JP2895757B2

JP2895757B2 - 研磨装置

Info

Publication number: JP2895757B2
Application number: JP6203008A
Authority: JP
Inventors: 出森岡; 健二桑野
Original assignee: NIPPON MIKURO KOOTEINGU KK
Current assignee: NIPPON MIKURO KOOTEINGU KK
Priority date: 1994-08-05
Filing date: 1994-08-05
Publication date: 1999-05-24
Anticipated expiration: 2014-05-24
Also published as: JPH0847847A; US5569063A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、走行しかつ回転する研
磨テープにより基板を研磨またはクリーニングする研磨
装置に関し、特に平坦な基板、たとえば液晶ガラス基
板、プリント基板、あるいは弾力性をもった曲面状の基
板、たとえば航空機用の窓ガラスを、走行しかつ回転す
る研磨テープにより研磨またはクリーニングする研磨装
置に関する。

【０００２】

【従来技術および発明が解決しようとする課題】今日、
液晶がさまざまな分野に利用され、特にワープロ、パソ
コン、テレビなどのディスプレイとして液晶ディスプレ
イが利用されている。この液晶ディスプレイは、ガラス
基板に種々の処理を行い、そのガラス基板を切断し、そ
の間に液晶注入しそして封止し、さらに偏光板を接着す
ることで製造される。このような液晶ディスプレイの製
造工程において、特に、ガラス基板の切断、液晶の注
入、封止において生ずるガラスの切り粉（カレット）
や、液晶の封止の際に使用した樹脂の残存物といった異
物が発生し、これが不良品発生の主要な原因となってい
た。

【０００３】これら異物を除去するために、従来はカッ
ターナイフを用いて、あるいはアセトン、アルコールな
どの溶剤を用いて手作業で除去していた。

【０００４】しかし、手作業による異物の除去は、液晶
ディスプレイの生産性を悪くし、またその品質が一定に
維持されにくい。

【０００５】また、ワープロ、パソコンといった電子機
器には、半導体チップなどの電子素子を取り付けるため
の、配線が形成されたプリント基板が利用されている。
このプリント基板の製造に際して、基板に配線を形成す
るために、薄膜の形成、除去などの化学的処理、穴空
け、切断などの物理的処理を行うが、そのために、基板
の表面、裏面を研磨する必要がある。この研磨に、従来
から、エンドレスベルト、エッチング、サンドブラス
ト、バフなどが用いられているが、研磨テープが所望の
研磨を行え、その取り扱いが容易であることから、研磨
テープによるプリント基板の研磨の要望が高くなってき
ている。

【０００６】航空機の窓ガラスはその用途から曲面をも
ち、その表面の研磨（傷取り）、クリーニングはハンド
ポリッシャーを用いて、手作業で行われていた。手作業
の研磨なたはクリーニングは作業効率が悪く、またその
作業結果も人により異なり、さらに研磨またはクリーニ
ングも常に一様なものとならない。

【０００７】そこで、本発明の目的は、研磨テープを用
いて研磨またはクリーニングする、自動化された研磨装
置を提供することである。

【０００８】本発明の他の目的は、一様な研磨またはク
リーニングを行うことのできる上記研磨装置を提供する
ことである。

【０００９】さらに、本発明の目的は、効率のよい研磨
またはクリーニングを行うことのできる上記研磨装置を
提供することである。

【００１０】さらに、本発明の他の目的は、凸状の曲面
をもつ、弾力性のある対象物をも自動的に研磨またはク
リーニングできる上記研磨装置を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の研磨装置は，開口を有する基プレートと，取付けプ
レートの開口内に配置され，取付けプレートに回転可能
に取り付けられるスピンドルと，スピンドルを回転させ
るための，取付けプレートに取り付けられる第１の回転
手段と，スピンドルの一端から伸長する，対向した一対
の伸長部の間に取り付けられる，研磨テープを，研磨ま
たはクリーニングされるべき対象物に押し付ける押付け
ローラーであって，該ローラーの回転軸がスピンドルの
軸線に対して垂直であり，ローラーの中央部分の直径が
その両端部分の直径よりも小さい，ところのローラー
と，押付けローラーの回転軸と平行に，それぞれの回転
軸が回転可能に一対の伸長部の間に取り付けられる研磨
テープ供給および巻取りローラーであって，研磨テープ
が供給ローラーから供給され，押付けローラーを経て巻
取りローラーへと巻き取られる，ところの供給および巻
取りローラーと，巻取りローラーを回転させるための，
スピンドルに取り付けられる第２の回転手段とから構成
される

【００１２】この押付けローラーの中央部分および両端
部分の各長さは全長の１／３であることが望ましい。

【００１３】本発明において，押付けローラーに対置
し，スピンドルの軸線方向に対して垂直な面内で，移動
ユニットにより移動可能なテーブルをさらに有すること
が望ましい。

【００１４】さらに，本発明において，取付けプレート
を取り付けるための水平枠を有する枠と，取付けプレー
トを水平枠に，スピンドルの軸線方向に滑動可能に取り
付けるための取り付け手段，押付けローラーを所定の位
置に配置するための昇降手段をさらに含むことが望まし
い。

【００１５】また、研磨体の一部を収納する凹所を有
し、その凹所が真空源により排気されるテーブルを有す
ることが望ましい。そのテーブルは、テーブルの凹所に
少なくとも一つの穴を有し、そこで移動するピンを有す
ることが望ましい。対象物はピンの先端が穴から突き出
たときに、対象物は凹所から押し出される。

【００１６】上記した研磨装置は、液晶ガラス基板、ま
たはプリント基板の研磨またはクリーニングに特に適し
ている。

【００１７】さらに、テーブルの凹所内に、凹所の周囲
にそって弾性体を設けることが望ましい。このとき、研
磨装置は航空機用の窓ガラスのような凸状の曲面をもつ
対象物の研磨またはクリーニングに適する。

【００１８】

【作用】本発明の研磨装置は研磨テープを走行させるた
めに、対象物には常に新しい研磨テープが接する。同時
に、研磨装置は、研磨テープを回転させるために、研磨
テープの回転により研磨が行われる。

【００１９】研磨テープを対象物に押し付けるための押
付けローラーの中央部分は、その両側部分の直径よりも
小さな直径をもつことから、ローラーが回転しても、研
磨テープによじれや皺を生じさせる力がほとんど作用し
ない。

【００２０】対象物は、スピンドルの軸線に対して垂直
な面内を移動するテーブル上に載置されることから、研
磨装置は、テーブルの動きと連動することで、走行しか
つ回転する研磨テープを対象物全体に接触させられる。

【００２１】また、本発明の研磨装置は、押付けローラ
ーをテーブルに対して昇降させる手段を有することか
ら、所定の圧力で研磨テープを対象物に押し付け得る。

【００２２】本発明の研磨装置に組み入れられるテーブ
ルは、そこに形成される凹所を真空排気することで、対
象物を固定する。その凹所内に弾性パッキンを配置し、
凸状の曲面をもつ対象物を、凸を上にしてパッキンの上
に配置して、凹所内を排気すると、曲面は平坦になり、
研磨テープがその上を任意に移動できる。

【００２３】

【実施例】図１は、本発明の研磨装置１の正面図を示
す。図１に示すように、台枠２の両側から側方枠３およ
び４が垂直に取り付けられ、そのプレートの上方背後
に、水平枠５が水平に取り付けられている。側方枠３お
よび４は、装置１の前方での作業がし易いように、略三
角形となっている（図２を参照）。

【００２４】台枠２には、テーブル６をＸ軸方向に移動
させるためのＹ軸方向移動機構７およびＸ軸方向に移動
させるためのＸ軸方向移動機構８から成るＸＹ軸移動ユ
ニット９が取り付けてある。このユニットは従来から知
られているもので、本発明の範囲外である。

【００２５】テーブル６の上方には、研磨テープを走行
させる、テープ走行機構４０が、以下で説明するよう
に、取付けプレート２０を介して水平枠５に鉛直方向移
動可能に取り付けられている（図２を参照）。

【００２６】台枠２に取り付けられたＸ軸方向移動機構
８は、その上に移動可能に配置されたＹ軸方向移動機構
７を制御信号に従いＸ軸方向に（図１において、左右の
方向に）移動させる。これにより、Ｙ軸方向移動機構７
の上に移動可能に配置されたテーブル６がＸ軸方向に移
動する。同様に、Ｙ軸方向移動機構７がテーブル６を、
制御信号に従いＹ軸方向に（図２において、左右の方向
に）移動させる。かくして、ＸＹ軸移動ユニット９によ
り、テーブル６を水平面上で任意に移動させることがで
きる。

【００２７】テーブル６の一部断面が図２に示されてい
る。テーブル６の中央には、対象物１０の表面が、テー
ブル６の表面とほぼ一致するように、対象物１０を収納
できる凹所１１が形成されている。その凹所１１は、穴
１２を介して真空源（図示せず）に連通する。対象物１
０が凹所１１に配置され、その中が真空排気されると、
対象物１０がそこに固定される。

【００２８】さらに、テーブル６の凹所１１には、孔１
３が形成され、その孔１３内にピン１４が上下の位置の
間で移動可能に配置されている。対象物を凹所にセット
するときは、ピン１４は、孔１３内に完全に収納され、
対象物を取り出すときは、ピン１４を孔１３から突き出
させ、対象物を凹所から押し出し（図２において、破線
により示す）、対象物の凹所からの除去を容易にする。

【００２９】ピンは、少なくとも１つあれば、その目的
を達成できるが、好適には２つがよい。

【００３０】図２および図３に詳細に、取付けプレート
２０の枠５への取り付けが詳細に示されている。取付け
プレート２０は、底部プレート２１と後部プレート２２
とから成るＬ字プレートから成り。その両側に側方プレ
ート２３および２４が取り付けられている。後部プレー
ト２２の背後の、水平枠５上には垂直に伸びるガイドレ
ール５′が固着されている。

【００３１】そのレール５′を挟み、その上を滑動でき
るスライダー２２′が、後部プレート２２に固着されて
いる。したがって、取付けプレート２０は、水平枠５に
対して、鉛直方向にのみ移動可能となる。

【００３２】水平枠５の背面上にはシリンダー２５が取
り付けられ、そこから移動可能にロッド２５′が伸長
し、さらにその上にネジが切られたロッド２５″が後部
プレート２２の先端から外側に水平に張り出した延長部
２２′に設けられた穴を貫通して伸長する。ロッド２
５″のまわりには、延長部２２′とロッド２５′の先端
との間にスプリング２６が配置されている。

【００３３】ロッド２５″には調節ノブ２７がねじ込ま
れ、その調節ノブ２７をスプリングの圧力に抗してねじ
込むと、延長部２２′は押し下げられ、したがって、取
付けプレート２０が下降し、取付けプレート２０の位置
を調節できる。

【００３４】なお、シリンダー２５が正確に取付けプレ
ート２０を昇降できるならば、延長部２２′とロッド２
５′とを直結してもよい。

【００３５】取付けプレート２０の底部プレート２１の
前方には、取付け脚３０を介して、底部プレート２１と
平行に取付け台３１が取り付けられている。その取付け
台３１上にモータ３２が取り付けられ、モータ３２の回
転軸３２′が取付け台３に設けられた穴（図示せず）を
貫通して下方に伸長し、その先端にはプーリー３３が取
り付けられている。

【００３６】取付けプレート２０の底部プレート２１の
中央には開口が形成され，その開口とほぼ同じ直径の筒
体３４が開口を通過するように配置されている（図
４）。筒体３４の上部には，半径方向外側に張り出した
フランジ３４′を有し，フランジ３４′は，底部プレー
ト２１に接し，筒体３４は開口から抜け落ちることがな
い。フランジ３４′は，ネジにより底部プレート２１に
固定される。

【００３７】図４に詳細に示されているように、筒体３
４は軸線にそった貫通孔を有し、その中に中空のスピン
ドル３５が、ベアリングを利用して回転可能であるが、
抜け落ちることがないように収納され、スピンドル３５
の先端にはプーリー３６が取り付けられている。スピン
ドル３５の後端は、後に説明するテープ走行機構４０に
固定されている。

【００３８】プーリー３６とプーリー３３とはベルト３
７（図４では破線で示す）により連結され、モータ３２
が回転すると、ベルト３７を介してスピンドル３５が筒
体３４内で回転し、テープ走行機構４０も回転する。

【００３９】この実施例では，モータ３２とスピンドル
３５とをベルトにより連結しているが，歯車または同等
の手段により連結してもよい。また，モータをスピンド
ルに直結することもできる。この場合，モータの回転軸
とスピンドルとは一体となろう。

【００４０】スピンドル３５内の貫通孔には、コネクタ
３８がスピンドル３５に対して、回転可能に取り付けら
れている。コネクタ３８の両端からリード線ＡおよびＢ
が伸びている。リード線Ａはコネクタ３８に対して固定
され、リード線Ｂはコネクタに対して回転可能に接続さ
れているが、リード線ＡおよびＢは、コネクタ３８によ
り電気的に接続されている。

【００４１】リード線Ａは電源に接続され、リード線Ｂ
は、テープ走行機構４０内に設けられたモータに接続さ
れる。したがって、モータ３２の起動によりスピンドル
３５が回転し、これによりテープ走行機構４０内のモー
タ５４（図４を参照）が回転し、リード線Ｂが回転して
も、リード線Ａは回転しない。一方、リード線Ａおよび
Ｂは電気的に接続されていることから、モータ５４がテ
ープ走行機構４０とともに回転しても、モータ５４へパ
ワーを送ることができ、スピンドル３５、テープ走行機
構４０の回転に関係なく、モータ５４を駆動することが
できる。

【００４２】図４および５に、テープ走行機構４０の表
側および裏側が示され、図６に図４の線６−６に沿った
断面が示されている。

【００４３】テープ走行機構４０は、スピンドル３５が
固定される頂部壁４１とその両側から互いに平行に伸び
た側壁４２および４３を有する。両側壁の下端近傍に、
図６に示すように、断面が“コ”の字をした押付けロー
ラー取り付け具４６が取り付けられている。その取付け
具４６の間に、回転軸４７′（図６を参照）がスピンド
ル３５の軸線を通り、かつその軸線に垂直となるように
押付けローラー４７が回転可能に取り付けられている。
回転軸４７′の一端には、図５および６に示すようにプ
ーリー４８が取り付けられている。

【００４４】押付けローラー４７は、図６に示すよう
に、３つの部分４７Ａ、４７Ｂおよび４７Ｃから成り、
これらの長さはほぼ等しく、部分４７Ａおよび部分４７
Ｃの直径は等しいが、部分４７Ｂの直径よりも大きい。

【００４５】取付け具４６は、取付けローラー４７の位
置の調整を容易にし、またその取り付け、取り外しを容
易にするためのもので、本発明にとって必須のものでは
なく、押付けローラーを直接に側壁に取り付けてもよ
い。

【００４６】さらに側壁４２および４３の間で、かつ両
端近傍に回転軸５０′、５１′が押付けローラーの回転
軸４７′に対し平行となるように、テープ供給ローラー
５０およびテープ巻き取りローラー５１が回転可能に設
けられている。巻取りローラー５１の回転軸５１′の、
側壁４３から突き出た一端には、プーリー５２が取り付
けられている。

【００４７】側壁４３の内側で、ローラー５０、５１の
間にテープを走行するためのモータ５４が取り付けら
れ、その回転軸５４′が側壁４３から突き出て、その先
端にプーリー５５、歯車５６が側壁４３側から順に取り
付けてある。そのプーリー５５とローラー５１のプーリ
ー５２との間に、ベルトに緊張を与えるための中間プー
リー５８を介してベルト５７が掛けられている。これに
より、モータ５４の回転がベルト５７を介してローラー
５１に伝えられる。もちろん、ベルトの代わりに、歯車
を介して回転を伝えることもできる。ここで、モータは
側壁４３の内側に設けられているが、その側壁の外側に
設けることもできる。しかし、テープ走行機構は回転す
るので、モータを側壁の内側に設けることが望ましい。

【００４８】モータ５４はリード線Ｂと接続され、コネ
クタ３８、リード線Ａを介してパワーが供給される。側
壁４２と４３との間で、巻取りローラー５１と押付けロ
ーラー４７との間の位置に研磨テープを一定速度で走行
させるためのローラ６０が回転可能に取り付けられてい
る。ローラー６０の回転軸６０′の両端は側壁４２およ
び４３から突き出し、歯車６１および６２が取り付けら
れている。

【００４９】側壁４３の外側で、歯車５６と歯車６１の
間の位置で、外側に歯車５６と噛み合う歯車５９′を、
内側に歯車６１と噛み合う歯車５９″を有する回転軸５
９が回転可能に取り付けられている。したがって、モー
タ５４が回転すると、歯車５９′、５９″を介して、ロ
ーラー６０も回転する。

【００５０】ローラー６０の回転は、歯車５６、５
９′、５９″および６１の歯に数に依存し、したがっ
て、必要な歯数をもつ歯車を組み合わせることで、ロー
ラーの回転数、すなわち研磨テープの走行速度を調節で
きる。

【００５１】側壁４２の外側には、内側に歯車６２と噛
み合う歯車６３′を、外側にプーリー６３″を有す回転
軸６３が回転可能に取り付けられ、そのプーリー６３″
と押付けローラー４７のプーリー４８との間にベルト６
４が掛けられ（図５）、押付けローラー４７の回転が、
ローラー６０の回転と連動する。ここで、歯車６２、６
３′の歯数、およびプーリー４８と６３″の直径は、ロ
ーラー６０により走行する研磨テープの走行速度と、押
付けローラーにより走行する研磨テープの走行速度が一
致するように決定される。

【００５２】このように、押付けローラーも回転させる
のは、研磨テープを押付けローラーにより対象物に押し
付けたとき、研磨テープの走行が（スピンドルの回転に
よる研磨テープの回転も含めて）妨げられることから、
押付けローラーも回転させることで、研磨テープの円滑
な走行（回転）を行わせるためである。押付けローラー
の対象物への押し付け圧が小さいときなどの場合のよう
に、研磨テープの走行（回転）が比較的円滑に行われる
ときは、上記のように押付けローラーをローラー６０に
連動させる必要はない。また研磨テープの走行を一定に
する必要がない場合はローラー６０もまた不要である。

【００５３】研磨テープＴは、供給ローラー５０から、
中間ローラー６５ａ、６５ｂを介して、押付けローラー
４７へ、そしてそこからローラー６０を介して巻取りロ
ーラー４５に至る。

【００５４】上記説明した実施例では、歯車とプーリー
およびベルトの組み合わせにより回転の伝達を行った
が、全部を歯車により、あるいはプーリーおよびベルト
により回転の伝達を行ってもよい。

【００５５】研磨またはクリーニングは次のように行わ
れる。

【００５６】まず、平坦な対象物１０をテーブル６の凹
所１１内に配置し、真空源を稼働させ凹所１１内を負圧
にして、対象物１０をテーブル１１に固定する。次に、
シリンダー２５を駆動して、取付けプレート２４ととも
にテープ走行機構４０を所定の位置まで、下降させる。
研磨テープＴを対象物１０に所定の接触圧となるよう
に、調節ノブ２７をねじ込む。スプリング２６は、調節
ノブ２７のねじ込みに対して反発力を延長部２２′に作
用することから、取付けプレート２４の位置、すなわち
研磨テープ走行機構４０の位置を正確に調節できる。

【００５７】次に、モータ５４を付勢する。モータ５４
はベルト５７を介して巻取りローラー５１を回転させる
と同時に、歯車５９′、５９″を介してローラー６０を
回転させ、ローラー６０の回転は、歯車６３を介して取
付けローラー４７を回転させる。これにより、新しい研
磨テープが押付けローラーへと供給され、研磨またはク
リーニングに供することができる。

【００５８】さらに、モータ３２を付勢する。モータ３
２は、ベルト３７を介してスピンドル３５を回転させ、
研磨テープ走行機構４０を回転させる。かくして、常に
供給される新しい研磨テープによる回転研磨が成し遂げ
られる。

【００５９】押付けローラー４７は、図６に図示するよ
うに、中央部分４７Ｂの直径が両側部分４７Ａおよび４
７Ｂの直径よりも小さい。もし同じ直径をもつと、ロー
ラー全体が研磨テープを対象物に押し付けるために、研
磨テープに対して押付けローラーの回転方向とは反対の
方向に摩擦力が、押付けローラーの軸線にそって等しく
作用する一方、ローラーを回転させるときの回転力は中
心からの距離に比例することから、ローラーを回転させ
たとき、ローラーの両端側では回転力が摩擦力より大き
く、ローラーの中央部分では両者の力が均衡し、ローラ
ーは回転しにくくなり、研磨テープによじれや、皺が生
じ、円滑な研磨テープの回転ができなる。

【００６０】押し付けローラーを、図６に示すように、
中央部分を小径とすることで、中央部分による研磨テー
プの押し付けがなくなり、研磨テープを円滑に回転させ
ることができる。ローラー４７の中央部分４７Ｂのその
両側のローラー部分４７Ａ、４７Ｃの長さは、回転力と
摩擦力の大きさにより決定されるもので、摩擦力が小さ
いとき、すなわち研磨テープに使用される研磨材（粒
子）が細かいとき、あるいはローラーを押し付ける力が
弱いときは、中央部分の長さは短くてもよい。逆に、研
磨力が大きいときは中央部分の長さは長くする必要があ
る。通常は、中央部分および両側の部分は全長の１／３
程度とすることで、円滑な研磨テープの回転を行える。

【００６１】中央部分が小径とするのは上記理由から
で、したがって、中央のローラー部分を省略した両側の
ローラー部分だけでもよい。また、ローラーの径が中央
に行くにつれて徐々に減少するようにしてもよい。

【００６２】次に、ＸＹ軸移動ユニット９を付勢し、テ
ーブル６を水平面内で移動させることで、対象物１０の
研磨面を均等に研磨することができる。

【００６３】上記したモータの付勢、ＸＹ軸移動ユニッ
トの付勢の順番は一例であり、研磨に際して、この順番
を便宜変更することができる。

【００６４】上記説明した本願発明の装置で、液晶ガラ
ス基板上の異物を除去すること、すなわちクリーニング
をするときは、以下の条件で行うことが望ましい。

【００６５】テープ走行機構の回転数（スピンドルの回転）３００ｒｐｍ程度まで押付けローラーの押し付け荷重１５ｋｇ程度まで研磨テープの走行速度１５０ｍｍ／分程度までなお、研磨テープはクッション性のあるテープが好まし
い。

【００６６】また、上記装置で、プリント基板の表面研
磨、クリーニングも行うことができる。

【００６７】図７は、たとえば、航空機の窓（このよう
な窓はアクリル製なので弾力性がある）のような、弾性
をもつが表面が凹状曲面となっている対象物を本発明の
研磨装置により研磨またはクリーニングする際に組み入
れられるテーブルの他の実施例を示す。図７（ａ）は他
の実施例のテーブルの平面図で、図７（ｂ）はそのテー
ブルの断面図で、図７はそのテーブルの研磨時の断面図
である。

【００６８】テーブル７０は、その中央に凹所７１が形
成され、その凹所７１内でその周囲にそって弾性のパッ
キン材７２が配置されている。凹所７１には穴７３、そ
してそれに続く、真空源に接続されるパイプ７４が連結
され、凹所７１内が真空排気される。図７（ｂ）に示す
ように、研磨またはクリーニングに際しては、対象物１
０を、上を凸にして、凹所７１に配置し、対象物１０が
平坦になるまで真空排気する。その間、パッキン材７２
により気密性が維持される。

【００６９】平坦になった対象物１０を，上記説明した
ように，研磨装置を駆動して，研磨またはクリーニング
を行う。かくして，曲面をもつ対象物をも，図７に示す
テーブルを組み入れることにより研磨またはクリーニン
グをすることができる。

【００７０】

【発明の効果】本発明の研磨装置は、走行する研磨テー
プを回転させることから、従来人手による、液晶ガラス
基板、プリント基板などの対象物の研磨またはクリーニ
ングを自動化し、したがって、液晶ディスプレイ、プリ
ント基板などの製造コストを軽減するとともに、一様な
品質を維持することができる。

【００７１】また、研磨テープが走行することから、常
に新しい研磨テープが対象物に接し、したがって、研磨
またはクリーニング力が高く、さらに研磨テープが回転
することから、研磨またはクリーニング効率もよい。

【００７２】さらに、本発明の研磨装置は、研磨テープ
の走行と回転を比較的単純な構造で行うことができ、装
置自体の製造コスト、装置の管理が容易となり、さらに
その操作も容易となる。

【００７３】さらにまた、本発明の研磨装置は、弾性パ
ッキンを備えた、テーブルを組み込むことにより、凸状
曲面をもつ対象物をも自動的に研磨することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨装置の正面図を示す。

【図２】図１の線２−２にそった研磨テープの回転研磨
装置の部分断面図を示す。

【図３】取付けプレートの昇降機構を示す、本発明の研
磨テープの回転研磨装置の拡大部分断面図を示す。

【図４】本発明の研磨装置の、スピンドル回転機構およ
びテープ走行機構の詳細を示す拡大部分断面図を示す。

【図５】本発明の研磨装置のテープ走行機構の背面を示
す。

【図６】図４の線６−６にそったテープ走行機構の断面
図を示す。

【図７】本発明の研磨装置に組み入れられる、凸状の表
面をもつ対象物のためのテーブルを示し、図７（ａ）は
テーブルの平面図、図７（ｂ）は凸状の対象物が載置さ
れたテーブルの断面図、図７（ｃ）は真空排気すること
により凸状の対象物を平坦にしたテーブルの断面図を示
す。

【符号の説明】

５水平枠５′ ガイドレール２０取付けプレート２１底部プレート２２後方プレート２２′ 延長部２５シリンダー２５′ ロッド２５″ ロッド２６スプリング２７調節ネジ３０取付け脚３１取付け台３２モータ３３プーリー３４筒体３４′ フランジ３５スピンドル３５′ 貫通孔３６プーリー３７ベルト３８コネクタ４０テープ走行機構４２側壁４３側壁４６取付け具４７押付けローラー４８プーリー５０供給ローラー５１巻取りローラー５２プーリー５４モータ５５プーリー５６歯車５７ベルト５９回転軸６０ローラー６１、６２歯車６３歯車６４ベルト７０テーブル７１凹所７２弾性パッキン７３穴７４パイプ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】研磨テープが走行しかつ回転する，研磨
装置であって，開口を有する取付けプレートと，該取付けプレートの前記開口内に配置され，前記取付け
プレートに回転可能に取り付けられるスピンドルと，前記スピンドルを回転させるための，前記取付けプレー
トに取り付けられる第１の回転手段と，前記スピンドルの一端から伸長する対向した一対の伸長
部の間に取り付けられる，研磨テープを対象物に押し付
ける押付けローラーであって，該ローラーの回転軸が前
記スピンドルの軸線に対して垂直であり，ローラーの中
央部分の直径がその両端部分の直径よりも小さい，とこ
ろのローラーと，前記押付けローラーの回転軸と平行に，それぞれの回転
軸が回転可能に前記一対の伸長部に取り付けられる研磨
テープ供給および巻取りローラーであって，研磨テープ
が前記供給ローラーから供給され，前記押付けローラー
を経て前記巻取りローラーへと巻き取られる，ところの
供給および巻取りローラーと，前記巻取りローラーを回転させるための，前記スピンド
ルに取り付けられる第２の回転手段と，から成る研磨装置。
【請求項２】前記押付けローラーの中央部分および両
端部分の各長さが全長の１／３である、請求項１に記載
の研磨装置。
【請求項３】請求項１または２に記載の研磨装置であ
って、前記押付けローラーに対置し、前記スピンドルの軸線方
向に対して垂直な面内で移動可能な、対象物を載置する
ためのテーブルと、該テーブルを移動させるための移動
ユニットとをさらに有する、ところの研磨装置。
【請求項４】請求項３に記載の研磨装置であって，前記取付けプレートを取り付けるための水平枠を有する
枠と，前記取付けプレートを前記水平枠に，前記スピンドルの
軸線方向に滑動可能に取り付ける取付け手段と，をさらに含み，前記取付け手段が，前記押付けローラーを所定の位置に
配置するための昇降手段を含む，ところの研磨テープの
回転研磨装置。
【請求項５】請求項３または４に記載の研磨装置であ
って、前記テーブルの表面に、対象物の一部を収納する
凹所が形成され、前記対象物を前記凹所に固定するために、前記凹所が真
空排気源に連結される、ところの研磨装置。
【請求項６】前記対象物が液晶ガラス基板、またはプ
リント基板である、請求項５に記載の研磨装置。
【請求項７】請求項５に記載の研磨装置であって、前記テーブルの前記凹所に設けられた少なくとも一つの
穴に、収納されるピンをさらに有し、該ピンは、その先端が穴から突き出たときに、前記凹所
の収納された対象物を前記凹所から押し出す、ところの
研磨装置。
【請求項８】前記テーブルの凹所内に、凹所の周囲に
そって弾性体が設けられる、請求項５に記載の研磨装
置。
【請求項９】前記対象物が航空機用の窓ガラスであ
る，請求項８に記載の研磨装置。