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JP2801655B2 - Method of manufacturing tray for transporting semiconductor integrated circuit device - Google Patents
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JP2801655B2 - Method of manufacturing tray for transporting semiconductor integrated circuit device - Google Patents

Method of manufacturing tray for transporting semiconductor integrated circuit device

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JP2801655B2
JP2801655B2 JP1169936A JP16993689A JP2801655B2 JP 2801655 B2 JP2801655 B2 JP 2801655B2 JP 1169936 A JP1169936 A JP 1169936A JP 16993689 A JP16993689 A JP 16993689A JP 2801655 B2 JP2801655 B2 JP 2801655B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ポリフエニレンエーテル系樹脂、カーボン
ブラツク及びエチレン−アクリル酸エステル共重合体含
有組成物を射出成形し、耐熱性、機械的特性、成形性及
び電気的特性においてバランスのとれた半導体集積回路
装置搬送用トレーの製造法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to injection molding of a polyphenylene ether-based resin, carbon black and a composition containing an ethylene-acrylate copolymer to obtain heat resistance and mechanical properties. The present invention relates to a method for manufacturing a tray for carrying a semiconductor integrated circuit device, which is well balanced in formability and electrical characteristics.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来から、熱可塑性樹脂に炭素繊維、カーボンブラツ
ク、金属粉末を混入してなる半導電性樹脂を成形して成
る半導体集積回路装置搬送用トレーは、半導体集積回路
装置(ICチツプにリード線を取り付け樹脂封止したも
の)の積載搬送時に該装置の静電破壊を防止し得る制電
性プラスチツクトレーとして使用されている。
Conventionally, semiconductor integrated circuit device transport trays formed by molding a semiconductive resin made by mixing carbon fiber, carbon black, and metal powder into a thermoplastic resin have been used for semiconductor integrated circuit devices (lead wires are attached to IC chips). It is used as an antistatic plastic tray capable of preventing electrostatic breakdown of the apparatus when loaded and transported (sealed with resin).

半導体集積回路装置は、プラスチツク、セラミツクあ
るいはアルミニウム等から成る回路基板上にハンダ付け
により複数個載置して使用されるケースが多い。ところ
が封止用樹脂がエポキシ樹脂、フエノール樹脂等の吸湿
性樹脂であるために、該装置のリード線を回路基板上に
ハンダ付けする際に封止樹脂中に吸湿された水分が気化
膨脹して封止樹脂成形体に亀裂を生じ、更にICチツプの
機能を損なうといつたトラブルが、特に表面実装型の半
導体集積回路装置において起り易い。
Semiconductor integrated circuit devices are often used by mounting a plurality of them on a circuit board made of plastic, ceramic, aluminum, or the like by soldering. However, since the sealing resin is a hygroscopic resin such as an epoxy resin or a phenol resin, the moisture absorbed in the sealing resin is vaporized and expanded when the lead wire of the device is soldered on a circuit board. Troubles that occur when cracks occur in the sealing resin molded article and further impair the function of the IC chip are likely to occur particularly in a surface mount type semiconductor integrated circuit device.

従つて、最近では、回路基板上にハンダ付けをする直
前に該装置をオーブン中120〜150℃で数時間から数十時
間乾燥する工程を設けるケースが増えている。
Therefore, recently, a step of drying the apparatus at 120 to 150 ° C. in an oven for several hours to several tens of hours immediately before soldering on a circuit board is increasing.

