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JP2905429B2 - Synchrotron radiation light beam concentrator - Google Patents
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JP2905429B2 - Synchrotron radiation light beam concentrator - Google Patents

Synchrotron radiation light beam concentrator

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JP2905429B2
JP2905429B2 JP25577295A JP25577295A JP2905429B2 JP 2905429 B2 JP2905429 B2 JP 2905429B2 JP 25577295 A JP25577295 A JP 25577295A JP 25577295 A JP25577295 A JP 25577295A JP 2905429 B2 JP2905429 B2 JP 2905429B2
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synchrotron radiation
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radiation light
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、円形粒子加速器
(シンクロトロン)から取出したシンクロトロン放射光
ビームをミラーにより反射させて集光し、実験装置に導
くためのシンクロトロン放射光ビーム集光装置に関する
もので、さまざまな物質の物性を調べたり、タンパク質
の構造を解明する等、物質科学や生命科学の基礎研究や
半導体素子開発等、最先端の技術分野に広く適用するこ
とができる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a synchrotron radiation light beam condensing apparatus for converging a synchrotron radiation light beam taken out from a circular particle accelerator (synchrotron) by reflecting it on a mirror and leading it to an experimental apparatus. It can be widely applied to cutting-edge technical fields such as basic research in material science and life science, semiconductor device development, etc., such as investigating the physical properties of various substances and elucidating the structure of proteins.

【0002】[0002]

【従来の技術】シンクロトロン放射光は円形粒子加速器
(シンクロトロン)から取出されるが、このシンクロト
ロン放射光の光軸は平行ではなく、縦方向へはわずかに
拡散する傾向があるのに対し、横方向へは大きく拡散す
る傾向にある。
2. Description of the Related Art Synchrotron radiation is extracted from a circular particle accelerator (synchrotron). The optical axis of the synchrotron radiation is not parallel and tends to slightly diffuse in the vertical direction. , There is a tendency to spread widely in the lateral direction.

【0003】そのため、シンクロトロン放射光ビームを
特定の方向に集光させるには、縦方向成分については極
く小さく精密に屈折させ、横方向成分については大きく
屈折させる必要がある。一般には、横断面が凹面状の長
尺ミラーを超高真空中に設置し、その長尺ミラーにより
シンクロトロン放射光ビームを反射させて横方向成分を
一点に集光するように屈折させているが、縦方向成分に
ついては極く小さく精密に屈折させる必要があるため、
長尺ミラーを長手方向にわずかに弯曲させて、縦方向成
分の屈折を微調整できるようにしておくことが望まし
い。
[0003] Therefore, in order to converge a synchrotron radiation light beam in a specific direction, it is necessary to refract the vertical component very small and precisely, and refract the horizontal component greatly. In general, a long mirror with a concave cross section is placed in an ultra-high vacuum, and the long mirror reflects the synchrotron radiation light beam and refracts it so that the horizontal component is converged at one point. However, since the vertical component needs to be refracted extremely small and precise,
It is desirable to bend the long mirror slightly in the longitudinal direction so that the refraction of the longitudinal component can be fine-tuned.

【0004】そこで、従来のシンクロトロン放射光ビー
ム集光装置は、横断面が凹面状の長尺ミラーを超高真空
中に設置し、その長尺ミラーを枠体により保持せしめ、
その枠体の底面を、長尺ミラーの両端より中央寄りに位
置する支点で支持し、枠体の両端に下向き押圧力を作用
させて、長尺ミラーを長手方向に上向きにわずかに弯曲
させるか、或は枠体の底面を長尺ミラーの両端に位置す
る支点で支持し、枠体の両端より中央寄りの2点に下向
きの押圧力を作用させて、長尺ミラーを長手方向に下向
きにわずかに弯曲させることにより、シンクロトロン放
射光の縦方向成分の屈折を微調整し、シンクロトロン放
射光ビームを特定の方向に集光させるようにしていた。
Therefore, a conventional synchrotron radiation light beam condensing apparatus has a long mirror having a concave cross section set in an ultra-high vacuum, and the long mirror is held by a frame.
The bottom surface of the frame is supported by fulcrums located closer to the center than both ends of the long mirror, and a downward pressing force is applied to both ends of the frame to cause the long mirror to slightly bend upward in the longitudinal direction. Alternatively, the bottom surface of the frame is supported by fulcrums located at both ends of the long mirror, and a downward pressing force is applied to two points closer to the center from both ends of the frame to move the long mirror downward in the longitudinal direction. By slightly bending, the refraction of the longitudinal component of the synchrotron radiation is finely adjusted to focus the synchrotron radiation beam in a specific direction.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のシンクロトロン放射光ビーム集光装置においては、
長尺ミラーを保持する枠体の両端又は中央寄りの2点
に、それぞれ別々に作動される油圧シリンダー等の機械
的な牽引手段を介して押圧力を作用させ、長尺ミラーを
長手方向にわずかに弯曲させるようにしているため、2
点における押圧力のバランスを取るのがきわめてむずか
しく、少しでもアンバランスであると、シンクロトロン
放射光の光軸に乱れを生じて、シンクロトロン放射光ビ
ームを所定の位置に集光させることができず、シンクロ
トロン放射光の縦方向成分の屈折を微調整するのに相当
の熟練を必要とし、制御しずらいと言う欠点があった。
又、従来の装置においては、機械的な牽引手段を介して
長尺ミラーを保持する枠体に押圧力が直接的に作用する
ため、超精密に表面加工された高価な長尺ミラーが破損
しやすいと言う欠点があった。
However, in the above-mentioned conventional synchrotron radiation light beam condensing apparatus,
A pressing force is applied to both ends or two points near the center of the frame body holding the long mirror through mechanical traction means such as hydraulic cylinders which are separately operated, and the long mirror is slightly moved in the longitudinal direction. 2
It is extremely difficult to balance the pressing force at a point, and if it is unbalanced at all, the optical axis of the synchrotron radiation will be disturbed, and the synchrotron radiation light beam can be focused at a predetermined position. However, there is a drawback that considerable skill is required to finely adjust the refraction of the longitudinal component of the synchrotron radiation, making it difficult to control.
Further, in the conventional apparatus, the pressing force directly acts on the frame holding the long mirror via the mechanical pulling means, so that the expensive long mirror which has been subjected to ultra-precision surface processing is damaged. There was a drawback that it was easy.

【0006】本発明は、上記従来の欠点に鑑みて提案さ
れたもので、シンクロトロン放射光の縦方向成分の屈折
を精密かつ容易に微調整することができ、制御が容易で
あると共に、軽量でコンパクトに製作することができ、
長尺ミラーの破損を防止し得るシンクロトロン放射光ビ
ーム集光装置を提供せんとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in view of the above-mentioned conventional drawbacks, and can precisely and easily fine-tune the refraction of the longitudinal component of synchrotron radiation, and is easy to control and lightweight. Can be made compact,
An object of the present invention is to provide a synchrotron radiation light beam condensing device capable of preventing breakage of a long mirror.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、超高真空中に設置され、シンクロトロン
放射光ビームを反射させる横断面が凹面状の長尺ミラー
と、その長尺ミラーの両端をそれぞれクランプし、両側
面に支軸を有する固定部材と、その固定部材の支軸を軸
受を介して支承する支柱に支持された外枠とを有し、両
固定部材間を長尺ミラーの底面と平行なピアノ線により
連結し、そのピアノ線の中央部をステップモータにより
長尺ミラーの底面に垂直な方向に牽引する牽引手段を設
けて、シンクロトロン放射光ビーム集光装置を構成した
ことを特徴とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a long mirror which is installed in an ultra-high vacuum and has a concave cross section for reflecting a synchrotron radiation light beam, and a long mirror. Each of the two ends of the scale mirror is clamped, and has a fixing member having a support shaft on both side surfaces, and an outer frame supported by a column supporting the support shaft of the fixing member via a bearing, and a gap between the two fixed members is provided. A synchrotron radiation light beam condensing device, which is connected by a piano wire parallel to the bottom surface of the long mirror and has a pulling means for pulling the center of the piano wire in a direction perpendicular to the bottom surface of the long mirror by a step motor. Is constituted.

【0008】本発明のシンクロトロン放射光ビーム集光
装置は、上記のような手段をもって構成されているので
ステップモータを駆動すると、牽引手段によってピアノ
の線の中央部は長尺ミラーの底面に垂直な方向に間欠的
に牽引されるが、この牽引力はピアノ線の弾性を介して
両固定部材に均等に作用されるため、固定部材にクラン
プされた長尺ミラーには外枠の軸受に支承された固定部
材の支軸の軸芯回りの曲げモーメントが作用して、長尺
ミラーが長手方向に弯曲され、シンクロトロン放射光の
縦方向成分の屈折はステップモータによって精密に微調
整され、任意に制御されることになる。
Since the synchrotron radiation light beam condensing device of the present invention is constituted by the above means, when the stepping motor is driven, the center of the piano wire is perpendicular to the bottom surface of the long mirror by the pulling means. However, since the traction force is applied equally to both fixing members via the elasticity of the piano wire, the long mirror clamped by the fixing members is supported by bearings on the outer frame. The bending mirror around the axis of the support shaft of the fixed member acts, the long mirror is bent in the longitudinal direction, and the refraction of the longitudinal component of the synchrotron radiation is finely adjusted precisely by a step motor, and optionally Will be controlled.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施の形
態に基づいて具体的に説明する。図1は、本発明実施の
一形態を示すシンクロトロン放射光ビーム集光装置の部
分縦断側面図で、図2は図1における矢視A−A線に沿
った横断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be specifically described based on an embodiment shown in the drawings. FIG. 1 is a partial longitudinal sectional side view of a synchrotron radiation light beam condensing apparatus showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a transverse sectional view taken along line AA in FIG.

【0010】図において、1はシンクロトロン放射光ビ
ームを反射させる長尺ミラーで、その横断面は凹面状に
形成され、鏡面2を上にして超高真空中に設置されてい
る。3は長尺ミラー1の両端をクランプする固定部材
で、天板3a、底板3b、両側板3c、3cより構成さ
れ、ボルト4にて固定されている。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a long mirror for reflecting a synchrotron radiation light beam, the cross section of which is formed in a concave shape, and is set in an ultra-high vacuum with a mirror surface 2 facing upward. Reference numeral 3 denotes a fixing member that clamps both ends of the long mirror 1 and includes a top plate 3a, a bottom plate 3b, and both side plates 3c and 3c, and is fixed by bolts 4.

【0011】5は長尺ミラー1を無理なく押圧して保持
するスペーサで、固定部材3の天板3aと長尺ミラー1
の上面両側との間に介装され、ボルト6にて天板3aに
取付けられている。7は固定部材3の両側板3c、3c
の両側面に設けられた水平方向の支軸である。
Reference numeral 5 denotes a spacer for pressing and holding the long mirror 1 without difficulty. The top plate 3a of the fixing member 3 and the long mirror 1
And is attached to the top plate 3 a with bolts 6. Reference numeral 7 denotes both side plates 3c, 3c of the fixing member 3.
Are horizontal support shafts provided on both side surfaces of.

【0012】8は固定部材3を囲む外枠で、天枠8a、
底枠8b、両側枠8c、8cより構成され、ボルト9に
て固定されている。10は軸受で、固定部材3の両側面
に水平に設けられた支軸7は、この軸受10を介して外
枠8の両側枠8c、8cに支承されている。
Reference numeral 8 denotes an outer frame surrounding the fixing member 3, and a top frame 8a,
It is composed of a bottom frame 8b and both side frames 8c, 8c, and is fixed by bolts 9. Reference numeral 10 denotes a bearing, and a support shaft 7 horizontally provided on both side surfaces of the fixing member 3 is supported by the side frames 8c, 8c of the outer frame 8 via the bearing 10.

【0013】11は架台12に立設された支柱で、外枠
8は、その底板8bを支柱11の上端のフランジ13に
ボルト14にて固定することにより、支柱11に支持さ
れている。15は長尺ミラー1の底面と平行に配置され
た2本のピアノ線で、その両端はそれぞれボルト16を
介して固定部材3の底板3bに固定されるか、或は固定
部材3の底板3bと一体的に成形されて、固定部材3を
構成する連結部3dに止め具17を介して固定され、両
固定部材3−3間を連結している。
Reference numeral 11 denotes a column standing on a gantry 12. The outer frame 8 is supported by the column 11 by fixing its bottom plate 8b to a flange 13 at the upper end of the column 11 with bolts 14. Reference numeral 15 denotes two piano wires arranged in parallel with the bottom surface of the long mirror 1, both ends of which are fixed to the bottom plate 3 b of the fixing member 3 via bolts 16 or the bottom plate 3 b of the fixing member 3. And is fixed to a connecting portion 3d of the fixing member 3 via a stopper 17 to connect the fixing members 3-3.

【0014】18は上端が平行な2本のピアノ線15の
中央部を挾持して長尺ミラー1の底面に垂直な方向に牽
引する牽引ロッドで、その下端部はステップモータ19
の回転力を直線運動に変換するギヤボックス20と係合
され、その牽引ロッド18の昇降移動量はリニアスケー
ル21によって計測されるようになっている。
Reference numeral 18 denotes a towing rod for sandwiching the center of two piano wires 15 having upper ends parallel to each other and towing in the direction perpendicular to the bottom surface of the long mirror 1, and the lower end thereof has a step motor 19.
Is engaged with a gear box 20 that converts the rotational force of the tow into a linear motion, and the amount of vertical movement of the towing rod 18 is measured by a linear scale 21.

【0015】上記のように構成されたシンクロトロン放
射光ビーム集光装置においては、ステップモータ19を
作動させると、ステップモータ19はパルス入力によっ
てステップ状に回転し、その回転力はギヤボックス20
を介して直線運動に変換され、牽引ロッド18はパルス
入力に応じて昇降されることになる。すると、長尺ミラ
ー1の底面と平行な2本のピアノ線15の中央部は、牽
引ロッド18、ステップモータ19、ギヤボックス20
よりなる牽引手段によって長尺ミラー1の底面に垂直な
方向に、ステップモータ19の回転量に比例してステッ
プ状に牽引されることになるが、このステップ状の牽引
力はピアノ線15の弾性によって緩衝されるため、ピア
ノ線15により連結された両固定部材3、3が軸受10
を介して外枠8に支承された支軸7の軸芯回りに回動し
ても、固定部材3によりクランプされた長尺ミラー1に
は無理な曲げモーメントの負荷が直接的に作用すること
はない。
In the synchrotron radiation light beam condensing device configured as described above, when the step motor 19 is operated, the step motor 19 rotates stepwise by a pulse input, and the rotational force is reduced by the gear box 20.
And the tow rod 18 is raised and lowered in response to the pulse input. Then, the central portions of the two piano wires 15 parallel to the bottom surface of the long mirror 1 are connected to the traction rod 18, the step motor 19, and the gear box 20.
The pulling means is pulled in a stepwise manner in a direction perpendicular to the bottom surface of the long mirror 1 in proportion to the amount of rotation of the stepping motor 19, and the stepwise pulling force is generated by the elasticity of the piano wire 15. The two fixed members 3 connected by the piano wire 15 are
, An excessive bending moment load is directly applied to the long mirror 1 clamped by the fixing member 3 even if it is rotated around the axis of the support shaft 7 supported on the outer frame 8 via There is no.

【0016】従って、長尺ミラー1はリニアスケール2
1によって計測される牽引ロッド18の昇降移動量に応
じ、その両端に均等に曲げモーメントが徐々に作用して
長手方向に弯曲されるので、超高真空中において長尺ミ
ラー1により反射されるシンクロトロン放射光の縦方向
成分は、長尺ミラー1の長手方向の弯曲度に応じて精密
に屈折されることになる。
Therefore, the long mirror 1 is a linear scale 2
1, the bending moment is gradually applied to both ends of the tow rod 18 in accordance with the amount of vertical movement of the tow rod 18 to bend in the longitudinal direction. Therefore, the synchro reflected by the long mirror 1 in an ultra-high vacuum The longitudinal component of the synchrotron radiation is precisely refracted in accordance with the degree of curvature of the long mirror 1 in the longitudinal direction.

【0017】なお、ステップモータ19はデジタル制御
が可能であるため、エンコーダを使用することにより、
リニアスケール21の計測信号を利用してフィードバッ
ク制御を行い、シンクロトロン放射光の縦方向成分の屈
折の微調整制御を容易に行うことができる。但し、固定
部材3や外枠8、牽引ロッド18、ステップモータ1
9、ギヤボックス20等からなる牽引手段は、図示の実
施の形態に限定されるものではなく、適宜設計変更可能
であることは言うまでもない。
Since the step motor 19 can be digitally controlled, by using an encoder,
The feedback control is performed using the measurement signal of the linear scale 21, and the fine adjustment control of the refraction of the longitudinal component of the synchrotron radiation light can be easily performed. However, the fixing member 3, the outer frame 8, the traction rod 18, the step motor 1
9, the traction means including the gear box 20 and the like is not limited to the illustrated embodiment, and it goes without saying that the design can be changed as appropriate.

【0018】又、ピアノ線15は、その縦弾性係数と径
を適宜選択し、その値と、ステップモータ19により牽
引ロッド18を牽引してリニアスケール21で計測する
牽引ロッド18の昇降移動量とから、長尺ミラー1の両
端に作用する曲げモーメントを計算することにより、長
尺ミラー1の長手方向の弯曲度をあらかじめ算出すこと
が可能である。
Further, the piano wire 15 has a longitudinal elastic modulus and a diameter selected as appropriate, and the value, the amount of vertical movement of the towing rod 18 measured by the linear scale 21 by towing the towing rod 18 by the stepping motor 19, and the like. By calculating the bending moment acting on both ends of the long mirror 1, the degree of curvature of the long mirror 1 in the longitudinal direction can be calculated in advance.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上具体的に説明したように、本発明に
よれば、ピアノ線により長尺ミラーに曲げモーメントを
作用させているので、長尺ミラーに無理な負荷がかから
ず、高価な長尺ミラーを破損させる恐れがないばかり
か、ピアノ線の中央部の1ケ所だけを牽引しているた
め、長尺ミラーの両端に均一に曲げモーメントがバラン
スよく作用するため、シンクロトロン放射光の光軸に乱
れを生じることはない。
As described above, according to the present invention, since the bending moment is applied to the long mirror by the piano wire, an unreasonable load is not applied to the long mirror, and the cost is high. Not only is there no risk of damaging the long mirror, but also because only one central part of the piano wire is pulled, the bending moment acts uniformly on both ends of the long mirror in a well-balanced manner. There is no disturbance in the optical axis.

【0020】又、ピアノ線の牽引にステップモータを使
用しているため、シンクロトロン放射光の縦方向成分の
屈折を精密に微調整することができ、フィードバック制
御等も容易である。更に、使用する長尺ミラーに応じ
て、ピアノ線はその縦弾性係数や径、本数を適宜最適の
ものに変更することができるので、コストが安く、軽量
で、コンパクトに製作することができる等の効果を有
し、実用上きわめて有効なシンクロトロン放射光ビーム
集光装置を提供することができる。
Further, since the stepping motor is used for pulling the piano wire, the refraction of the longitudinal component of the synchrotron radiation can be finely adjusted precisely, and the feedback control and the like are easy. Furthermore, the piano wire can have its longitudinal elastic modulus, diameter and number appropriately changed according to the long mirror to be used, so that it can be manufactured at low cost, light weight and compactness. It is possible to provide a synchrotron radiation light beam focusing apparatus which is extremely effective in practice.

【0021】[0021]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の一形態を示すシンクロトロン放
射光ビーム集光装置の部分縦断側面図である。
FIG. 1 is a partial vertical sectional side view of a synchrotron radiation light beam condensing device showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1における矢視A−A線に沿った横断面図で
ある。
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 長尺ミラー 2 鏡面 3 固定部材 4 ボルト 5 スペーサ 6 ボルト 7 支軸 8 外枠 9 ボルト 10 軸受 11 支柱 12 架台 13 フランジ 14 ボルト 15 ピアノ線 16 ボルト 17 止め具 18 牽引ロッド 19 ステップモータ 20 ギヤボックス 21 リニアスケール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Long mirror 2 Mirror surface 3 Fixing member 4 Bolt 5 Spacer 6 Bolt 7 Support shaft 8 Outer frame 9 Bolt 10 Bearing 11 Support post 12 Mount 13 Flange 14 Bolt 15 Piano wire 16 Bolt 17 Stopper 18 Pulling rod 19 Step motor 20 Gear box 21 Linear scale

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05H 13/04 G21K 1/06 G21K 5/02 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H05H 13/04 G21K 1/06 G21K 5/02 JICST file (JOIS)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 超高真空中に設置され、シンクロトロン
放射光ビームを反射させる横断面が凹面状の長尺ミラー
と、その長尺ミラーの両端をそれぞれクランプし、両側
面に支軸を有する固定部材と、その固定部材の支軸を軸
受を介して支承する支柱に支持された外枠とを有し、両
固定部材間を長尺ミラーの底面と平行なピアノ線により
連結し、そのピアノ線の中央部をステップモータにより
長尺ミラーの底面に垂直な方向に牽引する牽引手段を設
けたことを特徴とするシンクロトロン放射光ビーム集光
装置。
1. A long mirror which is set in an ultra-high vacuum and has a concave cross section for reflecting a synchrotron radiation light beam, and has both ends of the long mirror clamped and support shafts on both side surfaces. A fixed member, and an outer frame supported by a column supporting a support shaft of the fixed member via a bearing, wherein the two fixed members are connected by a piano wire parallel to the bottom surface of the long mirror, and the piano A synchrotron radiation light beam condensing device comprising a pulling means for pulling a central portion of a line by a step motor in a direction perpendicular to the bottom surface of a long mirror.
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