JP2872170B2 - 振動検出センサ - Google Patents
振動検出センサInfo
- Publication number
- JP2872170B2 JP2872170B2 JP8325759A JP32575996A JP2872170B2 JP 2872170 B2 JP2872170 B2 JP 2872170B2 JP 8325759 A JP8325759 A JP 8325759A JP 32575996 A JP32575996 A JP 32575996A JP 2872170 B2 JP2872170 B2 JP 2872170B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- piezoelectric element
- vibration detection
- detection sensor
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/02—Detecting, measuring or recording for evaluating the cardiovascular system, e.g. pulse, heart rate, blood pressure or blood flow
- A61B5/021—Measuring pressure in heart or blood vessels
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
- G01D11/245—Housings for sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Cardiology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Physiology (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Surgery (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Vascular Medicine (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電素子を用いる振
動検出センサに係り、さらに詳しくは温度及びノイズの
影響を取り除くことのできる振動検出センサに関する。
動検出センサに係り、さらに詳しくは温度及びノイズの
影響を取り除くことのできる振動検出センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、振動検出センサは、電子式血圧
計などに用いられており、機械装置などで振動発生によ
る異常を測定するための手段としても用いられる。
計などに用いられており、機械装置などで振動発生によ
る異常を測定するための手段としても用いられる。
【０００３】図１乃至図３は、従来の振動検出センサを
示す。これを参照すれば、従来の振動検出センサは、図
示したように、円形の振動板１と、この振動板１を覆う
蓋部材２と、前記振動板１の上面の中央に取り付けられ
る圧電素子３と、この圧電素子３と電気的に接続される
リ−ド線４とを含めて構成される。
示す。これを参照すれば、従来の振動検出センサは、図
示したように、円形の振動板１と、この振動板１を覆う
蓋部材２と、前記振動板１の上面の中央に取り付けられ
る圧電素子３と、この圧電素子３と電気的に接続される
リ−ド線４とを含めて構成される。
【０００４】かかる構造の従来の振動検出センサ−にお
いて、前記振動板１は、プラスチックやゴムなどの可塑
性材料に金属性微粒子を分散させて形成された材料より
なる。そして、前記圧電素子３はＰＺＴまたはＢａＴｉ
Ｏ2 などの強誘電体微粒子をゴム、合成樹脂などの可塑
性材料に分散させて形成された複合材料よりなり、接着
剤により前記振動板１に取り付けられる。さらに、前記
蓋部材２は金属材よりなり、図示したように、円筒状の
壁２ａと、この壁２ａを覆う円板状の天頂部２ｂとを備
えている。そして、前記壁２ａの下方にはチャンネル状
の断面を有する端部２ｃが形成されて、前記振動板１が
端部２ｃの内部に締まるように結合されている。かつ、
前記壁２ａと端部２ｃの一側には開口部２ｄが備えられ
ており、この開口部２ｄにリ−ド線４が挿入される。挿
入されたリ−ド線４の中心線４ａの端部は、はんだ付け
部５により前記圧電素子３の上部に接続され、前記リ−
ド線４のシ−ルド線４ｂは、はんだ付け部５により前記
壁２ａに接続されている。
いて、前記振動板１は、プラスチックやゴムなどの可塑
性材料に金属性微粒子を分散させて形成された材料より
なる。そして、前記圧電素子３はＰＺＴまたはＢａＴｉ
