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JP2970335B2 - Shape measuring device - Google Patents
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JP2970335B2 - Shape measuring device - Google Patents

Shape measuring device

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JP2970335B2
JP2970335B2 JP23360493A JP23360493A JP2970335B2 JP 2970335 B2 JP2970335 B2 JP 2970335B2 JP 23360493 A JP23360493 A JP 23360493A JP 23360493 A JP23360493 A JP 23360493A JP 2970335 B2 JP2970335 B2 JP 2970335B2
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panel
solution
measured
light
shape measuring
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朋彦 野田
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Nissan Motor Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、パネルなどの被測定体
の形状を測定する形状測定装置に関し、特に、被測定体
の変形が抑制された位置決め手段を有する形状測定装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a shape measuring device for measuring the shape of a measured object such as a panel, and more particularly to a shape measuring device having positioning means for suppressing deformation of the measured object.

【0002】[0002]

【従来の技術】パネルなどの被測定体の測定点の距離、
位置あるいは形状の測定には、形状測定装置が広く用い
られている。
2. Description of the Related Art The distance of a measurement point of an object to be measured such as a panel,
For measuring the position or the shape, a shape measuring device is widely used.

【0003】図4に示される装置は、被測定体の測定点
の位置を測定して被測定体の形状を認識する三次元形状
測定装置101である。この三次元形状測定装置101
は、載置されるパネルWなどの被測定体を位置決めする
位置決め部材103と、フレーム部材105に支持さ
れ、三次元空間内において自在に移動するロボットアー
ム3の先端部に取り付けられているレーザセンサ5とを
有している。
[0003] The apparatus shown in FIG. 4 is a three-dimensional shape measuring apparatus 101 for measuring the position of a measuring point on a measured object and recognizing the shape of the measured object. This three-dimensional shape measuring device 101
Are a positioning member 103 for positioning an object to be measured such as a panel W to be mounted, and a laser sensor mounted on a distal end of a robot arm 3 supported by a frame member 105 and freely movable in a three-dimensional space. 5 is provided.

【0004】このうち、位置決め部材103は、パネル
Wが載置されるパネル載置台107を有している。この
パネル載置台107の形状は、載置されるパネルWの形
状に対応する形状になっており、パネル載置台107に
載置されるパネルWの変形を防止するようになってい
る。そしてパネル載置台107に載置されたパネルW
は、クランプ部材(図示せず)により保持位置を挟持さ
れて、位置決め部材103上に確実に固定される。
The positioning member 103 has a panel mounting table 107 on which the panel W is mounted. The shape of the panel mounting table 107 is a shape corresponding to the shape of the panel W to be mounted, and prevents the panel W mounted on the panel mounting table 107 from being deformed. Then, the panel W mounted on the panel mounting table 107
Is securely held on the positioning member 103 by holding the holding position by a clamp member (not shown).

【0005】また、図5に示されるように、ロボットア
ーム3に取り付けられているレーザセンサ5は、レーザ
光Lsを照射する投光器7と、このレーザ光Lsにより
パネルW表面の測定点に形成される照射像Fからの光L
cを受光する受光部9とを有しており、受光部9におい
て測定される測定データから、パネルWの表面の測定点
のレーザセンサ5に対する相対位置を測定している。
[0005] As shown in FIG. 5, a laser sensor 5 attached to the robot arm 3 is formed at a measuring point on the surface of the panel W by a projector 7 for irradiating a laser beam Ls. L from the irradiated image F
and a light receiving unit 9 for receiving c. The position of the measurement point on the surface of the panel W relative to the laser sensor 5 is measured from the measurement data measured by the light receiving unit 9.

【0006】このレーザセンサ5とロボットアーム3
は、それぞれ制御盤109のセンサコントローラ11a
とロボットコントローラ11bに接続されている。これ
らからなるコントローラ11には、位置測定を行う際の
レーザセンサ5の位置が、予めティーチングペンダント
12から教示されるようになっており、コントローラ1
1は、予め教示された位置データに基づいてロボットア
ーム3やレーザセンサ5の動作を制御している。
The laser sensor 5 and the robot arm 3
Are the sensor controllers 11a of the control panel 109, respectively.
And the robot controller 11b. The controller 11 composed of the above is instructed from the teaching pendant 12 in advance about the position of the laser sensor 5 when performing position measurement.
Reference numeral 1 controls the operation of the robot arm 3 and the laser sensor 5 based on the position data taught in advance.

【0007】またコントローラ11は、測定された位置
データを基にして測定点のレーザセンサ5に対する相対
位置データを算出する相対位置演算部(位置算出手段)
13に接続されており、この演算部は測定点の絶対座標
での位置を算出する絶対位置算出部15に接続されてい
る。なお、ここでいう絶対座標とは、パネルが載置され
る位置決め部材に対する位置である。
The controller 11 calculates a relative position data (position calculating means) for calculating relative position data of the measuring point with respect to the laser sensor 5 based on the measured position data.
The calculation unit is connected to an absolute position calculation unit 15 that calculates the position of the measurement point in absolute coordinates. Here, the absolute coordinates are positions relative to a positioning member on which the panel is placed.

【0008】このような三次元形状測定装置によりパネ
ルの形状を測定する動作を簡単に説明する。まず、位置
決め部材103のパネル載置台107にパネルWが載置
されると、パネルWをクランプ部材により挟持して位置
決め部材103上に固定する。パネルWを固定すると、
ロボットアーム3を移動させて、ロボットアーム3の先
端部のレーザセンサ5を所定位置に移動させる。そして
投光器7からパネルWに向けてレーザ光Lsを照射する
と共に、パネルWの表面の測定点に形成された照射像F
からの光を受光部9で受光して、照射像Fが形成される
パネルWの表面の測定点の位置を測定する。このように
して測定された位置データを基にして、相対位置演算部
13で測定点のレーザセンサ5に対する相対位置を算出
する。そして、絶対位置演算部15において、この相対
位置データと測定時のレーザセンサ5の位置およびロボ
ットアーム3の回転角度とから測定点の絶対座標におけ
る位置を算出する。
The operation of measuring the shape of a panel by such a three-dimensional shape measuring apparatus will be briefly described. First, when the panel W is mounted on the panel mounting table 107 of the positioning member 103, the panel W is clamped by the clamp member and fixed on the positioning member 103. When panel W is fixed,
By moving the robot arm 3, the laser sensor 5 at the tip of the robot arm 3 is moved to a predetermined position. Then, the laser light Ls is emitted from the light projector 7 toward the panel W, and an irradiation image F formed at a measurement point on the surface of the panel W is formed.
Is received by the light receiving unit 9 and the position of the measurement point on the surface of the panel W where the irradiation image F is formed is measured. Based on the position data thus measured, the relative position calculation unit 13 calculates a relative position of the measurement point with respect to the laser sensor 5. Then, the absolute position calculation unit 15 calculates the position of the measurement point in absolute coordinates from the relative position data, the position of the laser sensor 5 at the time of measurement, and the rotation angle of the robot arm 3.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の位
置決め部材103では、パネルを、パネル載置台107
に載置すると共にクランプ部材で挟持することにより位
置決め部材103上に固定している。
As described above, in the conventional positioning member 103, the panel is mounted on the panel mounting table 107.
And is fixed on the positioning member 103 by being clamped by a clamp member.

【0010】しかしながら、形成されるパネルWの形状
は、常に完全に同一であるとはいえないので、パネルW
の形状とパネル載置台107の形状とが常に一致すると
はいえない。したがって、パネル載置台107にパネル
Wを載置すると、載置されたパネルWがパネル載置台1
07の形状に習って変形してしまうことがある。このよ
うにして被測定体であるパネルWが変形すると、上述し
た三次元形状測定装置にあっては、被測定体の形状を正
確に測定することができない。
However, since the shape of the formed panel W is not always completely the same, the panel W
Is not always the same as the shape of the panel mounting table 107. Therefore, when the panel W is mounted on the panel mounting table 107, the mounted panel W is moved to the panel mounting table 1.
It may be deformed following the shape of 07. When the panel W, which is the object to be measured, is deformed in this manner, the shape of the object to be measured cannot be accurately measured in the three-dimensional shape measuring apparatus described above.

【0011】また、比較的肉厚の薄いパネルにあって
は、クランプ部材で挟持されると変形してしまう。この
ような場合も、正確な測定を行うことはできない。
Further, a panel having a relatively small thickness is deformed when it is held by a clamp member. Even in such a case, accurate measurement cannot be performed.

【0012】このような問題点に鑑みてなされた本発明
は、被測定体であるパネル部品を、非腐食性の溶液中に
沈めた状態で固定することにより、パネル部品を変形さ
せることなく位置決めして測定する形状測定装置を提供
することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a problem, and a panel component, which is an object to be measured, is fixed in a state of being immersed in a non-corrosive solution, thereby positioning the panel component without deformation. It is an object of the present invention to provide a shape measuring device for performing measurement.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の形状測定装置は、被測定体が載置される載置
台を有する位置決め手段と、前記被測定体に対してレー
ザ光を照射する投光手段と照射されるレーザ光により前
記被測定体表面の測定点に形成される照射像からの光を
受光する受光手段とを有するレーザセンサと、前記受光
手段において測定される測定データから、前記被測定体
表面の測定点の位置を算出する位置算出手段とを有する
形状測定装置において、前記位置決め手段を、溶液が収
容される容器内に設置し、前記位置算出手段により算出
される前記測定点の位置を、前記溶液の大気に対する屈
折率を用いて補正する補正手段を、前記位置算出手段に
接続することを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a shape measuring apparatus, comprising: a positioning unit having a mounting table on which an object to be measured is mounted; A laser sensor having light emitting means for irradiating, and light receiving means for receiving light from an irradiation image formed at a measurement point on the surface of the object to be measured by the irradiated laser light, and measurement data measured by the light receiving means From the above, in a shape measuring apparatus having a position calculating means for calculating a position of a measurement point on the surface of the measured object, the positioning means is installed in a container containing a solution, and is calculated by the position calculating means Correction means for correcting the position of the measurement point using the refractive index of the solution with respect to the atmosphere is connected to the position calculation means.

【0014】[0014]

【作用】このように本発明の形状測定装置では、被測定
体であるパネル部品は溶液中に浸漬させた状態で位置決
め手段に位置決めされる。このように溶液中に浸漬され
ると、パネルに浮力が作用し、パネルの変形が抑制され
る。
As described above, in the shape measuring apparatus according to the present invention, the panel component as the object to be measured is positioned by the positioning means while being immersed in the solution. When immersed in the solution in this way, buoyancy acts on the panel, and deformation of the panel is suppressed.

【0015】また溶液に入射する際に屈折されるレーザ
光を用いて測定される相対位置データを、溶液の大気に
対する屈折率を用いて実際の相対位置データに補正す
る。
Further, the relative position data measured by using the laser beam refracted when entering the solution is corrected to the actual relative position data by using the refractive index of the solution with respect to the atmosphere.

【0016】[0016]

【実施例】次に本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。なお、すでに説明した部材と共通の部材には同一の
符号を付し、説明を省略する。図1は、本実施例の三次
元形状測定装置を示す図である。図示されるように、こ
の三次元形状測定装置1は、ロボットアーム3の先端部
に取り付けられるレーザセンサ5を有している。このレ
ーザセンサ5の構造は、従来技術において説明したレー
ザセンサ5と同様の構造であり、レーザ光Lsを照射す
る投光器(投光手段)7と、この投光器7から照射され
るレーザ光Lsにより被測定体つまりパネルW(図2参
照)の表面の測定点に形成される照射像Fからの光Lc
を受ける受光部(受光手段)9と有している。また図3
に示すように、ロボットアーム3とレーザセンサ5は、
それぞれロボットコントローラ11a、センサコントロ
ーラ11bに接続されている(図3参照)。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same reference numerals are given to members common to the members already described, and description thereof will be omitted. FIG. 1 is a diagram illustrating a three-dimensional shape measuring apparatus according to the present embodiment. As shown in the figure, the three-dimensional shape measuring apparatus 1 has a laser sensor 5 attached to a distal end of a robot arm 3. The structure of the laser sensor 5 is the same as that of the laser sensor 5 described in the related art, and is covered by a light projector (light emitting means) 7 for irradiating the laser light Ls and the laser light Ls emitted from the light projector 7. Light Lc from irradiation image F formed at a measurement point on the surface of a measurement object, that is, panel W (see FIG. 2)
And a light receiving unit (light receiving means) 9 for receiving the light. FIG.
As shown in the figure, the robot arm 3 and the laser sensor 5
Each is connected to the robot controller 11a and the sensor controller 11b (see FIG. 3).

【0017】そして、この三次元形状測定装置1は、パ
ネルWを位置決めする位置決め部材(位置決め手段)1
9を有している。図1に示されるように、この位置決め
部材19は、パネルWが載置される載置台21と、パネ
ルWの向きを定めるガイド部材23と、パネルWに形成
されている穴Hを位置決めするロケートピン25とから
なっており、パネルWを腐食させない溶液lを収容する
容器17の中に設置されている。なお、容器17内に収
容される溶液lとしては、例えば、ベンジンなどの揮発
油やアルコールなどを挙げることができる。
The three-dimensional shape measuring apparatus 1 includes a positioning member (positioning means) 1 for positioning the panel W.
9. As shown in FIG. 1, the positioning member 19 includes a mounting table 21 on which the panel W is mounted, a guide member 23 for determining the orientation of the panel W, and a locating pin for positioning a hole H formed in the panel W. 25, which is installed in a container 17 containing a solution 1 that does not corrode the panel W. In addition, as the solution 1 accommodated in the container 17, for example, a volatile oil such as benzene or alcohol can be used.

【0018】このように本実施例では、溶液l中に設置
される位置決め部材19に、パネルWを載置することに
なる。溶液l中においては、パネルWを移動させた際パ
ネルWに作用する抵抗が、大気中での抵抗に比べて大き
く、これによりパネルWの位置ずれを防止できる。この
ようなことから、本実施例の位置決め部材19のような
簡単な構造の位置決め手段を用いることができる。また
溶液l中においては、パネルWの移動に対する抵抗が大
きいので、パネルWを位置決め部材19にぶつけても衝
撃が小さく、傷が付きにくくなる。
As described above, in this embodiment, the panel W is mounted on the positioning member 19 installed in the solution 1. In the solution 1, the resistance acting on the panel W when the panel W is moved is larger than the resistance in the atmosphere, so that the displacement of the panel W can be prevented. For this reason, a positioning means having a simple structure such as the positioning member 19 of the present embodiment can be used. Further, in the solution 1, since the resistance to the movement of the panel W is large, even if the panel W collides with the positioning member 19, the impact is small and the panel W is hardly damaged.

【0019】さらに、パネルWを溶液lに浸漬させる
と、パネルWにはいわゆる浮力が働く。したがって、パ
ネルWに働く重力の影響は、大気中でパネルWに働く重
力から溶液l中で働く浮力を差し引いた力になる。つま
り、例えばパネルWの密度が8.0g重/cm3 であ
り、溶液lの密度が3.0g重/cm3 であれば、溶液
l中のパネルWに働く重力は単位体積(1cm3 )あた
り5.0g重である。このようにパネルWに働く重力
は、溶液l中の方が大気中に比較して小さくなる。した
がって、溶液l中では、パネルWの変形量が小さくな
る。なお、本実施例の位置決め部材19の載置台とし
て、パネルの形状に対応した形状のパネル載置台107
を用いてもよい。
Further, when the panel W is immersed in the solution 1, so-called buoyancy acts on the panel W. Therefore, the effect of the gravity acting on the panel W is a force obtained by subtracting the buoyancy acting in the solution 1 from the gravity acting on the panel W in the atmosphere. That is, for example, if the density of the panel W is 8.0 g weight / cm 3 and the density of the solution 1 is 3.0 g weight / cm 3, the gravity acting on the panel W in the solution 1 is 5.0 g / unit volume (1 cm 3). It weighs 0 g. Thus, the gravity acting on the panel W is smaller in the solution 1 than in the atmosphere. Therefore, the amount of deformation of the panel W in the solution 1 is small. In addition, as the mounting table of the positioning member 19 of this embodiment, a panel mounting table 107 having a shape corresponding to the shape of the panel is used.
May be used.

