JP2813543B2 - Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibers - Google Patents
Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibersInfo
- Publication number
- JP2813543B2 JP2813543B2 JP6052492A JP5249294A JP2813543B2 JP 2813543 B2 JP2813543 B2 JP 2813543B2 JP 6052492 A JP6052492 A JP 6052492A JP 5249294 A JP5249294 A JP 5249294A JP 2813543 B2 JP2813543 B2 JP 2813543B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waste gas
- gas treatment
- bag filter
- concentration
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ用ガラス合
成設備の廃ガス処理装置に関し、特にプリコート式バグ
フィルタを用いた廃ガス処理装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a waste gas treatment apparatus for a glass synthesizing facility for optical fibers, and more particularly to a waste gas treatment apparatus using a pre-coated bag filter.
【0002】[0002]
【従来の技術】光ファイバ用ガラス合成設備の廃ガスに
は、HClやCl2 などの有害物質が含まれているた
め、光ファイバ用ガラス合成設備には廃ガスから有害物
質を取り除く廃ガス処理装置が設けられている。2. Description of the Related Art Since waste gases of glass fiber synthesizing equipment for optical fibers contain harmful substances such as HCl and Cl 2 , glass synthesizing equipment for optical fibers removes harmful substances from the waste gas. A device is provided.
【0003】最近、この廃ガス処理装置の中にプリコー
ト式バグフィルタを組み込むことが検討されている。プ
リコート式バグフィルタは従来、ゴミ焼却炉の廃ガス処
理装置などに使用されているもので、通常のバグフィル
タに導入される廃ガスにプリコート剤を添加することに
より、集塵効率および有害物質除去率を高めると共に、
ろ布からの集塵灰の払い落とし性を良くしたものであ
る。Recently, it has been studied to incorporate a pre-coated bag filter into this waste gas treatment apparatus. Pre-coated bag filters are conventionally used in waste gas treatment equipment in garbage incinerators. By adding a pre-coating agent to the waste gas introduced into ordinary bag filters, dust collection efficiency and removal of harmful substances are reduced. While increasing the rate,
This improves the ability to remove dust ash from the filter cloth.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来のプリコート式バ
グフィルタは、廃ガスに常時一定量のプリコート剤を添
加する方式が一般的である。しかし光ファイバ用ガラス
を合成する場合には、合成過程の初期と終期では原料ガ
スの成分が異なるため、廃ガス中に含まれる有害物質の
濃度が変化する。また廃ガス処理装置は通常、複数台の
合成設備から出る廃ガスを集合して処理する方式である
ため、このような方式では廃ガス処理装置に導入される
廃ガス中の有害物質濃度がさらに大きく変化する。The conventional pre-coated bag filter generally uses a system in which a constant amount of a pre-coating agent is constantly added to waste gas. However, when synthesizing glass for an optical fiber, since the components of the raw material gas are different at the beginning and the end of the synthesis process, the concentration of harmful substances contained in the waste gas changes. Further, since the waste gas treatment device is generally a method of collecting and treating waste gas from a plurality of synthesis facilities, in such a method, the concentration of harmful substances in the waste gas introduced into the waste gas treatment device is further increased. It changes greatly.
【0005】このように、除去すべき有害物質の濃度が
変化する廃ガスの処理装置に、従来のプリコート式バグ
フィルタ(常時一定量のプリコート剤を添加するもの)
を適用すると、次のような問題が生じる。すなわち、廃
ガスの有害物質濃度に対してプリコート剤の添加量が少
なすぎると、バグフィルタでの有害物質除去率が低下
し、その後工程にある廃ガス処理ユニットの負荷が増大
したり、排気ガス中の有害物質濃度が基準をオーバーし
たりするおそれがある。また廃ガスの有害物質濃度に対
してプリコート剤の添加量が多すぎると、プリコート剤
の使用量および集塵灰の排出量が多くなり、ランニング
コストおよび産業廃棄物量の増大を招くことになる。[0005] As described above, a conventional precoat-type bag filter (in which a constant amount of a precoat agent is constantly added) is applied to a waste gas treatment apparatus in which the concentration of harmful substances to be removed changes.