従来の制電性プラスチツクトレーは、半導体集積回路
装置を積載、保管、搬送する目的で使用されているが、
該装置の乾燥工程には適さない。何故ならば、制電性プ
ラスチツクトレーは、安価で成形性の良い熱可塑性樹
脂、例えば、ポリプロピレン、ポリスチレンのような熱
変形温度が100℃以下の樹脂を主成分としているため
に、100℃以上では変形が著しく、積載した半導体集積
回路装置のリード線の屈折、破損、溶融樹脂による汚染
を招く欠点がある。従つて、半導体集積回路装置の乾燥
工程では、熱変形の少ないアルミニウム等の金属製トレ
ーが使用されている。
Conventional antistatic plastic trays are used for loading, storing, and transporting semiconductor integrated circuit devices.
It is not suitable for the drying process of the device. The reason is that the antistatic plastic tray is inexpensive and has good moldability, such as polypropylene and polystyrene. Deformation is remarkable, and there is a defect in that lead wires of a loaded semiconductor integrated circuit device are bent, damaged, and contaminated by molten resin. Therefore, in the drying step of the semiconductor integrated circuit device, a metal tray made of aluminum or the like, which is less thermally deformed, is used.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかしながら、アルミニウム等の金属製トレーは、プ
ラスチック製トレーに比較して重量が大であり更にま
た、導電性が極めて良好なため外部から電荷流入の危険
があり、半導体集積回路装置の積載、保管、搬送工程の
使用には適さない。従つて、多くの場合、半導体集積回
路装置を乾燥工程の手前でプラスチツク製トレーからア
ルミニウム等の金属製トレーに移し替えてオーブン中の
乾燥に供している。しかし、一旦、プラスチツク製トレ
ーに積載した半導体集積回路装置を乾燥工程の手前で金
属製トレーに載せ代える作業は、該装置のリード線の屈
折や破損を誘発する他、工程数を増やし製造原価を高く
する結果となり、必然的にオーブン中の乾燥温度に耐え
得る安価なプラスチツク製トレーの要求が高まつてい
る。
However, metal trays such as aluminum are heavier than plastic trays and, furthermore, have extremely high conductivity, so there is a risk of charge inflow from the outside. Not suitable for use in transport processes. Therefore, in many cases, the semiconductor integrated circuit device is transferred from a plastic tray to a metal tray made of aluminum or the like before the drying step and is dried in an oven. However, once the semiconductor integrated circuit device mounted on the plastic tray is replaced on the metal tray before the drying step, the lead wire of the device is bent or damaged, and the number of processes is increased to increase the manufacturing cost. As a result, there is a growing need for inexpensive plastic trays that can withstand the drying temperatures in the oven.

現状、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、
ポリブチレンテレフタレート等の高耐熱性樹脂をベース
とした制電性プラスチツク製トレーが開発されつつあ
る。これらは、充分な耐熱性を有するが、いずれも高温
溶融樹脂に炭素繊維、カーボンブラツク、金属粉末等の
無機フイラーを混入した樹脂から成形するための溶融温
度、溶融粘度が高くなり、成形品表面のやけ、フローマ
ーク、シヨートシヨツト等のトラブルを引き起こし易
い。また、これらの樹脂では、高温成形が要求されるの
で、ゴム分による補強が困難であり、成形品に充分な耐
衝撃強度を与えることができない。
At present, polycarbonate, polyamide, polyimide,
Antistatic plastic trays based on high heat resistant resins such as polybutylene terephthalate are being developed. These have sufficient heat resistance, but all have a high melting temperature and melt viscosity for molding from a resin in which an inorganic filler such as carbon fiber, carbon black, metal powder, etc. is mixed into a high-temperature molten resin, and the surface of the molded article becomes high. It is easy to cause troubles such as discoloration, flow mark and short shot. In addition, since these resins require high-temperature molding, it is difficult to reinforce with a rubber component, and it is not possible to give a molded article a sufficient impact strength.

一方、ポリプロピレンのような安価で汎用の結晶性樹
脂を使用する例もある。
On the other hand, there is an example in which an inexpensive general-purpose crystalline resin such as polypropylene is used.

一般に結晶性樹脂は、無機フイラーを混入することに
より結晶性が高くなり、また結晶の拘束性も高まり耐熱
性を向上させることができるが、荷重時の熱変形が大き
く、オーブン中での積み重ね使用が要求される目的とす
るトレーの仕様には適さない。更に、このような樹脂に
は、結晶化促進剤として低分子量の有機酸が含まれてお
り、これらの樹脂から成形したトレーに半導体集積回路
装置を積載してオーブン中で加熱すると、トレーから溶
出あるいは揮発した有機酸が該装置のリード線を腐食す
るといつたトラブルを引き起こし易い欠点を有してい
る。
In general, crystalline resins can be improved in crystallinity by mixing inorganic fillers, and can also increase the restraint of crystals and improve heat resistance.However, thermal deformation under load is large, and stacking in ovens Is not suitable for the intended tray specification. Furthermore, such resins contain low-molecular-weight organic acids as crystallization promoters. When semiconductor integrated circuit devices are loaded on trays molded from these resins and heated in an oven, they elute from the trays. Another problem is that the volatile organic acid easily causes troubles when the lead wires of the apparatus are corroded.

本発明者等は、鋭意研究の結果、ポリフエニレンエー
テル樹脂とスチレン樹脂をベースに樹脂、カーボンブラ
ツク及びエチレン−アクリク酸エステル共重合体を含有
する組成物を射出成形した耐熱性、機械的特性、成形
性、電気的特性及び価格においてバランスのとれた半導
体集積回路装置搬送用トレーの製造法を開発し、発明を
完成するに至つた。
The inventors of the present invention have conducted intensive studies and found that, based on polyphenylene ether resin and styrene resin, a resin, carbon black and a composition containing an ethylene-acrylic acid ester copolymer were injection-molded to obtain heat resistance and mechanical properties. A method for manufacturing a tray for transporting semiconductor integrated circuit devices, which is well balanced in formability, electrical characteristics, and price, was developed, and the invention was completed.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

すなわち本発明は (a)ポリフエニレンエーテル重合体58〜96重量%と
ポリスチレン重合体42〜4重量%とからなるポリフエニ
レンエーテル系樹脂100重量部、(b)カーボンブラツ
ク10〜40重量部及び(c)エチレン−アクリル酸エステ
ル共重合体5〜20重量部を含有してなる樹脂組成物を射
出成形することを特徴とする半導体集積回路装置搬送用
トレーの製造法である。
That is, the present invention relates to (a) 100 parts by weight of a polyphenylene ether-based resin composed of 58 to 96% by weight of a polyphenylene ether polymer and 42 to 4% by weight of a polystyrene polymer, and (b) 10 to 40 parts by weight of a carbon black. And (c) injection molding a resin composition containing 5 to 20 parts by weight of an ethylene-acrylate copolymer to produce a tray for transporting semiconductor integrated circuit devices.

本発明で使用するポリフエニレンエーテル系樹脂と
は、米国特許3383435号に記載されているポリフエニレ
ンエーテル重合体のホモポリマーあるいは共重合体とポ
リスチレン重合体のブレンド系を意味するものである。
The polyphenylene ether resin used in the present invention means a homopolymer or a blend of a polyphenylene ether polymer and a polystyrene polymer described in US Pat. No. 3,383,435.

そしてポリフエニレンエーテル系樹脂100重量部にお
けるブレンド組成は、ポリフエニレンエーテル重合体の
ホモポリマーあるいは共重合体が58〜96重量%、ポリス
チレン重合体が42〜5重量%である。ポリフエニレンエ
ーテル重合体が58重量%より少ないと成形性は向上する
が、上記半導体集積回路装置をオーブン中で処理するト
レーとして使用するには満足する耐熱性が得られない。
また、ポリフエニレンエーテル重合体が96重量%を越え
ると耐熱性は向上するが、成形性が低下して上記トレー
としての成形が困難になる。耐熱性と成形性のバランス
を考えると、ポリフエニレンエーテル重合体が58〜96重
量%が好ましい。更に、ここでいうポリスチレン重合体
の内容としては、トレーとして使用する際の耐衝撃の補
強効果と成形性のバランスを考えてゴムを2〜7重量%
含有する耐衝撃性スチレン樹脂又は同様のゴム量を含有
する耐衝撃性スチレン樹脂と透明スチレン樹脂との混合
物の範囲が最適である。
The blend composition of 100 parts by weight of the polyphenylene ether-based resin is such that the homopolymer or copolymer of the polyphenylene ether polymer is 58 to 96% by weight, and the polystyrene polymer is 42 to 5% by weight. If the amount of the polyphenylene ether polymer is less than 58% by weight, moldability is improved, but satisfactory heat resistance cannot be obtained when the semiconductor integrated circuit device is used as a tray for processing in an oven.
On the other hand, when the content of the polyphenylene ether polymer exceeds 96% by weight, the heat resistance is improved, but the moldability is reduced and the molding as the tray becomes difficult. Considering the balance between heat resistance and moldability, the content of the polyphenylene ether polymer is preferably 58 to 96% by weight. Further, the content of the polystyrene polymer here is 2 to 7% by weight of rubber in consideration of the balance between the reinforcing effect of impact resistance and the moldability when used as a tray.
The range of the impact-resistant styrene resin or the mixture of the impact-resistant styrene resin containing the same amount of rubber and the transparent styrene resin is optimal.

