JP2859613B2 - Diagnostic device for integrated circuits - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
集積回路の診断装置であって、テストパターン発生手
段から集積回路に入力するテストパターンに対応したテ
スト結果パターンによる判定と並行して、電源手段から
集積回路への出力電流値による判定を並行して行なうこ
とにより、診断に要する時間を低減し、且つ、診断の信
頼性を上げることができる。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、集積回路の診断装置に関し、例えば大規模
集積回路(LSI)のスタック故障の診断を行ないなが
ら、並行してショート故障の診断も行なえるように構成
した集積回路の診断装置に関するものである。
〔従来の技術〕
LSI等の集積回路は製造過程で密閉され、外部には電
源端子及び入出力端子のみが出ている。そのため、内部
の状態が正常であるかどうかを調べるために、一般的に
スタック故障診断が行なわれる。
スタック故障診断は、LSI内部の論理ロジックに異常
がないかどうかを調べるために、LSI内の各端子のH/Lス
タック故障が診断できる様なテストパターンをLSIの入
力端子から入力し、それに応じて出力端子から得られる
結果パターンを判定する。異常を想定した多くのパター
ンについて連続的にこの判定を行なう。
ショート故障診断は、LSI内部の回路が物理的に短絡
していないかどうかを調べるものである。短絡を想定す
る箇所は、ゲート規模に応じて増大するため、全ての点
を診断しようとすると、長大なパターンとなってしま
う。このため、実際にはスタック故障診断用パターン等
を利用して、これをLSIに印加し、そのときの電源電流
値を調べることにより、短絡による過大電流を検出し
て、異常の判定を行なう等の方法が利用されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで、上述した従来方式にあっては、スタック故
障診断と同時にそのパターンを利用してショート故障診
断を行なおうとするものであり、スタック故障診断を行
なった後に、この同じパターンをLSIに印加し、あるパ
ターンで止めて電源電流値を測定するという操作を繰り
返すこととなる。この測定点数は、多ければ多い程診断
率が向上する。しかしながら、現行のテスタを利用した
場合、測定時間の増大を招くため、測定点数をしぼらざ
るを得ない。
また、LSIが大規模になるにしたがって診断パターン
数は増大するため、診断に費やす時間も多くなるという
問題点があった。更に、上述したように、ショート故障
診断のためパターンを途中で止める方法をとっているた
めに、診断に時間がかかるという問題点があった。
本発明は、このような点にかんがみて創作されたもの
であり、診断に要する時間を低減し、且つ、診断の信頼
性を上げるようにした集積回路の診断装置を提供するこ
とを目的としている。
〔問題点を解決するための手段〕
第1図は、本発明の集積回路の診断装置の原理ブロッ
ク図である。
図において、テストパターン発生手段121は、診断用
のテストパターンを集積回路199に入力する。
電源手段131は、集積回路199に電圧を供給し、その際
の電流値を電流判定部171に出力する。
電流テーブル格納部161はテストパターン毎に当該テ
ストパターンに対応する良品の電源電流値を格納する。
電流判定部171は、或るテストパターンを集積回路199
に入力したときにおける電源手段131の出力電流値と、
電流テーブル格納部161に格納されたテストパターンに
対応する良品の電源電流値とを比較し、電源手段の出力
電流値が正常か否かを判定する。
従って、全体として、テスト結果パターンの判定と電
流値の判定を並行して行なうように構成されている。
〔作 用〕
テストパターン発生手段121は、診断用のテストパタ
ーンを集積回路199に入力する。テストパターン毎に、
そのテストパターンに対応する良品の電源電流値を電流
テーブル格納部161に格納しておく。
電流判定部171において、或るテストパターンを集積
回路199に入力したときにおける電源手段131の出力電流
値と、電流テーブル格納部161に格納されたテストパタ
ーンに対応する良品の電源電流値とを比較し、電源手段
の出力電流値が正常か否かを判定する。
本発明にあっては、電流テーブル格納部に良品の電源
電流値が格納されているから、集積回路への電源電流値
とを比較することにより、診断に要する時間を低減し、
診断の信頼性を上げることができる。
〔実施例〕
以下、図面に基づいて本発明の実施例について詳細に
説明する。
第2図は、本発明の一実施例における集積回路の診断
装置の構成を示す。
I.実施例と第1図との対応関係
ここで、本発明の実施例と、第1図との対応関係を示
しておく。
テストパターン発生手段121は、制御部211,テストパ
ターン発生部221に相当する。
電源手段131は、制御部211,電源供給部231,電源測定
部233に相当する。
電流テーブル格納部161は、制御部211,電流値判定部2
41,電流テーブル格納部243に相当する。
電流判定部171は、制御部211,論理判定部251,論理テ
ーブル格納部253に相当する。
集積回路199は、被測定素子299に相当する。
II.実施例の構成
以上のような対応関係があるものとして、以下本発明
の実施例について説明する。
第2図において、LSIテスタ200は、全体を制御する制
御部211,テストパターンを作成して外部の被測定素子29
9に入力するテストパターン発生部221,被測定素子299に
電源を供給する電源供給部231,電源供給部231から被測
定素子299への電流の値を検出する電流測定部233,電流
値判定を行なう電流値判定部241,電流値判定部241で判
定を行なうための比較値を格納する電流テーブル格納部
243,被測定素子299から得られた結果パターンにより論
理判定を行なう論理判定部251,論理判定部251で論理判
定を行なうための比較値を格納する論理テーブル格納部
253から成っている。
被測定素子299は診断を行なう測定素子で、例えばCMO
SのLSIとする。
テストパターン発生部221,電源供給部231,電流値判定
部241,電流テーブル格納部243,論理判定部251,論理テー
ブル格納部253は制御部211に接続されている。また、テ
ストパターン発生部221は外部の被測定素子299の入力端
に接続され、電源供給部231は、電流測定部233を介して
被測定素子299の入力端(電源端子)に接続されてい
る。電流値判定部241は、電流測定部233及び電流テーブ
ル格納部243に接続され、論理判定部251は、被測定素子
299の出力端及び論理テーブル格納部253に接続されてい
る。
III.実施例の動作
論理テーブル格納部253には、予め良品(同タイプのC
MOS−LSI)についてスタック故障診断を行ない、そこで
得られた結果パターンを格納しておく。また、電流テー
ブル格納部243には、スタック故障診断の各パターンに
対応した電源の電流値を良品について測定しておき、そ
の値を格納しておく。
以下、第2図を参照する。
最初に、制御部211は、電源供給部231に指示を送り、
被測定素子299が動作するための電圧の供給を行なう。
電源供給部231の出力電圧は電流測定部233を介して被測
定素子299に供給され、電流測定部233では、そのときの
電流値を測定して電流値判定部241に入力する。
次に、制御部211は、テストパターン発生部221,論理
テーブル格納部253,電流テーブル格納部243に指示を送
る。テストパターン発生部221では、1番目のテストパ
ターンを作成して、被測定素子299に入力する。被測定
素子299は、テストパターンが入力されると、それに対
応した結果パターンを出力し、論理判定部251ではその
結果パターンを受け取る。論理テーブル格納部253は、
1番目のテストパターンに対応する良品の結果パターン
を論理判定部251に入力する。
論理判定部251は、論理テーブル格納部253からの良品
の結果パターンと被測定素子299から入力された結果パ
ターンを比較して、それらが同じであれば1番目のテス
トパターンについては正常であると判断する。
また、電流テーブル格納部243は、1番目のテストパ
ターンに対応する良品の電源電流値を電流値判定部241
に入力する。電流判定部241では、電流測定部233から入
