JP2814940B2 - エーロゾル分解による銀−パラジウム合金粉末の製造法 - Google Patents
エーロゾル分解による銀−パラジウム合金粉末の製造法Info
- Publication number
- JP2814940B2 JP2814940B2 JP7000193A JP19395A JP2814940B2 JP 2814940 B2 JP2814940 B2 JP 2814940B2 JP 7000193 A JP7000193 A JP 7000193A JP 19395 A JP19395 A JP 19395A JP 2814940 B2 JP2814940 B2 JP 2814940B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silver
- palladium
- aerosol
- containing compound
- palladium alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
- B22F9/16—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
- B22F9/30—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with decomposition of metal compounds, e.g. by pyrolysis
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は改良された銀−パラジウ
ム合金粉末の製造法に関する。特に、本発明は高純度で
球形の、十分に緻密な粉末の製造法に関する。
ム合金粉末の製造法に関する。特に、本発明は高純度で
球形の、十分に緻密な粉末の製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】金属
および金属合金粉末は特にエレクトロニクスおよび歯科
産業において多くの重要な用途がある。パラジウムおよ
び銀の混合物はハイブリッド集積回路用の導体組成物に
おいて幅広く使用される。これらは金組成物よりも安価
であり、殆どの誘電体および抵抗体システムと適合し、
また超音波ワイヤ結合に適している。銀へのパラジウム
の添加は回路のはんだ付けに対する適合性を大幅に増大
し、誘電体の燃焼温度との適合性のため銀の融点を上
げ、また誘電性の低下およびショートをひき起こしうる
銀の移行という問題を和らげる。
および金属合金粉末は特にエレクトロニクスおよび歯科
産業において多くの重要な用途がある。パラジウムおよ
び銀の混合物はハイブリッド集積回路用の導体組成物に
おいて幅広く使用される。これらは金組成物よりも安価
であり、殆どの誘電体および抵抗体システムと適合し、
また超音波ワイヤ結合に適している。銀へのパラジウム
の添加は回路のはんだ付けに対する適合性を大幅に増大
し、誘電体の燃焼温度との適合性のため銀の融点を上
げ、また誘電性の低下およびショートをひき起こしうる
銀の移行という問題を和らげる。
【０００３】銀粉末、パラジウム粉末、銀およびパラジ
ウム粉末の混合物、並びに銀−パラジウム合金粉末は多
層セラミックコンデンサー用の電極材料において使用さ
れる。多層セラミックコンデンサーの内部電極のための
厚膜インキの金属成分の特性は金属粉末とインキの有機
媒質との間の、またインキそれ自体とその周囲の誘電体
材料との間の適合性が必要であるため、非常に重要であ
る。均一な大きさで約０.１〜１.０ミクロンの直径を有
し、純粋で結晶性の凝集していない金属粒子が導電性厚
膜ペーストの所望の性質を最大にするため必要である。
ウム粉末の混合物、並びに銀−パラジウム合金粉末は多
層セラミックコンデンサー用の電極材料において使用さ
れる。多層セラミックコンデンサーの内部電極のための
厚膜インキの金属成分の特性は金属粉末とインキの有機
媒質との間の、またインキそれ自体とその周囲の誘電体
材料との間の適合性が必要であるため、非常に重要であ
る。均一な大きさで約０.１〜１.０ミクロンの直径を有
し、純粋で結晶性の凝集していない金属粒子が導電性厚
膜ペーストの所望の性質を最大にするため必要である。
【０００４】プリント回路技術はより緻密でより精密な
電子回路を必要としている。これらの要求を満たすため
に、導線は幅がより細くなり、線間距離がより小さくな
っている。これは多層セラミックコンデンサーがより薄
く、より細い電極を必要としている場合に、特にそうで
ある。緻密で密に詰まった細い線を形成する必要のある
金属粒子は単一の大きさの十分に緻密で滑らかな球形に
できるだけ近いものでなければならない。導線性金属粒
子は小さな粒径、均一な粒度および一様な組成を持たな
ければならない。一般に、銀およびパラジウム粉末の混
合物は所定の比率の銀−パラジウム粉末を生成するため
に使用される。導線のプリントおよび燃焼後、銀および
パラジウム粒子は合金にされる。プリントされる導線が
より小さくなるにつれ、均質性のための要求条件はます
ます重要なものとなる。合金の均質性を確実にするた
め、所望の比率の十分に緻密な銀−パラジウム合金を使
用することが好ましい。
電子回路を必要としている。これらの要求を満たすため
に、導線は幅がより細くなり、線間距離がより小さくな
っている。これは多層セラミックコンデンサーがより薄
く、より細い電極を必要としている場合に、特にそうで
ある。緻密で密に詰まった細い線を形成する必要のある
金属粒子は単一の大きさの十分に緻密で滑らかな球形に
できるだけ近いものでなければならない。導線性金属粒
子は小さな粒径、均一な粒度および一様な組成を持たな
ければならない。一般に、銀およびパラジウム粉末の混
合物は所定の比率の銀−パラジウム粉末を生成するため
に使用される。導線のプリントおよび燃焼後、銀および
パラジウム粒子は合金にされる。プリントされる導線が
より小さくなるにつれ、均質性のための要求条件はます
ます重要なものとなる。合金の均質性を確実にするた
め、所望の比率の十分に緻密な銀−パラジウム合金を使
用することが好ましい。
【０００５】金属粉末を製造するために現在使用されて
いる多くの方法は銀−パラジウム粉末の製造に応用する