次に本発明で使用するカーボンブラツクとは、顆粒状
又は粉末状の導電性のカーボンブラツクであり、例え
ば、サーマルブラツク、アセチレンブラツク、フアーネ
スブラツク等がある。組成物中の割合は、ポリフエニレ
ンエーテル系樹脂100重量部に対して、カーボンブラツ
ク10〜40重量部が好ましい。カーボンブラツクの添加量
が10重量部より少ないと上記トレーの使用を満足する導
電性を発現できない。また、カーボンブラツクの添加量
が40重量部を越えると樹脂の流動性が著しく低下して上
記トレーを形成することが困難となる。一般に比表面積
の小さなカーボンブラツクほど多量の添加を必要とする
が、導電性と成形性のバランスおよび作業性から考えて
顆粒状のフアーネスブラツクが好ましく、その場合、ポ
リフエニレンエーテル系樹脂100重量部に対して、カー
ボンブラツク10〜40重量部を添加するとよい。
Next, the carbon black used in the present invention is a granular or powdered conductive carbon black, and examples thereof include a thermal black, an acetylene black and a furnace black. The proportion in the composition is preferably 10 to 40 parts by weight of the carbon black based on 100 parts by weight of the polyphenylene ether-based resin. If the added amount of the carbon black is less than 10 parts by weight, conductivity satisfying the use of the tray cannot be exhibited. On the other hand, if the amount of the carbon black exceeds 40 parts by weight, the fluidity of the resin is remarkably reduced, and it becomes difficult to form the tray. In general, a carbon black having a smaller specific surface area requires a larger amount of addition, but a granular furnace black is preferable in view of the balance between conductivity and moldability and workability. In that case, 100 weight parts of a polyphenylene ether resin is used. It is advisable to add 10 to 40 parts by weight of carbon black to parts by weight.

本発明では、成形性および耐衝撃性を改良するため
に、エチレン−アクリル酸エステル共重合体を使用す
る。ポリスチレン、ポリプロピレン樹脂等汎用樹脂の補
強には、不飽和系のゴムを使用するが、本発明のトレー
に使用する樹脂は、高温高圧下で加工されるため、不飽
和系のゴムを使用するとゴム分の熱分解が著しく使用で
きない。
In the present invention, an ethylene-acrylate copolymer is used in order to improve moldability and impact resistance. Unsaturated rubber is used to reinforce general-purpose resins such as polystyrene and polypropylene resin, but the resin used for the tray of the present invention is processed under high temperature and high pressure. Thermal decomposition cannot be used remarkably.

エチレン−アクリル酸エステル共重合体としては、エ
チレン−エチルアクリレート共重合体が成形性および耐
衝撃性の改良効果が最も大きい。ポリフエニレンエーテ
ル重合体とポリスチレン重合体のブレンド系にエチレン
−エチルアクリレート共重合体を添加して成形性と耐衝
撃性を改良することは、特公昭53−12539号公報に記述
されている。
As the ethylene-acrylate copolymer, the ethylene-ethyl acrylate copolymer has the greatest effect of improving moldability and impact resistance. The addition of an ethylene-ethyl acrylate copolymer to a blend system of a polyphenylene ether polymer and a polystyrene polymer to improve moldability and impact resistance is described in JP-B-53-12539.

本発明で使用するエチレン−エチルアクリレート共重
合体は、補強効果と熱安定性のバランスを考えて、エチ
ルアクリレートの含有量が5〜20重量%の範囲にあるこ
とが最適である。また、エチレン−アクリル酸エステル
共重合体の添加量は、ポリフエニレンエーテル系樹脂10
0重量部に対して5〜20重量部が最適である。エチレン
−アクリル酸エステル共重合体が5重量部より少ない
と、上記トレーの成形性と耐衝撃性の改良効果が得られ
ない。また、20重量部より多いと、成形性は改良される
が耐衝撃性が再び低下するだけでなく、耐熱性が著しく
低下して、上記トレーの仕様を満足しない。したがつて
成形性、耐衝撃性および耐熱性のバランスを考えて、ポ
リフエニレンエーテル系樹脂100重量部に対してエチレ
ンエチルアクリレート共重合体5〜20重量部の添加が好
ましい。
In the ethylene-ethyl acrylate copolymer used in the present invention, the content of ethyl acrylate is optimally in the range of 5 to 20% by weight in consideration of the balance between the reinforcing effect and the thermal stability. Further, the amount of the ethylene-acrylate copolymer added was 10 g of polyphenylene ether-based resin.
The optimum amount is 5 to 20 parts by weight with respect to 0 parts by weight. If the amount of the ethylene-acrylate copolymer is less than 5 parts by weight, the effects of improving the moldability and impact resistance of the tray cannot be obtained. If the amount is more than 20 parts by weight, the moldability is improved, but not only the impact resistance is reduced again, but also the heat resistance is remarkably reduced, so that the tray specifications are not satisfied. Therefore, considering the balance of moldability, impact resistance and heat resistance, it is preferable to add 5 to 20 parts by weight of ethylene ethyl acrylate copolymer to 100 parts by weight of polyphenylene ether resin.

更に、本発明では、各種の添加剤、例えば抗酸化剤、
可塑剤、滑剤、難燃剤を添加してもよい。
Furthermore, in the present invention, various additives such as antioxidants,
Plasticizers, lubricants and flame retardants may be added.

以下に本発明の実施方法を説明する。まず、上述の各
種原料を良く知られている混合機、例えばヘンシエルミ
キサー、リボンブレンダー、タンブラーミキサー等で混
合、撹拌する。次に混合物をやはり良く知られている混
練機、例えば同方向二軸押し出し機、異方向二軸押し出
し機や加圧ニーダー等により、250〜320℃で混練して、
ペレツト状とする。
Hereinafter, an implementation method of the present invention will be described. First, the above-mentioned various raw materials are mixed and stirred by a well-known mixer, for example, a Hensiel mixer, a ribbon blender, a tumbler mixer or the like. Next, the mixture is kneaded at 250 to 320 ° C. by a well-known kneader, for example, a co-axial twin-screw extruder, a bi-directional twin-screw extruder, a pressure kneader, or the like.
Pellet shape.

次に、以上の要領でペレツト化した半導電性樹脂から
半導体集積回路装置搬送用トレーを射出成形法により作
成する。
Next, a semiconductor integrated circuit device carrying tray is formed by injection molding from the pelletized semiconductive resin in the manner described above.

射出成形条件は、例えば型締圧160トンの油圧式射出
成形機を用いて、成形温度280〜340℃、金型温度80〜14
0℃である。
The injection molding conditions are, for example, using a hydraulic injection molding machine with a mold clamping pressure of 160 tons, molding temperature 280 to 340 ° C., mold temperature 80 to 14
0 ° C.

