JP2920883B2 - 油圧アクチュエータ駆動回路 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、航空機などに備え
られる油圧アクチュエータを駆動制御する油圧アクチュ
エータ駆動回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】飛行機のフラップまたはヘリコプタのブ
レードピッチ制御を油圧アクチュエータによって行う場
合は、高速応答性を重視するため、アクチュエータを急
激に変位させたり、アクチュエータに急激に大きな負荷
がかかったりすると、フィードバック制御が不安定にな
ってアクチュエータが発振しやすくなる。

【０００３】このような問題を解決するために、アクチ
ュエータの変位を電気的に検出し、この検出変位を微分
した値をフィードバックさせてダンピング効果を得る油
圧アクチュエータ駆動回路がある。しかしながらこのよ
うに電気的にダンピング効果を生じさせる場合にはコン
トローラが複雑になり、故障率が増加してしまうといっ
た問題が生じる。

【０００４】このような電気的なダンピング機構を備え
る油圧アクチュエータ駆動回路に対して、機械的なダン
ピング機構を備える油圧アクチュエータ駆動回路が提案
されている。

【０００５】図２は、機械的なダンピング機構を備える
従来の油圧アクチュエータ駆動回路１の構成を簡略化し
て示す模式図である。油圧アクチュエータ駆動回路１
は、油圧アクチュエータ３とこのアクチュエータ３を制
御信号に応じて制御する電油圧サーボ弁２とから構成さ
れる。アクチュエータ３は、シリンダ１７と、このシリ
ンダ１７に嵌挿されるピストン１８とを有し、電油圧サ
ーボ弁２は、アクチュエータ３のピストン１８の左右に
設けられる第１および第２油室２１，２２内の作動油の
圧力を制御することによって、アクチュエータ３を制御
する。アクチュエータ３のピストンロッド１９には、ヘ
リコプタの回転翼などの負荷２０が作用する。

【０００６】電油圧サーボ弁２は、アクチュエータ３に
給排される作動油を制御するサーボバルブ３８を有し、
このサーボバルブ３８は、スリーブ２９と、このスリー
ブ２９内に嵌挿されるスプール４とを有し、このサーボ
バルブ３８は、前記スプール４の図２における左方側の
一端面５に臨む第１油室７および他端面６に臨む第２油
室８の圧力差が、サーボバルブ制御装置１０によって制
御されて、スプール４が変位する。このようなサーボバ
ルブ３８は、アクチュエータ３の第１油室２１に第１管
路２３を介して連通する第１ポート３９、およびアクチ
ュエータ３の第２油室２２に第２管路２４を介して連通
する第２ポート４０を有し、これらの一対のポートのう
ち、いずれか一方から電油圧サーボ弁２の圧力供給ポー
ト９から供給された作動油を供給し、他方のポートから
アクチュエータ３のシリンダ１７が排出する作動油を回
収し、電油圧サーボ弁２の排出ポート３４から排出させ
る。

【０００７】圧力供給ポート９からは圧力供給管路１４
を介してサーボバルブ３８に作動油が供給され、また圧
力供給ポート９からの管路は、第１および第２圧力制御
管路１５，１６に分岐される。これらの第１および第２
圧力制御管路１５，１６は、それぞれさらに分岐され、
各一端は互いに対向するノズル１２，１３を形成し、各
他端はそれぞれサーボバルブ３８の第１油室７および第
２油室８に接続される。第１および第２圧力制御管路１
５，１６の各ノズル１２，１３の間には、サーボバルブ
制御装置１０のノズルフラッパ１１が介在し、このノズ
ルフラッパ１１は、図２の左右に傾動可能に設けられ
る。圧力供給ポート９から各第１および第２圧力制御管
路１５，１６に供給され、各オリフィス４１，４２によ
って流量が制限された作動油は、各ノズル１２，１３か
らノズルフラッパ１１の先端部に向けて噴射され、この
ノズルフラッパ１１が図２に示されるように中立位置に
ある場合には、各ノズル１２，１３による圧力損失が等
しくなるため、サーボバルブ３８の第１油室７および第
２油室８の圧力が等しくなり、スプール４は静止状態と
なる。

【０００８】前記ノズルフラッパ１１が右方に傾動する
と、ノズル１３からの圧力損失が増加し、サーボバルブ
３８の第２油室８の圧力が第１油室７の圧力に対して相
対的に高くなり、これによってサーボバルブ３８のスプ
ール４は図２における左方に変位する。スプール４が左
方に変位すると、圧力供給管路１４と第１管路２３とが
連通し、第２管路２４と排出ポート３４とが連通するの
で、圧力供給ポート９からの作動油が油圧アクチュエー
タ３の第１油室２１に供給され、第２油室２２の作動油
は第２管路２４を介して排出ポート３４に排出される。
これによってアクチュエータ３のピストン１８は右方に
変位する。

【０００９】これとは逆に、ノズルフラッパ１１が左方
に傾動すると、サーボバルブ３８のスプール４は右方に
変位し、圧力供給ポート９とアクチュエータ３の第２油
室２２が連通し、第１油室２１と排出ポート３４とが連
通してアクチュエータ３のピストン１８は左方に変位す
る。このようにしてサーボバルブ制御装置１０は、制御
信号に応じてノズルフラッパ１１を傾動させることによ
って、アクチュエータ３のピストン１８の変位を制御す
ることができる。

【００１０】このような油圧アクチュエータ駆動回路１
の第１管路２３と第２管路２４との間には、圧力検出シ
リンダ２５およびバイパスバルブ２６とから構成される
ダンピング機構が介在される。圧力検出シリンダ２５
は、シリンダ４３内にピストン２７が変位自在に嵌挿さ
れ、このピストン２７の図２における左方側の一端側に
は、第１管路２３に接続される第１油室４５が形成さ
れ、ピストン２７の他端側には第２油室４６が形成され
る。各第１および第２油室４５，４６内には、それぞれ
圧縮ばね３６が介在され、ピストン２７は中立位置に復
元するように弾性支持される。

【００１１】バイパスピストン２６は、スリーブ３０内
に変位自在にスプール２８が嵌挿され、このスプール２
８の一端側には、第２管路２４に接続される第１油室３
１が形成され、スプール２８の他端側には第２油室３２
が形成され、この第２油室３２は、連結管路４７を介し
て圧力検出シリンダ２５の第２油室４６に接続される。
各第１および第２油室３１，３２内には、それぞれ圧縮
ばね３７が介在され、これによってスプール２８は中立
位置に復元するように弾性支持される。このバイパスバ
ルブ２６は、第１管路２３に第１連結管路４４を介して
接続され、第２管路２４に第２連結管路３５を介して連
結される。

【００１２】したがって、アクチュエータ３のピストン
１８が左方へ変位しているときに、制御信号を切換えて
ピストン１８を急激に右方に変位させた場合には、今ま
で排出ポート３４に排出されていた第１管路２３に、逆
に作動油が供給されるので、アクチュエータ３の第１油
室２１内の作動油の圧力が急激に上昇する。またアクチ
ュエータ３のピストン１８が右方に変位しているとき
に、ピストンロッド１９に、その変位を妨げる向きに急
激に負荷が作用した場合にもアクチュエータ３の第１油
室２１内の作動油の圧力が急激に上昇し、アクチュエー
タ３の第１油室２１内の作動油の圧力は図３（ａ）に示
されるように急激にステップ状に上昇し、これとともに
第２油室２２の作動油の圧力は図３（ｂ）に示されるよ
うに急激に圧力が低下する。このように第１油室２１内
の作動油の圧力が急激に上昇すると、圧力検出シリンダ
２５のピストン２７が圧縮ばね３６のばね力に抗して右
方に変位し、この圧力検出シリンダ２５の第２油室４６
内の作動油が連結管路４７を介してバイパスバルブ２６
の第２油室３２に流入する。圧力検出シリンダ２５から
連結管路４７に排出される作動油の一部は、固定オリフ
ィス３３を介して第２管路２４に逃げるので、バイパス
バルブ２６の第２油室３２内の作動油の圧力は、図３
（ｃ）に示されるように、ステップ状の圧力の変化が微
分され、ピーク圧が抑制された緩やかな山形の圧力変化
となる。また、圧力検出シリンダ２５の第１油室３１内
の作動油の圧力は、アクチュエータ３の第２油室２２内
の作動油の圧力とほぼ等しく、上述の図３（ｂ）とほぼ
同様な圧力変化となる。したがって、バイパスバルブ２
６のスプール２８は左方に変位し、第１連結管路４４と
第２連結管路３５とが連通し、これによってアクチュエ
ータ３の第１油室２１内の作動油が第１管路２３、第１
連結管路４４、第２連結管路３５および第２管路２４を
介してアクチュエータ３の第２油室２２に流入する。

【００１３】バイパスバルブ２６の第１油室３１内の作
動油と第２油室３２内の作動油とは、固定オリフィス３
３を介して連通しているので、時間とともに第１油室３
１と第２油室３２内の作動油の圧力差が小さくなり、こ
れに加えて圧縮ばね３７のばね力によってスプール２８
はやがて中立位置に復元し、第１連結管路４４と第２連
結管路３５との連通が遮断される。したがって第２連結
管路３５内の圧力変化は、図３（ｄ）に示されるように
なる。

【００１４】このようにアクチュエータ３の第１油室２
１内の作動油の圧力が図３（ａ）に示されるように急激
に上昇すると、圧力検出シリンダ２５およびバイパスバ
ルブ２６を介してアクチュエータ３の第２油室２２に流
入して第１油室２１と第２油室２２との急激な圧力差が
緩和されてダンピング効果が得られる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の機械
的なダンピング機構を備える油圧アクチュエータ駆動回
路１では、アクチュエータ３の第１油室２１と第２油室
２２との圧力差が急激に上昇すると、圧力検出シリンダ
２５およびバイパスバルブ２６を介してアクチュエータ
３の第１油圧２１と第２油圧２２とを連通させてピーク
圧を抑制してダンピング効果を与える構成となっている
ので、たとえば汚染物質などがバイパスバルブ２６のス
プール２８に付着し、スプール２８が変位した状態で固
着するなどダンピング機構が故障した場合には、第１連
結管路４４と第２連結管路３５とが常に連通した状態、
すなわちアクチュエータ３の第１油室２１と第２油室２
２とが常に連通した状態となり、これによってアクチュ
エータ３が制御不能になるといった問題が生じる。

【００１６】またダンピング効果は、固定オリフィス３
３を通過する作動油に依存するので、作動油内の汚染物
質やエアの混入によってダンピング効果にばらつきが生
じるといった問題を有する。このように従来の油圧アク
チュエータ駆動回路１では、ダンピング機構の故障や作
動油のエアの混入に対して、信頼性が低くなる。

【００１７】本発明の目的は、故障やエアの混入に対し
て、信頼性の高いダンピング機構を備える油圧アクチュ
エータ駆動回路を提供することである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、シリンダと、
このシリンダ内の圧力差に応じて変位するピストンとか
ら成る油圧アクチュエータと、スプールと、このスプー
ルの一端面に臨む第１油室と、スプールの他端面に臨む
第２油室とを有し、制御信号に応じて第１油室と第２油
室との圧力差を制御してスプールを変位させて、一対の
ポートのうち、一方のポートから作動油をシリンダに供
給し、他方のポートからシリンダが排出する作動油を回
収するサーボバルブと、シリンダの圧力差に応じて変位
し、中立位置に復元するように弾性支持される検出ピス
トンを有する圧力検出手段と、前記第１油室と第２油室
とに連通する管路の途中に介在され、検出ピストンと連
動し、第１油室と第２油室との圧力差を減少させる方向
に、スプールを変位させる帰還ピストンを有する圧力帰
還手段とを備えることを特徴とする油圧アクチュエータ
駆動回路である。本発明に従えば、油圧アクチュエータ
を制御するサーボバルブのスプールは第１油室と第２油
室との圧力差によって制御される。すなわち、制御信号
に応じて第１油室の圧力を上げることによってスプール
は第２油室側に変位し、このようにしてスプールが変位
すると、サーボバルブの一対のポートのうち、一方のポ
ートから作動油をシリンダに供給し、他方のポートか
ら、シリンダが排出する作動油を回収する。これによっ
て油圧アクチュエータのシリンダ内に圧力差が生じ、こ
の圧力差に応じて油圧アクチュエータのピストンは変位
する。このようにしてサーボバルブは制御信号に応じて
油圧アクチュエータのピストンを変位させて制御する。
このような油圧アクチュエータ駆動回路には、シリンダ
の圧力差に応じて変位する圧力検出手段と、第１油室と
第２油室との圧力差を減少させる方向にスプールを変位
させる圧力帰還手段とが備えられる。したがって、たと
えば油圧アクチュエータのピストンが一方に変位してい
るときに、サーボバルブのスプールの変位方向を切換え
て油圧アクチュエータのピストンを急激に他方に変位さ
せたり、または油圧アクチュエータの変位するピストン
に、その変位を妨げる向きに急激に負荷がかかるなどし
て油圧アクチュエータのシリンダ内の圧力差が急激に大
きくなった場合には、圧力検出手段の検出ピストンが弾
性力に抗して変位する。検出ピストンが変位すると、こ
の検出ピストンに連動する圧力帰還手段によって、第１
油室と第２油室との圧力差が減少する方向にスプールを
変位させる。このようにスプールが変位すると、シリン
ダに供給される作動油が減少し、これによってシリンダ
内の圧力差が減少する。すなわちシリンダ内の急激な圧
力差が抑制され、ダンピング効果が得られることとな
り、これによって油圧アクチュエータの制御の安定性が
補償される。このような圧力検出手段および帰還手段か
ら構成される本発明のダンピング機構は、シリンダ内の
急激な圧力差をサーボバルブに帰還させてダンピング効
果を生じさせる構成となっているので、たとえば検出ピ
ストンまたは帰還ピストンが固着するなどダンピング機
構が故障したとしても、ダンピング効果が得られなくな
るだけであり、前述の従来の技術のように油圧アクチュ
エータが制御不能になるといった問題が防がれる。ま
た、本発明のダンピング機構は、従来の技術のように固
定オリフィスを介してダンピング効果を得る構成ではな
いので、作動油内の汚染物質、またはエアの混入など作
動油の状態によってダンピング効果にばらつきが生じる
といった問題が生じず、エアの混入などに対して信頼性
が向上される。

【００１９】また本発明は、前記油圧アクチュエータの
ピストンの変位量を検出する変位検出センサと、変位検
出センサの検出出力を制御信号にフィードバックするフ
ィードバック回路とを備えることを特徴とする。本発明
に従えば、ピストンの変位量は変位検出センサによって
検出され、この検出出力は制御信号にフィードバックさ
れるので、アクチュエータのシリンダの変位を高精度に
制御することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の一形態で
ある油圧アクチュエータ駆動回路６０の構成を示す模式
図である。油圧アクチュエータ駆動回路６０は、油圧ア
クチュエータ６２と、このアクチュエータ６２を制御信
号に応じて制御する電油圧サーボ弁６１とから構成され
る。電油圧サーボ弁６１は、サーボバルブ６３と制御信
号に応じてこのサーボバルブ６３を制御するサーボバル
ブ制御装置７２とを有し、サーボバルブ６３はスリーブ
５９とこのスリーブ５９に変位自在に嵌挿されるスプー
ル６６とを有し、このスプール６６の図１における左方
側の一端面６７に臨んで第１油室６８が形成され、スプ
ール６６の図１の紙面における右方側の他端面６９に臨
んで第２油室７０が形成される。

【００２１】アクチュエータ６２は、シリンダ７３と、
図１の紙面における左右方向に変位自在にシリンダ７３
に嵌挿されるピストン７４とを有し、ピストン７４の左
方には、アクチュエータ６２の第１油室７５が形成さ
れ、右方にはアクチュエータ６２の第２油室７６が形成
される。アクチュエータ６２のピストン７４にはピスト
ンロッド７９が連結され、このピストンロッド７９の先
端部にたとえばヘリコプタの回転翼または飛行機のフラ
ップなどの負荷８０が作用する。

【００２２】サーボバルブ６３は第１ポート９１および
第２ポート９２を有し、この第１ポート９１は第１管路
７７を介してアクチュエータ６２の第１油室７５に接続
され、第２ポート９２は第２管路７８を介してアクチュ
エータ６２の第２油室７６に接続される。サーボバルブ
６３には、電油圧サーボ弁６１の圧力供給ポート６４か
ら圧力供給管路６５を介して作動油が供給され、第１お
よび第２ポート９１，９２のうちの一方のポートから作
動油をアクチュエータ６２のシリンダ７３に供給し、他
方のポートからシリンダ７３が排出する作動油を回収し
て電油圧サーボ弁６１の排出ポート７１から排出する。
圧力供給ポート６４からは第１圧力制御管路８４および
第２圧力制御管路８５が分岐し、これらの第１および第
２圧力制御管路８４，８５はそれぞれさらに分岐し、一
方端は互いに対向するノズル８６，８７を形成し、他方
端はサーボバルブ６３の第１油室６８および第２油室７
０にそれぞれ接続される。サーボバルブ制御装置７２
は、前記ノズル８６，８７間に介在され、左右に傾動可
能なノズルフラッパ９０を有する。圧力供給ポート６４
から第１圧力制御管路８４および第２圧力制御管路８５
を介して供給される作動油は、それぞれオリフィス８
８，８９によって流量が制限され、ノズル８６，８７か
らノズルフラッパ９０に向けて作動油が噴射される。サ
ーボバルブ制御装置７２は、前述の従来の技術のサーボ
バルブ制御装置１０と同様に、制御信号に応じてノズル
フラッパ９０を左右に傾動させることによって、サーボ
バルブ６３の第１油室６８と第２油室７０との圧力差を
制御して、スプール６６を変位させる。

【００２３】たとえばノズルフラッパ９０を左方に傾動
させると、サーボバルブ６３の第１油室６８の圧力が高
くなり、スプール６６は右方へ移動し、これによって圧
力供給管路６５と第２管路７８とが連通し、第１管路７
７と排出ポート７１とが連通してアクチュエータ６２の
ピストン７４は左方へ移動する。また逆にノズルフラッ
パ９０を右方へ傾動させると、サーボバルブ６３の第２
油室７０の圧力が高くなり、スプール６６が左方へ移動
し、これによって圧力供給管路６５と第１管路７７とが
連通し、第２管路７８と排出ポート７１とが連通してア
クチュエータ６２のピストン７４は右方へ移動する。こ
のようにして制御信号に応じてアクチュエータ６２は電
油圧サーボ弁６１によって制御される。

【００２４】このような油圧アクチュエータ駆動回路６
０には、圧力検出装置９３および圧力帰還装置９４から
成るダンピング機構が備えられる。圧力検出装置９３
は、第１管路７７と第２管路７８との間に介在され、シ
リンダ９５と、このシリンダ９５に図１における左右に
変位自在に嵌挿される検出ピストン９６とを有する。検
出ピストン９６の左方には圧力検出装置９３の第１油室
９７が形成され、検出ピストン９６の右方には圧力検出
装置９３の第２油室９８が形成され、第１油室９７は、
第１連結管路１００を介して第１管路７７に接続され、
第２油室９８は、第２連結管路１０１を介して第２管路
７８に接続される。第１および第２油室９７，９８に
は、それぞれ圧縮ばね９９が介在され、これによって検
出ピストン９６は中立位置に復元するように弾性支持さ
れる。

【００２５】圧力帰還装置９４は、シリンダ１０３とこ
のシリンダ１０３に左右に変位自在に嵌挿される帰還ピ
ストン１０４とを有し、この帰還ピストン１０４は圧力
検出装置９３の検出ピストン９６に連結ピストンロッド
１０２を介して連結される。帰還ピストン１０４は、圧
力検出装置９３からの連結ピストンロッド１０２が連結
される側、すなわち図１おける左方側に圧力帰還装置９
４の第１油室１０５が形成され、帰還ピストン１０４の
右方側に圧力帰還装置９４の第２油室１０６が形成され
る。この第２油室１０６は第１帰還管路１０７を介して
サーボバルブ６３の第１油室６８に接続され、圧力帰還
装置９４の第１油室１０５は第２帰還管路１０８を介し
てサーボバルブ６３の第２油室７０に接続される。

【００２６】サーボバルブ６３のスプール６６を変位さ
せてアクチュエータ６２の第１油室７５と第２油室７６
との圧力差を制御してアクチュエータ６２のピストン７
４の変位を制御する場合には、通常第１油室７５と第２
油室７６との圧力差があまり大きくないので、圧力検出
装置９３の検出ピストン９６は、圧縮ばね９９のばね力
によって中立位置に停止している。

【００２７】これに対して、サーボバルブ６３のスプー
ル６６が右方に変位してアクチュエータ６２のピストン
７４が左方へ変位しているときに、サーボバルブ６３の
スプール６６の変位方向を急激に切換えてスプール６６
を左方に変位させてアクチュエータ６２のピストン７４
が急激に右方に変位したとき、またはスプール６６を左
方に変位させてピストンロッド７９が右方へ変位してい
るときに、この変位を妨げる方向に急激に負荷８０が作
用したときにはアクチュエータ６２の第１油室７５の作
動油の圧力が急激に上昇し、これによって圧力検出装置
９３の検出ピストン９６は圧縮ばね９９のばね力に抗し
て右方へ変位する。検出ピストン９６が右方へ変位する
と、連結ピストンロッド１０２を介して圧力帰還装置９
４の帰還ピストン１０４が連動して右方へ変位する。

【００２８】帰還ピストン１０４が右方へ変位すると、
第１帰還管路１０７を介して作動油がサーボバルブ６３
の第１油室６８に供給され、サーボバルブ６３の第２油
室７０の作動油は圧力帰還装置９４の第１油室１０５に
導かれてサーボバルブ６３の第１油室６８と第２油室７
０との圧力差が減少する。これによって左方に変位して
いたスプール６６の変位量が緩和され、アクチュエータ
６２の第１油室７５の急激な圧力上昇が抑制される。す
なわち、アクチュエータ６２にダンピング効果が与えら
れ、これによって油圧アクチュエータ駆動回路６０の安
定性が補償される。これとは逆にアクチュエータ６２の
第２油室７６の作動油の圧力が急激に上昇した場合も、
上述と同様の作用によりサーボバルブ６３の第１油室６
８と第２油室７０との圧力差が減少してアクチュエータ
６２にダンピング効果が与えられる。

【００２９】このようなダンピング機構の圧力検出装置
９３または圧力帰還装置９４が、たとえば汚染物質など
によって各ピストン９６，１０４が変位した状態で固着
するなどダンピング機構が故障したとしても、アクチュ
エータ６２にダンピング効果が得られなくなるだけであ
り、前述の従来の技術のようにアクチュエータの制御が
不能になるといった問題が防がれる。またダンピング効
果は、前述の従来の技術のように固定オリフィスを介し
て得られるのではないので、作動油のエアの混入などに
よってダンピング効果にばらつきが生じ、制御が不安定
になるといった問題が防がれ、また、アクチュエータ６
２のシリンダ７３内のピーク圧の大きさに比例して、こ
のピーク圧を抑制するので、制御性が向上する。

【００３０】このようなアクチュエータ６２のピストン
ロッド７９の変位は、ＬＶＤＴ（直線形差動変圧器）な
どの変位検出センサ８１によって変位が検出される。変
位検出センサ８１からの検出出力は、制御信号が入力さ
れる減算器８２にフィードバックされ、この減算器８２
で制御信号と検出出力との差が演算されて増幅器８３に
与えられ、増幅器８３によって制御信号とピストンロッ
ド７９の変位の検出出力の差が増幅されてサーボバルブ
制御装置７２に入力される。このような変位検出センサ
８１と減算器８２とから成るフィードバック回路によっ
てアクチュエータ６２のピストンロッド７９の変位を正
確に制御することができる。

【００３１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、サーボバ
ルブによって制御される油圧アクチュエータの駆動回路
には、圧力検出手段と圧力帰還手段が備えられるので、
油圧アクチュエータのシリンダに急激な圧力差が生じる
と、圧力検出手段および圧力帰還手段によってサーボバ
ルブのスプールの変位量が緩和され、シリンダの急激な
圧力上昇が抑制される。すなわち、油圧アクチュエータ
にダンピング効果が与えられ、油圧アクチュエータの安
定性が補償される。このような圧力検出手段または圧力
帰還手段が故障したとしても、従来の技術のようにアク
チュエータの制御が不能になるといったことが生じず、
故障に対する信頼性が向上する。また本発明のダンピン
グ機構は従来の技術のように固定オリフィスを介してダ
ンピング効果が得られるのではないので、作動油のエア
の混入などに対してダンピング効果にばらつきが生じ
ず、信頼性がさらに向上される。

【００３２】また本発明によれば、変位検出センサと変
位検出センサの出力を制御信号にフィードバックするフ
ィードバック回路とが備えられるので、油圧アクチュエ
ータのピストンの変位を正確に制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態である油圧アクチュエー
タ駆動回路６０の構成を示す模式図である。

【図２】機械的なダンピング機構を備える従来の油圧ア
クチュエータ駆動回路１の構成を簡略化して示す模式図
である。

【図３】アクチュエータ３の第１油室２１、第２油室２
２、バイパスバルブ２６の第２油室３２および第２連結
管路３５内の作動油の各圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４と
時間経過との関係を示すグラフである。

【符号の説明】

６０ 油圧アクチュエータ駆動回路 ６１ 電油圧サーボ弁 ６２ 油圧アクチュエータ ６３ サーボバルブ ６４ 圧力供給ポート ６６ スプール ６７ 一端面 ６８ 第１油室 ６９ 他端面 ７０ 第２油室 ７３ シリンダ ７４ ピストン ８１ 変位検出センサ ９３ 圧力検出装置 ９４ 圧力帰還装置 ９６ 検出ピストン １０４ 帰還ピストン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−19875（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−145801（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−223504（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−70293（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) F15B 9/08 F15B 11/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シリンダと、このシリンダ内の圧力差に
   応じて変位するピストンとから成る油圧アクチュエータ
   と、 スプールと、このスプールの一端面に臨む第１油室と、
   スプールの他端面に臨む第２油室とを有し、制御信号に
   応じて第１油室と第２油室との圧力差を制御してスプー
   ルを変位させて、一対のポートのうち、一方のポートか
   ら作動油をシリンダに供給し、他方のポートからシリン
   ダが排出する作動油を回収するサーボバルブと、 シリンダの圧力差に応じて変位し、中立位置に復元する
   ように弾性支持される検出ピストンを有する圧力検出手
   段と、 前記第１油室と第２油室とに連通する管路の途中に介在
   され、検出ピストンと連動し、第１油室と第２油室との
   圧力差を減少させる方向に、スプールを変位させる帰還
   ピストンを有する圧力帰還手段とを備えることを特徴と
   する油圧アクチュエータ駆動回路。
2. 【請求項２】 前記油圧アクチュエータのピストンの変
   位量を検出する変位検出センサと、 変位検出センサの検出出力を制御信号にフィードバック
   するフィードバック回路とを備えることを特徴とする請
   求項１記載の油圧アクチュエータ駆動回路。