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JP2803653B2 - Thin plate crack detection device - Google Patents
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JP2803653B2 - Thin plate crack detection device - Google Patents

Thin plate crack detection device

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JP2803653B2
JP2803653B2 JP23888596A JP23888596A JP2803653B2 JP 2803653 B2 JP2803653 B2 JP 2803653B2 JP 23888596 A JP23888596 A JP 23888596A JP 23888596 A JP23888596 A JP 23888596A JP 2803653 B2 JP2803653 B2 JP 2803653B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばセラミック
粉末を焼成した薄板に生じた割れを検出する装置に関
し、特に、汎用性に優れ、作業場所の制約を受けること
なく、作業者の安全性を確保でき、かつ、構造が簡単な
薄板の割れ検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for detecting cracks generated in a thin plate obtained by firing ceramic powder, for example, and more particularly to an apparatus which is excellent in versatility and is not restricted by a work place, and is capable of improving the safety of workers. The present invention relates to a thin plate crack detecting device which can be secured and has a simple structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】アルミナや炭化珪素などのセラミック材
料は、金属材料に比較して、耐蝕性や耐磨耗性などの特
性が優れており、各種製品の性能向上や寿命延長などを
達成する材料として、広く使用されている。しかし、セ
ラミック材料は金属材料に比較して、塑性加工などの機
械加工が困難であるという欠点を有している。このた
め、セラミック成形品は、その原料である粉末をできる
だけ成形品の形状や寸法に近くなるように成形され、切
削や研磨など機械加工はできるだけ軽度に付加する程度
にされている。
2. Description of the Related Art Ceramic materials such as alumina and silicon carbide have excellent properties such as corrosion resistance and abrasion resistance as compared with metal materials, and are materials that achieve improved performance and extended life of various products. As widely used. However, ceramic materials have a drawback in that machining such as plastic working is more difficult than metal materials. For this reason, the ceramic molded article is formed by molding the powder, which is the raw material, so as to be as close as possible to the shape and dimensions of the molded article, and the machining, such as cutting and polishing, is applied as lightly as possible.

【0003】しかし、その切削や研削などの機械加工の
条件によっては、セラミック成形品に微細な割れである
クラックが生じてしまう。このクラックは、応力集中が
発生する起点となるため、機械的強度が低下するだけで
なく、セラミック製の電子部品においては電気的特性が
劣化する。したがって、クラックの生じたセラミック成
形品は出荷されることがないように検査されている。し
かし、クラックが微細であることから、クラックの存在
を検査することが困難である。
However, depending on the conditions of machining such as cutting and grinding, cracks, which are minute cracks, occur in the ceramic molded product. Since the cracks serve as starting points where stress concentration occurs, not only the mechanical strength is reduced, but also the electrical characteristics of ceramic electronic components are deteriorated. Therefore, cracked ceramic molded products are inspected so as not to be shipped. However, since the cracks are fine, it is difficult to inspect for the presence of the cracks.

【0004】このような問題点を解消すべく、セラミッ
ク成形品に生じたクラックを容易に検出することができ
るようにした発明が特開昭60−202336号公報や
特開昭62−113044号公報に開示されている。
In order to solve such problems, cracks generated in ceramic molded articles can be easily detected by Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 60-202336 and 62-113044. Is disclosed.

【0005】特開昭60−202336号公報に開示さ
れた発明は、セラミック成形品に着色液が付着され、そ
の後、余分な着色液が除去され、粉末をセラミック成形
品に付着することにより、クラックが検出されるように
した方法である。セラミック成形品にクラックが生じて
いれば、そのクラックに着色液が残存し、セラミック成
形品に付着した粉末がその着色液によって着色されるこ
とにより、クラックが容易に検出される。しかも、セラ
ミック成形品が黒色であっても目視が容易であり、暗室
内で作業しなければならないといった不具合も生じな
い。
[0005] The invention disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-202336 discloses a method in which a coloring liquid is adhered to a ceramic molded article, an excess coloring liquid is thereafter removed, and the powder is adhered to the ceramic molded article. Is detected. If a crack occurs in the ceramic molded product, the coloring liquid remains in the crack, and the powder adhering to the ceramic molded product is colored by the coloring liquid, so that the crack is easily detected. Moreover, even if the ceramic molded product is black, visual observation is easy, and there is no problem that the user must work in a dark room.

【0006】他方、特開昭62−113044号公報に
開示された発明は、セラミック成形品の部材中に水素又
はヘリウムガスを拡散、浸透させ、セラミック成形品の
表面より放出されるガス量をガスセンサーによって測定
するクラックの検出方法である。多量のガス量が検出さ
れれば、セラミック成形品にクラックが生じていると判
断することができる。
On the other hand, the invention disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-13044 discloses a method in which hydrogen or helium gas is diffused and permeated into the members of a ceramic molded product, and the amount of gas released from the surface of the ceramic molded product is reduced. This is a method for detecting cracks measured by a sensor. If a large amount of gas is detected, it can be determined that a crack has occurred in the ceramic molded product.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】特開昭60−2023
36号公報に開示された発明は、セラミック成形品に着
色液を塗布することにより、クラックの発生を検出する
ものである。しかし、その薄板上に回路が構成された後
に着色液が塗布されると、着色液が有機溶剤であること
から、薄板上の回路がショートするなどの支障が生じて
しまう。
Problems to be Solved by the Invention
The invention disclosed in Japanese Patent Publication No. 36 is to detect the occurrence of cracks by applying a coloring liquid to a ceramic molded product. However, if the coloring liquid is applied after the circuit is formed on the thin plate, since the coloring liquid is an organic solvent, a trouble such as a short circuit of the circuit on the thin plate occurs.

【0008】また、特開昭62−113044号公報に
開示された発明は、ガスを使用してセラミック成形品に
クラックが生じていないかどうかを検出するものであ
る。しかし、そのガスとして水素などが使用されるた
め、その検出作業の場所が制約されるだけでなく、オペ
レータの安全性に十分、考慮しなければならないといっ
た不具合が生じる。
Further, the invention disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-113044 is to detect whether cracks have occurred in a ceramic molded product by using gas. However, since hydrogen or the like is used as the gas, not only the location of the detection operation is restricted, but also a problem arises that the safety of the operator must be sufficiently considered.

【0009】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、汎用性に優れ、作業場所の制約を受けること
なく、作業者の安全性を確保でき、かつ、構造が簡単な
薄板の割れ検出装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, has excellent versatility, can secure the safety of workers without being restricted by a work place, and has a simple structure. An object of the present invention is to provide a crack detection device.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の薄板の割れ検出
装置は、送気孔と吸気孔とを備え、表面に薄板を載せる
テーブルと、そのテーブルの送気孔から薄板の裏面に向
かってエアーを送出するエアー送出手段と、テーブルの
吸気孔内のエアーを吸気するエアー吸気手段と、そのエ
アー吸気手段と吸気孔との間の圧力を測定する圧力測定
手段と、を有することを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided an apparatus for detecting cracks in a thin plate, which has an air supply hole and an intake hole, and a table on which a thin plate is placed on the surface, and which blows air from the air supply hole of the table toward the back surface of the thin plate. Air supply means for sending out air, air suction means for sucking air in the suction hole of the table, and pressure measurement means for measuring pressure between the air suction means and the suction hole. It is.

【0011】本発明の薄板の割れ検出装置により薄板の
割れ検出を行う場合には、まず、テーブルの表面に薄板
を載せ、エアー送出手段によって送気孔から薄板の裏面
に向かってエアーを送出する。割れている薄板は複数個
に分離された状態となっており各個の重量は軽いので、
送出されたエアーによって上方に向かって浮上する。
When a thin plate crack is detected by the thin plate crack detecting device of the present invention, first, the thin plate is placed on the surface of a table, and air is sent from an air supply hole toward the back surface of the thin plate by air sending means. The broken sheet is in a state of being separated into multiple pieces and the weight of each piece is light,
It floats upward by the sent air.

【0012】この状態で、エアー吸気手段によって吸気
孔内のエアーを吸気すると、割れた薄板は分離されてい
る状態のため、吸気孔と大気とが通じることになる。従
って、圧力測定手段によって測定されたエアー吸気手段
と吸気孔との間の真空度が上がらず、その圧力が大気圧
になるので、薄板は割れていると判定できる。エアー吸
気手段と吸気孔との間の圧力が負圧の場合には、薄板が
割れていないと判定できる。
In this state, when the air in the suction hole is suctioned by the air suction means, the broken thin plate is separated, so that the suction hole communicates with the atmosphere. Therefore, the degree of vacuum between the air suction means and the suction hole measured by the pressure measurement means does not increase and the pressure becomes the atmospheric pressure, so that it can be determined that the thin plate is broken. When the pressure between the air intake means and the intake hole is a negative pressure, it can be determined that the thin plate is not broken.

【0013】エアー送出手段と送気孔との間には、エア
ー圧力調整手段とエアー流量調整手段とを有する場合に
は、薄板の大きさ、質量等に応じて送気孔から送出され
るエアーを調整することができる。
When air pressure adjusting means and air flow rate adjusting means are provided between the air sending means and the air feed hole, the air sent from the air feed hole is adjusted according to the size, mass, etc. of the thin plate. can do.

【0014】割れた薄板の各個を外側方向に分離させる
ため、テーブルの送気孔は、薄板のスクライブ方向に沿
って薄板の両端部に対応する位置に形成され、かつ、先
端に向かって外側方向に傾斜して形成されるのが好まし
い。
[0014] In order to separate each of the cracked thin plates outwardly, the air supply holes of the table are formed at positions corresponding to both ends of the thin plate along the scribe direction of the thin plate, and outwardly toward the tip. Preferably, it is formed inclined.

【0015】エアー吸気手段は、例えば、中央部分が細
くなるように形成された第1流路と、その第1流路の中
央部分に連通する第2流路とを備え、第1流路にエアー
送出手段からのエアーを送入することにより、吸気孔内
のエアーを第2流路へ吸気するように構成してもよく、
また、真空ポンプであってもよい。
[0015] The air intake means includes, for example, a first flow path formed so that a central portion is narrowed, and a second flow path communicating with the central portion of the first flow path. By sending air from the air sending means, the air in the air inlet may be sucked into the second flow path,
Further, a vacuum pump may be used.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図1
乃至図4を参照しながら説明する。図1は、本発明に係
る薄板の割れ検出装置の平面図、図2は、本発明に係る
薄板の割れ検出装置の一部断面斜視図、図3は、真空発
生装置の内部構造を示す断面図、図4は、本発明に係る
薄板の割れ検出装置を使用したときの薄板の状態を示す
平面図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
This will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a plan view of a thin plate crack detecting device according to the present invention, FIG. 2 is a partial cross-sectional perspective view of the thin plate crack detecting device according to the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional diagram showing the internal structure of the vacuum generating device. FIG. 4 is a plan view showing a state of a thin plate when the thin plate crack detecting device according to the present invention is used.

【0017】本発明に係る割れ検出装置は、例えばセラ
ミック材料を成形した薄板1を載せる方形状のテーブル
2を有する。テーブル2には、送気孔10と吸気孔20
とが形成されている。
The crack detecting device according to the present invention has a rectangular table 2 on which a thin plate 1 formed of, for example, a ceramic material is placed. The table 2 has an air inlet 10 and an air inlet 20.
Are formed.

【0018】テーブル2の送気孔10は、図1に示すよ
うに、薄板1のスクライブ方向(矢印方向)に沿って形
成された複数の小孔からなり、左右に所定間隔を隔てて
対向して配置されている。また、送気孔10は、図2に
示すように、割れた薄板1の分離された各個を外側方向
に分離させるため、先端に向かって外側方向に傾斜して
形成される。
As shown in FIG. 1, the air supply hole 10 of the table 2 is composed of a plurality of small holes formed along the scribe direction (arrow direction) of the thin plate 1 and is opposed to the left and right at a predetermined interval. Are located. Further, as shown in FIG. 2, the air supply holes 10 are formed so as to be inclined outwardly toward the tip in order to separate the separated pieces of the broken thin plate 1 outwardly.

【0019】テーブル2の内部において、各送気孔10
は、1本の中心孔21から分岐して連通している。中心
孔21にはパイプ22が接続される。そのパイプ22に
は上流側からエアーを発生するエアー発生装置23、エ
アーの圧力を調整する圧力調整器24及びエアーの流量
を調整するエアー流量調整器25が接続されている。エ
アー圧力調整器24及びエアー流量調整器25によっ
て、薄板1の大きさ、質量等に応じて送気孔10から送
出されるエアーが調整される。
Inside the table 2, each air supply hole 10
Are branched from one central hole 21 and communicate with each other. A pipe 22 is connected to the center hole 21. An air generator 23 for generating air from the upstream side, a pressure regulator 24 for adjusting the pressure of air, and an air flow regulator 25 for adjusting the flow rate of air are connected to the pipe 22. The air sent from the air supply hole 10 is adjusted by the air pressure regulator 24 and the air flow regulator 25 according to the size, mass, and the like of the thin plate 1.

【0020】吸気孔20は薄板1の両サイドで塞がれる
長孔に形成され、かつ、上下に所定間隔を隔てて対向し
て配置されている。吸気孔20には、テーブル2の吸気
孔20内のエアーを真空引きするための真空発生装置1
2が、パイプ11を介して接続される。
The intake holes 20 are formed as long holes which are closed on both sides of the thin plate 1, and are arranged to face each other at a predetermined interval vertically. A vacuum generator 1 for evacuating the air in the suction holes 20 of the table 2 is provided in the suction holes 20.
2 are connected via a pipe 11.

【0021】真空発生装置12の内部には、図3に示す
ように、中央部分が細くなるように形成された第1流路
30aと、その第1流路30aの中央部分に連通する第
2流路30bとが形成されている。そして、エアー発生
装置23から送出される圧縮エアーは、孔30cから第
1流路30aに送入され、孔30dを介してマフラ等の
排気装置31(図2参照)に排気される。これによっ
て、吸気孔20内のエアーは、孔30eを介して第2流
路30bに吸気される。
As shown in FIG. 3, inside the vacuum generator 12, a first flow path 30a formed so as to have a narrow center portion, and a second flow path communicating with the center portion of the first flow path 30a. A channel 30b is formed. The compressed air sent from the air generator 23 is sent from the hole 30c to the first flow path 30a, and is exhausted to an exhaust device 31 (see FIG. 2) such as a muffler through the hole 30d. Thereby, the air in the intake hole 20 is sucked into the second flow path 30b through the hole 30e.

【0022】真空発生装置12としては、他に真空ポン
プ等が用いられる。この場合には、エアー発生装置23
との接続は不要である。
As the vacuum generator 12, a vacuum pump or the like is used. In this case, the air generator 23
No connection is required.

【0023】パイプ11には真空発生装置12と吸気孔
20との間の圧力を測定するための圧力計13が接続さ
れる。この圧力計13によって吸気孔20内の負圧の大
きさが測定される。
The pipe 11 is connected to a pressure gauge 13 for measuring the pressure between the vacuum generator 12 and the suction hole 20. The magnitude of the negative pressure in the intake hole 20 is measured by the pressure gauge 13.

【0024】吸気孔20が薄板1によって完全に塞がれ
ていると、吸気孔20内には負圧が生じ、圧力計13は
大きな値を示す。しかし、薄板1が割れて、吸気孔20
が塞がれなくなると、吸気孔20内は負圧が生じないた
め、圧力計13は低い値を示す。
When the intake port 20 is completely closed by the thin plate 1, a negative pressure is generated in the intake port 20, and the pressure gauge 13 shows a large value. However, the thin plate 1 is cracked and the intake holes 20
Is no longer blocked, the pressure gauge 13 shows a low value because no negative pressure is generated in the intake hole 20.

【0025】次に、本発明に係る薄板の割れ検出装置に
より薄板1の割れを検出する方法について説明する。
Next, a method for detecting a crack in the thin plate 1 by the thin plate crack detecting device according to the present invention will be described.

【0026】まず、薄板1はその周辺が送気孔10及び
吸気孔20を塞ぐようにテーブル2上に載せられる。次
いで、エアー発生装置23から発生したエアーは、エア
ー圧力調整器24、エアー流量調整器25を介して中心
孔21内に供給され、各送気孔10から薄板1の裏面に
向かって送出される。スクライブ方向(図1の矢印方
向)に割れている薄板1は、割れていない薄板に比べ、
総重量は同じであるが、複数個に分離された状態になっ
ているため、各個の重量は軽い。従って、薄板1の各個
は、送出されたエアーによって上方に浮上するととも
に、送気孔10は、先端に向かって外側方向に傾斜して
形成されているので、エアーは外側に向かって送出さ
れ、図4に示すように、薄板1の各個は外側方向に分離
される。
First, the thin plate 1 is placed on the table 2 so that the periphery thereof closes the air supply hole 10 and the air intake hole 20. Next, the air generated from the air generator 23 is supplied into the center hole 21 via the air pressure regulator 24 and the air flow regulator 25, and is sent out from each air supply hole 10 toward the back surface of the thin plate 1. The thin plate 1 cracked in the scribe direction (the direction of the arrow in FIG. 1)
Although the total weight is the same, the weight of each piece is light because it is separated into a plurality. Therefore, each piece of the thin plate 1 floats upward by the sent air, and the air supply hole 10 is formed to be inclined outward toward the tip, so that the air is sent outward and the air is sent outward. As shown in FIG. 4, each of the thin plates 1 is separated outwardly.

【0027】この状態で、真空発生装置12によって吸
気孔20内のエアーを吸気すると、割れた薄板1は分離
されている状態のため、図4のA部分で吸気孔20と大
気とが通じることになる。従って、圧力計13によって
測定された真空発生装置12と吸気孔20との間の真空
度が上がらず、圧力が大気圧になるので、薄板1は割れ
ていると判定できる。真空発生装置12と吸気孔20と
の間の圧力が負圧の場合には、薄板が割れていないと判
定できる。
In this state, when the air in the suction hole 20 is sucked in by the vacuum generating device 12, the broken thin plate 1 is separated, so that the suction hole 20 and the atmosphere communicate with each other at the portion A in FIG. become. Accordingly, since the degree of vacuum between the vacuum generator 12 and the suction hole 20 measured by the pressure gauge 13 does not increase and the pressure becomes the atmospheric pressure, it can be determined that the thin plate 1 is broken. When the pressure between the vacuum generator 12 and the suction hole 20 is a negative pressure, it can be determined that the thin plate is not broken.

【0028】なお、圧力計13によって測定された吸気
孔20内の圧力に応じて薄板1の割れの程度を表示する
表示装置を設けてもよい。また、薄板1の割れが検出さ
れると、警報を発する警報装置を設けてもよい。
It is to be noted that a display device for displaying the degree of cracking of the thin plate 1 according to the pressure in the intake hole 20 measured by the pressure gauge 13 may be provided. Further, an alarm device for issuing an alarm when a crack in the thin plate 1 is detected may be provided.

【0029】本発明に係る薄板の割れ検出装置によれ
ば、圧力計13によって真空発生装置12と吸気孔20
との間の圧力を測定するだけで薄板1の割れを検出でき
るので、薄板1の表面状態を変化させることはなく、汎
用性を向上させることができる。
According to the apparatus for detecting cracks in a thin plate according to the present invention, the vacuum generator 12 and the intake hole 20 are controlled by the pressure gauge 13.
Since the crack of the thin plate 1 can be detected only by measuring the pressure between the thin plate 1 and the surface state of the thin plate 1, the versatility can be improved without changing the surface state of the thin plate 1.

【0030】また、従来の装置に比べ、作業場所の制約
を受けることがなく、作業者の安全性を確保できる。
Further, compared to the conventional apparatus, the safety of the worker can be secured without being restricted by the work place.

【0031】さらに、簡単な構造であるので、製造コス
トを低下させることができる。
Furthermore, since the structure is simple, the manufacturing cost can be reduced.

【0032】本発明は、上記実施の形態に限定されるこ
とはなく、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範
囲内において、種々の変更が可能である。例えば、薄板
1は矩形でなくても円形であっても実施することが可能
である。また、薄板1はセラミック成形品に限定するも
のではなく、他の薄板にも適用することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made within the technical scope described in the claims. For example, the present invention can be implemented even if the thin plate 1 is not rectangular but circular. Further, the thin plate 1 is not limited to a ceramic molded product, but can be applied to other thin plates.

【0033】本発明に用いられるエアーは、薄板1に悪
影響を及ぼさなければ、どのような気体であってもよ
い。
The air used in the present invention may be any gas as long as it does not adversely affect the thin plate 1.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明に係る薄板の割れ検出装置によれ
ば、圧力測定手段によってエアー吸気手段と吸気孔との
間の圧力を測定するだけで薄板の割れを検出できるの
で、薄板の表面状態を変化させることはなく、汎用性を
向上させることができる。
According to the apparatus for detecting cracks in a thin plate according to the present invention, the cracks in the thin plate can be detected only by measuring the pressure between the air suction means and the suction hole by the pressure measuring means. Is not changed, and the versatility can be improved.

【0035】また、従来の装置に比べ、作業場所の制約
を受けることがなく、作業者の安全性を確保できる。
Further, compared to the conventional apparatus, the work place is not restricted and the safety of the worker can be ensured.

【0036】さらに、簡単な構造であるので、製造コス
トを低下させることができる。
Further, since the structure is simple, the manufacturing cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る薄板の割れ検出装置の平面図であ
る。
FIG. 1 is a plan view of a thin plate crack detection device according to the present invention.

【図2】本発明に係る薄板の割れ検出装置の一部断面斜
視図である。
FIG. 2 is a partial cross-sectional perspective view of the thin plate crack detection device according to the present invention.

【図3】真空発生装置の内部構造を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing the internal structure of the vacuum generator.

【図4】本発明に係る薄板の割れ検出装置を使用したと
きの薄板の状態を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing the state of a thin plate when the thin plate crack detection device according to the present invention is used.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:薄板 2:テーブル 10:吸気孔 12:真空発生装置(エアー吸気手段) 13:圧力計(圧力測定手段) 20:吸気孔 23:エアー発生装置(エアー送出手段) 24:圧力調整器(エアー圧力調整手段) 25:流量調整器(エアー流量調整手段) 1: thin plate 2: table 10: suction hole 12: vacuum generator (air suction means) 13: pressure gauge (pressure measurement means) 20: suction hole 23: air generation device (air sending means) 24: pressure regulator (air) Pressure adjusting means) 25: Flow regulator (air flow adjusting means)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】送気孔と吸気孔とを備え、表面に薄板を載
せるテーブルと、 そのテーブルの送気孔から前記薄板の裏面に向かってエ
アーを送出するエアー送出手段と、 前記テーブルの吸気孔内のエアーを吸気するエアー吸気
手段と、 そのエアー吸気手段と吸気孔との間の圧力を測定する圧
力測定手段と、 を有することを特徴とする薄板の割れ検出装置。
1. A table having an air supply hole and an air intake hole, on which a thin plate is placed on the surface, air sending means for sending air from the air supply hole of the table toward the back surface of the thin plate, And a pressure measuring means for measuring a pressure between the air suction means and the air intake hole.
【請求項2】前記エアー送出手段と送気孔との間には、
エアー圧力調整手段とエアー流量調整手段とを有するこ
とを特徴とする請求項1に記載の薄板の割れ検出装置。
2. The apparatus according to claim 2, wherein said air delivery means and said air supply hole are provided between:
2. The thin plate crack detecting device according to claim 1, further comprising an air pressure adjusting unit and an air flow adjusting unit.
【請求項3】前記テーブルの送気孔は、前記薄板のスク
ライブ方向に沿って薄板の両端部に対応する位置に形成
され、かつ、先端に向かって外側方向に傾斜して形成さ
れることを特徴とする請求項1又は2に記載の薄板の割
れ検出装置。
3. An air supply hole of the table is formed at a position corresponding to both ends of the thin plate along a scribe direction of the thin plate, and is formed so as to be inclined outwardly toward a front end. The thin plate crack detecting device according to claim 1 or 2, wherein:
【請求項4】前記エアー吸気手段は、中央部分が細くな
るように形成された第1流路と、その第1流路の中央部
分に連通する第2流路とを備え、第1流路に前記エアー
送出手段からのエアーを送入することにより、前記吸気
孔内のエアーを第2流路へ吸気することを特徴とする請
求項1乃至3のいずれか1つの項に記載の薄板の割れ検
出装置。
4. The air intake means includes a first flow path formed so that a central portion is narrowed, and a second flow path communicating with the central portion of the first flow path. 4. The thin plate according to any one of claims 1 to 3, wherein air from the air sending means is sucked into the second flow path by feeding air from the air sending means to the thin plate. Crack detection device.
【請求項5】前記エアー吸気手段は、真空ポンプである
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つの項に
記載の薄板の割れ検出装置。
5. The apparatus for detecting cracks in a thin plate according to claim 1, wherein said air suction means is a vacuum pump.
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