JP2974508B2 - Automatic control device - Google Patents
Automatic control deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、制御量を所望の値に合
致させるように制御対象を自動制御する自動制御装置に
係り、特に精密位置決め系,柔軟構造系等のように高次
振動モードや駆動部の非線形摩擦に起因する残留振動除
去を必要とする自動制御装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic controller for automatically controlling an object to be controlled so that a control amount matches a desired value, and particularly to a high-order vibration mode such as a precision positioning system and a flexible structure system. The present invention relates to an automatic control device that requires removal of residual vibration caused by non-linear friction of a drive unit and a driving unit.
【0002】[0002]
【従来の技術】図5,図6は従来の制御装置におけるフ
ィードバックループ制御系を説明する図である。2. Description of the Related Art FIGS. 5 and 6 are diagrams for explaining a feedback loop control system in a conventional control device.
【0003】これらの図において、1は制御対象、2は
前記制御対象1に対する操作量、3は制御量で、比較器
COMに減算入力される。OBJは目標値で、比較器C
OMに加算入力される。8はリレー要素である。9はP
ID演算器で、位置偏差量4に対してPID演算を実行
して操作量2を制御対象1に出力する。In these figures, 1 is a controlled object, 2 is an operation amount for the controlled object 1, and 3 is a control amount, which is subtracted and input to a comparator COM. OBJ is the target value and the comparator C
OM is added and input. 8 is a relay element. 9 is P
The ID calculator executes PID calculation on the position deviation amount 4 and outputs the manipulated variable 2 to the control target 1.
【0004】図5に示す制御系は、PID(比例+積分
+微分演算であり、以下、微分項は説明上省略する)制
御系であり、応答性を狙ったパラメータ設定を行うと、
高次モードの励振は避けられなかった。従って、緩慢な
応答性能の要求される分野あるいは、制御周波数域から
十分高域に固有振動モードが存在する利用分野に限られ
ていた。The control system shown in FIG. 5 is a PID (proportional + integral + differential operation, the differential term is omitted for the sake of explanation hereinafter) control system.
Excitation of higher modes was inevitable. Therefore, it has been limited to a field where a slow response performance is required or a field where a natural vibration mode exists in a sufficiently high range from a control frequency range.
【0005】図6に示す制御系は、専らクーロン摩擦等
のように跳躍要素特性(これは前向きには不感帯特性と
して表わされる)を内在する場合に、それを補償するた
めに用いられている。具備されているリレー要素8は位
置(偏差)信号のみにより動作する仕組みであるため、
この要素と制御対象とからなる閉ループ特性を考慮する
と、位相ずれがあるのは明らかであり、期待通りのダン
ピングが得られないことが多かった。このリレー要素パ
スを含んだ閉ループ特性を位相平面で示した代表的な収
束軌跡を図7に示す。なお、図7において、縦軸は速度
e1を示し、横軸は位置偏差e2を示す。The control system shown in FIG. 6 is used to compensate for a jumping element characteristic (which is expressed as a dead zone characteristic in the forward direction) such as Coulomb friction. Since the provided relay element 8 operates only by the position (deviation) signal,
Considering the closed-loop characteristic composed of this element and the control target, it is clear that there is a phase shift, and the expected damping is often not obtained. FIG. 7 shows a typical convergence trajectory showing a closed-loop characteristic including the relay element path on a phase plane. In FIG. 7, the vertical axis represents the speed e1, and the horizontal axis represents the position deviation e2.
【0006】この図に示されるように、縦軸上でリレー
動作が行われるので、高速な動作は期待できないばかり
か、位相遅れが大きい場合は、例えば図8に示すような
リミットサイクル(持続振動)を発生させてしまう恐れ
があった。As shown in this figure, since the relay operation is performed on the vertical axis, not only high-speed operation cannot be expected, but also a large phase lag, for example, a limit cycle (continuous oscillation) as shown in FIG. ) May occur.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の制
御装置においては、ダンピングの悪い振動成分または非
線形発振要素を含んだ制御対象について、線形制御演算
のみでは消極的なパラメータ設定に甘んじざるを得ず、
緩慢な応答となっていた。As described above, in the conventional control apparatus, for a control object including a vibration component having poor damping or a non-linear oscillation element, it is difficult to set a passive parameter only by linear control operation. Not get
The response was slow.
