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JP2848447B2 - Hermetic sealing of optical semiconductor device module - Google Patents
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JP2848447B2 - Hermetic sealing of optical semiconductor device module - Google Patents

Hermetic sealing of optical semiconductor device module

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JP2848447B2 JP8077057A JP7705796A JP2848447B2 JP 2848447 B2 JP2848447 B2 JP 2848447B2 JP 8077057 A JP8077057 A JP 8077057A JP 7705796 A JP7705796 A JP 7705796A JP 2848447 B2 JP2848447 B2 JP 2848447B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光半導体素子モジ
ュールの気密封止に関する。
The present invention relates to hermetically sealing an optical semiconductor device module.

【0002】[0002]

【従来の技術】光半導体素子モジュールにおいては、パ
ッケージが気密封止されていないと、モジュールの外部
から進入した湿気がモジュール内外の温度差により、光
半導体素子モジュール内部で結露する。特に、半導体レ
ーザを電子冷却素子により温度制御を行う冷却型光半導
体素子モジュールの場合には、電子冷却素子により半導
体レーザや光学系構成部品が冷却されているため、特に
結露が発生しやすい。
2. Description of the Related Art In an optical semiconductor device module, if a package is not hermetically sealed, moisture entering from the outside of the module condenses inside the optical semiconductor device module due to a temperature difference between the inside and outside of the module. In particular, in the case of a cooled optical semiconductor device module in which the temperature of a semiconductor laser is controlled by an electronic cooling device, dew condensation is particularly likely to occur because the semiconductor laser and optical components are cooled by the electronic cooling device.

【0003】光半導体素子モジュールの内部で結露が発
生すると次の障害が発生する。まず、レンズや光ファイ
バ端面等に結露すると、光半導体素子と光ファイバ間の
結合損失が増加する。また、光半導体素子等の電極間に
結露すると、電気的な短絡により動作不良を生じる。こ
れらの問題を解決するために光半導体素子モジュールに
おいては、気密封止が行われている。
When dew condensation occurs inside the optical semiconductor element module, the following trouble occurs. First, when condensation forms on a lens or an end face of an optical fiber, coupling loss between the optical semiconductor element and the optical fiber increases. Further, when dew forms between electrodes of an optical semiconductor element or the like, an operation failure occurs due to an electric short circuit. In order to solve these problems, the optical semiconductor element module is hermetically sealed.

【0004】図3は、従来の光半導体素子モジュールの
気密封止構造の一例を示す縦断面図である。この気密封
止構造は、パッケージ1に設けられた光ファイバ導出孔
2、光ファイバ3、及びハンダ4から構成されている。
光ファイバ導出孔2の内面と光ファイバ3の表面にはそ
れぞれ金メッキ等のメタライズが施されている。ハンダ
4を高周波加熱用電極20による高周波加熱等で溶融
し、光ファイバ導出孔2の内面のメタライズ部2bと光
ファイバ3のメタライズ部3aをハンダ4で接合するこ
とで気密封止を行う。
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing an example of a conventional hermetically sealed structure of an optical semiconductor element module. The hermetic sealing structure includes an optical fiber lead-out hole 2, an optical fiber 3, and a solder 4 provided in a package 1.
The inner surface of the optical fiber lead-out hole 2 and the surface of the optical fiber 3 are metallized such as gold plating. The solder 4 is melted by high-frequency heating by the high-frequency heating electrode 20 or the like, and the metallized portion 2b on the inner surface of the optical fiber lead-out hole 2 and the metallized portion 3a of the optical fiber 3 are joined with the solder 4 to perform hermetic sealing.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】この従来の気密封止技
術では、光ファイバのハンダ付け部分に、部分的な金メ
ッキ等のメタライズ処理を行う必要がある。そのため、
光ファイバの製造コストが高くなり、結果として光半導
体素子モジュールが高価になるという問題がある。
In this conventional hermetic sealing technique, it is necessary to partially metalize the soldered portion of the optical fiber with gold plating or the like. for that reason,
There is a problem in that the manufacturing cost of the optical fiber increases, and as a result, the optical semiconductor element module becomes expensive.

【0006】また、ハンダ凝固の際、光ファイバに余分
な残留応力が残る。環境温度が変動するとパッケージの
熱膨張・熱収縮によって、更に光ファイバに応力が集中
し、光ファイバの光伝送損失が大きくなったり、最悪の
場合、光ファイバが破断する。
Further, during the solidification of the solder, an extra residual stress remains in the optical fiber. When the environmental temperature fluctuates, the stress is further concentrated on the optical fiber due to the thermal expansion and contraction of the package, and the optical transmission loss of the optical fiber increases, or in the worst case, the optical fiber breaks.

【0007】それ故に本発明の課題は、光ファイバへの
応力集中を排除しつつ気密封止を行った製作が容易で安
価な光半導体素子モジュールを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an easy-to-manufacture and inexpensive optical semiconductor element module in which airtight sealing is performed while eliminating stress concentration on an optical fiber.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、光ファ
イバ導出孔を通して光ファイバをパッケージ外部に引き
出している光半導体素子モジュールの気密封止構造にお
いて、前記光ファイバ導出孔の内壁と前記光ファイバと
の間に、発泡時に独立気泡を発生する発泡性プラスチッ
ク母材及び発泡剤を注入し、前記光ファイバ導出孔内で
発泡させることで、発泡したプラスチックを前記光ファ
イバに及び前記光ファイバ導出孔内壁に密着させる構造
であり、前記発泡性プラスチック母材及び前記発泡剤の
うちの少なくとも一方に吸水性高分子粒を配合し、プラ
スチックの発泡時に前記吸水性高分子粒を前記ファイバ
導出孔内に均一に分散させたことを特徴とする光半導体
素子モジュールの気密封止構造が得られる。
According to the present invention, in an airtight sealing structure of an optical semiconductor device module in which an optical fiber is drawn out of a package through an optical fiber lead-out hole, an inner wall of the optical fiber lead-out hole and the light By injecting a foamable plastic base material and a foaming agent that generate closed cells at the time of foaming between the fiber and the foam, and foaming in the optical fiber lead-out hole, the foamed plastic is introduced into the optical fiber and the optical fiber is led out. A structure in which the water-absorbing polymer particles are mixed with at least one of the expandable plastic base material and the foaming agent, and the water-absorbing polymer particles are filled in the fiber lead-out hole when plastic is foamed. Thus, an airtight sealing structure of the optical semiconductor element module characterized by being uniformly dispersed is obtained.

【0009】また本発明によれば、光ファイバ導出孔を
通して光ファイバをパッケージ外部に引き出している光
半導体素子モジュールにおいて、前記光ファイバ導出孔
の内壁と光ファイバと間に、発泡時に独立気泡を発生す
る発泡性プラスチック母材及び発泡剤のうちの少なくと
も一方に吸水性高分子粒を配合したものを注入し、前記
光ファイバ導出孔内で前記発泡性プラスチック母材を発
泡させ、発泡したプラスチックを前記光ファイバに及び
前記光ファイバ導出孔の内壁に密着させて前記光ファイ
バ導出孔の気密封止を行ったことを特徴とする光半導体
素子モジュールが得られる。
Further, according to the present invention, in an optical semiconductor device module in which an optical fiber is drawn out of a package through an optical fiber lead-out hole, closed cells are generated between the inner wall of the optical fiber lead-out hole and the optical fiber when foaming. A foamed plastic matrix is injected into at least one of the foamable plastic matrix and the foaming agent, and the foamed plastic matrix is foamed in the optical fiber lead-out hole. An optical semiconductor element module is obtained in which the optical fiber lead-out hole is hermetically sealed by being brought into close contact with the optical fiber and the inner wall of the optical fiber lead-out hole.

【0010】また本発明によれば、光ファイバ導出孔を
通して光ファイバをパッケージ外部に引き出している光
半導体素子モジュールの封止方法において、前記光ファ
イバ導出孔の内壁と光ファイバと間に、発泡時に独立気
泡を発生する発泡性プラスチック母材及び発泡剤のうち
の少なくとも一方に吸水性高分子粒を配合したものを注
入すること、及び前記光ファイバ導出孔内で前記発泡性
プラスチック母材を発泡させ、発泡したプラスチックを
前記光ファイバに及び前記光ファイバ導出孔の内壁に密
着させて前記光ファイバ導出孔の気密封止を行うことを
含むことを特徴とする光半導体素子モジュールの封止方
法が得られる。
According to the present invention, there is provided a method for sealing an optical semiconductor element module in which an optical fiber is drawn out of a package through an optical fiber lead-out hole. Injecting a mixture of water-absorbing polymer particles into at least one of a foaming plastic base material and a foaming agent that generates closed cells, and foaming the foaming plastic base material in the optical fiber outlet hole. Sealing the optical fiber lead-out hole by bringing foamed plastic into close contact with the optical fiber and the inner wall of the optical fiber lead-out hole, thereby obtaining an optical semiconductor element module sealing method. Can be

【0011】[0011]

【作用】光半導体素子モジュールの光ファイバ導出部に
おいて、注入口より、発泡時に独立気泡を発生する発泡
性プラスチック母材及び発泡剤を光ファイバ導出孔に注
入し、発泡させる。発泡によって光ファイバの外周とフ
ァイバ導出孔の内壁間を隙間なく充填し、光ファイバの
外周とプラスチック間及び光ファイバ導出孔内壁とプラ
スチック間を密着させ、多湿な空気の進入を防止する。
同時に、発泡性プラスチック及び又は発泡剤に吸水性高
分子粒を配合することで、発泡時に吸水性高分子粒を光
ファイバ導出孔内に均一に分散させ、発泡したプラスチ
ックに僅かに浸透する空気中の水分を吸収する。その
際、吸水性高分子粒は水分子を吸収して膨潤するが、軟
らかい発泡したプラスチックで覆われているので、吸水
性高分子粒の体積変化は妨げられず、常に吸水性を保持
でき、より高い気密封止が可能になる。
In the optical fiber lead-out portion of the optical semiconductor element module, a foamable plastic base material and a foaming agent that generate closed cells when foaming are injected into the optical fiber lead-out hole from the injection port and foamed. By foaming, the outer circumference of the optical fiber and the inner wall of the fiber lead-out hole are filled without gaps, and the outer circumference of the optical fiber and the plastic are brought into close contact with each other, and the inner wall of the optical fiber lead-out hole and the plastic are brought into close contact to prevent humid air from entering.
At the same time, by blending the water-absorbing polymer particles with the foamable plastic and / or the foaming agent, the water-absorbing polymer particles are evenly dispersed in the optical fiber lead-out hole at the time of foaming, so that the air-permeable plastic slightly penetrates the foamed plastic. Absorbs moisture. At that time, the water-absorbing polymer particles absorb water molecules and swell, but because they are covered with soft foamed plastic, the volume change of the water-absorbing polymer particles is not hindered and can always maintain water absorption, Higher hermetic sealing is possible.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】次に図面を参照して本発明を詳細
に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0013】図1は、本発明の実施の一形態である光半
導体素子モジュールの光ファイバ導出部を示す縦断面図
である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an optical fiber lead-out portion of an optical semiconductor device module according to an embodiment of the present invention.

【0014】光半導体素子モジュールパッケージ1の光
ファイバ導出部は、両側が光ファイバ3の外径より僅か
に大きい内径を有するファイバ導出孔2を備えている。
このファイバ導出孔2を通して光ファイバ3が導出され
ている。
The optical fiber lead-out portion of the optical semiconductor element module package 1 has a fiber lead-out hole 2 having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the optical fiber 3 on both sides.
The optical fiber 3 is led out through the fiber lead-out hole 2.

【0015】光ファイバ導出孔2には、注入用ノズル2
1,22を用いて注入口2cより、吸水性高分子粒7が
配合された発泡性プラスチック母材5aと発泡剤5bと
を注入し、発泡させる。この結果、光ファイバ導出孔2
の全体に発泡済みプラスチック5cが吸水性高分子粒7
を均一に分散した状態で充填され、光ファイバ3の外周
面に及び光ファイバ導出孔2の内壁2dに密着する。更
に吸水性高分子粒7は軟らかい発泡済みプラスチック5
cで覆われる。また発泡済みプラスチック5cには気泡
6も勿論発生する。
The optical fiber outlet hole 2 has an injection nozzle 2
The foamable plastic base material 5a containing the water-absorbing polymer particles 7 and the foaming agent 5b are injected from the injection port 2c using the inlets 1 and 22, and foamed. As a result, the optical fiber outlet hole 2
Foamed plastic 5c is made of water-absorbing polymer particles 7
Is filled in a state of being uniformly dispersed, and adheres to the outer peripheral surface of the optical fiber 3 and the inner wall 2 d of the optical fiber lead-out hole 2. Further, the water-absorbing polymer particles 7 are made of soft foamed plastic 5
c. In addition, bubbles 6 are naturally generated in the foamed plastic 5c.

【0016】図2に示すように、一方の注入用ノズル2
1は吸水性高分子粒7を配合した発泡性プラスチック母
材5aを注入口2cより注入するためのものである。他
方の注入用ノズル22は吸水性高分子粒7を配合した発
泡剤5bを注入口2cより注入するためのものである。
As shown in FIG. 2, one injection nozzle 2
1 is for injecting the foamable plastic base material 5a containing the water-absorbing polymer particles 7 from the injection port 2c. The other injection nozzle 22 is for injecting the foaming agent 5b containing the water-absorbing polymer particles 7 from the injection port 2c.

【0017】発泡したプラスチック5cは光ファイバ3
及びファイバ導出孔2の内壁2dに密着する。したがっ
て、モジュール外部の多湿な空気がモジュール内部へ進
入することは阻止もしくは抑制される。即ち、光半導体
素子モジュールの光ファイバ導出部は気密封止される。
The foamed plastic 5c is the optical fiber 3
And the inner wall 2 d of the fiber outlet hole 2. Therefore, humid air outside the module is prevented or suppressed from entering the inside of the module. That is, the optical fiber lead-out portion of the optical semiconductor element module is hermetically sealed.

【0018】更に、発泡したプラスチック5cには吸水
性高分子粒7が配合されているため、発泡したプラスチ
ックに浸透する僅かな空気中の水分は吸水性高分子粒7
に吸収される。したがって、吸水性高分子粒7は、水分
を含まない吸水性高分子粒7bから水分を吸収した吸水
性高分子粒7aに変化し、モジュール内部への水分の進
入を防止する作用を高める。
Further, since the foamed plastic 5c is blended with the water-absorbing polymer particles 7, the slight amount of moisture in the air that permeates the foamed plastic is reduced by the water-absorbing polymer particles 7.
Is absorbed by Therefore, the water-absorbing polymer particles 7 change from the water-absorbing polymer particles 7b containing no water to the water-absorbing polymer particles 7a that have absorbed water, and enhance the effect of preventing the entry of water into the module.

【0019】なお吸水性高分子粒7は、発泡性プラスチ
ック母材5aにのみ配合されていてもよいし、発泡剤5
bにのみ配合されていてもよいし、またこれらの両方に
配合されていてもよく、即ち、これらのうちの少なくと
も一方に配合されていればよい。
The water-absorbing polymer particles 7 may be incorporated only into the foamable plastic base material 5a,
b may be blended only, or both may be blended, that is, it may be blended in at least one of these.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
光ファイバと光ファイバ導出孔との間に、独立気泡を有
する発泡したプラスチックを充填し、そのプラスチック
に吸水性高分子粒を発泡剤に分散させることにより、モ
ジュール内への多湿な空気の進入を防止し、光学系ユニ
ットや光半導体素子の電極間の結露を防止することがで
きる。そして、パッケージの熱膨張・熱収縮に起因する
光ファイバへの熱応力は、発泡したプラスチックが弾性
変形することで緩和可能である。
As described above, according to the present invention,
Filling the foamed plastic with closed cells between the optical fiber and the optical fiber lead-out hole, and dispersing the water-absorbing polymer particles in the foaming agent in the plastic prevents the humid air from entering the module. This can prevent dew condensation between the electrodes of the optical system unit and the optical semiconductor element. The thermal stress on the optical fiber caused by the thermal expansion / contraction of the package can be reduced by elastically deforming the foamed plastic.

【0021】また、発泡性プラスチック母材及び発泡剤
に予め吸水性高分子粒を配合してからファイバ導出孔に
注入し、発泡させるだけであるので、接着剤の塗布や熱
硬化工程での予圧工程等が不要で、また光ファイバにも
金属皮膜の付着等の予備処理も不要であるので、製作が
容易で安価になるという利点を有する。
In addition, since the water-absorbing polymer particles are preliminarily blended into the foamable plastic base material and the foaming agent, and then injected into the fiber lead-out hole and foamed, the pre-compression in the application of the adhesive or the heat curing process is performed. Since there is no need for a step or the like and no pretreatment such as adhesion of a metal film to the optical fiber is required, there is an advantage that the production is easy and the cost is low.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の一形態である光半導体素子モジ
ュールの光ファイバ導出部の縦断面図。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an optical fiber lead-out portion of an optical semiconductor element module according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の要部拡大図。FIG. 2 is an enlarged view of a main part of FIG.

【図3】従来の光半導体素子モジュールの光ファイバ導
出部の一例を示す縦断面図。
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing an example of an optical fiber lead-out part of a conventional optical semiconductor element module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光半導体素子モジュールパッケージ 2 光ファイバ導出孔 2c 注入口 2d 光ファイバ導出孔の内壁 3 光ファイバ 5a 発泡性プラスチック母材 5b 発泡剤 5c 発泡済みプラスチック 6 気泡 7 吸水性高分子粒 7a 水分を吸収した吸水性高分子粒 7b 水分を含まない吸水性高分子粒 20 高周波加熱用電極 21,22 注入用ノズル Reference Signs List 1 optical semiconductor element module package 2 optical fiber lead-out hole 2c inlet 2d inner wall of optical fiber lead-out hole 3 optical fiber 5a foamable plastic base material 5b foaming agent 5c foamed plastic 6 bubble 7 water-absorbing polymer particles 7a absorbed water Water-absorbing polymer particles 7b Water-absorbing polymer particles containing no water 20 Electrode for high frequency heating 21, 22 Injection nozzle

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光ファイバ導出孔を通して光ファイバを
パッケージ外部に引き出している光半導体素子モジュー
ルの気密封止構造において、前記光ファイバ導出孔の内
壁と前記光ファイバとの間に、発泡時に独立気泡を発生
する発泡性プラスチック母材及び発泡剤を注入し、前記
光ファイバ導出孔内で発泡させることで、発泡したプラ
スチックを前記光ファイバに及び前記光ファイバ導出孔
内壁に密着させる構造であり、前記発泡性プラスチック
母材及び前記発泡剤のうちの少なくとも一方に吸水性高
分子粒を配合し、プラスチックの発泡時に前記吸水性高
分子粒を前記ファイバ導出孔内に均一に分散させたこと
を特徴とする光半導体素子モジュールの気密封止構造。
In an airtight sealing structure of an optical semiconductor device module in which an optical fiber is drawn out of a package through an optical fiber lead-out hole, a closed cell is formed between the inner wall of the optical fiber lead-out hole and the optical fiber when foaming. Injecting a foamable plastic base material and a foaming agent that generates a foam, and foaming in the optical fiber lead-out hole, a structure in which the foamed plastic is brought into close contact with the optical fiber and the inner wall of the optical fiber lead-out hole, Water-absorbing polymer particles are blended into at least one of the expandable plastic base material and the foaming agent, and the water-absorbing polymer particles are uniformly dispersed in the fiber lead-out hole during foaming of the plastic. Hermetically sealed structure of an optical semiconductor element module.
【請求項2】 光ファイバ導出孔を通して光ファイバを
パッケージ外部に引き出している光半導体素子モジュー
ルにおいて、前記光ファイバ導出孔の内壁と光ファイバ
と間に、発泡時に独立気泡を発生する発泡性プラスチッ
ク母材及び発泡剤のうちの少なくとも一方に吸水性高分
子粒を配合したものを注入し、前記光ファイバ導出孔内
で前記発泡性プラスチック母材を発泡させ、発泡したプ
ラスチックを前記光ファイバに及び前記光ファイバ導出
孔の内壁に密着させて前記光ファイバ導出孔の気密封止
を行ったことを特徴とする光半導体素子モジュール。
2. An optical semiconductor device module in which an optical fiber is drawn out of a package through an optical fiber lead-out hole, wherein a foamable plastic mother member that generates closed cells when foaming is formed between an inner wall of the optical fiber lead-out hole and the optical fiber. A mixture of at least one of a material and a foaming agent with water-absorbing polymer particles is injected, the foamable plastic base material is foamed in the optical fiber lead-out hole, and the foamed plastic is applied to the optical fiber. An optical semiconductor element module, wherein the optical fiber lead-out hole is hermetically sealed by closely contacting an inner wall of the optical fiber lead-out hole.
【請求項3】 前記吸水性高分子粒がファイバ導出孔内
に均一に分散している請求項2記載の光半導体素子モジ
ュール。
3. The optical semiconductor device module according to claim 2, wherein the water-absorbing polymer particles are uniformly dispersed in the fiber outlet hole.
【請求項4】 光ファイバ導出孔を通して光ファイバを
パッケージ外部に引き出している光半導体素子モジュー
ルの封止方法において、前記光ファイバ導出孔の内壁と
光ファイバと間に、発泡時に独立気泡を発生する発泡性
プラスチック母材及び発泡剤のうちの少なくとも一方に
吸水性高分子粒を配合したものを注入すること、及び前
記光ファイバ導出孔内で前記発泡性プラスチック母材を
発泡させ、発泡したプラスチックを前記光ファイバに及
び前記光ファイバ導出孔の内壁に密着させて前記光ファ
イバ導出孔の気密封止を行うことを含むことを特徴とす
る光半導体素子モジュールの封止方法。
4. A method for sealing an optical semiconductor element module in which an optical fiber is drawn out of a package through an optical fiber lead-out hole, wherein a closed cell is generated between the inner wall of the optical fiber lead-out hole and the optical fiber during foaming. Injecting a mixture of water-absorbing polymer particles into at least one of a foamable plastic base material and a foaming agent, and foaming the foamable plastic base material in the optical fiber lead-out hole, to form a foamed plastic. A method for sealing an optical semiconductor element module, comprising: sealing the optical fiber lead-out hole by hermetically contacting the optical fiber and the inner wall of the optical fiber lead-out hole.
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