ことができる。例えば、化学還元法、微粒化または微粉
砕のような物理的方法、熱分解および電気化学的方法を
使用することができる。電子用途に使用される銀粉末お
よびパラジウム粉末は一般に化学沈殿法を使用して製造
される。銀粉末および／またはパラジウム粉末の製造に
おいて、金属塩はヒドラジン、ホルムアルデヒド、次亜
リン酸、ヒドロキノン、水素化ホウ素ナトリウム、ギ酸
およびギ酸ナリトウムのような還元剤を使用することに
より還元される。これらの方法は制御するのが非常に難
しく、凝集した異形の粒子になる傾向を示す。所望の銀
／パラジウム比率を達成するために、各粉末は厚膜ペー
ストの製造中に混合される。ある場合には共沈が使用さ
れるが、得られる粉末は通常銀粒子およびパラジウム粒
子の適当な混合物である。本発明は銀−パラジウム合金
の製造のためエーロゾル分解を使用する。
いる多くの方法は銀−パラジウム粉末の製造に応用する
ことができる。例えば、化学還元法、微粒化または微粉
砕のような物理的方法、熱分解および電気化学的方法を
使用することができる。電子用途に使用される銀粉末お
よびパラジウム粉末は一般に化学沈殿法を使用して製造
される。銀粉末および／またはパラジウム粉末の製造に
おいて、金属塩はヒドラジン、ホルムアルデヒド、次亜
リン酸、ヒドロキノン、水素化ホウ素ナトリウム、ギ酸
およびギ酸ナリトウムのような還元剤を使用することに
より還元される。これらの方法は制御するのが非常に難
しく、凝集した異形の粒子になる傾向を示す。所望の銀
／パラジウム比率を達成するために、各粉末は厚膜ペー
ストの製造中に混合される。ある場合には共沈が使用さ
れるが、得られる粉末は通常銀粒子およびパラジウム粒
子の適当な混合物である。本発明は銀−パラジウム合金
の製造のためエーロゾル分解を使用する。
【０００６】エーロゾル分解法は先駆物質溶液の粉末へ
の変換を含む。本法は小滴の生成、ガスを用いた小滴の
熱反応器中への輸送、蒸発による溶媒除去、多孔性固体
粒子を生成するための塩の分解、および十分に緻密で球
形の純粋な粒子を得るための粒子の緻密化を含む。条件
は小滴間または粒子間の相互作用がないようなものであ
る。粉末生成のためのエーロゾル分解法の利用が成功し
にくい主な問題点は粒子形態における制御がしにくいこ
とである。特に、材料は十分に緻密な粒子を生成するた
めにその融点より高い温度で処理する必要があり、また
その融点より低い温度での作業は緻密でない不純な中空
タイプの粒子を与える傾向がある。
の変換を含む。本法は小滴の生成、ガスを用いた小滴の
熱反応器中への輸送、蒸発による溶媒除去、多孔性固体
粒子を生成するための塩の分解、および十分に緻密で球
形の純粋な粒子を得るための粒子の緻密化を含む。条件
は小滴間または粒子間の相互作用がないようなものであ
る。粉末生成のためのエーロゾル分解法の利用が成功し
にくい主な問題点は粒子形態における制御がしにくいこ
とである。特に、材料は十分に緻密な粒子を生成するた
めにその融点より高い温度で処理する必要があり、また
その融点より低い温度での作業は緻密でない不純な中空
タイプの粒子を与える傾向がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、 Ａ．熱揮発性溶媒中に熱分解性銀含有化合物と熱分解性
パラジウム含有化合物との混合物の不飽和溶液を生成さ
せ、 Ｂ．キャリヤーガス中に分散させた工程Ａからの溶液の
微細な小滴から本質的になり、小滴の衝突およびその後
の合着により小滴濃度が１０％低下する濃度よりも低い
小滴濃度である、エーロゾルを生成させ、 Ｃ．エーロゾルを銀含有化合物およびパラジウム含有化
合物の両方の熱分解温度よりも高く、かつ銀−パラジウ
ム合金の融点よりも低い温度に加熱し、それにより
（１）溶媒を揮発させ、（２）銀含有化合物およびパラ
ジウム含有化合物を熱分解して銀、パラジウム、銀−パ
ラジウム合金およびそれらの混合物の微粒子を生成さ
せ、そして（３）粒子が合金を生成しそして緻密化され
る、および Ｄ．銀−パラジウム合金の粒子を、キャリヤーガス、反
応副生物および溶媒揮発物から分離する、 順次の工程からなる、十分に緻密化した銀−パラジウム
合金微粒子の製造法に関する。
パラジウム含有化合物との混合物の不飽和溶液を生成さ
せ、 Ｂ．キャリヤーガス中に分散させた工程Ａからの溶液の
微細な小滴から本質的になり、小滴の衝突およびその後
の合着により小滴濃度が１０％低下する濃度よりも低い
小滴濃度である、エーロゾルを生成させ、 Ｃ．エーロゾルを銀含有化合物およびパラジウム含有化
合物の両方の熱分解温度よりも高く、かつ銀−パラジウ
ム合金の融点よりも低い温度に加熱し、それにより
（１）溶媒を揮発させ、（２）銀含有化合物およびパラ
ジウム含有化合物を熱分解して銀、パラジウム、銀−パ
ラジウム合金およびそれらの混合物の微粒子を生成さ
せ、そして（３）粒子が合金を生成しそして緻密化され
る、および Ｄ．銀−パラジウム合金の粒子を、キャリヤーガス、反
応副生物および溶媒揮発物から分離する、 順次の工程からなる、十分に緻密化した銀−パラジウム
合金微粒子の製造法に関する。
【０００８】本明細書中において、銀含有化合物および
パラジウム含有化合物用の溶媒に関して使用される「揮
発性」の用語は、最高作業温度に達した時点には、溶媒
が蒸発および／または分解により、蒸気またはガスに完
全に変換することを意味する。本明細書中において、銀
含有化合物およびパラジウム含有化合物に関して使用さ
れる「熱分解性」の用語は、最高作業温度に達した時点
には、化合物が十分に分解して金属および揮発性副生成
物になることを意味する。例えばＡｇＮＯ３およびＰｄ
（ＮＯ３）２は、ＮＯｘおよび個々にＡｇとＰｄ金属と
の形に分解される。
パラジウム含有化合物用の溶媒に関して使用される「揮
発性」の用語は、最高作業温度に達した時点には、溶媒
が蒸発および／または分解により、蒸気またはガスに完
全に変換することを意味する。本明細書中において、銀
含有化合物およびパラジウム含有化合物に関して使用さ
れる「熱分解性」の用語は、最高作業温度に達した時点
には、化合物が十分に分解して金属および揮発性副生成
物になることを意味する。例えばＡｇＮＯ３およびＰｄ
（ＮＯ３）２は、ＮＯｘおよび個々にＡｇとＰｄ金属と
の形に分解される。
【０００９】銀含有化合物およびパラジウム含有化合
物：可溶性の銀塩およびパラジウム塩は何れも、それが
エーロゾルを生成するのに使用されるキャリヤーガスに
関して不活性であれば本発明の方法に使用することがで
きる。適当な塩の例はＡｇＮＯ 3、Ａｇ3ＰＯ4、Ａｇ2Ｓ
Ｏ4、Ｐｄ(ＮＯ3)2、ＰｄＳＯ4、Ｐｄ3(ＰＯ4)2などで
ある。不溶性の銀またはパラジウム塩は適当でない。銀
含有化合物およびパラジウム含有化合物は０.００２モ
ル／リットルから特定の塩の限界溶解度までの濃度で使
用されうる。０.００２モル／リットル未満または飽和
の９０％より高い濃度を使用しないことが好ましい。
物：可溶性の銀塩およびパラジウム塩は何れも、それが
エーロゾルを生成するのに使用されるキャリヤーガスに
関して不活性であれば本発明の方法に使用することがで
きる。適当な塩の例はＡｇＮＯ 3、Ａｇ3ＰＯ4、Ａｇ2Ｓ
Ｏ4、Ｐｄ(ＮＯ3)2、ＰｄＳＯ4、Ｐｄ3(ＰＯ4)2などで
ある。不溶性の銀またはパラジウム塩は適当でない。銀
含有化合物およびパラジウム含有化合物は０.００２モ
ル／リットルから特定の塩の限界溶解度までの濃度で使
用されうる。０.００２モル／リットル未満または飽和
の９０％より高い濃度を使用しないことが好ましい。
【００１０】本発明の方法において銀源として水溶性の
銀塩を、またパラジウム源として水溶性のパラジウム塩
を使用することが望ましいが、にも関わらず本法は水性
または有機溶媒中に溶解された有機金属銀、パラジウム
または混合された銀−パラジウム化合物のような他の溶
媒に溶解しうる化合物を使用することにより効果的に行
うことができる。
銀塩を、またパラジウム源として水溶性のパラジウム塩
を使用することが望ましいが、にも関わらず本法は水性
または有機溶媒中に溶解された有機金属銀、パラジウム
または混合された銀−パラジウム化合物のような他の溶
媒に溶解しうる化合物を使用することにより効果的に行
うことができる。
【００１１】作業変数：本発明の方法は次の基本的な規
準を満たしさえすれば広範囲の作業条件下で行うことが
できる。 １． エーロゾル中の銀含有化合物およびパラジウム含
有化合物の濃度は供給温度における飽和濃度より低いも
のでなければならず、好ましくは液状溶媒を除去する前
の固体の沈殿を防止するため飽和濃度より少なくとも１
０％低い； ２． エーロゾル中の小滴の濃度は小滴の衝突およびそ
の後の合着により小滴濃度が１０％減少する濃度より低
いような十分に低いものでなければならない; ３． 反応器の温度は生成した合金の融点より低い。例
えば、７０／３０のＡｇ／Ｐｄの融点１１７０℃、４０
／６０のＡｇ／Ｐｄの融点１３３５℃、および２０／８
０のＡｇ／Ｐｄの融点１４２０℃より低い。
準を満たしさえすれば広範囲の作業条件下で行うことが
できる。 １． エーロゾル中の銀含有化合物およびパラジウム含
有化合物の濃度は供給温度における飽和濃度より低いも
のでなければならず、好ましくは液状溶媒を除去する前
の固体の沈殿を防止するため飽和濃度より少なくとも１
０％低い； ２． エーロゾル中の小滴の濃度は小滴の衝突およびそ
の後の合着により小滴濃度が１０％減少する濃度より低
いような十分に低いものでなければならない; ３． 反応器の温度は生成した合金の融点より低い。例
えば、７０／３０のＡｇ／Ｐｄの融点１１７０℃、４０
／６０のＡｇ／Ｐｄの融点１３３５℃、および２０／８
０のＡｇ／Ｐｄの融点１４２０℃より低い。
【００１２】銀含有化合物およびパラジウム含有化合物
の飽和点下で作業することが重要であるが、それらの濃
度は本法の作業においてそれ程重要なものではない。非
常に低い濃度の銀含有化合物およびパラジウム化合物を
使用することもできる。しかしながら、通常は単位時間
あたり製造することのできる粒子の量を最大にするため
より高い濃度を使用することが好ましい。
の飽和点下で作業することが重要であるが、それらの濃
度は本法の作業においてそれ程重要なものではない。非
常に低い濃度の銀含有化合物およびパラジウム化合物を
使用することもできる。しかしながら、通常は単位時間
あたり製造することのできる粒子の量を最大にするため
より高い濃度を使用することが好ましい。
【００１３】本発明のエーロゾルを製造するために、例
えば噴霧器、衝突噴霧器、超音波噴霧器、振動オリフィ
スエーロゾル発生器、遠心アトマイザー、二流体アトマ
イザー、エレクトロスプレーアトマイザーなどの小滴発
生用の慣用のいずれの装置を使用してもよい。粉末の粒
度は発生した小滴粒度の一次関数である。エーロゾル中
の小滴の大きさは、本発明の実施においては重要ではな
い。しかしながら、上述したように、エーロゾル中の小
滴濃度、すなわちエーロゾルの単位容積当たりの小滴数
は、粒度分布を広げそして粒度を増大させる過剰の合着
を生じさせる程大きくないことが重要である。
えば噴霧器、衝突噴霧器、超音波噴霧器、振動オリフィ
スエーロゾル発生器、遠心アトマイザー、二流体アトマ
イザー、エレクトロスプレーアトマイザーなどの小滴発
生用の慣用のいずれの装置を使用してもよい。粉末の粒
度は発生した小滴粒度の一次関数である。エーロゾル中
の小滴の大きさは、本発明の実施においては重要ではな
い。しかしながら、上述したように、エーロゾル中の小
滴濃度、すなわちエーロゾルの単位容積当たりの小滴数
は、粒度分布を広げそして粒度を増大させる過剰の合着
を生じさせる程大きくないことが重要である。
【００１４】さらに、所定のエーロゾル発生器において
は、銀含有化合物およびパラジウム含有化合物の溶液の
濃度は粒度に影響を与える。特に、粒度は濃度の立方根
の近似関数である。したがって、銀含有化合物およびパ
ラジウム含有化合物の濃度がより高いと、沈殿した銀の
粒度はより大きくなる。粒度のより大きな変化が必要な
場合、異なるエーロゾル発生器を使用しなければならな
い。
は、銀含有化合物およびパラジウム含有化合物の溶液の
濃度は粒度に影響を与える。特に、粒度は濃度の立方根
の近似関数である。したがって、銀含有化合物およびパ
ラジウム含有化合物の濃度がより高いと、沈殿した銀の
粒度はより大きくなる。粒度のより大きな変化が必要な
場合、異なるエーロゾル発生器を使用しなければならな
