JP2930173B2 - 基板端縁洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトレジスト液や感
光性ポリイミド樹脂やカラーフィルター用の染色剤など
から成る薄膜が表面に塗布された液晶用ガラス基板やフ
ォトマスク用ガラス基板やサーマルヘッド製造用のセラ
ミック基板などの角型基板に対し、その薄膜塗布後に角
型基板の端縁に付着した不要薄膜を溶解除去するため
に、表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基
板保持手段と、その基板保持手段によって保持された角
型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶
剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備え
た基板端縁洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上述のような基板端縁洗浄装置として
は、従来、特公平３−７８７７７号公報に開示されてい
るものがあった。この従来例によれば、表面に薄膜が形
成された基板の周縁部の上面と下面に対向して第１の管
と第２の管が設けられるとともに、第１および第２の管
の間の間隙部でかつ基板端部の延長上に第３の管が設け
られ、第１および第２の管から基板の周縁部の上面と下
面に溶剤を供給するとともに、それらの溶剤ならびに溶
解除去された不要薄膜を第３の管から吸引排出できるよ
うに構成されている。

【０００３】そして、第３の管から不要薄膜を吸引排出
することにより溶剤が基板の中心側に侵入していくこと
を回避し、基板を低速で回転させながら第１、第２およ
び第３の管を基板の回転中心から遠近する方向に移動さ
せることにより、オリエンテーションフラットのある基
板とか液晶用ガラス基板のような角型基板に対しても、
その端縁の不用薄膜を溶解除去できるように構成されて
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、角型基
板の回転に伴う回転中心からの距離の変化に対応できる
ように、第１、第２および第３の管を基板の回転中心か
ら遠近する方向に移動するためには、極めて高精度な制
御を必要とし、また、基板を高速で回転することができ
ないために処理効率が大幅に低下し、上述の従来例の装
置によって角型基板の端縁を洗浄することは実用的では
ない。

【０００５】そこで、角型基板の一辺または二辺に、角
型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶
剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段を設け、
回転を停止した状態の角型基板に対して、その端縁に沿
って溶剤吐出手段を移動させるように構成したものが提
案されているが、溶剤吐出手段を一辺に対して設ける場
合であれば、一辺の洗浄が終わる度に90°づつ回転させ
なければならず、また、二辺に対して設ける場合であれ
ば、二辺の洗浄が終わる度に 180°づつ回転させなけれ
ばならず、処理効率の面で未だ改善の余地があった。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、請求項１に係る発明の基板端縁洗浄装
置は、構成的に簡単にできながら、角型基板の端縁全周
を短時間で効率良く洗浄できるようにすることを目的と
し、また、請求項２に係る発明の基板端縁洗浄装置は、
溶剤吐出手段の駆動系のスペースを小さくできるように
することを目的とし、また、請求項３に係る発明の基板
端縁洗浄装置は、制御構成を簡単にできるようにするこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の基
板端縁洗浄装置は、上述のような目的を達成するため
に、表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基
板保持手段と、その基板保持手段によって保持された角
型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶
剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備え
た基板端縁洗浄装置において、溶剤吐出手段を、基板保
持手段によって保持された角型基板の四辺それぞれごと
にその端縁に沿って移動可能に設けるとともに、四個の
溶剤吐出手段を一体的に移動可能に連係機構を介して連
動連結し、かつ、連係機構に、四個の溶剤吐出手段を一
体的に移動する単一の駆動機構を設けて構成する。

【０００８】また、請求項２に係る発明の基板端縁洗浄
装置は、上述のような目的を達成するために、上述した
請求項１に係る発明の基板端縁洗浄装置における連係機
構を、一個の駆動プーリーと遊転プーリーとにわたって
基板保持手段によって保持された角型基板の外周縁に沿
うようにループ状に巻回したワイヤーで構成し、かつ、
駆動機構を、駆動プーリーに連動連結した正逆転可能な
一個の電動モータで構成する。

【０００９】また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄
装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１
または２に係る発明の基板端縁洗浄装置における四個の
溶剤吐出手段のうちの一個の溶剤吐出手段の移動位置を
検出する移動位置検出手段を設け、その移動位置検出手
段による検出結果に基づいて駆動機構を制御する制御手
段を備えて構成する。

【００１０】

【作用】請求項１に係る発明の基板端縁洗浄装置の構成
によれば、単一の駆動機構の駆動により、角型基板の四
辺それぞれに対応させて設けた溶剤吐出手段を角型基板
の端縁に沿わせて一体的に移動させ、角型基板の四辺を
一挙に洗浄することができる。