力される被測定素子2991番目のテストパターンに対する
電流実測値と電流テーブル格納部243から入力される良
品の電流値を比較して、ばらつきを考慮して正常な値か
どうかを判断する。
以上で、1番目のテストパターンに対する電流値判定
部241と論理判定部251での判定が終了する。
次に、制御部211は、2番目のテスト指示をテストパ
ターン発生部221,論理テーブル格納部253,電流テーブル
格納部243に入力して、1番目のテストパターンと同様
の判定を行なう。以下、同様にして、全てのテストパタ
ーンについて、判定を行なう。
尚、電流測定部233で検出される電流値は、テストパ
ターンを変化させた直後は安定しないので、テストパタ
ーンを変化させる直前の値を検出するように、制御部21
1によって制御を行なう。
また、電流値判定部241,論理判定部251での判定の後
に、被測定素子299の良否を外部に知らせるための手段
(例えば、ディスプレイやブザー)については省略し
た。
IV.実施例のまとめ
このように、通常のスタック故障診断の各テストパタ
ーン毎に、電流測定部233で電源の電流値を測定する。
そして、その値が正常であるかどうかを電流値判定部24
1で判定して、ショート故障診断を行なう。
従って、スタック故障診断とショート故障診断を並行
して行ない、診断に要する時間を低減し、しかも診断の
信頼性を上げることができる。
V.発明の変形態様
なお、上述した本発明の実施例にあっては、被測定素
子299をCMOSのLSIとしたが、他の素子であっても、電源
電流値を測定することでショート故障診断を行なうこと
ができるものならば、本発明は適用できる。
また、「I.実施例と第1図との対応関係」において、
第1図と本発明との対応関係を説明しておいたが、これ
に限られることはなく、各種の変形態様があることは当
業者であれば容易に推考できるであろう。
〔発明の効果〕
上述したように、本発明によれば、テストパターン発
生手段から集積回路に入力するテストパターンに対応し
たテスト結果パターンによる判定と、電源手段からの出
力電流値による判定を並行して行なうことができるの
で、実用的には極めて有用である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Summary] An integrated circuit diagnostic apparatus, comprising: a power supply means for detecting an integrated circuit from a power supply means in parallel with a determination based on a test result pattern corresponding to a test pattern input to the integrated circuit from a test pattern generating means; By performing the determination based on the output current value in parallel, the time required for the diagnosis can be reduced and the reliability of the diagnosis can be increased. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diagnostic device for an integrated circuit, and more particularly, to an integrated circuit configured to diagnose a short-circuit fault while performing a stack fault diagnosis of a large-scale integrated circuit (LSI). The present invention relates to a circuit diagnostic device. 2. Description of the Related Art An integrated circuit such as an LSI is hermetically sealed in a manufacturing process, and only a power supply terminal and an input / output terminal are exposed outside. Therefore, a stack failure diagnosis is generally performed to check whether the internal state is normal. In the stack fault diagnosis, a test pattern that can diagnose the H / L stack fault of each terminal in the LSI is input from the input terminal of the LSI to check whether there is any abnormality in the logic logic inside the LSI. To determine the result pattern obtained from the output terminal. This determination is continuously performed for many patterns that are assumed to be abnormal. The short fault diagnosis is to check whether a circuit inside the LSI is physically short-circuited. The location where a short circuit is assumed increases according to the gate size, so that diagnosing all points results in a long pattern. For this reason, by actually using a stack failure diagnosis pattern or the like and applying this to the LSI and checking the power supply current value at that time, an excessive current due to a short circuit is detected, and an abnormality is determined. The method is used. [Problems to be Solved by the Invention] By the way, in the above-mentioned conventional method, a short-circuit fault diagnosis is performed by using the pattern at the same time as the stack fault diagnosis. Thereafter, the operation of applying the same pattern to the LSI, stopping at a certain pattern, and measuring the power supply current value will be repeated. The diagnosis rate increases as the number of measurement points increases. However, when the current tester is used, the measurement time increases, so that the number of measurement points must be reduced. In addition, the number of diagnostic patterns increases as the size of the LSI increases, so