JP2805231B2

JP2805231B2 - 圧力センサ

Info

Publication number: JP2805231B2
Application number: JP1506793A
Authority: JP
Inventors: ジーンエフ．アラビア; シユケデイ，ズヴイ; エル．ブランド，ランデイー
Original assignee: アライド・シグナル・インコーポレーテツド
Priority date: 1988-04-19
Filing date: 1989-03-23
Publication date: 1998-09-30
Anticipated expiration: 2013-09-30
Also published as: JPH03503934A; WO1989010545A2; EP0411058A1; EP0411058B1; WO1989010545A3; US4876892A

Description

【発明の詳細な説明】（技術分野）本発明は電子回路を含む圧力センサ及び単一または複
数の可変静電容量／圧力変換器の使用方法に関する。こ
の可変静電容量／圧力変換器はその静電容量が受ける流
体圧力の変化に応答して変化するものである。本発明は
特に、同調した発振回路及び可変静電容量／圧力変換器
を含み、最小の周波数変動で極めて精度の高い出力を供
給する方法に関する。

（背景技術）これまで測定した複数の異なる圧力情報を用いて航空
機の高度、マツハ数、空気速度、迎え角、片揺れ角等の
情報を得る航空分野にあつては、極めて精度の高い圧力
表示を特に必要としている。軍事用及び民間用に共用す
る場合、この情報は正確に測定された複数の圧力情報か
ら得る必要がある。

この圧力の各々を測定する従来のセンサシステムには
通常３個の装置、即ち航空機外部の圧力を検出するパイ
ロツト管と、検出した圧力を電気信号に変換するピトー
管と、変換器と連通する圧力をアナログ又はデジタル電
気表示する回路とが包有されている。

米国特許出願第3962921号に開示される可変静電容量
変換器は圧力変化を静電容量に変化するために使用され
得る。この容量変換器を含む回路の発生する出力信号の
周波数は変換器の静電容量に対応し、出力信号自体は変
換器の受ける流体圧力に対応する。

静電容量を測定する１方法として、共振回路（LC回
路）のインダクタ及びコンデンサを用いる方法が挙げら
れる。この回路は２個の互いに協働する素子間において
電気エネルギを伝達し貯蔵する機能を持たせるため必然
的に同調回路として構成される。しかしながらインダク
タを用いるので、センサの重量が増え、航空分野での使
用に制限を受けることになり、望ましくない。

静電容量を測定する他の方法としては、単一の抵抗−
コンデンサ（Ｒ−Ｃ）発振器を用い可変コンデンサ間に
三角電圧波形を発生させる構成が挙げられる。三角波形
の周波数は可変コンデンサの静電容量値の関数である。
コンデンサ電圧のレベルを検出し一旦コンデンサ電圧が
所定レベルに達すると三角波形の位相を反転するため比
較器が用いられる。しかしながらこの三角波形発振回路
は同調されないので、同調回路に比べ周波数安定性が極
めて悪い。即ち、この回路は航空分野に使用した場合周
波数変動レベルが所望レベルより高くなる。

航空分野では圧力変換器を含む総ての航空部品の大き
さ及び重量が低減され、更に精度及び分解能が向上され
ることが望まれる。しかしながら計器の感度が上がると
ランダムな干渉または変動を受け易くなり望ましくな
い。センサの電子回路は軽量で且つインダクタが不要
で、最小の干渉をもつて圧力変換器から得、可変静電容
量から信頼性の高い電子信号に変換可能に構成されるこ
とが航空分野において極めて望まれる。

（発明の開示）本発明によれば、同時に２個の可変静電容量を測定で
き、これらの静電容量を示す極めて信頼性の高い出力信
号を与える３個の演算増幅器を用いた圧力センサが提供
される。理論上では、演算増幅器回路により並列に接続
された誘導−容量（LC）回路が等価に形成される。一方
本発明により同調（LC）回路が等価に形成された場合、
静電容量の変化を表す線形関数として出力周波数がシフ
トされること、並びにインダクタが上記回路に不要にな
ることの２つの利点が得られる。本発明による回路は従
来の（LC）回路の一部のように同調した（LC）回路の特
性、即ちインダクタンスあるいはキヤパシタンスの特定
値に対する共振周波数が極めて正確である上、従来の回
路ではコスト高で効率が悪くインダクタの大きさあるい
は重量が大になる等の傾向があるに対し、本発明の回路
は同調回路に精度の高いLC回路を利用し得、且つ単一の
RC回路の大きさあるいは重量について大きな利点を有す
る。

