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JP2891659B2 - Hologram element and method of manufacturing the same - Google Patents
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JP2891659B2 - Hologram element and method of manufacturing the same - Google Patents

Hologram element and method of manufacturing the same

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JP2891659B2
JP2891659B2 JP24510595A JP24510595A JP2891659B2 JP 2891659 B2 JP2891659 B2 JP 2891659B2 JP 24510595 A JP24510595 A JP 24510595A JP 24510595 A JP24510595 A JP 24510595A JP 2891659 B2 JP2891659 B2 JP 2891659B2
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recording member
single crystal
hologram element
cut out
axis
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幸久 大杉
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  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の技術分野】本発明は、Bi1 2 SiO2 0 単結
晶をホログラムの干渉縞の記録用材料として使用したホ
ログラム素子およびその製造方法に関するものである。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates relates to a hologram element and a manufacturing method thereof using a Bi 1 2 SiO 2 0 single crystal as a recording material of the interference fringes of the hologram.

【0002】[0002]

【従来の技術】ホログラフィーは、完全な波面の再生技
術として、干渉測定、光情報処理、光学素子、3次元デ
ィスプレーなどに応用されている。ホログラムの寸法に
ついては、干渉測定、光情報処理、光学素子の諸用途に
おいては、使用目的に応じた制約はあるものの、必ずし
も大きな寸法の素子を必要とはしていない。しかし、最
近実用化が待望されている3次元ディスプレー用途で
は、ホログラム素子の寸法をある程度以上大きくするこ
とが絶対に必要である。なぜなら、3次元ディスプレー
用途においては、人の立体認識を可能とするためには、
人の両眼視差を利用する必要があるが、このためにはホ
ログラム素子の寸法が両目の間隔(50mm程度)以上
でなければならないからである。
2. Description of the Related Art Holography has been applied to interference measurement, optical information processing, optical elements, three-dimensional displays, etc. as a complete wavefront reproduction technique. Regarding the dimensions of the hologram, in various applications such as interference measurement, optical information processing, and optical elements, elements having large dimensions are not necessarily required, although there are restrictions depending on the purpose of use. However, for three-dimensional display applications, which are expected to be put to practical use recently, it is absolutely necessary to increase the dimensions of the hologram element to a certain extent. Because, in 3D display applications, in order to enable human stereoscopic recognition,
It is necessary to use the binocular parallax of a person, but the dimension of the hologram element must be equal to or more than the distance between the eyes (about 50 mm).

【0003】一方、Bi1 2 SiO2 0 単結晶を初めと
するフォトリフラクティブ結晶は、リアルタイムホログ
ラム(RH)素子として盛んに検討されている(例え
ば、「レーザー科学研究報告書」1990年,Mar.
第1〜9頁「BSO単結晶のホログラフィー記録特性に
ついて」参照)。しかし、リアルタイムホログラム素子
の寸法の上限は、干渉縞を記録する記録部材であるBS
O単結晶の形状、寸法によって物理的に制限されてしま
い、具体的には最大でも十数mm×十数mmであった。
この寸法上の制限のために、リアルタイムホログラム素
子の用途は、干渉測定および光情報処理のみに限定され
ている。しかし、リアルタイムホログラムは、今後特に
実用化が強く要望されている技術であり、具体的には、
3次元CADシステム等の3次元図像表示システムの出
力機器としての応用が待望されている。従って、リアル
タイムホログラム素子の大型化が強く望まれている。
On the other hand, photorefractive crystals such as Bi 12 SiO 2 single crystals have been actively studied as real-time hologram (RH) elements (see, for example, “Laser Science Research Report”, 1990, Mar.
See pages 1-9, "About the holographic recording characteristics of BSO single crystals." However, the upper limit of the dimension of the real-time hologram element is BS, which is a recording member for recording interference fringes.
It was physically limited by the shape and dimensions of the O single crystal, and specifically, it was at most a dozen mm × a dozen mm.
Because of this dimensional limitation, applications of real-time hologram elements are limited to only interferometry and optical information processing. However, real-time holograms are a technology that is strongly demanded for practical use in the future, and specifically,
There is a long-awaited demand for application as an output device of a three-dimensional image display system such as a three-dimensional CAD system. Therefore, it is strongly desired to increase the size of the real-time hologram element.

【0004】Bi1 2 SiO2 0 単結晶は、一般的な酸
化物単結晶と比較して、熱伝導率が低いために、結晶化
に伴う潜熱を逃がすことが難しい。このために、結晶の
育成中に、結晶内部の熱分布に伴って歪みやクラックが
発生し易く、大型化が困難であるとされてきた。しか
し、本出願人に所属する研究者が、引き上げ法(チョク
ラルスキー法)によってこの単結晶を引き上げるたその
好適な方法を開示した(「日本結晶成長学会誌 Vo
l.17 No.2(1990年)第60〜66頁」、
特開昭64−18993号公報、特開平1−23439
9号公報参照)。
[0004] Bi 12 SiO 20 single crystal has a lower thermal conductivity than a general oxide single crystal, so it is difficult to release latent heat accompanying crystallization. For this reason, it has been considered that, during the growth of the crystal, distortion and cracks are likely to occur due to the heat distribution inside the crystal, and it is difficult to increase the size. However, a researcher belonging to the present applicant has disclosed a preferred method of pulling this single crystal by the pulling method (Czochralski method) (“Journal of the Japan Society for Crystal Growth Vo
l. 17 No. 2 (1990) pp. 60-66 ",
JP-A-64-18993, JP-A-1-23439
No. 9).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記した
方法を適用してBi1 2SiO2 0 単結晶の大型化に取
り組んできたが、直径80mm、長さ100mmという
大型の単結晶体を育成することに成功している。しか
し、この単結晶体には次の問題があるために、大型の記
録部材を切り出すことが困難であった。この問題につい
て、図9(a)および(b)を参照しつつ、説明する。
The inventor of the present invention has been working to increase the size of a Bi 12 SiO 20 single crystal by applying the above-mentioned method. Has succeeded in nurturing. However, it is difficult to cut out a large-sized recording member because the single crystal has the following problems. This problem will be described with reference to FIGS. 9A and 9B.