い。
【００１５】実際に、銀含有化合物とパラジウム含有化
合物のための溶媒およびこれらの化合物に関して不活性
である気相性物質を本発明の実施においてキャリヤーガ
スとして使用してもよい。適当な気相性物質の例は空
気、窒素、酸素、蒸気、アルゴン、ヘリウム、二酸化炭
素などである。窒素のような酸素を含まないガスは十分
に緻密化された銀−パラジウム合金粒子を最低温度およ
び最高純度で製造することができるため、好ましいキャ
リヤーガスである。
合物のための溶媒およびこれらの化合物に関して不活性
である気相性物質を本発明の実施においてキャリヤーガ
スとして使用してもよい。適当な気相性物質の例は空
気、窒素、酸素、蒸気、アルゴン、ヘリウム、二酸化炭
素などである。窒素のような酸素を含まないガスは十分
に緻密化された銀−パラジウム合金粒子を最低温度およ
び最高純度で製造することができるため、好ましいキャ
リヤーガスである。
【００１６】本発明の方法を行うことのできる温度範囲
は非常に広く、どちらかがより大きい銀含有化合物また
はパラジウム含有化合物の分解温度から生成する銀−パ
ラジウム合金の融点までの範囲である。パラジウムの比
率がより大きい程、銀−パラジウム合金の融点も大きく
なる。キャリヤーガスとして空気が使用される場合、十
分に緻密化された銀−パラジウム合金粒子を製造するた
めに必要な温度は窒素ガスを使用する場合よりも高い。
は非常に広く、どちらかがより大きい銀含有化合物また
はパラジウム含有化合物の分解温度から生成する銀−パ
ラジウム合金の融点までの範囲である。パラジウムの比
率がより大きい程、銀−パラジウム合金の融点も大きく
なる。キャリヤーガスとして空気が使用される場合、十
分に緻密化された銀−パラジウム合金粒子を製造するた
めに必要な温度は窒素ガスを使用する場合よりも高い。
【００１７】本発明によりそれぞれの融点よりかなり低
い温度で十分に緻密化された球形の銀−パラジウム合金
の製造が可能になる。例えば、１１７０℃の融点を有す
る十分に緻密な７０／３０のＡｇ／Ｐｄ合金は７００℃
付近で製造されうる。１３３５℃の融点を有する十分に
緻密な４０／６０のＡｇ／Ｐｄ合金は約８００℃で製造
されうる。温度の低下は品質を損ねることなく合金粉末
の製造法における有意なエネルギーの節約をもたらす。
エーロゾルを加熱するために使用される装置の種類はそ
れ自体厳密なものではないが、直接または間接加熱の何
れかが使用されうるものである。例えば、チューブ炉を
使用したり、または燃焼炎での直接加熱を使用したりす
ることができる。
い温度で十分に緻密化された球形の銀−パラジウム合金
の製造が可能になる。例えば、１１７０℃の融点を有す
る十分に緻密な７０／３０のＡｇ／Ｐｄ合金は７００℃
付近で製造されうる。１３３５℃の融点を有する十分に
緻密な４０／６０のＡｇ／Ｐｄ合金は約８００℃で製造
されうる。温度の低下は品質を損ねることなく合金粉末
の製造法における有意なエネルギーの節約をもたらす。
エーロゾルを加熱するために使用される装置の種類はそ
れ自体厳密なものではないが、直接または間接加熱の何
れかが使用されうるものである。例えば、チューブ炉を
使用したり、または燃焼炎での直接加熱を使用したりす
ることができる。
【００１８】反応温度に到達し、粒子が十分に緻密にさ
れた後、それらはキャリヤーガス、反応副生成物および
溶媒揮発生成物から分離され、そして濾過器、サイクロ
ン、静電分離器、バッグフィルター、フィルターディス
クなどのような装置の１つ以上を使用して粉末が集めら
れる。反応完了時のガスはキャリヤーガス、銀含有化合
物およびパラジウム含有化合物の分解生成物、並びに溶
媒蒸気からなる。したがって、Ｎ2をキャリヤーガスと
して使用して水性硝酸銀および硝酸パラジウムから銀−
パラジウム合金粒子を製造する場合、本発明の方法から
の流出ガスは酸化窒素、水およびＮ2からなる。
れた後、それらはキャリヤーガス、反応副生成物および
溶媒揮発生成物から分離され、そして濾過器、サイクロ
ン、静電分離器、バッグフィルター、フィルターディス
クなどのような装置の１つ以上を使用して粉末が集めら
れる。反応完了時のガスはキャリヤーガス、銀含有化合
物およびパラジウム含有化合物の分解生成物、並びに溶
媒蒸気からなる。したがって、Ｎ2をキャリヤーガスと
して使用して水性硝酸銀および硝酸パラジウムから銀−
パラジウム合金粒子を製造する場合、本発明の方法から
の流出ガスは酸化窒素、水およびＮ2からなる。
【００１９】
試験装置：本実施例で使用される実験装置を図１に示
す。キャリヤーガス源は調節器およびガス流量計を通し
てＮ2または空気を供給する。キャリヤーガスの流量は
反応器中のエーロゾルの滞留時間を決定した。硝酸塩先
駆物質溶液は９５／５、７０／３０、４０／６０および
２０／８０のＡｇ／Ｐｄ重量比で製造されたＡｇＮＯ3
およびＰｄ(ＮＯ3)2の混合物であった。溶液濃度は０.
１〜１.０重量％のＡｇ／Ｐｄと変えた。超音波発生器
は修正 Pollenex 家庭用給湿器であり、それはプラスチ
ック膜底を有するガラス室が先駆物質溶液で満たされ、
給湿器の圧電素子の上に配置されるとエーロゾルを発生
した。反応器は９０cmの熱領域を有するLindberg３ゾー
ン炉であった。１５２.４cmの Coors ムライトレクター
チューブ（外径９cm、内径８cm）を使用した。キャリヤ
ーガス流量は表１の実施例１を除いて９.４秒の一定反
応器滞留時間を維持するように各温度について調節し
た。熱ステンレス鋼フィルターホルダーにより支えられ
た膜フィルター上で粒子を集めた。フィルターは直径１
４７mmの Gelman フィルターホルダーで支えられた Tuf
fryn 膜フィルター（直径142mm、孔径０.４５）であっ
た。本発明の方法を示す１４の実験を行った。これらの
実施例の作業条件をそれから生成した銀−パラジウム合
金粒子の所定の特性とともに下の表１に示す。
す。キャリヤーガス源は調節器およびガス流量計を通し
てＮ2または空気を供給する。キャリヤーガスの流量は
反応器中のエーロゾルの滞留時間を決定した。硝酸塩先
駆物質溶液は９５／５、７０／３０、４０／６０および
２０／８０のＡｇ／Ｐｄ重量比で製造されたＡｇＮＯ3
およびＰｄ(ＮＯ3)2の混合物であった。溶液濃度は０.