本発明の回路に含まれ、圧力に応答する２個の可変キ
ヤパシタンスが常に等しくなる（これは２個の容量性圧
力変換器を用いる場合である）と、ここで得られる出力
信号の期間が２個の同一の可変キヤパシタンス値の線形
関数となる。信号発生の期間はマイクロプロセツサへ送
られ、出力信号の周波数と関連する圧力が計算される。
従って、キヤパシタンスの値と出力信号の期間との間に
線形の関係が得られるので、計算工程数が減少され、マ
イクロプロセツサに必要なメモリ容量が少なくて済む。
またキヤパシタンスと周波数との関係が線形であるの
で、検出された圧力がより迅速に計算され得る。

更に、本発明の回路には単一の可変容量（キヤパシタ
ンス）変換器が使用され、このとき使用される他のキヤ
パシタンスの値は固定される。本実施例は線形関係にな
いときの圧力計算で計算工程数若しくはメモリ容量を増
加する必要のある場合に有用である。この場合、回路は
同調回路でありその周波数安定度は極めて良好で、統計
的には狭い領域に分布する周波数変動となる。

本発明の一実施例によれば、物理パラメータの変化に
応答して静電容量が周期的に変化する第１の可変コンデ
ンサと、第２のコンデンサと、第１のコンデンサ及び第
２のコンデンサと接続される回路装置とを備え、回路装
置には直列に接続された第１及び第２の積分演算増幅器
及び第３の転倒形演算増幅器とが包有され、第１の演算
増幅器は第１のコンデンサと並列に接続され、第２の演
算増幅器は第２のコンデンサと並列に接続され、第３の
演算増幅器が第２の演算増幅器の出力端子と第１の演算
増幅器の入力端子との間において第１及び第２の演算増
幅器と直列に接続されてなる、可変物理パラメータの変
化に応答して変化する電気信号が発生せしめられる圧力
センサが提供される。

この実施例の場合、抵抗値R₁の抵抗器が第３の転倒形
演算増幅器の出力端子と第１の演算増幅器の入力端子と
の間に直列に接続され、抵抗値R₂の抵抗器が第１及び第
２の演算増幅器の間に直列に接続され、回路装置の発振
周期Ｔが次の関係式を満足するように構成される。

ここでC₁及びC₂は第１及び第２のコンデンサの静電容
量値である。

本発明の別の実施例によれば、第２のコンデンサも可
変にされ、物理パラメータの変化に応答して静電容量値
が変化し、第１及び第２のコンデンサは常に実質的に同
一の静電容量値Ｃを有し、周期Ｔが次の関係式を満足す
る。

本実施例の場合、抵抗値R₃の抵抗器が第２の演算増幅
器の出力端子と転倒形演算増幅器との間に直列に接続さ
れ、抵抗値R₄の抵抗器が転倒形演算増幅器と並列に接続
され、発振周期Ｔが次の関係式を満足する。

本発明の別の利点は以下の説明及び請求の範囲、更に
添付の図面から明らかとなろう。

（図面の簡単な説明）第１図は本発明を具体化する圧力センサの簡略ブロツ
ク図、第２図は第１図の発振回路の簡略回路図、第３図
は第１図の発振回路ブロツク及び第２図の簡略回路図の
詳細図、第４図は本発明の発振回路による周波数変動の
統計的分布を従来の単一RC発振器の統計的分布と対照し
て示すグラフである。