【0006】一般に、単結晶体を育成する際には、その
育成の方位によって育成のし易さが異なっている。Bi
1 2 SiO2 0 単結晶の場合には、〈100〉軸または
〈111〉軸の方位が育成可能な方位であることが知ら
れている。特に、前述したような方法によって、〈10
0〉軸方位に関しては、大型の単結晶体の育成に成功し
ている。図9(a)は、この単結晶体1を示す斜視図で
あり、図9(b)は、単結晶体1を示す平面図である。
この単結晶体1の本体1aは円柱形状であり、この本体
1aの上端部に略円錐形状の上端部1bが形成されてい
る。単結晶体1は、〈100〉軸方位に引き上げられて
いる。
In general, when growing a single crystal, the ease of growth varies depending on the orientation of the growth. Bi
In the case of a 12 SiO 2 single crystal, it is known that the orientation of the <100> axis or the <111> axis is the orientation that can be grown. In particular, <10
0> Regarding the axis orientation, a large single crystal was successfully grown. FIG. 9A is a perspective view showing the single crystal 1, and FIG. 9B is a plan view showing the single crystal 1.
The main body 1a of the single crystal 1 has a cylindrical shape, and an upper end 1b having a substantially conical shape is formed at the upper end of the main body 1a. Single crystal body 1 is pulled up to the <100> axis orientation.

【0007】Bi1 2 SiO2 0 単結晶は、電圧を印加
するとフォトリフラクティブ効果を示す結晶体である
が、この際主面(011)面方位のウエハーに対して
[0007] The Bi 12 SiO 2 single crystal is a crystal that exhibits a photorefractive effect when a voltage is applied.

【外1】 軸と平行な方向に外部電界を印加すると、最も回折効率
が大きくなることが知られている。〈100〉軸の方向
に引き上げられた単結晶体1から、主面(011)面を
持つウエハーを切り出すためには、図9(a)、(b)
に示すように、単結晶体1を縦方向に切断して記録部材
15を切り出すことが、最も大面積の記録部材が得られ
る方法である。この記録部材15の一対の主面15aは
(011)面であり、長い方の側面15bは
[Outside 1] It is known that when an external electric field is applied in a direction parallel to the axis, the diffraction efficiency is maximized. In order to cut out a wafer having a main surface (011) from the single crystal body 1 pulled in the direction of the <100> axis, FIGS. 9A and 9B
As shown in (1), cutting the single crystal body 1 in the longitudinal direction to cut out the recording member 15 is a method for obtaining the recording member having the largest area. The pair of main surfaces 15a of the recording member 15 are (011) planes, and the longer side surface 15b is

【外2】 面であり、短い方の側面15cは(100)面である。[Outside 2] The shorter side surface 15c is a (100) plane.

【0008】ところが、Bi1 2 SiO2 0 単結晶は、
その結晶方位ごとに成長速度が顕著に異なっており、単
結晶体1の中心部に、コアと呼ばれる不純物濃度の高い
領域2が生成する。このコア部2の形態は略円柱形状で
あり、単結晶体1の引き上げ方向に向かって延びてい
る。コア部2の直径はBi1 2 SiO2 0 単結晶体1の
直径によって変動するが、上記したような直径80mm
程度の単結晶体を引き上げた場合には、コア部2の直径
は20mm程度に達する。
However, Bi 12 SiO 20 single crystal is
The growth rate is remarkably different for each crystal orientation, and a region 2 having a high impurity concentration called a core is generated at the center of the single crystal body 1. The shape of the core portion 2 is substantially cylindrical, and extends in the pulling direction of the single crystal body 1. The diameter of the core portion 2 varies depending on the diameter of the Bi 1 2 SiO 2 0 single crystal 1, but the diameter is 80 mm as described above.
When the single crystal body is pulled up, the diameter of the core part 2 reaches about 20 mm.

【0009】このコア部2の物性に関しては、信学技報
Vol.87 No.373「電子情報通信学会技術研
究報告 CPM 87−103〜110」(1988年
2月17日発行、社団法人電子情報通信学会)の第21
頁〜第27頁「Bi1 2 GeO2 0 単結晶育成 ファセ
ットに関与する光学品質について」で議論されている。
これによれば、Bi1 2 GeO2 0 、Bi1 2 SiO
2 0 単結晶を育成する際には、通常ファセットが生成
し、このファセットでは不純物の取り込みや結晶欠陥が
発生する。
The physical properties of the core 2 are described in IEICE Technical Report Vol. 87 No. 373, IEICE Technical Report CPM 87-103-110 (published February 17, 1988, IEICE)
Pp. 27 to “On the optical quality involved in the facet growth of Bi 12 GeO 20 single crystal”.
According to this, Bi 12 GeO 20 , Bi 12 SiO
When growing a 20 single crystal, a facet is usually generated, and incorporation of impurities and crystal defects occur in this facet.

【0010】このファセットにおいては、格子定数、光
の吸収特性、光伝導性が他の部分(オフファセット、ノ
ーマル部)とは異なっており、特に格子定数のミスマッ
チによって結晶に歪みが発生しているとされている。ま
た、ファセットとオフファセットとの間では色が異なっ
ており、400〜500nmでの吸収率がファセットの
方が大きいことも判明している。このように、ファセッ
トは光学的不均質部であることが判明しており、具体的
には光電圧センサーにおいて問題になることが開示され
ている。
In this facet, the lattice constant, light absorption characteristics, and photoconductivity are different from those of other parts (off facet, normal part), and the crystal is distorted due to the mismatch of the lattice constant. It has been. It has also been found that the facet and the off-facet have different colors, and that the facet has a higher absorption at 400 to 500 nm. Thus, facets have been found to be optically inhomogeneous and are disclosed to be particularly problematic in photovoltaic sensors.

