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JP2902285B2 - 3D position control system - Google Patents
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JP2902285B2 - 3D position control system - Google Patents

3D position control system

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JP2902285B2
JP2902285B2 JP31595593A JP31595593A JP2902285B2 JP 2902285 B2 JP2902285 B2 JP 2902285B2 JP 31595593 A JP31595593 A JP 31595593A JP 31595593 A JP31595593 A JP 31595593A JP 2902285 B2 JP2902285 B2 JP 2902285B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、三次元測定機を用いた
位置制御システムに係り、特に空間誤差補正のためのプ
ローブベクトルの予備登録処理を改良した三次元位置制
御システムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position control system using a three-dimensional measuring device, and more particularly to a three-dimensional position control system in which a preliminary registration process of a probe vector for correcting a spatial error is improved.

【0002】[0002]

【従来の技術】三次元測定機の空間誤差(幾何学的誤
差)には、図4中の直交座標系における各軸スケール誤
差や真直度誤差等の平行誤差、及びピッチング誤差やヨ
ーイング誤差等の回転誤差がある。これらの空間誤差の
種類と数を示せば、次の通りである。 [平行誤差] 各軸スケール誤差:3 各軸水平方向真直度誤差:3 各軸垂直方向真直度誤差:3 [回転誤差] 各軸ピッチング誤差:3 各軸ヨーイング誤差:3 各軸ローリング誤差:3 各軸間直角誤差:3
2. Description of the Related Art Spatial errors (geometric errors) of a coordinate measuring machine include parallel errors such as axis scale errors and straightness errors in a rectangular coordinate system in FIG. 4 and pitch errors and yawing errors. There is a rotation error. The types and numbers of these spatial errors are as follows. [Parallel error] Each axis scale error: 3 Each axis horizontal straightness error: 3 Each axis vertical straightness error: 3 [Rotation error] Each axis pitching error: 3 Each axis yawing error: 3 Each axis rolling error: 3 Right angle error between each axis: 3

【0003】誤差補正量δの計算は、次の数1に基づ
いて行われる。但し数1において、アンダーラインはベ
クトル表現を意味し、ei は各軸支点(回転中心でもあ
る)における平行誤差、θi は各軸支点における回転誤
差、Ci Aは各軸支点Ci からプローブ先端Aに向かう
ベクトル、Ci Bは各軸支点Ci からZ軸スピンドル下
端中心Bに向かうベクトル、はBからAに向かうプロ
ーブベクトル、nは支点の数であり、”×”はベクトル
外積である。
The calculation of the error correction amount δ x is performed based on the following equation (1). In equation (1), the underline means a vector expression, ei is the parallel error at each axis fulcrum (also the center of rotation), θi is the rotation error at each axis fulcrum, and Ci A is from each axis fulcrum Ci to the probe tip A. A heading vector, Ci B is a vector heading from each shaft fulcrum Ci to the center B of the lower end of the Z-axis spindle, P is a probe vector heading from B to A, n is the number of fulcrum points, and "x" is a vector cross product.

【0004】[0004]

【数1】 Ci ACi B (Equation 1) Ci A = Ci B + P

【0005】この空間誤差補正のための基準位置は、実
際に使用されるプローブの種類や取付状態が不定である
ため、例えば図2に示すように、z軸スピンドル21の
下端中心位置Bが選ばれる。従って実際に測定するプロ
ーブを決定した時点で、その都度基準球を用いた測定に
よりプローブ姿勢変更前後の位置関係を補正すると同時
に、新しい姿勢に対するプローブベクトルを指定する手
順が必要になる。プローブの姿勢変更による位置関係の
補正は、プローブを垂直姿勢とした場合と水平姿勢とし
た場合とをあたかも同じプローブを用いて測定したと同
様に扱うために必要なものである。即ち、予めプローブ
が垂直姿勢の状態で基準球の中心位置測定を行い、姿勢
変更時にも基準球の中心位置測定を行って、両者の差を
補正量とすることにより、同じプローブで測定したと同
じ結果が得られることになる。一方、プローブベクトル
は、図2に示すように基準位置Bからプローブ22の先
端位置AまでのベクトルPで表されるが、これは先に数
1で示したように、空間誤差補正処理のために予め指定
することが必要である。
The reference position for correcting the spatial error is determined by, for example, the center position B of the lower end of the z-axis spindle 21 as shown in FIG. It is. Therefore, each time a probe to be actually measured is determined, it is necessary to correct the positional relationship before and after the probe attitude is changed by measurement using the reference sphere each time, and to specify a probe vector for a new attitude. The correction of the positional relationship by changing the posture of the probe is necessary to handle the case where the probe is in the vertical posture and the case where the probe is in the horizontal posture as if they were measured using the same probe. That is, the center position of the reference sphere was measured in advance when the probe was in the vertical posture, the center position of the reference sphere was also measured when the posture was changed, and the difference between the two was used as the correction amount, so that the measurement was performed with the same probe. The same result will be obtained. On the other hand, the probe vector is represented by a vector P from the reference position B to the tip position A of the probe 22 as shown in FIG. Must be specified in advance.

【0006】プローブベクトル指定については、例えば
プローブの姿勢変更時に3軸分のプローブベクトルをそ
の都度人がモノサシで計り、手でキー入力することは勿
論可能であるが、これでは測定の完全自動化ができな
い。そこで、通常の測定でも必要である基準球23を用
いたプローブ先端位置測定時に同時にプローブベクトル
を自動算出して、これを予備登録することが望まれる。
As for the probe vector designation, for example, when the posture of the probe is changed, it is of course possible for a person to measure the probe vectors for three axes each time with a mono-sashi and to manually input the keys by hand, but this completely automates the measurement. Can not. Therefore, it is desired that the probe vector be automatically calculated at the same time as the probe tip position measurement using the reference sphere 23, which is also required for normal measurement, and that the probe vector be pre-registered.

【0007】プローブベクトルPは、 P=[B点で測定した基準球中心座標]−[A点で測定
した基準球中心座標]…(1) という減算式が基本式である。基準球中心座標は通常4
点以上の測定による球演算処理により求められる。予め
種類,向き,測定子,角度等の標準状態がわかっている
プローブ(これをプローブ初期構成という)を使用する
と、そのプローブベクトルをP0 として、上の(1)式
は、次のように変形される。 [B点で測定した基準球中心座標]=P0 +[A点で測
定した基準球中心座標]…(2) 従って、プローブ初期構成により1回だけ基準球測定を
行えば、B点で測定した基準球中心座標が登録可能であ
る。以後、どのようなプローブに変えた場合でも、A点
での基準球測定を行えば、(1)式に基づいてプローブ
ベクトルの自動算出が可能である。
The basic expression of the probe vector P is a subtraction formula of P = [reference sphere center coordinate measured at point B] − [reference sphere center coordinate measured at point A] (1). The reference sphere center coordinate is usually 4
It is obtained by a sphere calculation process based on measurement of points or more. If a probe whose standard state such as type, orientation, probe, angle, etc. is known in advance (this is referred to as a probe initial configuration), the probe vector is defined as P0 and the above equation (1) is transformed as follows. Is done. [Reference sphere center coordinate measured at point B] = P0 + [reference sphere center coordinate measured at point A] (2) Therefore, if the reference sphere measurement is performed only once according to the initial configuration of the probe, measurement is performed at point B. Reference sphere center coordinates can be registered. Thereafter, no matter what kind of probe is used, if the reference sphere measurement is performed at the point A, the probe vector can be automatically calculated based on the equation (1).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】プローブを変更したと
きに、(1)式でプローブベクトルを自動算出する場
合、A点で基準球を4点測定する際に用いられるプロー
ブベクトルは、新プローブベクトルがまだ決定されてい
ないために、直前の旧プローブベクトルが用いられるこ
とになり、このままでは誤差の原因となる。これを解決
するには、新プローブベクトルが決定した後にその新プ
ローブベクトルを用いた再度の基準球測定を行えばよ
い。しかしこれでは、プローブ変更の度に2回ずつ基準
球測定を行わなければならない。
When the probe vector is automatically calculated by equation (1) when the probe is changed, the probe vector used when measuring four points of the reference sphere at point A is a new probe vector. Has not yet been determined, the previous old probe vector will be used, and this will cause an error. To solve this, after the new probe vector is determined, the reference sphere measurement using the new probe vector may be performed again. However, in this case, the reference sphere measurement must be performed twice each time the probe is changed.

【0009】本発明は、基準球測定手順を簡略化したプ
ローブベクトル指定手段を持つ三次元位置制御システム
を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a three-dimensional position control system having a probe vector designating means that simplifies a reference sphere measuring procedure.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、交換可能で回
転自在なプローブが取り付けられる三次元測定機を有
し、空間誤差補正のために、測定機の基準位置で測定し
た基準球中心座標からプローブ先端位置で測定した基準
球中心座標を減算してプローブベクトルを求め、これを
予備登録する三次元位置制御システムにおいて、変更さ
れたプローブに対応する新プローブベクトルを予備登録
するために、変更前のプローブに対応する旧プローブベ
クトルを用いて測定された基準球中心座標位置から新プ
ローブベクトルを用いて測定されるべき基準球中心座標
位置を算出する演算手段を有し、前記演算手段は、旧プ
ローブベクトルを用いて基準球中心座標を測定する際に
用いられた位置データを前記空間誤差補正のための空間
誤差補正関数の位置変数の初期近似解とし、この初期近
似解を旧プローブベクトルを用いた前記空間誤差関数に
与えて空間誤差分を求め、この空間誤差分を前記位置デ
ータに加算して位置データ補正値を求め、この位置デー
タ補正値を前記初期近似解から減算した差分値が所定の
収束条件を満たすか否かを判定し、収束条件を満たさな
い場合には前記初期近似解に前記差分値を加算して次の
近似解として以下収束条件を満たすまで同様の反復演算
を行って、新プローブベクトルを用いて測定したと等価
の基準球中心座標を算出することを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises a three-dimensional measuring machine to which a replaceable and rotatable probe is mounted, and a center coordinate of a reference sphere measured at a reference position of the measuring machine for spatial error correction. in the three-dimensional position control system obtains the probe vector by subtracting the reference sphere center coordinates measured by the probe tip position, which is the pre-registration from changes of
Pre-register new probe vector corresponding to the selected probe
The old probe base corresponding to the probe before the change.
From the coordinate position of the center of the reference sphere measured using
Reference sphere center coordinates to be measured using lobe vector
Calculating means for calculating the position, wherein the calculating means
When measuring the reference sphere center coordinates using the lobe vector
The used position data is converted to a space for correcting the spatial error.
The initial approximate solution of the position variable of the error correction function
Convert the similar solution to the spatial error function using the old probe vector
To obtain a spatial error, and this spatial error is calculated as the position data.
Data to obtain the position data correction value.
The difference value obtained by subtracting the data correction value from the initial approximate solution is a predetermined value.
It is determined whether the convergence condition is satisfied.
If not, add the difference value to the initial approximate solution and
Similar iterative operation until the convergence condition is satisfied as an approximate solution
Is equivalent to measuring with the new probe vector
Is calculated .

【0011】[0011]

【作用】本発明によれば、プローブ交換時、プローブベ
クトルの予備登録に当たって、新プローブベクトルによ
る基準球中心座標を簡易逆補正演算を利用して自動算出
することにより、基準球測定を1回省略することができ
る。言い換えれば、従来より必要であるプローブ姿勢変
更前後の位置補正のための基準球測定処理の中に、従来
と同じ手数で空間誤差補正に必要なプローブベクトル指
定処理を組み込むことができる。そしてこのプローブベ
クトル指定により、プローブ先端での誤差補正が可能に
なる。
According to the present invention, the reference sphere measurement is omitted once by automatically calculating the reference sphere center coordinates using the new probe vector in the preliminary registration of the probe vector at the time of probe replacement using a simple inverse correction operation. can do. In other words, the probe vector designation processing required for spatial error correction can be incorporated into the reference sphere measurement processing for position correction before and after the change of the probe attitude, which is conventionally required, with the same number of steps as before. By specifying the probe vector, error correction at the probe tip becomes possible.

【0012】[0012]

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を説
明する。図1は、一実施例のシステム構成を示す。三次
元測定機11は測定機制御装置12に接続され、制御装
置12はホストコンピュータ13に接続されている。三
次元測定機11の先端部は、図2に示すように、z軸ス
ピンドル21の下端に回転自在なプローブ22が取りけ
られるようになっている。前述のように空間誤差補正の
パラメータは基準位置Bにおける値であり、プローブ先
端位置Aでの補正量を求めるためにはプローブベクトル
Pが必要である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a system configuration of an embodiment. The coordinate measuring machine 11 is connected to a measuring machine control device 12, and the control device 12 is connected to a host computer 13. As shown in FIG. 2, a rotatable probe 22 can be attached to the lower end of the z-axis spindle 21 at the tip of the coordinate measuring machine 11. As described above, the parameter of the spatial error correction is a value at the reference position B, and the probe vector P is necessary to obtain the correction amount at the probe tip position A.

【0013】この実施例では、使用するプローブを決定
したとき、プローブベクトルPがキー入力ではなく基準
球23を用いた4点測定により自動的に指定され予備登
録される。その基本原理は前述した通りであり、基準球
測定による点の情報はホストコンピュータ13に送られ
てここで中心座標を求める計算(球演算)及びプローブ
ベクトル計算が行われる。更にこの場合、この実施例で
は、旧プローブベクトルを用いてプローブ先端位置Aで
測定される基準球中心座標から、新プローブベクトルを
用いた基準球測定を行うことなく、新プローブベクトル
による正しい基準球中心座標位置を自動的に決定する演
算手段が組み込まれている。
In this embodiment, when a probe to be used is determined, the probe vector P is automatically designated and pre-registered by four-point measurement using the reference sphere 23 instead of key input. The basic principle is as described above. The information of the point by the reference sphere measurement is sent to the host computer 13, where the calculation (sphere calculation) for obtaining the center coordinates and the probe vector calculation are performed. Further, in this case, in this embodiment, the correct reference sphere based on the new probe vector is used without performing the reference sphere measurement using the new probe vector from the reference sphere center coordinates measured at the probe tip position A using the old probe vector. Calculation means for automatically determining the center coordinate position is incorporated.

【0014】この演算手段は具体的には、プローブベク
トルPを変数として含む空間誤差補正関数δ(x)=f
(x′,P)を用いて、図3のようなアルゴリズムで実
現される。図3で用いているxt,x′,P,δx,x
c,Δxは全てベクトルである。なお、空間誤差補正処
理は、移動制御時の軌道精度に対しても適用する必要が
あるため、CMMC12で行う必要がありそのため、図
3の主要な逆補正演算もCMMCで実行する必要があ
る。プローブ先端位置Aで測定した基準球中心位置座標
を求める際に使用した入力4点位置データxt を新しい
プローブベクトル(新P)と共にホストコンピュータか
らCMMCへ転送する(S0 )。そして位置変数x′の
初期近似解として4点位置データxt を用い(S1 )、
これと旧プローブベクトル(旧P)を用いて空間誤差分
f(x′,旧P)を計算する(S2)。次いで、この誤
差分を補正前の値に加えて、補正値xc =x′+δxを
演算する(S3 )。次にこの補正値xc を初期近似解x
t から減算してΔxを求める(S4 )、このΔxが収束
判定定数Kより小さいか否かの収束判定を行う(S
5)。より具体的には、x,y,zの3軸について、|
Δx|≦k,且つ|Δy|≦k,且つ|Δz|≦kがこ
こでの収束条件となる。
Specifically, the calculation means includes a spatial error correction function δ (x) = f including the probe vector P as a variable.
It is realized by an algorithm as shown in FIG. 3 using (x ′, P). Xt, x ', P, δx, x used in FIG.
c and Δx are all vectors. Note that the spatial error correction process needs to be applied to the trajectory accuracy at the time of movement control, and therefore needs to be performed by the CMMC 12. Therefore, the main inverse correction calculation in FIG. 3 also needs to be performed by the CMMC. The input 4-point position data xt used for obtaining the coordinates of the reference sphere center position measured at the probe tip position A is transferred from the host computer to the CMMC together with a new probe vector (new P) (S0). Then, using the four-point position data xt as an initial approximate solution of the position variable x '(S1),
The spatial error f (x ', old P) is calculated using this and the old probe vector (old P) (S2). Next, the error is added to the value before correction to calculate a correction value xc = x '+ δx (S3). Next, this correction value xc is converted to an initial approximate solution x
Δx is obtained by subtracting from t (S4), and a convergence determination is made as to whether this Δx is smaller than a convergence determination constant K (S4).
Five). More specifically, for three axes x, y, and z, |
Δx | ≦ k, | Δy | ≦ k, and | Δz | ≦ k are convergence conditions here.

【0015】収束条件を満たさない場合には、初期近似
解にΔxを加算して(S6 )、再度ステップS2 に戻っ
て、収束条件を満たすまで同じ演算を繰り返す。このよ
うな反復法による簡易逆補正を行い、補正前の値を求め
た後、新プローブベクトルを用いて空間誤差分δxを演
算し(S7 )、補正値xc を求めるという演算を行う
(S8 )。そしてホストコンピュータは、CMMCから
4点データを受信し、4点での球演算を行う(S9 )。
これにより、基準球測定を行うことなく、新しいプロー
ブベクトルを用いて測定したと等価なプローブ先端位置
Aでの正しい基準球中心座標が求められる。
If the convergence condition is not satisfied, .DELTA.x is added to the initial approximate solution (S6), and the process returns to step S2 to repeat the same operation until the convergence condition is satisfied. After performing a simple inverse correction by such an iterative method to obtain a value before correction, a new error vector is used to calculate a spatial error δx (S7), and a calculation is performed to obtain a correction value xc (S8). . Then, the host computer receives the four-point data from the CMMC and performs a sphere operation at the four points (S9).
As a result, the correct reference sphere center coordinates at the probe tip position A equivalent to the measurement using the new probe vector can be obtained without performing the reference sphere measurement.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、プロ
ーブベクトルの予備登録に当たって、新プローブベクト
ルによる基準球中心座標を簡易逆補正演算を利用して自
動算出することにより、基準球測定を1回省略して従来
の手順のなかで自動的にプローブベクトル指定を可能と
し、プローブ先端での誤差補正を可能とした三次元位置
制御システムが得られる。
As described above, according to the present invention, the reference sphere measurement can be performed by automatically calculating the reference sphere center coordinates using the new probe vector in the preliminary registration of the probe vector using the simple inverse correction operation. A three-dimensional position control system can be obtained in which the probe vector can be automatically specified in the conventional procedure by omitting once and error correction at the probe tip can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の一実施例のシステム構成を示す。FIG. 1 shows a system configuration according to an embodiment of the present invention.

【図2】 プローブ先端誤差補正を説明するための図で
ある。
FIG. 2 is a diagram for explaining probe tip error correction.

【図3】 実施例のプローブベクトル予備登録のための
アルゴリズムを示す。
FIG. 3 shows an algorithm for probe vector pre-registration of the embodiment.

【図4】 三次元測定機の運動学的連鎖表現を示す。FIG. 4 shows a kinematic chain representation of a coordinate measuring machine.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…三次元測定機、12…制御装置、13…ホストコ
ンピュータ、21…スピンドル、22…プローブ、23
…基準球、A…プローブ先端位置、B…基準位置。
11: Coordinate measuring machine, 12: Control device, 13: Host computer, 21: Spindle, 22: Probe, 23
... Reference sphere, A: Probe tip position, B: Reference position.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 交換可能で回転自在なプローブが取り付
けられる三次元測定機を有し、空間誤差補正のために、
測定機の基準位置で測定した基準球中心座標からプロー
ブ先端位置で測定した基準球中心座標を減算してプロー
ブベクトルを求め、これを予備登録する三次元位置制御
システムにおいて、変更されたプローブに対応する新プローブベクトルを予
備登録するために、変更前のプローブに対応する旧プロ
ーブベクトルを用いて測定された基準球中心座標位置か
ら新プローブベクトルを用いて測定されるべき基準球中
心座標位置を算出する演算手段を有し、 前記演算手段は、旧プローブベクトルを用いて基準球中
心座標を測定する際に用いられた位置データを前記空間
誤差補正のための空間誤差補正関数の位置変数の初期近
似解とし、この初期近似解を旧プローブベクトルを用い
た前記空間誤差関数に与えて空間誤差分を求め、この空
間誤差分を前記位置データに加算して位置データ補正値
を求め、この位置データ補正値を前記初期近似解から減
算した差分値が所定の収束条件を満たすか否かを判定
し、収束条件を満たさない場合には前記初期近似解に前
記差分値を加算して次の近似解として以下収束条件を満
たすまで同様の反復演算を行って、新プローブベクトル
を用いて測定したと等価の基準球中心座標を算出する
とを特徴とする三次元位置制御システム。
1. A three-dimensional measuring machine to which a replaceable and rotatable probe is attached.
The three-dimensional position control system that obtains the probe vector by subtracting the reference sphere center coordinate measured at the probe tip position from the reference sphere center coordinate measured at the reference position of the measuring device and pre-registers the probe vector corresponds to the changed probe. New probe vector
The old profile corresponding to the probe before the change
Is the reference sphere center coordinate position measured using the motion vector
In the reference sphere to be measured using the new probe vector
Calculating means for calculating the center coordinate position, wherein the calculating means uses the old probe vector in the reference sphere.
The position data used in measuring the center coordinates is stored in the space
Near initial position variable of spatial error correction function for error correction
Using the old probe vector as the similar solution and this initial approximate solution
The spatial error function is given to the spatial error function,
Add the position error to the position data and correct the position data
And subtract the position data correction value from the initial approximate solution.
Determines whether the calculated difference value satisfies the predetermined convergence condition
If the convergence condition is not satisfied,
The difference value is added and the following approximate solution is satisfied.
The same iterative operation is performed until the new probe vector
A three-dimensional position control system, which calculates a reference sphere center coordinate equivalent to that measured by using a sphere .
【請求項2】 前記空間誤差補正のための誤差補正量δ
の計算は、下記式に基づいて行われることを特徴とす
る請求項1に記載の三次元位置制御システム。記 Ci ACi B但し、アンダーラインはベクトル表
現を意味し、ei は各軸支点における平行誤差、θi
各軸支点における回転誤差、Ci Aは各軸支点Ci から
プローブ先端Aに向かうベクトル、Ci Bは各軸支点C
i からZ軸スピンドル下端中心Bに向かうベクトル、
はBからAに向かうプローブベクトル、nは支点の数で
あり、”×”はベクトル外積である。
2. An error correction amount δ for correcting the spatial error.
The three-dimensional position control system according to claim 1, wherein the calculation of x is performed based on the following equation. Record Ci A = Ci B + P where underline denotes a vector representation, ei parallel error at each pivot point, .theta.i rotation error at each pivot point, Ci A is directed to the probe tip A from the pivot point Ci vector , Ci B are each fulcrum C
a vector from i to the center B of the lower end of the Z-axis spindle, P
Is the probe vector from B to A, n is the number of fulcrums, and "x" is the vector cross product.
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