（発明を実施するための最良の形態）第１図を参照するに、本発明による圧力センサ10の簡
略ブロツク図が示されている。圧力センサ10には石英カ
プセル12が含まれ、石英カプセル12は矢印△Ｐにより示
される外部の圧力変化を受ける。この外部圧力変化は好
適な手段により測定される。例えば測定対象の環境内へ
の圧力測定カプセルの配置、あるいは遠隔位置から流体
圧力を伝達する圧力連通管（図示せず）の使用により測
定される。本出願人はカプセル12に使用する最適の材料
は溶解石英あるいはシリコンであることを発見した。石
英カプセル12内にはコンデンサC1およびコンデンサC2が
設けられ、コンデンサC1およびコンデンサC2の静電容量
は互いに等しく、石英カプセル12に加わる外部圧力に等
しく応答して変化する。石英カプセル12のこの容量変化
はコンデンサC1およびコンデンサC2のコンデンサプレー
ト間の離間距離に応じて生じる。石英カプセル12の外部
圧力変化による物理的変形により、コンデンサC1および
コンデンサC2が変化される。またコンデンサC1およびコ
ンデンサC2は発振回路14を介して電気的に接続されてい
る。コンデンサC1およびコンデンサC2の発振回路14の電
気的関係については、以下に詳述する。

コンデンサC1およびコンデンサC2を含む発振回路14は
コンデンサC1およびコンデンサC2の値に直接対応する正
弦波の出力周波数を導線16に発生する。この出力周波数
は導線16を経て発振周期／デジタルコンバータ18へ与え
られる。圧力センサ10にはまた高基準周波数を発振する
基準周波数発振器20が含まれており、基準周波数発振器
20は一定基準周波数の信号を発生する。この一定基準周
波数は導線22を経て発振周期／デジタルコンバータ18へ
伝達される。発振周期／デジタルコンバータ18には発振
回路14からの正弦波を矩形波に変換する高速比較器が包
有されることが好ましい。発振周期／デジタルコンバー
タ18にはまたこの矩形波で駆動され基準周波数発振器20
からの信号の通過の許容・禁止を行なうゲートを駆動す
る除算器が包有されることが望ましい。例えば、除算器
はこの矩形波に対しＮで除する機能を持ち、この除算か
ら１の結果を周期的に得、ゲートを開閉してパルス列の
所定数のパルスを通過させる。従つて、コンデンサC1お
挙よびコンデンサC2の容量値を示すカウントのパルス列
が発振周期／デジタルコンバータ18からデータバス26に
与えられる。

温度の影響により石英カプセル12に生じる可能性のあ
るエラーを考慮するため、石英カプセル12近傍の温度を
検出する温度センサ28が採用される。温度センサ28は増
幅器30に接続される。増幅器30は温度センサ28で測定さ
れた温度の大きさを示すアナログ信号を発生し、この信
号を導線32を経てアナログ・デジタル・コンバータ24に
与える。アナログ・デジタル・コンバータ24はこのアナ
ログ信号を受けたとき付勢され、石英カプセル12に作用
する温度を示すデジタル信号を発生する。このデジタル
信号は通常データバス26を経てマイクロプロセツサ34へ
送られ、マイクロプロセツサ34はまた発振周期／デジタ
ルコンバータ18からのパルス列をも入力する。マイクロ
プロセツサ34はアナログ・デジタル・コンバータ24及び
発振周期／デジタルコンパータ18からのデータを用いて
温度により補正された圧力を計算する。

マイクロプロセツサ34はこの他、異なる装置で検出さ
れた圧力の計算をも行う。マイクロプロセツサ34は更
に、他の計算において複数の圧力センサ（図示せず）か
らのデジタル圧力データを用い、他の相対的に複雑なデ
ータ、例えばマツハ数、空気の速度、迎え角、片揺れ角
を計算する。換言するに、単一のマイクロプロセツサは
複数の圧力センサに接続され、各センサからのデータを
用いて各センサの２以上からの入力により結果を計算で
きる。また、アナログ・デジタル・コンバータ24及びマ
イクロプロセツサ34は単に可視表示器（図示せず）に可
視表示し得る。

