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JP2927243B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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JP2927243B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2927243B2
JP2927243B2 JP8181935A JP18193596A JP2927243B2 JP 2927243 B2 JP2927243 B2 JP 2927243B2 JP 8181935 A JP8181935 A JP 8181935A JP 18193596 A JP18193596 A JP 18193596A JP 2927243 B2 JP2927243 B2 JP 2927243B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に係
り、特に読み出し書き込み時にリードバス線、ライトバ
ス線、又はリードとライトを共有するバス線を有する半
導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、読み出し書き込み時にリード
バス線、ライトバス線、又はリードとライトを共有する
バス線を有する半導体記憶装置として、図8のような構
成の半導体記憶装置が知られている。この半導体記憶装
置は、メモリセルから入出力回路までの構成を示したも
ので、メモリセルアレイ611、612、...、61
mと、センスアンプ621、622、...、62m
と、ライトアンプ63と、データアンプ64と、入出力
回路65と、制御回路66から構成されている。
【0003】制御回路66は例えば図9の回路図に示す
ように、2入力NAND回路NA91〜9mと、それら
の各出力側に設けられたインバータINV911〜IN
V91mとから構成されている。インバータINV91
1〜INV91mの各出力信号Y61〜Y6mは、図8のセ
ンスアンプ621〜62mに選択信号として入力され、
注目セルの存在するメモリセルアレイに接続されたセン
スアンプのみ選択されるように制御する。
【0004】次に、この従来の半導体記憶装置の読み出
し動作について、図10のタイミングチャートを併せ参
照して説明する。データが読み出される注目セルが例え
ば図8のセルアレイ611に存在する場合、読み出し時
には、制御回路66に入力される列アドレスストローブ
(CAS)信号が図10に示すようにハイレベルとなる
直前にアドレスからデコードされたデータYAD1のみ
がハイレベルとなり、他のアドレスからデコードされた
データYAD2〜YADmはローレベルであるため、図1
0に示すようにインバータINV911の出力選択信号
61がハイレベル、他のインバータINV912〜91
mの出力選択信号Y62〜Y6mはローレベルとなり、これ
により図8に示すセンスアンプ621のみが選択され
る。
【0005】これにより、注目セルのセルアレイ611
の読み出しデータDT1、DN1が、センスアンプ62
1で増幅されて、バス線DB、
【0006】
【外1】 が図10に示す如く変化し、データアンプ64を通して
入出力回路65を介して出力される。
【0007】次に、書き込み時の動作について、図11
のタイミングチャートを併せ参照して説明する。書き込
み時には、入力データが入出力回路65を介してライト
アンプ63に入力されて増幅され、バス線DB、XDB
に図11に示す如くに現れる。また、CAS信号が図1
1に示すようにハイレベルとなる直前にアドレスからデ
コードされたデータYAD1のみがハイレベルとなり、
他のアドレスからデコードされたデータYAD2〜YA
mはローレベルであるため、図11に示すようにイン
バータINV911の出力選択信号Y61がハイレベル、
他のインバータINV912〜91mの出力選択信号Y
62〜Y6mはローレベルとなり、これにより図8に示すセ
ンスアンプ621のみが選択される。これにより、注目
セルにセンスアンプ621により増幅された、図11に
示すデータDT1、DN1が図8に示すセルアレイ61
1に書き込まれる。
【0008】図12は図8に示した従来の半導体記憶装
置の書き込み時のシミュレーション結果を示す。このシ
ミュレーション結果は、DT1がハイレベル、DN1が
ローレベルの状態のときに、逆のデータを書き込みDT
1をローレベル、DN1をハイレベルの状態にする。Y
61をハイレベルにしてDT1、DN1がクロスするまで
5.4ns必要とする。
【0009】また、従来、リードバス線に補助的なアン
プを有した半導体記憶装置が知られている(特開平2−