【0008】また、位置情報のみに依存する非線形補償
要素を付加した場合は、安定化のためのリレー幅の設定
が難しい上、ダンピング特性も大きく向上できず、リミ
ットサイクルに陥る可能性が高かった。In addition, when a non-linear compensation element depending only on position information is added, it is difficult to set a relay width for stabilization, and it is not possible to greatly improve damping characteristics, so that there is a high possibility of falling into a limit cycle. .
【0009】さらに、残留振動補償を緻密に行おうとす
ると、膨大なコストを要し、さらに、事前の特性解析が
必須となり、その結果を忠実に採用して制御系を実現し
ても極度に複雑な演算構成となり、実用化を却って阻害
する等の問題点があった。Further, if the residual vibration compensation is to be performed precisely, enormous cost is required, and furthermore, it is necessary to analyze the characteristics in advance, and even if the result is faithfully adopted to realize a control system, it is extremely complicated. There is a problem that the calculation configuration becomes complicated and the practical application is hindered.
【0010】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、簡易な構成で制御対象に出力される操
作量中の残留振動を除去できる自動制御装置を得ること
を目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide an automatic control device capable of removing a residual vibration in an operation amount output to a control target with a simple configuration. .
【0011】本発明に係る自動制御装置は、演算手段
に、偏差信号に比例プラス微分演算を実行して位相面信
号を出力する比例プラス微分演算部と、この比例プラス
微分演算部から出力される位相面信号に等価的比例プラ
ス積分演算を実行して第1の操作量を出力する積分演算
部と、位相面信号から第1の操作量よりも立ち上がりの
遅い第2の操作量を出力するリレー要素部と、このリレ
ー要素部から出力される第2の操作量と第1の操作量と
の加算を実行して加算結果を操作量として制御対象に出
力する加算部とを設けたものである。[0011] The automatic control device according to the present invention comprises a computing means.
In addition, a proportional plus differential operation unit that outputs a phase plane signal by performing a proportional plus differential operation on the deviation signal, and performs an equivalent proportional plus integral operation on the phase plane signal output from the proportional plus differential operation unit An integration operation unit that outputs a first operation amount, a relay element unit that outputs a second operation amount that rises later than the first operation amount from the phase plane signal, and a second element that is output from the relay element unit And an adder for executing the addition of the operation amount and the first operation amount and outputting the addition result as an operation amount to a control target.
【0012】[0012]
【作用】本発明において、比例プラス微分演算部により
偏差信号に比例プラス微分演算が施されて位相面信号が
出力されると、この位相信号面に積分演算部により等価
的比例プラス積分演算が施されて第1の操作量が出力さ
れ、加算部がこの第1の操作量とリレー要素部から出力
される第2の操作量とを加算し、該加算結果を操作量と
して制御対象に出力して、制御対象に残留信号を除去し
た操作量を出力することを可能とする。In the present invention, when a proportional plus differential operation is performed on the deviation signal by the proportional plus differential operation unit and a phase plane signal is output, an equivalent proportional plus integral operation is performed on the phase signal surface by the integration operation unit. And the first manipulated variable is output.
The adding unit adds the first operation amount and the second operation amount output from the relay element unit , and calculates the addition result as an operation amount.
Then, the operation amount is output to the control target, and the operation amount from which the residual signal is removed can be output to the control target.
【0013】[0013]
【実施例】図1は本発明の一実施例を示す制御装置の構
成を説明するブロック図であり、図5,図6と同一のも
のには同じ符号を付してある。FIG. 1 is a block diagram for explaining the configuration of a control device according to an embodiment of the present invention. The same components as those in FIGS. 5 and 6 are denoted by the same reference numerals.
