JP2895656B2 - Active matrix type liquid crystal display - Google Patents
Active matrix type liquid crystal displayInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、画素に対応して薄膜ト
ランジスタを設け、この薄膜トランジスタのスイッチン
グ作用を用いて液晶セルへの電圧書き込み及び保持動作
を行うアクティブマトリクス型液晶表示装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active matrix type liquid crystal display device in which a thin film transistor is provided corresponding to a pixel, and a voltage is written to and held in a liquid crystal cell by using the switching action of the thin film transistor.
【0002】[0002]
【従来の技術】アクティブマトリクス型表示装置は、表
示媒体として液晶を用い、単純マトリクス型表示装置と
同様に薄型の情報端末用表示装置として使用されてい
る。アクティブマトリクス型表示装置は、多数の画素が
各々単独に駆動しているように動作させることができる
ので、表示容量の増大に伴って画素数が増加しても、単
純マトリクス型のようにデューティ比が低下して、コン
トラストの低下や視野角の減少をきたす等の問題が生じ
ない。このため、アクティブマトリクス型液晶表示装置
は陰極線管(CRT)並みのカラー表示が得られ、薄型
のフラットディスプレイとして用途を広げつつある。2. Description of the Related Art An active matrix display device uses liquid crystal as a display medium and is used as a thin display device for an information terminal like a simple matrix display device. An active matrix display device can be operated as if a large number of pixels are individually driven. Therefore, even if the number of pixels increases with an increase in the display capacity, the duty ratio does not change as in the simple matrix type. And the problems such as a decrease in contrast and a decrease in viewing angle do not occur. For this reason, the active matrix type liquid crystal display device can obtain color display comparable to that of a cathode ray tube (CRT), and its use as a thin flat display is expanding.
【0003】高い製造歩留まりと美しいフルカラー表示
を実現できる方式として、(特願平2−218966
号)で示されたように、残像の原因となるDCレベルシ
フトを補償するための薄膜トランジスタ(TFT−C)
を設けた対向マトリクス方式のアクティブマトリクス型
表示装置が提案されている。この提案されたアクティブ
マトリクス型表示装置を図19を用いて説明する。As a method capable of realizing a high production yield and a beautiful full-color display, a method disclosed in Japanese Patent Application No. 2-218966 is disclosed.
), A thin film transistor (TFT-C) for compensating for a DC level shift that causes an afterimage
There has been proposed a facing matrix type active matrix type display device provided with. The proposed active matrix display device will be described with reference to FIG.
【0004】液晶(図示せず)を介して対向配置された
2枚の絶縁性基板の一方の絶縁性基板1上に表示電極1
4がマトリクス状に配置されている。図中表示電極14
の行方向の表示電極14間の中央に基準電位供給バスラ
イン16が形成されている。表示電極14間で基準電位
供給バスライン16の両側に、端子が共通なスキャンバ
スライン12が2本平行に形成されている。A display electrode 1 is provided on one of two insulating substrates 1 opposed to each other via a liquid crystal (not shown).
4 are arranged in a matrix. Display electrode 14 in FIG.
A reference potential supply bus line 16 is formed at the center between the display electrodes 14 in the row direction. Two scan bus lines 12 having common terminals are formed in parallel on both sides of the reference potential supply bus line 16 between the display electrodes 14.
【0005】表示電極14には、アドレス用の薄膜トラ
ンジスタ(TFT−A)20のソース・ドレインの一方
と、DCレベルシフトを補償しかつ冗長性を提供する補
償用の薄膜トランジスタ(TFT−C)22のソース・
ドレインの一方が接続されている。TFT−A20のソ
ース・ドレインの他の一方、及びTFT−C22のソー
ス・レインの他の一方は、基準電位供給バスライン16
に接続されている。The display electrode 14 includes one of a source and a drain of an address thin film transistor (TFT-A) 20 and a compensation thin film transistor (TFT-C) 22 for compensating for a DC level shift and providing redundancy. Source·
One of the drains is connected. The other of the source and the drain of the TFT-A 20 and the other of the source and the drain of the TFT-C 22 are connected to the reference potential supply bus line 16.
It is connected to the.
【0006】2本のスキャンバスライン12のうちの1
本にはTFT−A20のゲートが接続され、他の1本に
はTFT−C22のゲートが接続されている。これら2
つの薄膜トランジスタは、スキャンバスライン12の駆
動波形をアドレス用のパルスと補償用のパルスで構成す
ることにより、動作させている。液晶を挟むもう一方の
絶縁性基板(図示せず)に、図中表示電極14の列方向
に、表示電極14に対向してストライプ状のデータバス
ライン10が形成されている。[0006] One of the two scan bus lines 12
The gate of the TFT-A20 is connected to the book, and the gate of the TFT-C22 is connected to the other book. These two
The two thin film transistors are operated by configuring the drive waveform of the scan bus line 12 with an address pulse and a compensation pulse. On the other insulating substrate (not shown) sandwiching the liquid crystal, stripe-shaped data bus lines 10 are formed facing the display electrodes 14 in the column direction of the display electrodes 14 in the figure.
【0007】表示は、データバスライン10と表示電極
14との間に印加する電圧を制御することにより行われ
る。このような構成にすることにより、TFT基板1に
スキャンバスライン12とデータバスライン10の交差
が生じないため高い歩留まりが得られ、DCレベルシフ
トの補償により美しい表示を実現することができる。The display is performed by controlling the voltage applied between the data bus line 10 and the display electrode 14. With such a configuration, a high yield is obtained because the scan bus line 12 and the data bus line 10 do not intersect on the TFT substrate 1, and a beautiful display can be realized by compensation of the DC level shift.
【0008】また、基準電位供給バスライン16は、T
FT−A20、及びTFT−C22のソース・ドレイン
を構成する電極とゲートを構成する電極の2つの電極層
を用いることにより完全に多層化することができるの
で、断線欠陥が生じにくい構造とすることができる。Further, the reference potential supply bus line 16
By using two electrode layers of the FT-A20 and the TFT-C22, ie, the electrode constituting the source / drain and the electrode constituting the gate, the structure can be completely multi-layered, so that a structure in which a disconnection defect hardly occurs. Can be.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかし、スキャンバス
ライン12は、これら2つの電極層を用いることにより
部分的には多層構造とすることができるが、TFT−A
20、及びTFT−C22の接続部分は、ゲート層だけ
で構成する必要があり、多層構造にすることができない
ので断線欠陥が生じやすい。However, the scan bus line 12 can be partially formed into a multilayer structure by using these two electrode layers.
The connection portion between the TFT 20 and the TFT-C 22 needs to be constituted only by the gate layer, and cannot have a multi-layer structure.
【0010】また、端末部でのみ2本の平行なスキャン
バスライン12が接続されているため、スキャンバスラ
イン12に1箇所でも断線部分が生じると、線欠陥とし
て表示されてしまう。このように、アクティブマトリク
ス型表示装置は、各画素毎にスイッチング素子としてT
FTを形成しなければならないので構造が複雑となり、
その製造工程において上記欠陥を生じ易いという問題が
ある。また、大画面のアクティブマトリクス型表示装置
を製造しようとすると、大型の製造装置が必要で設備費
が高額になり、同時に上記欠陥により製造歩留まりが低
下してしまうため、コストが高くなるという問題があ
る。従って、現在その実用化は比較的小さな画面サイズ
のものに限られているという問題がある。[0010] Further, since two parallel scan bus lines 12 are connected only at the terminal section, if any one of the scan bus lines 12 is broken, it is displayed as a line defect. As described above, in the active matrix type display device, T
Since the FT must be formed, the structure becomes complicated,
There is a problem that the above-mentioned defects are easily generated in the manufacturing process. Further, when attempting to manufacture a large-screen active matrix display device, a large-sized manufacturing apparatus is required, which increases the equipment cost, and at the same time, the above-described defects lower the manufacturing yield. is there. Therefore, there is a problem that its practical use is currently limited to those having a relatively small screen size.
【0011】本発明の目的は、大画面でも、低コストで
高い製造歩留まりを実現できるアクティブマトリクス型
表示装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an active matrix type display device which can realize a high production yield at low cost even with a large screen.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的は、液晶を介し
て対向配置された2枚の絶縁性基板と、前記2枚の絶縁
性基板の一方にマトリクス状に形成された複数の表示電
極と、前記複数の表示電極の行間に形成された基準電位
供給バスラインと、前記複数の表示電極行間であって、
前記基準電位供給バスラインの両側に平行に形成された
2本一組のスキャンバスラインと、前記2本一組のスキ
ャンバスラインのうち一方に接続されたゲートと、前記
表示電極又は前記基準電位供給バスラインの一方に接続
されたドレインと、前記表示電極又は前記基準電位供給
バスラインの他方に接続されたソースとを備えたアドレ
ス用薄膜トランジスタと、前記2本一組のスキャンバス
ラインの他方に接続されたゲートと、前記基準電位供給
バスラインに対し前記表示電極に相対して配置された他
の表示電極又は前記基準電位供給バスラインの一方に接
続されたドレインと、前記他の表示電極又は前記基準電
位供給バスラインの他方に接続されたソースとを備えた
補償用薄膜トランジスタと、前記2枚の絶縁性基板の他
方に前記表示電極と対向して、前記表示電極の列方向に
形成されたストライプ状のデータバスラインとを有する
対向マトリクス形式のアクティブマトリクス型液晶表示
装置において、前記スキャンバスラインは、前記アドレ
ス用薄膜トランジスタ及び/又は前記補償用薄膜トラン
ジスタが形成されている領域を除く領域において多層化
されており、前記アドレス用薄膜トランジスタと前記補
償用薄膜トランジスタは、前記基準電位供給バスライン
を挟んで斜め方向に対向する位置に設けられていること
を特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置によ
って達成される。An object of the present invention is to provide two insulating substrates opposed to each other via a liquid crystal, and a plurality of display electrodes formed in a matrix on one of the two insulating substrates. A reference potential supply bus line formed between rows of the plurality of display electrodes, and between the plurality of display electrode rows,
A pair of scan bus lines formed in parallel on both sides of the reference potential supply bus line, a gate connected to one of the pair of scan bus lines, the display electrode or the reference potential; An address thin-film transistor having a drain connected to one of the supply bus lines and a source connected to the other of the display electrode or the reference potential supply bus line; and a thin-film transistor for addressing the pair of scan bus lines. A connected gate, a drain connected to one of the other display electrodes or the reference potential supply bus line disposed opposite to the display electrode with respect to the reference potential supply bus line, and the other display electrode or A compensating thin film transistor having a source connected to the other of the reference potential supply bus lines, and a display electrode provided on the other of the two insulating substrates. Oppositely, in the active matrix type liquid crystal display device of the opposite matrix format and a data bus line stripe formed in a column direction of the display electrode, the scan bus lines, the address
Thin film transistor for compensation and / or thin film transistor for compensation
Multi-layering in areas other than areas where the transistors are formed
The active matrix type liquid crystal display device is characterized in that the address thin film transistor and the compensation thin film transistor are provided at positions obliquely facing each other across the reference potential supply bus line. .
【0013】また、上記目的は、液晶を介して対向配置
された2枚の絶縁性基板と、前記2枚の絶縁性基板の一
方にマトリクス状に形成された複数の表示電極と、前記
複数の表示電極の行間に形成された基準電位供給バスラ
インと、前記複数の表示電極行間であって、前記基準電
位供給バスラインの両側に平行に形成された2本一組の
スキャンバスラインと、前記2本一組のスキャンバスラ
インのうち一方に接続されたゲートと、前記表示電極又
は前記基準電位供給バスラインの一方に接続されたドレ
インと、前記表示電極又は前記基準電位供給バスライン
の他方に接続されたソースとを備えたアドレス用薄膜ト
ランジスタと、前記2本一組のスキャンバスラインの他
方に接続されたゲートと、前記基準電位供給バスライン
に対し前記表示電極に相対して配置された他の表示電極
又は前記基準電位供給バスラインの一方に接続されたド
レインと、前記他の表示電極又は前記基準電位供給バス
ラインの他方に接続されたソースとを備えた補償用薄膜
トランジスタと、前記2枚の絶縁性基板の他方に前記表
示電極と対向して、前記表示電極の列方向に形成された
ストライプ状のデータバスラインとを有する対向マトリ
クス形式のアクティブマトリクス型液晶表示装置におい
て、前記表示電極の行間で、前記2本一組のスキャンバ
スラインの各スキャンバスラインをそれぞれ接続する接
続部を有することを特徴とするアクティブマトリクス型
液晶表示装置によって達成される。The above object is also achieved by providing two insulating substrates opposed to each other via a liquid crystal, a plurality of display electrodes formed in a matrix on one of the two insulating substrates, A reference potential supply bus line formed between rows of display electrodes, a pair of scan bus lines formed between the plurality of display electrode rows and in parallel on both sides of the reference potential supply bus line, and A gate connected to one of the pair of scan bus lines, a drain connected to one of the display electrode or the reference potential supply bus line, and a drain connected to the other of the display electrode or the reference potential supply bus line. An address thin-film transistor having a source connected thereto, a gate connected to the other of the pair of scan bus lines, and the display potential with respect to the reference potential supply bus line. A drain connected to one of the other display electrodes or the reference potential supply bus line, and a source connected to the other display electrode or the other of the reference potential supply bus lines. An active matrix liquid crystal of a facing matrix type having a compensating thin film transistor and a stripe-shaped data bus line formed in the column direction of the display electrode on the other of the two insulating substrates so as to face the display electrode. In the display device, the present invention is achieved by an active matrix liquid crystal display device having a connection portion connecting each scan bus line of the pair of scan bus lines between rows of the display electrodes.
【0014】[0014]
【作用】本発明によれば、基準電位供給バスラインの両
側に平行に形成される2本のスキャンバスラインの多層
化が実現でき、スキャンバスラインの線欠陥の発生を抑
えることができるので、大画面のアクティブマトリクス
型表示装置を実現でき、さらに低コストで高い製造歩留
まりを実現することができる。According to the present invention, it is possible to realize a multi-layer structure of two scan bus lines formed in parallel on both sides of the reference potential supply bus line, and it is possible to suppress the occurrence of line defects in the scan bus lines. A large screen active matrix display device can be realized, and a high production yield can be realized at low cost.
【0015】[0015]
【実施例】本発明の第1の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置を図1を用いて説明する。液晶
(図示せず)を介して対向配置された2枚の絶縁性基板
の一方の絶縁性基板1上に、複数の表示電極14がマト
リクス状に形成されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An active matrix type liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. A plurality of display electrodes 14 are formed in a matrix on one of two insulating substrates 1 opposed to each other via a liquid crystal (not shown).
【0016】複数の表示電極14の行間に基準電位供給
バスライン16が形成されている。複数の表示電極14
の行間であって、基準電位供給バスライン16の両側に
平行に2本一組のスキャンバスライン12が形成されて
いる。一組のスキャンバスライン12のうち1本のスキ
ャンバスライン12にゲートが接続され、表示電極14
と基準電位供給バスライン16間に接続されたアドレス
用薄膜トランジスタTFT−A20が形成されている。A reference potential supply bus line 16 is formed between rows of the plurality of display electrodes 14. Multiple display electrodes 14
, And a pair of scan bus lines 12 are formed in parallel on both sides of the reference potential supply bus line 16. The gate is connected to one scan bus line 12 of the set of scan bus lines 12, and the display electrode 14
And an address thin film transistor TFT-A20 connected between the reference potential supply bus line 16 and the reference potential supply bus line 16.
【0017】また、一組のスキャンバスライン12の他
の1本のスキャンバスライン12にゲートが接続され、
他の表示電極14と基準電位供給バスライン16間に接
続された補償用薄膜トランジスタTFT−C22が形成
されている。アドレス用薄膜トランジスタTFT−A2
0は、隣合って配置された表示電極14同士が一組とな
り、また、補償用薄膜トランジスタTFT−C22は、
基準電位供給バスライン16を介して反対側に設けら
れ、隣合って配置された他の表示電極14同士が一組と
なり、基準電位供給バスライン16上でアドレス用薄膜
トランジスタTFT−A20の組と補償用薄膜トランジ
スタTFT−C22の組は交互に配置されている。A gate is connected to another scan bus line 12 of the set of scan bus lines 12,
A compensation thin film transistor TFT-C22 connected between the other display electrode 14 and the reference potential supply bus line 16 is formed. Address thin film transistor TFT-A2
0 is a set of display electrodes 14 arranged adjacent to each other, and the compensation thin film transistor TFT-C22 is
The other display electrodes 14 which are provided on the opposite side via the reference potential supply bus line 16 and are adjacent to each other form a set, and are compensated for on the reference potential supply bus line 16 by a set of address thin film transistors TFT-A20. Of thin film transistors TFT-C22 are alternately arranged.
【0018】他の一方の絶縁性基板(図示せず)上に表
示電極14と対向して、表示電極14の列方向にストラ
イプ状のデータバスライン(図示せず)が形成されてい
る。データバスラインと表示電極14との間に印加する
電圧を制御することにより表示が行われる。本実施例に
よるアクティブマトリクス型液晶表示装置のようにTF
Tを配置すれば、スキャンバスライン12がTFTのゲ
ート電極層のみで構成されている部分(TFT部及びそ
の近傍)の位置が、2本のスキャンバスライン12間で
遠くなるため、例えば、アクティブマトリクス型液晶表
示装置の製造工程におけるゲート電極層形成時に大きな
異物が混入し、2本のスキャンバスライン12のゲート
電極対応層部分が同時に断線した場合でも、この領域で
2本のスキャンバスライン12のうち少なくとも1本の
スキャンバスライン12は多層化されており、スキャン
バスライン12の線欠陥とはならない。すなわち、多層
化されている1本のスキャンバスライン12のソース・
ドレイン電極対応層により接続されていることになる。A stripe-shaped data bus line (not shown) is formed on another insulating substrate (not shown) in the column direction of the display electrodes 14 so as to face the display electrodes 14. Display is performed by controlling the voltage applied between the data bus line and the display electrode 14. As in the active matrix type liquid crystal display device according to the present embodiment, the TF
If T is arranged, the position of the portion where the scan bus line 12 is formed only of the gate electrode layer of the TFT (the TFT portion and its vicinity) becomes far between the two scan bus lines 12, so that, for example, Even when a large foreign substance is mixed in the formation of the gate electrode layer in the manufacturing process of the matrix type liquid crystal display device and the gate electrode corresponding layer portions of the two scan bus lines 12 are disconnected at the same time, the two scan bus lines 12 At least one of the scan bus lines 12 is multilayered and does not become a line defect of the scan bus line 12. In other words, the source / source of one multi-layer scan bus line 12
This means that they are connected by the drain electrode corresponding layer.
