると、自動計測モ
ードに意向するものである。
When performing automatic measurement, first, a measurement location and the like are specified in advance by teaching, registered as a list of measurable files as a list, and automatic measurement is performed based on the list. The CRT6 normally displays an in-menu before starting measurement.This main menu consists of teaching, automatic measurement mode, data processing mode, and utilities.
When the automatic measurement mode of the main menu is designated by the cursor or the mouse 10 displayed on the CRT 6, the automatic measurement mode is intended.

VTR用磁気テープ1はキーボード8の計測開始キー又
はマウス10を操作する前にあらかじめセットテーブル12
にセットしておくものである。
Before operating the measurement start key of the keyboard 8 or the mouse 10, the VTR magnetic tape 1 is set in advance on the set table 12.
Is to be set.

次に、自動計測可能なファイルをティーチングで作成
する。このファイルには、オペレータが任意に名称を付
することができ、その一覧表がCRTに表示され、キーボ
ード8又はマウス10により測定をスタートさせる。な
お、測定日付け、ロット番号、枝番号などの情報は、こ
のスタート前に入力可能とする。
Next, a file that can be automatically measured is created by teaching. An operator can arbitrarily assign a name to this file, a list thereof is displayed on the CRT, and measurement is started by the keyboard 8 or the mouse 10. Information such as measurement date, lot number, branch number, etc. can be input before this start.

ここで、ティーチングとは、あらかじめ座標軸の位
置、コントロールパルスの位置、ビデオトラックの位置
等を指定することをいい、このティーチングモードは挿
入、削除等の編集機能があり、また、ティーチングファ
イルとしてセーブすることもできる。
Here, teaching refers to designating the position of a coordinate axis, the position of a control pulse, the position of a video track, and the like in advance. This teaching mode has editing functions such as insertion and deletion, and is also saved as a teaching file. You can also.

このティーチングは、たとえば、第19図に示すように
して行うもので、この第19図において、19はVTR用磁気
テープの基準辺、20はコントロールトラック、21はビデ
オトラック、22はコントロールパルスが記録されている
記録箇所を示しており、このコントロールトラック20に
は記録箇所22毎に白色の磁区観察用水性磁性流体が付着
している。この磁区観察用水性磁性流体は磁気記録箇所
の輪郭部に多く付着する傾向があり、中央部分は比較的
付着量が少なく、したがって、中央部分と離郭部とでコ
ントラストが異なる。
This teaching is performed, for example, as shown in FIG. 19. In FIG. 19, reference numeral 19 denotes a reference side of a VTR magnetic tape, reference numeral 20 denotes a control track, reference numeral 21 denotes a video track, and reference numeral 22 denotes a control pulse. In this control track 20, a white magnetic magnetic fluid for magnetic domain observation adheres to the control track 20 for each recording location 22. The magnetic magnetic fluid for magnetic domain observation tends to adhere to the contour of the magnetic recording portion in a large amount, and the central portion has a relatively small amount of adhesion. Therefore, the contrast differs between the central portion and the separated portion.

そのティーチングにより仮座標点が指定されるもの
で、第17図に拡大して示すように矢印23で始点Aから始
点Bまでサーチすることにより明暗の境界として基準辺
(エッジ)20が検出される。また、たとえば、ビデオト
ラックの線幅中心Mを仮座標点として指定する場合に
は、第18図に拡大して示すように、ボックスK、K′で
囲った領域のウインドウを開き、最小自乗法により直線
Z、Z′を求め、この直線Z、Z′の中央線LOと基準軸
線Yの基準直線Lxとの交点を求める。なお、この第18図
において、斜線の領域はビデオトラックに付着した磁区
観察用水性磁性流体の付着量が比較的多い領域を示して
おり、斜線と斜線との間の中央部分の領域は磁区観察用
水性磁性流体の付着量が比較的少ない領域を示してい
る。
A temporary coordinate point is designated by the teaching, and a reference side (edge) 20 is detected as a light-dark boundary by searching from the start point A to the start point B with an arrow 23 as shown in an enlarged manner in FIG. . For example, when the line width center M of the video track is designated as a provisional coordinate point, as shown in an enlarged view in FIG. To determine the intersection of the center line LO of the straight lines Z and Z 'and the reference straight line Lx of the reference axis Y. In FIG. 18, the shaded area indicates the area where the amount of the magnetic magnetic fluid for magnetic domain observation adhered to the video track is relatively large, and the central area between the shaded areas is the magnetic domain observation area. 2 shows a region where the amount of the attached aqueous magnetic fluid is relatively small.

