JP2804366B2 - Optical information recording medium - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、新規な光学情報記録媒体、さらに詳しくは
光や熱などを用いて光学的に情報を高速かつ高密度に記
録、再生、消去しうる繰り返し特性の優れた光学情報記
録媒体に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a novel optical information recording medium, and more specifically, to optically record, reproduce, and erase information at high speed and high density using light, heat, and the like. The present invention relates to an optical information recording medium having excellent repetition characteristics.
従来の技術 光学記録層が結晶質と非晶質との間で可逆的に相変化
することを利用して情報の記録・消去を行う、いわゆる
相変化型光学情報記録媒体は、レザー光のパワーを変化
させるのみで古い情報を消去しながら、同時に新たな情
報を記録しうる(以下、オーバーライトと称する)とい
う利点を有している。2. Description of the Related Art A so-called phase-change optical information recording medium for recording and erasing information by utilizing a reversible phase change of an optical recording layer between crystalline and amorphous is called a laser light power. Has the advantage that new information can be recorded at the same time while erasing old information only by changing (overwrite).
このようなオーバーライト可能な相変化型光学情報記
録媒体における記録材料としては、低融点でかつレーザ
ー光の吸収効率の高いIn-Se系合金〔「アプライド・フ
ィジックス・レターズ(Appl.Phys.Lett.)」第50巻、
第667ページ(1987年)〕や、In-Sb-Te系合金〔「アプ
ライド・フィジックス・レターズ(Appl.Phys.Let
t.)」第50巻、第16ページ(1987年)〕、Ge-Te-Sb系合
金(特開昭62-53886号公報)などのカルコゲン合金が主
に用いられている。As a recording material in such an overwritable phase-change optical information recording medium, an In-Se alloy having a low melting point and a high laser beam absorption efficiency [“Appl. Phys. Lett. Volume 50,
667 (1987)] and In-Sb-Te-based alloys [Appl. Phys.
t.) ", Vol. 50, p. 16 (1987)], and chalcogen alloys such as Ge-Te-Sb-based alloys (JP-A-62-53886) are mainly used.
そして、これらのカルコゲン合金を用いて実際に記録
・消去を行う場合には、記録・消去時の熱による基板の
変形を防止したり、光学記録層の酸化や変形を防止する
ために、通常該光学記録層の両側若しくは一方に、金属
あるいは半金属の酸化物、炭化物、フッ化物、硫化物、
窒化物及びこれらの混合物等などから成る保護層を設け
て使用されている。When actually performing recording / erasing using these chalcogen alloys, the recording / erasing is usually performed to prevent deformation of the substrate due to heat during recording / erasing or to prevent oxidation or deformation of the optical recording layer. Metal or metalloid oxides, carbides, fluorides, sulfides, on both sides or one side of the optical recording layer
It is used by providing a protective layer made of a nitride, a mixture thereof, or the like.
前記光学記録層と保護層とから成る光学情報記録媒体
は、記録・消去及び繰り返し特性を考慮して、通常光学
記録層の両側に保護層を設けた3層構造のもの、又はレ
ーザー入射とは逆側の保護層の上に、さらに主として金
属から成る反射層を設けた4層構造のものが用いられて
きた。The optical information recording medium comprising the optical recording layer and the protective layer is generally of a three-layer structure in which protective layers are provided on both sides of the optical recording layer in consideration of recording / erasing and repetition characteristics, A four-layer structure in which a reflective layer mainly made of metal is further provided on the opposite protective layer has been used.
しかしながら、前記の3層構造や4層構造から成る光
学情報記録媒体においては、オーバーライトによる記録
・消去を繰り返すと、記録・消去のパターンに対応した
熱履歴から生じる非対称的な熱膨張や表面エネルギー差
により、トラック方向に沿って光学記録層の物質が移動
する現象を生じ、その結果光学記録層物質が局部的に周
囲に分散し、記録・消去が不可能になるという欠点があ
った。However, in the optical information recording medium having the above-described three-layer structure or four-layer structure, when recording / erasing by overwriting is repeated, asymmetric thermal expansion and surface energy generated from the thermal history corresponding to the recording / erasing pattern are obtained. The difference causes a phenomenon in which the substance of the optical recording layer moves along the track direction, and as a result, the substance of the optical recording layer is locally dispersed around, so that recording / erasing becomes impossible.
発明が解決しようとする課題 本発明は、このような従来の相変化型光学情報記録媒
体が有する欠点を克服し、光や熱などを用いて光学的に
情報を高速かつ高密度に、かつなんらの障害なしに記
録、再生、消去しうる繰り返し特性の優れた相変化型光
学情報記録媒体を提供することを目的としてなされたも
のである。Problems to be Solved by the Invention The present invention overcomes the drawbacks of the conventional phase-change type optical information recording medium, and optically uses high-speed and high-density information by using light, heat, and the like. It is an object of the present invention to provide a phase change type optical information recording medium having excellent repetition characteristics capable of recording, reproducing, and erasing without any troubles.
課題を解決するための手段 本発明者らは、このような優れた特性を有する光学情
報記録媒体を開発すべく鋭意研究を重ねた結果、オーバ
ーライトの繰り返しにおいて、記録・消去時に物質移動
が起こらないようにするには、光学記録層における熱履
歴の非対称性をなくすことが必要であるが、この熱履歴
の非対称性は、記録・消去パターン、記録・消去パワー
及び情報記録媒体の層構成などにより容易に変化するの
で、従来の層構成では、繰り返し特性が記録・消去パタ
ーン、記録・消去、パワーの選択によって大きな影響を
受けること、一方該繰り返し特性を制限するには光学記
録層の相変化特性ではなく、光学記録層の物質移動が関
係するので、該光学記録層を極薄膜にし、かつその構造
を不連続な島状構造とすれば、光学記録層の物質移動を
防止することができること、該光学記録層の両側若しく
は一方に保護層を設けることにより、さらに良好な結果
が得られることを見い出し、この知見に基づいて本発明
を完成するに至った。Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to develop an optical information recording medium having such excellent characteristics, and as a result, during overwriting, mass transfer occurred during recording / erasing. In order to avoid this, it is necessary to eliminate the asymmetry of the thermal history in the optical recording layer. This asymmetry of the thermal history can be controlled by the recording / erasing pattern, the recording / erasing power, and the layer configuration of the information recording medium. In the conventional layer configuration, the repetition characteristics are greatly affected by the selection of the recording / erasing pattern, recording / erasing, and power. On the other hand, in order to limit the repetition characteristics, the phase change of the optical recording layer is required. Since not the properties but the mass transfer of the optical recording layer are involved, if the optical recording layer is made extremely thin and its structure is made into a discontinuous island-like structure, the material of the optical recording layer can be obtained. It has been found that migration can be prevented, and that a better result can be obtained by providing a protective layer on both sides or one of the optical recording layer. Based on this finding, the present invention has been completed.
すなわち、本発明は、透明基板上に光学記録層を設
け、該記録層にエネルギービームを照射することによ
り、その光学定数を可逆的に変化させ、情報を記録及び
消去する光学情報記録媒体において、前記光学記録層が
膜厚20nm以下で、かつ不連続な島状構造であって、場合
により該光学記録層の両側若しくは一方に保護層を設け
た構造であることを特徴とする光学情報記録媒体を提供
するものである。That is, the present invention provides an optical information recording medium for providing an optical recording layer on a transparent substrate, irradiating the recording layer with an energy beam, reversibly changing its optical constant, and recording and erasing information. The optical information recording medium, wherein the optical recording layer has a film thickness of 20 nm or less, and has a discontinuous island structure, and a protective layer is provided on both sides or one side of the optical recording layer in some cases. Is provided.
以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.
従来の光学情報記録媒体においては、その光学特性を
満足させるためには、光学記録層の膜厚が10nm以上であ
ることが必要条件であり、したがって該光学記録層は基
板上に連続な膜として形成されている。そのため、該光
学記録層は記録・消去で溶融した際、容易に基板面に平
行な方向に動くことになる。第1図はこのような従来の
光学情報記録媒体の1例の構成を示す断面図であって、
透明基板1上に、順次下層保護層2、連続膜から成る光
学記録層3、上層保護層4、反射層5及び紫外線硬化樹
脂層6が設けられた構成を示す。In the conventional optical information recording medium, in order to satisfy the optical characteristics, it is necessary that the thickness of the optical recording layer is 10 nm or more, therefore, the optical recording layer is a continuous film on the substrate. Is formed. Therefore, when the optical recording layer is melted by recording / erasing, it easily moves in a direction parallel to the substrate surface. FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of an example of such a conventional optical information recording medium.
A configuration in which a lower protective layer 2, an optical recording layer 3 formed of a continuous film, an upper protective layer 4, a reflective layer 5, and an ultraviolet curable resin layer 6 are sequentially provided on a transparent substrate 1 is shown.
これに対し、本発明の光学情報記録媒体は、光学記録
層を膜厚20nm以下とし、かつ不連続な島状構造とするこ
とにより、該光学記録層が物理的に分離された構造を有
している。このように光学記録層を物理的に分離するこ
とにより、該光学記録層は、その移動距離が大幅に制限
され、光学記録層の物質移動による繰り返し特性の劣化
が防止される。In contrast, the optical information recording medium of the present invention has a structure in which the optical recording layer has a thickness of 20 nm or less, and has a discontinuous island structure, whereby the optical recording layer is physically separated. ing. By physically separating the optical recording layer in this manner, the moving distance of the optical recording layer is greatly limited, and deterioration of the repetitive characteristics due to mass transfer of the optical recording layer is prevented.
第2図は、本発明の光学情報記録媒体の構成の1例を
示す断面図であって、透明基板1上に、島状構造の光学
記録層3′及び保護層4が順次設けられた構成を示す。FIG. 2 is a sectional view showing an example of the configuration of the optical information recording medium of the present invention, in which an optical recording layer 3 'having an island-like structure and a protective layer 4 are sequentially provided on a transparent substrate 1. Is shown.
前記島状構造の光学記録層は、極薄膜に成膜すること
により、基板と金属の界面エネルギー差から形成される
ことができる〔「ジャーナル・オブ・アプライド・フィ
ジックス(J.Appl.Phys.)」第37巻、第3405ページ(19
66年)〕。本発明においては、該光学記録層の膜厚は20
nm以下、好ましくは10nm以下であることが必要で、この
膜厚が20nmを超えると島状構造の光学記録層が形成され
にくくなる。The optical recording layer having the island structure can be formed from an interface energy difference between a substrate and a metal by forming the film into an extremely thin film [“Journal of Applied Physics (J. Appl. Phys.). 37, p. 3405 (19
66)). In the present invention, the thickness of the optical recording layer is 20
It is necessary to be not more than 10 nm, preferably not more than 10 nm. When this film thickness is more than 20 nm, it is difficult to form an optical recording layer having an island structure.
本発明の光学情報記録媒体の層構成については、目的
とする用途などにより異なり、特に制限はなく、例えば
第3図の断面図に示すように、透明基板1上に、島状構
造の光学記録層3′のみが設けられた構造のものであっ
てもよいが、実際光学情報記録媒体として使用する場
合、光学特性、特に光変調度(コントラスト)を大きく
する必要があるため、第4図の断面図に示すように、透
明基板1上に保護層2、島状構造の光学記録層3′及び
保護層4が順次設けられた構造のものが好ましく、さら
に第5図の断面図で示すように、透明基板1上に保護層
2を設け、その上に島状構造の光学記録層3′と保護層
4′とを順次繰り返し積層し、さらにその上に膜厚の保
護層4を設けた構造のものが好適である。The layer configuration of the optical information recording medium of the present invention differs depending on the intended use and the like, and is not particularly limited. For example, as shown in the cross-sectional view of FIG. A structure having only the layer 3 'may be used, but when actually used as an optical information recording medium, it is necessary to increase the optical characteristics, particularly the degree of light modulation (contrast). As shown in the cross-sectional view, a structure in which a protective layer 2, an optical recording layer 3 'having an island-shaped structure and a protective layer 4 are sequentially provided on a transparent substrate 1 is preferable, and as shown in the cross-sectional view of FIG. In addition, a protective layer 2 is provided on a transparent substrate 1, an optical recording layer 3 'having an island-like structure and a protective layer 4' are sequentially and repeatedly laminated thereon, and a protective layer 4 having a film thickness is further provided thereon. Structures are preferred.
このような積層構造の光学情報記録媒体においては、
該光学記録層及び保護層の膜厚は、干渉効果や光学特性
及び熱特性を考慮して決めればよい。さらに、光学特性
を向上させる目的で最上部に金属などから成る反射層を
設けてもよい。In an optical information recording medium having such a laminated structure,
The thicknesses of the optical recording layer and the protective layer may be determined in consideration of an interference effect, optical characteristics, and thermal characteristics. Further, a reflective layer made of metal or the like may be provided on the uppermost part for the purpose of improving optical characteristics.
第6図は本発明の光学情報記録媒体の1例の構成を示
す断面図であって、透明基板1上に、膜厚の厚い保護層
2を設け、その上に島状構造の光学記録層3′及び保護
層4′を順次繰り返し積層し、さらに反射層5及び紫外
線(UV)硬化樹脂層6を順次設けた構成を示す。FIG. 6 is a sectional view showing the structure of one example of the optical information recording medium of the present invention, in which a thick protective layer 2 is provided on a transparent substrate 1, and an optical recording layer having an island structure is provided thereon. 3A shows a configuration in which a 3 ′ and a protective layer 4 ′ are sequentially and repeatedly laminated, and further a reflective layer 5 and an ultraviolet (UV) curable resin layer 6 are sequentially provided.
本発明の光学情報記録媒体における光学記録層の材料
としては、例えばSb-Te-Ge、In-Sb-Te、In-Se-Tl、Ge-T
e-Sn-Au、Sb-Te-Ge-PdなどのTe又はSeをベースとする合
金が好ましく用いられる。また、保護層の材料として
は、例えばSiO2、SiO、Ta2O5、ZrO2などの酸化物、Si3N
4、AlNなどの窒化物、ZnSなどの硫化物、MgF2などのフ
ッ化物及びこれらの混合物、さらにはポリ塩化ビニル、
ポリイミド、ポリエチレンなどの有機化合物などが用い
られ、反射層の材料としては、例えばAl、Cr、Ni、Au、
Tiなどの金属やこれらの合金などが用いられる。As the material of the optical recording layer in the optical information recording medium of the present invention, for example, Sb-Te-Ge, In-Sb-Te, In-Se-Tl, Ge-T
Alloys based on Te or Se, such as e-Sn-Au and Sb-Te-Ge-Pd, are preferably used. Examples of the material for the protective layer include oxides such as SiO 2 , SiO, Ta 2 O 5 and ZrO 2 , and Si 3 N
4, nitrides such as AlN, sulfides such as ZnS, fluorides and mixtures thereof, such as MgF 2, further polyvinyl chloride,
Polyimide, organic compounds such as polyethylene and the like are used, as a material of the reflective layer, for example, Al, Cr, Ni, Au,
Metals such as Ti and alloys thereof are used.
該光学記録層の形成方法については特に制限はなく、
従来薄膜の形成に慣用されている方法、例えばスパッタ
リング法、真空蒸着法、CVD法、スピンコート法などを
用いることができる。There is no particular limitation on the method for forming the optical recording layer,
Conventionally used methods for forming a thin film, for example, a sputtering method, a vacuum evaporation method, a CVD method, and a spin coating method can be used.
さらに、反射層の上に膜の保護と強化のために、所望
に応じ、有機材料から成る層を設けてもよい。この材料
としては、例えばウレタン系、アクリル系、シリコーン
系、ポリエステル系などのUV硬化樹脂や、ホットメルト
系の接着剤などが用いられる。Further, a layer made of an organic material may be provided on the reflective layer, if necessary, for protection and reinforcement of the film. As this material, for example, a UV curable resin such as a urethane-based, acrylic-based, silicone-based, or polyester-based resin, or a hot-melt-based adhesive is used.
本発明の光学情報記録媒体における透明基板について
は、特に制限はなく、従来光学情報記録媒体の基板とし
て慣用されているものを用いることができるが、光学特
性が良好で機械的強度が高く、かつ寸法安定性に優れる
などの点からポリカーボネート基板やガラス基板などが
好適である。また、これらの透明基板にはアドレス情報
などの凹凸が形成されていてもよい。The transparent substrate in the optical information recording medium of the present invention is not particularly limited, and those conventionally used as substrates for optical information recording media can be used, but the optical characteristics are good, the mechanical strength is high, and A polycarbonate substrate, a glass substrate, or the like is preferable from the viewpoint of excellent dimensional stability. Further, irregularities such as address information may be formed on these transparent substrates.
発明の効果 本発明の光学情報記録媒体は、光学記録層として、不
連続な島状構造を有する極薄膜のものを用いることによ
り、記録・消去の繰り返しによる光学記録層の物質移動
が大幅に低減され、該物質移動による特性の劣化が抑制
されるため、繰り返し特性における記録データの信頼性
が大幅に向上している。Effect of the Invention The optical information recording medium of the present invention uses an ultra-thin film having a discontinuous island structure as the optical recording layer, so that mass transfer of the optical recording layer due to repetition of recording / erasing is greatly reduced. Since the deterioration of the characteristics due to the mass transfer is suppressed, the reliability of the recorded data in the repetition characteristics is greatly improved.
実施例 次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明する
が、本発明はこれらの例によってなんら限定されるもの
ではない。EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
なお、実施例において、スパッタ装置として、第7図
の模式図で示すように、ベルジャー7内に基板1を保持
するための基板ホルダー8及びターゲット9を置くため
の支持台10を備え、かつ系内を真空にするために真空ポ
ンプに接続した構造を有するものを用いた。In the embodiment, as shown in the schematic diagram of FIG. 7, the sputtering apparatus includes a substrate holder 8 for holding the substrate 1 in the bell jar 7 and a support table 10 for placing the target 9 in the system. The one having a structure connected to a vacuum pump to evacuate the inside was used.
実施例1 厚さ1.2mmのポリカーボネートディスク基板上に、光
学記録層、保護層、反射層及びUV硬化樹脂層を有する第
8図に示す光学情報記録媒体を、以下に示す手順により
作成した。Example 1 An optical information recording medium shown in FIG. 8 having an optical recording layer, a protective layer, a reflective layer, and a UV curable resin layer on a 1.2 mm thick polycarbonate disk substrate was prepared by the following procedure.
まず、ZnSから成るターゲットを用い、RFスパッタリ
ング法により、ポリカーボネート基板1上に厚さ100nm
の保護層2を形成したのち、この保護層2の上に島状構
造の光学記録層3′としてSb-Te-Ge系合金膜を、保護層
4′としてZnS膜を、それぞれ2nm及び5nmの厚さに形成
し、これを10回繰り返し成膜し、次いでこの上に前記と
同様にしてZnSの保護層4を150nmの厚さに形成した。さ
らに、この上にAl合金の反射層5を100nmの厚さに形成
し、次いでこの上にUV硬化樹脂をスピンコート法によ
り、5μmの厚さに塗布し、UV硬化させ、UV硬化樹脂層
6を設け、光学情報記録媒体を作成した(層構成A)。First, using a target made of ZnS, a thickness of 100 nm was formed on the polycarbonate substrate 1 by RF sputtering.
Is formed on the protective layer 2, a Sb-Te-Ge alloy film is formed as an optical recording layer 3 'having an island structure, a ZnS film is formed as a protective layer 4', and a 2 nm and 5 nm This was repeated 10 times to form a film, and then a ZnS protective layer 4 was formed thereon to a thickness of 150 nm in the same manner as described above. Further, a reflective layer 5 of an Al alloy is formed thereon to a thickness of 100 nm, and then a UV curable resin is applied thereon by a spin coating method to a thickness of 5 μm and UV cured to form a UV curable resin layer 6. Was provided to produce an optical information recording medium (layer structure A).
また、比較のために、従来用いられている光学記録層
が連続構造の光学情報記録媒体として、前記と同じ成膜
装置及び方法を用い、第9図に示す光学情報記録媒体を
作成した。すなわち、ポリカーボネート基板1側から順
次厚さ150nmのZnS保護層2、厚さ20nmのSb-Te-Ge連続膜
から成る光学記録層3、厚さ20nmのZnS保護層4、厚さ1
00nmのAl合金反射層5及び厚さ5μmのUV硬化樹脂層6
を積層させ、光学情報記録媒体を作成した(層構成
B)。For comparison, an optical information recording medium shown in FIG. 9 was prepared as a conventionally used optical information recording medium having a continuous structure using the same film forming apparatus and method as described above. That is, from the polycarbonate substrate 1 side, a ZnS protective layer 2 having a thickness of 150 nm, an optical recording layer 3 made of a continuous Sb-Te-Ge film having a thickness of 20 nm, a ZnS protective layer 4 having a thickness of 20 nm, and a thickness 1
00 nm Al alloy reflective layer 5 and 5 μm thick UV curable resin layer 6
Were laminated to form an optical information recording medium (layer structure B).
このようにして作成した光学情報記録媒体それぞれに
ついて、静止した状態で波長830nmのレーザー光を照射
することにより、繰り返し特性を評価した。評価は、レ
ーザー光の発光時間を20nsecから60μsecまで、レーザ
ー光のパワーを1mWから20mWまでの範囲内で任意に変え
ることにより行った。この結果を第10図に示す。Each of the optical information recording media thus produced was irradiated with a laser beam having a wavelength of 830 nm in a stationary state to evaluate the repetition characteristics. The evaluation was performed by arbitrarily changing the emission time of the laser light within a range from 20 nsec to 60 μsec and the power of the laser light within a range from 1 mW to 20 mW. The result is shown in FIG.
第10図は繰り返し回数と反射レベルとの関係を示すグ
ラフであって、図中のそれぞれの曲線において、上側の
曲線は結晶状態、すなわち消去状態の反射率に対応し、
下側の曲線は非晶質状態、すなわち記録状態の反射率に
対応する。したがって、それぞれの反射率の差が再生信
号の信号対雑音比(C/N比)に比例する。FIG. 10 is a graph showing the relationship between the number of repetitions and the reflection level, and in each curve in the figure, the upper curve corresponds to the crystal state, that is, the reflectance in the erased state,
The lower curve corresponds to the reflectance in the amorphous state, ie, the recorded state. Therefore, the difference between the respective reflectances is proportional to the signal-to-noise ratio (C / N ratio) of the reproduced signal.
第10図から分かるように、従来の層構成(層構成B)
から成る光学情報記録媒体は、106回以上の繰り返しか
ら、物質移動による膜厚の変化により記録状態の反射率
の低下が始まるのに対し、本発明の光学記録層が島状構
造をもつ光学情報記録媒体では、記録状態の反射率及び
消去状態の反射率共に、107回以上の繰り返しによって
も変化がなく、繰り返し可能回数が10倍以上伸びてい
る。As can be seen from FIG. 10, the conventional layer configuration (layer configuration B)
The optical information recording medium comprising an optical having from 10 6 or more times, while the decrease in the reflectance of the recording state by a change in thickness due to mass transfer begins, the optical recording layer is an island-like structure of the present invention information recording medium, both the reflectivity of reflectivity and erased state of the recording condition, no change even by 107 or more times, extends repeatable number 10 times or more.
実施例2 直径130mm、厚さ1.2mmで1.6μmのピッチの溝をあら
かじめ設けてあるポリカーボネートディスク基板上に、
実施例1と同様にA及びBの2種の層構造をもつ光学情
報記録媒体を作成し、これらを回転させながら、動的に
測定を行い、繰り返し特性を評価した。線速は約7.5m/s
とし、記録周波数3.7MHz、記録パルス巾90nsecのオーバ
ーライトを繰り返した。また、記録パワー及び消去パワ
ーはそれぞれ19mW及び7mWを用いた。Example 2 A polycarbonate disk substrate having a diameter of 130 mm, a thickness of 1.2 mm and a pitch of 1.6 μm was previously provided on a polycarbonate disk substrate.
Optical information recording media having two types of layer structures, A and B, were prepared in the same manner as in Example 1, and dynamic measurements were performed while rotating them to evaluate repetition characteristics. Linear velocity is about 7.5m / s
Overwriting with a recording frequency of 3.7 MHz and a recording pulse width of 90 nsec was repeated. The recording power and erasing power were 19 mW and 7 mW, respectively.
第11図及び第12図に、それぞれ従来構造の光学情報記
録媒体(層構成B)及び本発明の光学情報記録媒体(層
構成A)における繰り返し回数とC/Nとの関係をグラフ
で示す。FIGS. 11 and 12 are graphs showing the relationship between the number of repetitions and C / N in the optical information recording medium having the conventional structure (layer structure B) and the optical information recording medium of the present invention (layer structure A), respectively.
これらの図から、従来構造の光学情報記録媒体では、
繰り返し回数105回から光学記録層の物質移動による膜
厚の変化に対応して、再生信号振幅の低下及びノイズの
増大によってC/N比(信号対雑音比)の低下が始まるの
に対し、本発明の光学情報記録媒体では、繰り返し回数
106回までC/N比の変化がなく、従来構造のものに比べて
約10倍以上の繰り返し特性が向上しているのが分かる。From these figures, in the optical information recording medium of the conventional structure,
Number of repetitions 10 5 times in response to a change in thickness due to the mass transfer of the optical recording layer from, while the decrease in the C / N ratio by reduction and noise increase in the reproduction signal amplitude (signal to noise ratio) begins, In the optical information recording medium of the present invention, the number of repetitions
10 6 no change in C / N ratio to times, can be seen the repetition characteristics of about 10 times or more than that of the conventional structure is improved.
第1図は、従来の光学情報記録媒体の1例の層構成を示
す断面図、第2図ないし第6図は本発明の光学情報記録
媒体の異なった例の層構成を示す断面図、第7図は本発
明における実施例で用いたスパッタ装置の模式図、第8
図及び第9図は、それぞれ本発明における実施例で用い
た本発明の光学情報記録媒体及び従来の光学情報記録媒
体の層構成を示す断面図、第10図は本発明における実施
例で用いた本発明の光学情報記録媒体及び従来の光学情
報記録媒体の静的繰り返し特性を示すグラフ、第11図及
び第12図は、それぞれ本発明における実施例で用いた従
来の光学情報記録媒体及び本発明の光学情報記録媒体の
動的繰り返し特性を示すグラフである。 図中符号1は透明基板、2、4及び4′は保護層、3は
連続膜から成る光学記録層、3′は島状構造を有する光
学記録層、5は反射層、6はUV硬化樹脂層、7はベルジ
ャー、8は基板ホルダー、9はターゲット、10は支持台
である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a layer configuration of one example of a conventional optical information recording medium. FIGS. 2 to 6 are cross-sectional views showing layer configurations of different examples of the optical information recording medium of the present invention. FIG. 7 is a schematic view of a sputtering apparatus used in the embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 9 and FIG. 9 are cross-sectional views showing the layer configurations of the optical information recording medium of the present invention and the conventional optical information recording medium used in the examples of the present invention, respectively, and FIG. 10 is used in the examples of the present invention. FIGS. 11 and 12 are graphs showing the static repetition characteristics of the optical information recording medium of the present invention and the conventional optical information recording medium, respectively. 5 is a graph showing dynamic repetition characteristics of the optical information recording medium of FIG. In the figure, reference numeral 1 denotes a transparent substrate, 2, 4 and 4 'are protective layers, 3 is an optical recording layer composed of a continuous film, 3' is an optical recording layer having an island structure, 5 is a reflective layer, and 6 is a UV curable resin. The layer, 7 is a bell jar, 8 is a substrate holder, 9 is a target, and 10 is a support.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−152035(JP,A) 特開 平2−189741(JP,A) 特開 平3−259437(JP,A) 実開 昭58−62451(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 7/24 522──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-152035 (JP, A) JP-A-2-18971 (JP, A) JP-A-3-259437 (JP, A) 62451 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 7/24 522
Claims (3)
にエネルギービームを照射することにより、その光学定
数を可逆的に変化させ、情報を記録及び消去する光学情
報記録媒体において、前記光学記録層が膜厚20nm以下
で、かつ不連続な島状構造であることを特徴とする光学
情報記録媒体。An optical information recording medium for recording and erasing information by providing an optical recording layer on a transparent substrate and irradiating the recording layer with an energy beam to reversibly change its optical constant to record and erase information. An optical information recording medium, wherein the optical recording layer has a thickness of 20 nm or less and has a discontinuous island structure.
設けて成る請求項1記載の光学情報記録媒体。2. The optical information recording medium according to claim 1, wherein a protective layer is provided on both sides or one side of the optical recording layer.
状構造を有する光学記録層と保護層とが順次繰り返し積
層された構造を有する請求項2記載の光学情報記録媒
体。3. The optical information recording medium according to claim 2, wherein the optical information recording medium has a structure in which an optical recording layer having an island structure and a protective layer are sequentially and repeatedly laminated on a transparent substrate directly or via a protective layer.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2321308A JP2804366B2 (en) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | Optical information recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2321308A JP2804366B2 (en) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | Optical information recording medium |
Publications (2)
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| JPH04192133A JPH04192133A (en) | 1992-07-10 |
| JP2804366B2 true JP2804366B2 (en) | 1998-09-24 |
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Family Applications (1)
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| JP2321308A Expired - Fee Related JP2804366B2 (en) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | Optical information recording medium |
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-
1990
- 1990-11-27 JP JP2321308A patent/JP2804366B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH04192133A (en) | 1992-07-10 |
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