【0014】図において、CONTはコントローラ部
で、前向きに比例プラス微分要素演算部7,比例要素演
算部6,積分要素演算部5からなる直列パスと、積分要
素をバイパスする経路にリレー要素部8が設けられてい
る。なお、リレー要素部8には位置偏差量4のトレラン
ス(誤差許容値(図3参照)に対応する不感域を併せて
備えている。10は加算部で、第1の操作量5aと第2
の操作量8aとの加算処理により得られる操作量を制御
対象1に出力する。In the figure, CONT is a controller section, which includes a serial path consisting of a proportional plus differential element operation section 7, a proportional element operation section 6, and an integral element operation section 5 in a forward direction, and a relay element section 8 on a path bypassing the integral element. Is provided. The relay element 8 also has a dead zone corresponding to the tolerance of the position deviation 4 (error tolerance (see FIG. 3). Reference numeral 10 denotes an adder, and a first operation amount 5a and a second operation amount 5a.
The operation amount obtained by the addition processing with the operation amount 8a is output to the control target 1.
【0015】また、上記直列パスは、下記第(1)式に
示されるPI演算を変形して得られる要素から構成され
ている。The serial path is made up of elements obtained by modifying the PI operation shown in the following equation (1).
【0016】 Kp(1+1/Ti S)=Kp ・(1+TiS)/TiS=(1+TiS)・(Kp/Ti)・(1/S) …(1) ここで、Kp は比例利得を示し、Ti はリセット時間を
示す。Sはラプラス演算子である。Kp (1 + 1 / TiS) = Kp · (1 + TiS) / TiS = (1 + TiS) · (Kp / Ti) · (1 / S) (1) where Kp is a proportional gain. And Ti indicates the reset time. S is a Laplace operator.
【0017】本発明は、上記第(1)式の最終項(式中
の最右項)に着目して制御演算を実行するものである。
すなわち、上記第(1)式の前項および中項は、一般的
なPI演算形式を表現するに過ぎないが、最終項は、速
度型への変更型であり、その要旨は、要素(1+TiS) の持
つ観点を変え、位置情報と速度情報とからなる位相面上
で捉えられる位相面信号として解釈でき、PIパラメー
タTi を含む要素は、位相面上では、下記第(2)式に
示す直線を表わす。According to the present invention, the control operation is executed by focusing on the last term (the rightmost term in the equation) of the above equation (1).
That is, the preceding term and the middle term in the above equation (1) merely represent a general PI operation form, but the last term is a change type to a speed type, and the gist is that the element (1+ TiS) can be interpreted as a phase plane signal captured on a phase plane composed of position information and velocity information, and the element including the PI parameter Ti is expressed by the following equation (2) on the phase plane. Represents a straight line.
【0018】 E(位相偏差eの微分値を示す)=−(e/Ti ) ……(2) ただし、E>−(e/Ti )の時、uはCで、その他の
時は、uは−Cとなる。ここで、uは操作量出力を示
し、cは正の定数である。なお、上記第(2)式の直線
を上記条件で切り換えたのは、上記第(2)式からも明
らかなように直線が勾配を持つことは、振動成分の位相
遅れを補償する作用があるためであり、これにより減衰
特性を向上させることが可能となるからである。E (indicating the differential value of phase deviation e) = − (e / Ti) (2) where E> − (e / Ti), u is C, and in other cases, u is u. Becomes -C. Here, u indicates the manipulated variable output, and c is a positive constant. The reason why the straight line of the above equation (2) is switched under the above condition is that the straight line has a gradient, as is clear from the above equation (2), which has the effect of compensating for the phase delay of the vibration component. This is because this makes it possible to improve the attenuation characteristics.
【0019】図1に示されるように、位置偏差量4は前
向き主経路(上記直列パス)により比例ゲインKp ,リ
セット定数Ti の等価的PI演算が実行され、並列経路
のリレー要素部8および比例プラス微分要素演算部7に
より位置偏差量4のもつ振動成分の位相面制御が実行さ
れる。本実施例によれば、リレー要素部8の振幅を零ま
たは不感幅を十分に大きくすれば、PI制御系となるこ
とから明らかなように、従来の比例利得Kp ,リセット
時間Ti をそのまま採用して演算処理できる。また、不
感幅は制御使用から直接与えられるものであるから残さ
れた可調整パラメータはリレー振幅のみとなるが、リレ
ー振幅は残留振動の振幅に対応させれば良く、調整が容
易である。As shown in FIG. 1, an equivalent PI calculation of the proportional gain Kp and the reset constant Ti is executed by the forward main path (the serial path) as shown in FIG. Phase plane control of the vibration component of the position deviation amount 4 is executed by the plus differential element calculation unit 7. According to this embodiment, if the amplitude of the relay element section 8 is set to zero or the dead width is made sufficiently large, a PI control system is obtained, so that the conventional proportional gain Kp and reset time Ti are used as they are. To perform arithmetic processing. Further, since the dead width is directly given from the control use, the only adjustable parameter left is the relay amplitude, but the relay amplitude only needs to correspond to the amplitude of the residual vibration, and adjustment is easy.
【0020】このように構成された自動制御装置におい
て、比例プラス微分演算部(比例プラス微分要素演算部
7)により偏差信号に比例プラス微分演算が施されて位
相面信号が出力されると、直列パスを構成する積分演算
部(本実施例では比例要素演算部6,積分要素演算部5
より構成される)により等価的比例プラス積分演算が施
されて第1の操作量5aが出力されると、加算部10が
この第1の操作量5aとリレー要素部8から出力される
第2の操作量8aとを加算し、該加算結果を前記操作量
として制御対象1に出力して、制御対象1に残留信号を
除去した操作量を出力することを可能とする。In the automatic control device thus configured, when the proportional plus differential operation is performed on the deviation signal by the proportional plus differential operation unit (proportional plus differential element operation unit 7) and the phase plane signal is output, Integral operation units constituting a path (in this embodiment, proportional element operation unit 6, integral element operation unit 5
When an equivalent proportional plus integral operation is performed to output the first manipulated variable 5a, the adding unit 10 outputs the first manipulated variable 5a and the second manipulated variable 5a output from the relay element unit 8. Is added to the operation amount 8a , and the addition result is referred to as the operation amount
As a result, it is possible to output the manipulated variable from which the residual signal has been removed to the control target 1.
【0021】図2は、図1に示した自動制御装置におけ
る残留振動の減衰特性を示す特性図であり、縦軸は位相
偏差e2の微分値としての速度をe1を示し、横軸は位
相偏差e2を示す。なお、切り換え直線の傾きは上記
(2)式で決定される。FIG. 2 is a characteristic diagram showing a damping characteristic of the residual vibration in the automatic control device shown in FIG. 1. The vertical axis represents the speed e1 as a differential value of the phase deviation e2, and the horizontal axis represents the phase deviation. e2 is shown. The inclination of the switching line is determined by the above equation (2).
【0022】図3は、図1に示した自動制御装置におけ
るステップ応答特性を示す図であり、横軸は時間(mse
c) を示す。FIG. 3 is a diagram showing a step response characteristic in the automatic control device shown in FIG. 1, in which the horizontal axis represents time (mse
c) is shown.
【0023】これらの図に示されるように、リレー振幅
による残留振動を良好に減衰させることができる。As shown in these figures, the residual vibration due to the relay amplitude can be favorably attenuated.
【0024】なお、上記実施例では、上記比例プラス微
分要素演算部7,比例要素演算部6,積分要素演算部5
からなる直列パスとリレー要素部8を付加して操作量2
を演算出力する場合について説明したが、係数要素の持
たせ方,微分演算,積分演算等の演算の疑似化等につい
て種々の手法があり、本発明を適用する上でそれらの制
限は特にない。In the above embodiment, the proportional plus differential element operation unit 7, the proportional element operation unit 6, and the integral element operation unit 5
Of a manipulated variable by adding a series path consisting of
Has been described, but there are various methods for simulating operations such as how to have coefficient elements, differentiation operation, integration operation, and the like, and there is no particular limitation in applying the present invention.
【0025】また、上記実施例では、制御系が連続的な
演算処理により操作量2を演算出力する場合について説
明したが、例えば図4に示すように離散的演算処理によ
り操作量2を演算出力する構成であっても良い。Further, in the above embodiment, the case where the control system calculates and outputs the manipulated variable 2 by a continuous calculation process has been described. For example, as shown in FIG. The configuration may be as follows.
【0026】図4は本発明の他の実施例を示す制御装置
の構成を説明するブロック図であり、図1と同一のもの
には同じ符号を付してある。FIG. 4 is a block diagram for explaining the configuration of a control device according to another embodiment of the present invention. The same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
【0027】この図に示されるように、比例プラス微分
要素演算部7は、位置偏差量4に対して下記(3)式を
演算する。As shown in this figure, the proportional plus differential element calculator 7 calculates the following equation (3) for the position deviation amount 4.
【0028】(1+τ)−τz-1 ……(3) ここで、z-1はサンプリング周期に対応する遅れ演算子
を示し、τは時間パラメータで、サンプリング時間をΔ
tとすれば、上記(1)式中のリセット時間Ti との関
係はτ=Ti /Δtとなる。(1 + τ) -τz-1 (3) where z-1 is a delay operator corresponding to the sampling period, τ is a time parameter, and the sampling time is Δ
If t, the relationship with the reset time Ti in the above equation (1) is τ = Ti / Δt.
【0029】また、比例要素演算部6は、比例プラス微
分要素演算部7による演算結果に対して下記(4)式に
基づく演算を実行する。The proportional element operation unit 6 executes an operation based on the following equation (4) on the operation result of the proportional plus differential element operation unit 7.
【0030】 比例利得Kp /時間パラメータτ ……(4) さらに、積分要素演算部5は、比例要素演算部6による
演算結果に対して下記(5)式に基づく演算を実行す
る。Proportional gain Kp / time parameter τ (4) Further, the integral element operation unit 5 executes an operation based on the following expression (5) on the operation result of the proportional element operation unit 6.
【0031】1/1−z-1 ……(5) このように構成することにより、離散的な時間演算を実
行する制御系に対しても、本発明を容易に適用できる。1 / 1-z-1 (5) With this configuration, the present invention can be easily applied to a control system that executes a discrete time operation.
【0032】なお、上記実施例では制御対象1を特に限
定していないが、これは残留振動を考慮する必要がある
制御系であれば、本発明を適用できるからである。In the above embodiment, the control target 1 is not particularly limited, because the present invention can be applied to any control system that needs to consider the residual vibration.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は比例プラ
ス微分演算部により偏差信号に比例プラス微分演算が施
されて位相面信号が出力されると、直列パスを構成する
積分演算手段により等価的比例プラス積分演算が施され
て第1の操作量が出力されると、加算部がこの第1の操
作量とリレー要素部から出力される第2の操作量とを加
算し、該加算結果を操作量として制御対象に出力するよ
うに構成したので、制御対象のもつ振動成分が構造柔軟
性に直接的に関るものであれ、または非線型が要因とす
るものであれ、あるいは外乱によるものであっても、極
めて簡単な構成で残留信号を除去できる。As described above, according to the present invention, when the proportional plus differential operation is performed on the deviation signal by the proportional plus differential operation section and the phase plane signal is output, the present invention is equivalent to the integration operation means constituting the serial path. When the first manipulated variable is output after the proportional proportional plus integral operation is performed, the adding unit adds the first manipulated variable and the second manipulated variable output from the relay element unit , and the addition result is obtained. Is output to the control target as an operation amount, so that the vibration component of the control target is directly related to structural flexibility, or whether the vibration component is caused by nonlinearity, Alternatively, even if it is caused by disturbance, the residual signal can be removed with a very simple configuration.
【0034】従って、制御系に対する振動要因の対策を
大幅に改善でき、従来振動対策に要した経済的負担を大
幅に軽減できると共に、開発者の設計負担をも軽減で
き、所望とする装置の開発期間を短縮できる等の優れた
効果を奏する。Therefore, measures against vibration factors in the control system can be greatly improved, and the economical burden conventionally required for the measures against vibrations can be greatly reduced, and the design burden on the developer can be reduced. It has excellent effects such as shortening the period.
【図1】本発明の一実施例を示す制御装置の構成を説明
するブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a control device according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示した自動制御装置における残留振動の
減衰特性を示す特性図である。FIG. 2 is a characteristic diagram showing a damping characteristic of residual vibration in the automatic control device shown in FIG.
【図3】図1に示した自動制御装置におけるステップ応
答特性を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a step response characteristic in the automatic control device shown in FIG. 1;
【図4】本発明の他の実施例を示す制御装置の構成を説
明するブロック図である。FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration of a control device according to another embodiment of the present invention.
【図5】従来の制御装置におけるフィードバックループ
制御系を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a feedback loop control system in a conventional control device.
【図6】従来の制御装置におけるフィードバックループ
制御系を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a feedback loop control system in a conventional control device.
【図7】リレー要素パスを含んだ閉ループ特性を位相平
面で示した収束軌跡を示す特性図である。FIG. 7 is a characteristic diagram showing a convergence trajectory showing a closed loop characteristic including a relay element path on a phase plane.
【図8】従来の制御装置におけるフィードバックループ
制御系に特有のリミットサイクルを示す特性図である。FIG. 8 is a characteristic diagram showing a limit cycle specific to a feedback loop control system in a conventional control device.
1 制御対象 2 操作量 3 制御量 4 位置偏差量 5 積分要素演算部 6 比例要素演算部 7 比例プラス微分要素演算部 8 リレー要素部 REFERENCE SIGNS LIST 1 control target 2 operation amount 3 control amount 4 position deviation amount 5 integral element operation unit 6 proportional element operation unit 7 proportional plus differential element operation unit 8 relay element unit
Claims (1)
象に出力する操作量を演算出力する演算手段を備えた自
動制御装置において、前記演算手段に、前記偏差信号に
比例プラス微分演算を実行して位相面信号を出力する比
例プラス微分演算部と、この比例プラス微分演算部から
出力される前記位相面信号に等価的比例プラス積分演算
を実行して第1の操作量を出力する積分演算部と、前記
位相面信号から前記第1の操作量よりも立ち上がりの遅
い第2の操作量を出力するリレー要素部と、このリレー
要素部から出力される前記第2の操作量と前記第1の操
作量との加算を実行して加算結果を前記操作量として制
御対象に出力する加算部とを備えたことを特徴とする自
動制御装置。1. A automatic control device with the operation amount to the control target from the deviation signal between the control amount and the target value having an arithmetic means for calculating an output, said calculating means, a proportional plus derivative operation on said deviation signal A proportional plus differential operation unit for executing and outputting a phase plane signal; and an integral for executing an equivalent proportional plus integral operation on the phase plane signal output from the proportional plus differential operation unit and outputting a first manipulated variable. wherein the arithmetic unit, a relay element section for outputting a rising slow second operation amount than the first operation amount from the phase plane signal, and the second manipulated variable output from the relay element portion first An adder for performing addition with the first operation amount and outputting an addition result to the control target as the operation amount.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4192839A JP2974508B2 (en) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Automatic control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4192839A JP2974508B2 (en) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Automatic control device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0619502A JPH0619502A (en) | 1994-01-28 |
| JP2974508B2 true JP2974508B2 (en) | 1999-11-10 |
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ID=16297840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4192839A Expired - Fee Related JP2974508B2 (en) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Automatic control device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2974508B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002132302A (en) * | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Process control method and apparatus |
-
1992
- 1992-06-29 JP JP4192839A patent/JP2974508B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2002132302A (en) * | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Process control method and apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0619502A (en) | 1994-01-28 |
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