トレーの形状は、通常、縦100〜150mm、横250〜300m
m、厚さ5〜7mm程度であり、縦横直行する格子で仕切ら
れており、該格子一つ当たりに一つの半導体集積回路装
置が積載されるようになつている。格子で仕切られた一
区画の大きさは、積載する半導体集積回路装置の大きさ
によつて様々であるが、QFP型IC用トレーの場合は、一
辺10〜40mm程度である。また、格子で仕切られた区画内
には、半導体集積回路装置突き出し用の穴が開いてお
り、該穴と該格子の間には該穴を囲むように幅0.2〜0.5
mm、高さ0.2〜1.0mm程度の微小リブが形成されて、積載
した半導体集積回路装置が該微小リブで積載固定され、
リード線がトレーに触れないように配慮されている(第
1図)。また、トレーの裏側には、該格子で仕切られた
各区画を連結するように流動補助用のリブを縦横に設け
るとよい(第2図)。
The shape of the tray is usually 100-150mm in height, 250-300m in width
m, a thickness of about 5 to 7 mm, and is divided by vertical and horizontal grids, and one semiconductor integrated circuit device is mounted on each grid. The size of one section partitioned by the lattice varies depending on the size of the semiconductor integrated circuit device to be loaded, but in the case of a QFP type IC tray, it is about 10 to 40 mm on each side. Further, a hole for projecting the semiconductor integrated circuit device is opened in the section partitioned by the lattice, and a width of 0.2 to 0.5 is provided between the hole and the lattice so as to surround the hole.
mm, a height of about 0.2 to 1.0 mm micro ribs are formed, the mounted semiconductor integrated circuit device is mounted and fixed by the micro ribs,
Care is taken so that the leads do not touch the tray (FIG. 1). Further, on the back side of the tray, flow assisting ribs may be provided vertically and horizontally to connect the sections partitioned by the grid (FIG. 2).

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を実施例に基づいて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described based on examples.

実施例1〜3、比較例1〜4 配合;表1、表2に示す組成にて配合を行なつた。Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4 Formulations: Formulations were performed using the compositions shown in Tables 1 and 2.

混合;表1、表2の配合組成のうち、カーボンブラツ
クを除いた原料粉末をヘンシエルミキサーで2分間混合
した。その後、カーボンブラツクを含めた全成分をタン
ブラーミキサーで3分間混合した。
Mixing: Raw materials powder of the composition shown in Tables 1 and 2, except for the carbon black, was mixed for 2 minutes using a Hensiel mixer. Thereafter, all components including the carbon black were mixed for 3 minutes using a tumbler mixer.

混練、ペレツト化;混合した原料粉末を同方向2軸押
出機(池貝鉄鋼(株)・PCM−45)を使用して、シリン
ダー温度280℃、シリンダー回転数140rpmの条件で混
練、ペレツト化した。
Kneading and pelletizing: The mixed raw material powder was kneaded and pelletized using a co-rotating twin-screw extruder (PCM-45, Ikegai Iron & Steel Co., Ltd.) at a cylinder temperature of 280 ° C. and a cylinder rotation speed of 140 rpm.

射出成形;射出成形法により、作成したペレツトから
物性評価用試験片とQFP型ICトレーを成形した。
Injection molding: A test piece for evaluating physical properties and a QFP type IC tray were molded from the prepared pellets by an injection molding method.

QFP型ICトレーの成形条件例を表3に記した。 Table 3 shows examples of molding conditions for the QFP type IC tray.

表4に一般物性評価結果を、表5に耐熱試験結果を記
した。
Table 4 shows the results of the evaluation of general physical properties, and Table 5 shows the results of the heat resistance test.

表面抵抗測定方法 試験片:射出成形法によりプレート(120mm×120mm×3m
m)を作成した。
Surface resistance measuring method Test piece: Plate (120mm × 120mm × 3m) by injection molding
m) created.

前処理:プレートの9ケ所に10mm間隔で銀塗料を5mm×1
0mmに塗布して室温下で乾燥し、プレート上に銀電極を
作成した。
Pretreatment: 5mm x 1 silver paint at 9mm intervals on plate
It was applied to a thickness of 0 mm and dried at room temperature to form a silver electrode on the plate.

測 定:アドバンテツク社デジタルマルチメータIR−68
53にて銀電極間の抵抗値を測定した。
Measurement: Advanced Digital Multimeter IR-68
At 53, the resistance between the silver electrodes was measured.

抵抗値は、n=9ケ所/枚の平均値とした。 The resistance value was an average value of n = 9 places / sheet.