画像取り込みはこのティーチングにより指定した点を
仮座標として行われるもので、CPU14は後述する画像処
理を行いつつティーチングで指定された箇所のコントロ
ールパルス位置を計測し、その平均ピッチを求める処理
を行う。さらに、CPU14はビデオトラックの標準値に対
する補正量を検出し、論理値も求める。
The image capturing is performed using the point designated by the teaching as the temporary coordinates. The CPU 14 measures the control pulse position at the location designated by the teaching while performing image processing to be described later, and performs processing for obtaining the average pitch. Further, the CPU 14 detects a correction amount with respect to the standard value of the video track, and also obtains a logical value.

また、CPU14はティーチングにより指定された仮座標
に基づきティーチングで指定された線幅中心Mからビデ
オテープ基準辺までの距離を画像処理を行いつつ求める
処理を行い、その結果をCRT6に表示する。
Further, the CPU 14 performs a process of obtaining a distance from the line width center M specified by the teaching to the video tape reference side based on the provisional coordinates specified by the teaching while performing image processing, and displays the result on the CRT 6.

このような位置検出装置の画像処理の実施例を以下に
説明する。
An embodiment of the image processing of such a position detecting device will be described below.

第1図〜第6図は本発明に係わる位置検出装置の第1
実施例を示すもので、像の傾きが既知の場合の画像処理
を例示するものであり、第1図〜第3図はCRT6に表示さ
れた画像が模式化して示されている。この第1図ないし
第3図において、24は処理領域を指定するボックス、斜
線の領域25は磁区観察用水性磁性流体の付着量の少ない
暗い部分、白線領域26、27は磁区観察用水性磁性流体の
付着量の多い明るい部分に相当するもので、これらの図
は、たとえば、コントロールトラック20の磁気記録箇所
を示している。
1 to 6 show a first embodiment of the position detecting device according to the present invention.
FIG. 1 shows an embodiment, and illustrates image processing in the case where the inclination of an image is known. FIGS. 1 to 3 schematically show an image displayed on a CRT 6. In FIGS. 1 to 3, reference numeral 24 denotes a box for designating a processing region, a hatched region 25 represents a dark portion where the amount of the magnetic domain observation aqueous magnetic fluid is small, and white line regions 26 and 27 represent magnetic domain observation aqueous magnetic fluids. These figures show, for example, a magnetic recording portion of the control track 20.

