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JP2848403B2 - ジアセチレン又はポリジアセチレンのエピタキシャル成長法 - Google Patents
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JP2848403B2 - ジアセチレン又はポリジアセチレンのエピタキシャル成長法 - Google Patents

ジアセチレン又はポリジアセチレンのエピタキシャル成長法

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JP2848403B2
JP2848403B2 JP19436189A JP19436189A JP2848403B2 JP 2848403 B2 JP2848403 B2 JP 2848403B2 JP 19436189 A JP19436189 A JP 19436189A JP 19436189 A JP19436189 A JP 19436189A JP 2848403 B2 JP2848403 B2 JP 2848403B2
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JP
Japan
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diacetylene
polydiacetylene
substrate
epitaxial growth
single crystal
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徹三 吉村
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 ジアセチレン又はポリジアセチレンのエピタキシャル
成長法に関し、 ミリオーダー以上の大面積にわたって、ジアセチレン
又はポリジアセチレンをエピタキシャル成長させること
を目的とし、 基板としてジアセチレン単結晶又はポリジアセチレン
単結晶を用いてジアセチレン又はポリジアセチレンをエ
ピタキシャル成長させるように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ジアセチレン又はポリジアセチレンのエピ
タキシャル成長法に関する。本発明に従ってエピタキシ
ャル成長させたジアセチレン又はポリジアセチレンは、
例えば光回路素子などとして有用である。
〔従来の技術〕
従来、有機分子線エピタキシー(MEB)法などを用い
てジアセチレンやポリジアセチレン薄膜の作製が行われ
ている。しかしながら、このようにして得られたジアセ
チレンやポリジアセチレンの薄膜はミクロンオーダーの
粒子からなる多結晶質であるため、例えば光導波時に散
乱して導波路として有効でなかった。また、基板のラビ
ング処理によって配向性の高い膜を得る試みもあるが、
この場合にも基板と水平方向の配向に限られ、また得ら
れた膜の平滑性も十分でないという問題があった。
〔発明が解決しようとする課題〕
従って、本発明は、前記した従来技術の問題点を解決
し、ミリオーダー以上の大面積にわたって、ジアセチレ
ン(DA)又はポリジアセチレン(PDA)をエピタキシャ
ル成長させることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に従えば、基板上にジアセチレン又はポリジア
セチレンをエピタキシャル成長させるにあたり、基板と
してジアセチレン単結晶又はポリジアセチレン単結晶を
用いてジアセチレン又はポリジアセチレンをエピタキシ
ャル成長させる。
〔作用〕
本発明に従えば、ジアセチレン又はポリジアセチレン
をエピタキシャル成長させる際に、基板としてジアセチ
レン又はポリジアセチレンの単結晶を用いることによっ
て基板上にミリオーダー以上の大面積のジアセチレン又
はポリジアセチレンの薄膜を効果的に成長させることが
できる。
〔実施例〕
第1図は、基板としてDA又はPDAの薄膜単結晶を用い
た例である。基板のDA又はPDA薄膜単結晶は、例えば溶
媒蒸発法、シェアー法などで形成する。
即ち、第1図において、有機薄膜装置は、例えば基板
ホルダー2、K−セル3及び光照射用窓4を備えた容器
又は真空ベルジャー1より成り、本発明に従って、基板
上に所望のDA又はPDAの膜をエピタキシャル成長させる
に際しては基板ホルダー2上に、例えば石英基板5を支
承し、これにDA又はPDAの単結晶薄膜5′を基板として
適当な方法で石英基板5上に成長させる。ついで、K−
セル3内にDAモノマー6を収容し、その際、光照射用窓
4より光を基板5に照射してエピタキシャル成長させて
もよい。
例えば、下記式(I)で表わされるDA R−C≡C−C≡C−R (I) の中で、例えば結晶成長が容易な などで形成すると1mm×1mmより大面積の薄膜単結晶が得
られる。
これによって本発明により有機MBE法により1mm×1mm
より大面積のDA又はPDAの薄膜をエピタキシャル成長さ
せることができる。このエピタキシャル成長は、例えば
10-8Torrの真空度において1〜10Å/分の成長速度で行
うことができる。この際基板5は、ポリマー化してもし
なくてもよいが、基板5を予めポリマー化すると、基板
の機械的及び化学的安定性が向上し、エピタキシャル成
長が良好に行えるようになる。エピタキシャル成長させ
る材料としては、基板5の材料と同一であっても、異な
っていてもよい。例えば単独では良質結晶ができにくい
ジアセチレンである式: のエピタキシャル成長や、その他各種ジアセチレンやポ
リジアセチレンをエピタキシャル成長させることができ
る。また、更に複数のK−セルから異なるモノマーを導
入するなどして、複数種類の材料からなる液晶エピタキ
シャル成長を成長させたり、ポリマー超格子を形成する
こともできる。
また基板結晶5の配向性をコントロールすることによ
り、エピタキシャル成長膜7の配向性をコントロールす
ることができる。
第2図は、基板5にバルク単結晶を用いた場合であ
り、第1図の場合と同様にエピタキシャル成長させるこ
とができる。
有機MBE法を用いるに際し、第1図及び第2図の態様
では光を照射しているが、更に電場によりモノマーを配
向させて行なうこともできる。
また、有機MBE法のみならず、溶液中デポジション法
などの他の公知方法によることもできる。
〔発明の効果〕
本発明に従えば、以上のような方法により、大面積の
エピタキシャル膜の成長がジアセチレン又はポリジアセ
チレンを用いて可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に従ってDA又はPDAをエピタキシャル成
長させるのに使用する装置の一例を示す図面であり、第
2図は本発明に従ってDA又はPDAをエピタキシャル成長
させるのに使用する装置の他の例を示す図面である。 1……容器又は真空ベルジャー 2……基板ホルダー 3……K−セル 4……光照射用窓 5……基板 6……モノマー 7……DA又はPDAのエピタキシャル成長膜

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板上にジアセチレン又はポリジアセチレ
    ンをエピタキシャル成長させるにあたり、基板としてジ
    アセチレン又はポリジアセチレンの単結晶を用いること
    を特徴とするジアセチレン又はポリジアセチレンのエピ
    タキシャル成長法。
JP19436189A 1989-07-28 1989-07-28 ジアセチレン又はポリジアセチレンのエピタキシャル成長法 Expired - Lifetime JP2848403B2 (ja)

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