The following problem arises when is applied. That is, if the amount of the precoat agent added is too small relative to the concentration of harmful substances in the waste gas, the harmful substance removal rate in the bag filter decreases, and the load on the waste gas treatment unit in the subsequent process increases, or the exhaust gas The concentration of harmful substances in them may exceed the standard. If the amount of the precoat agent added is too large relative to the concentration of harmful substances in the waste gas, the amount of the precoat agent used and the amount of dust collection ash discharged will increase, leading to an increase in running costs and industrial waste.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、このような問
題点を解決した光ファイバ用ガラス合成設備の廃ガス処
理装置を提供するもので、請求項1の発明は、光ファイ
バ用ガラス合成設備の廃ガスの処理を行うためのプリコ
ート式バグフィルタを含む廃ガス処理装置において、プ
リコート式バグフィルタの入口に廃ガス中の有害物質濃
度を検出する濃度検出手段を設けると共に、その濃度検
出手段で検出した有害物質濃度に応じてプリコート式バ
グフィルタのプリコート剤添加量を自動的に制御する制
御手段を設けたことを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a waste gas treatment apparatus for an optical fiber glass synthesizing facility which has solved the above problems. In a waste gas treatment apparatus including a pre-coated bag filter for treating waste gas in equipment, a concentration detecting means for detecting a harmful substance concentration in waste gas is provided at an inlet of the pre-coated bag filter, and the concentration detecting means is provided. And a control means for automatically controlling the amount of the pre-coating agent added to the pre-coating type bag filter in accordance with the concentration of the harmful substance detected in (1).
【0007】また請求項2の発明は、光ファイバ用ガラ
ス合成設備の廃ガスの処理を行うためのプリコート式バ
グフィルタを含む廃ガス処理装置において、光ファイバ
用ガラス合成設備の原料ガス供給量からプリコート式バ
グフィルタのプリコート剤の添加量を演算する演算手段
を設け、その演算手段の出力に応じてプリコート剤添加
量を自動的に制御する制御手段を設けたことを特徴とす
るものである。A second aspect of the present invention relates to a waste gas treatment apparatus including a pre-coated bag filter for treating waste gas in a glass synthesis facility for optical fibers, wherein the amount of raw material gas supplied to the glass synthesis facility for optical fibers is reduced. The present invention is characterized in that arithmetic means for calculating the amount of the precoat agent added to the precoat type bag filter is provided, and control means for automatically controlling the amount of the precoat agent added according to the output of the arithmetic means is provided.
【0008】[0008]
【作用】請求項1の発明では、プリコート式バグフィル
タに導入される廃ガス中の有害物質濃度が高いときはプ
リコート剤の添加量を多く、有害物質濃度が低いときは
プリコート剤の添加量を少なくするように制御が行われ
る。これにより必要最少限のプリコート剤の使用によ
り、必要な廃ガス処理効率を確保する。According to the first aspect of the present invention, when the concentration of harmful substances in the waste gas introduced into the precoat type bag filter is high, the amount of the precoat agent is large, and when the concentration of harmful substances is low, the amount of the precoat agent is small. Control is performed so as to reduce the number. This ensures the necessary waste gas treatment efficiency by using the minimum necessary pre-coating agent.
【0009】また廃ガス中の有害物質濃度は、光ファイ
バ用ガラス合成設備の原料ガスの使用量と一定の相関が
あるので、請求項2の発明は、光ファイバ用ガラス合成
設備の原料ガス供給量から廃ガス中の有害物質濃度(す
なわちプリコート剤の添加量)を求め、それによって請
求項1と同様の制御を行うものである。Further, the concentration of harmful substances in the waste gas has a certain correlation with the amount of raw material gas used in the glass fiber synthesizing facility for optical fibers. The concentration of the harmful substance in the waste gas (that is, the amount of the precoat agent added) is obtained from the amount, and the same control as in the first aspect is performed.
【0010】これにより、プリコート式バグフィルタの
後工程の廃ガス処理ユニットの過負荷、排気ガス中の有
害物質濃度の基準オーバー、プリコート剤の過剰使用、
集塵灰の過剰排出を抑制することが可能となる。As a result, the overload of the waste gas treatment unit in the post-process of the pre-coated bag filter, the harmful substance concentration in the exhaust gas exceeds the standard, the excessive use of the pre-coating agent,
Excessive discharge of dust ash can be suppressed.
