JP2962010B2 - オゾンセンサ - Google Patents
オゾンセンサInfo
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- JP2962010B2 JP2962010B2 JP31895491A JP31895491A JP2962010B2 JP 2962010 B2 JP2962010 B2 JP 2962010B2 JP 31895491 A JP31895491 A JP 31895491A JP 31895491 A JP31895491 A JP 31895491A JP 2962010 B2 JP2962010 B2 JP 2962010B2
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はオゾン発生機やオゾン利
用機器におけるオゾン濃度の制御、あるいはオゾン検知
用に用いる小型軽量のオゾンセンサに関する。
用機器におけるオゾン濃度の制御、あるいはオゾン検知
用に用いる小型軽量のオゾンセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは強力な酸化作用を有するため、
従来より脱臭、殺菌などの目的で上下水道水処理、医
療、食品工業など多くの分野で利用されている。しか
し、オゾンはごく微量でも人体に対して有害であるた
め、発生量の制御や漏洩オゾンの検知を確実に行なう必
要がある。
従来より脱臭、殺菌などの目的で上下水道水処理、医
療、食品工業など多くの分野で利用されている。しか
し、オゾンはごく微量でも人体に対して有害であるた
め、発生量の制御や漏洩オゾンの検知を確実に行なう必
要がある。
【０００３】従来、オゾン濃度の測定、検知には、もっ
ぱら酸化還元滴定法や吸光光度法、紫外線吸収スペクト
ル法などが用いられてきた。
ぱら酸化還元滴定法や吸光光度法、紫外線吸収スペクト
ル法などが用いられてきた。
【０００４】これに対して、より簡便なオゾン濃度測定
法としてＩｎ2Ｏ3を用いたセンサ素子が提案されてい
る。
法としてＩｎ2Ｏ3を用いたセンサ素子が提案されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のオゾン検出方法は、一般に大がかりな装置、煩雑な
操作を必要とし、しかも高価であるため簡単には利用で
きないという欠点を有している。一方、簡便なセンサ素
子の材料として提案されたＩｎ2Ｏ3は、低温で比較的高
感度が得られる反面、熱的にやや不安定であり、長期安
定性に問題があった。
来のオゾン検出方法は、一般に大がかりな装置、煩雑な
操作を必要とし、しかも高価であるため簡単には利用で
きないという欠点を有している。一方、簡便なセンサ素
子の材料として提案されたＩｎ2Ｏ3は、低温で比較的高
感度が得られる反面、熱的にやや不安定であり、長期安
定性に問題があった。
【０００６】本発明はこのような課題を解決するもの
で、信頼性が高く、かつ安価で簡便なオゾンセンサを提
供することを目的とするものである。
で、信頼性が高く、かつ安価で簡便なオゾンセンサを提
供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために本発明は、Ｓｎ含有量がＩｎとＳｎの総量の３
〜１０ｍｏｌ％であるＩｎ2Ｏ3とＳｎＯ2を主体とする
材料からなる膜状のガス感応体を有するセンサ素子を採
用することにより、素子抵抗、感度、作動温度などに優
れた特性を示す、信頼性の高い小型軽量で安価なセンサ
素子を実現するようにしたものである。
るために本発明は、Ｓｎ含有量がＩｎとＳｎの総量の３
〜１０ｍｏｌ％であるＩｎ2Ｏ3とＳｎＯ2を主体とする
材料からなる膜状のガス感応体を有するセンサ素子を採
用することにより、素子抵抗、感度、作動温度などに優
れた特性を示す、信頼性の高い小型軽量で安価なセンサ
素子を実現するようにしたものである。
【０００８】
【作用】この構成のオゾンセンサは、Ｓｎ含有量がＩｎ
とＳｎの総量の３〜１０ｍｏｌ％であるＩｎ2Ｏ3とＳｎ
Ｏ2を主体とする材料からなる膜状のガス感応体を用い
るため、オゾンに対する感度、応答性に優れるとともに
熱的にも安定で、高い信頼性を有している。また、セン
サ素子の小型軽量化が容易にできるため、取り扱いが容
易でしかも低価格のセンサ素子を提供することができる
こととなる。
とＳｎの総量の３〜１０ｍｏｌ％であるＩｎ2Ｏ3とＳｎ
Ｏ2を主体とする材料からなる膜状のガス感応体を用い
るため、オゾンに対する感度、応答性に優れるとともに
熱的にも安定で、高い信頼性を有している。また、セン
サ素子の小型軽量化が容易にできるため、取り扱いが容
易でしかも低価格のセンサ素子を提供することができる
こととなる。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の一実施例のオゾンセンサを図
面を参照しながら説明する。図１（ａ），（ｂ），
（ｃ）に本実施例のオゾンセンサの構成を示す。図１
（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。アルミ
ナ基板（３×５×０．５mm）１上にＩｎとＳｎの有機金
属化合物を主体として調製した塗布液をアルミナ基板に
塗布し、６００℃で焼成して形成したＩｎ2Ｏ3とＳｎＯ
2からなるガス感応体（２×５mm，厚さ約７００Å）２
が設けられている。感応体２の組成とオゾンセンサの諸
特性の関係をみるために、Ｓｎ含有量がＩｎとＳｎの総
量の０，１，２，３，５，７，１０，１５，２０（ｍｏ
ｌ％）となるように各塗布液を調製し、感応体２を作製
した。アルミナ基板にはあらかじめ感応体接合部分の幅
が１mmになるよう白金電極３をスパッタで形成してあ
り、アルミナ基板１の反対側には素子加熱用の白金ヒー
タ４がスパッタ法で形成されている。
面を参照しながら説明する。図１（ａ），（ｂ），
（ｃ）に本実施例のオゾンセンサの構成を示す。図１
（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。アルミ
ナ基板（３×５×０．５mm）１上にＩｎとＳｎの有機金
属化合物を主体として調製した塗布液をアルミナ基板に
塗布し、６００℃で焼成して形成したＩｎ2Ｏ3とＳｎＯ
2からなるガス感応体（２×５mm，厚さ約７００Å）２
が設けられている。感応体２の組成とオゾンセンサの諸
特性の関係をみるために、Ｓｎ含有量がＩｎとＳｎの総
量の０，１，２，３，５，７，１０，１５，２０（ｍｏ
ｌ％）となるように各塗布液を調製し、感応体２を作製
した。アルミナ基板にはあらかじめ感応体接合部分の幅
が１mmになるよう白金電極３をスパッタで形成してあ
り、アルミナ基板１の反対側には素子加熱用の白金ヒー
タ４がスパッタ法で形成されている。
【００１０】上記のようにして作製した各センサ素子の
空気中、３５０℃における素子抵抗とＳｎ含有量の関係
を図２に示す。図２よりＳｎ含有量が３ｍｏｌ％未満で
は、素子抵抗が極めて大きくなることがわかる。また、
１０ｍｏｌ％を越えても素子抵抗が増大する傾向が認め
られる。素子抵抗はあまり大きくなっても実用上使いに
くい点があり、数ｋΩ以下に抑えることが望ましい。こ
のように、Ｓｎ含有量は３ｍｏｌ％以上で２０ｍｏｌ％
を越えない範囲が望ましいと考えられる。
空気中、３５０℃における素子抵抗とＳｎ含有量の関係
を図２に示す。図２よりＳｎ含有量が３ｍｏｌ％未満で
は、素子抵抗が極めて大きくなることがわかる。また、
１０ｍｏｌ％を越えても素子抵抗が増大する傾向が認め
られる。素子抵抗はあまり大きくなっても実用上使いに
くい点があり、数ｋΩ以下に抑えることが望ましい。こ
のように、Ｓｎ含有量は３ｍｏｌ％以上で２０ｍｏｌ％
を越えない範囲が望ましいと考えられる。
【００１１】つぎに、作製したセンサ素子についてオゾ
ンに対する応答特性を測定した。石英ガラス製測定管中
にセンサ素子を固定し、ヒータによって素子温度を所定
の値に制御して、空気と１ｐｐｍのオゾンを含む空気を
交互にセンサ素子に流通接触させたときのセンサ素子の
抵抗変化を測定した。空気中におけるセンサ素子抵抗を
ＲA、オゾンを含む空気に変えて１分後のセンサ素子抵
抗をＲG1としてＲG1／ＲAを求めてセンサ感度とした。
図３に、このようにして求めた各組成のオゾンセンサが
示す温度と感度の関係を示す。Ｓｎ含有量が１ｍｏｌ％
および３ｍｏｌ％の素子の特性は図示していないが、Ｓ
ｎ含有量が１ｍｏｌ％の素子の特性は０ｍｏｌ％の素子
の特性に、また３ｍｏｌ％の素子の特性は５ｍｏｌ％の
素子の特性にそれぞれほぼ等しかった。この結果より、
Ｓｎ含有量が少ないと低温での感度が相対的に高くなる
ことが明かになった。センサが低温で高いガス感度を有
することは実用上有利な点であり、この点から考えると
Ｓｎ含有量が１０ｍｏｌ％を越えない方が望ましいとい
える。
ンに対する応答特性を測定した。石英ガラス製測定管中
にセンサ素子を固定し、ヒータによって素子温度を所定
の値に制御して、空気と１ｐｐｍのオゾンを含む空気を
交互にセンサ素子に流通接触させたときのセンサ素子の
抵抗変化を測定した。空気中におけるセンサ素子抵抗を
ＲA、オゾンを含む空気に変えて１分後のセンサ素子抵
抗をＲG1としてＲG1／ＲAを求めてセンサ感度とした。
図３に、このようにして求めた各組成のオゾンセンサが
示す温度と感度の関係を示す。Ｓｎ含有量が１ｍｏｌ％
および３ｍｏｌ％の素子の特性は図示していないが、Ｓ
ｎ含有量が１ｍｏｌ％の素子の特性は０ｍｏｌ％の素子
の特性に、また３ｍｏｌ％の素子の特性は５ｍｏｌ％の
素子の特性にそれぞれほぼ等しかった。この結果より、
Ｓｎ含有量が少ないと低温での感度が相対的に高くなる
ことが明かになった。センサが低温で高いガス感度を有
することは実用上有利な点であり、この点から考えると
Ｓｎ含有量が１０ｍｏｌ％を越えない方が望ましいとい
える。
【００１２】さらに、上記のセンサを用いて素子抵抗の
復帰速度を評価した。復帰速度はオゾンを含む空気から
空気に戻したときに素子抵抗が変化する速さのことで、
式（ＲG3−ＲA’）／（ＲG3−ＲA）×１００（％）で定
義する抵抗復帰率で評価した。ただし、ＲAは空気中の
素子抵抗、ＲG3は空気からオゾン含有空気に変えて３分
後の素子抵抗、そしてＲA’はオゾン含有空気から再び
空気に戻して１分後の素子抵抗である。オゾン濃度は１
ｐｐｍ、センサ素子温度は３５０℃とした。測定結果を
図４に示す。図に示すように、Ｓｎ含有量が１０ｍｏｌ
％以下では抵抗復帰率は比較的大きく、しかも組成によ
る違いはあまりないが、１０ｍｏｌ％を越えると抵抗復
帰率が低下することが明かになった。抵抗復帰速度が速
いことも実用上有利であり、その点でもＳｎ含有量は１
０ｍｏｌ％以下とするのがよいと考えられる。
復帰速度を評価した。復帰速度はオゾンを含む空気から
空気に戻したときに素子抵抗が変化する速さのことで、
式（ＲG3−ＲA’）／（ＲG3−ＲA）×１００（％）で定
義する抵抗復帰率で評価した。ただし、ＲAは空気中の
素子抵抗、ＲG3は空気からオゾン含有空気に変えて３分
後の素子抵抗、そしてＲA’はオゾン含有空気から再び
空気に戻して１分後の素子抵抗である。オゾン濃度は１
ｐｐｍ、センサ素子温度は３５０℃とした。測定結果を
図４に示す。図に示すように、Ｓｎ含有量が１０ｍｏｌ
％以下では抵抗復帰率は比較的大きく、しかも組成によ
る違いはあまりないが、１０ｍｏｌ％を越えると抵抗復
帰率が低下することが明かになった。抵抗復帰速度が速
いことも実用上有利であり、その点でもＳｎ含有量は１
０ｍｏｌ％以下とするのがよいと考えられる。
【００１３】ついで、素子の熱的安定性を評価するため
に感度の経時変化を測定した。ヒータに連続通電してセ
ンサ素子を４００℃に加熱保持し、２００時間毎に前記
と同様の方法で３５０℃における電気抵抗変化を測定
し、計１０００時間にわたりセンサ感度（ＲG1／ＲA）
の経時変化を測定した。測定結果を図５に示す。Ｓｎ含
有量が７ｍｏｌ％および１５ｍｏｌ％の素子の特性は図
示していないが、５〜２０ｍｏｌ％の素子と同様に経時
変化はほとんどなく安定した特性を示した。この結果、
Ｓｎ含有量が２ｍｏｌ％以下の範囲においては、Ｓｎ含
有量が少なくなるほどセンサ感度に大きな経時変化が生
じることが判明した。これに対して、Ｓｎ含有量が３ｍ
ｏｌ％以上になるとほとんど経時変化が認められず、こ
れらのセンサは熱的にも非常に安定した特性を有してい
ることが明らかになった。また、ヒータの劣化もなく、
長期間安定した作動を保証するものであることも明らか
になった。
に感度の経時変化を測定した。ヒータに連続通電してセ
ンサ素子を４００℃に加熱保持し、２００時間毎に前記
と同様の方法で３５０℃における電気抵抗変化を測定
し、計１０００時間にわたりセンサ感度（ＲG1／ＲA）
の経時変化を測定した。測定結果を図５に示す。Ｓｎ含
有量が７ｍｏｌ％および１５ｍｏｌ％の素子の特性は図
示していないが、５〜２０ｍｏｌ％の素子と同様に経時
変化はほとんどなく安定した特性を示した。この結果、
Ｓｎ含有量が２ｍｏｌ％以下の範囲においては、Ｓｎ含
有量が少なくなるほどセンサ感度に大きな経時変化が生
じることが判明した。これに対して、Ｓｎ含有量が３ｍ
ｏｌ％以上になるとほとんど経時変化が認められず、こ
れらのセンサは熱的にも非常に安定した特性を有してい
ることが明らかになった。また、ヒータの劣化もなく、
長期間安定した作動を保証するものであることも明らか
になった。
【００１４】以上の実施例のように、Ｓｎ含有量がＩｎ
とＳｎの総量の３〜１０ｍｏｌ％であるＩｎ2Ｏ3とＳｎ
Ｏ2を主体とする材料で形成した膜状のガス感応体を有
するオゾンセンサは優れた感度特性を有し、かつ長期に
わたって安定した動作が期待できる。
とＳｎの総量の３〜１０ｍｏｌ％であるＩｎ2Ｏ3とＳｎ
Ｏ2を主体とする材料で形成した膜状のガス感応体を有
するオゾンセンサは優れた感度特性を有し、かつ長期に
わたって安定した動作が期待できる。
【００１５】なお、本実施例ではガス感応体作製法とし
て塗布法を用いた場合について述べたが、オフセット印
刷その他の印刷法やスピンコート法などの湿式製膜法、
あるいはスパッタ、真空蒸着などの乾式製膜法を用いる
ことができ、いずれの場合にも高活性なガス感応体を作
製することが可能である。
て塗布法を用いた場合について述べたが、オフセット印
刷その他の印刷法やスピンコート法などの湿式製膜法、
あるいはスパッタ、真空蒸着などの乾式製膜法を用いる
ことができ、いずれの場合にも高活性なガス感応体を作
製することが可能である。
【００１６】また、ガス感応体出発材料は本実施例に限
らず製膜に適したものを適宜選択して用いることが可能
である。センサ素子各部の構造や構成あるいは基板材
料、電極材料およびヒータ材料も発明の主旨に反しない
限りにおいて自由に設計あるいは使用することができる
ものである。
らず製膜に適したものを適宜選択して用いることが可能
である。センサ素子各部の構造や構成あるいは基板材
料、電極材料およびヒータ材料も発明の主旨に反しない
限りにおいて自由に設計あるいは使用することができる
ものである。
【００１７】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に、Ｓｎ含有量がＩｎとＳｎの総量の３〜１０ｍｏｌ％
であるＩｎ2Ｏ3とＳｎＯ2を主体とする材料からなる膜
状のガス感応体を有するセンサ素子を採用することによ
り、ガス検知特性に優れるとともに熱的安定性にも優
れ、小型軽量かつ安価であるため、オゾン発生機やオゾ
ン利用機器におけるオゾン濃度制御、あるいはオゾン検
知などの用途に適するものである。
に、Ｓｎ含有量がＩｎとＳｎの総量の３〜１０ｍｏｌ％
であるＩｎ2Ｏ3とＳｎＯ2を主体とする材料からなる膜
状のガス感応体を有するセンサ素子を採用することによ
り、ガス検知特性に優れるとともに熱的安定性にも優
れ、小型軽量かつ安価であるため、オゾン発生機やオゾ
ン利用機器におけるオゾン濃度制御、あるいはオゾン検
知などの用途に適するものである。
【図１】（ａ）は本発明の一実施例のオゾンセンサの構
成を示す平面図 （ｂ）は図１（ａ）Ａ−Ａ’線断面図 （ｃ）は同オゾンセンサの背面図
成を示す平面図 （ｂ）は図１（ａ）Ａ−Ａ’線断面図 （ｃ）は同オゾンセンサの背面図
【図２】同オゾンセンサのＳｎ含有量と素子抵抗の関係
を示す図
を示す図
【図３】同オゾンセンサの温度とセンサ感度の関係を示
す図
す図
【図４】同オゾンセンサのＳｎ含有量と抵抗復帰率の関
係を示す図
係を示す図
【図５】同オゾンセンサのセンサ感度の経時変化を示す
図
図
１ 基板 ２ ガス感応体 ３ 電極 ４ ヒータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 昭彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 吉池 信幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−152258（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 27/12
Claims (1)
- 【請求項１】絶縁基板の一方の面上に形成された一対の
電極と、前記一対の電極に接してＩｎ2Ｏ3とＳｎＯ2を
主体とする材料で形成した膜状のガス感応体を有し、絶
縁基板のもう一方の面上にヒータを形成したセンサ素子
にあって、Ｓｎ含有量がＩｎとＳｎの総量の３〜１０ｍ
ｏｌ％であるオゾンセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31895491A JP2962010B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | オゾンセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31895491A JP2962010B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | オゾンセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157718A JPH05157718A (ja) | 1993-06-25 |
| JP2962010B2 true JP2962010B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=18104848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31895491A Expired - Lifetime JP2962010B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | オゾンセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2962010B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU174115U1 (ru) * | 2017-02-21 | 2017-10-02 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Ордена Трудового Красного Знамени Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова Российской академии наук (ИХС РАН) | Гибкий интегральный газовый сенсор озона |
| CN120195237B (zh) * | 2025-05-26 | 2025-08-19 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器及制备方法和应用 |
-
1991
- 1991-12-03 JP JP31895491A patent/JP2962010B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05157718A (ja) | 1993-06-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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