画像が入力されると(第6図のステップS1参照)、CP
U14は像回転処理部として機能し、画面上に表示されて
いる画像を既知の角度にて像のアフィン変換を行い、第
2図に示すように像を回転させて測定対象部としての白
線領域26、27のエッジである直線が基準軸線としてのY
値に平行になるように像を表示する(第6図のステップ
S2参照)。次に、CPU14は空間フィルタリング処理によ
って画像データからノイズの除去等を行い、エッジを強
調する(第6図のステップS3参照)。そして、第3図に
示すように所定の間隔で水平方向(X軸方向)に矢印で
示すように走査し、第4図に示すような複数個の濃度分
布曲線Niを得る(第6図のステップS4参照)。この濃度
分布曲線NiにおいてX軸方向は水平方向の画素番地に対
応しており、縦方向は明るさに対応している。CPU14は
多値化レベル積分処理を実行することにより、これらの
画素番地毎に対応させて多値化積分を行い、各画素番地
毎に積分して第5図に示すような積分曲線Nsを得る(第
6図のステップS5参照)。すなわち、各走査線毎の同一
画素番地における明るさの度合を累積的に積算して積分
曲線Nsを得る。
When an image is input (see step S1 in FIG. 6), the CP
U14 functions as an image rotation processing unit, performs affine transformation of the image displayed on the screen at a known angle, and rotates the image as shown in FIG. The straight line which is the edge of 26, 27 is Y as the reference axis.
The image is displayed so as to be parallel to the value (step in FIG. 6).
S2). Next, the CPU 14 removes noise from the image data by a spatial filtering process, and emphasizes the edges (see step S3 in FIG. 6). Then, scanning is performed at predetermined intervals in the horizontal direction (X-axis direction) as shown by arrows as shown in FIG. 3 to obtain a plurality of concentration distribution curves Ni as shown in FIG. 4 (FIG. 6). Step S4). In the density distribution curve Ni, the X-axis direction corresponds to the pixel address in the horizontal direction, and the vertical direction corresponds to the brightness. The CPU 14 performs the multi-level integration by performing the multi-level integration, thereby obtaining an integration curve Ns as shown in FIG. 5 by performing the multi-level integration in correspondence with each of these pixel addresses. (See step S5 in FIG. 6). That is, the degree of brightness at the same pixel address for each scanning line is cumulatively integrated to obtain an integral curve Ns.

そして、この積分曲線Nsに基づき特徴点を抽出し、設
定されたパラメータにより測定対象部の位置を評価点と
して特定する(第6図のステップS6参照)。この評価点
は、たとえば、コントロールパルス20の仮座標の位置か
ら磁気記録箇所中央までの位置情報であり、この評価点
をとなり合うコントローラパルス間で求めることによ
り、コントロールパルス20の平均ピッチが求められるこ
とになる。
Then, feature points are extracted based on the integral curve Ns, and the position of the measurement target portion is specified as an evaluation point by the set parameters (see step S6 in FIG. 6). The evaluation point is, for example, position information from the position of the provisional coordinates of the control pulse 20 to the center of the magnetic recording location. By calculating the evaluation point between adjacent controller pulses, the average pitch of the control pulse 20 is obtained. Will be.

なお、斜線の領域25、白線の領域26、27の境界は、実
際には明瞭でなく、また、その境界も幾何学的直線によ
り現わされるものでなく、第7図、第8図に拡大して示
すようなものであり、これに対応して得られる積分曲線
Nsも第9図、第10図に示すように複雑な形状となる。
Note that the boundaries between the hatched region 25 and the white line regions 26 and 27 are not actually clear, and the boundaries are not represented by geometric straight lines. Integral curve obtained as corresponding to the enlarged view
Ns also has a complicated shape as shown in FIGS.

第11図〜第16図は本発明に係わる位置検出装置の画像
処理の第2実施例を示すもので、傾きが未知の場合の処
理を説明するためのものである。
FIGS. 11 to 16 show a second embodiment of the image processing of the position detecting device according to the present invention, and are used to explain the processing when the inclination is unknown.

この場合には、第16図に示すように画像入力によりCR
T6に表示された画像(第11図参照)をノイズ除去処理
(ステップS1、S2参照)した後、第12図に矢印で示すよ
うに水平方向に走査して、第13図に示す濃度分布曲線Ni
をそのまま求め(ステップS3参照)、各濃度分布曲線Ni
のピーク(極値)Piを検出して、この各ピークPiを結ぶ
直線Y′を求め(ステップS4参照)、基準軸Yに対する
傾きθを求める(ステップS5参照)。
In this case, as shown in FIG.
After performing noise removal processing (see steps S1 and S2) on the image displayed at T6 (see FIG. 11), the image is scanned in the horizontal direction as indicated by the arrow in FIG. 12, and the density distribution curve shown in FIG. Ni
(See step S3), and each concentration distribution curve Ni
, A straight line Y 'connecting the peaks Pi is obtained (see step S4), and an inclination θ with respect to the reference axis Y is obtained (see step S5).