that there is a problem that the time spent for diagnosis increases. Further, as described above, the method of stopping the pattern halfway for the short fault diagnosis has a problem that the diagnosis takes a long time. The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide an integrated circuit diagnostic apparatus that reduces the time required for diagnosis and increases the reliability of diagnosis. . [Means for Solving the Problems] FIG. 1 is a block diagram showing the principle of an integrated circuit diagnostic apparatus according to the present invention. In the figure, a test pattern generator 121 inputs a test pattern for diagnosis to the integrated circuit 199. The power supply unit 131 supplies a voltage to the integrated circuit 199, and outputs a current value at that time to the current determination unit 171. The current table storage unit 161 stores a non-defective power supply current value corresponding to the test pattern for each test pattern. The current determining unit 171 determines that a certain test pattern is
Output current value of the power supply means 131 when input to the
The power supply current value of the non-defective product corresponding to the test pattern stored in the current table storage unit 161 is compared to determine whether the output current value of the power supply means is normal. Therefore, the overall configuration is such that the determination of the test result pattern and the determination of the current value are performed in parallel. [Operation] The test pattern generation means 121 inputs a test pattern for diagnosis to the integrated circuit 199. For each test pattern,
A non-defective power supply current value corresponding to the test pattern is stored in the current table storage unit 161. The current determination unit 171 compares the output current value of the power supply unit 131 when a certain test pattern is input to the integrated circuit 199 with the power supply current value of a non-defective product corresponding to the test pattern stored in the current table storage unit 161. Then, it is determined whether or not the output current value of the power supply means is normal. According to the present invention, since a non-defective power supply current value is stored in the current table storage unit, the time required for diagnosis is reduced by comparing the power supply current value to the integrated circuit,
The reliability of diagnosis can be improved. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 2 shows the configuration of a diagnostic device for an integrated circuit according to one embodiment of the present invention. I. Correspondence Between Embodiments and FIG. 1 Here, correspondences between the embodiment of the present invention and FIG. 1 will be described. The test pattern generation unit 121 corresponds to the control unit 211 and the test pattern generation unit 221. The power supply unit 131 corresponds to the control unit 211, the power supply unit 231, and the power measurement unit 233. The current table storage unit 161 includes a control unit 211, a current value determination unit 2
41, which corresponds to the current table storage unit 243. The current determination unit 171 corresponds to the control unit 211, the logic determination unit 251, and the logic table storage unit 253. The integrated circuit 199 corresponds to the device under test 299. II. Configuration of Embodiment An embodiment of the present invention will be described below assuming that there is a correspondence as described above. In FIG. 2, an LSI tester 200 generates a control unit 211 for controlling the whole, a test pattern, and an external device under test 29.