１〜１.０重量％のＡｇ／Ｐｄと変えた。超音波発生器
は修正 Pollenex 家庭用給湿器であり、それはプラスチ
ック膜底を有するガラス室が先駆物質溶液で満たされ、
給湿器の圧電素子の上に配置されるとエーロゾルを発生
した。反応器は９０cmの熱領域を有するLindberg３ゾー
ン炉であった。１５２.４cmの Coors ムライトレクター
チューブ（外径９cm、内径８cm）を使用した。キャリヤ
ーガス流量は表１の実施例１を除いて９.４秒の一定反
応器滞留時間を維持するように各温度について調節し
た。熱ステンレス鋼フィルターホルダーにより支えられ
た膜フィルター上で粒子を集めた。フィルターは直径１
４７mmの Gelman フィルターホルダーで支えられた Tuf
fryn 膜フィルター（直径142mm、孔径０.４５）であっ
た。本発明の方法を示す１４の実験を行った。これらの
実施例の作業条件をそれから生成した銀−パラジウム合
金粒子の所定の特性とともに下の表１に示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】本発明の実施例を示すために、銀−パラジ
ウム合金粒子を７０／３０、４０／６０、２０／８０お
よび９５／５の銀／パラジウム比率で製造した。実施例
１〜５はキャリヤーガスとしてＮ2を使用して６００℃
以上の温度で製造した比率が７０／３０の純粋な銀−パ
ラジウム合金粉末を示す。図２のＸ線回折は６００℃で
はＰｄＯがまだ存在し、他方、十分に緻密なＡｇ／Ｐｄ
合金粉末が７００℃で製造されることを示している。さ
らに、最も強いピークはＡｇ／Ｐｄ合金を表示するＡｇ
およびＰｄの予想値の間に位置した。
ウム合金粒子を７０／３０、４０／６０、２０／８０お
よび９５／５の銀／パラジウム比率で製造した。実施例
１〜５はキャリヤーガスとしてＮ2を使用して６００℃
以上の温度で製造した比率が７０／３０の純粋な銀−パ
ラジウム合金粉末を示す。図２のＸ線回折は６００℃で
はＰｄＯがまだ存在し、他方、十分に緻密なＡｇ／Ｐｄ
合金粉末が７００℃で製造されることを示している。さ
らに、最も強いピークはＡｇ／Ｐｄ合金を表示するＡｇ
およびＰｄの予想値の間に位置した。
【００２２】実施例６および７はキャリヤーガスとして
空気を使用して７０／３０のＡｇ／Ｐｄ比率で行った。
Ｎ2ガスと違って、７００℃での実験は減量により示さ
れる少量の不純物を与えた。このことはキャリヤーガス
として空気を使用して同様の粉末を製造するためにはよ
り高温にする必要があることを意味する。実施例８〜１
０は７００℃以上の温度で製造した比率が４０／６０の
純粋な銀−パラジウム合金粉末を示す。図３のＸ線回折
パターンは７００℃では少量のＰｄＯがまだ存在するこ
とを示している。
空気を使用して７０／３０のＡｇ／Ｐｄ比率で行った。
Ｎ2ガスと違って、７００℃での実験は減量により示さ
れる少量の不純物を与えた。このことはキャリヤーガス
として空気を使用して同様の粉末を製造するためにはよ
り高温にする必要があることを意味する。実施例８〜１
０は７００℃以上の温度で製造した比率が４０／６０の
純粋な銀−パラジウム合金粉末を示す。図３のＸ線回折
パターンは７００℃では少量のＰｄＯがまだ存在するこ
とを示している。
【００２３】実施例１１〜１３は８００℃以上の温度で
製造した比率が２０／８０の純粋な銀−パラジウム合金
粉末を示す。６００℃での実験は少量の減量をもたら
し、８００℃での実施例はさらに図４のＸ線回折パター
ンで少量のＰｄＯが存在することを示した。実施例１４
は９５／５のような銀のパラジウムに対する割合が非常
に高い比率において、純粋で緻密な銀−パラジウム合金
粒子がキャリヤーガスとしてＮ2を使用して６００℃の
ような低い温度で製造されることを証明している。Ｘ線
回折パターンを図５に示す。
製造した比率が２０／８０の純粋な銀−パラジウム合金
粉末を示す。６００℃での実験は少量の減量をもたら
し、８００℃での実施例はさらに図４のＸ線回折パター
ンで少量のＰｄＯが存在することを示した。実施例１４
は９５／５のような銀のパラジウムに対する割合が非常
に高い比率において、純粋で緻密な銀−パラジウム合金
粒子がキャリヤーガスとしてＮ2を使用して６００℃の
ような低い温度で製造されることを証明している。Ｘ線
回折パターンを図５に示す。
【００２４】本発明にしたがって製造された粒状生成物
（実施例３〜５、７、１０、１３および１４）の走査電
子顕微鏡法（ＳＥＭ）および透過型電子顕微鏡法（ＴＥ
Ｍ）による検査は粒子が緻密で球形であることを示し
た。本発明のエーロゾル分解法により製造された銀−パ
ラジウム合金粉末は純粋で緻密な合着していない球形粒
子であり、またエーロゾル発生器および金属塩溶液の濃
度に応じて制御された粒度を有する。本発明により製造
された銀−パラジウム合金粉末は不純物、異形、凝集が
なく、または溶液沈殿により製造される銀−パラジウム
粉末で一般に見られる非合金混合物ではない。さらに、
十分に反応して緻密化された銀−パラジウム合金粉末は
特定の合金の融点よりも有意に低い温度で製造された。
（実施例３〜５、７、１０、１３および１４）の走査電
子顕微鏡法（ＳＥＭ）および透過型電子顕微鏡法（ＴＥ
Ｍ）による検査は粒子が緻密で球形であることを示し
た。本発明のエーロゾル分解法により製造された銀−パ
ラジウム合金粉末は純粋で緻密な合着していない球形粒
子であり、またエーロゾル発生器および金属塩溶液の濃
度に応じて制御された粒度を有する。本発明により製造
された銀−パラジウム合金粉末は不純物、異形、凝集が
なく、または溶液沈殿により製造される銀−パラジウム
粉末で一般に見られる非合金混合物ではない。さらに、
十分に反応して緻密化された銀−パラジウム合金粉末は
特定の合金の融点よりも有意に低い温度で製造された。
【００２５】本発明の方法による銀−パラジウム合金粒
子は反応系が水性ＡｇＮＯ3およびＰｄ(ＮＯ3)2をベー
スにし、キャリヤーガスが窒素である場合、次の順序に
従って製造される： （１） エーロゾルを溶媒の蒸発温度以上に加熱する
と、エーロゾル小滴から溶媒が蒸発し、それによりＡｇ
ＮＯ3およびＰｄ(ＮＯ3)2の両方を含有する多孔性粒子
を生成し； （２） 粒子をさらに加熱すると、ＡｇＮＯ3が分解し
て多孔性Ａｇ粒子を、またＰｄ(ＮＯ3)2が分解して多孔
性ＰｄＯ粒子を生成し； （３） 温度の上昇を継続すると、ＰｄＯ粒子が分解し
てＰｄ粒子を生成し、それはＡｇ粒子と反応して合金を
生成し； （４） 反応炉中で残りの滞留時間の間に多孔性銀−パ
ラジウム合金粒子は十分に緻密化され、結晶化する。こ
の反応スキームの略図を図６に示す。
子は反応系が水性ＡｇＮＯ3およびＰｄ(ＮＯ3)2をベー
スにし、キャリヤーガスが窒素である場合、次の順序に
従って製造される： （１） エーロゾルを溶媒の蒸発温度以上に加熱する
と、エーロゾル小滴から溶媒が蒸発し、それによりＡｇ
ＮＯ3およびＰｄ(ＮＯ3)2の両方を含有する多孔性粒子
を生成し； （２） 粒子をさらに加熱すると、ＡｇＮＯ3が分解し
て多孔性Ａｇ粒子を、またＰｄ(ＮＯ3)2が分解して多孔
性ＰｄＯ粒子を生成し； （３） 温度の上昇を継続すると、ＰｄＯ粒子が分解し
てＰｄ粒子を生成し、それはＡｇ粒子と反応して合金を
生成し； （４） 反応炉中で残りの滞留時間の間に多孔性銀−パ
ラジウム合金粒子は十分に緻密化され、結晶化する。こ
の反応スキームの略図を図６に示す。
【図１】本実施例で使用される実験装置を示す図。
【図２】実施例１〜３および５で得られたＡｇ／Ｐｄ合
金粉末のＸ線回折パターンを示す図。
金粉末のＸ線回折パターンを示す図。
【図３】実施例８〜１０で得られたＡｇ／Ｐｄ合金粉末
のＸ線回折パターンを示す図。
のＸ線回折パターンを示す図。
【図４】実施例１１〜１３で得られたＡｇ／Ｐｄ合金粉
末のＸ線回折パターンを示す図。
末のＸ線回折パターンを示す図。
【図５】実施例１４で得られたＡｇ／Ｐｄ合金粉末のＸ
線回折パターンを示す図。
線回折パターンを示す図。
【図６】キャリヤーガスとして窒素を使用する水性Ａｇ
ＮＯ3およびＰｄ(ＮＯ3)2の反応スキームの略図。
ＮＯ3およびＰｄ(ＮＯ3)2の反応スキームの略図。
フロントページの続き (73)特許権者 593184385 ザ・ユニバーシテイ・オブ・ニユーメキ シコ ＴＨＥ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＯＦ ＮＥＷ ＭＥＸＩＣＯ アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87131 −6003．アルバカーキ．ノースイース ト．ローマストリート（番地なし) (72)発明者 ハワード・デイビツド・グリツクスマン アメリカ合衆国デラウエア州19807．ウ イルミントン．ハーレクドライブ20 (72)発明者 トイヴオ・タルモ・コーダス アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87122. アルバカーキ．ノースイースト．サンラ フイエルアベニユー11102 (72)発明者 タミー・キヤロル・プルイム アメリカ合衆国ミネソタ州56080．セン トクレア．ピー・オー・ボツクス225 (56)参考文献 特開 平５−311212（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−1807（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−5158（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−51162（ＪＰ，Ａ) Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｒｅｓｅａｒｃ ｈ Ｂｕｌｌｅｔｉｎ Ｖｏｌ．28，Ｎ ｏ．４，（1993）ＰＰ．369−376 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｅｒｏｓｏ ｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｖｏｌ．24，Ｓｕ ｐｐｌ１，（1993）ＰＰ．Ｓ327−Ｓ328 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B22F 9/30
