JP2903633B2 - Manufacturing method of ceramic green sheet - Google Patents
Manufacturing method of ceramic green sheetInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電子部品として用いられるセラミック多層基
板・積層セラミックコンデンサ等に使用するセラミック
グリーンシートの製造方法に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a ceramic green sheet used for a ceramic multilayer substrate, a multilayer ceramic capacitor, etc. used as an electronic component.
従来の技術 近年、電子機器の小型化に伴い高密度実装の一手段と
してセラミック多層基板が利用されている。2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices have become smaller, ceramic multilayer substrates have been used as one means of high-density mounting.
従来のセラミック多層基板もより高密度実装及び高品
質・高信頼性なセラミック多層基板が要求されそれに伴
いセラミック多層基板の材料であるセラミックグリーン
シートも高品質・高信頼性が要求されてきた。Conventional ceramic multilayer substrates are also required to have higher density mounting and higher quality and higher reliability ceramic multilayer substrates, and accordingly, ceramic green sheets, which are the materials of the ceramic multilayer substrates, have also been required to have higher quality and higher reliability.
以下図面を参照しながら、上述した従来のセラミック
グリーンシートの製造方法の一例について説明する。Hereinafter, an example of a method for manufacturing the above-described conventional ceramic green sheet will be described with reference to the drawings.
第３図は断面図であり、第４図は同じく平面図であ
る。これらの図は従来のセラミックグリーンシートの製
造方法を示すものである。第３図，第４図において21は
スラリー供給口、22はスラリー溜め、23はドクターブレ
ード、24はスラリー、25はウェット状態のセラミックグ
リーンシート、26はキャリアシート、27はスラリー溜め
を固定する定盤である。FIG. 3 is a sectional view, and FIG. 4 is a plan view of the same. These figures show a conventional method for manufacturing a ceramic green sheet. 3 and 4, 21 is a slurry supply port, 22 is a slurry reservoir, 23 is a doctor blade, 24 is a slurry, 25 is a ceramic green sheet in a wet state, 26 is a carrier sheet, and 27 is a fixed part for fixing the slurry reservoir. It is a board.
スラリー溜めを固定する定盤27に、スラリー溜め22を
固定し、スラリー溜め22に、スラリー供給口21を取り付
けドクターブレード23をキャリアシート26より所定のギ
ャップに取り付ける。The slurry reservoir 22 is fixed to the surface plate 27 for fixing the slurry reservoir, the slurry supply port 21 is attached to the slurry reservoir 22, and the doctor blade 23 is attached to the predetermined gap from the carrier sheet 26.
以下動作について説明する。 The operation will be described below.
スラリー供給口21より送られてきたスラリーは一旦、
スラリー溜め22に溜まり所定の液面高さになれば、キャ
リアシート26を送りドクターブレード23のギャップを通
り所定の膜厚のウェット状態のグリーンシート25を成膜
し、のちに乾燥後セラミックグリーンシートが出来る。The slurry sent from the slurry supply port 21 once
When the liquid is collected in the slurry reservoir 22 and reaches a predetermined liquid level, the carrier sheet 26 is fed to pass through the gap of the doctor blade 23 to form a wet green sheet 25 having a predetermined film thickness. Can be done.
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、第３図，第４図
のスラリーが複数の供給口21a,21b,21cに一旦別れると
スラリー溜め22の中では合流しないためスラリーの境界
が出来て筋状の線が入る（以下境界筋と呼ぶ）。これは
スラリー供給口が奇数個の場合は偶数本のスラリー供給
口が偶数個の場合は奇数個の境界筋がウェット状態のセ
ラミックグリーンシート25の進行方向に対して発生して
いた。のちに乾燥後のセラミックグリーンシートにも進
行方向に対し境界筋が発生それを起因として、印刷工程
での印刷性が悪く、断線・ショート・印刷乾燥時の境界
筋よりのクラックが発生、そして積層後の基板焼成工程
での基板収縮のバラツキなど歩留りが上がらないという
問題点を有していた。However, in the above-described configuration, once the slurry shown in FIGS. 3 and 4 separates into the plurality of supply ports 21a, 21b, and 21c, they do not merge in the slurry reservoir 22, so that the boundary And a streak-shaped line enters (hereinafter referred to as boundary muscle). This is because when the number of the slurry supply ports is an odd number, the even number of the boundary lines is generated in the wet ceramic green sheet 25 in the advancing direction when the number of the slurry supply ports is an even number. Boundary streaks also occur in the direction of progress in the dried ceramic green sheet afterwards, resulting in poor printability in the printing process, breaks, short circuits, cracks from the border streaks during printing drying, and lamination There is a problem that the yield does not increase, such as variation in substrate shrinkage in a subsequent substrate baking step.
本発明は、上記問題点を鑑みドクターブレードより成
膜されたウェット状のセラミックグリーンシート及び乾
燥後のセラミックグリーンシートが境界筋のないセラミ
ックグリーンシートの製造装置及びその製造方法を提供
するものである。The present invention has been made in view of the above problems, and provides an apparatus and a method for manufacturing a ceramic green sheet in which a wet ceramic green sheet formed by a doctor blade and a dried ceramic green sheet have no boundary line. .
課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明のセラミックグリ
ーンシートの製造装置及びその製造方法は、スラリーを
ドクターブレード法によりキャリアシート上に成膜する
際に、１つの供給口より供給したスラリーをスラリー溜
めに達する迄の間にスラリー溜めの幅にまで押し広げて
供給するという構成を備えたものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the ceramic green sheet manufacturing apparatus and the manufacturing method thereof according to the present invention provide a single supply port when forming a slurry on a carrier sheet by a doctor blade method. A configuration is provided in which the supplied slurry is spread and supplied to the width of the slurry reservoir before reaching the slurry reservoir.
作 用 本発明は、上記した構成によってスラリー供給を１つ
の供給口より供給したスラリーをスラリー溜めに達する
迄の間にスラリー溜めの幅にまで押し広げることにより
スラリー同志の境界を作らないために境界筋が発生しな
いこととなる。Effect of the Invention The present invention provides the above-described configuration in which the slurry supplied from one supply port is pushed to the width of the slurry reservoir before reaching the slurry reservoir, so that the boundaries of the slurry are not formed. No streaks will develop.
実施例 以下本発明の一実施例のセラミックグリーンシートの
製造装置及びその製造方法について図面を参照しながら
説明する。Embodiment Hereinafter, an apparatus and a method for manufacturing a ceramic green sheet according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は一実施例の断面図、第２図は第１図の異なる
方向より見た断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of one embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view as seen from a different direction of FIG.
１はスラリー供給口、２はスラリー溜め、３はスラリ
ー４をウェット状態のセラミックグリーンシート５にす
るためのドクターブレード、６はスラリー溜めを固定す
る定盤７上を移動しウェット状態のセラミックグリーン
シート５を搬送するためのキャリアシート、11はスラリ
ー供給治具A8、スラリー供給治具B9、スラリー供給治具
C10よりなるスラリー供給治具11である。1 is a slurry supply port, 2 is a slurry reservoir, 3 is a doctor blade for turning the slurry 4 into a ceramic green sheet 5 in a wet state, and 6 is a ceramic green sheet in a wet state moving on a surface plate 7 for fixing the slurry reservoir. 5 is a carrier sheet for conveying 5; 11 is a slurry supply jig A8, a slurry supply jig B9, and a slurry supply jig.
This is a slurry supply jig 11 made of C10.
以上のように構成されたセラミックグリーンシートの
製造装置及びその製造方法について第１図，第２図を用
いてその動作を説明する。The operation of the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the ceramic green sheet configured as described above will be described with reference to FIG. 1 and FIG.
まず第１図，第２図はスラリー４をスラリー溜め２へ
供給する仕方を示すものであって、スラリー供給口１よ
り供給されたスラリー４はスラリー供給治具11へ入りス
ラリー供給治具11の中で、スラリー溜め２に達する迄の
間に、スラリー溜め２の幅にまで押し広げられスラリー
溜め２へと供給される。スラリー溜め２へ一旦溜まり所
定のスラリー液面高さになれば、キャリアシート６を送
りドクターブレード３のギャップを通り所定の膜厚のウ
ェット状態のセラミックグリーンシート５を成膜し、の
ちに乾燥後セラミックグリーンシートが出来る。First, FIGS. 1 and 2 show a method of supplying the slurry 4 to the slurry reservoir 2. The slurry 4 supplied from the slurry supply port 1 enters the slurry supply jig 11 and is supplied to the slurry supply jig 11. Inside, the slurry is pushed to the width of the slurry reservoir 2 before reaching the slurry reservoir 2 and supplied to the slurry reservoir 2. Once the slurry is stored in the slurry reservoir 2 and reaches a predetermined slurry liquid level, the carrier sheet 6 is fed to pass through the gap of the doctor blade 3 to form a wet-state ceramic green sheet 5 having a predetermined thickness, and then dried. A ceramic green sheet is made.
以上のように本実施例によれば、スラリー供給治具11
を設けることにより、スラリー供給口１より供給された
スラリー４は、スラリー供給治具11によりスラリー溜め
２に達する迄の間にスラリー溜め２の幅にまで押し広げ
られスラリー４自体での境界が出来ないためにウェット
状態のグリーンシート５に境界筋が出来ないようにな
る。As described above, according to the present embodiment, the slurry supply jig 11
Is provided, the slurry 4 supplied from the slurry supply port 1 is pushed to the width of the slurry reservoir 2 by the slurry supply jig 11 until the slurry 4 reaches the slurry reservoir 2 to form a boundary with the slurry 4 itself. As a result, no boundary line is formed on the green sheet 5 in the wet state.
なお、実施例においてスラリー供給治具11は、治具自
体は、スラリーを直線的に供給出来る治具としたが、治
具の内壁の一部又は全部に曲面を有してもよい。In the embodiment, the slurry supply jig 11 is a jig itself capable of supplying slurry in a straight line, but a part or all of the inner wall of the jig may have a curved surface.
また実施例においてスラリー供給治具11の取り付けを
スラリー溜めの下部側に取り付けたが上部等に取り付け
てもよい。In the embodiment, the slurry supply jig 11 is attached to the lower portion of the slurry reservoir, but may be attached to the upper portion or the like.
また実施例においてキャリアシート６が動くシート成
形機にて実施したがスラリー溜め２及びドクターブレー
ド３が動くシート成形機を使用してもよい。In the embodiment, the sheet forming machine in which the carrier sheet 6 moves is used, but a sheet forming machine in which the slurry reservoir 2 and the doctor blade 3 move may be used.
発明の効果 以上のように本発明はスラリーをドクターブレード法
によりキャリアシート上に成膜する際に、スラリー溜め
に供給するスラリーを所定の方法で供給することにより
セラミックグリーンシート成膜時の境界筋の発生をなく
し、印刷工程での歩留り向上に寄与出来る。Effect of the Invention As described above, the present invention provides a method for forming a slurry on a carrier sheet by the doctor blade method, by supplying a slurry to be supplied to a slurry reservoir by a predetermined method, thereby forming a boundary line at the time of forming a ceramic green sheet. Can be eliminated, and the yield in the printing process can be improved.
第１図は本発明の一実施例におけるセラミックグリーン
シート製造法における成膜時のグリーンシート断面図、
第２図は第１図と異なる方向より見た同断面図、第３図
は従来のセラミックグリーンシートの成膜時における断
面図、第４図は第３図と異なる方向より見た断面図であ
る。 １……スラリー供給口、２……スラリー溜め、３……ド
クターブレード、４……スラリー、５……ウェット状態
のセラミックグリーンシート、６……キャリアシート、
７……スラリー溜めを固定する定盤、８……スラリー供
給治具Ａ、９……スラリー供給治具Ｂ、10……スラリー
供給治具Ｃ、11……スラリー供給治具。FIG. 1 is a cross-sectional view of a green sheet during film formation in a method of manufacturing a ceramic green sheet according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view as seen from a direction different from FIG. 1, FIG. 3 is a cross-sectional view when a conventional ceramic green sheet is formed, and FIG. 4 is a cross-sectional view as seen from a direction different from FIG. is there. 1 ... Slurry supply port, 2 ... Slurry reservoir, 3 ... Doctor blade, 4 ... Slurry, 5 ... Ceramic green sheet in wet state, 6 ... Carrier sheet,
7: Surface plate for fixing the slurry reservoir, 8: Slurry supply jig A, 9: Slurry supply jig B, 10, ..., Slurry supply jig C, 11, ... Slurry supply jig.
Claims (1)
を含むスラリーをドクターブレード法によりキャリアシ
ート上に成膜する際に、スラリー溜めに供給するスラリ
ーを１つの供給口より供給し、供給口とスラリー溜めと
の間に四面が密閉され、かつ徐々に幅が広がる通路を有
するスラリー供給治具を配して、供給口よりスラリー溜
めにスラリーが達する迄の間にスラリーをスラリー溜め
の幅にまで押し広げて供給し成膜することを特徴とする
セラミックグリーンシートの製造方法。When a slurry containing an inorganic insulating powder, an organic binder, a plasticizer and the like is formed on a carrier sheet by a doctor blade method, slurry supplied to a slurry reservoir is supplied from one supply port, A slurry supply jig having four passages closed between the supply port and the slurry reservoir and having a passage that gradually widens is provided, and the slurry is supplied to the slurry reservoir until the slurry reaches the slurry reservoir from the supply port. A method for producing a ceramic green sheet, characterized in that it is spread to a width and supplied to form a film.
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1990
- 1990-05-22 JP JP13176490A patent/JP2903633B2/en not_active Expired - Fee Related
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