【0011】こうしたファセットとは、図9におけるコ
ア部2のことであるが、リアルタイムホログラム素子の
記録部材を製造するためには、図9(a)、(b)に示
すように、コア部2が記録部材15中に含まれないよう
に切り出すことが考えられる。しかし、このように記録
部材15を切り出すと、記録部材15の寸法が小さくな
る。特に単結晶体1の直径を現状で実現可能な最大値で
ある約80mmとし、コア部の直径を20mmとする
と、記録部材15の寸法を50mm以上とすることは困
難であるため、前記した理由から、リアルタイムホログ
ラム素子の記録部材として使用することはできなくな
る。
Such a facet is the core part 2 in FIG. 9, but in order to manufacture a recording member of a real-time hologram element, as shown in FIGS. May be cut out so as not to be included in the recording member 15. However, when the recording member 15 is cut out in this way, the dimensions of the recording member 15 are reduced. In particular, if the diameter of the single crystal body 1 is about 80 mm, which is the maximum value currently achievable, and the diameter of the core is 20 mm, it is difficult to make the size of the recording member 15 50 mm or more. Therefore, it cannot be used as a recording member of the real-time hologram element.

【0012】本発明の課題は、Bi1 2 SiO2 0 単結
晶からなるホログラム素子の記録部材を製造するのに際
して、この記録部材の寸法を大きくできるようにするこ
とであり、同時にホログラム素子としての性能の劣化を
防止できるようにすることである。
An object of the present invention is to make it possible to increase the size of a recording member of a hologram element made of Bi 12 SiO 20 single crystal when manufacturing the same, and at the same time, to manufacture the hologram element as a hologram element. The purpose is to prevent performance degradation.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は、記録部材とこ
の記録部材に対して電圧を印加するための電極とを備え
ているホログラム素子であって、引き上げ法によって育
成されたBi1 2 SiO2 0 単結晶からなる単結晶体で
あって、この単結晶体の引き上げ軸の方向に延びるコア
部とノーマル部とを有している単結晶体から記録部材が
切り出されており、かつコア部とノーマル部とが記録部
材中に含まれていることを特徴とする、ホログラム素子
に係るものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a hologram element comprising a recording member and an electrode for applying a voltage to the recording member, wherein the hologram element is formed by a Bi 12 SiO The recording member is cut out of a single crystal having 20 cores and a single crystal having a core portion and a normal portion extending in the direction of the pulling axis of the single crystal, and the core portion And a normal portion are included in the recording member.

【0014】また、本発明は、引き上げ法によって育成
されたBi1 2 SiO20 単結晶からなる単結晶体であ
って、この単結晶体の引き上げ軸の方向に延びるコア部
とノーマル部とを有している単結晶体からホログラム素
子の記録部材を切り出すのに際して、コア部とノーマル
部とが記録部材中に含まれるように記録部材を切り出す
ことを特徴とするホログラム素子の製造方法に係るもの
である。
Further, the present invention is a single crystal composed of Bi 1 2 SiO 20 single crystal grown by the Czochralski method, have a core part and a normal portion extending in the direction of the pulling axis of the single crystal body The method according to the hologram element manufacturing method, wherein the recording member of the hologram element is cut out from the single crystal body, and the recording member is cut out such that the core part and the normal part are included in the recording member. is there.

【0015】本発明者は、前記したような、Bi1 2
iO2 0 単結晶体中のコア部(ファセット)の光学的特
性がノーマル部(オフファセット)とは異なっており、
光学的に不均質であるという当業者の常識に従って、図
9(a)、(b)に示すように、コア部を避けて記録部
材を切り出していた。しかし、本発明者は、この常識に
反して、コア部を含むように記録部材を切り出し、この
記録部材を使用して、後述するように、コア部とノーマ
ル部との各部分における回折効率の感度を測定した。
The present inventor has found that Bi 12 S
The optical characteristics of the core portion (facet) in the iO 20 single crystal are different from those of the normal portion (off facet),
According to the common knowledge of those skilled in the art that the recording member is optically inhomogeneous, the recording member is cut away from the core portion as shown in FIGS. 9A and 9B. However, contrary to this common sense, the present inventor cut out the recording member so as to include the core portion, and using this recording member, as will be described later, the diffraction efficiency of each portion of the core portion and the normal portion. The sensitivity was measured.

【0016】この結果、意外にもコア部とノーマル部と
の間で回折効率に差が見られないことを確認した。更
に、本発明者は、この記録部材を使用してバイナリイ画
像とアナログ画像との各画像の記録および再生を行った
結果、両者の間で差がなく、いずれでも良好な画像が現
像されることを発見した。この結果、単結晶体から記録
部材を切り出す際に、コア部を含むように記録部材を切
り出すことができるようになり、記録部材の寸法を大き
くすることに成功した。
As a result, it was confirmed that there was no surprising difference in diffraction efficiency between the core portion and the normal portion. Furthermore, the present inventor has performed recording and reproduction of each image of a binary image and an analog image using this recording member, and as a result, there is no difference between the two and a good image is developed in any case. Was found. As a result, when cutting the recording member from the single crystal, the recording member can be cut so as to include the core portion, and the dimensions of the recording member have been successfully increased.

【0017】[0017]

【発明の実施形態】ここで、単結晶体は、〈100〉軸
方位および〈111〉軸方位に向かって引き上げること
ができるが、特に大型の単結晶体を得るためには、〈1
00〉軸方位に引き上げることが好ましい。特に好適な
引き上げ方法は後述する。記録部材を〈100〉軸に沿
って引き上げた場合には、この記録部材の主面が(01
1)面となるように切り出すことが好ましく、この場合
に最も大面積の記録部材を切り出すことができる。ま
た、記録部材の主面が(100)面となるように切り出
すことができ、この場合には、単結晶体を引き上げ軸方
向とは垂直に切り出すことができる。
Here, the single crystal can be pulled toward the <100> axis orientation and the <111> axis orientation. However, in order to obtain a particularly large single crystal, the <1>
00> It is preferable to raise in the axial direction. A particularly preferred lifting method will be described later. When the recording member is pulled up along the <100> axis, the main surface of the recording member is (01)
1) It is preferable that the recording material is cut out so as to form a surface. In this case, the recording member having the largest area can be cut out. In addition, the recording member can be cut out such that the main surface thereof becomes the (100) plane. In this case, the single crystal can be cut out perpendicular to the pulling axis direction.

【0018】図1(a)は、本発明の実施形態に係る切
り出し方法を説明するための斜視図であり、図1(b)
はこの単結晶体1の平面図である。単結晶体1の本体1
aは円柱形状であり、本体1aの上端部に略円錐形状の
上端部1bが形成されている。単結晶体1は、〈10
0〉軸方位に引き上げられている。単結晶体1の中央部
にコア部2が生成しており、コア部2を取り囲むように
ノーマル部24が生成している。
FIG. 1A is a perspective view for explaining a cutting method according to an embodiment of the present invention, and FIG.
Is a plan view of the single crystal body 1. FIG. Main body 1 of single crystal 1
a has a columnar shape, and a substantially conical upper end 1b is formed at the upper end of the main body 1a. The single crystal 1 has a <10
0> axis direction. A core portion 2 is formed at the center of the single crystal body 1, and a normal portion 24 is formed so as to surround the core portion 2.

【0019】単結晶体1を縦方向に切断し、記録部材3
を切り出している。この記録部材3の一対の主面3aは
(011)面であり、長い方の側面3bは
The single crystal 1 is cut in the longitudinal direction, and the recording member 3 is cut.
Is cut out. The pair of main surfaces 3a of the recording member 3 are (011) planes, and the longer side surface 3b is

【外3】 面であり、短い方の側面3cは(100)面である。図
1(c)に示すように、この記録部材3の中央部には細
長いコア部20が含まれており、このコア部20の両側
にノーマル部21が含まれている。これによって、従来
ない極めて大面積の記録部材を切り出すことができるよ
うになった。
[Outside 3] The shorter side surface 3c is a (100) plane. As shown in FIG. 1C, the recording member 3 includes an elongated core portion 20 at the center thereof, and normal portions 21 on both sides of the core portion 20. This makes it possible to cut out a recording member having an extremely large area, which has not been achieved in the past.

【0020】図2(a)は、単結晶体1から記録部材4
を〈100〉軸に対して垂直方向に向かって切り出す方
法を説明するための斜視図である。この記録部材4の一
対の主面4aは〈100〉軸方位を向いており、側面4
bは
FIG. 2 (a) shows a single crystal 1 to a recording member 4;
FIG. 9 is a perspective view for describing a method of cutting out the direction perpendicular to the <100> axis. A pair of main surfaces 4a of the recording member 4 are oriented in the <100> axis direction.
b is

【外4】 軸の方向を向いており、側面4cは〈011〉軸の方向
を向いている。図2(b)に示すように、この記録部材
4の中心部分には、円形のコア部22が含まれており、
このコア部22を取り囲むようにノーマル部23が残留
している。
[Outside 4] The side surface 4c faces the <011> axis direction. As shown in FIG. 2B, a central portion of the recording member 4 includes a circular core portion 22.
The normal part 23 remains so as to surround the core part 22.

【0021】次いで、本発明に対して特に好適なBi
1 2 SiO2 0 単結晶の製造方法およびその特性につい
て述べる。図3は、この製造方法に好適に使用できる単
結晶の引き上げ装置を模式的に示す断面図である。耐火
物10の内側に、好ましくは白金からなるルツボ12が
収容、設置されており、ルツボ12の中に融液11が収
容されている。耐火物10を囲むように高周波コイル8
が設置されており、これを発熱させることによってルツ
ボ内の材料を溶融させる。
Next, Bi particularly suitable for the present invention is described.
A method for producing a 12 SiO 2 single crystal and its characteristics will be described. FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a single crystal pulling apparatus that can be suitably used in this manufacturing method. Inside the refractory 10, a crucible 12 preferably made of platinum is housed and installed, and the crucible 12 houses a melt 11 therein. High-frequency coil 8 surrounding refractory 10
Is provided, and the material in the crucible is melted by generating heat.

【0022】耐火物10の上側に更に耐火物6が設置さ
れており、耐火物6の中に白金製のアフターヒーター7
が設置されている。引き上げ軸5が耐火物6の窓6aに
挿入されており、引き上げ軸5の下端部が単結晶体9に
つながっている。この引き上げ軸5を矢印Bのように回
転させなから、矢印Aのように上方向へと向かって引き
上げ、単結晶体9を育成する。13はスペーサーであ
る。
A refractory 6 is further provided on the upper side of the refractory 10, and an after heater 7 made of platinum is provided in the refractory 6.
Is installed. The pulling shaft 5 is inserted into the window 6 a of the refractory 6, and the lower end of the pulling shaft 5 is connected to the single crystal 9. While rotating the pulling shaft 5 as shown by the arrow B, it is pulled upward as shown by the arrow A to grow the single crystal body 9. 13 is a spacer.