【0011】[0011]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図1は請求項1の発明の実施例を示す。こ
の装置は、光ファイバ用ガラス合成設備11から出た廃ガ
スを、まずプリコート式バグフィルタ13で処理し、次に
充填塔式スクラバーなどの廃ガス処理ユニット15で処理
するものである。有害物質を除去した廃ガスはファン17
により大気中に放出される。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In this apparatus, waste gas discharged from an optical fiber glass synthesizing facility 11 is first treated by a precoat type bag filter 13 and then treated by a waste gas treatment unit 15 such as a packed tower scrubber. Waste gas from which harmful substances have been removed is fan 17
Is released into the atmosphere.
【0012】プリコート式バグフィルタ13は、光ファイ
バ用ガラス合成設備11から出た廃ガスに例えばCa(O
H)2 、ゼオライトまたはCaCO3 等のプリコート剤
を添加するプリコート剤供給装置19と、そのプリコート
剤供給装置19にてプリコート剤を添加された廃ガスから
プリコート剤と共に有害物質をろ過して取り除くバグフ
ィルタ21とから構成される。The pre-coated bag filter 13 converts the waste gas discharged from the optical fiber glass synthesizing facility 11 into, for example, Ca (O
H) Pre-coating agent supply device 19 for adding a pre-coating agent such as 2 , zeolite or CaCO 3, and a bug that removes harmful substances together with the pre-coating agent from waste gas to which the pre-coating agent has been added by the pre-coating agent supply device 19. And a filter 21.
【0013】プリコート剤供給装置19は、プリコート剤
を貯えたホッパー23と、そのホッパー23から廃ガスへプ
リコート剤を供給するスクリュー式フィーダー25とから
構成される。廃ガスへのプリコート剤の添加量はスクリ
ュー式フィーダー25のモーター27の回転速度を変えるこ
とにより調整可能である。バグフィルタ21は、プリコー
ト剤を含む廃ガスをろ布29でろ過して、廃ガスから有害
物質をプリコート剤と共に分離するものである。31はバ
グフィルタ21から排出された集塵灰である。The precoating agent supply device 19 comprises a hopper 23 storing the precoating agent, and a screw feeder 25 for supplying the precoating agent from the hopper 23 to the waste gas. The amount of the precoat agent added to the waste gas can be adjusted by changing the rotation speed of the motor 27 of the screw feeder 25. The bag filter 21 filters waste gas containing a precoat agent with a filter cloth 29 to separate harmful substances from the waste gas together with the precoat agent. Numeral 31 denotes dust collected from the bag filter 21.
【0014】プリコート式バグフィルタ13のみでは有害
物質を十分に取り除くことはできないので、プリコート
式バグフィルタ13を通過した廃ガスは、さらに次工程の
廃ガス処理ユニット15で処理される。Since the harmful substances cannot be sufficiently removed only by the pre-coated bag filter 13, the waste gas passing through the pre-coated bag filter 13 is further processed by the waste gas processing unit 15 in the next step.
【0015】プリコート式バグフィルタ13を用いた廃ガ
ス処理装置は、以上のような構成となる。この装置はさ
らに、プリコート式バグフィルタ13の入口に廃ガス中の
有害物質濃度を検出する濃度検出器33を設けると共に、
濃度検出器33で検出した濃度からプリコート剤の添加量
を求める変換器35と、変換器35の出力によりスクリュー
式フィーダー25のモーター27の回転速度を制御する速度
制御装置37とを設けたものである。The waste gas treatment apparatus using the precoat type bag filter 13 has the above configuration. This device further comprises a concentration detector 33 for detecting the concentration of harmful substances in the waste gas at the entrance of the pre-coat type bag filter 13,
A converter 35 for obtaining the amount of the precoat agent added from the concentration detected by the concentration detector 33, and a speed control device 37 for controlling the rotation speed of the motor 27 of the screw feeder 25 by the output of the converter 35 are provided. is there.
【0016】変換器35には、廃ガス中の有害物質濃度と
適正なプリコート剤添加量との関係が予めセットされて
いる。したがって変換器35は、濃度検出器33より有害物
質濃度が入力されると、その濃度に応じた適正なプリコ
ート剤添加量を電気信号として出力する。速度制御装置
37はその信号によってスクリュー式フィーダー25のモー
ター27の回転速度を制御する。これにより、その時点で
の有害物質濃度に応じた適正な量のプリコート剤が添加
されることになる。したがってプリコート剤を常時、過
不足なく添加することができる。In the converter 35, the relationship between the concentration of harmful substances in the waste gas and the appropriate amount of the precoat agent added is set in advance. Therefore, when the concentration of the harmful substance is input from the concentration detector 33, the converter 35 outputs an appropriate amount of the precoat agent added according to the concentration as an electric signal. Speed control device
37 controls the rotation speed of the motor 27 of the screw type feeder 25 according to the signal. As a result, an appropriate amount of the precoat agent according to the concentration of the harmful substance at that time is added. Therefore, the precoat agent can always be added without excess or deficiency.
【0017】次に図2は請求項2の発明の実施例を示
す。図2において図1と同一部分には同一符号を付して
ある。廃ガス処理装置がプリコート式バグフィルタ13と
他の廃ガス処理ユニット15との組み合わせで構成される
点は前記実施例と同様である。廃ガス処理装置は通常、
複数台の光ファイバ用ガラス合成設備11から出る廃ガス
を集合して処理する方式となっている。各合成設備11に
は原料ガス供給装置39からガラス合成用の原料ガスが供
給され、その供給量は各合成設備11ごとにマスフローコ
ントローラ(質量流量制御器)41により制御されてい
る。FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. 2, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. The waste gas treatment apparatus is the same as that of the above-described embodiment in that the waste gas treatment apparatus is configured by a combination of the precoat type bag filter 13 and another waste gas treatment unit 15. Waste gas treatment equipment is usually
The system is configured to collect and treat waste gas from a plurality of optical fiber glass synthesizing facilities 11. Each synthesis facility 11 is supplied with a raw material gas for glass synthesis from a source gas supply device 39, and the supply amount is controlled by a mass flow controller (mass flow controller) 41 for each synthesis facility 11.
【0018】原料ガスの供給量と廃ガス中の有害物質濃
度との間には相関がある。例えば原料ガス(SiC
l4 )を 170g/分供給すると 142g/分のHClが排
出されることが実験および実績から分かっている。また
SiCl4 は反応して、 SiCl4 +2H2 +O2 →SiO2 +4HCl となるが、実際には一部のSiCl4 が、 SiCl4 +O2 →SiO2 +2Cl2 となる。廃ガス中のHCl:Cl2 は実績によるとモル
比で30〜35:1となっている。There is a correlation between the supply amount of the raw material gas and the concentration of harmful substances in the waste gas. For example, the raw material gas (SiC
Experiments and results show that supplying 170 g / min of l 4 ) releases 142 g / min of HCl. In addition, SiCl 4 reacts and becomes SiCl 4 + 2H 2 + O 2 → SiO 2 + 4HCl, but actually, a part of SiCl 4 becomes SiCl 4 + O 2 → SiO 2 + 2Cl 2 . HCl in the waste gas: Cl 2 is 30 to 35 in a molar ratio according to the results: 1.
【0019】したがって原料ガスの供給量が分かれば、
廃ガス中の有害物質濃度を推定することができる。そこ
でこの装置では、各合成設備11のマスフローコントロー
ラ41から原料ガスの供給量を読み取り、それを集計し
て、プリコート式バグフィルタ13に供給される廃ガス中
のHClとCl2 の濃度を求め、さらにそれに対する適
正なプリコート剤添加量を求める演算器43を設けたもの
である。この演算器43の出力を速度制御装置37に入力し
て、スクリュー式フィーダー25のモーター27の回転速度
を制御すれば、有害物質濃度に応じた適正な量のプリコ
ート剤を添加することができる。Therefore, if the supply amount of the source gas is known,
The concentration of harmful substances in waste gas can be estimated. Therefore, in this apparatus, the supply amounts of the raw material gas are read from the mass flow controller 41 of each synthesis facility 11, and the totals are read to obtain the concentrations of HCl and Cl 2 in the waste gas supplied to the precoat type bag filter 13, Further, an arithmetic unit 43 for obtaining an appropriate amount of the precoat agent added thereto is provided. By inputting the output of the arithmetic unit 43 to the speed control device 37 and controlling the rotation speed of the motor 27 of the screw type feeder 25, it is possible to add an appropriate amount of the precoat agent according to the concentration of the harmful substance.