マイクロプロセツサ34には更にデータバス26を経て校
正メモリ36からデータが入力される。石英カプセル12は
一連の製造工程で大量生産されるため、各石英カプセル
12の圧力対静電容量の夫々の特性が異なつており、所望
の精度を得ることができない。従つて、各石英カプセル
12は所定の範囲の圧力及び温度条件の下でテストされ、
ある与えられた温度及び圧力条件の下での実際の圧力と
指示圧力との差が校正メモリ36のプログラム可能なリー
ドオンリメモリ（PROM）に予め蓄えられる。各校正メモ
リ36は１個のみの石英カプセル12に対し特定のデータを
記憶している。この結果石英カプセル12及び校正メモリ
36は圧力センサ10内で常に対をなして使用される。マイ
クロプロセツサ34は補正圧力値を計算する際校正メモリ
36から引き出された補正値を用い、この補正圧力値は飛
行機の操縦若しくは空気データ計算に使用される。

第２図を参照するに、本発明の発振回路14の簡略図が
示される。発振回路14には３個の直列接続された演算増
幅器U1、U2、U3が包有され、演算増幅器U1及び演算増幅
器U2は積分演算増幅器であり演算増幅器U3は転倒形演算
増幅器である。発振回路14には更に、演算増幅器U1と並
列に接続された可変のコンデンサC1と演算増幅器U2と並
列に接続された可変の演算増幅器U2とが包有されてい
る。これらコンデンサC1及びコンデンサC2は実際上共に
第１図に示される石英カプセル12内に配置される。コン
デンサC1及びコンデンサC2は石英カプセル12の受ける圧
力範囲に亙つて実質的に同一の静電容量を示す。

演算増幅器U1と並列に接続される振幅制限器38はその
正弦波出力の正のピーク値を制限する。同様に演算増幅
器U2と並列に接続される振幅制限器40はその正弦波出力
の負のピーク値を制限する。一般に両方の電圧ピーク値
を制限する振幅制限器は回路の利得素子の周囲に置かれ
るが、本発明に使用される回路には演算増幅器U1及び演
算増幅器U2の各々の１に別々に置かれる。この理由につ
いては以下に詳述する。振幅制限器38、40は特に本発明
に必要な低い容量環境で作動される。

更に詳述するに、３個の演算増幅器の非反転入力端子
はアースされていることは理解されよう。演算増幅器U1
の出力は抵抗器R2を介して演算増幅器U2の反転入力端子
に接続される。演算増幅器U2の出力端子は抵抗器R3を介
して演算増幅器U3の反転入力端子に接続される。演算増
幅器U3の出力端子は抵抗器R1を介して演算増幅器U1の反
転入力端子に接続される。且つ抵抗器R4及びコンデンサ
C3が共に演算増幅器U3の反転入力端子に対し並列に接続
される。また発振回路14の電気出力信号は正弦波とな
り、第２図の右側に図示してある。この信号は周期がＴ
で下式（１）を満足する。

仮にR1＝R2＝Ｒ、C1＝C2＝ＣそしてR3＝R4ならば、Ｔ
＝２πRC（式２）が成り立つ。式（１）から第２図の回
路は等しい容量C1、C2の値に線形的に比例する出力を発
生することが判明した。圧力変化の関数として線形出力
が周期変化により表されると、回路の発振周期に基づく
検出圧力の値を計算するに必要な計算時間またはメモリ
の容量が減少される。また線形出力のため、圧力変化率
の計算がより容易且つ迅速になる。圧力データがピツチ
率若しくは片揺れ率（pitch and yaw rates）の決定の
ような航空機に関する実時間システムに必要になる場
合、このような時間の短縮は重要である。

この回路の動作を簡単に説明する１つの方法はその回
路の伝達関数を用いコンデンサと並列にシミユレートし
たインダクタを考えると容易になる。即ち第２図を参照
するに、演算増幅器U3の出力、便宜上例えば点Ｂの出力
と演算増幅器U1の点Ａとの比は下式（３）のようにな
る。

上式（３）において、ｓはラプラス変数である。R3＝
R4ならば点Ｂから抵抗器R1を経て演算増幅器U1の入力
（点Ｅ）へ流れるフィードバツク電流は下式（４）のよ
うになる。

ここで点Ａから点Ｂへのループの等価インピーダンス
を求めると下式（５）となる。

ラプラス変数は項Z_Lであるので、項（R1、R2、C2）が
インダクタンスＬに等価の場合全体のインピーダンスは
誘導性となる。この等価インダクタンスループはコンデ
ンサC1及び演算増幅器U1と並列であり、インダクタを必
要としない等価LC回路を形成している。この形成された
LC並列回路は上式（１）及び（２）の周期に従い容量値
C1、C2により決まる周波数で共振し得る。

コンデンサC3は当初に電力が付与されるとき常に発振
器が確実に開始されるように動作する。コンデンサC3の
この機能は抵抗器R4の間に高周波数で低いインピーダン
スの回路を与え短時間の間等価インダクタを極めて大き
くすることにより行われる。等価インダクタの見掛け上
の大きさが短時間でも増加すると、演算増幅器U1の利得
が極めて高くなり、発振周波数が低くなる。従つて発振
回路14が発振モードにされる。また回路には小さな損失
が存在するので、このためにもコンデンサC3が必要とな
る。コンデンサC3がない場合、回路は安定状態となり、
３個のすべての演算増幅器の電圧入力が零となり発振し
ない。

発振回路14に必要な振幅制限器は正確な発振器の条件
を満足し、且つセンサの機能を低下するようなエラーを
生じないように構成する必要がある。特に、コンデンサ
C1及びコンデンサC2と並列に静電容量エラーが生ずるこ
とは抑止しなければならない。振幅制限器の容量の大き
さは極めて低く安定させる必要がある。本発明によれ
ば、演算増幅器U1及び演算増幅器U2の一方の導入容量を
最小限にするため別個の振幅制限器が付与される。

第３図を参照するに、本発明の詳細な回路が示され
る。コンデンサC1及びコンデンサC2を囲む点線は石英カ
プセル12の全体の境界面を示している。代表的な応用例
においては、コンデンサC1及びコンデンサC2が18ピコフ
アラツドから51ピコフアラツドの範囲で動作される。無
論、コンデンサC1及びコンデンサC2の値は任意の値にし
得るが、小さな静電容量の場合石英カプセル12の大きさ
を物理的に小さくできる。コンデンサC1は本発明の回路
の場合接続点42、44で接続される。また演算増幅器U1は
＋10Vの電源と−10Vの電源で作動される。

第２図に示す振幅制限器38の機能を行わせる回路素子
はPNPトランジスタQ1及びダイオードCR1である。この場
合NPトランジスタQ1のコレクタは演算増幅器U1の反転入
力端子に接続される。PNPトランジスタQ1のエミツタは
ダイオードCR1に接続される。ダイオードCR1接続の向き
はダイオードCR1からPNPダイオードCR1へ電流が流れる
ようにされる。ダイオードCR1の他端部は演算増幅器U1
の出力端子に接続される。PNPトランジスタQ1のベース
は正の電圧源＋VBに接続される。例えば正弦波の正のピ
ーク値以外の殆どの期間において、ダイオードCR1及びP
NPトランジスタQ1（ベースからエミッタ）は電圧（＋V
B）で逆にバイアスされている。

一方、演算増幅器U1が正に充分に駆動されて順方向に
PNPトランジスタQ1及びダイオードCR1がバイアスされる
と、演算増幅器U1出力端子から振幅制限器を経て入力端
子へ出力が送出される。この出力電流ため演算増幅器U1
の出力が零に減少される。演算増幅器U1の出力により傾
斜が変化する（即ち減少される）と、逆バイアスがダイ
オードCR1及びPNPトランジスタQ1に再び与えられる。振
幅制限器38が機能している期間は各正弦波サイクルの僅
か数度である。残りのサイクル中振幅制限器38は発振回
路14の残部に対しほとんど影響せず、数十分の１ピコフ
アラツド以下の容量を呈する。

演算増幅器U1の出力端子は抵抗器R2を介し演算増幅器
U2の反転入力端子に電気的に接続され、抵抗器R2の値に
応じて発振周期が選定される。例えば、抵抗器R2の値は
130,000オームにされる。可変コンデンサC2は接続点4
6、48を経て演算増幅器U2の反転入力端子及び出力端子
に接続される。