【0023】ここで、前記単結晶体を育成する条件は、
特願平1−234399号公報に記載の条件によること
が好ましい。即ち、原料を収容したルツボの融液の表面
から単結晶体の引き上げ方向の上方における10mmま
での温度勾配を50〜75℃/cmとし、これに引き続
く150mmに至るまでの間の温度勾配を10℃/cm
以下、1℃/cm以上とすることが好ましい。また、融
液の加熱温度を850〜950℃とすることが好まし
く、引き上げ軸にロードセルを設置することによって、
単結晶体の直径を自動的に制御することが好ましい。
The conditions for growing the single crystal are as follows:
It is preferable to use the conditions described in Japanese Patent Application No. 1-234399. That is, the temperature gradient from the surface of the melt of the crucible containing the raw material to 10 mm above in the pulling direction of the single crystal body is set to 50 to 75 ° C./cm, and the temperature gradient from then to 150 mm is set to 10 mm. ° C / cm
Hereinafter, the temperature is preferably set to 1 ° C./cm or more. Further, the heating temperature of the melt is preferably set to 850 to 950 ° C., and by installing a load cell on the pulling shaft,
Preferably, the diameter of the single crystal is automatically controlled.

【0024】また、酸化雰囲気中で育成することが好ま
しく、引き上げ速度を0.3mm/時間〜4mm/時間
とすることが好ましく、引き上げ軸の回転速度を5〜2
0rpmとすることが好ましい。このような育成条件に
よって、以下のような特性を有すBi1 2 SiO2 0
結晶を得ることができ、これに対して本発明を特に好適
に適用することができる。
Further, it is preferable to grow in an oxidizing atmosphere, the pulling speed is preferably 0.3 mm / hour to 4 mm / hour, and the rotation speed of the pulling shaft is 5 to 2 mm.
It is preferably set to 0 rpm. Under such growth conditions, a Bi 12 SiO 20 single crystal having the following characteristics can be obtained, and the present invention can be particularly suitably applied thereto.

【0025】[0025]

【表1】 格子定数 10.0〜10.2×10- 1 0 m 密度 9.1〜9.3g/cm3 誘電率 54〜58(100kHz) 屈折率 2.4〜2.6(λ=633nm) 暗抵抗 0.5〜5×101 4 Ω・cm 光導電性 0.5〜5×108 Ω/cm(λ=458
nm、2.5mW/cm2 ) ベルデ定数 3.4〜4.0×10- 3 Oe・cm(λ
=633nm)
TABLE 1 lattice constant 10.0~10.2 × 10 - 1 0 m density 9.1~9.3g / cm 3 permittivity 54-58 (100kHz) refractive index 2.4 to 2.6 (lambda = 633 nm) Dark resistance 0.5-5 × 10 14 Ω · cm Photoconductivity 0.5-5 × 10 8 Ω / cm (λ = 458)
nm, 2.5 mW / cm 2 ) Verde constant 3.4 to 4.0 × 10 −3 Oe · cm (λ
= 633 nm)

【0026】Bi1 2 SiO2 0 単結晶を使用したホロ
グラムの原理に関しては、前述した文献「BSO単結晶
のホログラフィー位相特性について」に記載されている
が、これは位相型の体積ホログラムとして使用できる。
このホログラムを製造する際には、記録部材の2つの側
面に電極を形成し、これらの各電極に電源を接続する。
こうした電極の材料としては、ITO蒸着膜、接着剤中
に銀粉等の導電材料を含有させた導電性接着剤等が好ま
しい。
The principle of the hologram using the Bi 12 SiO 20 single crystal is described in the above-mentioned document “Holographic phase characteristics of BSO single crystal”, which can be used as a phase type volume hologram. .
When manufacturing this hologram, electrodes are formed on two side surfaces of the recording member, and a power supply is connected to each of these electrodes.
As a material for such an electrode, an ITO vapor-deposited film, a conductive adhesive in which a conductive material such as silver powder is contained in an adhesive, or the like is preferable.

【0027】また、図1(a)、(b)に示すように、
記録部材3の主面3aが〈011〉軸を向いている場合
には、各電極を
As shown in FIGS. 1A and 1B,
When the main surface 3a of the recording member 3 faces the <011> axis, each electrode is

【外5】 面3bに形成することが好ましい。そして、物体光を主
面3aと垂直の方向に入射させ、かつ同時に参照光を入
射させ、ホログラム素子内に画像を書き込む。次いで、
参照光と同じ方向から再生光を主面へと照射し、書き込
み画像を再生する。
[Outside 5] Preferably, it is formed on the surface 3b. Then, the object light is made incident in a direction perpendicular to the main surface 3a, and at the same time, the reference light is made incident to write an image in the hologram element. Then
The reproduction light is irradiated onto the main surface from the same direction as the reference light to reproduce the written image.

【0028】この物体光、参照光としては、Bi1 2
iO2 0 単結晶が光伝導効果を示す波長488nmのア
ルゴンイオンレーザー光を好ましく使用でき、また再生
光としては、Bi1 2 SiO2 0 単結晶が光伝導効果を
示さない波長633nmのヘリウムネオンレーザー光を
好ましく使用することができる。
As the object light and the reference light, Bi 12 S
Argon ion laser light having a wavelength of 488 nm, in which the iO 20 single crystal exhibits a photoconductive effect, can be preferably used, and helium neon laser having a wavelength of 633 nm, in which the Bi 12 SiO 20 single crystal does not exhibit a photoconductive effect, can be used as reproduction light. Light can be preferably used.

【0029】[0029]

【実施例】(実施例1) 図1に示す方法で記録部材3を切り出し、これを使用し
てホログラム素子を作成し、その記録、再生特性を試験
した。具体的には、図3を参照しつつ説明した前記の製
造方法に従って、直径80mm、長さ100mmの単結
晶体1を製造した。ルツボとしては、直径150mm、
高さ150mmの円筒形状の白金製ルツボを使用した。
ルツボ内に、Bi1 2 SiO2 0 の焼結体14kgを収
容し、これを900℃に加熱して融液を生成させた。
EXAMPLES (Example 1) A recording member 3 was cut out by the method shown in FIG. 1, and a hologram element was prepared using the recording member 3, and its recording and reproduction characteristics were tested. Specifically, the single crystal body 1 having a diameter of 80 mm and a length of 100 mm was manufactured according to the above-described manufacturing method described with reference to FIG. As a crucible, diameter 150mm,
A cylindrical platinum crucible having a height of 150 mm was used.
In a crucible, 14 kg of a sintered body of Bi 12 SiO 20 was accommodated and heated to 900 ° C. to generate a melt.