【0020】なお上記実施例では、プリコート剤を供給
するのにスクリュー式フィーダーを用いたが、プリコー
ト剤供給手段はこれに限定されるものではなく、例えば
テーブル式フィーダー、ロータリーバルブ等を用いるこ
ともできる。In the above embodiment, the screw type feeder was used to supply the pre-coating agent. However, the pre-coating agent supply means is not limited to this. For example, a table type feeder, a rotary valve or the like may be used. it can.
【0021】[0021]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
リコート式バグフィルタを使用して、有害物質濃度が大
きく変化する光ファイバ用ガラス合成設備の廃ガスを処
理する場合に、プリコート式バグフィルタに導入される
廃ガス中の有害物質濃度に応じて適正な量のプリコート
剤を添加するようにしたので、有害物質を確実に所定の
効率で取り除くことができる。またプリコート剤の使用
量と集塵灰の排出量を最少限に抑えることができるの
で、ランニングコストと産業廃棄物量の低減にきわめて
有効である。According to the present invention described above, according to the present invention, when using a precoat type bag filter, to process the waste gas of harmful substances concentration greater change optical fiber glass synthesis equipment, precoat type bug since such adding an appropriate amount of precoat agent according to hazardous substance concentration <br/> waste gas introduced into the filter, it can be removed at a reliably predetermined efficiency hazardous substances. Further, since the amount of the pre-coating agent used and the amount of dust collection ash discharged can be minimized, it is extremely effective in reducing the running cost and the amount of industrial waste.
【図1】 請求項1の発明の実施例を示す説明図。FIG. 1 is an explanatory view showing an embodiment of the invention of claim 1;
【図2】 請求項2の発明の実施例を示す説明図。FIG. 2 is an explanatory view showing an embodiment of the invention of claim 2;
11:光ファイバ用ガラス合成設備 13:プリコー
ト式バグフィルタ 15:次工程の廃ガス処理ユニット 19:プリコー
ト剤供給装置 17:ファン 21:バグフィ
ルタ 23:ホッパー 25:スクリュ
ー式フィーダー 27:モーター 29:ろ布 31:集塵灰 33:廃ガス中
の有害物質濃度検出器 35:変換器 37:回転速度
制御装置 39:原料ガス供給装置 41:マスフロ
ーコントローラ 43:演算器11: Glass synthesis equipment for optical fiber 13: Pre-coat type bag filter 15: Waste gas treatment unit for the next process 19: Pre-coating agent supply device 17: Fan 21: Bag filter 23: Hopper 25: Screw feeder 27: Motor 29: Filter Cloth 31: Dust ash 33: Detecting concentration of harmful substances in waste gas 35: Converter 37: Rotation speed control device 39: Raw material gas supply device 41: Mass flow controller 43: Computing unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−123515(JP,A) 特開 平2−298316(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B01D 46/02 B01D 46/42────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-5-123515 (JP, A) JP-A-2-298316 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) B01D 46/02 B01D 46/42
Claims (3)
理を行うためのプリコート式バグフィルタを含む廃ガス
処理装置において、プリコート式バグフィルタの入口に
廃ガス中の有害物質濃度を検出する濃度検出手段を設け
ると共に、その濃度検出手段で検出した有害物質濃度に
応じてプリコート式バグフィルタのプリコート剤添加量
を自動的に制御する制御手段を設けたことを特徴とする
光ファイバ用ガラス合成設備の廃ガス処理装置。In a waste gas treatment apparatus including a pre-coated bag filter for treating waste gas in an optical fiber glass synthesizing facility, a concentration for detecting a harmful substance concentration in the waste gas at an inlet of the pre-coated bag filter. A glass synthesizing facility for an optical fiber, comprising a detecting means and a control means for automatically controlling the amount of a precoating agent added to a precoated bag filter according to the concentration of a harmful substance detected by the concentration detecting means. Waste gas treatment equipment.
理を行うためのプリコート式バグフィルタを含む廃ガス
処理装置において、光ファイバ用ガラス合成設備の原料
ガス供給量からプリコート式バグフィルタのプリコート
剤の添加量を演算する演算手段を設け、その演算手段の
出力に応じてプリコート剤添加量を自動的に制御する制
御手段を設けたことを特徴とする光ファイバ用ガラス合
成設備の廃ガス処理装置。2. A waste gas treatment apparatus including a pre-coat type bag filter for treating waste gas of an optical fiber glass synthesis facility, wherein a pre-coating of the pre-coat type bag filter is performed based on a supply amount of raw material gas of the optical fiber glass synthesis facility. A waste gas treatment system for a glass synthesizing facility for optical fibers, comprising: a calculating means for calculating the addition amount of the chemical agent; and a control means for automatically controlling the addition amount of the precoat agent according to the output of the calculating means. apparatus.
設備に設けられた複数台の原料ガスのマスフローコント
ローラの出力を集計してプリコート剤の添加量を演算す
るものであることを特徴とする請求項2記載の廃ガス処
理装置。3. The method according to claim 1, wherein the calculating means calculates the addition amount of the precoating agent by summing the outputs of a plurality of mass flow controllers of the raw material gas provided in the glass synthesizing equipment for optical fiber. The waste gas treatment device according to claim 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052492A JP2813543B2 (en) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052492A JP2813543B2 (en) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07236804A JPH07236804A (en) | 1995-09-12 |
| JP2813543B2 true JP2813543B2 (en) | 1998-10-22 |
Family
ID=12916218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6052492A Expired - Lifetime JP2813543B2 (en) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibers |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2813543B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4168154B2 (en) * | 1998-03-11 | 2008-10-22 | 古河電気工業株式会社 | SiO2 recovery equipment and method of recovering SiO2 |
| JP5732204B2 (en) * | 2010-06-02 | 2015-06-10 | 株式会社流機エンジニアリング | Deodorizing device and deodorizing method |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0732862B2 (en) * | 1989-05-09 | 1995-04-12 | 日立造船株式会社 | Operating method of filtration dust collection type exhaust gas treatment equipment |
| JP2518576B2 (en) * | 1991-11-08 | 1996-07-24 | 株式会社プランテック | Control method of bag filter device |
-
1994
- 1994-02-28 JP JP6052492A patent/JP2813543B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07236804A (en) | 1995-09-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002355531A (en) | Method of treating exhaust gas in cement production | |
| JPH09308817A (en) | Method for treating exhaust gas and apparatus therefor | |
| JP2813543B2 (en) | Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibers | |
| EP0498782B1 (en) | A dental treatment method | |
| JPS5976526A (en) | Method and apparatus for purifying waste gas | |
| JPH05220338A (en) | Treating equipment for exhaust gas of refuse incinerator | |
| JP2001523547A (en) | Equipment for purifying flue gas containing mercury | |
| JPH07204433A (en) | Exhaust purification method and purifier for the same | |
| JP2007237019A (en) | Exhaust gas treatment chemical supply amount control method and exhaust gas treatment apparatus | |
| JPH10165752A (en) | Exhaust gas treatment method in waste treatment equipment | |
| JP3309257B2 (en) | Dust ash treatment method | |
| JP2000093736A (en) | Apparatus for desulfurization, denitration, and removal of salt, dxn, and dust in dry manner | |
| JPH0523530A (en) | Gas absorbing method and apparatus | |
| JP2003117343A (en) | Exhaust gas treatment apparatus | |
| JP3294073B2 (en) | Flue gas treatment system | |
| JPH02298316A (en) | Operation of filter dust collection type exhaust gas treating device | |
| JP3566868B2 (en) | Exhaust gas detoxification equipment and method for detoxification of electric furnace or scrap preheating device for electric furnace | |
| EP0706815A3 (en) | Method for removing mercury from gases from the combustion of wastewater treatment tanks | |
| JPH10103647A (en) | Exhaust gas treatment method and apparatus | |
| JPH0929058A (en) | Solidification of desulfurized drain with coal ash | |
| JPH09108541A (en) | Method for treating exhaust gas of incinerator | |
| JP3114578B2 (en) | Exhaust gas concentration control system | |
| JPS57174114A (en) | Desulfurizing and dust collecting equipment | |
| JPH04371714A (en) | Exhaust gas processing method after garbage incineration | |
| JPH11132672A (en) | Exhaust gas generated from arc furnace |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080807 Year of fee payment: 10 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080807 Year of fee payment: 10 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080807 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090807 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090807 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100807 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110807 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110807 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130807 Year of fee payment: 15 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |