JP2970832B2 - Signal processing circuit for particle detector - Google Patents
Signal processing circuit for particle detectorInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、微粒子検出器の信号
処理回路に関し、詳しくは、分割ＡＰＤ（アバランシェ
ホトダイオード）を受光器とする微粒子検出器におけ
る、分割ＡＰＤの各受光素子に対する信号処理回路に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a signal processing circuit for a particle detector, and more particularly, to a signal processing circuit for each light receiving element of a divided APD in a particle detector using a divided APD (avalanche photodiode) as a light receiver. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３は微粒子検出器の基本構成を示し、
１は検出セル、２は信号処理回路である。微粒子検出に
おいては、噴射ノズル11より微粒子を含むサンプルエア
ＡS が検出セル１内に噴射され、排出ノズル12より排出
される。これに対して、レーザ管131 と外部ミラー132
よりなるレーザ発振器13が設けられ、発振したレーザビ
ームＬB がサンプルエアＡS に直交して検出領域Ｋが形
成され、この中の微粒子が散乱する散乱光ＬR を結像レ
ンズ14により受光器15に結像し、その出力信号を信号処
理回路２により処理して微粒子が検出される。なお、出
力信号にはレーザビームＬB の強度変動によるノイズ
や、サンプルエアＡS のエア分子の散乱によるレーリノ
イズが含まれているので、信号処理回路２により各ノイ
ズを消去または除去して異物のみが検出される。受光器
15には、当初は光電子増倍管（ホトマル）が使用されて
いたが、最近は、半導体内の電子のなだれ現象を利用し
て高い倍増作用がえられ、取り扱いが便利なＡＰＤ（ア
バランシェホトダイオード）が使用されている。さら
に、ＡＰＤを複数の受光素子に分割した分割ＡＰＤを使
用し、ノイズを分割して受光することによりＳ／Ｎ比の
向上が図られている。2. Description of the Related Art FIG. 3 shows a basic structure of a particle detector.
1 is a detection cell and 2 is a signal processing circuit. In particle detector, the sample air A S containing fine particles from the injection nozzle 11 is injected into the detection cell 1 is discharged from the discharge nozzle 12. In contrast, the laser tube 131 and the external mirror 132
Laser oscillator 13 is provided to become more, the laser beam L B is the detection region K perpendicular to the sample air A S is formed, the photodetector scattered light L R in which fine particles in this is scattered by an imaging lens 14 oscillated An image is formed on the image 15 and the output signal is processed by the signal processing circuit 2 to detect fine particles. Incidentally, noise or by intensity variation of the laser beam L B is the output signal, because it contains Rerinoizu due to scattering of the air molecules in the sample air A S, the foreign matter to erase or remove the noise by the signal processing circuit 2 only Is detected. Receiver
At first, a photomultiplier tube (photomultiplier) was used for the 15, but recently, an avalanche photodiode (APD), which has a high doubling effect using the avalanche phenomenon of electrons in a semiconductor and is easy to handle, has been obtained. Is used. Furthermore, the S / N ratio is improved by using a divided APD in which the APD is divided into a plurality of light receiving elements and dividing and receiving the noise.
【０００３】図４は上記の分割ＡＰＤに対する、従来の
信号処理回路２の構成を示し、図５は信号処理回路２の
検出動作説明用の信号波形図である。図４において、分
割ＡＰＤ15は複数ｎ個の素子ｅ1 〜ｅn に分割されてお
り、信号処理回路２には、各受光素子ｅに対応するｎ個
のオペアンプ21-1〜21-nが設けられ、隣接する２個の受
光素子ｅ1 とｅ2,……に対応する、オペアンプ21-1と21
-2, ……の２個づつを組合せる。各組合せに対して、ｎ
個の差動ンプ22-1〜22-n2 を設け、各２個のオペアンプ
21のそれぞれの出力を、２個の差動アンプ22の＋入力端
子と−入力端子に対して、図示のように交差して接続す
る。さらに、各差動アンプ22に対して、それぞれｎ個の
低域フィルタ（ＬＰＦ）23-1〜23-nと、反転アンプ24-1
〜24-n、可変抵抗25-1〜25-n、およびコンパレータ26-1
〜26-nが設けられ、図示のようにタンデムに接続されて
いる。FIG. 4 shows a configuration of a conventional signal processing circuit 2 for the above-mentioned divided APD, and FIG. 5 is a signal waveform diagram for explaining a detection operation of the signal processing circuit 2. 4, divided APD15 is divided into a plurality of n elements e 1 to e n, the signal processing circuit 2, provided are n operational amplifiers 21 - 1 to 21-n corresponding to the light receiving elements e And op-amps 21-1 and 21 corresponding to two adjacent light receiving elements e 1 and e 2 ,.
-2, ……. For each combination, n
Two differential amplifiers 22-1 to 22-n2, two operational amplifiers each
The outputs 21 are connected to the + input terminal and the − input terminal of the two differential amplifiers 22 as shown in FIG. Further, for each differential amplifier 22, n low-pass filters (LPF) 23-1 to 23-n and an inverting amplifier 24-1
~ 24-n, variable resistors 25-1 ~ 25-n, and comparator 26-1
26-n are provided and connected in tandem as shown.
【０００４】以下図４に図５を併用して、上記の信号処
理回路２による微粒子検出動作を説明する。図４におい
て、微粒子の散乱光ＬR は各受光素子ｅ1 〜ｅn のいず
れかに受光される。これに対して、散乱光ＬR に含まれ
たノイズは各受光素子ｅに１／ｎに分割して受光され、
分割されたノイズＮと、微粒子に対するパルスｐとの受
光電流が出力され、これらは対応するオペアンプ21によ
り電圧に変換される。図５(a) は２個のオペアンプ21-
1,21-2 の出力信号Ｓ1,Ｓ2 の波形を示す。両出力信号
Ｓ1,Ｓ2 には、上記により分割されたノイズＮがそれぞ
れ存在するが、受光素子ｅ1 とｅ2 が隣接しているの
で、これらのノイズＮの強度と分布はほとんど等しい。
いま例として、出力信号Ｓ1 には、時点ｔ1 にパルスｐ
1 が、また出力信号Ｓ2 には、時点ｔ2 にパルスｐ2 が
それぞれ存在しているとする。両出力信号Ｓ1,Ｓ2 が差
動アンプ22-1,22-2 に交差して入力すると、それぞれの
差分演算によりノイズＮは差し引きされて消去し、各差
動アンプ22より、図５(b) に示す信号Ｒ1,Ｒ2 が出力さ
れる。信号Ｒ1 には、極性が反転されたパルスｐ1 と反
転されないパルスｐ2 がえられ、また、信号Ｒ2 には、
反転されないパルスｐ1 と、反転されたパルスｐ2 がえ
られる。各パルスｐには高周波ノイズがありうるので、
これらはＬＰＦ23-1,23-2 により除去され、ついで各パ
ルスｐ1,ｐ2 は反転アンプ24-1,24-2 により極性が反転
され、可変抵抗25-1,25-2 によりレベルが調整された
後、コンパレータ26-1,26-2 によりそれぞれ検出され
る。以上の処理手順は、２個のオペアンプ21の各組合せ
に対して同様になされ、各受光素子ｅのノイズＮは消去
され、微粒子のパルスｐはコンパレータ26-1〜36-nのい
ずれかにより検出される。各コンパレータ26の検出信号
はワイヤードオアされ、図５(c) に示す微粒子データＤ
が出力される。[0006] The operation of detecting particles by the signal processing circuit 2 will be described below with reference to FIGS. 4, the scattered light L R of the fine particles is received by one of the light receiving elements e 1 to e n. On the other hand, the noise included in the scattered light L R is received by each of the light receiving elements e after being divided into 1 / n.
Light-receiving currents of the divided noise N and the pulse p for the fine particles are output, and these are converted into voltages by the corresponding operational amplifier 21. Fig. 5 (a) shows two operational amplifiers 21-
Shows the output signals S 1, S 2 of the waveform of 1,21-2. The noises N divided as described above are present in both output signals S 1 and S 2. However, since the light receiving elements e 1 and e 2 are adjacent to each other, the intensity and distribution of these noises N are almost equal.
As an example, the output signal S 1 has a pulse p at time t 1.
1 and the output signal S 2 have a pulse p 2 at time t 2 . When the two output signals S 1 and S 2 cross and enter the differential amplifiers 22-1 and 22-2, the noise N is subtracted and erased by the respective difference operations, and each differential amplifier 22 removes the noise N from FIG. The signals R 1 and R 2 shown in b) are output. The signals R 1, polarity pulse p 2 which is not inverted pulse p 1 which is inverted is example, also, the signal R 2 is
A pulse p 1 is not inverted, a pulse p 2 will be obtained which is inverted. Since each pulse p can have high frequency noise,
These are removed by LPFs 23-1 and 23-2, then the polarity of each pulse p 1 and p 2 is inverted by inverting amplifiers 24-1 and 24-2, and the levels are adjusted by variable resistors 25-1 and 25-2. After that, they are detected by the comparators 26-1 and 26-2, respectively. The above processing procedure is similarly performed for each combination of the two operational amplifiers 21. The noise N of each light receiving element e is eliminated, and the pulse p of the fine particles is detected by one of the comparators 26-1 to 36-n. Is done. The detection signal of each comparator 26 is wired OR, and the fine particle data D shown in FIG.
Is output.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の信号処理
回路２は、分割ＡＰＤのｎ個の各受光素子ｅに対応し
て、それぞれｎ個のオペアンプ21と、差動アンプ22、Ｌ
ＰＦ23、反転アンプ24、可変抵抗25、およびコンパレー
タ26が設けられ、ノイズＮを消去して良好なＳ／Ｎ比で
微粒子を検出できる、いわばオーソドックスな回路構成
ではある。しかし、なにぶんにも構成部品の点数が多く
て繁雑であり、構成経費が嵩む欠点がある。そこで微粒
子検出性能を低下せずに、これを改良して部品点数を減
少し、経費を節減することが望ましい。この発明は、以
上に鑑みてなされたもので、微粒子検出性能を低下する
ことなく、部品点数を可及的に減少して、より簡易に構
成された信号処理回路を提供することを目的とする。The signal processing circuit 2 has n operational amplifiers 21 and differential amplifiers 22 and L corresponding to the n light receiving elements e of the divided APD.
A PF 23, an inverting amplifier 24, a variable resistor 25, and a comparator 26 are provided, which is a so-called orthodox circuit configuration capable of eliminating noise N and detecting fine particles with a good S / N ratio. However, there are disadvantages in that the number of component parts is large and complicated, and the construction cost increases. Therefore, it is desirable to improve the particle detection performance without reducing the number of parts and reduce the cost without reducing the performance. The present invention has been made in view of the above, and it is an object of the present invention to provide a signal processing circuit having a simpler configuration by reducing the number of components as much as possible without deteriorating the particle detection performance. .
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成した信号処理回路であって、前記した分割ＡＰＤを
受光器とする微粒子検出器において、隣接するあるいは
所定距離離れた２個の受光素子に対応するオペアンプの
２個づつを１組とし、各組の２個のオペアンプの出力信
号の差分をそれぞれ算出するｎ／２個（ただしｎ／２は
複数）の差動アンプと、各差動アンプに対して順次に接
続される、それぞれｎ／２個の、低域フィルタ、反転ア
ンプ、および可変抵抗と、ならびに、ｎ個のコンパレー
タとを有し、コンパレータの２個づつを１組とし、＋極
と−極の微粒子パルスをそれぞれ検出するｎ／２組の検
出部が構成されているものである。 According to the present invention, there is provided a signal processing circuit which achieves the above object. In a particle detector using the above-mentioned divided APD as a light receiving device, two light receiving devices which are adjacent to each other or separated by a predetermined distance are provided. Each set of two operational amplifiers corresponding to the element is set as one set, and the difference between the output signals of the two operational amplifiers in each set is calculated as n / 2 pieces (where n / 2 is
A differential amplifier s), Ru are sequentially connected for the differential amplifiers, n / 2 pieces of each low-pass filter, an inverting amplifier, and a variable resistor, and, the n comparators , Two comparators are set as one set, and n / 2 sets of detection units for detecting the + and-pole particle pulses are configured .
【０００７】[0007]
【作用】上記の信号処理回路においては、複数ｎ個のオ
ペアンプは、２個づつが１組とされ、各組の２個のオペ
アンプの出力信号は、ｎ／２個の差動アンプによりそれ
ぞれの差分が算出される。両出力信号には隣接する２個
の受光素子よりの、ほとんど等しいノイズＮが含まれて
おり、この差分算出により、両ノイズＮは差し引きされ
て消去し、一方の出力信号中の微粒子パルスは極性が反
転され、他方の出力信号中の微粒子パルスは反転されず
に、差動アンプより出力される。出力された各微粒子パ
ルスは、それぞれｎ／２個の低域フィルタにより高周波
ノイズが除去され、反転アンプにより極性が反転され、
可変抵抗によりレベルが調整された後、ｎ／２組の検出
部に入力し、これらの２個のコンパレータにより、＋極
と−極の微粒子パルスがそれぞれ検出される。要するに
上記の信号処理回路においては、各受光素子ｅのノイズ
Ｎは、差動アンプより消去されるので、従来と同様の
Ｓ／Ｎ比がえられる。また、差動アンプが出力する微粒
子パルスは、反転され、または反転されずに、−極また
は＋極として、ともに出力され、これらを２個のコンパ
レータにより検出するもので、検出性能も従来と同様で
ある。さらに、差動アンプの個数がｎ個であるので、低
域フィルタ、反転アンプ、および可変抵抗の個数も、す
べてｎ／２個で十分であり、これらは従来の半数に減少
されて信号処理回路が簡易化され、その分構成経費が節
減されるものである。In the above-described signal processing circuit, a plurality of n operational amplifiers are grouped into two sets, and the output signals of the two operational amplifiers in each set are respectively set by n / 2 differential amplifiers. A difference is calculated. Both output signals contain almost equal noise N from two adjacent light receiving elements. By calculating this difference, both noises N are subtracted and eliminated, and the fine particle pulse in one output signal has a polarity Is inverted, and the fine particle pulse in the other output signal is output from the differential amplifier without being inverted. Each of the output fine-particle pulses has its high-frequency noise removed by n / 2 low-pass filters, and its polarity is inverted by an inverting amplifier.
After the level is adjusted by the variable resistor, the signal is input to n / 2 sets of detectors, and these two comparators detect the positive and negative pole particle pulses, respectively. In short, in the above-described signal processing circuit, since the noise N of each light receiving element e is eliminated by the differential amplifier,
The S / N ratio is obtained. Also, the fine particle pulse output from the differential amplifier is inverted or not inverted, and is output together as a negative pole or a positive pole, and these are detected by two comparators. It is. Further, since the number of differential amplifiers is n, the number of low-pass filters, inverting amplifiers, and variable resistors is also all that is required to be n / 2. This reduces the complexity of the signal processing circuit, thereby reducing the construction cost.
【０００８】[0008]
【実施例】図１は、この発明の一実施例における信号処
理回路２’の構成図を示し、図２は、信号処理回路２’
の動作説明用の信号波形図である。図１に示す信号処理
回路２’は、図４の従来の信号処理回路２と同様に、そ
れぞれ複数ｎ個のオペアンプ21-1〜21-nと、コンパレー
タ26-1〜26-nを有する。ただし、各コンパレータ26は単
独に使用せず、２個づつ組合せて複数（ｎ／２）組の検
出部Ｑ1 〜Ｑ(n/2) を構成する。また、それぞれ（ｎ／
２）個の差動アンプ22、ＬＰＦ23、反転アンプ24、およ
び可変抵抗25を設ける。これらは、従来はそれぞれｎ個
であったが、すべて半減する。複数ｎ個のオペアンプ21
は、分割ＡＰＤ15の隣接する２個の受光素子ｅに対応す
る２個づつが１組とされ、各組の２個のオペアンプ21
は、１個の差動アンプ22の−入力端子と、＋入力端子に
接続され、各差動アンプ22の出力側には、ＬＰＦ23、反
転アンプ24、可変抵抗25がタンデムに接続され、各可変
抵抗25の可変端子は、各検出部Ｑの２個のコンパレータ
26（コンパレータ26-1,26-2、…、26-(n-1),26-nの各２
個の代表として）の一方の−入力端子と他方の＋入力端
子にそれぞれ接続される。FIG. 1 is a block diagram of a signal processing circuit 2 'according to an embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 6 is a signal waveform diagram for explaining the operation of FIG. The signal processing circuit 2 'shown in FIG. 1 has a plurality of n operational amplifiers 21-1 to 21-n and comparators 26-1 to 26-n, respectively, similarly to the conventional signal processing circuit 2 of FIG. However, each of the comparators 26 is not used independently, but two (two) of them are combined to form a plurality (n / 2) of sets of detection sections Q 1 to Q (n / 2). In addition, each (n /
2) The differential amplifier 22, the LPF 23, the inverting amplifier 24, and the variable resistor 25 are provided. Conventionally, each of them is n, but all are reduced by half. Multiple n operational amplifiers 21
Are two sets corresponding to two light receiving elements e adjacent to the divided APD 15 as one set, and each set of two operational amplifiers 21
Is connected to the-input terminal and the + input terminal of one differential amplifier 22, and the output side of each differential amplifier 22 is connected in tandem with an LPF 23, an inverting amplifier 24, and a variable resistor 25, The variable terminal of the resistor 25 is the two comparators of each detector Q
26 (2 each of comparators 26-1, 26-2, ..., 26- (n-1), 26-n
Are connected to one negative input terminal and the other positive input terminal.
【０００９】以下、図２を併用して信号処理回路２’に
よる微粒子検出動作を説明する。いま、２個のオペアン
プ21-1,21-2 の出力信号を、図２(a) に示すＳ1,Ｓ2 と
し、両信号Ｓ1,Ｓ2 には、前記したように強度と分布が
ほとんど等しいノイズＮが含まれており、出力信号Ｓ1
には、時点ｔ1 にパルスｐ1 が、また出力信号Ｓ2 に
は、時点ｔ2 にパルスｐ2 がそれぞれ存在しているとす
る（図５(a) の場合と同じ）。両出力信号Ｓ1,Ｓ2 が差
動アンプ22-1に入力すると、両者のノイズＮは差し引き
されて消去し、図２(b) に示す極性が反転されたパルス
ｐ1 と反転されないパルスｐ2 を有する信号Ｒ1 が出力
される。各パルスｐには高周波ノイズがありうるので、
これがＬＰＦ23-1により除去され、ついで各パルスｐ1,
ｐ2 は反転アンプ24-1により極性が反転され、可変抵抗
25-1によりレベルが調整される。ここまでは従来と全く
同じ処理である。ただしこの場合は、従来の場合の信号
Ｒ2 （図５(b) 参照）は利用できないし、また利用もし
ない。上記によりレベル調整された各パルスｐは検出部
Ｑ1 に入力し、コンパレータ26-1によりパルスｐ1 が、
またコンパレータ26-2によりパルスｐ2 がそれぞれ検出
される。以上の処理手順は、２個のオペアンプ21の各組
合せに対して同様になされ、各受光素子ｅのノイズＮは
それぞれの差動アンプ22により消去され、微粒子のパル
スｐは検出部Ｑ1 〜Ｑ(n/2) のいずれかにより検出され
る。各検出部Ｑの検出信号はワイヤードオアされ、図
(c) に示す微粒子データＤが出力される。Hereinafter, the particle detecting operation by the signal processing circuit 2 'will be described with reference to FIG. Now, let the output signals of the two operational amplifiers 21-1 and 21-2 be S 1 and S 2 shown in FIG. 2A, and the signals S 1 and S 2 have the intensity and distribution as described above. Almost equal noise N is included, and the output signal S 1
The pulse p 1 to time t 1, but also the output signal S 2, a pulse p 2 at time t 2 is present respectively (same as FIG. 5 (a)). When the two output signals S 1 and S 2 are input to the differential amplifier 22-1, the noise N of the two is subtracted and eliminated, and the pulse p 1 whose polarity is inverted and the pulse p 1 which is not inverted as shown in FIG. signal R 1 having two is output. Since each pulse p can have high frequency noise,
This is removed by the LPF 23-1, and then each pulse p 1 ,
p 2 is polarity is inverted by the inverting amplifier 24-1, a variable resistor
25-1 adjusts the level. The processing so far is exactly the same as the conventional processing. However, in this case, the signal R 2 (see FIG. 5 (b)) in the conventional case cannot be used or used. Each pulse p whose levels are controlled by the inputs to the detection unit Q 1, the pulse p 1 by the comparator 26-1,
The pulse p 2 are respectively detected by the comparator 26-2. Above procedure is done in the same manner for each combination of two operational amplifiers 21, the noise N of the light receiving element e is erased by the respective differential amplifiers 22, the pulse p microparticles detector Q 1 to Q (n / 2). The detection signal of each detection unit Q is wired-OR,
Fine particle data D shown in (c) is output.
【００１０】[0010]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による信
号処理回路は、微粒子検出性能が低下することなく、構
成部品の差動アンプ、低域フィルタ、反転アンプ、およ
び可変抵抗は、それぞれの個数が従来の半数のｎ／２個
に減少され、これによる構成の簡易化と経費の節減がな
される効果には大きいものがある。As described above, in the signal processing circuit according to the present invention, the number of differential amplifiers, low-pass filters, inverting amplifiers, and variable resistors of the constituent parts can be reduced without reducing the particle detection performance. Is reduced to n / 2, which is half of the conventional case, and there is a great effect that the configuration is simplified and the cost is reduced.
【図１】 図１はこの発明の一実施例における信号処理
回路２’の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a signal processing circuit 2 ′ according to an embodiment of the present invention.
【図２】 図２は信号処理回路２’の動作説明用の信号
波形図である。FIG. 2 is a signal waveform diagram for explaining the operation of the signal processing circuit 2 ′.
【図３】 図３は微粒子検出器の基本構成図である。FIG. 3 is a basic configuration diagram of a particle detector.
【図４】 図４は従来の信号処理回路２の構成図であ
る。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional signal processing circuit 2.
【図５】 図５は従来の信号処理回路２の動作用の信号
波形図である。FIG. 5 is a signal waveform diagram for operation of the conventional signal processing circuit 2.
１…検出セル、11…噴射ノズル、12…排出ノズル、13…
レーザ発振器、14…結像レンズ、15…受光器または分割
ＡＰＤ、２…従来の信号処理回路、21-1〜21-n…オペア
ンプ、22-1〜22-n…差動アンプ 23-1〜23-n…低域フィルタ（ＬＰＦ）、24-1〜24-n…反
転アンプ、26-1〜26-n…コンパレータ、２’…この発明
の信号処理回路、ＡＰＤ…アバランシェホトダイオー
ド、ｅ1 〜ｅn …分割ＡＰＤの受光素子、Ｎ…各受光素
子ｅのノイズ、Ｓ1,Ｓ2 …オペアンプの出力信号、ｐ1,
ｐ2 …微粒子のパルス、Ｒ1,Ｒ2 …差動アンプの出力信
号、Ｑ1 〜Ｑ(n/2) …検出部、Ｄ…微粒子データ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Detection cell, 11 ... Injection nozzle, 12 ... Discharge nozzle, 13 ...
Laser oscillator, 14 imaging lens, 15 photodetector or split APD, 2 conventional signal processing circuit, 21-1 to 21-n operational amplifier, 22-1 to 22-n differential amplifier 23-1 to 23-n: low-pass filter (LPF), 24-1 to 24-n: inverting amplifier, 26-1 to 26-n: comparator, 2 ': signal processing circuit of the present invention, APD: avalanche photodiode, e 1 to e n ... photodetector divided APD, n ... light-receiving elements e of the noise, S 1, S 2 ... output signal of the operational amplifier, p 1,
p 2 : fine particle pulse; R 1 , R 2 : differential amplifier output signal; Q 1 to Q (n / 2): detecting section; D: fine particle data.
Claims (1)
る分割アバランシェホトダイオードを受光器とし、各受
光素子に対応するｎ個のオペアンプを具備する微粒子検
出器において、隣 接するあるいは所定距離離れた２個の該受光素子に対
応する該オペアンプの２個づつを１組とし、該各組の２
個のオペアンプの出力信号の差分をそれぞれ算出するｎ
／２個（ただしｎ／２は複数）の差動アンプと、該各差
動アンプに対して順次に接続される、それぞれｎ／２個
の、低域フィルタ、反転アンプ、および可変抵抗と、な
らびに、ｎ個のコンパレータとを有し、該コンパレータ
の２個づつを１組とし、＋極と−極の微粒子パルスをそ
れぞれ検出するｎ／２組の検出部が構成されていること
を特徴とする、微粒子検出器の信号処理回路。[Claim 1] and n pieces (n is a plural number) photodetector divided avalanche photodiode having a light receiving element, the particle detector comprising n number of operational amplifiers corresponding to the respective light receiving elements, adjacent contact or a predetermined distance away The two sets of the operational amplifiers corresponding to the two light receiving elements are set as one set.
N for calculating the difference between the output signals of the operational amplifiers
And a differential amplifier / 2 (where n / 2 is a plural number), each of said differential amplifier Ru are sequentially connected for, n / 2 pieces of each low-pass filter, an inverting amplifier, and a variable resistor, In addition, there are n comparators, and each of the two comparators constitutes one set, and n / 2 sets of detection units for detecting the positive and negative particle pulses respectively are configured. wherein the is, the signal processing circuit of the particle detector.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6069096A JP2970832B2 (en) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | Signal processing circuit for particle detector |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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