3168号公報)。図13はこの公報記載の半導体記憶
装置の一例のブロック図で、メモリセルから出力回路ま
での構成を示したものである。この半導体記憶装置は、
メモリセルアレイ811、812、...、81mと、
第1のセンスアンプ821、822、...、82m
と、第2のセンスアンプ83、出力回路84と、バッフ
ァアンプ85から構成されている。第1のセンスアンプ
821、822、...、82mの選択信号Y81、Y82
、...、Y8mは、注目セルの存在するメモリセルア
レイに接続された第1のセンスアンプのみ選択するよう
に制御する。
【0010】図14は図13中のバッファアンプ85の
一例の回路図を示す。図14に示すように、バッファア
ンプ85は信号線RB1、XRB1のレベル変化をゲー
トに受けて動作するNMOSトランジスタQ91及びQ
92と、信号BEがゲート入力されるバッファアンプ8
5を活性化するためのNMOSトランジスタQ93から
構成されている。このバッファアンプ85を介してバス
線はRB1及びXRB1とRB2及びXRB2に分離さ
れる。
【0011】次に、この従来の半導体記憶装置の動作に
ついて説明する。まず、注目セルがセルアレイ811に
存在する場合は、第1のセンスアンプ選択信号Y81がハ
イレベルとなり、セルアレイ811に対応して設けられ
ている第1のセンスアンプ821が選択される。また、
この時バッファアンプ85の活性化信号BEもハイレベ
ルになり、バッファアンプ85が活性化される。
【0012】これにより、注目セルのセルアレイ811
のデータが第1のセンスアンプ821で増幅された後、
バス線RB1及びXRB1に現れ、それらの差電圧がバ
ッファアンプ85により増幅される。増幅されたバッフ
ァアンプ85からのデータは、バス線RB2及びXRB
2を介して第2のセンスアンプ83に供給されて更に増
幅され、出力回路84を介して出力される。
【0013】次に、注目セルがセルアレイ81mである
ものとすると、この場合はまず、アドレス信号の変化を
検知して第1のセンスアンプ選択信号Y8mがハイレベル
となり、セルアレイ81mに対応して設けられている第
1のセンスアンプ82mが選択される。また、この時バ
ッファアンプ85の活性化信号BEはローレベルで、バ
ッファアンプ85は非活性状態とされる。
【0014】これにより、注目セルであるセルアレイ8
1mのデータが第1のセンスアンプ82mにより増幅さ
れ、バス線RB2及びXRB2に現れる。次に、その差
電位が第2のセンスアンプ83により増幅され、出力回
路84を介して出力される。この半導体記憶装置では、
共用するリードバス線の中間にバッファアンプ85を設
け、リードバス線を2分割し、セルアレイ81j〜81
mに注目セルがある場合は、バス線の容量がバッファア
ンプ85を設けないときよりも小さいので、高速動作が
可能となる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、図8に示し
た従来の半導体記憶装置は、読み出し、書き込み時に1
つのリードバス線、ライトバス線、又は1つのリードと
ライトを共有するバス線を、m個のセンスアンプ621
〜62mの入出力データが共有するため、記憶容量の増
加に伴い、メモリセルの分割数が多くなってくると、配
線DB、XDBが長くなる。特に、その半導体記憶装置
がマイクロプロセッサとの間で500Mbps等の極め
て高速でデータ転送ができる、ラムバス(Rambu
s)社のラムバスチャネルに準拠したダイナミック・ラ
ンダム・アクセス・メモリ(Rambus DRAM)
である場合、使用パッケージの都合上、データの入出力
をチップの片側で行う必要があり、配線DB、XDBの
配線遅延が増大する。
【0016】また、設計ルールの微細化に対応するため
と、製造コストを削減するため、配線材料をアルミニウ
ムからタングステンにすることがあり、その場合は配線
抵抗が増大してしまう。それらにより、図8に示した従
来の半導体記憶装置の場合は配線遅延が大きく、センス
アンプ621〜62mとライトアンプ63の間、及びセ
ンスアンプ621〜62mとデータアンプ64の間の信
号の伝達速度が遅いという問題がある。
【0017】一方、図13に示した従来の半導体記憶装
置は、バッファアンプ85でバス線を分離しているた
め、動作時の配線容量が小さいが、分離している部分を
境にセンスアンプの選択信号のタイミングを調整する必
要が生じる。また、バッファアンプ85のため、読み出
し、書き込みどちらか一方向にしか使えず、読み出し、
書き込み共通バスには使用できないという欠点がある。
【0018】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
複数のセンスアンプを共有する配線容量の大きなバス線
において、より高速な動作が可能な半導体記憶装置を提
供することを目的とする。
【0019】また、本発明の他の目的は、読み出し、書
き込み共通バスを使用可能な半導体記憶装置を提供する
ことにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、複数のセルアレイと、複数のセルアレイに
それぞれ1対1に対応して設けられ、読み出し動作時
に、対応するセルアレイから読み出されたデータを増幅
して読み出しデータとして出力し、書き込み動作時に、
書き込みデータを増幅して対応するセルアレイに出力す
る複数のセンスアンプと、複数のセンスアンプに接続さ
れ、読み出しデータ及び書き込みデータを線間の差電位
として伝送する一対のバス線と、一対のバス線上に設け
られ、選択された前記センスアンプから一対のバス線に
出力された読み出しデータの差電位、及び外部より一対
のバス線に入力された書き込みデータの差電位を増幅す
少なくとも1つのサブアンプとを有することを特徴と
する。
【0021】この発明では、バス線上の読み出しデータ
と書き込みデータのいずれに対しても、バス線を分離す
ることなく、同じサブアンプによりそれらの差電位を増
幅することができる。
【0022】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は本発明になる半導体
記憶装置の一実施の形態のブロック図を示す。この実施
の形態は、m個のセルアレイ111〜11mと、セルア
レイ111〜11mにそれぞれ1対1に対応して設けら
れたm個のセンスアンプ121〜12mと、書き込みデ
ータを増幅するライトアンプ13と、読み出しデータを
増幅するデータアンプ14と、データを入出力する入出
力回路15と、センスアンプ121〜12mとライトア
ンプ13及びデータアンプ14の間の共用バス線DB、
XDBに設けられた差動型のサブアンプ16から構成さ
れている。すなわち、この実施の形態は、図8に示した
従来の半導体記憶装置に比し、共用バス線DB、XDB
上に差動型のサブアンプ16を有している点に特徴があ
る。
【0023】図2は図1中のサブアンプ16の一例の回
路図を示す。このサブアンプ16はバス線DB、XDB
の信号レベルの変化を検知して動作する第1及び第2の
NMOSトランジスタQ21及びQ22と、ドレインが
NMOSトランジスタQ21及びQ22のソースに共通
に接続され、ソースが接地され、ゲートが信号線BCに
接続された第3のNMOSトランジスタQ23から構成
されている。
【0024】図4は図1中の制御回路17の一例の回路
図を示す。この制御回路17は、一方の入力端子にCA
S信号が入力され、他方の入力端子にアドレスをデコー
ドした信号YAD1〜YADmが入力される2入力NAN
D回路NA41〜4mと、それらの各出力側に設けられ
たインバータINV411〜INV41mと、CAS信
号から前記信号線BC上に出力される制御信号を生成す
る2段縦続接続されたインバータINV421及びIN
V422から構成されている。インバータINV411
〜INV41mの各出力信号Y11〜Y1mは、図1のセン
スアンプ121〜12mに選択信号として入力され、注
目セルの存在するメモリセルアレイに接続されたセンス
アンプのみ選択されるように制御する。
【0025】次に、図1の実施の形態の動作について説
明する。まず、読み出し時の動作について、図5のタイ
ミングチャートと共に説明する。注目セルがセルアレイ
111に存在するものとすると、読み出し時には、制御
回路17に入力されるCAS信号が図5に示すようにハ
イレベルとなる直前にアドレスからデコードされたデー
タYAD1のみがハイレベルとなり、他のアドレスから
デコードされたデータYAD2〜YADmはローレベルで
あるため、図5に示すようにインバータINV411の
出力選択信号Y11がハイレベル、他のインバータINV
412〜41mの出力選択信号Y12〜Y1mはローレベル
となり、これにより図1に示すセンスアンプ121のみ
が選択される。
【0026】これにより、注目セルのセルアレイ111
の読み出しデータDT1、DN1が、センスアンプ12
1で増幅されて、バス線DB、XDBが図5に示す如く
変化する。ここで、信号線BCには図5に示すように、
選択信号Y11に同期してハイレベルになる活性化信号
によりサブアンプ16が動作状態となるため、センスア
ンプ121から出力されたバス線DB及びXDB上のデ
ータは、サブアンプ16により差動増幅され、更にバス
線DB、XDBを介してデータアンプ14により増幅さ
れた後、入出力回路15を介して出力される。
【0027】次に、書き込み時の動作について、図6の
タイミングチャートを併せ参照して説明する。書き込み
時には、入力データが図1の入出力回路15を介してラ
イトアンプ13に入力されて増幅され、バス線DB、X
DBに伝達される。この時、サブアンプ16は図6に示
すように、CAS信号に同期して信号線BC上の活性化
信号がハイレベルになるため、動作状態とされ、上記の
バス線DB、XDB上の入力データを増幅する。
【0028】また、CAS信号が図6に示すようにハイ
レベルとなる直前にアドレスからデコードされたデータ
YADのみがハイレベルとなり、他のアドレスからデ
コードされたデータYAD〜YADはローレベルで
あるため、図5に示すようにインバータINV411の
出力選択信号Y11がハイレベル、他のインバータIN
V412〜41mの出力選択信号Y12〜Y1mはロー
レベルとなり、これにより図1に示すセンスアンプ12
1のみが選択される。
【0029】これにより、サブアンプ16により増幅さ
れ、更にセンスアンプ121により増幅された、図5に
示すデータDT1、DN1が図1に示す注目セルのセル
アレイ111に書き込まれる。この実施の形態では、サ
ブアンプ16が図2に示す構成であるため、バス線D
B、XDBのプリチャージレベルが電源電圧VCCの場合
に有効である。
【0030】この実施の形態の、書き込み時のシミュレ
ーション結果を図7に示す。このシミュレーション結果
は、図12のシミュレーション動作と同様に、DT1が
ハイレベル、DN1がローレベルの状態にあるセルアレ
イに、逆のデータを書き込み、DT1をローレベル、D
N1をハイレベルの状態にしたときのシミュレーション
結果である。ただし、このシミュレーションの場合、サ
ブアンプ16があるため、図1のデータアンプ14から
データが出力し始めてから図2のNMOSトランジタQ
23が導通するようなタイミングで、信号線BCをロー
レベルからハイレベルにしている。
【0031】このシミュレーション結果から分かるよう
に、この実施の形態では選択信号Y11をハイレベルにし
てDT1、DN1がクロスするまで4.3nsかかって
いる。従って、ライトアンプ13から注目のセンスアン
プにバス線DB、XDB上のデータが、この実施の形態
の方が図8に示した従来の半導体記憶装置よりも1.1
(=5.4−4.3)nsだけ書き込み動作が高速化さ
れている。なお、図7中、DB−near及びXDB−
nearは、データアンプ14からDB、XDBに出力
される信号を示し、DB−far及びXDB−far
は、DB、XDBからセンスアンプ121に入力される
信号を示す。
【0032】次に、サブアンプ16の他の例について説
明する。図3は図1中のサブアンプ16の他の例の回路
図を示す。このサブアンプ16は、信号線BCがゲート
に接続されたNMOSトランジスタQ33と、信号線B
Cに接続されたインバータINV31と、インバータI
NV31の出力がゲートに印加されるPMOSトランジ
スタQ36と、バス線DB、XDBのデータレベルの変
化を受けて動作するNMOSトランジスタQ31及びQ
32、PMOSトランジスタQ34及びQ35から構成
されている。また、トランジスタQ31とQ35はゲー
ト同士、ドレイン同士が接続されており、トランジスタ
Q32とQ34もゲート同士、ドレイン同士が接続され
ている。更に、トランジスタQ36のソースは高電位側
電源端子に接続され、ドレインはQ34及びQ35のソ
ースに共通接続され、トランジスタQ33のソースは低
電位側電源端子に接続され、ドレインはQ31及びQ3
2のソースに共通接続されている。
【0033】このサブアンプ16が図2の構成と異なる
点は、トランジスタQ31及びQ32からなるNMOS
差動アンプの他に、トランジスタQ34及びQ35から
なるPMOS差動アンプを設けたことであり、バス線D
B、XDBのプリチャージレベルがVCC/2の場合に有
効である。動作は、図2と同様である。
【0034】なお、本発明は上記の実施の形態に限定さ
れるものではなく、例えばサブアンプは複数のセンスア
ンプを共有するバス線に複数設けるようにしてもよい。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
バス線上の読み出しデータと書き込みデータのいずれに
対しても、バス線を分離することなく、同じサブアンプ
によりそれらの差電位を増幅することができるため、配
線抵抗、配線容量の大きなバス線においてより高速な動
作を実現できる。また、バッファアンプをバス線の中間
に設けた場合は、読み出し、書き込みどちらか一方向に
しか使えないが、本発明によれば、サブアンプを用いて
いるので、読み出し、書き込み双方向の共通バスに使用
でき、また、バス線を分離していないのでセンスアンプ
の選択信号のタイミング調整を不要にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態のブロック図である。
【図2】図1中のサブアンプの一例の回路図である。
【図3】図1中のサブアンプの他の例の回路図である。
【図4】図1中の制御回路の一例の回路図である。
【図5】図1の読み出し時の動作説明用タイミングチャ
ートである。
【図6】図1の書き込み時の動作説明用タイミングチャ
ートである。
【図7】図1の書き込み時のシミュレーション結果を示
す図である。
【図8】従来の一例のブロック図である。
【図9】図8中の制御回路の一例の回路図である。
【図10】図8の読み出し時の動作説明用タイミングチ
ャートである。
【図11】図8の書き込み時の動作説明用タイミングチ
ャートである。
【図12】図8の書き込み時のシミュレーション結果を
示す図である。
【図13】従来の他の例のブロック図である。
【図14】図13中のバッファアンプの一例の回路図で
ある。
【符号の説明】
111〜11m セルアレイ 121〜12m センスアンプ 13 ライトアンプ 14 データアンプ 15 入出力回路 16 サブアンプ 17 制御回路 Y11〜Y1m センスアンプ選択信号 BC サブアンプ活性化信号線 Q21、Q22、Q23、Q31、Q32、Q33 N
MOSトランジスタ Q334、Q35、Q36 PMOSトランジスタ DB、XDB バス線 INV31、INV411〜INV41m、INV42
1、INV422 インバータ NA41〜NA4m 2入力NAND回路

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のセルアレイと、 前記複数のセルアレイに それぞれ1対1に対応して設け
    られ、読み出し動作時に、対応するセルアレイから読み
    出されたデータを増幅して読み出しデータとして出力
    し、書き込み動作時に、書き込みデータを増幅して対応
    するセルアレイに出力する複数のセンスアンプと、 前記複数のセンスアンプに接続され、前記読み出しデー
    タ及び書き込みデータを線間の差電位として伝送する一
    対のバス線と、 前記一対のバス線上に設けられ、 選択された前記センス
    アンプから前記一対のバス線に出力された前記読み出し
    データの差電位、及び外部より前記一対のバス線に入力
    された前記書き込みデータの差電位を増幅する少なくと
    も1つのサブアンプ を有することを特徴とする半導体
    記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記サブアンプは、前記一対のバス線の
    一方にゲートが接続され、他方のバス線にドレインが接
    続された第1のトランジスタと、前記一対のバス線の他
    方にゲートが接続され、前記一方のバス線にドレインが
    接続された該第1のトランジスタと同一導電型の第2の
    トランジスタと、該第1及び第2のトランジスタのソー
    スにドレインが共通接続され、前記読み出し及び書き込
    み動作時に、ゲートに活性化信号が入力されて活性化
    れる、該第1及び第2のトランジスタと同一導電型の第
    3のトランジスタとからなることを特徴とする請求項1
    記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記サブアンプは、前記一対のバス線の
    一方にゲートが接続され、他方のバス線にドレインが接
    続された第1のトランジスタと、前記一対のバス線の他
    方にゲートが接続され、前記一方のバス線にドレインが
    接続された該第1のトランジスタと同一導電型の第2の
    トランジスタと、前記第1及び第2のトランジスタのソ
    ースにドレインが共通接続され、ソースが低電位側電源
    端子に接続され、前記読み出し及び書き込み動作時に、
    ゲートに活性化信号が入力されて活性化される、前記第
    1及び第2のトランジスタと同一導電型の第3のトラン
    ジスタと、前記活性化信号を反転するインバータと、前
    記第1のトランジスタとゲート同士及びドレイン同士が
    接続された、該第1のトランジスタと異なる導電型の第
    4のトランジスタと、前記第2のトランジスタとゲート
    同士及びドレイン同士が接続された、該第4のトランジ
    スタと同一導電型の第5のトランジスタと、前記第4及
    び第5のトランジスタのソースにソースが共通接続さ
    れ、ドレインが高電位側電源端子に接続され、ゲートに
    前記インバータの出力信号が入力されて活性化される、
    該第4及び第5のトランジスタと同一導電型の第6のト
    ランジスタとからなることを特徴とする請求項1記載の
    半導体記憶装置。
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