JP2999673B2 - Method for producing electro-optical material and apparatus for producing the same - Google Patents
Method for producing electro-optical material and apparatus for producing the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光信号制御デバイス等
の構成材料となる電気光学効果を発現する電気光学材料
の製法とその製造装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing an electro-optical material exhibiting an electro-optical effect, which is a constituent material of an optical signal control device and the like, and an apparatus for producing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、2次の非線形光学効果であるポッ
ケルス効果(以下、電気光学効果)を有する電気光学材
料は、次の(1)〜(7)の手順で作製されている。2. Description of the Related Art Conventionally, an electro-optic material having a Pockels effect (hereinafter referred to as an electro-optic effect), which is a second-order nonlinear optical effect, is manufactured by the following procedures (1) to (7).
【0003】(1) 超分極率を有する分子(以下、非
線形分子と云う)の結晶または非線形分子を分散あるい
は結合した高分子、アモルファス、または凝固点以下で
の使用を目的とした非線形分子を含む溶液等の物質(以
下、電気光学材料と云う)を製膜する。(1) Crystals of molecules having hyperpolarizability (hereinafter referred to as non-linear molecules) or polymers containing non-linear molecules dispersed or bonded, amorphous or solutions containing non-linear molecules intended for use below the freezing point (Hereinafter referred to as an electro-optic material).
【0004】(2) 乾燥により電気光学材料中の揮発
成分を除去する(但し、溶液の場合はこのプロセスは除
く)。(2) The volatile components in the electro-optic material are removed by drying (however, this process is excluded in the case of a solution).
【0005】(3) 電気光学材料を、その融点または
ガラス転移温度、あるいはそれらの温度以上にする。(3) The melting point or glass transition temperature of the electro-optical material or a temperature higher than those temperatures.
【0006】(4) 電気光学材料に直流電圧を印加し
て、非線形分子を電場配向する。(4) A DC voltage is applied to the electro-optic material to orient the nonlinear molecules in the electric field.
【0007】(5) 電気光学材料に直流電圧を印加し
たまゝ、電気光学材料の温度をその融点またはガラス転
移温度よりも下げることにより、配向した非線形分子を
固定する。(5) While a DC voltage is applied to the electro-optic material, the temperature of the electro-optic material is lowered below its melting point or glass transition temperature to fix the oriented nonlinear molecules.
【0008】(6) 電気光学材料に印加した直流電圧
を解く。(6) Dissolving the DC voltage applied to the electro-optical material.
【0009】(7) 得られた電気光学材料に交流電圧
を印加し、電気光学材料の複屈折率の交流電圧依存性を
調べて、2次の非線形光学定数である電気光学定数を測
定する。(7) An AC voltage is applied to the obtained electro-optic material, and the dependency of the birefringence of the electro-optic material on the AC voltage is examined to measure an electro-optic constant which is a second-order nonlinear optical constant.
【0010】なお、上記(4)において、次の(i),
(ii)の方法により非線形分子の配向の状態あるいは運
動の状態を観測しながら非線形分子を配向する方法もあ
る。In the above (4), the following (i),
There is also a method in which the nonlinear molecule is oriented while observing the orientation state or motion state of the nonlinear molecule by the method (ii).
【0011】(i) レーザ光を電気光学材料に照射
し、第二高調波の強度を測定して非線形分子の配向状態
を見る(レベンソンら、ノンリニアオプティクス、第4
巻、233頁(1993年))。(I) Irradiating the electro-optical material with laser light, measuring the intensity of the second harmonic, and observing the orientation state of the nonlinear molecule (Levenson et al., Nonlinear Optics, No. 4
Volume, p. 233 (1993)).
【0012】(ii) 電気光学材料の高分子膜に、直流
電圧と交流電圧を同時に印加し、非線形分子に周期的な
配向運動を誘起し、高分子膜を通過するレーザ光の偏光
状態を観測することにより、非線形分子の易動度を見る
(荒牧ら、第54回応用物理学会予稿集 1094頁
(1993年))。(Ii) Simultaneously applying a DC voltage and an AC voltage to the polymer film of the electro-optical material to induce periodic alignment motion in the nonlinear molecules and observe the polarization state of the laser light passing through the polymer film. Then, the mobility of the nonlinear molecule is observed (Aramaki et al., Proceedings of the 54th JSAP, page 1094 (1993)).
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】従来の電気光学材料の
製法では、電気光学材料の加熱→非線形分子の電場配向
→電気光学材料の冷却による非線形分子の固定、と云う
過程を経た後でなければ、電気光学特性を調べることが
できない。即ち、電気光学特性は、電場配向温度、印加
電圧、電圧印加時間などの作製条件に依存するので、よ
り大きな電気光学定数を有する電気光学材料を作製する
には、試行錯誤により最大の電気光学定数を発現させう
る最適な作製条件を見出し、その後、その条件下に設定
して電気光学材料を作製することが必要である。In the conventional method of manufacturing an electro-optic material, the process must be performed after a process of heating the electro-optic material, orienting the electric field of the nonlinear molecule, and fixing the nonlinear molecule by cooling the electro-optic material. In addition, the electro-optical characteristics cannot be examined. That is, since the electro-optical characteristics depend on manufacturing conditions such as electric field orientation temperature, applied voltage, and voltage application time, to manufacture an electro-optical material having a larger electro-optical constant, the maximum electro-optical constant is determined by trial and error. It is necessary to find out the optimal production conditions that allow the expression, and then to set the conditions to produce the electro-optical material.
【0014】また、ある特定の値の電気光学定数を持つ
電気光学材料を作製する場合にも、試行錯誤によりその
電気光学定数を発現させ得る特定の作製条件を見出し、
その後、その条件下で電気光学材料を作製する必要があ
る。Also, when manufacturing an electro-optical material having a certain specific value of the electro-optical constant, a specific manufacturing condition capable of expressing the electro-optical constant by trial and error has been found.
Thereafter, it is necessary to produce an electro-optic material under the conditions.
【0015】前記(i),(ii)で示される方法では、非
線形分子の配向あるいは易動度に関する情報が得られる
ものゝ、電気光学材料の電気光学効果の大きさを必ずし
も与えない。さらに、第二高調波発生は電気光学効果と
同じ二次の非線形効果であるが材料自身が第二高調波を
吸収する場合には、第二高調波の大きさは必ずしも電気
光学効果の大きさを反映しないと云う問題があった。In the methods (i) and (ii), information on the orientation or mobility of nonlinear molecules can be obtained, but the magnitude of the electro-optic effect of the electro-optic material is not necessarily given. Furthermore, the second harmonic generation is the same second-order nonlinear effect as the electro-optic effect, but if the material itself absorbs the second harmonic, the magnitude of the second harmonic is not necessarily the magnitude of the electro-optic effect. Was not reflected.
【0016】本発明の目的は、電気光学定数または電気
光学効果の大きさをモニタしながら、より大きな電気光
学定数のものが得られるように、あるいは、特定の値の
電気光学定数を持つものが得られるように作製条件を制
御し作製する電気光学材料の製法を提供することにあ
る。It is an object of the present invention to obtain a larger electro-optical constant while monitoring the electro-optical constant or the magnitude of the electro-optical effect, or to obtain an electro-optical constant having a specific value. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an electro-optical material to be manufactured by controlling manufacturing conditions so as to obtain it.
【0017】また、本発明の他の目的は、上記の電気光
学材料の製造装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing the above-mentioned electro-optical material.
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の要旨は次のとおりである。The gist of the present invention to achieve the above object is as follows.
【0019】〔1〕 電場を印加して非線形分子を配向
させるポッケルス効果を有する電気光学材料の製法にお
いて、前記電場配向時における電気光学材料の電気光学
定数の大きさをモニタしながら、電場配向温度,印加電
圧および電圧印加時間の少なくとも一つを制御する電気
光学材料の製法にある。[1] In a method for producing an electro-optic material having a Pockels effect in which an electric field is applied to orient nonlinear molecules, the electric field orientation temperature is monitored while monitoring the magnitude of the electro-optic constant of the electro-optic material during the electric field orientation. , An applied voltage and a voltage application time are controlled.
【0020】〔2〕 前記電気光学材料が、非線形分子
の結晶,非線形分子を分散または結合させた有機高分
子,アモルファス、または、非線形分子を含む溶液から
選ばれる材料である前記電気光学材料の製法にある。[2] The method for producing the electro-optic material, wherein the electro-optic material is a material selected from a crystal of a nonlinear molecule, an organic polymer in which the nonlinear molecule is dispersed or bonded, an amorphous material, or a solution containing the nonlinear molecule. It is in.
【0021】〔3〕 電場を印加して非線形分子を配向
させる電気光学材料の製法において、前記電場として、
直流電圧と、前記非線形分子の分子配向運動が追随し得
ない高周波で、かつ、振幅が前記直流電圧よりも小さい
交流電圧とを同時に印加し、電気光学材料の複屈折率の
交流電圧に対する依存性をモニタしながら、電場配向温
度,印加電圧および電圧印加時間の少なくとも一つを制
御する電気光学材料の製法にある。[3] In the method for producing an electro-optical material for applying an electric field to orient nonlinear molecules, the electric field may be:
DC voltage and a high frequency at which the molecular orientation motion of the nonlinear molecule cannot follow, and an AC voltage having an amplitude smaller than the DC voltage are simultaneously applied, and the dependency of the birefringence of the electro-optical material on the AC voltage is applied. While monitoring at least one of the electric field orientation temperature, the applied voltage, and the voltage application time.
【0022】〔4〕 前記電気光学材料の複屈折率の交
流電圧に対する依存性をモニタし、これにより求めた電
気光学材料の電気光学定数から、電場配向温度,印加電
圧および電圧印加時間の少なくとも一つを制御する電気
光学材料の製法にある。[4] The dependence of the birefringence of the electro-optical material on the alternating voltage is monitored, and at least one of the electric field orientation temperature, the applied voltage, and the voltage application time is determined from the obtained electro-optical constant of the electro-optical material. There is a method of manufacturing an electro-optic material for controlling one.
【0023】〔5〕 非線形分子を配向させ電気光学効
果を発現させる直流電圧と同時に交流電圧を印加し、交
流電圧に起因する電気光学効果により変化する入射光の
偏光状態をモニタし、電場配向温度,印加電圧および電
圧印加時間の少なくとも一つを制御する電気光学材料の
製法にある。[5] An AC voltage is applied at the same time as a DC voltage for orienting the non-linear molecules to exhibit the electro-optic effect, and the polarization state of the incident light, which changes due to the electro-optic effect caused by the AC voltage, is monitored. , An applied voltage and a voltage application time are controlled.
【0024】〔6〕 電気光学材料に直流および交流電
圧を印加して非線形分子を電場配向させる電界印加手段
と、前記電気光学材料の加熱手段と、前記電気光学材料
に単一の偏光成分から成る光を照射する光照射手段と、
電界印加により変化する前記電気光学材料の透過光を検
出する光検出手段と、前記電界印加手段の電界強度,電
界印加時間および電気光学材料の加熱温度の少なくとも
一つを制御する制御手段を備えた電気光学材料の製造装
置にある。[6] An electric field applying means for applying a direct current and an alternating voltage to the electro-optical material to orient the nonlinear molecules in an electric field, a heating means for the electro-optical material, and a single polarized component in the electro-optical material. Light irradiation means for irradiating light,
Light detecting means for detecting the transmitted light of the electro-optical material that changes by applying an electric field, and control means for controlling at least one of the electric field intensity of the electric field applying means, the electric field application time, and the heating temperature of the electro-optical material are provided. It is in the electro-optical material manufacturing equipment.
【0025】〔7〕 前記光検出手段が電気光学材料の
透過光を直交する2つの偏光成分に分ける偏光素子(例
えばウォラストンプリズム)と、前記偏光素子により分
けられたそれぞれの偏光成分を検出する光検出器(例え
ばフォトダイオード)を備えており、前記2つの偏光の
強度差に基づき、前記電界印加手段の電界強度,電界印
加時間,電気光学材料の加熱温度の少なくとも一つを制
御するコントロール装置を有する電気光学材料の製造装
置にある。[7] The light detecting means detects a polarizing element (for example, a Wollaston prism) that divides the transmitted light of the electro-optical material into two orthogonal polarized light components, and detects the respective polarized light components separated by the polarizing element. A control device that includes a photodetector (for example, a photodiode) and controls at least one of the electric field intensity of the electric field applying unit, the electric field application time, and the heating temperature of the electro-optical material based on the intensity difference between the two polarized lights. The manufacturing apparatus for an electro-optical material having:
【0026】本発明の電気光学材料としては、非線形分
子を分散あるいは結合した高分子、非線形分子を分散あ
るいは結合したガラスなどのアモルファス、あるいは、
その融点より低温での使用を目的とする非線形分子を含
む溶液などがある。こうした非線形分子の電場配向時に
おける電気光学材料の電気光学定数をモニタする方法に
ついて説明する。As the electro-optic material of the present invention, an amorphous material such as a polymer in which nonlinear molecules are dispersed or bonded, a glass in which nonlinear molecules are dispersed or bonded, or
There is a solution containing a nonlinear molecule intended for use at a temperature lower than its melting point. A method of monitoring the electro-optic constant of the electro-optic material during the electric field orientation of the nonlinear molecules will be described.
【0027】直流電圧と、それよりも振幅の小さな交流
電圧とを同時に電気光学材料に印加する。材料中の非線
形分子は、直流電圧に対して自身の双極子を直流電場の
方向に向け配向すると云う特性がある。一方、交流電圧
に対しては、非線形分子は交流電場の周波数に応じて配
向運動を示すが、非線形分子の配向運動が交流電場に追
随できなくなる程度に、交流の周波数を大きくすると、
非線形分子の配向方向は交流電場に依存しなくなる。A DC voltage and an AC voltage having a smaller amplitude are simultaneously applied to the electro-optical material. Non-linear molecules in a material have the property of orienting their dipoles in the direction of a DC electric field with respect to a DC voltage. On the other hand, for an AC voltage, the nonlinear molecules exhibit an orientation motion according to the frequency of the AC electric field, but if the frequency of the AC is increased to such an extent that the orientation motion of the nonlinear molecule cannot follow the AC electric field,
The orientation direction of the nonlinear molecule does not depend on the AC electric field.
【0028】高分子、アモルファス中においては、ガラ
ス転移温度付近では100kHz以上の交流電圧を印加
すると、非線形分子は交流電場に誘起される配向運動を
しなくなる。この時の交流電場に起因する電気光学材料
の複屈折率の変化は、電気光学材料の電気光学効果によ
る。In a polymer or an amorphous state, when an AC voltage of 100 kHz or more is applied near the glass transition temperature, the nonlinear molecules do not perform the alignment motion induced by the AC electric field. The change in the birefringence of the electro-optic material due to the alternating electric field at this time is due to the electro-optic effect of the electro-optic material.
【0029】電気光学材料の交流電場の強さに対する複
屈折率変化の依存性を、単一の偏光状態の光をモニタ光
に用いて調べる。電気光学材料にモニタ光を透過させる
と、電気光学材料の複屈折率を反映して透過光の偏光状
態が変化する。電気光学材料を透過したモニタ光の偏光
状態、即ち、電気光学材料の複屈折率の交流印加電圧依
存性から電気光学定数を求めることができる。The dependence of the change in the birefringence on the strength of the AC electric field of the electro-optic material is examined using light in a single polarization state as monitor light. When the monitor light is transmitted through the electro-optic material, the polarization state of the transmitted light changes reflecting the birefringence of the electro-optic material. The electro-optic constant can be obtained from the polarization state of the monitor light transmitted through the electro-optic material, that is, the dependency of the birefringence of the electro-optic material on the applied AC voltage.
【0030】電気光学効果に起因する電気光学材料の複
屈折率がモニタ光に反映されるので、モニタ光を信号伝
達手段として用いることも可能である。つまり、非線形
分子を配向させる電気光学効果を発現させる直流電圧
と、信号性を持つ交流電圧とを同時に印加することによ
って交流電圧の持つ信号性は材料透過光の偏光状態に反
映される。Since the birefringence of the electro-optic material caused by the electro-optic effect is reflected in the monitor light, the monitor light can be used as signal transmission means. That is, by simultaneously applying a DC voltage for exhibiting an electro-optic effect for orienting nonlinear molecules and an AC voltage having a signal property, the signal property of the AC voltage is reflected on the polarization state of the light transmitted through the material.
【0031】電気光学材料への直流印加電界は10〜1
50V/μm、交流印加電界は1〜5V/μm、交流電
圧の周波数は100kHz以上である。電気光学材料へ
の直流電圧および交流電圧の印加は、同一の電極対を用
いて同時に行ってもよいし、直流用電極対、交流用電極
対をそれぞれ設けて行ってもよい。後者の場合は、直
流、交流の電界の印加方向は平行でも直交でもよいが、
モニタ光が通過する場所においては、直流,交流共にそ
れぞれ前記の電界強度が必要である。The DC applied electric field to the electro-optical material is 10 to 1
The applied voltage is 50 V / μm, the AC applied electric field is 1 to 5 V / μm, and the frequency of the AC voltage is 100 kHz or more. The application of the DC voltage and the AC voltage to the electro-optical material may be performed simultaneously using the same electrode pair, or may be performed by providing a DC electrode pair and an AC electrode pair, respectively. In the latter case, the application directions of the DC and AC electric fields may be parallel or orthogonal,
In places where the monitor light passes, both the direct current and the alternating current require the above-mentioned electric field strength.
【0032】交流電圧印加に伴う電気光学材料の複屈折
率変化による偏光状態の変化を検出する方法としては、
例えば、下記の(1)〜(6)がある。As a method for detecting a change in the polarization state due to a change in the birefringence of the electro-optic material due to the application of an AC voltage,
For example, there are the following (1) to (6).