【００１１】また、請求項２に係る発明の基板端縁洗浄
装置の構成によれば、四個の溶剤吐出手段を連動連結し
た一本のワイヤーを、電動モータによる駆動プーリーの
正逆転によって往復移動し、角型基板の四辺それぞれに
対応させて設けた溶剤吐出手段を角型基板の端縁に沿わ
せて一体的に移動することができる。

【００１２】また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄
装置の構成によれば、四個の溶剤吐出手段のうちの一個
の溶剤吐出手段に対する移動位置に基づいて制御するこ
とにより、それと一体的に移動する他の溶剤吐出手段の
移動をも制御することができる。

【００１３】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。

【００１４】図１は、本発明の第１実施例に係る基板端
縁洗浄装置の全体概略側面図、図２は一部切欠全体概略
平面図であり、回転塗布によって表面に薄膜が形成され
た角型基板１を載置して真空吸着により保持する基板保
持手段２の周囲４箇所それぞれに、角型基板１の表裏両
面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段３
…と、溶剤および溶解した不要薄膜を吸引する吸引部材
４…とが備えられて、基板端縁洗浄装置５が構成されて
いる。

【００１５】基板端縁洗浄装置５の一側方にフォトレジ
スト液を塗布するスピンコータ６が設けられるととも
に、他側方に乾燥用のオーブン７が設けられ、かつ、ス
ピンコータ６と基板端縁洗浄装置５との間に基板搬送用
の入口側アーム８が設けられ、一方、基板端縁洗浄装置
５と乾燥用のオーブン７との間に基板搬送用の出口側ア
ーム９が設けられている。

【００１６】溶剤吐出手段３…それぞれは、図３の要部
の拡大側面図、および、図４の平面図に示すように、吸
引部材４の吸引口４ａを挟んだ上下方向の上側に第１の
リンス液ノズル１０ａと第１のガスノズル１１ａとを設
け、一方、下側に第２のリンス液ノズル１０ｂと第２の
ガスノズル１１ｂとを設けて構成されている。

【００１７】前記第１および第２のリンス液ノズル１０
ａ，１０ｂと第１および第２のガスノズル１１ａ，１１
ｂ、ならびに、吸引部材４がノズルブロック１２に一体
的に取り付けられ、そのノズルブロック１２を取り付け
た支持アーム１３が、固定フレーム１４に付設した上下
一対のガイド１５，１５を介して、角型基板１の端縁に
沿って移動可能に設けられている。

【００１８】基板保持手段２に保持された角型基板１の
ひとつの角部に対応する箇所に、正逆転可能な駆動機構
としての電動モータ１６を設けたモータブラケット１７
が立設されるとともに、電動モータ１６の駆動軸に駆動
プーリー１８が連動連結されている。

【００１９】基板保持手段２に保持された角型基板１の
ひとつの角部に対応する箇所に１個の遊転プーリー１９
が、そして、他の３箇所の角部に対応する箇所に２個づ
つの遊転プーリー１９，１９がそれぞれ設けられ、前記
駆動プーリー１８と遊転プーリー１９…とにわたって一
対のワイヤー２０，２０が巻回され、そのワイヤー２
０，２０の所定の四箇所それぞれに支持アーム１３が連
結され、電動モータ１６の正逆転により、四個の溶剤吐
出手段３…、吸引部材４…それぞれを角型基板１の各辺
に沿わせて往復移動し、角型基板１の端縁を洗浄できる
ように構成されている。

【００２０】角型基板１の所定の一辺に対応する箇所に
おいて、支持アーム１３に当接してひとつのノズルブロ
ック１２が原点位置に移動したことを検出するノズルブ
ロック原点検出センサ２１が設けられるとともに、その
ノズルブロック原点検出センサ２１に近い位置に、ノズ
ルブロック１２が原点位置側に移動していくときに、原
点に到達する直前の所定位置に到達したことを検出する
ノズルブロックドックセンサ２２が設けられている。