【0030】白金製アフターヒーターを使用することに
よって、単結晶体1の引き上げ方向の上方における10
mmまでの間の温度勾配を50〜75℃/cmに調整
し、これに引き続く150mmに至るまでの温度勾配を
10℃/cmに調整した。また、引き上げ速度を1〜
1.5mm/時間とし、引き上げ軸の回転速度を10r
pmとした。得られた単結晶の特性を、以下の表2に示
す。
By using a platinum after-heater, it is possible to increase the number of 10
The temperature gradient up to 150 mm was adjusted to 50-75 ° C./cm, followed by the temperature gradient up to 150 mm at 10 ° C./cm. In addition, the lifting speed is 1 to
1.5 mm / hour and the rotation speed of the pulling shaft is 10 r
pm. The properties of the obtained single crystal are shown in Table 2 below.

【0031】[0031]

【表2】 格子定数 10.103×10-10 m 密度 9.2g/cm3 誘電率 56(100kHz) 屈折率 2.53(λ=633nm) 暗抵抗 101 4 Ω・cm 光導電性 108 Ω/cm(λ=458nm、2.5mW/cm2 ) 半波電圧 3900V(λ=633nm) ベルデ定数 3.67×10- 3 /Oe・cm(λ=633nm) 9.33×10- 4 /Oe・cm(λ=1150nm)Table 2 Lattice constant 10.103 × 10 -10 m Density 9.2 g / cm 3 Dielectric constant 56 (100 kHz) Refractive index 2.53 (λ = 633 nm) Dark resistance 10 14 Ω · cm Photoconductivity 10 8 Ω / cm (λ = 458nm, 2.5mW / cm 2) half wave voltage 3900V (λ = 633nm) Verdet constant 3.67 × 10 - 3 / Oe · cm (λ = 633nm) 9.33 × 10 - 4 / Oe · cm (λ = 1150nm)

【0032】この単結晶体1から、図1(a)、(b)
に示すようにして、内周刀研削機を使用して、図1
(c)の記録部材3を切り出した。この記録部材から寸
法8mm×8mm×3mmの平板状の試料を外周刀研削
機によって切り出し、この試料の各主面3aを光学研磨
し、
From this single crystal body 1, FIGS. 1 (a) and 1 (b)
As shown in FIG.
The recording member 3 of (c) was cut out. From this recording member, a flat sample of 8 mm × 8 mm × 3 mm in size was cut out by a peripheral knife grinder, and each main surface 3a of the sample was optically polished.

【外6】 軸方向の2つの側面3bに、導電性樹脂によって電極を
形成し、ホログラム素子を作成した。
[Outside 6] Electrodes were formed on the two side surfaces 3b in the axial direction with a conductive resin, and a hologram element was formed.

【0033】波長488nmのアルゴンイオンレーザー
光によって、130lp/mmの干渉縞を主面へと照射
し、ブラッグ回折条件で入射する波長633nmのヘリ
ウムネオンレーザー光の回折効率を測定した。図4に、
この測定結果を示す。図4において、横軸は書き込み光
の強度であり、縦軸は回折効率であり、白丸はノーマル
部の特性であり、黒丸はコア部の特性である。図4から
わかるように、驚くべきことに、コア部とノーマル部と
の間で回折効率にはまったく差が見られないことが判明
した。
The main surface was irradiated with an interference fringe of 130 lp / mm by an argon ion laser beam having a wavelength of 488 nm, and the diffraction efficiency of a 633 nm wavelength helium neon laser beam incident under Bragg diffraction conditions was measured. In FIG.
This measurement result is shown. In FIG. 4, the horizontal axis is the intensity of the writing light, the vertical axis is the diffraction efficiency, the white circles are the characteristics of the normal part, and the black circles are the characteristics of the core part. As can be seen from FIG. 4, it was surprisingly found that there was no difference in diffraction efficiency between the core portion and the normal portion.

【0034】(実施例2)実施例1で製造した単結晶体
1から、実施例1と同様にして記録部材3を切り出し
た。この記録部材の寸法は70mm×70mm×3mm
とした。この記録部材3の一対の側面3b〔
Example 2 A recording member 3 was cut out from the single crystal 1 produced in Example 1 in the same manner as in Example 1. The dimensions of this recording member are 70 mm x 70 mm x 3 mm
And A pair of side surfaces 3b of the recording member 3 [

【外7】 軸方位の面〕に導電性樹脂によって電極を形成した。7
0mm×70mmの寸法は、両眼の間隔(通常50mm
程度)よりも大きいので、再生像を両眼視差を用いて観
察することができるようになった。
[Outside 7] On the surface in the axial direction] using a conductive resin. 7
The dimension of 0 mm x 70 mm is the distance between the eyes (usually 50 mm
), The reconstructed image can be observed using binocular parallax.

【0035】波長488nmのアルゴンイオンレーザー
光によって130lp/mmの干渉縞を主面3aに照射
し、ブラッグ回折条件を満たす波長633nmのヘリウ
ムネオンレーザー光の回折効率を測定した。一対の電極
の間の印加電圧は、直流20kVとした。この回折効率
の感度特性の測定結果を図5に示す。
The main surface 3a was irradiated with 130 lp / mm interference fringes by argon ion laser light having a wavelength of 488 nm, and the diffraction efficiency of helium neon laser light having a wavelength of 633 nm satisfying the Bragg diffraction condition was measured. The applied voltage between the pair of electrodes was DC 20 kV. FIG. 5 shows the measurement results of the sensitivity characteristics of the diffraction efficiency.

【0036】図5において、横軸は書き込み光の強度で
あり、縦軸は回折効率である。図5からわかるように、
4mJ/cm2 以上のエネルギーの光を照射することに
よって、0.5%の回折効率が得られた。
In FIG. 5, the horizontal axis is the intensity of the writing light, and the vertical axis is the diffraction efficiency. As can be seen from FIG.
By irradiating light having an energy of 4 mJ / cm 2 or more, a diffraction efficiency of 0.5% was obtained.

【0037】そして、ホログラム素子における各点の均
一性を確認するために、素子の各点における回折効率を
測定した。この測定結果を図6に示す。図6において、
横軸は、主面3a上の各点の側面3bからの距離を示し
ており、縦軸は、各点における回折効率を示す。図6か
らわかるように、ノーマル部とコア部との間で回折効率
には差がなく、どの位置でもほぼ均一な回折効率が得ら
れていた。これは、前述した実施例1の結果とも一致し
ている。
Then, in order to confirm the uniformity of each point on the hologram element, the diffraction efficiency at each point of the element was measured. FIG. 6 shows the measurement results. In FIG.
The horizontal axis shows the distance of each point on the main surface 3a from the side surface 3b, and the vertical axis shows the diffraction efficiency at each point. As can be seen from FIG. 6, there was no difference in diffraction efficiency between the normal part and the core part, and almost uniform diffraction efficiency was obtained at any position. This is also consistent with the result of Example 1 described above.

【0038】(実施例3)実施例2で作成したホログラ
ム素子を使用し、バイナリイ画像とアナログ画像との再
生実験を行った。即ち、各原画像を透過フィルムに書き
込み、この透過フィルムに波長488nmの散乱光を照
射し、透過フィルムを透過した散乱光を各物体光として
使用した。この物体光を主面3aに対して垂直方向に入
射させ、同時に、コリメートされた参照光を主面3aに
照射し、各画像をホログラム記録した。原画像を記録し
た透過フィルムの寸法を100mm×100mmとし、
各透過フィルムをホログラム素子の主面から600mm
離れた位置に設置した。次いで、波長633nmの再生
光を主面へと照射し、ホログラムを再生した。
(Example 3) Using the hologram element prepared in Example 2, an experiment for reproducing a binary image and an analog image was performed. That is, each original image was written on a transmission film, and the transmission film was irradiated with scattered light having a wavelength of 488 nm, and the scattered light transmitted through the transmission film was used as each object light. The object light was incident on the main surface 3a in the vertical direction, and at the same time, the collimated reference light was irradiated on the main surface 3a, and each image was hologram-recorded. The dimensions of the transmission film on which the original image was recorded were 100 mm x 100 mm,
Each transmission film is 600 mm from the main surface of the hologram element.
It was installed at a remote location. Then, the main surface was irradiated with reproduction light having a wavelength of 633 nm to reproduce the hologram.

【0039】図7は、こうして得られたバイナリイ画像
の再生像を示し、図8はアナログ画像の再生像を示す。
スペックルノイズが現れているものの、良好な画像が再
生されている。これらの各画像は肉眼によって直接観察
することができ、この際、再生像の位置は原画フィルム
の置かれた位置に相当し、奥行きを正確に再現し、両眼
で確認することができた。この実験結果から、Bi1 2
SiO2 0単結晶を使用したホログラム素子を3次元デ
ィスプレイに対して適用できることが確認された。
FIG. 7 shows a reproduced image of the binary image thus obtained, and FIG. 8 shows a reproduced image of the analog image.
Although speckle noise appears, a good image is reproduced. Each of these images could be directly observed with the naked eye. At this time, the position of the reproduced image corresponded to the position where the original film was placed, and the depth was accurately reproduced and confirmed with both eyes. From this experimental result, Bi 1 2
It has been confirmed that a hologram element using a SiO 2 single crystal can be applied to a three-dimensional display.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれ
ば、単結晶体から記録部材を切り出す際に、コア部を含
むように記録部材を切り出すことができるようになり、
記録部材の寸法を大きくすることに成功した。そして、
このホログラム素子を使用することによって、バイナリ
イ画像やアナログ画像を両眼視差によって観察し、原画
像の奥行きに相当する奥行きを直接に観察できるように
なった。
As described above, according to the present invention, when a recording member is cut from a single crystal, the recording member can be cut so as to include a core portion.
We succeeded in increasing the size of the recording member. And
By using this hologram element, a binary image or an analog image can be observed by binocular parallax, and the depth corresponding to the depth of the original image can be directly observed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は、単結晶体1から記録部材3を切り出
している状態を示す斜視図であり、(b)は、単結晶体
1から記録部材3を切り出している状態を示す平面図で
あり、(c)は記録部材3を示す正面図である。
1A is a perspective view illustrating a state where a recording member 3 is cut out from a single crystal body 1, and FIG. 1B is a plan view illustrating a state where the recording member 3 is cut out from a single crystal body 1. FIG. FIG. 3C is a front view showing the recording member 3.

【図2】(a)は、単結晶体1から記録部材4を切り出
している状態を示す斜視図であり、(b)は、記録部材
4を示す正面図である。
FIG. 2A is a perspective view showing a state in which a recording member 4 is cut out from a single crystal body 1, and FIG. 2B is a front view showing the recording member 4.

【図3】Bi1 2 SiO2 0 単結晶を製造するのに好適
な製造装置を模式的に示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a production apparatus suitable for producing a Bi 12 SiO 20 single crystal.

【図4】記録部材3を切断して小寸法の記録部材試料を
製造し、これを使用してホログラム素子を製造した場合
に、このホログラム素子における書き込み光強度と回折
効率との関係を、コア部とノーマル部との双方について
示すグラフである。
FIG. 4 shows a relationship between the write light intensity and the diffraction efficiency in the hologram element when the recording member 3 is cut to produce a small-dimension recording member sample and the hologram element is produced using the sample. It is a graph shown about both a part and a normal part.

【図5】記録部材3を使用してホログラム素子を製造し
た場合に、このホログラム素子における書き込み光強度
と回折効率との関係を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a relationship between writing light intensity and diffraction efficiency in a hologram element when a hologram element is manufactured using the recording member 3;

【図6】記録部材3を使用してホログラム素子を製造し
た場合に、このホログラム素子の各点の位置と、各点に
おける回折効率との関係を示すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing a relationship between the position of each point of the hologram element and the diffraction efficiency at each point when the hologram element is manufactured using the recording member 3;

【図7】大寸法の記録部材3を使用したホログラム素子
を使用して再生したバイナリイ画像を示す写真である。
FIG. 7 is a photograph showing a binary image reproduced using a hologram element using a large-sized recording member 3;

【図8】大寸法の記録部材3を使用したホログラム素子
を使用して再生したアナログ画像を示す写真である。
FIG. 8 is a photograph showing an analog image reproduced using a hologram element using a large-sized recording member 3;

【図9】(a)は、単結晶体1から記録部材15を切り
出している状態を示す斜視図であり、(b)は、単結晶
体1から記録部材15を切り出している状態を示す平面
図である。
9A is a perspective view illustrating a state where the recording member 15 is cut out from the single crystal body 1, and FIG. 9B is a plan view illustrating a state where the recording member 15 is cut out from the single crystal body 1. FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 引き上げ法によって製造した単結晶体(ブール)
2 単結晶体中のコア部 3 大寸法の記録部材
3a 記録部材3の主面(011)面 3b 記録
部材3の側面
1 Single crystal produced by the pulling method (Boolean)
2 Core part in single crystal body 3 Large recording member
3a Main surface (011) surface of recording member 3 3b Side surface of recording member 3

【外8】 面 3c 記録部材3の側面(100)面 4 単
結晶体1を水平方向に切った記録部材 4a 記録部
材4の主面(100面) 4b 記録部材4の側面
[Outside 8] Surface 3c Side surface (100) surface of recording member 3 4 Recording member 4a obtained by cutting single crystal body 1 in the horizontal direction 4a Main surface (100 surface) of recording member 4 4b Side surface of recording member 4

【外9】 面 4c 記録部材4の側面(011)面 5 引
き上げ軸 7 アフターヒーター 8 高周波コイ
ル 11 融液 12 白金ルツボ 20、22
記録部材中のコア部 21、23 記録部材中のノ
ーマル部 24単結晶体1のノーマル部
[Outside 9] Surface 4c Side (011) surface of recording member 4 5 Pull-up shaft 7 After heater 8 High frequency coil 11 Melt 12 Platinum crucible 20, 22
Core part in recording member 21, 23 Normal part in recording member 24 Normal part of single crystal 1

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03H 1/02 G03H 1/22 G03H 1/26 G02F 1/05 G02F 1/03 C30B 15/00 C30B 29/00 G02B 5/32 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G03H 1/02 G03H 1/22 G03H 1/26 G02F 1/05 G02F 1/03 C30B 15/00 C30B 29 / 00 G02B 5/32

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】記録部材とこの記録部材に対して電圧を印
加するための電極とを備えているホログラム素子であっ
て、 引き上げ法によって育成されたBi1 2 SiO2 0 単結
晶からなる単結晶体であって、この単結晶体の引き上げ
軸の方向に延びるコア部とノーマル部とを有している単
結晶体から前記記録部材が切り出されており、かつ前記
コア部と前記ノーマル部とが前記記録部材中に含まれて
いることを特徴とする、ホログラム素子。
1. A hologram element comprising a recording member and an electrode for applying a voltage to the recording member, wherein the hologram element is a single crystal made of a Bi 12 SiO 20 single crystal grown by a pulling method. Body, the recording member is cut out of a single crystal having a core portion and a normal portion extending in the direction of the pulling axis of the single crystal body, and the core portion and the normal portion are A hologram element, wherein the hologram element is included in the recording member.
【請求項2】引き上げ法によって育成されたBi1 2
iO2 0 単結晶からなる単結晶体であって、この単結晶
体の引き上げ軸の方向に延びるコア部とノーマル部とを
有している単結晶体からホログラム素子の記録部材を切
り出すのに際して、前記コア部と前記ノーマル部とが前
記記録部材中に含まれるように前記記録部材を切り出す
ことを特徴とする、ホログラム素子の製造方法。
2. The Bi 12 S grown by the pulling method.
When cutting out the recording member of the hologram element from a single crystal body made of iO 20 single crystal and having a core part and a normal part extending in the direction of the pulling axis of the single crystal body, A method for manufacturing a hologram element, wherein the recording member is cut out such that the core portion and the normal portion are included in the recording member.
【請求項3】前記単結晶体が〈100〉軸方向に引き上
げられていることを特徴とする、請求項2記載のホログ
ラム素子の製造方法。
3. The method for manufacturing a hologram element according to claim 2, wherein said single crystal is pulled up in the <100> axis direction.
【請求項4】前記記録部材を、前記〈100〉軸に沿っ
て、この記録部材の主面が〈011〉軸方位となるよう
に切り出すことを特徴とする、請求項3記載のホログラ
ム素子の製造方法。
4. The hologram element according to claim 3, wherein the recording member is cut out along the <100> axis such that a main surface of the recording member has a <011> axis orientation. Production method.
【請求項5】前記記録部材を、その主面が前記〈10
0〉軸方位となるように切り出すことを特徴とする、請
求項3記載のホログラム素子の製造方法。
5. The recording member according to claim 1, wherein a main surface of said recording member is <10.
4. The method for producing a hologram element according to claim 3, wherein the hologram element is cut out so as to have a 0> axis orientation.
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