第２図の振幅制限器40を構成する回路素子はNPNトラ
ンジスタQ2及びダイオードCR2である。NPNトランジスタ
Q2のコレクタは演算増幅器U2の反転入力端子に接続され
る。NPNトランジスタQ2のエミツタはダイオードCR2と接
続される。ダイオードCR2の向きはNPNトランジスタQ2側
から電流が流れるように接続される。ダイオードCR2の
他端部は演算増幅器U2の出力端子に接続されている。NP
NトランジスタQ2のベースは負の電圧供給源−VBに接続
される。振幅制限器40は上述した振幅制限器38の如く機
能するが正弦波の負のピーク値を制限する。

演算増幅器U2の出力端子は例えば130,000オームの値
を有する抵抗器R3を介し演算増幅器U3の反転入力端子に
接続される。演算増幅器U3の非反転入力端子はアースさ
れている。演算増幅器U3は＋10Vおよび−10Vの電圧源で
駆動される。演算増幅器U3の出力端子は抵抗器R4および
コンデンサC3の並列回路を経てその反転入力端子に接続
される。抵抗器R4は例えば10,000オームの抵抗値を有す
る。コンデンサC3は24ピコフアラツドの値を有してい
る。

演算増幅器U3の出力端子は130,000オームの抵抗器R1
を経て演算増幅器U1の反転入力端子に接続される。演算
増幅器U3の出力端子も第１図及び第２図に示したように
導線16と接続される。導線16からの信号は上述したよう
な方法で処理される発振周期／デジタルコンバータ18へ
と送られる。

第４図を参照するに、本発明により得られた周波数変
動の統計的分布図が曲線50で示されている。また本発明
による利点を有しない従来の単一のＲ−Ｃ（抵抗とコン
デンサ）発振器曲で得られる曲線52も曲線50との比較の
ため示されている。周波数変動は回路により発生された
周波数がその平均真値とマツチしていることを示す統計
的目安である。換言するに、周波数変動とはその平均値
を中心とする信号周波数の分散の目安である。第４図の
場合、この分散は100万当たりの部で測定される。本発
明の場合予想された周波数の片側で100万当たり0.5部を
越える統計的に大きな周波数変動は存在しないことが明
らかである。一方従来の単一LC発振器による場合、予想
された周波数の片側で100万当たり1.5部までの統計的に
大きな周波数変動が存在することが判明している。従つ
て本発明の回路を用いる等価LC発振器の精度は従来の単
一のRC発振器の約３倍も良好になる。精度及び分解能が
極めて重要な航空分野に使用する場合、周波数変動の精
度が３倍向上することは極めて重要である。

本発明の回路は単一の容量形センサを使用できること
が理解されよう。例えば、コンデンサC1は圧力の関数と
して変化するセンサ内の漂遊静電容量を使用できよう。
発振回路14の正弦波出力はコンデンサC1の静電容量の変
化のみに対応して変化する。一方コンデンサC1の静電容
量の変化の結果として与えられる期間及び周波数はこの
変化に正比例しない。上述したように、このような構成
にはメモリ容量の増加、あるいは計算時間の増加を行つ
て所定の周波数とその圧力との相関関係を持たせる必要
がある。本発明の回路に１個の可変コンデンサC1及び１
個の固定コンデンサC2が使用されている場合、回路は同
調した等価LC回路であるので、周波数変動特性は第４図
に示した曲線と等価になる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者シユケデイ，ズヴイアメリカ合衆国アリゾナ州 85711, タスカン，イースト９スストリート 5141 (72)発明者ブランド，ランデイーエル. アメリカ合衆国カリフオルニア州 92667，オレンジ，イーストメドリツジロード 3402 (56)参考文献特開昭57−72415（ＪＰ，Ａ) 特開昭59−173703（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01L 9/12

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】物理的パラメータの変化に応じて静電容量
が周期的に変化する第１の可変コンデンサと、第２のコ
ンデンサと、第１のコンデンサ及び第２のコンデンサと
接続されインダクタ素子を必要とすることなく、誘導性
インピーダンスを有するインダクタンス・コンデンサ回
路を形成する回路装置とを備え、回路装置には直列に接
続された一対の積分演算増幅器が包有され、一対の演算
増幅器の一が第１のコンデンサと並列に接続され、一対
の演算増幅器の他方が第２のコンデンサと並列に接続さ
れてなり、且つ第１の演算増幅器の出力端子と第２の演
算増幅器の入力端子との間に一対の演算増幅器と直列に
接続された転倒形演算増幅器を有する、可変の物理的パ
ラメータの変化に応じて変化する電気信号を発生する圧
力センサ。
【請求項２】抵抗値R₁の抵抗器が転倒形演算増幅器の出
力端子と第１の演算増幅器の入力端子との間に直列に接
続され、抵抗値R₂の抵抗器が第１及び第２の演算増幅器
の間に直列に接続され、回路装置の発振周期Ｔが次の関
係式、ここでC₁及びC₂は第１及び第２のコンデンサの静電容量
値を満足することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の圧力センサ。
【請求項３】第２のコンデンサも可変であり物理的パラ
メータの変化に応答して静電容量値が変化し、第１及び
第２のコンデンサは常に実質的に同一の静電容量値Ｃを
有し、周期Ｔが次の関係式を満足することを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
の圧力センサ。
【請求項４】抵抗値R₃の抵抗器が第２の演算増幅器の出
力端子と転倒形演算増幅器との間に直列に接続され、抵
抗値R₄の抵抗器が転倒形演算増幅器と並列に接続され、
発振周期Ｔが次の関係式、を満足することを特徴とする特許請求の範囲第３項記載
の圧力センサ。
【請求項５】回路装置が正及び負の電圧部分を有する周
期Ｔの正弦波の電圧発振波形を付与し、回路装置には更
に正及び負の電圧部分の各々の最大電圧レベルを制限す
る電圧振幅制限器が包有されてなることを特徴とする特
許請求の範囲第１項〜第４項のいずれか１項記載の圧力
センサ。
【請求項６】電圧振幅制限器には１対の振幅制限装置が
包有され、１対の振幅制限装置の各々は第１及び第２の
演算増幅器の夫々に対応する演算増幅器と並列に接続さ
れてなることを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の
圧力センサ。
【請求項７】各振幅制限装置にはトランジスタとダイオ
ードとが包有され、トランジスタのエミッタと演算増幅
器の入力端子との間に直列にダイオードが接続され、ト
ランジスタのコレクタはトランジスタの入力端子に接続
され、各トランジスタのベースが所定の電圧源と接続さ
れることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の圧力
センサ。
【請求項８】回路装置が周期Ｔの正弦波の発振電圧波形
を付与し、更に基準周波数信号を与える基準周波数発生
器と、回路装置の正弦波の発振電圧波形と基準周波数信
号とを入力し周期Ｔを示すカウント数のパルスを有する
パルス列を与える発振周期／デジタルコンバータとを備
えることを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第７項の
いずれか１項記載の圧力センサ。
【請求項９】更に、マイクロプロセツサ及び発振周期／
デジタルコンバータからマイクロプロセツサへパルス列
を伝達するデータバスを備えることを特徴とする特許請
求の範囲第８項記載の圧力センサ。
【請求項１０】更に、第１及び第２のコンデンサと実質
的に等価な温度関係にある温度センサと、温度センサ及
びデータバスと連係され、温度センサ及び温度データバ
スに温度センサの温度を示す信号TSを与える中間装置と
を備えることを特徴とする特許請求の範囲第９項記載の
圧力センサ。
【請求項１１】更に、データバスを介しマイクロプロセ
ツサへ送られる温度による校正フアクタを記憶する校正
メモリを備えることを特徴とする特許請求の範囲第10項
記載の圧力センサ。
【請求項１２】発振周期／デジタルコンバータには、正
弦波の発振電圧波形と同期して矩形波形を与える高速比
較器と、矩形波形にＮで除算する機能を行う除算器と、
結果が１を得ると開閉して基準周波数信号から開始する
所定数のパルスを通過させパルス列を発生するゲートと
が包有されることを特徴とする特許請求の範囲第８項〜
第11項のいずれか１項記載の圧力センサ。