QFP型ICトレーの耐熱試験方法 加熱処理 トレー6枚重ねにてオーブン中で加熱した;125℃,135
℃,145℃×24時間 加熱したトレーを6枚重ねにて室温、放置した;23℃
×50%RH×24時間 測定方法 加熱処理の前後で下記の測定を行つた;試料数n=6
枚/1条件 ・外形寸法:縦、横寸法を精度1/100mmのノギスにて測
定した;4辺/1枚 反り量を精度1/100mmのハイトゲージにて測定した;15
点/1枚 ・表面抵抗:トレーの表、裏で10mm間隔の2点間表面抵
抗値を測定した:12点/1枚片面 ・衝撃強度:トレーの中央を6.35mm×12.7mmの大きさに
切り出してアイゾツト衝撃強度を測定した;1片/1枚 〔発明の効果〕 以上説明してきたとおり、特定された樹脂組成物を用
いて射出成形した本発明のトレーは、耐熱性、機械的特
性、成形性、電気的特性および価格においてバランスの
とれた特徴を有する半導体集積回路装置搬送用トレーで
ある。
Heat resistance test method for QFP type IC tray Heat treatment Heated in an oven with 6 trays stacked; 125 ° C, 135
℃, 145 ℃ × 24 hours 6 trays heated and left at room temperature; 23 ℃
× 50% RH × 24 hours Measurement method The following measurement was performed before and after the heat treatment; number of samples n = 6
Sheets / 1 condition ・ External dimensions: vertical and horizontal dimensions were measured with a 1/100 mm precision caliper; 4 sides / 1 sheet warpage was measured with a 1/100 mm precision height gauge; 15
Point / sheet ・ Surface resistance: The surface resistance between two points at 10mm intervals on the front and back of the tray was measured: 12 points / sheet, single side ・ Impact strength: The center of the tray was 6.35mm × 12.7mm Cut out and measured Izod impact strength; 1 piece / 1 piece [Effects of the Invention] As described above, the tray of the present invention injection-molded using the specified resin composition has characteristics balanced in heat resistance, mechanical properties, moldability, electrical properties and price. A semiconductor integrated circuit device carrying tray having the following.

【図面の簡単な説明】 第1図(a)、(b)及び(c)は、本発明の試験用に
使用したトレーの表面平面図及び側面図であり、第2図
は、裏面平面図である。 符号 1……格子、4……流動補助用リブ 2……穴、5……流動補助用リブ 3……微小リブ
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIGS. 1 (a), (b) and (c) are a plan view and a side view of a tray used for the test of the present invention, and FIG. It is. Reference numeral 1... Lattice 4... Flow assisting rib 2... Hole 5... Flow assisting rib 3.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C08L 23:08) ────────────────────────────────────────────────── ─── front page continued (51) Int.Cl. 6 identifications FI C08L 23:08)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】(a)ポリフエニレンエーテル重合体58〜
96重量%とポリスチレン重合体42〜4重量%とからなる
ポリフエニレンエーテル系樹脂100重量部、(b)カー
ボンブラツク10〜40重量部及び(c)エチレン−アクリ
ル酸エステル共重合体5〜20重量部を含有してなる樹脂
組成物を射出成形することを特徴とする半導体集積回路
装置搬送用トレーの製造法。
1. A polyphenylene ether polymer (a)
100 parts by weight of a polyphenylene ether-based resin composed of 96% by weight and 42 to 4% by weight of a polystyrene polymer, (b) 10 to 40 parts by weight of a carbon black, and (c) 5 to 20% of an ethylene-acrylate copolymer A method for producing a tray for transporting a semiconductor integrated circuit device, comprising injection molding a resin composition containing parts by weight.
【請求項2】ポリスチレン重合体がゴムを2〜7重量%
含有する耐衝撃性スチレン樹脂又は耐衝撃性スチレン樹
脂と透明スチレン樹脂との混合物である請求項1記載の
トレーの製造法。
2. The polystyrene polymer contains 2 to 7% by weight of rubber.
The method for producing a tray according to claim 1, wherein the tray is a high-impact styrene resin or a mixture of the high-impact styrene resin and a transparent styrene resin.
【請求項3】カーボンブラツクが顆粒状である請求項1
記載のトレーの製造法。
3. The carbon black according to claim 1, wherein the carbon black is granular.
The method of manufacturing the tray as described.
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