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JP2898732B2 - Manufacturing method of magnetic scale - Google Patents
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Manufacturing method of magnetic scale

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JP2898732B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は例えば油圧シリンダ等のストローク位置を検
出するための磁気スケールの製造方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic scale for detecting a stroke position of a hydraulic cylinder or the like, for example.

(従来の技術) 油圧シリンダ等のストローク位置を検出するために、
ピストンロッドに等間隔で帯状の非磁性部を設けて磁気
スケールを構成し、シリンダ側に設置した磁気センサに
よりピストンストロークに対応したパルス信号を検出で
きるようにして、例えば油圧シリンダの作動をフィード
バック制御すること等が行なわれている。
(Prior art) In order to detect the stroke position of a hydraulic cylinder, etc.,
A band-shaped non-magnetic portion is provided at equal intervals on the piston rod to form a magnetic scale, and a magnetic sensor installed on the cylinder side can detect a pulse signal corresponding to the piston stroke, for example, feedback control of the operation of the hydraulic cylinder And so on.

この場合、ピストンロッドに形成する磁気スケール
は、第3図、第4図にも示すように、鉄等で作られたピ
ストンロッド1の表面に、機械加工またはエッチング加
工により、軸方向に等間隔に帯状溝2を形成し、この帯
状溝2に非磁性材3であるクローム等のめっきを施して
埋め戻し、非磁性部を作るようになっている。
In this case, as shown in FIGS. 3 and 4, the magnetic scale formed on the piston rod is equally spaced in the axial direction by machining or etching on the surface of the piston rod 1 made of iron or the like. A non-magnetic portion is formed by plating a non-magnetic material 3 such as chrome on the band-shaped groove 2 and back-filling the band-shaped groove 2.

(発明が解決しようとする問題点) しかしながらこのようにして磁気スケールを製造する
場合に次ぎのような問題があった。
(Problems to be Solved by the Invention) However, there are the following problems when manufacturing a magnetic scale in this way.

すなわち、加工した溝を非磁性材で埋めるのに必要な
クロームメッキの処理時間が長くかかり、このため非磁
性部の厚さに加工的、コスト的な限界があり、ストロー
ク位置を検出するセンサの出力を大きくとることができ
なかった。
In other words, it takes a long time to process the chrome plating required to fill the processed groove with a non-magnetic material. Therefore, the thickness of the non-magnetic portion is limited in terms of processing and cost. The output could not be increased.

本発明はこのような問題を解決し、能率的に短時間に
精度よく磁気スケールを製造する方法を提供することを
目的とする。
An object of the present invention is to solve such a problem and to provide a method for efficiently and accurately manufacturing a magnetic scale in a short time.

(問題点を解決するための手段) そこで本発明は、磁性体で形成した母材に所定の間隔
で帯状の非磁性部を配列した磁気スケールを製造する方
法であって、鉄系母材表面に所定の間隔で溝部を形成
し、この溝部にステンレス等の金属粉末またはワイヤを
供給し、これにレーザービームを含む高密度熱エネルギ
を照射して溶融しながら肉盛りし、オーステナイト相か
らなる非磁性部を形成した。
(Means for Solving the Problems) Accordingly, the present invention is a method for manufacturing a magnetic scale in which band-shaped non-magnetic portions are arranged at predetermined intervals on a base material formed of a magnetic material, the method comprising: Grooves are formed at predetermined intervals, metal powder such as stainless steel or a wire is supplied to the grooves, and high-density thermal energy including a laser beam is applied to the grooves to melt and build up, thereby forming a non-austenitic non-metal layer. A magnetic part was formed.

(作用) 溝部にステンレス等の金属粉末またはワイヤを供給
し、これにレーザビーム等を照射すると、金属粉末やワ
イヤに含まれるニッケルやクローム等が溶融拡散しなが
ら、金属組織的には非磁性であるオーステナイト相を形
成するので、十分に肉厚のある非磁性部を能率よく形成
できる。
(Operation) When a metal powder such as stainless steel or a wire is supplied to the groove portion and a laser beam or the like is applied to the groove, nickel or chrome contained in the metal powder or the wire is melted and diffused, and the metal structure is non-magnetic. Since a certain austenite phase is formed, a sufficiently thick nonmagnetic portion can be efficiently formed.

(実施例) 本発明方法の実施例を図面に基づいて説明する。(Example) An example of the method of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図、第2図に示すように、磁気スケールの母材10
(この実施例ではピストンロッド、以下同じ)を鉄系の
磁性材で形成すると共に、このピストンロッド10に等間
隔で溝部10aを形成しておく。
As shown in FIG. 1 and FIG.
(In this embodiment, a piston rod, the same applies hereinafter) is formed of an iron-based magnetic material, and grooves 10a are formed in the piston rod 10 at equal intervals.

そして、この溝部10aにステンレス等の金属粉末をノ
ズル11から供給しながら、レーザノズル12により炭酸ガ
スレーザビームを照射することにより、金属粉末を溶融
しつつ肉盛りして非磁性材であるオーステナイト相13を
形成する。
The metal powder such as stainless steel is supplied to the groove 10a from the nozzle 11 while irradiating a carbon dioxide laser beam with the laser nozzle 12 while the metal powder is melted to build up the austenitic phase 13 which is a nonmagnetic material. To form

炭酸ガスレーザビームの照射によりステンレス等の金
属粉末に含まれるニッケルとクロームが溶融拡散し、金
属組織的には非磁性材であるオーステナイト相13を構成
する。
Nickel and chrome contained in metal powder such as stainless steel are melted and diffused by irradiation with a carbon dioxide gas laser beam, and constitute an austenitic phase 13 which is a nonmagnetic material in terms of metallographic structure.

ピストンロッド10の表面に軸方向に等間隔で磁気スケ
ールを形成するには、ステンレス等の金属粉末の供給と
共にレーザビームを照射しながらピストンロッド10を回
転させて所定の長さを溶融し、次ぎに軸方向に溝部10a
の1ピッチ分だけピストンロッド10を移動させ、再び金
属粉末を供給しながらレーザビームを照射しつつピスト
ンロッドを所定の角度だけ回転させるという動作を繰り
返す。
In order to form a magnetic scale at equal intervals in the axial direction on the surface of the piston rod 10, the piston rod 10 is rotated while irradiating a laser beam together with the supply of metal powder such as stainless steel to melt a predetermined length. Groove 10a in the axial direction
The operation of moving the piston rod 10 by a predetermined angle while rotating the piston rod 10 by one pitch while irradiating the laser beam while supplying the metal powder again is repeated.

このようにして、ピストンロッド10に例えば0.2mm〜
0.5mmの厚さの非磁性部を形成していく。
In this way, for example, 0.2 mm
A non-magnetic portion having a thickness of 0.5 mm is formed.

第2図はこのための加工装置を示すもので、スライド
基台20にはスライドテーブル21が摺動自由に載置され、
このスライドテーブル21はモータ22の回転に応じて軸方
向の送りをかけられる。スライドテーブル21にはその送
り方向と一致する回転軸心をもつように、ピストンロッ
ド10を回転自由に支持する一対の支持台23aと23bが備え
られ、かつ支持台23aにはピストンロッド10を回転させ
るためのモータ25が設けられる。
FIG. 2 shows a processing apparatus for this purpose. A slide table 21 is slidably mounted on a slide base 20,
The slide table 21 is fed in the axial direction according to the rotation of the motor 22. The slide table 21 is provided with a pair of supports 23a and 23b that rotatably support the piston rod 10 so that the slide table 21 has a rotation axis that matches the feed direction, and the support table 23a rotates the piston rod 10. A motor 25 is provided for driving the motor.

支持台23a、23bに支持されるピストンロッド10の上方
に位置して炭酸ガスレーザビームを照射するためのレー
ザノズル12が設けられ、このレーザノズル12にはレーザ
ビーム発振機26で発生したレーザビームが送られる。レ
ーザノズル12はレーザビームをレンズにより、ピストン
ロッド10の溝部表面に集光させる。
A laser nozzle 12 for irradiating a carbon dioxide laser beam is provided above the piston rod 10 supported by the support bases 23a and 23b, and the laser nozzle 12 receives a laser beam generated by a laser beam oscillator 26. Sent. The laser nozzle 12 focuses the laser beam on the groove surface of the piston rod 10 by a lens.

レーザノズル12の近傍に位置してステンレス等の金属
粉末を供給するノズル11が設けられ、このノズル11には
金属粉末を収納するホッパ27が接続され、ガス導入管28
から送り込まれるアルゴンガスによって、金属粉末がノ
ズル11から母材表面に供給される。
A nozzle 11 for supplying a metal powder such as stainless steel is provided near the laser nozzle 12, and a hopper 27 for storing the metal powder is connected to the nozzle 11, and a gas introduction pipe 28 is provided.
The metal powder is supplied from the nozzle 11 to the surface of the base material by the argon gas sent from the nozzle.

ノズル11から金属粉末を供給する共にレーザノズル12
からレーザビームを照射しながら、ピストンロッド10を
モータ25により所定の速度で所定角度だけ回転させ、溝
部10aに金属粉末を溶融しつつ肉盛りをして帯状の非磁
性部を形成する。次いでモータ25を元の角度位置まで戻
すと共に、スライドテーブル21を磁気スケールのピッチ
に相当する量だけモータ22を回転させて送りをかける。
この状態で再びノズル11から金属粉末を供給すると共に
レーザノズル12からレーザビームを照射しつつ、ピスト
ンロッド10を回転させる。なお、ノズル11から噴出する
アルゴンガス(不活性ガス)は金属粉末の酸化防止を図
り、またレーザノズル12からもレーザビームと同時に光
学部品保護のために不活性ガスを放射する。
Supply metal powder from nozzle 11 and laser nozzle 12
While the laser beam is being irradiated from above, the piston rod 10 is rotated by a predetermined angle at a predetermined speed by a motor 25, and the metal powder is melted and built up in the groove 10a to form a band-shaped non-magnetic portion. Next, the motor 25 is returned to the original angular position, and the slide table 21 is fed by rotating the motor 22 by an amount corresponding to the pitch of the magnetic scale.
In this state, the piston rod 10 is rotated while supplying the metal powder again from the nozzle 11 and irradiating the laser beam from the laser nozzle 12. The argon gas (inert gas) spouted from the nozzle 11 prevents oxidation of the metal powder, and also emits an inert gas from the laser nozzle 12 at the same time as the laser beam for protecting optical components.

このようにしてピストンロッド10の表面に所定の範囲
にわたり磁気スケールを形成することができる。具体的
には、直径40mmの鉄製ピストンロッドを周速10mm/sec回
転し、ステンレス粉末を10g/minの割合でアルゴンガス
と共に供給しながら、出力800Wの炭酸ガスレーザを照射
したところ(ただし、ピストンロッドとレンズの距離を
焦点位置より遠くしてビーム幅を1mmに調整)、深さ0.2
5mmの非磁性部が形成できた。
In this way, a magnetic scale can be formed on the surface of the piston rod 10 over a predetermined range. Specifically, when an iron piston rod with a diameter of 40 mm was rotated at a peripheral speed of 10 mm / sec, and a stainless steel powder was supplied together with argon gas at a rate of 10 g / min, a carbon dioxide laser with an output of 800 W was irradiated. The lens width is adjusted to 1mm by increasing the distance between the lens and the focal point), depth 0.2
A non-magnetic portion of 5 mm was formed.

この後、ピストンロッド10の表面を研磨加工し、必要
に応じてクロムメッキ処理を施して最終仕上げを行う。
Thereafter, the surface of the piston rod 10 is polished and, if necessary, subjected to a chrome plating process to perform a final finish.

この実施例では炭酸ガスレーザビームを照射したが、
高密度熱エネルギの熱源としては、電子ビーム、TIGを
利用することもでき、また、ステンレス等の金属粉末の
代わりに、ステンレス等のワイヤを供給してもよい。な
お、ステンレス等の金属粉末やワイヤ等は、レーザ照射
と同時に供給する他、予め溝部10aに固定しておいても
よい。
In this embodiment, a carbon dioxide laser beam was irradiated,
As a heat source of high-density thermal energy, an electron beam or TIG can be used, and a wire of stainless steel or the like may be supplied instead of a metal powder of stainless steel or the like. The metal powder such as stainless steel, wire, or the like may be supplied simultaneously with the laser irradiation, or may be fixed in the groove 10a in advance.

(発明の効果) 以上のように本発明によれば、母材の溝部にステンレ
ス等の金属粉末あるいはワイヤを供給し、これにレーザ
ビーム等の高密度熱エネルギを照射しながら肉盛り加工
を行うだけで、オーステナイト相からなる非磁性部を形
成することができるので、従来のように長時間にわたる
メッキ処理等を必要とするものに比較して、はるかに生
産効率が良く、また、非磁性部の形態も、溝加工、金属
粉末の量、入熱条件等によりスケール感度を自由に変え
られ、しかも肉盛り厚さを均一にしやすく、組成のバラ
ツキも無いため、磁気スケールとしての性能、品質を安
定させられるという効果もある。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, a metal powder such as stainless steel or a wire is supplied to the groove of the base material, and the cladding is performed while irradiating high density thermal energy such as a laser beam to the groove. Alone, a non-magnetic part consisting of an austenite phase can be formed, so that the production efficiency is much better than that of a conventional method requiring a long-time plating treatment, etc. Also, the scale sensitivity can be freely changed depending on the groove processing, the amount of metal powder, the heat input conditions, etc.Moreover, it is easy to make the build-up thickness uniform and there is no variation in composition, so the performance and quality as a magnetic scale There is also an effect that it can be stabilized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明方法の実施例の加工状態を示す断面図、
第2図は本発明方法を実施するための加工装置の構成を
示す構成図、第3図はピストンロッド磁気スケールの一
部切欠側面図、第4図はその縦断面図である。 10……母材(ピストンロッド)、11……ノズル、12……
レーザノズル、13……オーステナイト相。
FIG. 1 is a sectional view showing a working state of an embodiment of the method of the present invention,
FIG. 2 is a structural view showing the structure of a processing apparatus for carrying out the method of the present invention, FIG. 3 is a partially cutaway side view of a piston rod magnetic scale, and FIG. 4 is a longitudinal sectional view thereof. 10 ... Base material (piston rod), 11 ... Nozzle, 12 ...
Laser nozzle, 13 ... Austenitic phase.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B23K 26/00 - 26/18 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) B23K 26/00-26/18

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】磁性体で形成した母材に所定の間隔で帯状
の非磁性部を配列した磁気スケールを製造する方法であ
って、鉄系母材表面に所定の間隔で溝部を形成し、この
溝部にステンレス等の金属粉末またはワイヤを供給し、
これにレーザービームを含む高密度熱エネルギを照射し
て溶融しながら肉盛りし、オーステナイト相からなる非
磁性部を形成したことを特徴とする磁気スケールの製造
方法。
1. A method of manufacturing a magnetic scale in which band-shaped non-magnetic portions are arranged at predetermined intervals on a base material formed of a magnetic material, wherein grooves are formed at predetermined intervals on the surface of an iron-based base material, Supply metal powder or wire such as stainless steel to this groove,
A method for manufacturing a magnetic scale, comprising irradiating a high-density thermal energy including a laser beam and melting the same to form a nonmagnetic portion made of an austenite phase.
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