【0019】本発明の第1の実施例によるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法を図2乃至図6を用
いて説明する。図2乃至図5は本実施例のアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の基板底面パターンを、図6
(a)〜(d)は図2〜図5のX−X線での概略断面図
を示す。まず、ガラス基板1上に透明電極である表示電
極31を形成するため、スパッタ法によりITO30を
厚さ50nm形成する。次に、ITO30上にn+ a−
Si層のオーミックコンタクト層32をプラズマCVD
法により厚さ30nm形成した後、ソース・ドレイン電
極、表示電極31及びスキャンバスライン12接続用の
開口部34のパターニングを行う。図中斜線部はソース
・ドレイン及び電極パターンである(図2、図6
(a))。A method of manufacturing an active matrix type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 5 show bottom patterns of the substrate of the active matrix type liquid crystal display device of the present embodiment, and FIGS.
(A)-(d) shows the schematic sectional drawing in XX of FIGS. 2-5. First, in order to form a display electrode 31 which is a transparent electrode on the glass substrate 1, an ITO 30 is formed to a thickness of 50 nm by a sputtering method. Next, n + a-
Plasma CVD for ohmic contact layer 32 of Si layer
After a thickness of 30 nm is formed by a method, the source / drain electrodes, the display electrodes 31, and the openings 34 for connecting the scan bus lines 12 are patterned. The hatched portions in the figures are the source / drain and electrode patterns (FIGS. 2 and 6).
(A)).
【0020】次に、基板1全面に厚さ30nmのa−S
iを成長させパターニングして半導体層36を形成す
る。半導体層36上にSiN層の一層目のゲート絶縁膜
38を厚さ50nm程度プラズマCVD法にて形成した
後、素子分離のパターニングを行う。図3中斜線部が素
子分離パターンである(図3、図6(b))。続いて、
SiN層の2層目のゲート絶縁膜40をプラズマCVD
法により厚さ250nm程度形成した後、開口部42を
形成する(図4、図6(c))。Then, a 30 nm thick a-S
i is grown and patterned to form a semiconductor layer 36. After a first-layer gate insulating film 38 of a SiN layer is formed on the semiconductor layer 36 by a plasma CVD method with a thickness of about 50 nm, patterning for element isolation is performed. The hatched portion in FIG. 3 is an element isolation pattern (FIG. 3, FIG. 6B). continue,
Plasma CVD of the second gate insulating film 40 of the SiN layer
After a thickness of about 250 nm is formed by the method, an opening 42 is formed (FIGS. 4 and 6C).
【0021】さらに、Alをスパッタ法により厚さ60
0nmだけ形成した後、スキャンバスライン12及び基
準電圧供給バスライン16のパターニングを行う。図5
中斜線部はバスラインパターンである(図5、図6
(d))。こうすることにより、基準電位供給バスライ
ン16及びスキャンバスライン12は、ソース・ドレイ
ン電極材料であるITO及びゲート電極材料であるAl
により、それぞれ多層化することができる。Furthermore, Al is sputtered to a thickness of 60
After forming only 0 nm, the scan bus line 12 and the reference voltage supply bus line 16 are patterned. FIG.
Middle shaded portions are bus line patterns (FIGS. 5 and 6).
(D)). By doing so, the reference potential supply bus line 16 and the scan bus line 12 are made of ITO as the source / drain electrode material and Al as the gate electrode material.
Thereby, each can be multilayered.
【0022】本発明の第2の実施例によるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置を図7を用いて説明する。液晶
(図示せず)を介して対向配置された2枚の絶縁性基板
の一方の絶縁性基板1上に、複数の表示電極14がマト
リクス状に形成されている。複数の表示電極14の行間
に基準電位供給バスライン16が形成されている。複数
の表示電極14の行間であって、基準電位供給バスライ
ン16の両側に平行に2本一組のスキャンバスライン1
2が形成されている。一組のスキャンバスライン12の
うち1本のスキャンバスライン12にゲートが接続さ
れ、表示電極14と基準電位供給バスライン16間に接
続されたアドレス用薄膜トランジスタTFT−A20が
形成されている。An active matrix type liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. A plurality of display electrodes 14 are formed in a matrix on one of two insulating substrates 1 opposed to each other via a liquid crystal (not shown). A reference potential supply bus line 16 is formed between rows of the plurality of display electrodes 14. A set of two scan bus lines 1 is provided between rows of the plurality of display electrodes 14 and in parallel on both sides of the reference potential supply bus line 16.
2 are formed. The gate is connected to one scan bus line 12 of the set of scan bus lines 12, and an address thin film transistor TFT-A20 connected between the display electrode 14 and the reference potential supply bus line 16 is formed.
【0023】また、一組のスキャンバスライン12の他
の1本のスキャンバスライン12にゲートが接続され、
他の表示電極14と基準電位供給バスライン16間に接
続された補償用薄膜トランジスタTFT−C22が形成
されている。ある行の表示電極14のアドレス用薄膜ト
ランジスタTFT−A20と、隣合う行の表示電極14
補償用薄膜トランジスタTFT−C22とが、基準電位
供給バスライン16に対して対称に接続されている。A gate is connected to another scan bus line 12 of the set of scan bus lines 12,
A compensation thin film transistor TFT-C22 connected between the other display electrode 14 and the reference potential supply bus line 16 is formed. The thin-film transistor TFT-A20 for addressing the display electrode 14 in a certain row and the display electrode 14 in an adjacent row
The compensation thin film transistor TFT-C22 is symmetrically connected to the reference potential supply bus line 16.
【0024】2本一組のスキャンバスライン12の各々
は、図中中央にて接続部50により接続されている。他
の一方の絶縁性基板(図示せず)上に表示電極14と対
向して、表示電極14の列方向にストライプ状のデータ
バスライン(図示せず)が形成されている。データバス
ラインと表示電極14との間に印加する電圧を制御する
ことにより表示が行われる。Each of the pair of scan bus lines 12 is connected by a connection portion 50 at the center in the figure. A stripe-shaped data bus line (not shown) is formed on the other one of the insulating substrates (not shown) so as to face the display electrodes 14 in the column direction of the display electrodes 14. Display is performed by controlling the voltage applied between the data bus line and the display electrode 14.
【0025】こうすることにより、隣接する接続箇所間
に2箇所以上の断線部分がないかぎり、断線部分が存在
しても全てのTFTのゲートに駆動電圧を供給できるよ
うになり、表示欠陥を起こすことがない。特に、マトリ
クスを構成するTFTがトップゲートスタガー構造の場
合、2本のスキャンバスライン12を接続する導電層と
して、TFTのドレイン及びソースと同じ導電層を用い
ることにより、接続した場合の基準電位供給バスライン
16との交差部の影響を最小限に抑えることができる。
即ち、この交差部の断面構造をTFTのソース・ドレイ
ンとゲートの重なり部の断面構造と同じにでき、2本の
スキャンバスライン12を接続したことによる重なり面
積の増加は微小となる。例えば、パネルが480×64
0カラー画素(ストライプ構成)、TFT1箇所当りの
ゲートとドレインのチャネル方向の重なりが5μm(チ
ャネルと垂直方向の重なりを20μm)の場合を考える
と、スキャンバス1ライン当りのゲートとドレインの重
なりは、5×20×640×3=192000μm2 と
なる。By doing so, a drive voltage can be supplied to the gates of all the TFTs even if there is a disconnection portion, unless there are two or more disconnection portions between adjacent connection portions, causing display defects. Nothing. In particular, when the TFT forming the matrix has a top gate stagger structure, the same conductive layer as the drain and source of the TFT is used as the conductive layer connecting the two scan bus lines 12 to supply the reference potential when connected. The influence of the intersection with the bus line 16 can be minimized.
That is, the cross-sectional structure of the intersection can be made the same as the cross-sectional structure of the overlapping portion of the source / drain and the gate of the TFT, and the increase in the overlapping area due to the connection of the two scan bus lines 12 is small. For example, if the panel is 480x64
Considering the case of 0-color pixel (stripe configuration), where the overlap of the gate and drain per TFT in the channel direction is 5 μm (the overlap in the vertical direction with the channel is 20 μm), the overlap of the gate and drain per scan bus line is as follows. 5 × 20 × 640 × 3 = 192000 μm 2 .
【0026】これに対し、2本のスキャンバスライン1
2の接続箇所を1ライン当り10箇所を設けた場合、こ
の部分での重なりは、スキャンバス1ライン当り、10
×10×10=1000μm2 となり、重なりの増加分
は1%以下に抑えられることになる。このように、本実
施例によれば、基準電位供給バスライン16の両側に平
行に設けられた2本のスキャンバスライン12を表示領
域内で数箇所接続することにより、スキャンバスライン
12の多重化を行うことができ、断線表示欠陥に対する
歩留まりが大幅に向上できる。On the other hand, two scan bus lines 1
In the case where 10 connection points are provided per line, the overlap at this point is 10 lines per scan bus line.
× 10 × 10 = 1000 μm 2 , and the increase in overlap is suppressed to 1% or less. As described above, according to the present embodiment, the multiplexing of the scan bus lines 12 is performed by connecting two scan bus lines 12 provided in parallel on both sides of the reference potential supply bus line 16 in the display area. And the yield for disconnection display defects can be significantly improved.
【0027】本発明の第2の実施例によるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法を図8乃至図12を
用いて説明する。図8乃至図11は本実施例のアクティ
ブマトリクス型液晶表示装置の基板底面パターンを、図
12(a)〜(d)はX−X線での概略断面図、同図
(a′)〜(d′)はY−Y線での概略断面図を示す。
まず、ガラス基板1上に透明電極である表示電極31を
形成するため、スパッタ法により厚さ50nmのITO
30を形成する。次に、ITO30上にn+ a−Si層
のオーミックコンタクト層32をプラズマCVD法によ
り厚さ30nm形成した後、ソース・ドレイン電極、表
示電極31及びスキャンバス接続用の開口部34のパタ
ーニングを行う。図8中斜線部がソース・ドレイン、電
極パターンである(図8、図12(a)、(a′))。A method of manufacturing an active matrix type liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIGS. 8 to 11 show substrate bottom patterns of the active matrix type liquid crystal display device of this embodiment, FIGS. 12 (a) to 12 (d) are schematic sectional views taken along line XX, and FIGS. d ') shows a schematic sectional view along the line YY.
First, in order to form the display electrode 31 which is a transparent electrode on the glass substrate 1, an ITO having a thickness of 50 nm is formed by a sputtering method.
Form 30. Next, after forming an ohmic contact layer 32 of an n + a-Si layer on the ITO 30 by a thickness of 30 nm by a plasma CVD method, patterning of a source / drain electrode, a display electrode 31, and an opening for scan bus connection is performed. . The hatched portions in FIG. 8 indicate the source / drain and electrode patterns (FIGS. 8, 12A and 12A).
【0028】次に、基板1全面に厚さ30nmのa−S
iを成長させパターニングして半導体層36を形成す
る。半導体層36上にSiN層の一層目のゲート絶縁膜
38を厚さ50nm程度プラズマCVD法にて形成した
後、素子分離のパターニングを行う。図9中斜線部が素
子分離パターンである(図9、図12(b)、
(b′))。Next, a 30 nm thick a-S
i is grown and patterned to form a semiconductor layer 36. After a first-layer gate insulating film 38 of a SiN layer is formed on the semiconductor layer 36 by a plasma CVD method with a thickness of about 50 nm, patterning for element isolation is performed. The hatched portions in FIG. 9 are the element isolation patterns (FIGS. 9 and 12B,
(B ')).
【0029】続いて、SiN層の2層目のゲート絶縁膜
40、43をプラズマCVD法により厚さ250nm程
度形成した後、開口部42、44を形成する(図10、
図12(c)、(c′))。さらに、Alをスパッタ法
により厚さ600nmだけ形成した後、スキャンバスラ
イン12及び基準電圧供給バスライン16のパターニン
グを行う。図11中斜線部はバスラインパターンであ
る。このとき、すでに形成されている開口部44を介し
て接続用電極(ITO)30により、2本のスキャンバ
スライン12の接続が行われる(図11、図12
(d)、(d′))。Subsequently, after the gate insulating films 40 and 43 of the second layer of the SiN layer are formed to a thickness of about 250 nm by the plasma CVD method, openings 42 and 44 are formed.
(FIG. 12 (c), (c ')). Further, after Al is formed to a thickness of 600 nm by sputtering, the scan bus line 12 and the reference voltage supply bus line 16 are patterned. The hatched portions in FIG. 11 are bus line patterns. At this time, the two scan bus lines 12 are connected by the connection electrode (ITO) 30 via the opening 44 already formed (FIGS. 11 and 12).
(D), (d ')).
【0030】このように、本実施例によれば、2本のス
キャンバスラインを接続することによりスキャンバスラ
インの多重化が実現できるため、歩留まりが高く、低コ
ストのTFT液晶ディスプレイの製造が可能となる。本
発明の第3の実施例によるアクティブマトリクス型液晶
表示装置を図13を用いて説明する。As described above, according to the present embodiment, multiplexing of scan bus lines can be realized by connecting two scan bus lines, so that a high yield and a low-cost TFT liquid crystal display can be manufactured. Becomes An active matrix liquid crystal display according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【0031】液晶(図示せず)を介して対向配置された
2枚の絶縁性基板の一方の絶縁性基板1上に、複数の表
示電極14がマトリクス状に形成されている。複数の表
示電極14の行間に基準電位供給バスライン16が形成
されている。複数の表示電極14の行間であって、基準
電位供給バスライン16の両側に平行に2本一組のスキ
ャンバスライン12が形成されている。A plurality of display electrodes 14 are formed in a matrix on one of the two insulating substrates opposed to each other via a liquid crystal (not shown). A reference potential supply bus line 16 is formed between rows of the plurality of display electrodes 14. A set of two scan bus lines 12 is formed between rows of the plurality of display electrodes 14 and in parallel on both sides of the reference potential supply bus line 16.
【0032】一組のスキャンバスライン12のうち1本
のスキャンバスライン12にゲートが接続され、表示電
極14と基準電位供給バスライン16間に接続されたア
ドレス用薄膜トランジスタTFT−A20が形成されて
いる。また、一組のスキャンバスライン12の他の1本
のスキャンバスライン12にゲートが接続され、他の表
示電極14と基準電位供給バスライン16間に接続され
た補償用薄膜トランジスタTFT−C22が形成されて
いる。A gate is connected to one scan bus line 12 of the set of scan bus lines 12, and an address thin film transistor TFT-A20 connected between the display electrode 14 and the reference potential supply bus line 16 is formed. I have. In addition, a gate is connected to another scan bus line 12 of one set of scan bus lines 12, and a compensating thin film transistor TFT-C22 connected between another display electrode 14 and the reference potential supply bus line 16 is formed. Have been.
【0033】アドレス用薄膜トランジスタTFT−A2
0は、隣合って配置された表示電極14同士が一組とな
り、また、補償用薄膜トランジスタTFT−C22は、
基準電位供給バスライン16を介して反対側に設けら
れ、隣合って配置された他の表示電極14同士が一組と
なり、基準電位供給バスライン16上でアドレス用薄膜
トランジスタTFT−A20の組と補償用薄膜トランジ
スタTFT−C22の組は交互に配置されている。Address thin film transistor TFT-A2
0 is a set of display electrodes 14 arranged adjacent to each other, and the compensation thin film transistor TFT-C22 is
The other display electrodes 14 which are provided on the opposite side via the reference potential supply bus line 16 and are adjacent to each other form a set, and are compensated for on the reference potential supply bus line 16 by a set of address thin film transistors TFT-A20. Of thin film transistors TFT-C22 are alternately arranged.
【0034】2本一組のスキャンバスライン12の各々
は、図中中央にて接続部50により接続されている。他
の一方の絶縁性基板(図示せず)上に表示電極14と対
向して、表示電極14の列方向にストライプ状のデータ
バスライン(図示せず)が形成されている。データバス
ラインと表示電極14との間に印加する電圧を制御する
ことにより表示が行われる。Each of the pair of scan bus lines 12 is connected by a connection section 50 at the center in the drawing. A stripe-shaped data bus line (not shown) is formed on the other one of the insulating substrates (not shown) so as to face the display electrodes 14 in the column direction of the display electrodes 14. Display is performed by controlling the voltage applied between the data bus line and the display electrode 14.
【0035】本発明の第3の実施例によるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法を図14乃至図18
を用いて説明する。図14乃至図17は本実施例のアク
ティブマトリクス型液晶表示装置の基板底面パターン
を、図18(a)〜(d)はX−X線での概略断面図、
同図(a′)〜(d′)はY−Y線での概略断面図を示
す。A method of manufacturing an active matrix type liquid crystal display according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. 14 to 17 show substrate bottom patterns of the active matrix type liquid crystal display device of this embodiment, and FIGS. 18 (a) to 18 (d) are schematic cross-sectional views taken along line XX.
(A ') to (d') are schematic sectional views taken along the line YY.
【0036】まず、ガラス基板1上に透明電極である表
示電極31を形成するため、スパッタ法により厚さ50
nmのITO30を形成する。次に、ITO30上にn
+ a−Si層のオーミックコンタクト層32をプラズマ
CVD法により厚さ30nm形成した後、ソース・ドレ
イン電極、表示電極31及びスキャンバス接続用の開口
部34のパターニングを行う。図14中斜線部がソース
・ドレイン、電極パターンである(図14、図18
(a)、(a′))。First, in order to form a display electrode 31 which is a transparent electrode on the glass substrate 1, a thickness of 50 mm is formed by a sputtering method.
An ITO 30 nm is formed. Next, n
After forming an ohmic contact layer 32 of + a-Si layer with a thickness of 30 nm by a plasma CVD method, patterning of a source / drain electrode, a display electrode 31 and an opening 34 for connecting a scan bus is performed. The hatched portions in FIG. 14 indicate source / drain and electrode patterns (FIGS. 14 and 18).
(A), (a ')).
【0037】次に、基板1全面に厚さ30nmのa−S
iを成長させパターニングして半導体層36を形成す
る。半導体層36上にSiN層の一層目のゲート絶縁膜
38を厚さ50nm程度プラズマCVD法にて形成した
後、素子分離のパターニングを行う。図15中斜線部が
素子分離パターンである(図15、図18(b)、
(b′))。Next, a 30 nm thick a-S
i is grown and patterned to form a semiconductor layer 36. After a first-layer gate insulating film 38 of a SiN layer is formed on the semiconductor layer 36 by a plasma CVD method with a thickness of about 50 nm, patterning for element isolation is performed. The hatched portions in FIG. 15 are element isolation patterns (FIGS. 15 and 18B,
(B ')).
【0038】続いて、SiN層の2層目のゲート絶縁膜
40、43をプラズマCVD法により厚さ250nm程
度形成した後、開口部42、44を形成する(図16、
図18(c)、(c′))。さらに、Alをスパッタ法
により厚さ600nmだけ形成した後、スキャンバスラ
イン12及び基準電圧供給バスライン16のパターニン
グを行う。図17中斜線部はバスラインパターンであ
る。このとき、すでに形成されている開口部44を介し
て接続用電極(ITO)30により、2本のスキャンバ
スライン12の接続が行われる(図17、図18
(d)、(d′))。Subsequently, after the gate insulating films 40 and 43 of the second layer of the SiN layer are formed to a thickness of about 250 nm by the plasma CVD method, openings 42 and 44 are formed.
FIG. 18 (c), (c ′)). Further, after Al is formed to a thickness of 600 nm by sputtering, the scan bus line 12 and the reference voltage supply bus line 16 are patterned. The hatched portions in FIG. 17 are bus line patterns. At this time, the two scan bus lines 12 are connected by the connection electrode (ITO) 30 through the opening 44 already formed (FIGS. 17 and 18).
(D), (d ')).
【0039】このように、本実施例によれば、2本のス
キャンバスラインの多重化と多層化を効果的に組み合わ
せることができるため、大画面でも歩留まりが高く、低
コストのTFT液晶ディスプレイの製造が可能となる。As described above, according to this embodiment, the multiplexing of two scan bus lines and the multi-layering can be effectively combined, so that the yield is high even on a large screen, and a low-cost TFT liquid crystal display can be realized. Manufacturing becomes possible.
【0040】[0040]
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、スキャン
バスラインの線欠陥の発生を抑えることができ、大画面
でも歩留まりが高く、低コストのTFT液晶ディスプレ
イの製造が可能となる。As described above, according to the present invention, it is possible to suppress the occurrence of line defects in scan bus lines, and to manufacture a TFT liquid crystal display with a high yield and a low cost even on a large screen.
【図1】本発明の第1の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an active matrix type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第1の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 2 is a view showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第1の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 3 is a view showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第1の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 4 is a view showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第1の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.
【図6】本発明の第1の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.
【図7】本発明の第2の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an active matrix type liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
【図8】本発明の第2の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a manufacturing process of an active matrix liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
【図9】本発明の第2の実施例によるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 9 is a view illustrating a manufacturing process of an active matrix liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
【図10】本発明の第2の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a manufacturing process of an active matrix liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
【図11】本発明の第2の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 11 is a view showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.
【図12】本発明の第2の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.
【図13】本発明の第3の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置を示す図である。FIG. 13 is a view showing an active matrix type liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention.
【図14】本発明の第3の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 14 is a view showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.
【図15】本発明の第3の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 15 is a view showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.
【図16】本発明の第3の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 16 is a diagram illustrating a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.
【図17】本発明の第3の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 17 is a diagram illustrating a manufacturing process of the active matrix liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.
【図18】本発明の第3の実施例によるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の製造工程を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing a manufacturing process of the active matrix type liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.
【図19】提案されたアクティブマトリクス型液晶表示
装置を示す図である。FIG. 19 is a diagram showing a proposed active matrix liquid crystal display device.
1…絶縁性基板 10…データバスライン 12…スキャンバスライン 14…表示電極 16…基準電位供給バスライン 20…薄膜トランジスタ(TFT−A) 22…薄膜トランジスタ(TFT−C) 30…ITO 31…表示電極 32…オーミックコンタクト層 34…開口部 36…半導体層 38…ゲート絶縁膜 40…ゲート絶縁膜 42…開口部 43…ゲート絶縁膜 44…開口部 50…接続部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Insulating substrate 10 ... Data bus line 12 ... Scan bus line 14 ... Display electrode 16 ... Reference potential supply bus line 20 ... Thin film transistor (TFT-A) 22 ... Thin film transistor (TFT-C) 30 ... ITO 31 ... Display electrode 32 ... ohmic contact layer 34 ... opening 36 ... semiconductor layer 38 ... gate insulating film 40 ... gate insulating film 42 ... opening 43 ... gate insulating film 44 ... opening 50 ... connecting part
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大形 公士 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 沖 賢一 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 平4−102825(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/136 G09F 9/30 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Koji Ogata 1015 Uedanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Inside Fujitsu Co., Ltd. (56) References JP-A-4-102825 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G02F 1/136 G09F 9/30
Claims (4)
性基板と、 前記2枚の絶縁性基板の一方にマトリクス状に形成され
た複数の表示電極と、 前記複数の表示電極の行間に形成された基準電位供給バ
スラインと、 前記複数の表示電極行間であって、前記基準電位供給バ
スラインの両側に平行に形成された2本一組のスキャン
バスラインと、 前記2本一組のスキャンバスラインのうち一方に接続さ
れたゲートと、前記表示電極又は前記基準電位供給バス
ラインの一方に接続されたドレインと、前記表示電極又
は前記基準電位供給バスラインの他方に接続されたソー
スとを備えたアドレス用薄膜トランジスタと、 前記2本一組のスキャンバスラインの他方に接続された
ゲートと、前記基準電位供給バスラインに対し前記表示
電極に相対して配置された他の表示電極又は前記基準電
位供給バスラインの一方に接続されたドレインと、前記
他の表示電極又は前記基準電位供給バスラインの他方に
接続されたソースとを備えた補償用薄膜トランジスタ
と、 前記2枚の絶縁性基板の他方に前記表示電極と対向し
て、前記表示電極の列方向に形成されたストライプ状の
データバスラインとを有する対向マトリクス形式のアク
ティブマトリクス型液晶表示装置において、前記スキャンバスラインは、前記アドレス用薄膜トラン
ジスタ及び/又は前記補償用薄膜トランジスタが形成さ
れている領域を除く領域において多層化されており、 前記アドレス用薄膜トランジスタと前記補償用薄膜トラ
ンジスタは、前記基準電位供給バスラインを挟んで斜め
方向に対向する位置に設けられていることを特徴とする
アクティブマトリクス型液晶表示装置。1. Two insulating substrates opposed to each other via a liquid crystal, a plurality of display electrodes formed in a matrix on one of the two insulating substrates, and a space between rows of the plurality of display electrodes. A pair of scan bus lines formed between the plurality of display electrode rows and in parallel on both sides of the reference potential supply bus line; A gate connected to one of the scan bus lines, a drain connected to one of the display electrode or the reference potential supply bus line, and a source connected to the other of the display electrode or the reference potential supply bus line An address thin-film transistor comprising: a gate connected to the other of the pair of scan bus lines; and a gate connected to the display electrode with respect to the reference potential supply bus line. A drain connected to one of the other display electrodes or the reference potential supply bus line, and a compensation thin film transistor including a source connected to the other display electrode or the other of the reference potential supply bus lines, wherein said display electrodes and facing the two insulating the other substrate, the active matrix type liquid crystal display device of the opposite matrix format and a data bus line stripe formed in a column direction of the display electrodes, wherein The canvas line is the thin film transformer for the address.
Forming a transistor and / or the compensating thin film transistor.
The address thin film transistor and the compensation thin film transistor are provided at positions obliquely opposed to each other with the reference potential supply bus line interposed therebetween. Active matrix type liquid crystal display device.
液晶表示装置において、 行方向に隣合って配置された前記表示電極のアドレス用
薄膜トランジスタの一組と、前記基準電位供給バスライ
ンを介して反対側に設けられ、隣合って配置された前記
他の表示電極の前記補償用薄膜トランジスタの一組と
が、前記基準電位供給バスラインに交互に接続されてい
ることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装
置。2. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 1, wherein a pair of the addressing thin film transistors of the display electrodes arranged adjacent to each other in a row direction is on the opposite side via the reference potential supply bus line. And a pair of the compensating thin film transistors of the other display electrodes arranged adjacent to each other are connected alternately to the reference potential supply bus line. .
性基板と、 前記2枚の絶縁性基板の一方にマトリクス状に形成され
た複数の表示電極と、前記複数の表示電極の行間に形成
された基準電位供給バスラインと、 前記複数の表示電極行間であって、前記基準電位供給バ
スラインの両側に平行に形成された2本一組のスキャン
バスラインと、 前記2本一組のスキャンバスラインのうち一方に接続さ
れたゲートと、前記表示電極又は前記基準電位供給バス
ラインの一方に接続されたドレインと、前記表示電極又
は前記基準電位供給バスラインの他方に接続されたソー
スとを備えたアドレス用薄膜トランジスタと、 前記2本一組のスキャンバスラインの他方に接続された
ゲートと、前記基準電位供給バスラインに対し前記表示
電極に相対して配置された他の表示電極又は前記基準電
位供給バスラインの一方に接続されたドレインと、前記
他の表示電極又は前記基準電位供給バスラインの他方に
接続されたソースとを備えた補償用薄膜トランジスタ
と、 前記2枚の絶縁性基板の他方に前記表示電極と対向し
て、前記表示電極の列方向に形成されたストライプ状の
データバスラインとを有する対向マトリクス形式のアク
ティブマトリクス型液晶表示装置において、 前記表示電極の行間で、前記2本一組のスキャンバスラ
インの各スキャンバスラインをそれぞれ接続する接続部
を有することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
表示装置。3. Two insulating substrates opposed to each other via a liquid crystal; a plurality of display electrodes formed in a matrix on one of the two insulating substrates; and a space between the plurality of display electrodes. A pair of scan bus lines formed between the plurality of display electrode rows and in parallel on both sides of the reference potential supply bus line; A gate connected to one of the scan bus lines, a drain connected to one of the display electrode or the reference potential supply bus line, and a source connected to the other of the display electrode or the reference potential supply bus line An address thin-film transistor comprising: a gate connected to the other of the pair of scan bus lines; and a gate connected to the display electrode with respect to the reference potential supply bus line. A drain connected to one of the other display electrodes or the reference potential supply bus line, and a compensation thin film transistor including a source connected to the other display electrode or the other of the reference potential supply bus lines, In a facing matrix type active matrix liquid crystal display device having a stripe-shaped data bus line formed in a column direction of the display electrodes on the other of the two insulating substrates so as to face the display electrodes, An active matrix type liquid crystal display device comprising a connection portion for connecting each scan bus line of the pair of scan bus lines between rows of display electrodes.
クス型液晶表示装置において、 前記表示電極の行間で、前記2本一組のスキャンバスラ
インの各スキャンバスラインをそれぞれ接続する接続部
を有することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
表示装置。4. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a connection unit for connecting each scan bus line of the pair of scan bus lines between rows of the display electrodes. An active matrix type liquid crystal display device characterized by the following.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11733191A JP2895656B2 (en) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | Active matrix type liquid crystal display |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11733191A JP2895656B2 (en) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | Active matrix type liquid crystal display |
Publications (2)
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| JPH04344613A JPH04344613A (en) | 1992-12-01 |
| JP2895656B2 true JP2895656B2 (en) | 1999-05-24 |
Family
ID=14709092
Family Applications (1)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1991
- 1991-05-22 JP JP11733191A patent/JP2895656B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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|---|---|
| JPH04344613A (en) | 1992-12-01 |
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