【0033】(1) 電気光学材料を透過したモニタ光
から、偏光子を用いて、ある特定の偏光成分のみを取出
し、これをフォトダイオードなどの光検出器で検出す
る。モニタ光の偏光状態が変化すると、偏光子を通過す
る光の強度が変化するので、光検出器からの出力をモニ
タすることにより偏光状態が分かる。(1) From the monitor light transmitted through the electro-optical material, only a specific polarized component is extracted using a polarizer and detected by a photodetector such as a photodiode. When the polarization state of the monitor light changes, the intensity of light passing through the polarizer changes. Therefore, the polarization state can be determined by monitoring the output from the photodetector.
【0034】(2) 電気光学材料を透過したモニタ光
を、ウォラストンプリズムなどの偏光子を用いて直交す
る2つの偏光成分に分離する。モニタ光の偏光状態が変
化すると、一方の偏光成分は増加し、他方の偏光成分が
減少する。従って、光検出器を用いてこれら2つの偏光
の強度を測定し、その差から偏光状態が分かる。(2) The monitor light transmitted through the electro-optical material is separated into two orthogonal polarization components using a polarizer such as a Wollaston prism. When the polarization state of the monitor light changes, one polarization component increases and the other polarization component decreases. Therefore, the intensity of these two polarizations is measured using a photodetector, and the polarization state is known from the difference.
【0035】(3) 電気光学材料を透過したモニタ光
を、偏光子を用いてある特定の偏光成分のみを取出す。
この光の第2高調波、あるいはそれ以上の高次高調波を
発生させ、これをモニタする。モニタ光の偏光状態が変
化すると、高次高調波の強度も変化する。なお、高次高
調波の強度は、基本波の強度変化をより鋭敏に反映する
ため、高次高調波の強度をモニタすることによってモニ
タ光の偏光状態がより鋭敏に分かる。(3) The monitor light transmitted through the electro-optical material is extracted only with a specific polarization component using a polarizer.
A second harmonic of this light or a higher harmonic thereof is generated and monitored. When the polarization state of the monitor light changes, the intensity of the higher-order harmonic also changes. In addition, since the intensity of the higher-order harmonic reflects the intensity change of the fundamental wave more sharply, by monitoring the intensity of the higher-order harmonic, the polarization state of the monitor light can be understood more sharply.
【0036】(4) 電気光学材料を透過したモニタ光
を、偏光子を用いてある特定の偏光成分のみを取出し、
別の光によって励起された媒質に透過させてこれを光増
幅する。増幅された光の強度からモニタ光の偏光状態が
分かる。(4) From the monitor light transmitted through the electro-optical material, only a specific polarization component is extracted using a polarizer,
The light is transmitted through a medium excited by another light and amplified. The polarization state of the monitor light can be determined from the intensity of the amplified light.
【0037】(5) 電気光学材料を透過したモニタ光
と、単一の偏光状態を持つ別の光との和周波または差周
波を発生させ、これを光検出器で検出する。モニタ光の
偏光状態が変化すると和周波または差周波の強度が変化
するので偏光状態が分かる。(5) A sum frequency or a difference frequency is generated between the monitor light transmitted through the electro-optic material and another light having a single polarization state, and this is detected by a photodetector. When the polarization state of the monitor light changes, the intensity of the sum frequency or the difference frequency changes, so that the polarization state can be known.
【0038】(6) 電気光学材料がモニタ光を吸収す
る場合には、電気光学効果に起因する複屈折率変化は吸
光係数変化も伴う。電気光学材料の吸収光(可視、赤外
を問わずあらゆる領域の光において)をモニタ光とし
て、その吸光係数の変化を調べることで電気光学定数を
求めることができる。モニタ光の透過強度を光検出器で
モニタし、その交流印加電圧依存性を調べ電気光学定数
を求めることができる。また、透過光の高次高調波を発
生させ、その強度をモニタすることにより、より鋭敏に
モニタ光の強度変化を測定することができる。(6) When the electro-optic material absorbs the monitor light, the change in the birefringence caused by the electro-optic effect is accompanied by a change in the extinction coefficient. The electro-optic constant can be obtained by examining the change in the extinction coefficient of the electro-optic material as monitor light using the absorption light of the electro-optic material (in any region, visible or infrared). The transmission intensity of the monitor light is monitored by a photodetector, and its dependence on the applied AC voltage is examined to determine the electro-optic constant. Further, by generating a higher harmonic of the transmitted light and monitoring the intensity, a change in the intensity of the monitor light can be more sharply measured.
【0039】前記において、交流電圧は常時印加してお
く必要はない。電気光学材料の電気光学定数を測定する
ときのみ交流電圧を印加すればよい。なお、電極間の距
離は0.1〜100μmが好ましい。In the above, it is not necessary to always apply the AC voltage. An AC voltage may be applied only when measuring the electro-optic constant of the electro-optic material. The distance between the electrodes is preferably 0.1 to 100 μm.
【0040】上記により電気光学材料の電気光学定数、
または、電気光学効果の大きさを測定しながら、電気光
学材料の作製条件である印加電圧、電圧印加時間、材料
の温度、材料の水素イオン濃度、材料の圧力、複数の化
合物の混合比率、光照射などを、材料の電気光学効果が
最大になるように調節して非線形分子を配向化する。From the above, the electro-optic constant of the electro-optic material,
Alternatively, while measuring the magnitude of the electro-optic effect, the conditions for producing the electro-optic material such as applied voltage, voltage application time, material temperature, material hydrogen ion concentration, material pressure, mixture ratio of a plurality of compounds, light Irradiation is adjusted to maximize the electro-optic effect of the material to orient the nonlinear molecules.
【0041】また、材料の電気光学定数をある特定の値
に設定する必要がある場合には、同様にして前記の条件
を調節する。When it is necessary to set the electro-optic constant of the material to a specific value, the above conditions are adjusted in the same manner.
【0042】一般に、有機高分子に非線形分子を分散あ
るいは結合したものは、直流印加電圧、電圧印加時間、
材料の温度が作製条件になる。電気光学定数を特定の値
に設定するには、直流印加電圧を調節し、非線形分子の
配向度を制御するのが有効である。In general, when a non-linear molecule is dispersed or bonded to an organic polymer, a DC applied voltage, a voltage applied time,
The temperature of the material is the manufacturing condition. In order to set the electro-optic constant to a specific value, it is effective to adjust the DC applied voltage and control the degree of orientation of the nonlinear molecule.
【0043】また、4−アジドフェニルカルボキシエチ
ルメタクリレートのように、光を吸収することにより反
応して非線形特性を発現する分子(林ら、マクロモレキ
ュールズ 第25巻、5094頁(1992年))を非
線形分子として用いる場合には、電気光学定数をモニタ
しながら、光を照射し、電気光学効果が増加しなくなっ
た時点で光の照射を止める。過度な光の照射は、非線形
分子の分解を招く場合があり、非線形特性の低下につな
がる。Also, a molecule such as 4-azidophenylcarboxyethyl methacrylate which reacts by absorbing light to exhibit non-linear characteristics (Hayashi et al., Macromolecules, Vol. 25, pp. 5094 (1992)) When is used as a non-linear molecule, light is irradiated while monitoring the electro-optic constant, and the light irradiation is stopped when the electro-optic effect no longer increases. Excessive light irradiation may cause decomposition of nonlinear molecules, leading to a decrease in nonlinear characteristics.
【0044】材料中の水素イオン濃度や複数化合物の混
合比が電気光学効果の大きさに影響する場合には、電気
光学定数が最大、または、ある特定の値になるようこれ
らの設定条件を変化させる。When the concentration of hydrogen ions in the material or the mixing ratio of a plurality of compounds affects the magnitude of the electro-optical effect, these setting conditions are changed so that the electro-optical constant becomes maximum or a specific value. Let it.
【0045】電圧を印加したまゝ、電気光学材料の温度
をその融点またはガラス転移温度よりも下げて、非線形
分子の配向を固定し、次いで、印加した直流電圧を解く
ことにより本発明の電気光学材料を得ることができる。While the voltage is applied, the temperature of the electro-optical material is lowered below its melting point or glass transition temperature to fix the orientation of the nonlinear molecule, and then the applied direct-current voltage is released to obtain the electro-optical material of the present invention. Material can be obtained.
【0046】[0046]
【作用】従来の電気光学材料の製法では、材料の加熱、
非線形分子の電場配向、冷却による非線形分子の固定、
と云う過程を経た後でなければ電気光学特性を評価でき
ないために、最大の電気光学効果を発現させるための最
適条件、または、ある特定の値の電気光学定数を有する
電気光学材料を作製する条件を見出すまでには、多くの
試行錯誤が必要であった。According to the conventional method for producing an electro-optical material, heating of the material,
Electric field orientation of nonlinear molecules, fixation of nonlinear molecules by cooling,
Since the electro-optical characteristics can be evaluated only after the process described above, the electro-optical material having the optimal conditions for exhibiting the maximum electro-optical effect, or having a specific value of the electro-optical constant . <br/> A lot of trial and error was required before finding the conditions for producing.
【0047】本発明によれば、非線形分子の電気光学定
数をモニタしながら作製条件を制御するので容易に最適
条件を見出すことができ、任意の電気光学定数を有する
電気光学材料の提供が極めて容易になった。According to the present invention, since the production conditions are controlled while monitoring the electro-optic constant of the nonlinear molecule, the optimum conditions can be easily found, and it is extremely easy to provide an electro-optic material having an arbitrary electro-optic constant. It became.
【0048】[0048]
【実施例】以下、本発明を実施例により詳細に説明す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to embodiments.
【0049】図2に示すように、基板(表面が鏡面状で
電気抵抗が電気光学材料の10倍以上の基板)4の上に
反射誘電体多層膜3が形成され、その上に電圧印加のた
めの電極1を有し、これらを電気光学材料2で被覆され
ている。As shown in FIG. 2, a reflective dielectric multilayer film 3 is formed on a substrate (substrate (substrate having a mirror-like surface and an electric resistance of 10 times or more that of the electro-optical material)), and a voltage application voltage is applied thereon. , Which are covered with an electro-optic material 2.
【0050】これを図1の模式構成図で示す温度コント
ローラ10内に取付け、レーザ光源5からのレーザ光を
偏光子6、ミラー7、レンズ9を介した偏光レーザ光を
電気光学材料2に照射する。This is mounted in a temperature controller 10 shown in the schematic configuration diagram of FIG. 1, and a laser beam from a laser light source 5 is applied to the electro-optic material 2 through a polarizer 6, a mirror 7, and a lens 9. I do.
【0051】電気光学材料2には、コントロール電源1
1からの直流および交流電圧を電極1間に印加できるよ
う構成されている。印加電界によって変化する電気光学
材料2のレーザ反射光をミラー8、ソレイユバビネ補償
板14、偏光子15を介してフォトダイオード16によ
り検出する。その検出信号は、信号入力端子18からロ
ックイン増幅器17に入り、交流電圧と同一周期の参照
信号13によってロックイン検出される。検出信号の大
きさは電気光学効果の大きさを反映するため、これを観
測しながらコントロール電源11によって、電極1間に
印加する電界強度を制御する。The electro-optical material 2 has a control power source 1
1 is configured to be able to apply DC and AC voltages between the electrodes 1. The laser reflected light of the electro-optic material 2 that changes according to the applied electric field is detected by the photodiode 16 via the mirror 8, the Soleil-Babinet compensator 14, and the polarizer 15. The detection signal enters the lock-in amplifier 17 from the signal input terminal 18 and lock-in is detected by the reference signal 13 having the same cycle as the AC voltage. Since the magnitude of the detection signal reflects the magnitude of the electro-optic effect, the intensity of the electric field applied between the electrodes 1 is controlled by the control power supply 11 while observing the magnitude.
【0052】なお、図3は、検出手段としてウォラスト
ンプリズム21を用いた検出部の模式構成図である。FIG. 3 is a schematic structural view of a detecting section using a Wollaston prism 21 as detecting means.
【0053】ここで対象となる電気光学材料2として、
非線形分子である染料のデイスパースレッド1の0.2
gとポリメチルメタクリレート2gとを、クロロホルム
20mlに溶解し、図2のような電極1と反射誘電体多
層膜3とが形成された基板4上にスピンコートにより塗
布し、厚さ2μmの高分子膜を得た。該電気光学材料2
のガラス転移温度(Tg)は約95℃であった。Here, as the target electro-optical material 2,
Disperse Red 1 0.2, a dye that is a nonlinear molecule
g and 2 g of polymethyl methacrylate are dissolved in 20 ml of chloroform and applied by spin coating on a substrate 4 on which the electrode 1 and the reflective dielectric multilayer film 3 are formed as shown in FIG. A membrane was obtained. The electro-optic material 2
Had a glass transition temperature (Tg) of about 95 ° C.
【0054】これを図1における温度コントローラ10
により50℃に設定し、電気光学材料2に50V/μm
の直流電圧を印加すると、電気光学材料2中の非線形分
子は、電場方向に配向する。さらにこれに、周波数10
0kHzの交流電圧(電気光学材料に対して5V/μ
m)を重畳して電気光学材料2に印加した。This is referred to as the temperature controller 10 in FIG.
Is set to 50 ° C., and 50 V / μm is applied to the electro-optic material 2.
Is applied, the non-linear molecules in the electro-optic material 2 are oriented in the direction of the electric field. In addition, the frequency 10
0 kHz AC voltage (5 V / μ for electro-optical material)
m) was superimposed and applied to the electro-optic material 2.
【0055】電気光学材料2の電気光学効果は、次のよ
うにして検出する。レーザ光源5および偏光子6を調節
して、入射光の偏光方向が非線形分子の配向軸(直流電
場方向)に対して45度をなす波長632.8nmのレ
ーザ光を照射する。反射誘電体多層膜3で反射したレー
ザ光は、電気光学材料2の複屈折性によって偏光特性を
変え、偏光子15によリ特定の偏光成分のみが取出され
る。The electro-optic effect of the electro-optic material 2 is detected as follows. The laser light source 5 and the polarizer 6 are adjusted to irradiate a laser beam having a wavelength of 632.8 nm in which the polarization direction of the incident light is at 45 degrees with respect to the orientation axis of the nonlinear molecule (the direction of the DC electric field). The laser light reflected by the reflective dielectric multilayer film 3 changes its polarization characteristics due to the birefringence of the electro-optic material 2, and only a specific polarization component is extracted by the polarizer 15.
【0056】電気光学材料2の複屈折率が変化すると、
偏光子15を透過する光の強度が変化するので、これを
フォトダイオード16によって検出し、電気光学材料2
への交流印加電圧の参照信号13によってロックイン検
出し、電気光学材料2の電気光学定数または電気光学効
果の大きさを求める。When the birefringence of the electro-optic material 2 changes,
Since the intensity of the light passing through the polarizer 15 changes, this is detected by the photodiode 16 and the electro-optic material 2 is detected.
The lock-in is detected by the reference signal 13 of the AC applied voltage to obtain the electro-optic constant or the magnitude of the electro-optic effect of the electro-optic material 2.
【0057】また、図3のような光検出手段を用いるこ
とにより、電気光学材料2の電気光学効果の大きさを、
より高感度に検出することができる。この光検出手段で
は、電気光学材料2の透過モニタ光はウォラストンプリ
ズム21によって、直交する2つの偏光成分に分けら
れ、それぞれフォトダイオード22,23で検出され
る。Further, by using the light detecting means as shown in FIG. 3, the magnitude of the electro-optic effect of the electro-optic material 2 can be reduced.
Higher sensitivity can be detected. In this light detecting means, the transmission monitor light of the electro-optical material 2 is divided into two orthogonal polarization components by the Wollaston prism 21 and detected by the photodiodes 22 and 23, respectively.
【0058】電気光学材料2の複屈折性が変化すると、
分離された偏光成分の一方は増加し、もう一方は減少す
る。従って、2つのフォトダイオード22,23からの
出力の差を、電気光学材料2への交流印加電圧の参照信
号によってロックイン検出することにより、電気光学材
料2の電気光学定数を求めることができる。この場合、
2つのフォトダイオード22,23からの出力の差をモ
ニタすることによって、光の変化量の2倍の変化を検出
することが可能となる。しかも、光源のふらつきなどの
2つのフォトダイオード22,23での共通のノイズ成
分は、差を取ることによって打ち消すことができ、モニ
タ光の微小変化、即ち、電気光学材料2の電気光学効果
の大きさを、より鋭敏に検出することができる。When the birefringence of the electro-optic material 2 changes,
One of the separated polarization components increases and the other decreases. Therefore, the lock-in detection of the difference between the outputs from the two photodiodes 22 and 23 using the reference signal of the AC applied voltage to the electro-optic material 2 allows the electro-optic constant of the electro-optic material 2 to be obtained. in this case,
By monitoring the difference between the outputs from the two photodiodes 22 and 23, it is possible to detect a change that is twice the amount of change in light. In addition, noise components common to the two photodiodes 22 and 23, such as light source fluctuation, can be canceled by taking the difference between them. Can be detected more sharply.
【0059】上記により、電気光学効果の大きさをモニ
タしながら、電気光学材料2の電場配向時の温度、直流
印加電圧、電圧印加時間を調節する。As described above, while monitoring the magnitude of the electro-optic effect, the temperature, the DC applied voltage, and the voltage application time of the electro-optic material 2 when the electric field is oriented are adjusted.
【0060】なお、温度コントローラ10により電気光
学材料2の温度を50℃から1℃/分で上昇させる温度
上昇過程において、 (1) 温度上昇に伴い電気光学定数が大きくなるか、
あるいは変わらない場合には、そのまゝ温度上昇を続け
る。The temperature controller 10 raises the temperature of the electro-optic material 2 from 50 ° C. at a rate of 1 ° C./min. (1) Whether the electro-optic constant increases as the temperature rises
Otherwise, if it does not change, the temperature is kept rising.
【0061】(2) 温度上昇に伴い電気光学定数が減
少する場合には、減少し始める直前の温度に戻し、温度
を固定する。(2) If the electro-optic constant decreases with an increase in temperature, the temperature is returned to the temperature immediately before the decrease starts, and the temperature is fixed.
【0062】次に直流印加電圧を50V/μmから増加
させる。予め、電気光学材料2が絶縁破壊する電界の大
きさを調べておき、その電界より低い電界で電気光学効
果の大きさをモニタしながら直流印加電圧を上昇させ
る。Next, the DC applied voltage is increased from 50 V / μm. The magnitude of the electric field at which the electro-optic material 2 causes dielectric breakdown is checked in advance, and the DC applied voltage is increased while monitoring the magnitude of the electro-optic effect with an electric field lower than the electric field.
【0063】(3) 電圧上昇に伴い電気光学定数が大
きくなるか、あるいは変わらない場合には、そのまま電
圧上昇を続ける。(3) If the electro-optic constant increases or does not change with the voltage rise, the voltage rise is continued.
【0064】(4) 電圧上昇に伴い電気光学定数が減
少する場合には、減少し始める直前の電圧に戻し、固定
する。(4) When the electro-optic constant decreases with an increase in the voltage, the voltage is returned to the voltage immediately before the decrease and fixed.
【0065】上記のように、温度並びに印加電圧を設定
した後、上記設定温度の−20℃〜+20℃の範囲で変
化させて、電気光学効果が最大となる温度に設定する。
同様にして直流印加電圧の設定を行うプロセスを複数回
繰り返し、電気光学効果が最大となる点を探す。After setting the temperature and the applied voltage as described above, the temperature is changed within the above set temperature range of -20 ° C. to + 20 ° C. to set the temperature at which the electro-optical effect is maximized.
In the same manner, the process of setting the DC applied voltage is repeated a plurality of times to search for a point where the electro-optical effect is maximized.
【0066】次に、電場配向の時間を電気光学定数をモ
ニタしながら設定する。前記の設定条件下で電場配向を
行い、電気光学効果の経時変化をみて、その大きさが増
加しなくなった時点で温度を降下させ、非線形分子を固
定する。Next, the electric field orientation time is set while monitoring the electro-optic constant. The electric field orientation is performed under the above-mentioned set conditions, and the time-dependent change of the electro-optic effect is observed. When the magnitude does not increase, the temperature is lowered to fix the nonlinear molecules.
【0067】以上の方法によって、電気光学定数が4p
m/Vのデイスパースレッド1分散ポリメチルメタクリ
レートからなる電気光学材料を作製した。According to the above method, the electro-optic constant is 4p
An electro-optic material comprising m / V disperse red 1 dispersed polymethyl methacrylate was prepared.
【0068】[0068]
【発明の効果】本発明によれば、電気光学材料の電気光
学特性を、非線形分子の電場配向状態をモニタしながら
作製でき、最大の電気光学定数を発現させ得る電気光学
材料を得ることができる。According to the present invention, the electro-optical characteristics of the electro-optical material can be produced while monitoring the state of the electric field orientation of the non-linear molecules, and the electro-optical material capable of exhibiting the maximum electro-optical constant can be obtained. .
【0069】また、電気光学定数をモニタしながら作製
条件を調節できるので、特定の電気光学定数を有する電
気光学材料を作製することができる。Further, since the manufacturing conditions can be adjusted while monitoring the electro-optical constant, an electro-optical material having a specific electro-optical constant can be manufactured.
【図1】本発明の電気光学材料の製造装置の模式構成図
である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus for manufacturing an electro-optical material according to the present invention.
【図2】図1の電極部の模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram of an electrode unit of FIG.
【図3】電気光学材料の複屈折率の微小変化をモニタす
る光検出手段の模式構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a light detection unit that monitors a minute change in a birefringence of an electro-optic material.
1…電圧印加のための電極、2…電気光学材料、3…反
射誘電体多層膜、4…基板、5…レーザ光源、6…偏光
子、7,8…ミラー、9…レンズ、10…温度コントロ
ーラ、11…コントロール電源、12…出力端子、13
…交流電圧と同一周期の参照信号出力、14…ソレイユ
バビネ補償板、15…偏光子、16,22,23…フォト
ダイオード、17,27…ロックイン増幅器、18…信
号入力端子、19…参照信号入力端子、20…光検出
部、21…ウォラストンプリズム、24,25…信号入
力端子、26…参照信号入力端子。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electrode for voltage application, 2 ... Electro-optic material, 3 ... Reflection dielectric multilayer film, 4 ... Substrate, 5 ... Laser light source, 6 ... Polarizer, 7,8 ... Mirror, 9 ... Lens, 10 ... Temperature Controller, 11: Control power supply, 12: Output terminal, 13
... Reference signal output with the same cycle as the AC voltage, 14 Soleil-Babinet compensator, 15 Polarizer, 16, 22, 23 Photodiode, 17, 27 Lock-in amplifier, 18 Signal input terminal, 19 Reference signal Input terminal, 20: photodetector, 21: Wollaston prism, 24, 25: signal input terminal, 26: reference signal input terminal.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/35 G02F 1/03 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/35 G02F 1/03
Claims (8)
ポッケルス効果を有する電気光学材料の製法において、
前記電場配向時における電気光学材料の電気光学定数の
大きさをモニタしながら、電場配向温度,印加電圧およ
び電圧印加時間の少なくとも一つを制御することを特徴
とする電気光学材料の製法。1. A method for producing an electro-optical material having a Pockels effect in which an electric field is applied to orient nonlinear molecules,
A method for producing an electro-optic material, wherein at least one of an electric field orientation temperature, an applied voltage, and a voltage application time is controlled while monitoring the magnitude of an electro-optic constant of the electro-optic material during the electric field orientation.
晶,非線形分子を分散または結合させた有機高分子,ア
モルファス、または、非線形分子を含む溶液から選ばれ
る材料である請求項1に記載の電気光学材料の製法。2. The electro-optic material according to claim 1, wherein the electro-optic material is a material selected from a crystal of nonlinear molecules, an organic polymer in which nonlinear molecules are dispersed or bonded, amorphous, or a solution containing nonlinear molecules. Manufacturing method of optical materials.