Ｏ2 などの強誘電体微粒子をゴム、合成樹脂などの可塑
性材料に分散させて形成された複合材料よりなり、接着
剤により前記振動板１に取り付けられる。さらに、前記
蓋部材２は金属材よりなり、図示したように、円筒状の
壁２ａと、この壁２ａを覆う円板状の天頂部２ｂとを備
えている。そして、前記壁２ａの下方にはチャンネル状
の断面を有する端部２ｃが形成されて、前記振動板１が
端部２ｃの内部に締まるように結合されている。かつ、
前記壁２ａと端部２ｃの一側には開口部２ｄが備えられ
ており、この開口部２ｄにリ−ド線４が挿入される。挿
入されたリ−ド線４の中心線４ａの端部は、はんだ付け
部５により前記圧電素子３の上部に接続され、前記リ−
ド線４のシ−ルド線４ｂは、はんだ付け部５により前記
壁２ａに接続されている。
【０００５】この構造を有する従来の振動検出センサ
は、振動を感知するため、例えば、人の腕や機械装置な
どに前記振動板１を接触させると、脈搏や振動の伝達に
より振動板１が振動する。これにより、前記圧電素子３
の上面と下面との間に電位差が生ずる。前記振動板１に
は金属微粒子が分散されているため、導電性がある。か
つ、前記蓋部材２の壁２ａに接続されているシ−ルド線
４ｂと圧電素子３の下面とが電気的に接続されているた
め、前記圧電素子３に発生された電位差が前記リ−ド線
４を通して電気的信号として送出される。これにより、
振動検出が可能になる。
は、振動を感知するため、例えば、人の腕や機械装置な
どに前記振動板１を接触させると、脈搏や振動の伝達に
より振動板１が振動する。これにより、前記圧電素子３
の上面と下面との間に電位差が生ずる。前記振動板１に
は金属微粒子が分散されているため、導電性がある。か
つ、前記蓋部材２の壁２ａに接続されているシ−ルド線
４ｂと圧電素子３の下面とが電気的に接続されているた
め、前記圧電素子３に発生された電位差が前記リ−ド線
４を通して電気的信号として送出される。これにより、
振動検出が可能になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の振動検出センサは単板の圧電素子を用いるため、周
囲の温度変化により発生する誤動作出力信号を取り除く
ことができない問題点があった。かつ、前記蓋部材２の
壁２ａに備えられている開口部２ｄを通してリ−ド線４
を挿入する構造を有するので、前記開口部２ｄにノイズ
が引き込まれる恐れもある。
来の振動検出センサは単板の圧電素子を用いるため、周
囲の温度変化により発生する誤動作出力信号を取り除く
ことができない問題点があった。かつ、前記蓋部材２の
壁２ａに備えられている開口部２ｄを通してリ−ド線４
を挿入する構造を有するので、前記開口部２ｄにノイズ
が引き込まれる恐れもある。
【０００７】本発明は、上述した従来の振動検出センサ
の問題点に鑑みてこれを改善するために創出されたもの
であって、本発明の目的は、周囲の温度変化による影響
を取り除き、ノイズの引込みの防止により振動検出の効
率を向上させる振動検出センサを提供するにある。
の問題点に鑑みてこれを改善するために創出されたもの
であって、本発明の目的は、周囲の温度変化による影響
を取り除き、ノイズの引込みの防止により振動検出の効
率を向上させる振動検出センサを提供するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明による振動検出センサは、互いに独立した２つ
の振動板と、前記振動板の一方の上面に取り付けられる
振動検出用の圧電素子と、前記一方の振動板を覆う蓋部
材と、前記振動検出用の圧電素子と電気的に接続される
リ−ド線と、前記振動板の他方の上面に取り付けられる
温度補償用の圧電素子と、前記他方の振動板を覆う蓋部
材と、前記温度補償用の圧電素子と電気的に接続される
リ−ド線と、を具備することを特徴とする。
に本発明による振動検出センサは、互いに独立した２つ
の振動板と、前記振動板の一方の上面に取り付けられる
振動検出用の圧電素子と、前記一方の振動板を覆う蓋部
材と、前記振動検出用の圧電素子と電気的に接続される
リ−ド線と、前記振動板の他方の上面に取り付けられる
温度補償用の圧電素子と、前記他方の振動板を覆う蓋部
材と、前記温度補償用の圧電素子と電気的に接続される
リ−ド線と、を具備することを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の実施の形態を詳しく説明する。
明の実施の形態を詳しく説明する。
【００１０】図４を参照すれば、本発明による振動検出
センサは、円形の振動板１１と、前記振動板１１を覆う
蓋部材１２と、前記振動板１１の上面一側に取り付けら
れる振動検出用の圧電素子１３と、前記振動検出用の圧
電素子１３の並びに前記振動板１１の上面に取り付けら
れる温度補償用の圧電素子１３′と、前記各圧電素子１
３，１３′と電気的に接続されるリ−ド線１６ａ，１６
ｂとを含めて構成される。
センサは、円形の振動板１１と、前記振動板１１を覆う
蓋部材１２と、前記振動板１１の上面一側に取り付けら
れる振動検出用の圧電素子１３と、前記振動検出用の圧
電素子１３の並びに前記振動板１１の上面に取り付けら
れる温度補償用の圧電素子１３′と、前記各圧電素子１
３，１３′と電気的に接続されるリ−ド線１６ａ，１６
ｂとを含めて構成される。
【００１１】前記のような構造において、前記振動板
は、プラスチックやゴムなどの可塑性材料に金属性微粒
子を分散させて形成された材料よりなる。そして、前記
圧電素子１３，１３′はＰＺＴまたはＢａＴｉＯ2 など
の強誘電体微粒子をゴム、合成樹脂などの可塑性材料に
分散させた複合材料よりなり、接着剤により前記振動板
１１の上面に取り付けられる。かつ、前記蓋部材１２は
金属材よりなり、図示したように円筒状の壁１２ａと、
この壁１２ａを覆う円板状の天頂部１２ｂとを有する。
前記壁１２ａの下方にはチャンネル状の断面を有する端
部１２ｃが形成されて、前記振動板１１が端部１２ｃの
内部に締まるように結合されている。一方、前記天頂部
１２ｄには一対の開口部１２ｄ，１２ｅが備えられてお
り、この開口部１２ｄ，１２ｅを通してリ−ド線１６
ａ，１６ｂが挿入される。そして、前記開口部１２ｄ，
１２ｅはガラス材１５の充填により密封される。前記開
口部１２ｄ，１２ｅを通して挿入されたリ−ド線１６
ａ，１６ｂの各中心線（図示せず）の端部がはんだ付け
により前記圧電素子１３，１３′の上部にそれぞれ接続
され、前記リ−ド線１６ａ，１６ｂの一側には接地用の
シ−ルド線１６ｃが孔１２ｆを通して挿入されて前記振
動板１１に接続されている。
は、プラスチックやゴムなどの可塑性材料に金属性微粒
子を分散させて形成された材料よりなる。そして、前記
圧電素子１３，１３′はＰＺＴまたはＢａＴｉＯ2 など
の強誘電体微粒子をゴム、合成樹脂などの可塑性材料に
分散させた複合材料よりなり、接着剤により前記振動板
１１の上面に取り付けられる。かつ、前記蓋部材１２は
金属材よりなり、図示したように円筒状の壁１２ａと、
この壁１２ａを覆う円板状の天頂部１２ｂとを有する。
前記壁１２ａの下方にはチャンネル状の断面を有する端
部１２ｃが形成されて、前記振動板１１が端部１２ｃの
内部に締まるように結合されている。一方、前記天頂部
１２ｄには一対の開口部１２ｄ，１２ｅが備えられてお
り、この開口部１２ｄ，１２ｅを通してリ−ド線１６
ａ，１６ｂが挿入される。そして、前記開口部１２ｄ，
１２ｅはガラス材１５の充填により密封される。前記開
口部１２ｄ，１２ｅを通して挿入されたリ−ド線１６
ａ，１６ｂの各中心線（図示せず）の端部がはんだ付け
により前記圧電素子１３，１３′の上部にそれぞれ接続
され、前記リ−ド線１６ａ，１６ｂの一側には接地用の
シ−ルド線１６ｃが孔１２ｆを通して挿入されて前記振
動板１１に接続されている。
【００１２】かかる構造を有する振動検出センサにおい
て振動減衰を最小化するため、前記振動板１１の厚さは
前記圧電素子１３，１３′より薄いことが望ましい。そ
して、前記圧電素子１３，１３′の各上面には銀（Ａ
ｇ）よりなる電極層１４，１４′が形成されている。電
極層１４，１４′の各分極方向が同一に配列された状態
で各リ−ド線１６ａ，１６ｂが図７に示されたように差
動増幅器１００の入力端子に接続される。この接続構造
により、前記差動増幅器１００が両端の入力信号Ｖ１，
Ｖ２の差（Ｖ１−Ｖ２）を増幅させることにより純粋振
動信号のみを出力信号として得ることができる。
て振動減衰を最小化するため、前記振動板１１の厚さは
前記圧電素子１３，１３′より薄いことが望ましい。そ
して、前記圧電素子１３，１３′の各上面には銀（Ａ
ｇ）よりなる電極層１４，１４′が形成されている。電
極層１４，１４′の各分極方向が同一に配列された状態
で各リ−ド線１６ａ，１６ｂが図７に示されたように差
動増幅器１００の入力端子に接続される。この接続構造
により、前記差動増幅器１００が両端の入力信号Ｖ１，
Ｖ２の差（Ｖ１−Ｖ２）を増幅させることにより純粋振
動信号のみを出力信号として得ることができる。
【００１３】すなわち、振動検出用圧電素子１３、１
３′は、相互離隔された状態で振動板１１の他の位置に
置かれるので、その距離差により検出される振動量に微
小差を有する。つまり、圧電素子１３、１３′による信
号Ｖ１，Ｖ２は、それぞれ次のように表される。 Ｖ１＝Ｖｇ＋Ｖｔ（Ｖｇは振動信号、Ｖｔは温度による
信号） Ｖ２＝Ｖｇ′＋Ｖｔ（Ｖｇ′は振動信号、Ｖｔは温度に
よる信号） 上記の式において、信号Ｖｇ，Ｖｇ′は、異なる値（Ｖ
ｇ≠Ｖｇ′）を有するので、信号Ｖ１，Ｖ２の差は、Ｖ
１−Ｖ２＝Ｖｇ＋Ｖｔ−Ｖｇ´−Ｖｔ＝Ｖｇ−Ｖｇ´と
なるので、温度影響による出力信号が取り除かれる。
３′は、相互離隔された状態で振動板１１の他の位置に
置かれるので、その距離差により検出される振動量に微
小差を有する。つまり、圧電素子１３、１３′による信
号Ｖ１，Ｖ２は、それぞれ次のように表される。 Ｖ１＝Ｖｇ＋Ｖｔ（Ｖｇは振動信号、Ｖｔは温度による
信号） Ｖ２＝Ｖｇ′＋Ｖｔ（Ｖｇ′は振動信号、Ｖｔは温度に
よる信号） 上記の式において、信号Ｖｇ，Ｖｇ′は、異なる値（Ｖ
ｇ≠Ｖｇ′）を有するので、信号Ｖ１，Ｖ２の差は、Ｖ
１−Ｖ２＝Ｖｇ＋Ｖｔ−Ｖｇ´−Ｖｔ＝Ｖｇ−Ｖｇ´と
なるので、温度影響による出力信号が取り除かれる。
【００１４】したがって、上述した本発明による振動検
出センサは温度補償用の圧電素子１３′により周囲の温
度変化による誤動作出力信号を取り除くことができるの
で、純粋振動成分の信号だけ検出することができ、これ
により振動検出に対する信頼性も高める。かつ、リ−ド
線１６ａ，１６ｂが挿入される開口部１２ｄ，１２ｅが
ガラス材１５の充填により密封されるため、従来の振動
検出センサの構造においてリ−ド線挿入開口部へのノイ
ズの引込みを防止することができる。
出センサは温度補償用の圧電素子１３′により周囲の温
度変化による誤動作出力信号を取り除くことができるの
で、純粋振動成分の信号だけ検出することができ、これ
により振動検出に対する信頼性も高める。かつ、リ−ド
線１６ａ，１６ｂが挿入される開口部１２ｄ，１２ｅが
ガラス材１５の充填により密封されるため、従来の振動
検出センサの構造においてリ−ド線挿入開口部へのノイ
ズの引込みを防止することができる。
【００１５】図７に示された振動検出センサの引出しリ
−ド線に対する接続図は下記に説明される本発明の他の
実施形態による振動検出センサにも同じく適用される。
−ド線に対する接続図は下記に説明される本発明の他の
実施形態による振動検出センサにも同じく適用される。
【００１６】図５に示された本発明の他の実施形態によ
る振動検出センサの特徴は上述した実施形態による振動
検出センサの構造において、前記蓋部材１２と前記振動
板１１との間に形成される空間部に弾性樹脂３０を充填
することにある。この特徴によれば、圧電素子に対する
ノイズの遮断効果をさらに高めることができる。
る振動検出センサの特徴は上述した実施形態による振動
検出センサの構造において、前記蓋部材１２と前記振動
板１１との間に形成される空間部に弾性樹脂３０を充填
することにある。この特徴によれば、圧電素子に対する
ノイズの遮断効果をさらに高めることができる。
【００１７】図６に示された本発明のさらに他の実施形
態による振動検出センサの特徴によれば、振動検出用の
圧電素子１３と温度補償用の圧電素子１３′が振動板１
１及び蓋部材１２内、振動板１１′及び蓋部材１２′内
にそれぞれ分離されて備えられている。この構造によれ
ば、温度補償用の圧電素子１３′が振動による影響を受
けなくなる状態となるため、温度変化による信号成分を
さらに精度よく取り除くことができる。この実施形態に
よる振動検出センサは図４及び図５の振動検出センサと
実質的に同一な構造を有する一対のケ−ス（振動板及び
蓋部材）内にそれぞれ振動検出用の圧電素子１３と温度
補償用の圧電素子１３′を別途に備え、これらを電気的
に接続するパッケ−ジをなすものであり、説明されない
構成要素に対する具体的な説明は省略する。
態による振動検出センサの特徴によれば、振動検出用の
圧電素子１３と温度補償用の圧電素子１３′が振動板１
１及び蓋部材１２内、振動板１１′及び蓋部材１２′内
にそれぞれ分離されて備えられている。この構造によれ
ば、温度補償用の圧電素子１３′が振動による影響を受
けなくなる状態となるため、温度変化による信号成分を
さらに精度よく取り除くことができる。この実施形態に
よる振動検出センサは図４及び図５の振動検出センサと
実質的に同一な構造を有する一対のケ−ス（振動板及び
蓋部材）内にそれぞれ振動検出用の圧電素子１３と温度
補償用の圧電素子１３′を別途に備え、これらを電気的
に接続するパッケ−ジをなすものであり、説明されない
構成要素に対する具体的な説明は省略する。
【００１８】
【発明の効果】上述したように、本発明の振動検出セン
サは温度補償用の圧電素子をさらに含むことにより周囲
の温度変化による影響を取り除き、リ−ド線の引込み部
にガラス材を充填し内部空間には弾性樹脂を充填するこ
とによりノイズの引込みを抑えて振動検出の効率を向上
させる。この本発明の振動検出センサは上述した各種の
実施形態の構成により限られず、特許請求の範囲に記載
された本発明の技術的思想の範囲内で多様な変形例が実
施可能である。例えば、本発明による振動検出センサは
洗濯機の脱水機能遂行中、洗濯物による偏心発生時の振
動検出などの低周波帯域の振動検出に有効に適用し得
る。
サは温度補償用の圧電素子をさらに含むことにより周囲
の温度変化による影響を取り除き、リ−ド線の引込み部
にガラス材を充填し内部空間には弾性樹脂を充填するこ
とによりノイズの引込みを抑えて振動検出の効率を向上
させる。この本発明の振動検出センサは上述した各種の
実施形態の構成により限られず、特許請求の範囲に記載
された本発明の技術的思想の範囲内で多様な変形例が実
施可能である。例えば、本発明による振動検出センサは
洗濯機の脱水機能遂行中、洗濯物による偏心発生時の振
動検出などの低周波帯域の振動検出に有効に適用し得
る。
【図１】 従来の振動検出センサを示す概略斜視図であ
る。
る。
【図２】 図１のＩＩ−ＩＩ線の断面図である。
【図３】 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線の平断面図である。
【図４】 本発明の一実施形態による振動検出センサを
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図５】 本発明の他の実施形態による振動検出センサ
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図６】 本発明のさらに他の実施形態による振動検出
センサを示す概略断面図である。
センサを示す概略断面図である。
【図７】 本発明による振動検出センサの引出しリ−ド
線に対する接続図である。
線に対する接続図である。
１１ 振動板 １１´ 振動板 １２ 蓋部材 １２´ 蓋部材 １２ｄ 貫通孔 １２ｅ 貫通孔 １３ 圧電素子 １３´ 圧電素子 １５ ガラス材 １６ａ リ−ド線 １６ｂ リ−ド線 ３０ 弾性樹脂
Claims (5)
- 【請求項１】 互いに独立した２つの振動板と、 前記振動板の一方の上面に取り付けられる振動検出用の
圧電素子と、 前記一方の振動板を覆う蓋部材と、 前記振動検出用の圧電素子と電気的に接続されるリ−ド
線と、 前記振動板の他方の上面に取り付けられる温度補償用の
圧電素子と、 前記他方の振動板を覆う蓋部材と、 前記温度補償用の圧電素子と電気的に接続されるリ−ド
線と、 を具備することを特徴とする振動検出センサ。 - 【請求項２】 前記蓋部材には貫通孔が形成されてお
り、前記リ−ド線は前記貫通孔を介して挿入されること
を特徴とする請求項１に記載の振動検出センサ。 - 【請求項３】 前記貫通孔はガラス材が充填されて封止
されることを特徴とする請求項２に記載の振動検出セン
サ。 - 【請求項４】 前記蓋部材と前記振動板との間に形成さ
れる空間部には弾性樹脂が充填されていることを特徴と
する請求項１に記載の振動検出センサ。 - 【請求項５】 前記振動板の厚さは前記圧電素子の厚さ
より小さいことを特徴とする請求項１に記載の振動検出
センサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004694A KR0165516B1 (ko) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 진동 검출 센서 |
| KR19964694 | 1996-02-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236485A JPH09236485A (ja) | 1997-09-09 |
| JP2872170B2 true JP2872170B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=19451812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8325759A Expired - Fee Related JP2872170B2 (ja) | 1996-02-26 | 1996-12-05 | 振動検出センサ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5864066A (ja) |
| JP (1) | JP2872170B2 (ja) |
| KR (1) | KR0165516B1 (ja) |
| CN (1) | CN1081790C (ja) |
| DE (1) | DE19649679B4 (ja) |
| GB (1) | GB2310563B (ja) |
| MY (1) | MY112854A (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6261237B1 (en) | 1998-08-20 | 2001-07-17 | Medacoustics, Inc. | Thin film piezoelectric polymer sensor |
| ATE321109T1 (de) * | 1999-10-07 | 2006-04-15 | Saint Gobain Abrasives Inc | Formulierungen zur elektrostatischen auftragung |
| JP2001289939A (ja) * | 2000-02-02 | 2001-10-19 | Mitsubishi Electric Corp | 超音波送受信装置及び車両周辺障害物検出装置 |
| US6400062B1 (en) | 2000-03-21 | 2002-06-04 | Caterpillar Inc. | Method and apparatus for temperature compensating a piezoelectric device |
| EP1278471B1 (en) * | 2000-04-27 | 2005-06-15 | Medtronic, Inc. | Vibration sensitive ablation apparatus |
| DE10031793C1 (de) * | 2000-07-04 | 2002-02-07 | Peter Apel | Piezoelektrischer Sensor |
| DE10052309A1 (de) * | 2000-10-21 | 2002-05-02 | Bayerische Motoren Werke Ag | Verbrennungsmotor mit einem Klopfsenor |
| DE10139388A1 (de) * | 2001-08-10 | 2003-02-27 | Bsh Bosch Siemens Hausgeraete | Wäschebehandlungsgerät mit Unwuchtüberwachung, mit Erkennung des Niveaus oder mit Erkennung der Beladung |
| JP4107235B2 (ja) * | 2003-12-25 | 2008-06-25 | 株式会社デンソー | 力学量センサ構造 |
| KR20050111662A (ko) | 2004-05-21 | 2005-11-28 | 삼성전자주식회사 | 압력 및 진동감지장치 |
| AT500829B1 (de) * | 2004-10-07 | 2007-03-15 | Piezocryst Ges Fuer Piezoelek | Sensorelement mit zumindest einem messelement, welches piezoelektrische und pyroelektrische eigenschaften aufweist |
| CN100424485C (zh) * | 2006-10-31 | 2008-10-08 | 北京信息工程学院 | 脉动压力传感器 |
| CN105989703A (zh) * | 2015-02-10 | 2016-10-05 | 启碁科技股份有限公司 | 无线感测装置 |
| CN105651375A (zh) * | 2016-03-31 | 2016-06-08 | 德清县德意电脑有限公司 | 一种极低频微振动信号感应器 |
| WO2017183708A1 (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 日本バルカー工業株式会社 | 振動検出方法、振動センサー、振動検出装置、振動検出プログラムおよび振動検出システム |
| JP2019165846A (ja) * | 2018-03-22 | 2019-10-03 | ヤマハ株式会社 | 振動検出センサーユニット及びピックアップ |
| CN121313124A (zh) * | 2019-03-19 | 2026-01-13 | 和律医疗科技(深圳)有限公司 | 双传感的生命体征监测系统及方法 |
| CN110916627B (zh) * | 2019-12-24 | 2020-09-18 | 北京建筑大学 | 一种远程诊脉传感器 |
| CN112729526A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-30 | 苏州长风航空电子有限公司 | 一种高温压电式振动传感器及提高其稳定性的方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1184109A (en) * | 1966-06-07 | 1970-03-11 | Toyoda Machine Works Ltd | Pressure Sensitive Device Incorporating Semi-Conductor Transducer |
| US3877308A (en) * | 1974-01-02 | 1975-04-15 | Minnesota Mining & Mfg | Pyroelectric temperature compensated sensing apparatus |
| US3940974A (en) * | 1974-05-06 | 1976-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Electrically compensated sensor |
| US4052979A (en) * | 1975-12-04 | 1977-10-11 | Mary Ann Scherr | Jewelry and bracelet heartbeat monitor |
| GB1537154A (en) * | 1976-02-03 | 1978-12-29 | Minnesota Mining & Mfg | Electret sensing devices for temperature and stress variations |
| EP0031614B2 (en) * | 1979-12-17 | 1990-07-18 | North American Philips Corporation | Curved array of sequenced ultrasound transducers |
| US4531267A (en) * | 1982-03-30 | 1985-07-30 | Honeywell Inc. | Method for forming a pressure sensor |
| US4755975A (en) * | 1985-02-08 | 1988-07-05 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Piezoelectric transducer for transmitting or receiving ultrasonic waves |
| DE3678635D1 (de) * | 1985-05-20 | 1991-05-16 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Ultraschallwandler. |
| JPH0422630Y2 (ja) * | 1985-09-20 | 1992-05-25 | ||
| JPH0749914Y2 (ja) * | 1986-01-29 | 1995-11-13 | 株式会社村田製作所 | 超音波トランスデユ−サ |
| DE3783854D1 (de) * | 1986-09-30 | 1993-03-11 | Siemens Ag | Aktivitaetssensor fuer einen herzschrittmacher. |
| JPH0274868A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Nissan Motor Co Ltd | 圧電型力学量センサ |
| US5298828A (en) * | 1990-11-02 | 1994-03-29 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Ultrasonic electroacoustic transducer |
| DE4104179A1 (de) * | 1991-02-12 | 1992-08-13 | Iav Motor Gmbh Ingenieurgesell | Sensor zur messung hochfrequenter koerperschallwellen in verbrennungsmotoren, insbesondere otto-motoren |
| WO1994013207A1 (de) * | 1992-12-05 | 1994-06-23 | Avl Medical Instruments Ag | Sensor, einrichtung und verfahren zum messen des blutdruckes |
-
1996
- 1996-02-26 KR KR1019960004694A patent/KR0165516B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1996-10-18 US US08/733,931 patent/US5864066A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-11-21 CN CN96110979A patent/CN1081790C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1996-11-21 GB GB9624197A patent/GB2310563B/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-11-26 MY MYPI96004939A patent/MY112854A/en unknown
- 1996-11-29 DE DE19649679A patent/DE19649679B4/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-05 JP JP8325759A patent/JP2872170B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2310563A (en) | 1997-08-27 |
| DE19649679B4 (de) | 2005-02-24 |
| DE19649679A1 (de) | 1997-08-28 |
| GB2310563B (en) | 2000-04-12 |
| GB9624197D0 (en) | 1997-01-08 |
| KR970062664A (ko) | 1997-09-12 |
| MY112854A (en) | 2001-09-29 |
| US5864066A (en) | 1999-01-26 |
| CN1081790C (zh) | 2002-03-27 |
| JPH09236485A (ja) | 1997-09-09 |
| KR0165516B1 (ko) | 1999-05-01 |
| CN1158415A (zh) | 1997-09-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2872170B2 (ja) | 振動検出センサ | |
| CN1081791C (zh) | 振动检测传感器 | |
| US5438859A (en) | Acceleration sensor having fault diagnosing device | |
| JP3401790B2 (ja) | 加速度センサ及びこの加速度センサを用いた加速度装置 | |
| JPWO1999060413A1 (ja) | 加速度センサ及びこの加速度センサを用いた加速度装置 | |
| JPWO2005012921A1 (ja) | 加速度センサ | |
| US4565942A (en) | Energy trapped piezoelectric resonator liquid sensor | |
| JP3805576B2 (ja) | 振動変換器およびこの振動変換器を備えた加速度センサ | |
| WO1989005445A1 (en) | An acoustic emission transducer and an electrical oscillator | |
| JPS62294921A (ja) | 超音波検出装置 | |
| JP3141745B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP3879264B2 (ja) | 超音波センサ | |
| JPH08237796A (ja) | 超音波送受波器 | |
| JPH0943270A (ja) | 圧電型力学量センサ | |
| KR200183336Y1 (ko) | 표면 탄성파 필터의 표면실장형 패키지 | |
| JPH09119860A (ja) | 圧電型振動センサ装置 | |
| JPS63212873A (ja) | 加速度センサ | |
| JPH06186248A (ja) | 加速度センサー | |
| JPH09304171A (ja) | 圧電型振動センサ | |
| JPS5924976Y2 (ja) | レベル検知器 | |
| JPH1144600A (ja) | 圧力センサ | |
| JP3833422B2 (ja) | 振動変換器およびこの振動変換器を備えた加速度センサ | |
| JPH052173B2 (ja) | ||
| JP2001083174A (ja) | 加速度センサ | |
| JP2019174122A (ja) | 圧電振動センサ及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981124 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080108 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090108 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |