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JP2853622B2 - Gas measurement device - Google Patents
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JP2853622B2 - Gas measurement device - Google Patents

Gas measurement device

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JP2853622B2
JP2853622B2 JP32289395A JP32289395A JP2853622B2 JP 2853622 B2 JP2853622 B2 JP 2853622B2 JP 32289395 A JP32289395 A JP 32289395A JP 32289395 A JP32289395 A JP 32289395A JP 2853622 B2 JP2853622 B2 JP 2853622B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は気体中の匂い物質等
を水晶振動子若しくは表面弾性波素子を用いて測定する
ガス測定装置に関し、特に匂いセンサの感度を飛躍的に
向上させることが可能なガス測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas measuring apparatus for measuring an odor substance or the like in a gas using a quartz oscillator or a surface acoustic wave device, and in particular, it is possible to dramatically improve the sensitivity of an odor sensor. It relates to a gas measuring device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のガス測定装置はATカット水晶振
動子や表面弾性波素子の表面にガス吸着膜を形成し、こ
のガス吸着膜に匂い分子が吸着した際に生じる膜の質量
変化を、振動子等の共振周波数変化として検出すること
により、匂いの濃度を検出していた。
2. Description of the Related Art A conventional gas measuring apparatus forms a gas adsorption film on the surface of an AT-cut quartz crystal resonator or a surface acoustic wave device, and detects a change in mass of the film caused when an odor molecule is adsorbed on the gas adsorption film. The concentration of the odor is detected by detecting the change in the resonance frequency of the vibrator or the like.

【0003】このような従来の一例としては、例えば、
本願出願人他の出願に係る「特願平5ー304940」
がある。
[0003] As one example of such a conventional technique, for example,
“Japanese Patent Application No. 5-304940” related to the applicant's other application
There is.

【0004】前記「特願平5ー304940」において
は、匂い物質の吸着膜の構成物質であるポリ塩化ビニル
(以下、PVCと呼ぶ。)、可塑剤及び脂質の組み合わ
せを適宜選択することにより、より多くの匂い物質を検
出することができ、また、検出したい匂い物質を選択的
に検出することを可能にしている。
In Japanese Patent Application No. 5-304940, a combination of polyvinyl chloride (hereinafter referred to as PVC), a plasticizer and a lipid, which are constituents of an adsorbing film for an odorant, is appropriately selected. More odor substances can be detected, and the odor substance to be detected can be selectively detected.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記「特願平
5ー304940」では匂い物質の吸着膜と被測定ガス
の組み合わせにより、吸着膜に吸着する匂い物質の量が
ある程度決まってしまうためセンサ感度を飛躍的に向上
させることは困難であると言った問題点がある。従って
本発明が解決しようとする課題は、匂いセンサの感度を
飛躍的に向上させることが可能なガス測定装置を実現す
ることにある。
However, in Japanese Patent Application No. 5-304940, the amount of the odor substance adsorbed on the adsorption film is determined to some extent by the combination of the odor substance adsorption film and the gas to be measured. There is a problem that it is difficult to dramatically improve the sensitivity. Therefore, an object of the present invention is to realize a gas measurement device capable of dramatically improving the sensitivity of an odor sensor.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明の第1では、ガス吸着膜への匂い物質
の吸着による共振周波数の変化に基づき前記匂い物質を
検出するガス測定装置において、被測定ガスを冷却する
第1の冷却器と、前記ガス吸着膜が設けられた水晶振動
子若しくは表面弾性波素子から構成される匂いセンサ
と、この匂いセンサを冷却する第2の冷却器と、前記匂
いセンサの出力に基づき前記匂い物質の濃度を測定する
測定回路とを備えたことを特徴とするものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a gas measuring method for detecting an odorous substance based on a change in resonance frequency due to adsorption of an odorous substance on a gas adsorption film. In the apparatus, a first cooler for cooling a gas to be measured, an odor sensor including a quartz oscillator or a surface acoustic wave element provided with the gas adsorption film, and a second cooling for cooling the odor sensor And a measuring circuit for measuring the concentration of the odorant based on the output of the odor sensor.

【0007】本発明の第2では、本発明の第1において
被測定ガスを冷却する第1の冷却器の前段に除湿器を備
えたことを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, a dehumidifier is provided before the first cooler for cooling the gas to be measured.

【0008】本発明の第3では、ガス吸着膜への匂い物
質の吸着による共振周波数の変化に基づき前記匂い物質
を検出するガス測定装置において、水晶振動子若しくは
表面弾性波素子と、この水晶振動子若しくは表面弾性波
素子に設けられたポリ塩化ビニル及びフタル酸ジイソデ
シルから形成されるガス吸着膜とから構成される匂いセ
ンサを備えたことを特徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, in a gas measuring device for detecting an odorous substance based on a change in resonance frequency due to adsorption of an odorous substance to a gas adsorption film, a quartz oscillator or a surface acoustic wave element, And an odor sensor comprising a gas adsorption film formed of polyvinyl chloride and diisodecyl phthalate provided on the element or the surface acoustic wave element.

【0009】本発明の第4では、本発明の第1及び第2
においてガス吸着膜としてポリ塩化ビニル及びフタル酸
ジイソデシルから構成されるガス吸着膜を用いたことを
特徴とするものである。
In a fourth aspect of the present invention, the first and second aspects of the present invention are provided.
Wherein a gas adsorption film composed of polyvinyl chloride and diisodecyl phthalate is used as the gas adsorption film.

【0010】[0010]

【作用】ガス冷却器及びセンサセル冷却器を用いてガス
の測定に際し被測定ガス及び匂いセンサを冷却すること
により、匂いセンサの感度を飛躍的に向上させることが
可能になる。また、ガス冷却器の前段に除湿器を設ける
ことにより、被測定ガスの冷却に伴う結露等による匂い
センサの誤動作防止が可能になる。
The sensitivity of the odor sensor can be dramatically improved by cooling the gas to be measured and the odor sensor when measuring the gas using the gas cooler and the sensor cell cooler. In addition, by providing a dehumidifier in front of the gas cooler, it becomes possible to prevent malfunction of the odor sensor due to dew condensation or the like accompanying cooling of the gas to be measured.

【0011】さらに、匂い吸着膜をPVC及びDIDP
により構成することにより、応答特性を損なうことなく
保存等による感度低下を防止することが可能になる。
Further, the odor adsorbing film is made of PVC and DIDP.
With this configuration, it is possible to prevent a decrease in sensitivity due to storage or the like without impairing response characteristics.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図1は本発明に係るガス測定装置の一実施例
を示す構成ブロック図である。図1において1は吸気
口、2はポンプ、3は除湿器、4はガス冷却器、5はセ
ンサセル、6は水晶振動子式等の匂いセンサ、7はセン
サセル冷却器、8は測定回路、9は排気口、100は出
力信号である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration block diagram showing one embodiment of the gas measuring device according to the present invention. In FIG. 1, 1 is an intake port, 2 is a pump, 3 is a dehumidifier, 4 is a gas cooler, 5 is a sensor cell, 6 is an odor sensor such as a quartz oscillator type, 7 is a sensor cell cooler, 8 is a measurement circuit, 9 Is an exhaust port, and 100 is an output signal.

【0013】吸気口1はポンプ2の吸気端に接続され、
ポンプ2の出力ガスは除湿器3に供給される。除湿器3
の出力ガスはガス冷却器4に供給され、ガス冷却器4の
出力ガスはセンサセル5に供給される。
An intake port 1 is connected to an intake end of a pump 2,
The output gas of the pump 2 is supplied to the dehumidifier 3. Dehumidifier 3
Is supplied to the gas cooler 4, and the output gas of the gas cooler 4 is supplied to the sensor cell 5.

【0014】センサセル5の内部には匂いセンサ6が設
けられ、センサセル5の出力ガスは排気口9に接続され
る。また、センサセル5にはセンサセル冷却器7が設け
られ、匂いセンサ6の出力信号は測定回路8に接続さ
れ、出力信号100として測定回路8から出力される。
An odor sensor 6 is provided inside the sensor cell 5, and an output gas of the sensor cell 5 is connected to an exhaust port 9. Further, the sensor cell 5 is provided with a sensor cell cooler 7, and the output signal of the odor sensor 6 is connected to the measurement circuit 8 and output from the measurement circuit 8 as an output signal 100.

【0015】ここで、図1に示す実施例の動作を図2を
用いて説明する。図2は温度に対するPVCブレンド脂
質膜へのアミルアセテート分子の吸着量を示す特性曲線
図である。
The operation of the embodiment shown in FIG. 1 will now be described with reference to FIG. FIG. 2 is a characteristic curve diagram showing the amount of adsorbed amyl acetate molecules on the PVC-blended lipid membrane with respect to temperature.

【0016】まず、ポンプ2は吸気口1から被測定ガス
を吸引して除湿器3に導入する。この除湿器3には例え
ば膜式除湿器等が用いられ、導入された被測定ガス中に
含まれる水分を取り除く。
First, the pump 2 sucks the gas to be measured from the intake port 1 and introduces it into the dehumidifier 3. For example, a film type dehumidifier is used as the dehumidifier 3 to remove moisture contained in the introduced gas to be measured.

【0017】除湿器3から出力される被測定ガスはガス
冷却器4に供給される。このガス冷却器4は例えばペル
チェ素子等を用いて構成され、供給された被測定ガスの
温度を”0度”に冷却する。
The measured gas output from the dehumidifier 3 is supplied to a gas cooler 4. The gas cooler 4 is configured by using, for example, a Peltier element or the like, and cools the temperature of the supplied gas to be measured to “0 degrees”.

【0018】一方、センサセル5もペルチェ素子等で構
成されたセンサセル冷却器7により被測定ガスの温度と
同じ”0度”に冷却されており、この中にガス冷却器4
の出力ガスが供給される。また、排気口9からは被測定
ガスが順次排気される。
On the other hand, the sensor cell 5 is also cooled to the same "0 degree" as the temperature of the gas to be measured by the sensor cell cooler 7 composed of a Peltier element or the like.
Is supplied. The gas to be measured is sequentially exhausted from the exhaust port 9.

【0019】被測定ガス中の匂い物質はセンサセル5内
に設けられた匂いセンサ6のガス吸着膜に吸着して、匂
いセンサ6の共振周波数を変化させる。この共振周波数
変化を測定回路8は検出して出力信号100として外部
に出力する。
The odor substance in the gas to be measured is adsorbed on the gas adsorption film of the odor sensor 6 provided in the sensor cell 5, and changes the resonance frequency of the odor sensor 6. The measurement circuit 8 detects this resonance frequency change and outputs it as an output signal 100 to the outside.

【0020】ガスの測定環境としては通常室温程度で行
われるが図2から分かるように匂いセンサ6の温度を低
くすると匂いセンサ6(PVCブレンド膜)への匂い物
質(アミルアセテート分子)の吸着量が増加する。
The gas measurement environment is usually performed at about room temperature. As can be seen from FIG. 2, when the temperature of the odor sensor 6 is lowered, the amount of odor substances (amyl acetate molecules) adsorbed on the odor sensor 6 (PVC blend film) is reduced. Increase.

【0021】例えば、匂いセンサ6の温度が”0度”の
場合、”40度”の場合と比較して約20倍程度吸着量
が増加する。言い換えれば、匂いセンサ6の感度が20
倍程度向上することになる。
For example, when the temperature of the odor sensor 6 is "0 degree", the amount of adsorption increases about 20 times as compared with the case where the temperature is "40 degree". In other words, the sensitivity of the odor sensor 6 is 20
About twice as much.

【0022】この結果、ガス冷却器4及びセンサセル冷
却器7を用いてガスの測定に際し被測定ガス及び匂いセ
ンサ6を冷却することにより、匂いセンサ6の感度を飛
躍的に向上させることが可能になる。
As a result, the sensitivity of the odor sensor 6 can be significantly improved by cooling the gas to be measured and the odor sensor 6 when measuring the gas using the gas cooler 4 and the sensor cell cooler 7. Become.

【0023】また、ガス冷却器4の前段に除湿器3を設
けることにより、被測定ガスの冷却に伴う結露等による
匂いセンサ6の誤動作が防止できる。
Further, by providing the dehumidifier 3 in front of the gas cooler 4, malfunction of the odor sensor 6 due to condensation or the like due to cooling of the gas to be measured can be prevented.

【0024】さらに、温度制御回路等を設けて被測定ガ
スと匂いセンサ6の温度を一定温度に制御することによ
り匂いセンサ6の温度ドリフトの影響を取り除くことが
可能になる。
Further, by providing a temperature control circuit or the like to control the temperature of the gas to be measured and the temperature of the odor sensor 6 at a constant temperature, it becomes possible to eliminate the influence of the temperature drift of the odor sensor 6.

【0025】また、従来の匂いセンサ6のガス吸着膜に
は前述のようにPVC、脂質及び可塑剤を組み合わせる
ことにより構成していた。ここで、可塑剤としてフタル
酸ジオクチル(以下、DOPと呼ぶ。)を用いたものは
応答特性は良いものの、高温で保存等した場合にセンサ
感度が低下してしまうと言う問題点があった。
Further, the gas adsorption film of the conventional odor sensor 6 is constituted by combining PVC, lipid and plasticizer as described above. Here, those using dioctyl phthalate (hereinafter referred to as DOP) as a plasticizer have good response characteristics, but have a problem that the sensor sensitivity is reduced when stored at a high temperature or the like.

【0026】図3は可塑剤としてDOPとフタル酸ジイ
ソデシル(以下、DIDPと呼ぶ。)を用い、匂いセン
サ製造直後に温度”60度”、湿度”95%RH”の条
件下で2日間保存した場合の感度及び応答速度を示す表
である。
FIG. 3 shows that DOP and diisodecyl phthalate (hereinafter referred to as DIDP) were used as plasticizers and stored for 2 days at a temperature of “60 ° C.” and a humidity of “95% RH” immediately after the production of the odor sensor. 6 is a table showing sensitivity and response speed in the case.

【0027】図3から分かるように可塑剤としてDID
Pを用いた場合にはDOPと比較して応答特性は「30
秒以下」から「1分以下」と同様に変化し、感度に関し
ては可塑剤がDOPの場合「85%」の感度低下がある
のに対して可塑剤がDIDPの場合「43%」の感度低
下で済むことが分かる。
As can be seen from FIG. 3, DID is used as a plasticizer.
When P is used, the response characteristic is “30” as compared with DOP.
In the same way as "less than 1 minute", the sensitivity decreases by "85%" when the plasticizer is DOP, whereas it decreases by "43%" when the plasticizer is DIDP. It turns out that it is enough.

【0028】この結果、可塑剤としてDIDPを用いて
匂い吸着膜を構成することにより、応答特性を損なうこ
となく保存等による感度低下の割合を低減することが可
能になる。
As a result, by forming the odor adsorbing film using DIDP as a plasticizer, it is possible to reduce the rate of decrease in sensitivity due to storage or the like without impairing response characteristics.

【0029】また、さらに、前記「特願平5ー3049
40」では匂い吸着膜の構成要素として「脂質」は必須
であったがその後の実験により、「脂質」は必ずしも必
要ではない。
Further, the above-mentioned “Japanese Patent Application No. 5-3049”
In “40”, “lipid” was essential as a component of the odor-adsorbing film, but according to subsequent experiments, “lipid” is not necessarily required.

【0030】従って、匂い吸着膜をPVC及びDIDP
で構成することにより、応答特性を損なうことなく保存
等による感度低下を防止することができる。
Therefore, the odor absorbing film is made of PVC and DIDP.
With this configuration, it is possible to prevent a decrease in sensitivity due to storage or the like without impairing response characteristics.

【0031】なお、被測定ガス及びセンサセル5の冷却
温度を”0度”としたが勿論この値に限る訳ではない。
Although the cooling temperature of the gas to be measured and the cooling temperature of the sensor cell 5 are set to "0 degrees", it is a matter of course that the present invention is not limited to this value.

【0032】また、匂い吸着膜の成分に関してはPVC
と可塑剤との2成分であれば良く、可塑剤をDIDPに
限定するものではない。
The components of the odor adsorbing film are PVC.
And a plasticizer, and the plasticizer is not limited to DIDP.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項1の発明
に関しては、ガス冷却器及びセンサセル冷却器を用いて
ガスの測定に際し被測定ガス及び匂いセンサを冷却する
ことにより、匂いセンサの感度を飛躍的に向上させるこ
とが可能なガス測定装置が実現できる。
As is apparent from the above description,
According to the present invention, the following effects can be obtained. According to the first aspect of the present invention, by measuring the gas to be measured and the odor sensor using the gas cooler and the sensor cell cooler, the sensitivity of the odor sensor can be dramatically improved. The device can be realized.

【0034】また、請求項2の発明に関しては、ガス冷
却器の前段に除湿器を設けることにより、被測定ガスの
冷却に伴う結露等による匂いセンサの誤動作が防止でき
る。
According to the second aspect of the present invention, by providing a dehumidifier in front of the gas cooler, malfunction of the odor sensor due to dew condensation or the like due to cooling of the gas to be measured can be prevented.

【0035】また、請求項3の発明に関しては、匂い吸
着膜をPVC及びDIDPにより構成することにより、
応答特性を損なうことなく感度低下を防止することがで
きる。
According to the third aspect of the present invention, the odor adsorbing film is made of PVC and DIDP,
It is possible to prevent a decrease in sensitivity without impairing response characteristics.

【0036】さらに、請求項4の発明に関しては、匂い
吸着膜をPVC及びDIDPにより構成することによ
り、応答特性を損なうことなく感度低下を防止すること
ができると共に被測定ガス及び匂いセンサを冷却するこ
とにより、匂いセンサの感度を飛躍的に向上させること
等が可能になる。
Further, according to the fourth aspect of the invention, by forming the odor adsorbing film with PVC and DIDP, it is possible to prevent a decrease in sensitivity without impairing the response characteristics and to cool the gas to be measured and the odor sensor. This makes it possible to dramatically improve the sensitivity of the odor sensor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るガス測定装置の一実施例を示す構
成ブロック図である。
FIG. 1 is a configuration block diagram showing one embodiment of a gas measurement device according to the present invention.

【図2】温度に対するPVCブレンド脂質膜へのアミル
アセテート分子の吸着量を示す特性曲線図である。
FIG. 2 is a characteristic curve showing the amount of adsorbed amyl acetate molecules on a PVC blend lipid membrane versus temperature.

【図3】可塑剤としてDOPとDIDPを用い、匂いセ
ンサ製造直後に温度”60度”、湿度”95%RH”の
条件下で2日間保存した場合の感度及び応答速度を示す
表である。
FIG. 3 is a table showing the sensitivity and response speed when DOP and DIDP are used as plasticizers and stored for 2 days under conditions of a temperature “60 ° C.” and a humidity “95% RH” immediately after the production of the odor sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 吸気口 2 ポンプ 3 除湿器 4 ガス冷却器 5 センサセル 6 匂いセンサ 7 センサセル冷却器 8 測定回路 9 排気口 100 出力信号 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Intake port 2 Pump 3 Dehumidifier 4 Gas cooler 5 Sensor cell 6 Odor sensor 7 Sensor cell cooler 8 Measurement circuit 9 Exhaust port 100 Output signal

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ガス吸着膜への匂い物質の吸着による共振
周波数の変化に基づき前記匂い物質を検出するガス測定
装置において、 被測定ガスを冷却する第1の冷却器と、 前記ガス吸着膜が設けられた水晶振動子若しくは表面弾
性波素子から構成される匂いセンサと、 この匂いセンサを冷却する第2の冷却器と、 前記匂いセンサの出力に基づき前記匂い物質の濃度を測
定する測定回路とを備えたことを特徴とするガス測定装
置。
1. A gas measuring apparatus for detecting an odor substance based on a change in resonance frequency due to adsorption of an odor substance to a gas adsorption film, wherein: a first cooler for cooling a gas to be measured; An odor sensor comprising a quartz oscillator or a surface acoustic wave element provided; a second cooler for cooling the odor sensor; and a measurement circuit for measuring the concentration of the odor substance based on an output of the odor sensor. A gas measuring device comprising:
【請求項2】被測定ガスを冷却する第1の冷却器の前段
に除湿器を備えたことを特徴とする特許請求の範囲請求
項1記載のガス測定装置。
2. The gas measuring apparatus according to claim 1, wherein a dehumidifier is provided before the first cooler for cooling the gas to be measured.
【請求項3】ガス吸着膜への匂い物質の吸着による共振
周波数の変化に基づき前記匂い物質を検出するガス測定
装置において、 水晶振動子若しくは表面弾性波素子と、 この水晶振動子若しくは表面弾性波素子に設けられたポ
リ塩化ビニル及びフタル酸ジイソデシルから形成される
ガス吸着膜とから構成される匂いセンサを備えたことを
特徴とするガス測定装置。
3. A gas measuring device for detecting an odor substance based on a change in a resonance frequency due to adsorption of an odor substance on a gas adsorption film, comprising: a quartz oscillator or a surface acoustic wave element; A gas measuring device comprising: an odor sensor including a gas adsorption film formed of polyvinyl chloride and diisodecyl phthalate provided on an element.
【請求項4】ガス吸着膜としてポリ塩化ビニル及びフタ
ル酸ジイソデシルから形成されるガス吸着膜を用いたこ
とを特徴とする特許請求の範囲請求項1及び請求項2記
載のガス測定装置。
4. The gas measuring device according to claim 1, wherein a gas adsorption film formed of polyvinyl chloride and diisodecyl phthalate is used as the gas adsorption film.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3111203A1 (en) * 2014-02-27 2017-01-04 3M Innovative Properties Company Sub-ambient temperature vapor sensor and method of use

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EP3111203A1 (en) * 2014-02-27 2017-01-04 3M Innovative Properties Company Sub-ambient temperature vapor sensor and method of use

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