ポッケルス効果を有する電気光学材料の製法において、
前記電場として、直流電圧と、前記非線形分子の分子配
向運動が追随し得ない高周波で、かつ、振幅が前記直流
電圧よりも小さい交流電圧とを同時に印加し、電気光学
材料の複屈折率の交流電圧に対する依存性をモニタしな
がら、電場配向温度,印加電圧および電圧印加時間の少
なくとも一つを制御することを特徴とする電気光学材料
の製法。3. A method for producing an electro-optical material having a Pockels effect in which an electric field is applied to orient nonlinear molecules,
As the electric field, a DC voltage and a high frequency at which the molecular orientation motion of the nonlinear molecules cannot follow, and an AC voltage having an amplitude smaller than the DC voltage are simultaneously applied, and the AC of the birefringence of the electro-optic material is applied. A method for producing an electro-optical material, wherein at least one of an electric field alignment temperature, an applied voltage, and a voltage application time is controlled while monitoring the dependence on a voltage.
ポッケルス効果を有する電気光学材料の製法において、
前記電場として、直流電圧と、前記非線形分子の分子配
向運動が追随し得ない高周波で、かつ、振幅が前記直流
電圧よりも小さい交流電圧とを同時に印加し、電気光学
材料の複屈折率の交流電圧に対する依存性をモニタし、
これにより求めた電気光学材料の電気光学定数から、電
場配向温度、印加電圧および電圧印加時間の少なくとも
一つを制御することを特徴とする電気光学材料の製法。4. A method for producing an electro-optical material having a Pockels effect in which an electric field is applied to orient nonlinear molecules,
As the electric field, a DC voltage and a high frequency at which the molecular orientation motion of the nonlinear molecules cannot follow, and an AC voltage having an amplitude smaller than the DC voltage are simultaneously applied, and the AC of the birefringence of the electro-optic material is applied. Monitor the dependence on voltage,
From electro-optic coefficient of the electro-optical material obtained by this, electrostatic
At least the field orientation temperature, applied voltage and voltage applied time
A method for producing an electro-optical material, characterized by controlling one .
ポッケルス効果を有する電気光学材料の製法において、
非線形分子を配向させ電気光学効果を発現させる直流電
圧と同時に交流電圧を印加し、交流電圧に起因する電気
光学効果により変化する入射光の偏光状態をモニタし、
電場配向温度,印加電圧および電圧印加時間の少なくと
も一つを制御することを特徴とする電気光学材料の製
法。5. A method for producing an electro-optical material having a Pockels effect of orienting a nonlinear molecule by applying an electric field,
An AC voltage is applied at the same time as a DC voltage for orienting the non-linear molecules to exhibit the electro-optical effect, and the polarization state of incident light that changes due to the electro-optical effect caused by the AC voltage is monitored.
A method for producing an electro-optical material, wherein at least one of an electric field orientation temperature, an applied voltage, and a voltage application time is controlled.
ポッケルス効果を有する電気光学材料の製法において、
前記電気光学材料が光を吸収することにより非線形特性
を発現する材料からなり、電気光学定数をモニタしなが
ら光を照射し、電気光学定数が所定の値に到達した時点
で光の照射を止めるよう制御することを特徴とする電気
光学材料の製法。6. A method for producing an electro-optic material having a Pockels effect in which an electric field is applied to orient nonlinear molecules,
The electro-optic material is made of a material that exhibits non-linear characteristics by absorbing light, irradiates light while monitoring the electro-optic constant, and stops irradiation when the electro-optic constant reaches a predetermined value. A method for producing an electro-optical material, characterized by controlling.
直流および交流電圧を印加して非線形分子を電場配向さ
せる電界印加手段と、前記電気光学材料の加熱手段と、
前記電気光学材料に単一の偏光成分から成る光を照射す
る光照射手段と、前記電界印加により変化する前記電気
光学材料の透過光を検出する光検出手段と、前記電界印
加手段の電界強度,電界印加時間,電気光学材料の加熱
温度の少なくとも一つを制御する制御手段を備えたこと
を特徴とする電気光学材料の製造装置。7. An electric field applying means for applying DC and AC voltages to an electro-optical material having a Pockels effect to orient a nonlinear molecule in an electric field, a heating means for the electro-optical material,
Light irradiating means for irradiating the electro-optical material with light having a single polarization component; light detecting means for detecting light transmitted through the electro-optical material which changes by applying the electric field; An apparatus for manufacturing an electro-optical material, comprising: control means for controlling at least one of an electric field application time and a heating temperature of the electro-optical material.
過光を直交する2つの偏光成分に分ける偏光素子と、前
記偏光素子により分けられたそれぞれの偏光成分を検出
する光検出器を備えており、前記2つの偏光の強度差に
基づき、前記電界印加手段の電界強度,電界印加時間お
よび電気光学材料の加熱温度の少なくとも一つを制御す
るコントロール装置を有する請求項7に記載の電気光学
材料の製造装置。8. The apparatus according to claim 1, wherein said light detecting means includes a polarizing element for dividing the transmitted light of said electro-optical material into two orthogonal polarized light components, and a photodetector for detecting each polarized light component separated by said polarizing element. 8. The electro-optic material according to claim 7, further comprising a control device for controlling at least one of an electric field intensity of the electric field application means, an electric field application time, and a heating temperature of the electro-optic material based on a difference between the two polarization intensities. Manufacturing equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13854294A JP2999673B2 (en) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | Method for producing electro-optical material and apparatus for producing the same |
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Publications (2)
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| JPH086077A JPH086077A (en) | 1996-01-12 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2018194630A (en) * | 2017-05-16 | 2018-12-06 | 日本放送協会 | Optical deflector performance index measurement apparatus and optical deflector performance index measurement program |
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-
1994
- 1994-06-21 JP JP13854294A patent/JP2999673B2/en not_active Expired - Lifetime
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