【0020】また容器17には、レーザセンサ5の投光
器7から照射されるレーザ光Lsを透過し得る光透過性
材料からなる蓋体33が取り付けられており、容器17
の内部を密封し得るようになっている。また蓋体33に
は、ホース27を介してポンプ29が接続されている。
このポンプ29は、溶液lを貯蔵する貯蔵タンク31に
接続されており、溶液lは貯蔵タンク31から容器17
内に供給される。したがって、図2に示すように、投光
器7から照射されたレーザ光Lsは、蓋体33と、容器
17内に収容される溶液lを透過して容器17内の位置
決め部材19に載置されるパネルWに照射される。そし
て、レーザ光Lsにより測定点に形成される照射像Fか
らの光Lcは、溶液lと蓋体33を透過した後、受光部
9により受光される。つまり、測定される相対位置デー
タそのものは、これらの物質の屈折率の影響を受けてお
り、実際の相対位置を示すデータに補正する必要があ
る。なお、光透過性材料としては、例えば光透過性樹脂
やガラスなどを挙げることができる。
Further, the container 17 is provided with a lid 33 made of a light transmitting material capable of transmitting the laser beam Ls emitted from the projector 7 of the laser sensor 5.
The inside can be sealed. The pump 33 is connected to the lid 33 via the hose 27.
The pump 29 is connected to a storage tank 31 for storing the solution 1, and the solution 1 is transferred from the storage tank 31 to the container 17.
Supplied within. Therefore, as shown in FIG. 2, the laser beam Ls emitted from the light projector 7 passes through the lid 33 and the solution 1 stored in the container 17 and is placed on the positioning member 19 in the container 17. The panel W is irradiated. Then, the light Lc from the irradiation image F formed at the measurement point by the laser light Ls passes through the solution 1 and the lid 33 and is received by the light receiving unit 9. That is, the measured relative position data itself is affected by the refractive index of these substances, and needs to be corrected to data indicating the actual relative position. In addition, as a light transmissive material, a light transmissive resin, glass, etc. can be mentioned, for example.

【0021】したがって、本実施例の三次元形状測定装
置1は、図3に示すように、制御部10の内部に測定さ
れた相対位置データを実際の相対位置データに補正する
補正処理部(補正手段)35を有している。この補正処
理部35は、レーザセンサ5を制御するセンサコントロ
ーラ11aとロボットアーム3の動作を制御するロボッ
トコントローラ11bとからなるコントローラ11に接
続する相対位置演算部13に接続されている。したがっ
て、相対位置演算部13で算出された相対位置データ
は、この補正処理部35で、実際の相対位置データに補
正された後、測定点の絶対位置を算出する絶対位置演算
部15に送られる。
Accordingly, as shown in FIG. 3, the three-dimensional shape measuring apparatus 1 of this embodiment corrects relative position data measured inside the control unit 10 to actual relative position data (correction processing unit). Means 35. The correction processing unit 35 is connected to the relative position calculation unit 13 connected to the controller 11 including the sensor controller 11a for controlling the laser sensor 5 and the robot controller 11b for controlling the operation of the robot arm 3. Therefore, the relative position data calculated by the relative position calculation unit 13 is corrected to the actual relative position data by the correction processing unit 35, and then sent to the absolute position calculation unit 15 that calculates the absolute position of the measurement point. .

【0022】なお補正方法には種々の手法があり、適宜
選択して用いることができる。例えば、蓋体33および
溶液lの屈折率、蓋体33の厚さおよびレーザセンサ5
から蓋体33までの距離Dを用いてレーザ光の光路を求
め、測定データを実際の相対位置データに補正する手法
などがある。
There are various correction methods, which can be appropriately selected and used. For example, the refractive index of the lid 33 and the solution 1, the thickness of the lid 33 and the laser sensor 5
There is a method of obtaining the optical path of the laser beam using the distance D from the object to the lid 33 and correcting the measured data to the actual relative position data.

【0023】次に、このような三次元形状測定装置によ
ってパネルの形状を測定する際の三次元形状測定装置の
動作を説明する。まず、パネルWを腐食させない溶液l
を、ポンプ29を用いて溢れない程度に容器17内に供
給する。このように溶液lの供給量に、ある程度余裕を
もたせると、続いてパネルWを浸漬する際に溶液lが溢
れることがない。
Next, the operation of the three-dimensional shape measuring device when measuring the shape of the panel with the three-dimensional shape measuring device will be described. First, a solution 1 that does not corrode the panel W
Is supplied into the container 17 using the pump 29 so as not to overflow. If the supply amount of the solution 1 has a certain margin, the solution 1 does not overflow when the panel W is subsequently immersed.

【0024】溶液lの供給が終了すると、パネルWを容
器17内の位置決め部材19に載置する。つまり図2に
示すように、パネルWを溶液lの中に浸漬させた状態で
位置決め部材19上に載置するのである。この位置決め
部材19は、パネルWに形成される穴Hを位置決めする
ロケートピン25と、パネルWの向きを決定するガイド
部材23とを有しており、これらの部材23,25によ
って位置決め部材19に載置されるパネルWを位置決め
すると共に固定している。
When the supply of the solution 1 is completed, the panel W is placed on the positioning member 19 in the container 17. That is, as shown in FIG. 2, the panel W is placed on the positioning member 19 while being immersed in the solution 1. The positioning member 19 has a locating pin 25 for positioning a hole H formed in the panel W and a guide member 23 for determining the direction of the panel W. The positioning member 19 is mounted on the positioning member 19 by these members 23 and 25. The panel W to be placed is positioned and fixed.

【0025】パネルWを位置決め部材19に載置する
と、蓋体33を閉じて容器17内を密閉し、その後、溶
液lをさらに供給して容器17内に気体が残らないよう
にする。例えば、溶液lと蓋体33の間に大気の層が形
成されると、測定される相対位置データを補正する際
に、この大気層の厚さを考慮しなければならなず、測定
手順が繁雑になると共に測定精度が低下してしまうから
である。また、容器17内に気体が残らないように溶液
lを供給すると、溶液lの表面が波うつようなことがな
く、正確な測定を行うことができる。
When the panel W is mounted on the positioning member 19, the lid 33 is closed to seal the inside of the container 17, and then the solution 1 is further supplied so that no gas remains in the container 17. For example, if an air layer is formed between the solution 1 and the lid 33, the thickness of the air layer must be taken into account when correcting the measured relative position data, and the measurement procedure is This is because the measurement becomes complicated and the measurement accuracy decreases. Further, when the solution 1 is supplied so that the gas does not remain in the container 17, the surface of the solution 1 does not become wavy and accurate measurement can be performed.

【0026】このようにしてパネルWの固定が終了する
と、続いてロボットアーム3の先端部に取り付けられる
レーザセンサ5によりパネルWの測定点の位置測定を行
う。この測定動作は、すでに説明した通りである。すな
わち、まず、ロボットアーム3の先端部に取り付けられ
るレーザセンサ5を、予めティーチングペンダント12
によりコントローラ11に教示されている所定位置に移
動させる。続いて、所定位置に移動されたレーザセンサ
5の投光器7からレーザ光LsをパネルW表面の測定点
に照射して照射像Fを形成する。レーザセンサ5の受光
部9は、この照射像Fからの光Lcを受光して、照射像
Fが形成される測定点の位置データを検出する。検出さ
れる位置データは相対位置演算部13に送られ、相対位
置の算出に用いられる。このレーザセンサ5と測定点と
の相対位置が算出する。このようにして測定された相対
位置データを補正処理部35に送信し、時差の相対位置
データを算出する。
When the fixing of the panel W is completed as described above, the position of the measurement point of the panel W is measured by the laser sensor 5 attached to the tip of the robot arm 3. This measuring operation is as described above. That is, first, the laser sensor 5 attached to the distal end of the robot arm 3 is previously set to the teaching pendant 12.
Is moved to a predetermined position taught by the controller 11. Subsequently, a laser beam Ls is emitted from the light projector 7 of the laser sensor 5 moved to a predetermined position to a measurement point on the surface of the panel W to form an irradiation image F. The light receiving section 9 of the laser sensor 5 receives the light Lc from the irradiation image F and detects position data of a measurement point where the irradiation image F is formed. The detected position data is sent to the relative position calculation unit 13 and used for calculating the relative position. The relative position between the laser sensor 5 and the measurement point is calculated. The relative position data measured in this way is transmitted to the correction processing unit 35, and the relative position data of the time difference is calculated.

【0027】算出された実際の相対位置データは、次の
絶対座標算出部15に送られ、レーザセンサ5の絶対座
標における位置データとから、測定点の絶対座標におけ
る位置が算出される。このような手順で各測定点の絶対
座標上の位置を求めることにより、パネルの三次元形状
を測定する。
The calculated actual relative position data is sent to the next absolute coordinate calculation unit 15, and the position of the measurement point in the absolute coordinates is calculated from the position data of the laser sensor 5 in the absolute coordinates. The three-dimensional shape of the panel is measured by obtaining the position on the absolute coordinates of each measurement point in such a procedure.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上のように本発明によると、溶液に浸
漬させた状態で被測定体を位置決め手段に固定するの
で、被測定体に浮力が働き、被測定体の変形が抑制され
る。また容器内に収容される溶液中では、大気中に比較
して、物体を容易に静止させることができるので、パネ
ルを確実に固定する位置決め手段として、極めて簡単な
構造の位置決め手段を用いることができる。
As described above, according to the present invention, the object to be measured is fixed to the positioning means while being immersed in the solution, so that buoyancy acts on the object to be measured and deformation of the object to be measured is suppressed. Also, in a solution contained in a container, an object can be easily stopped still compared to the atmosphere, so that a positioning means having an extremely simple structure is used as a positioning means for securely fixing a panel. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本実施例の三次元形状測定装置を示す斜視図
である。
FIG. 1 is a perspective view showing a three-dimensional shape measuring apparatus according to the present embodiment.

【図2】 本実施例の三次元形状測定装置を示す側断面
図である。
FIG. 2 is a side sectional view showing the three-dimensional shape measuring apparatus of the present embodiment.

【図3】 本実施例の制御部および位置算出手段を示す
ブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram illustrating a control unit and a position calculating unit according to the present embodiment.

【図4】 従来の三次元形状測定装置を示す概略斜視図
である。
FIG. 4 is a schematic perspective view showing a conventional three-dimensional shape measuring apparatus.

【図5】 従来の三次元形状測定装置の制御部を示すブ
ロック図である。
FIG. 5 is a block diagram showing a control unit of a conventional three-dimensional shape measuring apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…三次元形状測定装置、3…ロボットアーム、 5
…レーザセンサ、7…投光器、 9…受光
部、 11…コントローラ、13…相対位置演
算部、 15…絶対位置演算部 17…容器、19…
位置決め部材、 21…載置台、 29…ホース、
33…蓋体。
1. 3D shape measuring device, 3. Robot arm, 5.
... Laser sensor, 7 ... Light emitter, 9 ... Light receiving section, 11 ... Controller, 13 ... Relative position calculation section, 15 ... Absolute position calculation section 17 ... Container, 19 ...
Positioning member, 21: mounting table, 29: hose,
33 ... lid.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被測定体が載置される載置台を有する位
置決め手段と、前記被測定体に対してレーザ光を照射す
る投光手段と照射されるレーザ光により前記被測定体表
面の測定点に形成される照射像からの光を受光する受光
手段とを有するレーザセンサと、前記受光手段において
測定される測定データから、前記被測定体表面の測定点
の位置を算出する位置算出手段とを有する形状測定装置
において、 前記位置決め手段を、溶液が収容される容器内に設置
し、 前記位置算出手段により算出される前記測定点の位置
を、前記溶液の大気に対する屈折率を用いて補正する補
正手段を、前記位置算出手段に接続することを特徴とす
る形状測定装置。
A measuring device for irradiating the measuring object with laser light; and a measuring means for measuring the surface of the measuring object by the irradiating laser light. A laser sensor having light receiving means for receiving light from an irradiation image formed at a point, and position calculating means for calculating a position of a measurement point on the surface of the measured object from measurement data measured by the light receiving means. In the shape measuring device having the above, the positioning means is installed in a container accommodating the solution, and the position of the measurement point calculated by the position calculating means is corrected using a refractive index of the solution with respect to the atmosphere. A shape measuring device, wherein a correcting means is connected to the position calculating means.
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