【００２１】図５のブロック図に示すように、前記入口
側アーム８に付設されている、入口側アームｉｎ検出セ
ンサ２３、入口側アームｄｏｗｎ検出センサ２４、入口
側アームｏｐｅｎ検出センサ２５、入口側アームｕｐ検
出センサ２６、入口側アームｏｕｔ検出センサ２７、な
らびに、出口側アーム９に付設されている、出口側アー
ムｉｎ検出センサ２８、出口側アームｄｏｗｎ検出セン
サ２９、出口側アームｃｌｏｓｅ検出センサ３０、出口
側アームｕｐ検出センサ３１、出口側アームｏｕｔ検出
センサ３２、および、前記ノズルブロック原点検出セン
サ２１、ノズルブロックドックセンサ２２がＣＰＵ３３
に接続され、更に、基板保持手段２が角型基板１を真空
吸着保持したことを検出する基板吸着確認センサ３４が
ＣＰＵ３３に接続されている。

【００２２】入口側アームｉｎ検出センサ２３は、スピ
ンコータ６内に置かれた角型基板１を把持した入口側ア
ーム８が基板端縁洗浄装置５内の所定位置まで移動した
ことを検出するようになっている。

【００２３】入口側アームｄｏｗｎ検出センサ２４は、
角型基板１を把持した入口側アーム８が基板端縁洗浄装
置５の基板保持手段２上に角型基板１を載置する位置ま
で下降したことを検出するようになっている。

【００２４】入口側アームｏｐｅｎ検出センサ２５は、
角型基板１を基板保持手段２上に載置する位置まで下降
した入口側アーム８の爪が開いて、角型基板１の把持を
解除したことを検出するようになっている。

【００２５】入口側アームｕｐ検出センサ２６は、角型
基板１の把持を解除した入口側アーム８が爪を開いたま
まで所定位置まで上昇したことを検出するようになって
いる。また、入口側アームｏｕｔ検出センサ２７は、所
定位置まで上昇した入口側アーム８がスピンコータ６側
の退避位置まで移動したことを検出するようになってい
る。

【００２６】出口側アームｉｎ検出センサ２８は、端縁
洗浄処理が終了した角型基板１を把持してオーブン７に
搬送するための出口側アーム９が基板端縁洗浄装置５内
の所定位置まで移動したことを検出するようになってい
る。

【００２７】出口側アームｄｏｗｎ検出センサ２９は、
角型基板１を把持した出口側アーム９が基板端縁洗浄装
置５の基板保持手段２上に載置された角型基板１を把持
可能な下降位置まで下降したことを検出するようになっ
ている。

【００２８】出口側アームｃｌｏｓｅ検出センサ３０
は、基板保持手段２上に載置された角型基板１を把持可
能な位置まで下降した出口側アーム９の爪が閉じて、角
型基板１を把持したことを検出するようになっている。

【００２９】出口側アームｕｐ検出センサ３１は、角型
基板１を把持した出口側アーム９が爪を閉じたままで所
定位置まで上昇したことを検出するようになっている。
また、出口側アームｏｕｔ検出センサ３２は、所定位置
まで上昇した出口側アーム９がオーブン７側の所定の退
避位置まで移動したことを検出するようになっている。

【００３０】また、ＣＰＵ３３には、スキャン回数ｎ設
定手段３５が接続され、１枚の角型基板１に対し、ノズ
ルブロック１２を往復させる回数を手動（キーボードな
ど）により入力して設定するようになっている。

【００３１】また、ＣＰＵ３３には、端点Ａ，Ｂ設定手
段３６が接続され、角型基板１のサイズに応じ、ノズル
ブロック１２の移動する距離を設定するようになってい
る。角型基板１を入口側アーム８によって基板保持手段
２上に搬送するときに、角型基板１のサイズにかかわら
ず、常に、角型基板１の長辺側の中央が基板保持手段２
の所定位置に位置するように搬送される。このことに着
目して、ノズルブロック１２の移動における端点Ａおよ
びＢの位置を、上述所定位置からの距離により設定して
表すようになっている。そして、スピンコータ６におい
て、角型基板１のサイズが測定されるとともに、そのサ
イズデータがＣＰＵ３３に入力されるようになってい
て、既知の原点位置とノズルブロック１２の幅とサイズ
データとから端点ＡおよびＢの位置を自動的に演算して
設定するとともに表示するようになっている。この表示
値は、微調整のために手動により変更可能である。この
端点Ａ，Ｂ設定手段３６によって設定される端点Ａと端
点Ｂとにわたる移動量と原点から端点Ａにわたる移動量
は、前記ノズルブロック原点検出センサ２１によって検
出される原点位置に基づき、それを基準にして電動モー
タ１６の回転量から検出するようになっており、この構
成をして移動位置検出手段と称する。

【００３２】フォトレジスト液が塗布された角型基板１
を基板端縁洗浄装置５に搬送する入口側アーム８の動作
（アームの回転、昇降、爪の開閉）を制御する入口側ア
ーム制御手段３７、端縁洗浄処理が終了した角型基板１
をオーブン７に搬送する出口側アーム９の動作（アーム
の回転、昇降、爪の開閉）を制御する出口側アーム制御
手段３８、基板保持手段２により角型基板１を真空吸着
保持するための吸着動作を制御する基板吸着制御手段３
９、電動モータ１６の回転方向および速度を制御してノ
ズルブロック１２の移動方向および速度を制御するノズ
ルブロック駆動手段４０、第１および第２のリンス液ノ
ズル１０ａ…，１０ｂからのリンス液の吐出と停止とを
行うリンス液ノズル制御手段４１、ならびに、第１およ
び第２のガスノズル１１ａ…，１１ｂからの窒素ガスの
吹き出しと停止とを行うガスノズル制御手段４２それぞ
れがＣＰＵ３３に接続されている。なお、吸引部材４か
らの吸気は常に行われている。

【００３３】以上の構成により、基板端縁洗浄装置５へ
の角型基板１の搬入と搬出、および、端縁洗浄が自動的
に行うようになっており、次に、図６のタイムチャート
と、図７および図８のフローチャートを用いて説明す
る。

【００３４】先ず、スピンコータ７でフォトレジスト液
が塗布された角型基板１を入口側アーム８に保持させた
後、その入口側アーム８を回転させ、角型基板１を基板
端縁洗浄装置５上に搬送し（Ｓ１）、所定位置まで搬送
されたかどうかを入口側アームｉｎ検出センサ２３で検
出する（Ｓ２）。

【００３５】所定位置まで搬送された後に入口側アーム
８を下降させ（Ｓ３）、角型基板１を基板保持手段２に
載置する位置まで入口側アーム８が下降したかどうかを
入口側アームｄｏｗｎ検出センサ２４により検出した
（Ｓ４）後に、基板吸着制御手段３９により基板保持手
段２による真空吸着を開始する（Ｓ５）とともに、入口
側アーム８の爪を開く（Ｓ６）。

【００３６】入口側アーム８の爪が開いたことを入口側
アームｏｐｅｎ検出センサ２５により検出して（Ｓ７）
から、入口側アーム８を上昇させる（Ｓ８）。その後、
入口側アームｕｐ検出センサ２６で入口側アーム８が所
定位置まで上昇したことを検出してから（Ｓ９）、基板
吸着確認センサ３４で基板保持手段２が角型基板１を真
空吸着保持したことを検出させる（Ｓ１０）。

【００３７】その後に、ノズルブロック駆動手段４０に
より電動モータ１６を駆動し、ノズルブロック１２を原
点位置から端点Ａに移動させる（Ｓ１１）とともに、ガ
スノズル制御手段４２による窒素ガスの供給とリンス液
ノズル制御手段４１によるリンス液の吐出とを開始し
（Ｓ１２、Ｓ１３）、更に、入口側アーム８を回転し、
基板端縁洗浄装置５の上方から外れた退避位置へ退避さ
せる（Ｓ１４）とともに、電動モータ１６を所定のタイ
ミングで正逆転して、ノズルブロック１２を端点Ａから
端点Ｂに（Ｓ１５）、そして、端点Ｂから端点Ａに（Ｓ
１６）と往復移動させて角型基板１の端縁全周を洗浄処
理する。

【００３８】そのノズルブロック１２の一回のスキャン
が終了した時点でカウント（ｎ＝ｎ−１）して（Ｓ１
７）から、そのカウント値が設定回数になったかどうか
を判断し（Ｓ１８）、設定回数になっていなければ、ス
テップＳ１５に戻し、再度ノズルブロック１２を往復移
動させて角型基板１の端縁全周を洗浄処理する。ここで
はスキャン設定回数を二回に設定している（図６参
照）。

【００３９】設定回数のスキャンが終了した後には、リ
ンス液ノズル制御手段４１によるリンス液の吐出とガス
ノズル制御手段４２による窒素ガスの供給とを停止する
（Ｓ１９、Ｓ２０）とともに、ノズルブロック駆動手段
４０により電動モータ１６を駆動してノズルブロック１
２を端点Ａから原点位置まで移動し（Ｓ２１）、かつ、
基板吸着制御手段３９により、真空吸着を解除する（Ｓ
２２）。

【００４０】そして、ノズルブロックドックセンサ２２
でノズルブロック１２が所定のドック位置に移動したこ
とを検出する（Ｓ２３）に伴い、電動モータ１６の回転
速度を低下し（Ｓ２４）、オーバーランを防止する。次
いで、ノズルブロック原点検出センサ２１により原点位
置を検出する（Ｓ２５）までノズルブロック１２を移動
し、原点位置を検出してから電動モータ１６の駆動を停
止してノズルブロック１２の移動を停止する（Ｓ２
６）。

【００４１】その後、入口側アームｏｕｔ検出センサ２
７により、入口側アーム８が退避位置に移動したことを
確認する（Ｓ２７）とともに、角型基板１の真空吸着が
解除されていることを確認した（Ｓ２８）後、出口側ア
ーム９を回転させ、基板端縁洗浄装置５上の所定の搬出
位置に移動させる（Ｓ２９）。ここで、入口側アーム８
の退避確認は、出口側アーム９と入口側アーム８との干
渉を防止するためであり、また、吸着解除の確認は、吸
着状態の角型基板１に出口側アーム９が作用して角型基
板１が破損することを防止するためである。

【００４２】その後、出口側アーム９が基板端縁洗浄装
置５上の所定の搬出位置に移動したかどうかを出口側ア
ームｉｎ検出センサ２８で検出し（Ｓ３０）、その所定
位置まで搬送された後に出口側アーム９を下降させ（Ｓ
３１）、真空吸着を解除した状態で基板保持手段２に保
持されている角型基板１を把持可能な位置まで下降した
かどうかを出口側アームｄｏｗｎ検出センサ２９で検出
する（Ｓ３２）。

【００４３】所定位置まで下降した後に、出口側アーム
９の爪を閉じて角型基板１を把持させ（Ｓ３３）、その
爪を閉じて角型基板１を把持したことを出口側アームｃ
ｌｏｓｅ検出センサ３０で検出した（Ｓ３４）後、出口
側アーム９を上昇させる（Ｓ３５）。

【００４４】その後、出口側アームｕｐ検出センサ３１
で出口側アーム９が所定位置まで上昇したことを検出し
て（Ｓ３６）から、出口側アーム９を回転してオーブン
７側の所定の退避位置に移動させる（Ｓ３７）。

【００４５】出口側アーム９が所定の退避位置に移動し
たかどうかを出口側アームｏｕｔ検出センサ３２で検出
し（Ｓ３８）、その退避を確認した後に、連続処理する
かどかを判断し（Ｓ３９）、連続処理であればステップ
Ｓ１に戻して、上述処理を繰り返し、一方、連続処理で
無ければ、処理を終了する。

【００４６】以上の動作により、スピンコータ６から基
板端縁洗浄装置５への角型基板１の搬入、端縁洗浄処
理、および、基板端縁洗浄装置５からオーブン７への角
型基板１の搬出を自動的に行うことができる。

【００４７】上述した移動位置検出手段により検出した
ノズルブロック１２の位置、すなわち、溶剤吐出手段３
の位置に基づいてノズルブロック駆動手段４０の動作を
制御する構成をして制御手段と称する。

【００４８】図９は、本発明に係る基板端縁洗浄装置の
第２実施例の概略平面図であり、基板保持手段２に載置
された角型基板１の各辺それぞれと平行にネジ軸４３が
回転可能に設けられるとともに、各ネジ軸４３…それぞ
れに支持アーム１３が螺合されている。

【００４９】ネジ軸４３…のうちの所定のひとつに電動
モータ１６ａが連動連結され、そのネジ軸４３と他の２
本のネジ軸４３，４３とがベベルギア機構４４を介して
連動連結されるとともに、そのうちの１本のネジ軸４３
と残りの１本のネジ軸４３とが別のベベルギア機構４４
を介して連動連結され、単一の電動モータ１６の正逆転
により、溶剤吐出手段３…および吸引部材４…それぞれ
を一体的に往復移動して角型基板１の端縁全周に対する
洗浄処理を一挙に行うことができるように構成されてい
る。

【００５０】第１実施例における、駆動プーリー１８と
遊転プーリー１９…とワイヤー２０とから成る構成、な
らびに、第２実施例におけるネジ軸４３…とベベルギア
機構４４…とから成る構成をして、四個の溶剤吐出手段
３…を一体的に移動するための連係機構と総称する。

【００５１】本発明としては、吸引部材４…を備えず
に、溶剤吐出手段３…だけを備える基板端縁洗浄装置に
も適用できる。

【００５２】また、上記実施例では、角型基板端縁の表
裏両面に溶剤を吐出するように構成しているが、例え
ば、回転可能に保持された角型基板１の下方側に溶剤を
供給し、角型基板１の裏面に回り込んで形成される薄膜
を溶解除去するように構成した裏面洗浄タイプの回転塗
布装置で裏面を洗浄しながら回転塗布により薄膜が形成
された角型基板１に対しては、角型基板１の端縁の表面
側にのみ溶剤を吐出するように構成するとか、あるい
は、角型基板１の端縁の裏面側にのみ溶剤を吐出して表
面張力により表面側に回り込ませるように構成するな
ど、本発明としては、角型基板１の端縁の表裏両面の少
なくともいずれか一方に溶剤を吐出するように構成する
ものであれば良い。

【００５３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に係る発明の基板端縁洗浄装置によれば、単一の駆動
機構と四個の溶剤吐出手段とを連係機構を介して連動連
結するだけで、その駆動機構の駆動により、基板保持手
段に載置保持された角型基板の四辺の端縁を一挙に洗浄
するから、例えば、各溶剤吐出手段それぞれに駆動機構
を連動連結する場合に比べて駆動機構の個数を減らせる
のみならず、その設置スペースも小さくでき、また、例
えば、一辺を洗浄した後に、角型基板を90°回転させ、
次の一辺を洗浄するような場合に比べて１／４以下の時
間で洗浄でき、また、二辺づつ洗浄するような場合に比
べて１／２以下の時間で洗浄でき、構成的に簡単にでき
ながら、角型基板の端縁全周を短時間で効率良く洗浄で
きるようになった。

【００５４】また、請求項２に係る発明の基板端縁洗浄
装置によれば、電動モータによって正逆転される駆動プ
ーリーと遊転プーリーとに巻回した一本のワイヤーに四
個の溶剤吐出手段を連動連結し、角型基板の四辺それぞ
れに対応させて設けた溶剤吐出手段を角型基板の端縁に
沿わせて一体的に移動するから、例えば、ベルトのよう
に幅の有る部材を用いる場合に比べて、溶剤吐出手段の
駆動系のスペースを小さくでき、また、フェルト製のベ
ルトを使用する場合に比べて発塵の問題を抑制できる。

【００５５】また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄
装置によれば、一個の溶剤吐出手段に対する移動位置に
基づいて制御するだけで、四個の溶剤吐出手段すべての
移動を制御できるから、制御構成を簡単にできるように
なった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る基板端縁洗浄装置の
全体概略側面図である。

【図２】一部切欠全体概略平面図である。

【図３】要部の拡大側面図である。

【図４】要部の拡大平面図である。

【図５】ブロック図である。

【図６】タイムチャートである。

【図７】フローチャートである。

【図８】フローチャートである。

【図９】本発明の第２実施例に係る基板端縁洗浄装置の
全体概略側面図である。

【符号の説明】

１…角型基板 ２…基板保持手段 ３…溶剤吐出手段 ５…基板端縁洗浄装置 １６…駆動機構としての電動モータ １８…駆動プーリー １９…遊転プーリー ２０…ワイヤー ２１…ノズルブロック原点検出センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 悟史 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日 本スクリーン製造株式会社 彦根地区事 業所内 (56)参考文献 特開 平６−275590（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−208948（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−204131（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−29132（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−97067（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−196401（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−175117（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/027

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に薄膜が形成された角型基板を載置
   保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保
   持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともい
   ずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐
   出手段とを備えた基板端縁洗浄装置であって、 前記溶剤吐出手段を、前記基板保持手段によって保持さ
   れた前記角型基板の四辺それぞれごとにその端縁に沿っ
   て移動可能に設けるとともに、前記四個の溶剤吐出手段
   を一体的に移動可能に連係機構を介して連動連結し、か
   つ、前記連係機構に、前記四個の溶剤吐出手段を一体的
   に移動する単一の駆動機構を設けたことを特徴とする基
   板端縁洗浄装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の連係機構が、一個の駆
   動プーリーと遊転プーリーとにわたって前記基板保持手
   段によって保持された前記角型基板の外周縁に沿うよう
   にループ状に巻回されたワイヤーであり、前記駆動機構
   が、前記駆動プーリーに連動連結された正逆転可能な一
   個の電動モータである基板端縁洗浄装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の四個の溶剤吐
   出手段のうちの一個の溶剤吐出手段の移動位置を検出す
   る移動位置検出手段を設け、前記移動位置検出手段によ
   る検出結果に基づいて駆動機構を制御する制御手段を備
   えた基板端縁洗浄装置。