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JP2999994B2 - Optical recording / reproducing device and optical recording medium - Google Patents
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JP2999994B2 - Optical recording / reproducing device and optical recording medium - Google Patents

Optical recording / reproducing device and optical recording medium

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JP2999994B2
JP2999994B2 JP10126937A JP12693798A JP2999994B2 JP 2999994 B2 JP2999994 B2 JP 2999994B2 JP 10126937 A JP10126937 A JP 10126937A JP 12693798 A JP12693798 A JP 12693798A JP 2999994 B2 JP2999994 B2 JP 2999994B2
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recording
optical recording
track
light
optical
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哲也 乾
明 高橋
賢司 太田
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録密度を向上で
きる光記録再生装置および光記録媒体に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording / reproducing apparatus and an optical recording medium capable of improving recording density.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光を用いて情報を記録再生する光
メモリーの内、記録媒体として垂直磁化膜からなる記録
膜を用い、レーザー光を照射しながら磁場を印加して、
光スポット内の磁化を上向き、または、下向きにするこ
とにより、情報を記録する光磁気ディスクが実用化され
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an optical memory for recording and reproducing information using light, a recording film made of a perpendicular magnetization film is used as a recording medium, and a magnetic field is applied while irradiating a laser beam.
Magneto-optical disks for recording information by making the magnetization in a light spot upward or downward have been put to practical use.

【0003】光磁気ディスクには、図4(a)の平面図
および同図(b)の縦断面図に示すように、グルーブ5
1…が設けられており、光スポット52を正確に螺旋状
のトラックに追従させることができるようになってい
る。グルーブ51の幅はトラックピッチに応じて設定さ
れており、トラックピッチを例えば1.6μmとする
と、グルーブ51の幅は1〜1.2μmに設定される。
As shown in a plan view of FIG. 4A and a vertical sectional view of FIG.
Are provided so that the light spot 52 can accurately follow the spiral track. The width of the groove 51 is set according to the track pitch. When the track pitch is set to, for example, 1.6 μm, the width of the groove 51 is set to 1 to 1.2 μm.

【0004】上記のグルーブ51…は、トラックのアド
レス情報に応じて半径方向に蛇行(ウォーブル)するよ
うに形成されており、トラッキング信号から蛇行周波数
の成分を取り出すことにより、光スポット52が走査中
のトラックのアドレス情報を求めることができる。
The grooves 51 are formed so as to meander (wobble) in the radial direction in accordance with the address information of the track. By extracting the component of the meandering frequency from the tracking signal, the light spot 52 is scanned. Track information can be obtained.

【0005】情報の記録再生は、グルーブ51…に一致
するトラックに対して行われる。トラックピッチは光ス
ポット52の直径程度に設定されており、光スポット5
2の直径は、レーザー光の波長と、レーザー光を光スポ
ット52に収斂する対物レンズの開口数とによって決ま
っている。レーザー光の波長は、通常、780〜830
nmであり、対物レンズの開口数は0.45〜0.6で
ある。したがって、光スポット52の直径は1.2〜
1.4μmとなり、トラックピッチは1.4〜1.6μ
mに設定されている。このため、磁化が上向き、また
は、下向きの記録ドメインの大きさは、最小0.8μm
程度となる。
Recording and reproduction of information are performed on tracks matching the grooves 51. The track pitch is set to about the diameter of the light spot 52,
The diameter of 2 is determined by the wavelength of the laser light and the numerical aperture of the objective lens that converges the laser light to the light spot 52. The wavelength of the laser light is usually 780 to 830.
nm, and the numerical aperture of the objective lens is 0.45 to 0.6. Therefore, the diameter of the light spot 52 is 1.2 to
1.4 μm, and the track pitch is 1.4 to 1.6 μ
m. Therefore, the size of the recording domain whose magnetization is upward or downward is at least 0.8 μm.
About.

【0006】近年、この光磁気ディスクの内、記録膜を
多層構造にすることにより、記録膜に磁気超解像(Ma
gnetic Super Resolution)の
効果を持たせ、これにより、光スポットのサイズよりも
はるかに小さい記録ドメインを形成して、記録密度を向
上させる方策が取られている。この磁気超解像を用いれ
ば、上記のほぼ1/2の大きさの記録ドメインを安定し
て形成することが可能であり、したがって、トラックピ
ッチを上記のほぼ1/2の0.8μm程度にすることが
可能であるので、記録密度を飛躍的に向上させることが
できる。この磁気超解像に関しては、例えば、日本応用
磁気学会誌、Vol.15,No.5,1991,p
p.838−845が詳しい。
In recent years, by making the recording film of this magneto-optical disk a multilayer structure, a magnetic super-resolution (Ma
There is a measure to improve the recording density by forming a recording domain that is much smaller than the size of the light spot by giving the effect of the G.sub.nic super resolution. By using this magnetic super-resolution, it is possible to stably form a recording domain having a size of about 1/2 as described above. Therefore, the recording density can be dramatically improved. This magnetic super-resolution is described in, for example, Journal of the Japan Society of Applied Magnetics, Vol. 15, No. 5,1991, p
p. 838-845 is detailed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、トラックピッチを0.8μm程度にする
と、トラッキング信号が弱くなるため、正確なトラッキ
ングを行うことができないという問題点を有している。
However, in the above-mentioned conventional configuration, when the track pitch is set to about 0.8 μm, there is a problem that accurate tracking cannot be performed because the tracking signal becomes weak. .

【0008】また、トラッキング信号から蛇行周波数の
成分を取り出すことが困難になるので、正確なアドレス
情報を求めることができないという問題点を有してい
る。
Further, since it becomes difficult to extract the meandering frequency component from the tracking signal, there is a problem that accurate address information cannot be obtained.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の光記録再生装置
は、グルーブとランドの両方を記録トラックとする光記
録媒体に対して、情報を記録または再生する光記録再生
装置において、隣接する記録トラックの境界に記録され
た両者に共通のアドレス情報を用いて、特定の記録トラ
ックを指定する指定手段を有することを特徴とする。
An optical recording / reproducing apparatus according to the present invention is an optical recording / reproducing apparatus for recording / reproducing information on / from an optical recording medium having both grooves and lands as recording tracks. It has a designating means for designating a specific recording track by using address information common to both recorded at track boundaries.

【0010】さらに、前記指定手段が、トラッキング信
号をも用いて、前記特定の記録トラックを指定すること
を特徴とする。
Further, the specification means specifies the specific recording track also using a tracking signal.

【0011】また、光記録媒体の記録トラックに対して
情報を記録または再生する光記録再生装置において、隣
接する記録トラックの境界に記録された両者に共通のア
ドレス情報と、トラッキング信号とを用いて、特定の記
録トラックを指定する指定手段を有することを特徴とす
る。
In an optical recording / reproducing apparatus for recording / reproducing information on / from a recording track of an optical recording medium, address information common to both recorded at the boundary between adjacent recording tracks and a tracking signal are used. , Characterized by having a designating means for designating a specific recording track.

【0012】また、本発明の光記録媒体は、グルーブと
ランドの両方を記録トラックとする光記録媒体におい
て、隣接する記録トラックの境界に、両者に共通のアド
レス情報が記録されていることを特徴とする。
Further, the optical recording medium of the present invention is characterized in that, in an optical recording medium having both a groove and a land as recording tracks, address information common to both recording tracks is recorded at a boundary between adjacent recording tracks. And

【0013】以下に本発明の作用を説明する。本発明の
光記録再生装置によれば、トラックピッチが小さくなっ
た場合にも、正確なアドレス情報を得ることができ、特
定の記録トラックを容易に指定できる。
The operation of the present invention will be described below. According to the optical recording / reproducing apparatus of the present invention, accurate address information can be obtained even when the track pitch is reduced, and a specific recording track can be easily specified.

【0014】また、本発明の光記録媒体では、その記録
密度を向上することができる。
Further, in the optical recording medium of the present invention, the recording density can be improved.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の一実施例について図1な
いし図3に基づいて説明すれば、以下の通りである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0016】本実施例の光磁気ディスクには、図1
(a)の平面図および同図(b)の縦断面図に示すよう
に、螺旋状または同心円状のグルーブ1…が設けられて
いる。グルーブ1の幅の平均値およびグルーブ1・1間
のランド2の幅の平均値は、互いに等しく、かつ、トラ
ックピッチに等しくなるように設定されている。
FIG. 1 shows a magneto-optical disk according to this embodiment.
As shown in the plan view of (a) and the longitudinal sectional view of (b), spiral or concentric grooves 1 are provided. The average value of the width of the groove 1 and the average value of the width of the land 2 between the grooves 1 and 1 are set to be equal to each other and equal to the track pitch.

【0017】上記のグルーブ1…の一方の側壁1a…
は、トラックのアドレス情報に応じて光磁気ディスクの
半径方向に蛇行するように形成されている。側壁1a…
の蛇行周波数は、トラッキングサーボ系(図示されてい
ない)の追従周波数より高く、かつ、記録時の記録周波
数よりも低い周波数に設定されている。
One of the side walls 1a of the grooves 1 is formed.
Are formed so as to meander in the radial direction of the magneto-optical disk according to the address information of the track. Side wall 1a ...
Is set to a frequency higher than the tracking frequency of a tracking servo system (not shown) and lower than the recording frequency at the time of recording.

【0018】上記の構成において、情報の記録は、グル
ーブ1…上のトラックおよびランド2…上のトラックに
対して行われる。すなわち、グルーブ1とランド2は両
者とも記録トラックとなっている。光スポット3をグル
ーブ1上のトラックを追従させるか、ランド2上のトラ
ックを追従させるかは、トラッキング信号の極性を反転
することによって容易に選択できる。トラッキング信号
は例えばプッシュプル法によって得られる。
In the above arrangement, information is recorded on the tracks on the grooves 1 and the tracks on the lands 2. That is, both the groove 1 and the land 2 are recording tracks. Whether the light spot 3 follows the track on the groove 1 or the track on the land 2 can be easily selected by inverting the polarity of the tracking signal. The tracking signal is obtained by, for example, a push-pull method.

【0019】光スポット3が走査中のトラックのアドレ
ス情報は、トラッキング信号から側壁1a…の蛇行周波
数の成分を取り出すことによって求められる。
The address information of the track being scanned by the light spot 3 is obtained by extracting the meandering frequency component of the side walls 1a from the tracking signal.

【0020】すなわち、光スポット3を例えばグルーブ
1に追従させると、蛇行周波数が追従周波数より高いの
で、光スポット3は、グルーブ1の幅の二分割点を結ん
だ中心線上をトラッキングするのではなく、グルーブ1
の平均幅の二分割点を結んだ線上をトラッキングする。
このため、グルーブ1の蛇行振幅の半分に等しいトラッ
キング誤差が常に生じている。したがって、トラッキン
グ信号からこれを取り出せば、蛇行周波数の信号成分が
得られる。光スポット3をランド2に追従させた場合に
ついても、同様である。
That is, when the light spot 3 is made to follow the groove 1, for example, the meandering frequency is higher than the following frequency. Therefore, the light spot 3 does not track on the center line connecting the two division points of the width of the groove 1. , Groove 1
Tracking on the line connecting the two division points of the average width of.
Therefore, a tracking error equal to half the meandering amplitude of the groove 1 always occurs. Therefore, if this is extracted from the tracking signal, a signal component having a meandering frequency can be obtained. The same applies to the case where the light spot 3 is made to follow the land 2.

【0021】なお、トラッキング誤差が蛇行振幅の半分
になるので、従来と同じ大きさの蛇行周波数の信号成分
を得るためには、蛇行振幅を従来の倍にしなければなら
ない。例えば、従来の蛇行振幅を±30nmとすると、
これを±60nmにする必要がある。
Since the tracking error becomes half the meandering amplitude, the meandering amplitude must be doubled to obtain a signal component having the same meandering frequency as the conventional one. For example, if the conventional meandering amplitude is ± 30 nm,
This needs to be ± 60 nm.

【0022】しかしながら、グルーブ1の幅、ランド2
の幅がそれぞれ0.8μmであるときのトラッキング信
号の大きさは、グルーブ1の幅、ランド2の幅がそれぞ
れ1.2μm、0.4μmであるときのトラッキング信
号の大きさの1.4倍になるので、蛇行振幅は従来のほ
ぼ1.4倍(≒2/1.4)でよい。
However, the width of the groove 1 and the land 2
Is 0.8 μm, the magnitude of the tracking signal is 1.4 times the magnitude of the tracking signal when the width of the groove 1 and the width of the land 2 are 1.2 μm and 0.4 μm, respectively. Therefore, the meandering amplitude may be approximately 1.4 times (≒ 2 / 1.4) the conventional value.

【0023】また、グルーブ1の幅、ランド2の幅がそ
れぞれ1.3μm、0.3μmであるときと比較する
と、蛇行振幅はほぼ1.1倍でよい。さらに、グルーブ
1の幅、ランド2の幅がそれぞれ1.1μm、0.5μ
mであるときと比較すると、蛇行振幅はほぼ1.7倍で
よい。
Further, the meandering amplitude may be approximately 1.1 times that when the width of the groove 1 and the width of the land 2 are 1.3 μm and 0.3 μm, respectively. Further, the width of the groove 1 and the width of the land 2 are 1.1 μm and 0.5 μm, respectively.
Compared with the case of m, the meandering amplitude may be approximately 1.7 times.

【0024】したがって、従来とほぼ同じ大きさの蛇行
周波数の信号成分を取り出すためには、蛇行振幅を±3
5nmから±50nmの範囲に設定すればよい。
Therefore, in order to extract a signal component having a meandering frequency substantially the same as the conventional one, the meandering amplitude must be ± 3.
What is necessary is just to set it in the range of 5 nm to ± 50 nm.

【0025】本実施例の光磁気ディスクでは、グルーブ
1の一方の側壁1aだけを蛇行させているので、光スポ
ット3の直径をトラックピッチよりも大きく、かつ、ト
ラックピッチの二倍よりも小さく設定しておけば、二つ
の蛇行した側壁1a・1aに光スポット3が同時に当た
ることがない。このため、正確なアドレス情報が得られ
る。
In the magneto-optical disk of this embodiment, since only one side wall 1a of the groove 1 is meandering, the diameter of the light spot 3 is set to be larger than the track pitch and smaller than twice the track pitch. If it does, the light spot 3 will not simultaneously hit the two meandering side walls 1a. Therefore, accurate address information can be obtained.

【0026】なお、本実施例では、グルーブ1に対応し
たトラックのアドレス情報は、このグルーブ1の側壁1
a側に隣接したランド2に対応したトラックのアドレス
情報と同一になる。しかしながら、上述のように、これ
らのトラックをトラッキングサーボ系によって容易に選
択できる。つまり、グルーブ1とランド2の境界にある
側壁1aの蛇行により記録されたアドレス情報と、トラ
ッキング信号との両方を用いることで特定トラックを容
易に指定することができる。
In this embodiment, the address information of the track corresponding to the groove 1 is stored in the side wall 1 of the groove 1.
The address information becomes the same as the address information of the track corresponding to the land 2 adjacent to the side a. However, as described above, these tracks can be easily selected by the tracking servo system. That is, a specific track can be easily designated by using both the address information recorded by the meandering of the side wall 1a at the boundary between the groove 1 and the land 2 and the tracking signal.

【0027】上記の光磁気ディスクに磁気超解像効果を
用いて情報を記録する場合、記録ドメインの直径を0.
4μm程度にできる。このため、トラックの幅を0.8
μmにする(すなわち、グルーブ1の幅およびランド2
の幅を共に0.8μmに設定する)と、容易に記録再生
を行うことができる。また、トラックピッチを従来の
1.6μmから半分の0.8μmにできるので、記録密
度を大幅に向上させることができる。しかも、大きなト
ラッキング信号を得ることができ、正確なアドレス情報
を得ることができる。
When information is recorded on the above-mentioned magneto-optical disk by using the magnetic super-resolution effect, the diameter of the recording domain is set to 0.
It can be about 4 μm. Therefore, the track width must be 0.8
μm (ie, the width of the groove 1 and the land 2
Are set to 0.8 μm), recording and reproduction can be easily performed. Further, since the track pitch can be reduced to half of 0.8 μm from the conventional 1.6 μm, the recording density can be greatly improved. Moreover, a large tracking signal can be obtained, and accurate address information can be obtained.

【0028】また、記録再生に用いるレーザー光の波長
を短くすると、光スポット3をより小さくできる。この
ため、トラックピッチをさらに小さくできる。例えば、
レーザー光の波長を830nmから458nmにする
と、トラックピッチを(458/830)倍にできる。
すなわち、記録密度をほぼ倍にできる。
When the wavelength of the laser beam used for recording and reproduction is shortened, the light spot 3 can be made smaller. For this reason, the track pitch can be further reduced. For example,
When the wavelength of the laser light is changed from 830 nm to 458 nm, the track pitch can be increased by (458/830) times.
That is, the recording density can be almost doubled.

【0029】以上の実施例では、トラッキング信号から
蛇行周波数の信号成分を取り出したが、光磁気ディスク
からの反射光の光量から蛇行周波数の信号成分を取り出
してもかまわない。すなわち、グルーブ1の幅あるいは
ランド2の幅が狭くなっていると反射光が弱くなり、広
くなっていると反射光が強くなる。したがって、光スポ
ット3の反射光の光量変化を取り出せば、蛇行周波数の
信号成分を得ることができる。
In the above embodiment, the meander frequency signal component is extracted from the tracking signal. However, the meander frequency signal component may be extracted from the amount of light reflected from the magneto-optical disk. That is, when the width of the groove 1 or the land 2 is narrow, the reflected light is weak, and when the width is wide, the reflected light is strong. Therefore, if the change in the amount of reflected light from the light spot 3 is extracted, a signal component having a meandering frequency can be obtained.

【0030】上記の光磁気ディスクのマスタリング・プ
ロセスについて図2に基づいて説明すれば、以下のとお
りである。
The mastering process of the above-mentioned magneto-optical disk will be described below with reference to FIG.

【0031】まず、ガラス基板4の片面にフォトレジス
ト5を塗布する(同図(a))。それから、レーザー光
を対物レンズ7によってフォトレジスト5上に収斂し、
フォトレジスト5を所望のグルーブ1のパターンに感光
させる(同図(b))。これを現像することによって、
不要なフォトレジスト5を除去し、ガラス基板4上に残
ったフォトレジスト5a…により、所望のパターンを形
成する(同図(c))。
First, a photoresist 5 is applied to one surface of the glass substrate 4 (FIG. 1A). Then, the laser light is converged on the photoresist 5 by the objective lens 7,
The photoresist 5 is exposed to a desired pattern of the groove 1 (FIG. 2B). By developing this,
Unnecessary photoresist 5 is removed, and a desired pattern is formed with photoresist 5a remaining on glass substrate 4 (FIG. 3C).

【0032】次に、フォトレジスト5a…からなるパタ
ーン上に導電性の薄膜8をスパッタリング、あるいは、
無電解メッキなどによって形成する(同図(d))。薄
膜8の材料には、Ni、Ta、Crまたはその合金、あ
るいはそれらの複合膜が用いられる。それから、薄膜8
上に例えばNiからなる金属層9を電鋳で形成し(同図
(e))、これを剥離すると、金属層9と、その上に形
成された薄膜8からなるスタンパー10が得られる(同
図(f))。
Next, a conductive thin film 8 is sputtered on the pattern of the photoresists 5a,.
It is formed by electroless plating or the like (FIG. 4D). As a material of the thin film 8, Ni, Ta, Cr or an alloy thereof, or a composite film thereof is used. Then, the thin film 8
A metal layer 9 made of, for example, Ni is formed on the upper surface by electroforming ((e) in the same figure), and when this is peeled off, a stamper 10 composed of the metal layer 9 and the thin film 8 formed thereon is obtained (FIG. Figure (f).

【0033】このスタンパー10を用いてポリカーボネ
ート等のプラスチックを成型することにより、所望のグ
ルーブ1を有する光磁気ディスク用の基板が製造され
る。この基板上に記録媒体を形成すると、上記の光磁気
ディスクが得られる。
By molding a plastic such as polycarbonate using the stamper 10, a substrate for a magneto-optical disk having a desired groove 1 is manufactured. When a recording medium is formed on this substrate, the above-described magneto-optical disk is obtained.

【0034】上記のフォトレジスト5をグルーブ1のパ
ターンに感光させる工程では、二本のレーザー光が使用
される。これらのレーザー光はフォトレジスト5上に二
個の光スポット6a・6bを形成する。光スポット6a
・6bと、光スポット6a・6bにより形成されたグル
ーブ1との関係を図1(a)に示す。
In the step of exposing the photoresist 5 to the pattern of the groove 1, two laser beams are used. These laser beams form two light spots 6a and 6b on the photoresist 5. Light spot 6a
FIG. 1 (a) shows the relationship between the groove 6b and the groove 1 formed by the light spots 6a and 6b.

【0035】螺旋状のグルーブ1を形成する場合、ガラ
ス基板4に相対的に光スポット6a・6bを螺旋状に移
動させるが、光スポット6aについては螺旋状に移動さ
せながら、アドレス情報に応じて光磁気ディスクの半径
方向にも振動させる。これにより、アドレス情報に応じ
て一方の側壁1aが蛇行したグルーブ1のパターンをフ
ォトレジスト5上に形成することができる。
When the spiral groove 1 is formed, the light spots 6a and 6b are moved in a spiral relative to the glass substrate 4, but the light spot 6a is moved in a spiral in accordance with the address information. Vibration also occurs in the radial direction of the magneto-optical disk. Thereby, a pattern of the groove 1 in which one of the side walls 1a meanders can be formed on the photoresist 5 according to the address information.

【0036】例えば、各光スポット6a・6bの直径を
0.4μmとし、トラックピッチを0.8μmとする
と、光スポット6a・6bは互いに平均して0.4μm
だけ光磁気ディスクの半径方向に離れて配置される。ま
た、各光スポット6a・6bの直径を0.5μmとし、
トラックピッチを0.7μmとすると、光スポット6a
・6bは互いに平均して0.2μmだけ光磁気ディスク
の半径方向に離れて配置される。
For example, if the diameter of each of the light spots 6a and 6b is 0.4 μm and the track pitch is 0.8 μm, the light spots 6a and 6b average 0.4 μm each other.
Only in the radial direction of the magneto-optical disk. Further, the diameter of each of the light spots 6a and 6b is set to 0.5 μm,
When the track pitch is 0.7 μm, the light spot 6a
6b are spaced apart from each other by 0.2 μm on average in the radial direction of the magneto-optical disk.

【0037】上記のフォトレジスト5をグルーブ1のパ
ターンに感光させる記録装置の一例を図3に示す。
FIG. 3 shows an example of a recording apparatus for exposing the photoresist 5 to the pattern of the groove 1.

【0038】記録装置は、フォトレジスト5を感光させ
るためのレーザー光源11aと、対物レンズ7のフォー
カシング用のレーザー光源11bを備えている。レーザ
ー光源11aには、例えばアルゴンレーザーが使用さ
れ、レーザー光源11bには、例えばHe−Neレーザ
ーが使用される。
The recording apparatus has a laser light source 11a for exposing the photoresist 5 and a laser light source 11b for focusing the objective lens 7. As the laser light source 11a, for example, an argon laser is used, and as the laser light source 11b, for example, a He-Ne laser is used.

【0039】レーザー光源11aからのレーザー光は、
ノイズ抑制装置12aによって光ノイズを低減させられ
た後、ミラー19・20で反射され、ビームスプリッタ
ー21に入射する。レーザー光はビームスプリッター2
1によって二分割され、それぞれ、光変調器18a・1
8bに入射する。光変調器18a・18bとしては、例
えば音響光学素子を用いることができる。その場合、光
変調器18a・18bの前後にそれぞれ収束用の凸レン
ズ22・22を配置する必要がある。
The laser light from the laser light source 11a is
After the optical noise is reduced by the noise suppression device 12 a, the light is reflected by the mirrors 19 and 20 and enters the beam splitter 21. Laser beam splitter 2
1 and divided into two optical modulators 18a and 1a, respectively.
8b. As the optical modulators 18a and 18b, for example, acousto-optic devices can be used. In that case, it is necessary to arrange convex lenses 22 for convergence before and after the optical modulators 18a and 18b, respectively.

【0040】光変調器18aを通った光ビームは光偏向
器23に入射した後、プリズムミラー24で直角方向に
反射される。光偏向器23としては、例えば、電気光学
効果、あるいは、音響光学効果を用いて進行方向を変え
ることのできる素子を用いることができる。一方、光変
調器18bを通った光ビームは(1/2)波長板25に
入射し、偏光面が90度回転される。
The light beam having passed through the light modulator 18a enters the light deflector 23, and is reflected by the prism mirror 24 in a right angle direction. As the light deflector 23, for example, an element whose traveling direction can be changed by using an electro-optic effect or an acousto-optic effect can be used. On the other hand, the light beam passing through the light modulator 18b is incident on the (1/2) wavelength plate 25, and the polarization plane is rotated by 90 degrees.

【0041】これらの光ビームは、偏光プリズム26で
再び合成された後、ビームエキスパンダー27によって
適当な光ビーム径に拡大され、二色ミラー15で反射さ
れて対物レンズ7に入射する。そして、対物レンズ7に
よってガラス基板4上のフォトレジスト5に光スポット
6a・6bとして収斂される。
These light beams are recombined by the polarizing prism 26, expanded to an appropriate light beam diameter by the beam expander 27, reflected by the dichroic mirror 15, and incident on the objective lens 7. Then, the light is converged by the objective lens 7 on the photoresist 5 on the glass substrate 4 as light spots 6a and 6b.

【0042】なお、上記の光変調器18a・18bは、
それぞれ、ドライバー28a・28bによって制御され
る。また、光偏向器23はドライバー29によって制御
される。
The optical modulators 18a and 18b are
Each is controlled by the drivers 28a and 28b. The light deflector 23 is controlled by a driver 29.

【0043】一方、レーザー光源11bからのレーザー
光は、ノイズ抑制装置12bによって光ノイズを低減さ
せられた後、偏光ビームスプリッター13、(1/4)
波長板14、二色ミラー15を通り、対物レンズ7によ
ってガラス基板4上のフォトレジスト5に収斂される。
On the other hand, after the laser light from the laser light source 11b is reduced in optical noise by the noise suppression device 12b, the polarization beam splitter 13, (1/4)
The light passes through the wave plate 14 and the dichroic mirror 15 and is converged on the photoresist 5 on the glass substrate 4 by the objective lens 7.

【0044】その反射光は、対物レンズ7によって集光
され、二色ミラー15、(1/4)波長板14、偏光ビ
ームスプリッター13を通り、対物レンズ16およびシ
リンドリカルレンズ17によって四分割の光検出器18
に収斂される。光検出器18からの信号に基づいて、フ
ォーカスサーボ信号が生成され、フォーカスサーボ系
(図示されていない)が対物レンズ7をフォーカス方向
に駆動する。これにより、スピンドルモーター30で回
転しているガラス基板4上のフォトレジスト5に対物レ
ンズ7の焦点が常に合わされる。
The reflected light is condensed by the objective lens 7, passes through the dichroic mirror 15, the (1 /) wavelength plate 14, and the polarization beam splitter 13, and is divided into four by the objective lens 16 and the cylindrical lens 17. Container 18
Is converged. A focus servo signal is generated based on a signal from the photodetector 18, and a focus servo system (not shown) drives the objective lens 7 in a focus direction. Thus, the focus of the objective lens 7 is always focused on the photoresist 5 on the glass substrate 4 rotated by the spindle motor 30.

【0045】上記の構成において、まず、光スポット6
aの位置決めを行う。すなわち、光スポット6aが、上
述したように、光スポット6bから半径方向に所定の平
均距離だけ離れた位置に配置されるように、ドライバー
29より光偏向器23に印加される直流電圧の大きさ
と、プリズムミラー24のセッティング角度とが調整さ
れる。
In the above configuration, first, the light spot 6
Positioning a is performed. That is, as described above, the magnitude of the DC voltage applied to the optical deflector 23 by the driver 29 so that the light spot 6a is arranged at a position spaced apart from the light spot 6b by a predetermined average distance in the radial direction. , The setting angle of the prism mirror 24 is adjusted.

【0046】それから、上記の直流電圧に蛇行周波数の
信号電圧を重畳させた電圧をドライバー29より光偏向
器23に印加する。これにより、光スポット6aを蛇行
周波数に応じて半径方向に振動させることができる。
Then, a voltage obtained by superimposing a signal voltage having a meandering frequency on the DC voltage is applied from the driver 29 to the optical deflector 23. Thereby, the light spot 6a can be vibrated in the radial direction according to the meandering frequency.

【0047】なお、ドライバー28a・28bから光変
調器18a・18bに電圧を印加することにより、光ス
ポット6a・6bをオン・オフすることができる。
The light spots 6a and 6b can be turned on and off by applying a voltage from the drivers 28a and 28b to the light modulators 18a and 18b.

【0048】以上の実施例では、光磁気ディスクおよび
その製造方法について説明したが、蛇行したグルーブを
有する光ディスクおよびその製造方法に本発明を広く応
用できる。
In the above embodiments, a magneto-optical disk and a method for manufacturing the same have been described. However, the present invention can be widely applied to an optical disk having a meandering groove and a method for manufacturing the same.

【0049】[0049]

【発明の効果】本発明の光記録再生装置によれば、トラ
ックピッチが小さくなった場合にも、正確なアドレス情
報を得ることができ、特定の記録トラックを容易に指定
できる。
According to the optical recording / reproducing apparatus of the present invention, accurate address information can be obtained even when the track pitch becomes small, and a specific recording track can be easily specified.

【0050】また、本発明の光記録媒体では、その記録
密度を向上することができる。
Further, in the optical recording medium of the present invention, the recording density can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の蛇行したグルーブを有する光磁気ディ
スクの概略構成を示すものであり、(a)は概略の平面
図、(b)は(a)の破線における概略の縦断面図であ
る。
FIGS. 1A and 1B show a schematic configuration of a magneto-optical disk having a meandering groove according to the present invention, wherein FIG. 1A is a schematic plan view, and FIG. 1B is a schematic longitudinal sectional view taken along a broken line in FIG. .

【図2】図1の光磁気ディスクで使用される基板のマス
タリング・プロセスを示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a mastering process of a substrate used in the magneto-optical disk of FIG.

【図3】図2のマスタリング・プロセスのフォトレジス
トの感光工程で使用される記録装置の概略を示すブロッ
ク図である。
3 is a block diagram schematically showing a recording apparatus used in a photoresist exposure step of the mastering process of FIG. 2;

【図4】従来の蛇行したグルーブを有する光磁気ディス
クの概略構成を示すものであり、(a)は概略の平面
図、(b)は(a)の破線における概略の縦断面図であ
る。
4A and 4B show a schematic configuration of a conventional magneto-optical disk having a meandering groove, in which FIG. 4A is a schematic plan view, and FIG. 4B is a schematic longitudinal sectional view taken along a broken line in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 グルーブ 1a 側壁 2 ランド 3 光スポット 4 ガラス基板 5 フォトレジスト 5a フォトレジスト 6a 光スポット 6b 光スポット 7 対物レンズ Reference Signs List 1 groove 1a side wall 2 land 3 light spot 4 glass substrate 5 photoresist 5a photoresist 6a light spot 6b light spot 7 objective lens

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G11B 11/10 586 G11B 11/10 586G (56)参考文献 特開 平1−220126(JP,A) 特開 平2−177027(JP,A) 特開 昭64−35727(JP,A) 特開 平4−47536(JP,A) 特開 昭62−89236(JP,A) 特開 昭58−23333(JP,A) 特開 昭57−138065(JP,A) 特開 平2−68721(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/00 - 7/013 G11B 7/24 - 7/26 G11B 11/00 - 13/06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI G11B 11/10 586 G11B 11/10 586G JP-A-64-35727 (JP, A) JP-A-4-47536 (JP, A) JP-A-62-89236 (JP, A) JP-A-58-23333 (JP, A) JP-A-57-138065 (JP, A) JP-A-2-68721 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 7/ 00-7/013 G11B 7/ 24- 7/26 G11B 11/00-13/06

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 グルーブとランドの両方を記録トラック
とする光記録媒体に対して、情報を記録または再生する
光記録再生装置において、 隣接する記録トラックの境界に記録された両者に共通の
アドレス情報を用いて、特定の記録トラックを指定する
指定手段を有することを特徴とする光記録再生装置。
1. An optical recording / reproducing apparatus for recording / reproducing information on / from an optical recording medium having both grooves and lands as recording tracks, comprising: address information common to both recorded at the boundary between adjacent recording tracks; An optical recording / reproducing apparatus characterized by having a designation means for designating a specific recording track by using the above.
【請求項2】 請求項1に記載の光記録再生装置におい
て、 前記指定手段は、トラッキング信号をも用いて、前記特
定の記録トラックを指定することを特徴とする光記録再
生ディスク装置。
2. The optical recording / reproducing disk device according to claim 1, wherein the specifying means specifies the specific recording track also using a tracking signal.
【請求項3】 光記録媒体の記録トラックに対して情報
を記録または再生する光記録再生装置において、 隣接する記録トラックの境界に記録された両者に共通の
アドレス情報と、トラッキング信号とを用いて、特定の
記録トラックを指定する指定手段を有することを特徴と
する光記録再生装置。
3. An optical recording / reproducing apparatus for recording / reproducing information on / from a recording track of an optical recording medium, using address information common to both recorded at the boundary between adjacent recording tracks and a tracking signal. An optical recording / reproducing apparatus, comprising: a designation unit for designating a specific recording track.
【請求項4】 グルーブとランドの両方を記録トラック
とする光記録媒体において、 隣接する記録トラックの境界に、両者に共通のアドレス
情報が記録されていることを特徴とする光記録媒体。
4. An optical recording medium having both grooves and lands as recording tracks, wherein address information common to both recording tracks is recorded at the boundary between adjacent recording tracks.
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