そして、この直線Y′上の各画素番地の画像データが
各々加えられるようにして、各濃度分布曲線Niを積分
し、第15図に示す積分曲線Ns(ステップS6参照)を得て
測定対象部の位置を特定する(ステップS7参照)。
Then, each density distribution curve Ni is integrated by adding image data of each pixel address on the straight line Y ', and an integration curve Ns (see step S6) shown in FIG. Is specified (see step S7).

(効果) 本発明に係わる位置検出装置は、以上説明したように
構成されているので、作業効率を大幅に向上できてかつ
画像が不鮮明で良好でないときでも高精度で測定を行な
うことができるという効果を奏する。
(Effect) Since the position detecting device according to the present invention is configured as described above, it is possible to greatly improve work efficiency and to perform measurement with high accuracy even when an image is unclear and not good. It works.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図〜第10図は本発明に係わる位置検出装置の画像処
理の第1実施例を示す図であって、 第1図は像回転処理前の画像の表示状態を示す模式図、 第2図は像回転処理後の画像表示状態を示す模式図、 第3図は第4図に示す濃度分布曲線を得るための説明
図、 第4図は第3図に示す走査により得られた濃度分布曲線
の一例を示す図、 第5図は第4図に示す濃度分布曲線を多値化積分するこ
とにより得られた積分曲線を示す図、 第6図は第1実施例の画像処理を説明するためのフロー
チャート、 第7図、第8図はより一般的な画像表示状態を示す拡大
図、 第9図、第10図はその第7図、第8図に示す画像データ
を処理することにより得られた積分曲線を示す図、 第11図〜第16図は本発明に係わる位置検出装置の画像処
理の第2実施例を示す図であって、 第11図は像回転前の画像表示状態を示す模式図、 第12図はその第11図に示された画像の走査を説明するた
めの説明図、 第13図は第12図に示す走査により得られた濃度分布曲線
の一例を示す図、 第14図は第13図に示す濃度分布曲線のピークを結ぶ直線
を求めるための説明図、 第15図は第13図に示す濃度分布曲線を多値化積分するこ
とにより得られた積分曲線を示す図、 第16図は第2実施例の画像処理を説明するためのフロー
チャート、 第17図〜第19図はティーチングの一例を説明するための
説明図、 第20図は本発明に係わる位置検出装置の全体構成を示す
斜視図、 第21図は第20図に示す位置検出装置の接続関係を示す概
念図、 第22図はVTR用磁気テープの概要図、 第23図は第22図に示すVTR用磁気テープの記録フォーマ
ットを示す図、 である。 1……VTR用磁気テープ(被検物) 2……磁区観察用磁性流体 11……工具顕微鏡、13……TVカメラ 14……CPU、20……コントロールトラック Ns……積分曲線、Pi……ピーク(極値) Y……基準軸線
1 to 10 are views showing a first embodiment of the image processing of the position detecting device according to the present invention, wherein FIG. 1 is a schematic view showing a display state of an image before an image rotation processing; The figure is a schematic diagram showing the image display state after the image rotation processing, FIG. 3 is an explanatory diagram for obtaining the density distribution curve shown in FIG. 4, and FIG. 4 is the density distribution obtained by the scanning shown in FIG. FIG. 5 is a diagram showing an example of a curve, FIG. 5 is a diagram showing an integration curve obtained by multi-value integration of the density distribution curve shown in FIG. 4, and FIG. 6 is a diagram for explaining image processing of the first embodiment. 7 and 8 are enlarged views showing a more general image display state, and FIGS. 9 and 10 are obtained by processing the image data shown in FIGS. 7 and 8. FIGS. 11 to 16 show a second embodiment of the image processing of the position detecting device according to the present invention. FIG. 11 is a schematic diagram showing an image display state before image rotation, FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining scanning of the image shown in FIG. 11, and FIG. 13 is FIG. FIG. 14 is a diagram showing an example of a density distribution curve obtained by the scanning shown in FIG. 14, FIG. 14 is an explanatory diagram for obtaining a straight line connecting peaks of the density distribution curve shown in FIG. 13, and FIG. 15 is a density diagram shown in FIG. FIG. 16 is a diagram showing an integration curve obtained by multi-value integration of a distribution curve. FIG. 16 is a flowchart for explaining image processing of the second embodiment. FIGS. 17 to 19 are diagrams for explaining an example of teaching. FIG. 20 is a perspective view showing the overall configuration of the position detecting device according to the present invention, FIG. 21 is a conceptual diagram showing the connection relation of the position detecting device shown in FIG. 20, and FIG. 22 is a VTR. FIG. 23 is a diagram showing a recording format of the magnetic tape for VTR shown in FIG. 22, and FIG. . 1 ... VTR magnetic tape (test object) 2 ... Magnetic fluid for magnetic domain observation 11 ... Tool microscope, 13 ... TV camera 14 ... CPU, 20 ... Control track Ns ... Integral curve, Pi ... Peak (extreme value) Y: Reference axis

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 11/00 - 11/30──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01B 11/00-11/30

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】二つの輪郭部とこの二つの輪郭部の間に存
在する中心部とでコントラストが異なりかつその中心部
の明るさがその両側の輪郭部よりも低い直線状の測定対
象部を有する被検物の像を形成する像形成光学系と、 前記像を電気的に検出するテレビカメラと、 前記テレビカメラにより得られた画像データから前記測
定対象部を基準軸線方向に位置させる像回転処理部と、 前記像回転処理部により処理された画像データを同一番
地毎に多値化レベルで積分する多値化レベル積分処理部
と、 前記多値化レベル積分処理部で得られた中心部の極値か
ら前記測定対象部の位置を求める位置検出部と、 を有することを特徴とする位置検出装置。
1. A linear measuring object part whose contrast is different between two contour parts and a central part existing between the two contour parts and whose brightness at the central part is lower than the contour parts on both sides thereof. An image forming optical system for forming an image of a test object having the same; a television camera for electrically detecting the image; and image rotation for positioning the measurement target portion in a reference axis direction from image data obtained by the television camera. A processing unit; a multilevel level integration processing unit that integrates the image data processed by the image rotation processing unit at a multilevel level for each same address; and a central unit obtained by the multilevel level integration processing unit And a position detection unit that obtains the position of the measurement target unit from an extreme value of the position detection unit.
【請求項2】二つの輪郭部とこの二つの輪郭部の間に存
在する中心部とでコントラストが異なりかつその中心部
の明るさがその両側の輪郭部よりも低い直線状の測定対
象部を有する被検物の像を形成する像形成光学系と、 前記像を電気的に検出するテレビカメラと、 前記テレビカメラにより得られた画像データから前記測
定対象部の基準軸線に対する傾きを検出する傾き検出部
と、 前記テレビカメラで得られた画像データを前記傾き検出
部によって検出した前記測定対象部の傾き方向に多値化
レベルで積分する多値化レベル積分処理部と、 前記多値化レベル積分処理部で得られた出力の極値から
前記測定対象部の中心の位置を求める位置検出部と、 を有することを特徴とする位置検出装置。
2. A linear measuring object part whose contrast is different between two contour parts and a central part existing between the two contour parts and whose brightness at the central part is lower than the contour parts on both sides thereof. An image forming optical system for forming an image of a test object having the same; a television camera for electrically detecting the image; and a tilt for detecting a tilt of the measurement target portion with respect to a reference axis from image data obtained by the television camera. A detection unit; a multilevel quantization level integration processing unit that integrates image data obtained by the television camera in a tilt direction of the measurement target unit detected by the tilt detection unit at a multilevel quantization level; and the multilevel quantization level. A position detection unit that obtains the position of the center of the measurement target unit from the extreme value of the output obtained by the integration processing unit.
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