9, a test pattern generator 221, a power supply unit 231 for supplying power to the device under test 299, a current measurement unit 233 for detecting a current value from the power supply unit 231 to the device under test 299, and a current value determination. Current value determination unit 241 to be performed, a current table storage unit that stores a comparison value for determination by the current value determination unit 241
243, a logic determination unit 251 for performing a logic determination based on a result pattern obtained from the device under test 299, a logic table storage unit for storing a comparison value for performing a logic determination in the logic determination unit 251
Consists of 253. The device under test 299 is a device under test for diagnosis, such as a CMO
Assume LSI of S. The test pattern generation unit 221, the power supply unit 231, the current value determination unit 241, the current table storage unit 243, the logic determination unit 251, and the logic table storage unit 253 are connected to the control unit 211. The test pattern generator 221 is connected to the input terminal of the external device under test 299, and the power supply unit 231 is connected to the input terminal (power terminal) of the device under test 299 via the current measuring unit 233. . The current value judgment unit 241 is connected to the current measurement unit 233 and the current table storage unit 243, and the logic judgment unit 251
It is connected to the output terminal of 299 and the logical table storage unit 253. III. Operation of Embodiment The logical table storage unit 253 stores in advance a non-defective product (C
A stack failure diagnosis is performed for the MOS-LSI, and the result pattern obtained therefrom is stored. Further, the current value of the power supply corresponding to each pattern of the stack failure diagnosis is measured for the non-defective product in the current table storage unit 243, and the measured value is stored. In the following, reference is made to FIG. First, the control unit 211 sends an instruction to the power supply unit 231 and
A voltage for operating the device under test 299 is supplied.
The output voltage of the power supply unit 231 is supplied to the device under test 299 via the current measurement unit 233. The current measurement unit 233 measures the current value at that time and inputs the current value to the current value determination unit 241. Next, the control unit 211 sends an instruction to the test pattern generation unit 221, the logic table storage unit 253, and the current table storage unit 243. The test pattern generator 221 creates a first test pattern and inputs it to the device under test 299. When the test pattern is input, the device under test 299 outputs a result pattern corresponding to the test pattern, and the logic determination unit 251 receives the result pattern. The logical table storage unit 253
A non-defective result pattern corresponding to the first test pattern is input to the logic determination unit 251. The logic determination unit 251 compares the non-defective result pattern from the logic table storage unit 253 with the result pattern input from the device under test 299, and if they are the same, determines that the first test pattern is normal. to decide. In addition, the current table storage unit 243 stores the non-defective power supply current value corresponding to the first test pattern in the current value determination unit 241.
To enter. The current determination unit 241 compares the measured current value of the device under test 2991th input from the current measurement unit 233 with the actually measured value of the non-defective product input from the current table storage unit 243, and considers the variation. Determine if the value is normal. Thus, the determination by the current value determination unit 241 and the logic determination unit 251 for the first test pattern ends. Next, the control unit 211 inputs the second test instruction to the test pattern generation unit 221, the logic table storage unit 253, and the current table storage unit 243, and performs the same determination as that of the first test pattern. Hereinafter, determination is similarly performed for all test patterns. Since the current value detected by the current measurement unit 233 is not stable immediately after the test pattern is changed, the control unit 21 detects the value immediately before the test pattern is changed.
Control is performed by 1. Further, a means (for example, a display or a buzzer) for notifying the quality of the device under test 299 to the outside after the determination by the current value determination unit 241 and the logic determination unit 251 is omitted. IV. Summary of Embodiments As described above, the current value of the power supply is measured by the current measuring unit 233 for each test pattern of the normal stack failure diagnosis.
Then, the current value determination unit 24 determines whether the value is normal.
Judge with 1 and perform short fault diagnosis. Therefore, the stack failure diagnosis and the short failure diagnosis are performed in parallel, so that the time required for the diagnosis can be reduced, and the reliability of the diagnosis can be increased. V. Modifications of the Invention In the above-described embodiment of the present invention, the device under test 299 is a CMOS LSI. However, even for other devices, short-circuit The present invention is applicable as long as the diagnosis can be made. In “I. Correspondence between the embodiment and FIG. 1”,
Although the correspondence between FIG. 1 and the present invention has been described, the present invention is not limited to this, and those skilled in the art can easily infer that there are various modifications. [Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the determination based on the test result pattern corresponding to the test pattern input to the integrated circuit from the test pattern generation unit and the determination based on the output current value from the power supply unit are performed in parallel. This is very useful in practice.
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の集積回路の診断装置の原理ブロック
図、
第2図は本発明の一実施例による集積回路の診断装置の
構成ブロック図である。
図において、
121はテストパターン発生手段、
131は電源手段、
141は第1判定手段、
151は第2判定手段、
199は集積回路、
200はLSIテスタ、
211は制御部、
221はテストパターン発生部、
231は電源供給部、
233は電流測定部、
241は電流値判定部、
243は電流テーブル格納部、
251は論理判定部、
253は論理テーブル格納部、
299は被測定素子である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing the principle of an integrated circuit diagnostic apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of an integrated circuit diagnostic apparatus according to an embodiment of the present invention. In the figure, 121 is a test pattern generating means, 131 is a power supply means, 141 is a first determining means, 151 is a second determining means, 199 is an integrated circuit, 200 is an LSI tester, 211 is a control section, 221 is a test pattern generating section Reference numeral 231 denotes a power supply unit, 233 denotes a current measurement unit, 241 denotes a current value determination unit, 243 denotes a current table storage unit, 251 denotes a logic determination unit, 253 denotes a logic table storage unit, and 299 denotes an element to be measured.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 31/28──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01R 31/28
Claims (1)
トパターン発生手段と、 前記集積回路に電圧を供給し、その際の電流値を出力す
る電源手段と、 テストパターン毎に、当該テストパターンに対応する良
品の電源電流値を格納する電流テーブル格納部と、 或るテストパターンを前記集積回路に入力したときにお
ける前記電源手段の出力電流値と、前記電流テーブル格
納部に格納された該テストパターンに対応する前記良品
の電源電流値とを比較し、該出力電流値が正常な値か否
かを判定する電流判定部と、 からなることを特徴とする集積回路の診断装置。 2.各テストパターンに対応する良品の結果パターンを
格納する論理テーブル格納部と、 前記テストパターンを前記集積回路に入力したときにお
ける該集積回路からの結果パターンが前記論理テーブル
格納部に格納された該テストパターンに対応する前記良
品の結果パターンと一致するか否かを判定する論理判定
部と、 を有することを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
の集積回路の診断装置。(57) [Claims] Test pattern generating means for inputting a test pattern for diagnosis to an integrated circuit; power supply means for supplying a voltage to the integrated circuit and outputting a current value at that time; non-defective products corresponding to the test pattern for each test pattern A current table storage unit for storing the power supply current value of the power supply unit, an output current value of the power supply unit when a certain test pattern is input to the integrated circuit, and a current pattern corresponding to the test pattern stored in the current table storage unit. A current determining unit that compares the non-defective power supply current value with the output current value and determines whether the output current value is a normal value. 2. A logic table storage unit for storing a non-defective result pattern corresponding to each test pattern; and a test in which a result pattern from the integrated circuit when the test pattern is input to the integrated circuit is stored in the logic table storage unit. 2. The diagnostic device for an integrated circuit according to claim 1, further comprising: a logic determination unit configured to determine whether the result pattern of the non-defective product corresponds to a pattern.
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|---|---|---|---|
| JP62037234A JP2859613B2 (en) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | Diagnostic device for integrated circuits |
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Family Cites Families (2)
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|---|---|---|---|---|
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-
1987
- 1987-02-20 JP JP62037234A patent/JP2859613B2/en not_active Expired - Lifetime
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