Claims (3)
- 【請求項１】 Ａ．熱揮発性溶媒中に５０％以上の熱分
解性銀含有化合物と５０％以下の熱分解性パラジウム含
有化合物との混合物の不飽和溶液を生成させ、 Ｂ．キャリヤーガス中に分散させたＡ工程からの溶液の
微細な小滴から本質的になるエーロゾルであって、エー
ロゾル中の小滴濃度が小滴の衝突およびその後の合着に
より小滴濃度が１０％低下する濃度よりも低いエーロゾ
ルを生成させ、 Ｃ．エーロゾルを６００〜９００℃の操作温度である
が、銀−パラジウム合金の融点よりも低い温度に十分な
滞留時間で加熱し、それにより（１）溶媒を揮発させ、
（２）銀含有化合物とパラジウム含有化合物とを分解し
て純粋な相の銀−パラジウム合金の微粒子を生成させ、
そして（３）その微粒子を十分に緻密化する、そして Ｄ．銀−パラジウム合金の粒子を、キャリヤーガス、反
応副生物および溶媒の揮発生成物から分離する、 順次の工程からなる、純粋な相の十分に緻密化した銀−
パラジウム合金微粒子の製造法。 - 【請求項２】 Ａ．熱揮発性溶媒中に５０％より少ない
熱分解性銀含有化合物と５０％より多い熱分解性パラジ
ウム含有化合物との混合物の不飽和溶液を生成させ、 Ｂ．キャリヤーガス中に分散させたＡ工程からの溶液の
微細な小滴から本質的になるエーロゾルであって、エー
ロゾル中の小滴濃度が小滴の衝突およびその後の合着に
より小滴濃度が１０％低下する濃度よりも低いエーロゾ
ルを生成させ、 Ｃ．エーロゾルを８００〜１０００℃の操作温度である
が、銀−パラジウム合金の融点よりも低い温度に十分な
滞留時間で加熱し、それにより（１）溶媒を揮発させ、
（２）銀含有化合物とパラジウム含有化合物とを分解し
て純粋な相の銀−パラジウム合金の微粒子を生成させ、
そして（３）その微粒子を十分に緻密化する、そして Ｄ．銀−パラジウム合金の粒子を、キャリヤーガス、反
応副生物および溶媒の揮発生成物から分離する、 順次の工程からなる、純粋な相の十分に緻密化した銀−
パラジウム合金微粒子の製造法。 - 【請求項３】 キャリヤーガスが窒素である請求項１ま
たは２記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/177,831 US5429657A (en) | 1994-01-05 | 1994-01-05 | Method for making silver-palladium alloy powders by aerosol decomposition |
| US177831 | 1994-01-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07216417A JPH07216417A (ja) | 1995-08-15 |
| JP2814940B2 true JP2814940B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=22650137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7000193A Expired - Fee Related JP2814940B2 (ja) | 1994-01-05 | 1995-01-05 | エーロゾル分解による銀−パラジウム合金粉末の製造法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5429657A (ja) |
| EP (1) | EP0662521B1 (ja) |
| JP (1) | JP2814940B2 (ja) |
| KR (1) | KR0168639B1 (ja) |
| CN (1) | CN1094405C (ja) |
| DE (1) | DE69512942T2 (ja) |
| TW (1) | TW274531B (ja) |
Families Citing this family (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5861136A (en) * | 1995-01-10 | 1999-01-19 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for making copper I oxide powders by aerosol decomposition |
| DE19545455C1 (de) * | 1995-12-06 | 1997-01-23 | Degussa | Verfahren zur Herstellung von Edelmetallpulvern |
| JP3277823B2 (ja) * | 1996-09-25 | 2002-04-22 | 昭栄化学工業株式会社 | 金属粉末の製造方法 |
| US6660680B1 (en) | 1997-02-24 | 2003-12-09 | Superior Micropowders, Llc | Electrocatalyst powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6103393A (en) * | 1998-02-24 | 2000-08-15 | Superior Micropowders Llc | Metal-carbon composite powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6780350B1 (en) | 1997-02-24 | 2004-08-24 | Superior Micropowders Llc | Metal-carbon composite powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6679937B1 (en) * | 1997-02-24 | 2004-01-20 | Cabot Corporation | Copper powders methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6159267A (en) * | 1997-02-24 | 2000-12-12 | Superior Micropowders Llc | Palladium-containing particles, method and apparatus of manufacture, palladium-containing devices made therefrom |
| US7097686B2 (en) * | 1997-02-24 | 2006-08-29 | Cabot Corporation | Nickel powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US7625420B1 (en) * | 1997-02-24 | 2009-12-01 | Cabot Corporation | Copper powders methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6699304B1 (en) | 1997-02-24 | 2004-03-02 | Superior Micropowders, Llc | Palladium-containing particles, method and apparatus of manufacture, palladium-containing devices made therefrom |
| US6338809B1 (en) * | 1997-02-24 | 2002-01-15 | Superior Micropowders Llc | Aerosol method and apparatus, particulate products, and electronic devices made therefrom |
| US5928405A (en) * | 1997-05-21 | 1999-07-27 | Degussa Corporation | Method of making metallic powders by aerosol thermolysis |
| US6193936B1 (en) * | 1998-11-09 | 2001-02-27 | Nanogram Corporation | Reactant delivery apparatuses |
| US20030006517A1 (en) * | 1998-02-24 | 2003-01-09 | Kodas Toivo T. | Methods for the production of patterned and unpatterned metal-carbon features |
| US6967183B2 (en) * | 1998-08-27 | 2005-11-22 | Cabot Corporation | Electrocatalyst powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US20050097987A1 (en) * | 1998-02-24 | 2005-05-12 | Cabot Corporation | Coated copper-containing powders, methods and apparatus for producing such powders, and copper-containing devices fabricated from same |
| US7066976B2 (en) * | 1998-02-24 | 2006-06-27 | Cabot Corporation | Method for the production of electrocatalyst powders |
| US6753108B1 (en) | 1998-02-24 | 2004-06-22 | Superior Micropowders, Llc | Energy devices and methods for the fabrication of energy devices |
| SG94805A1 (en) * | 2000-05-02 | 2003-03-18 | Shoei Chemical Ind Co | Method for preparing metal powder |
| US6817088B1 (en) * | 2000-06-16 | 2004-11-16 | Watlow Electric Msg.C | Termination method for thick film resistance heater |
| DE10048516B4 (de) * | 2000-09-29 | 2006-01-05 | Fritz Curtius | Vorrichtung für Wärme- und Stoff-Austauschvorgänge |
| US6679938B1 (en) * | 2001-01-26 | 2004-01-20 | University Of Maryland | Method of producing metal particles by spray pyrolysis using a co-solvent and apparatus therefor |
| RU2226223C2 (ru) * | 2001-07-04 | 2004-03-27 | Завод материалов толстопленочной технологии ОАО "Аналог-Пасты" | Способ получения порошка сплава серебро-палладий |
| KR100653251B1 (ko) * | 2005-03-18 | 2006-12-01 | 삼성전기주식회사 | Ａｇ-Ｐｄ 합금 나노입자를 이용한 배선기판 제조방법 |
| JP4218067B2 (ja) | 2005-10-19 | 2009-02-04 | 昭栄化学工業株式会社 | レニウム含有合金粉末の製造方法 |
| US20100167051A1 (en) * | 2006-03-31 | 2010-07-01 | Goia Dan V | Process for Manufacture of Silver-Based Particles and Electrical Contact Materials |
| EP2083944A4 (en) * | 2006-10-24 | 2013-07-24 | Beneq Oy | DEVICE FOR PRODUCING NANOPARTICLES |
| JP4911593B2 (ja) * | 2006-11-06 | 2012-04-04 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 球状多孔質合金、球状多孔質合金複合体の製造方法 |
| KR20100066543A (ko) * | 2007-09-07 | 2010-06-17 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 은 및 은을 포함하지 않은 적어도 2가지의 원소를 함유하는 다-원소 합금 분말 |
| US8294024B2 (en) * | 2008-08-13 | 2012-10-23 | E I Du Pont De Nemours And Company | Processes for forming photovoltaic devices |
| US8840701B2 (en) * | 2008-08-13 | 2014-09-23 | E I Du Pont De Nemours And Company | Multi-element metal powders for silicon solar cells |
| US20100102700A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Abhishek Jaiswal | Flame spray pyrolysis with versatile precursors for metal oxide nanoparticle synthesis and applications of submicron inorganic oxide compositions for transparent electrodes |
| US8710355B2 (en) | 2008-12-22 | 2014-04-29 | E I Du Pont De Nemours And Company | Compositions and processes for forming photovoltaic devices |
| CA2814068A1 (en) * | 2009-10-14 | 2011-04-21 | The Administrators Of The Tulane Educational Fund | Novel multifunctional materials for in-situ environmental remediation of chlorinated hydrocarbons |
| EP2576207A2 (en) * | 2010-06-01 | 2013-04-10 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Method of making non-hollow, non-fragmented spherical metal or metal alloy particles |
| TWI616020B (zh) * | 2011-08-12 | 2018-02-21 | 應用材料股份有限公司 | 微粒合成之裝置及方法 |
| US9070944B2 (en) * | 2011-08-12 | 2015-06-30 | Applied Materials, Inc. | Particle synthesis apparatus and methods |
| JP5679204B2 (ja) * | 2011-09-02 | 2015-03-04 | 昭栄化学工業株式会社 | 金属粉末の製造方法、それにより製造された金属粉末、導体ペースト、セラミック積層電子部品 |
| DE112014000729T5 (de) | 2013-02-08 | 2015-10-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Stromloses Plattierungsverfahren und Keramiksubstrat |
| CN104399972A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-03-11 | 成都明日星辰科技有限公司 | 一种液相单分散银钯复合粉的制备方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1461176A (en) * | 1974-04-11 | 1977-01-13 | Plessey Inc | Method of producing powdered materials |
| JPS5311212A (en) * | 1976-07-16 | 1978-02-01 | Kiichi Taga | Single blade oscillating piston internal combustion engine |
| DE2929630C2 (de) * | 1979-07-21 | 1983-12-15 | Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen | Verfahren zur Herstellung von Silberpulver |
| JPS60139903A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | サ−ボ弁 |
| JPS60139904A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-24 | Bridgestone Corp | ニュ−マチックアクチュエ−タ |
| JPS621807A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-07 | Shoei Kagaku Kogyo Kk | 金属粉末の製造方法 |
| JPS62280308A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-05 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 銀−パラジウム合金微粉末の製造方法 |
| US4994107A (en) * | 1986-07-09 | 1991-02-19 | California Institute Of Technology | Aerosol reactor production of uniform submicron powders |
| US5250101A (en) * | 1991-04-08 | 1993-10-05 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Process for the production of fine powder |
| JPH05311212A (ja) * | 1992-05-01 | 1993-11-22 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | Ａｇ−Ｐｄ合金微粉末の製造方法 |
| TW256798B (ja) * | 1992-10-05 | 1995-09-11 | Du Pont | |
| TW261554B (ja) * | 1992-10-05 | 1995-11-01 | Du Pont | |
| US5292359A (en) * | 1993-07-16 | 1994-03-08 | Industrial Technology Research Institute | Process for preparing silver-palladium powders |
-
1994
- 1994-01-05 US US08/177,831 patent/US5429657A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-29 TW TW083112306A patent/TW274531B/zh not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-01-03 DE DE69512942T patent/DE69512942T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-03 EP EP95100044A patent/EP0662521B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-04 KR KR1019950000038A patent/KR0168639B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1995-01-05 JP JP7000193A patent/JP2814940B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-01-05 CN CN95101751A patent/CN1094405C/zh not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｅｒｏｓｏｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｖｏｌ．２４，Ｓｕｐｐｌ１，（１９９３）ＰＰ．Ｓ３２７−Ｓ３２８ |
| Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｂｕｌｌｅｔｉｎ Ｖｏｌ．２８，Ｎｏ．４，（１９９３）ＰＰ．３６９−３７６ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1112468A (zh) | 1995-11-29 |
| CN1094405C (zh) | 2002-11-20 |
| DE69512942D1 (de) | 1999-12-02 |
| US5429657A (en) | 1995-07-04 |
| EP0662521A2 (en) | 1995-07-12 |
| DE69512942T2 (de) | 2000-04-27 |
| TW274531B (ja) | 1996-04-21 |
| KR950023469A (ko) | 1995-08-18 |
| KR0168639B1 (ko) | 1999-01-15 |
| EP0662521B1 (en) | 1999-10-27 |
| JPH07216417A (ja) | 1995-08-15 |
| EP0662521A3 (en) | 1995-10-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2814940B2 (ja) | エーロゾル分解による銀−パラジウム合金粉末の製造法 | |
| JP2650838B2 (ja) | エアロゾル分解によるパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造法 | |
| JP2650837B2 (ja) | エアロゾル分解による銀粉末の製法 | |
| EP0761349B1 (en) | Method for making gold powders by aerosol decomposition | |
| KR100545821B1 (ko) | 고결정성 금속분말, 그 제조방법, 상기 금속분말을 포함하는 도체페이스트 및 도체페이스트를 사용한 세라믹적층 전자부품 | |
| US5928405A (en) | Method of making metallic powders by aerosol thermolysis | |
| EP2185304B1 (en) | Method for the production of a multi-element alloy powder containing silver and at least two non-silver containing elements | |
| KR19990037964A (ko) | 금속 분말 제조방법 | |
| KR100821450B1 (ko) | 니켈분말의 제조방법 | |
| EP0537502B1 (de) | Metall- und Metallegierungspulver in Form von mikrokristallinen, kugelförmigen und dichten Teilchen sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung der Pulver | |
| JP2004124257A (ja) | 金属銅微粒子及びその製造方法 | |
| EP0721919A1 (en) | Method for making copper (I) oxide powders by aerosol decomposition | |
| US8888889B2 (en) | Method of making non-hollow, non-fragmented spherical metal or metal alloy particles |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070814 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080814 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080814 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090814 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090814 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100814 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100814 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110814 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110814 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130814 Year of fee payment: 15 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |