JP2952012B2 - エッチング性に優れたＦｅ―Ｎｉ系合金 - Google Patents
エッチング性に優れたＦｅ―Ｎｉ系合金Info
- Publication number
- JP2952012B2 JP2952012B2 JP20545790A JP20545790A JP2952012B2 JP 2952012 B2 JP2952012 B2 JP 2952012B2 JP 20545790 A JP20545790 A JP 20545790A JP 20545790 A JP20545790 A JP 20545790A JP 2952012 B2 JP2952012 B2 JP 2952012B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- etching
- less
- concentration
- carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims description 48
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims description 44
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims description 44
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 title claims description 17
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 20
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 6
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 5
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020598 Co Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002519 Co-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Heat Treatment Of Steel (AREA)
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高精度のエッチングが要求されるシャドウ
マスク材およびリードフレーム材に用いられるエッチン
グ性に優れたFe−Ni系合金およびこれを用いたシャドウ
マスクならびにリードフレームに関するものである。
マスク材およびリードフレーム材に用いられるエッチン
グ性に優れたFe−Ni系合金およびこれを用いたシャドウ
マスクならびにリードフレームに関するものである。
［従来の技術］ 本発明が対象とするFe−Ni系合金は、カラー受像管用
シャドウマスクに用いられる36％Ni−Fe合金に代表され
るアンバー合金や、ICリードフレームに用いられる42％
Ni−Fe合金、50％Ni−Fe合金、29％Ni−27％Co−Fe合金
等を意味する。
シャドウマスクに用いられる36％Ni−Fe合金に代表され
るアンバー合金や、ICリードフレームに用いられる42％
Ni−Fe合金、50％Ni−Fe合金、29％Ni−27％Co−Fe合金
等を意味する。
近年、カラー受像管においては高精細化が進みシャド
ウマスクのエッチングによる穿孔のピッチが小さいシャ
ドウマスクが必要となってきている。
ウマスクのエッチングによる穿孔のピッチが小さいシャ
ドウマスクが必要となってきている。
また、ICリードフレームは集積回路素子の高集積化に
伴って非常に多ピンとなり、複雑化してきている。最近
では、従来64ピンクラスが主体であったエッチング加工
も160〜240ピン、さらには240ピン以上のクラスの超多
ピンのものまで採用されるようになってきている。
伴って非常に多ピンとなり、複雑化してきている。最近
では、従来64ピンクラスが主体であったエッチング加工
も160〜240ピン、さらには240ピン以上のクラスの超多
ピンのものまで採用されるようになってきている。
このような用途に用いられるFe−Ni系合金には特に高
精度のエッチング性が要求される。
精度のエッチング性が要求される。
Fe−Ni系合金のエッチング性は、重要な技術課題とし
て従来から注目されており、例えば特開昭61−82453号
公報には炭素含有量を0.01％以下に規制すること、ま
た、特開昭61−84356号公報にはさらに非金属介在物を
規制することによりエッチング性を改善できることが開
示されている。
て従来から注目されており、例えば特開昭61−82453号
公報には炭素含有量を0.01％以下に規制すること、ま
た、特開昭61−84356号公報にはさらに非金属介在物を
規制することによりエッチング性を改善できることが開
示されている。
また、特開昭63−128120号公報には、Fe−Ni系合金シ
ャドウマスク用金属合金薄板の製造工程中に行われる歪
み取り焼鈍を水素95％以上の雰囲気で行うことによって
薄板表面に窒化層が形成されるのを防ぐことにより、あ
るいは特開昭63−128185号公報には焼鈍時に薄板表面に
形成された酸化層あるいは窒化層を酸洗い等により除去
することによりエッチング性を改善できることが記載さ
れている。
ャドウマスク用金属合金薄板の製造工程中に行われる歪
み取り焼鈍を水素95％以上の雰囲気で行うことによって
薄板表面に窒化層が形成されるのを防ぐことにより、あ
るいは特開昭63−128185号公報には焼鈍時に薄板表面に
形成された酸化層あるいは窒化層を酸洗い等により除去
することによりエッチング性を改善できることが記載さ
れている。
しかし、高精細シャドウマスクおよび240ピンクラス
の超多ピンリードフレームのエッチング加工においては
より一層エッチング性の良好な合金が要望されているの
が現状である。
の超多ピンリードフレームのエッチング加工においては
より一層エッチング性の良好な合金が要望されているの
が現状である。
［発明が解決しようとする課題］ 例えば、超高精細シャドウマスクでは、エッチング加
工によって形成される孔の部分に１μｍ程度の寸法誤差
が生じても、目視でムラとなって確認され、不良とな
る。
工によって形成される孔の部分に１μｍ程度の寸法誤差
が生じても、目視でムラとなって確認され、不良とな
る。
また、超多ピンリードフレームではエッチング性の不
良により寸法精度が得られず、インナーリード同士が接
触する等の問題が発生している。
良により寸法精度が得られず、インナーリード同士が接
触する等の問題が発生している。
本発明の目的は、エッチング性をさらに向上したFe−
Ni系合金およびこれを用いたシャドウマスクならびにリ
ードフレームを提供することである。
Ni系合金およびこれを用いたシャドウマスクならびにリ
ードフレームを提供することである。
［課題を解決するための手段］ 本発明者がFe−Ni系合金の合金組成分布について横断
面、縦断面で詳細に検討したところ、リードフレームや
シャドウマスクに使用されるFe−Ni合金薄板は表層部に
不純物が濃縮し、表面が汚染されていることがわかっ
た。
面、縦断面で詳細に検討したところ、リードフレームや
シャドウマスクに使用されるFe−Ni合金薄板は表層部に
不純物が濃縮し、表面が汚染されていることがわかっ
た。
このような不純物が合金の表層部に存在するとエッチ
ングに対する合金の腐食抵抗が変化し、初期のエッチン
グ速度を低下させるとともに、合金とレジストとの密着
性も悪くなるため、合金とレジストの界面へのエッチン
グ液の侵入が容易となり、横方向へのエッチングの進
行、いわゆるサイドエッチンが大きくなって、エッチン
グにおける加工精度が劣化することを見いだした。
ングに対する合金の腐食抵抗が変化し、初期のエッチン
グ速度を低下させるとともに、合金とレジストとの密着
性も悪くなるため、合金とレジストの界面へのエッチン
グ液の侵入が容易となり、横方向へのエッチングの進
行、いわゆるサイドエッチンが大きくなって、エッチン
グにおける加工精度が劣化することを見いだした。
さらに、エッチング性とこの合金表面の汚染について
検討したところ特に表層部に濃縮された炭素の濃度を下
げることによって、エッチング性を極めて良好のものに
することができることを見いだした。
検討したところ特に表層部に濃縮された炭素の濃度を下
げることによって、エッチング性を極めて良好のものに
することができることを見いだした。
すなわち、本発明の合金はNi 30〜60重量％、Si 0.25
重量％以下、Mn 0.5重量％以下、残部Feおよび不純物か
らなり、エッチングされる表面より10Åの深さにおける
不純物である炭素の濃度が20原子％以下であることを特
徴とするエッチング性に優れたFe−Ni系合金、 あるいはNi 25〜40重量％、Co 5〜20重量％、Si 0.25
重量％以下、Mn 0.5重量％以下、残部Feおよび不純物か
らなり、エッチングされる表面より10Åの深さにおける
不純物である炭素の濃度が20原子％以下であることを特
徴とするエッチング性に優れたFe−Ni系合金である。
重量％以下、Mn 0.5重量％以下、残部Feおよび不純物か
らなり、エッチングされる表面より10Åの深さにおける
不純物である炭素の濃度が20原子％以下であることを特
徴とするエッチング性に優れたFe−Ni系合金、 あるいはNi 25〜40重量％、Co 5〜20重量％、Si 0.25
重量％以下、Mn 0.5重量％以下、残部Feおよび不純物か
らなり、エッチングされる表面より10Åの深さにおける
不純物である炭素の濃度が20原子％以下であることを特
徴とするエッチング性に優れたFe−Ni系合金である。
ここで、10Åの深さの元素の濃度はスパッタリングに
より10Åだけ表面を除去して、Ｘ線光電子分光分析法
（ESCA）によって分析することにより求めることができ
る。
より10Åだけ表面を除去して、Ｘ線光電子分光分析法
（ESCA）によって分析することにより求めることができ
る。
また、極表層の炭素の濃度を下げるとともに、酸素あ
るいはS,Cl,P,B等の他の不純物全体の濃度を下げること
もエッチング性を改善するのに効果がある。
るいはS,Cl,P,B等の他の不純物全体の濃度を下げること
もエッチング性を改善するのに効果がある。
そこで本発明の合金はさらに酸素および炭素，酸素以
外の不純物の全体濃度は表面から10Åの濃度でそれぞれ
20原子％以下および５原子％以下が望ましい。
外の不純物の全体濃度は表面から10Åの濃度でそれぞれ
20原子％以下および５原子％以下が望ましい。
［作用］ 本発明において、表面から10Åの炭素の濃度を20原子
％以下に規定したのは、表面から10Åの炭素の濃度が20
原子％を超えると、エッチング性が著しく劣化するため
である。
％以下に規定したのは、表面から10Åの炭素の濃度が20
原子％を超えると、エッチング性が著しく劣化するため
である。
実際、表面の炭素の汚染状況はESCAによる最表面（す
なわち10Å未満の深さ）の分析では、正確には評価でき
ない。しかし、表面をスパッタリングによって10Å除去
した面で分析を行うと、その炭素濃度とエッチング性が
明確に相関する。
なわち10Å未満の深さ）の分析では、正確には評価でき
ない。しかし、表面をスパッタリングによって10Å除去
した面で分析を行うと、その炭素濃度とエッチング性が
明確に相関する。
なお、スパッタリングによる表面除去をさらに進め
て、最表面から約30Å入った面での測定では、合金全体
の組成とほとんど変わらず、汚染の範囲は、高々表面よ
り30Å程度であることが推測できた。すなわち不純物の
汚染は、最表面の深さが約３Åから始まり、25Å程度ま
でつづくのであるが、10Åの深さでの炭素濃度が最もエ
ッチング性と相関があるので、本発明は10Å深さでの不
純物濃度を規定する。
て、最表面から約30Å入った面での測定では、合金全体
の組成とほとんど変わらず、汚染の範囲は、高々表面よ
り30Å程度であることが推測できた。すなわち不純物の
汚染は、最表面の深さが約３Åから始まり、25Å程度ま
でつづくのであるが、10Åの深さでの炭素濃度が最もエ
ッチング性と相関があるので、本発明は10Å深さでの不
純物濃度を規定する。
このような表面の炭素の濃縮は、主にFe−Ni合金製造
工程中または梱包の際に付着した油類に由来するものと
考えられる。また、酸素は大気中から酸化または吸着さ
れたものと考えられる。
工程中または梱包の際に付着した油類に由来するものと
考えられる。また、酸素は大気中から酸化または吸着さ
れたものと考えられる。
これらの不純物を合金表面から除去する方法として
は、水素中で加熱する方法、表面活性材と有機溶剤で入
念に洗浄する方法等が使用できる。
は、水素中で加熱する方法、表面活性材と有機溶剤で入
念に洗浄する方法等が使用できる。
また、水素中で加熱する場合は、露点を−30℃〜＋10
℃で700℃〜800℃で行うのが好ましい。
℃で700℃〜800℃で行うのが好ましい。
露点を−30℃未満とするのは実用上困難であり、ま
た、＋10℃を超えると合金表面の酸化量が大きくなり好
ましくない。露点を上げると不純物の除去量は大きくな
るが、合金表面の酸化量も大きくなるため、材料用途に
合わせて雰囲気の露点を調整することが望ましい。
た、＋10℃を超えると合金表面の酸化量が大きくなり好
ましくない。露点を上げると不純物の除去量は大きくな
るが、合金表面の酸化量も大きくなるため、材料用途に
合わせて雰囲気の露点を調整することが望ましい。
［実施例］ 以下本発明の実施例について詳細に説明する。
第１表に示す組成の合金についてそれぞれ0.25mmの帯
板を作成した。
板を作成した。
これらの製品について、725℃から800℃の範囲で２分
間、露点−30℃の水素雰囲気で加熱処理した。
間、露点−30℃の水素雰囲気で加熱処理した。
得られた合金帯板の極表層部の元素分布をスパッタリ
ングによって表面を除去しつつ、ESCAで測定した。
ングによって表面を除去しつつ、ESCAで測定した。
第１図に42％Ni−Fe合金の場合で、760℃で２分間加
熱処理したものと、比較例として加熱処理を行わないも
のの合金表面から深さ方向の炭素の濃度分布を示す。
熱処理したものと、比較例として加熱処理を行わないも
のの合金表面から深さ方向の炭素の濃度分布を示す。
第１図からこの雰囲気加熱処理により、表層部の炭素
濃度を著しく減少できることがわかる。
濃度を著しく減少できることがわかる。
第２表に第１表で示した合金について、表面より10Å
での不純物元素濃度を示した。
での不純物元素濃度を示した。
また、エッチング性を評価するために、エッチング速
度と表面のエッチング喰われについて測定した結果も第
２表に示した。
度と表面のエッチング喰われについて測定した結果も第
２表に示した。
なお、エッチング速度については、エッチング液とし
て、40℃に加熱した比重1.38のFeCl3溶液を用い、1mmφ
の丸穴形状を両面からエッチングし、貫通し要した時間
を測定することにより評価した。
て、40℃に加熱した比重1.38のFeCl3溶液を用い、1mmφ
の丸穴形状を両面からエッチングし、貫通し要した時間
を測定することにより評価した。
なお、表面のエッチング喰われとは、第２図（ａ）に
示すようにエッチング喰われ部１を有するものになるこ
とである。このとき断面は第２図（ｂ）のようになって
いる。エッチングにおけるエッチング喰われの評価は第
２図のような喰われを生じたものを不良、喰われを確認
できなかったものを良とした。
示すようにエッチング喰われ部１を有するものになるこ
とである。このとき断面は第２図（ｂ）のようになって
いる。エッチングにおけるエッチング喰われの評価は第
２図のような喰われを生じたものを不良、喰われを確認
できなかったものを良とした。
第２表により、Fe−Ni系合金を水素雰囲気の加熱処理
により、エッチングされる表面から10Åの深さにおける
不純物濃度を低減でき、炭素濃度を20％以下とすること
により、エッチング性を極めて優れたものとすることが
できることがわかる。
により、エッチングされる表面から10Åの深さにおける
不純物濃度を低減でき、炭素濃度を20％以下とすること
により、エッチング性を極めて優れたものとすることが
できることがわかる。
（実施例２） 実施例１と同様に得られた第１表に示す合金組成の帯
板を後述する洗浄工程を施し、表面より10Åでの不純物
元素濃度と、エッチング性について測定した。結果を第
３表に示す。
板を後述する洗浄工程を施し、表面より10Åでの不純物
元素濃度と、エッチング性について測定した。結果を第
３表に示す。
洗浄工程は次の通りである。
（１）中性洗浄（表面活性剤）浸漬 10分 （２）水洗（イオン交換水） １分 （３）トリクロロエチレン蒸気洗浄 １分 （４）トリクロロエチレン浸漬 １分 （５）アセトン洗浄 （６）乾燥 第３表より、実施例１と同様に表面から10Åの炭素濃
度を20原子％以下とすることができ、優れたエッチング
性が得られることがわかる。
度を20原子％以下とすることができ、優れたエッチング
性が得られることがわかる。
このような合金は多ピンを高精度でエッチングするリ
ードフレーム材あるいは高精度のシャドウマスク材とし
て適用した場合極めて有効である。
ードフレーム材あるいは高精度のシャドウマスク材とし
て適用した場合極めて有効である。
［発明の効果］ 本発明の合金によれば、エッチングにおいてエッチン
グ喰われ等の不良が発生せず、精度の高いエッチングが
可能であるため、高精度のエッチングが要求される高精
細シャドウマスク材および超多ピンリードフレーム材と
して最適である。
グ喰われ等の不良が発生せず、精度の高いエッチングが
可能であるため、高精度のエッチングが要求される高精
細シャドウマスク材および超多ピンリードフレーム材と
して最適である。
第１図は本発明の炭素濃度分布を示した図、第２図
（ａ），（ｂ）はエッチング喰われの説明図である。 1:エッチング喰われ部
（ａ），（ｂ）はエッチング喰われの説明図である。 1:エッチング喰われ部
Claims (4)
- 【請求項１】Ni 30〜60重量％、Si 0.25重量％以下、Mn
0.5重量％以下、残部Feおよび不純物からなり、エッチ
ングされる表面より10Åの深さにおける不純物である炭
素の濃度が20原子％以下であることを特徴とするエッチ
ング性に優れたFe−Ni系合金。 - 【請求項２】Ni 25〜40重量％、Co 5〜20重量％、Si 0.
25重量％以下、Mn 0.5重量％以下、残部Feおよび不純物
からなり、エッチングされる表面より10Åの深さにおけ
る不純物である炭素の濃度が20原子％以下であることを
特徴とするエッチング性に優れたFe−Ni系合金。 - 【請求項３】エッチングされる表面より10Åの深さにお
ける不純物である酸素濃度が20原子％以下であることを
特徴とする請求項１ないし２に記載のエッチング性に優
れたFe−Ni系合金。 - 【請求項４】エッチングされる表面より10Åの深さにお
ける炭素，酸素以外の不純物の総量が５原子％以下であ
ることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載
のエッチング性に優れたFe−Ni系合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20545790A JP2952012B2 (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | エッチング性に優れたＦｅ―Ｎｉ系合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20545790A JP2952012B2 (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | エッチング性に優れたＦｅ―Ｎｉ系合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0499152A JPH0499152A (ja) | 1992-03-31 |
| JP2952012B2 true JP2952012B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=16507199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20545790A Expired - Fee Related JP2952012B2 (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | エッチング性に優れたＦｅ―Ｎｉ系合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2952012B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3927494B2 (ja) | 2000-11-21 | 2007-06-06 | 日本冶金工業株式会社 | エッチング加工性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金材料 |
-
1990
- 1990-08-02 JP JP20545790A patent/JP2952012B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0499152A (ja) | 1992-03-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP4321635A1 (en) | Grain-oriented electrical steel sheet and method for forming insulating film | |
| DE69732386T2 (de) | Rostfreier Stahl für Wasser mit zugesetztem Ozon und sein Herstellungsverfahrene | |
| JP4257668B2 (ja) | エッチング加工性に優れたリードフレーム用銅合金とその製造方法 | |
| JP3963648B2 (ja) | ステンレス鋼又はニッケル合金鋼から形成された構成材上に、強化された酸化物被膜を成長させる方法 | |
| EP0318724B1 (de) | Verfahren zum chemischen Ablösen einer hochchromhaltigen Oberflächenschutzschicht vom Grundkörper eines aus einer Nickel- oder Kobaltbasis-Superlegierung bestehenden Bauteils | |
| JP2952012B2 (ja) | エッチング性に優れたＦｅ―Ｎｉ系合金 | |
| RU2265079C2 (ru) | Обработка поверхности для улучшения стойкости к коррозии аустенитных нержавеющих сталей | |
| JP3379071B2 (ja) | 酸化クロムを主成分とする酸化不動態膜の形成方法及びステンレス鋼 | |
| US20040012321A1 (en) | Fe-Ni alloy material for shadow mask and method for manufacturing thereof | |
| KR0142648B1 (ko) | 베어본딩용 동합금 리드프레임 | |
| JP3545684B2 (ja) | エッチング穿孔性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材 | |
| JP3573303B2 (ja) | 表面清浄度の優れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法 | |
| JP2000256800A (ja) | 低熱膨張性合金薄板および電子部品 | |
| JP3606463B2 (ja) | 耐銹性に優れたリードフレーム用合金薄板の製造方法 | |
| JP3562492B2 (ja) | フォトエッチング加工用ステンレス鋼板およびその製造方法 | |
| JP4164782B2 (ja) | 整面処理性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびそれを用いたシャドウマスク | |
| JP3257492B2 (ja) | 耐オゾン含有水性に優れるステンレス鋼材の製造方法 | |
| JP5683077B2 (ja) | 低汚染性に優れたアルミニウム合金部材 | |
| JP2001316770A (ja) | レジスト密着性に優れた電子部品用低熱膨張合金薄板及び電子部品 | |
| JPH07252604A (ja) | エッチング性とプレス成形性に優れたＦｅ−Ｎｉ合金 | |
| JPH0587585B2 (ja) | ||
| JPH0892703A (ja) | エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板 | |
| JP3575091B2 (ja) | Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびその製造方法 | |
| JP3029670B2 (ja) | Ｆｅ―Ｎｉ系合金の製造方法 | |
| JP2002327247A (ja) | 電子部品用低熱膨張性合金薄板および電子部品 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070709 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090709 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |