JP3010010B2 - 炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法 - Google Patents
炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法Info
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- JP3010010B2 JP3010010B2 JP7202751A JP20275195A JP3010010B2 JP 3010010 B2 JP3010010 B2 JP 3010010B2 JP 7202751 A JP7202751 A JP 7202751A JP 20275195 A JP20275195 A JP 20275195A JP 3010010 B2 JP3010010 B2 JP 3010010B2
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Description
炭素繊維強化炭素製（以下ＣＣＭという）ルツボを取り
付け、取り外しをする際に吊り上げる方法に関するもの
である。
は、従来黒鉛製のものが多く用いられていたが、最近は
シリコンウエハーの大型化により、ルツボも大型となる
ためＣＣＭ製のものが採用されてきた。
インチのものが主流であったのが、６インチさらには８
インチと拡大してきており、これに従いルツボも１２イ
ンチから１８インチ、２４インチと大型化してきてい
る。
り上げ方法として、各種の方法があるが次のような問題
点がある。まずＣＣＭルツボの胴部に引掛け用の穴を開
ける方法があるが、穴まわりが消耗し、ルツボの強度低
下をきたし、薄肉構造の為、引っ掛りしろも少なく困難
である。
加工する方法があるが、この場合、底部を厚肉化する必
要がある。ＣＣＭルツボは基本的に薄肉構成であり、厚
肉化はコスト高となり、製造歩留まりが低下し、さらに
伝熱や温度分布の面でも問題が生じる。
コン単結晶引上げ装置用のＣＣＭのルツボの吊り上げ方
法につき、ルツボの設計、加工に大幅な変更なしに、装
置に簡単な改良を加えることにより吊り上げ可能な方法
を提供するものである。
するため、本発明者が提案するのは、シリコン単結晶引
上げ装置用のＣＣＭルツボの吊り上げ方法に関し、前記
ルツボ底部とルツボを支えるペデスタルの間に炭素繊維
強化炭素製のリングを介在させ、該炭素繊維強化炭素製
リングを炭素繊維強化炭素製のルツボの取り付け、取り
外し作業のための把持部材とする方法であって、前記ペ
デスタルには取り付けの段差加工を施し、かつルツボの
底部外面には、ずれ防止のため切り溝を設けた構成とす
ることを特徴とする炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上
げ方法である。
１は本発明のシリコン単結晶引上げ装置のＣＣＭルツボ
のルツボの吊り上げの構成を表す図である。１はＣＣＭ
ルツボ、２は前記ＣＣＭルツボを支えるペデスタルであ
る。本発明において特徴となるのは、ＣＣＭルツボ１の
底部とペデスタル２の間に炭素繊維強化炭素製（以下Ｃ
ＣＭという）のリング３を介在させ、ルツボを吊り上げ
ることにしている点である。
り、大型のＣＣＭルツボであつても、取り付け、取り外
しの際に、容易に吊り上げることができる。上記リング
は、黒鉛製では強度、靭性の面で難があり、ＣＣＭ製の
ものであることにより、ＣＣＭルツボの吊り上げが可能
になる。
め段差加工が施されており、これによりＣＣＭルツボの
把持がより確実になされる。そしてルツボの底部外面に
は、ずれ防止のために切り溝が設けられている。このよ
うにＣＣＭルツボとペデスタルの間にＣＣＭリングを設
け、ペデスタルには段差加工を施し、ＣＣＭルツボには
切り溝を設けるという簡単な構成の改良により、ＣＣＭ
ルツボを取り付け、取り外しの際に、吊り上げる有効な
手段とすることができる。
げ装置用のＣＣＭルツボの取付けや取り外しの際の吊り
上げについて、ルツボの厚肉化や設計、加工の大幅な変
更なしで簡単な構造上の改良により、吊り上げが可能で
あり、またサイドヒーターからの熱を遮らず、伝熱面で
も問題は生じない。シリコン単結晶引き上げ装置用のＣ
ＣＭルツボの吊り上げ法として工業上有用である。
ルツボの吊り上げ装置のＣＣＭルツボの吊り上げの構成
を表わす図である。
Claims (1)
- 【請求項１】シリコン単結晶引上げ装置用の炭素繊維強
化炭素製ルツボの吊り上げ方法に関し、前記ルツボ底部
とルツボを支えるペデスタルの間に炭素繊維強化炭素製
のリングを介在させ、該炭素繊維強化炭素製リングを炭
素繊維強化炭素製のルツボの取付け、取り外し作業のた
めの把持部材とする方法であって、前記ペデスタルには
取付けの段差加工を施し、かつルツボ底部外面にはずれ
防止用の切り溝を設けた構成とすることを特徴とする炭
素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7202751A JP3010010B2 (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7202751A JP3010010B2 (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0930888A JPH0930888A (ja) | 1997-02-04 |
| JP3010010B2 true JP3010010B2 (ja) | 2000-02-14 |
Family
ID=16462568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7202751A Expired - Fee Related JP3010010B2 (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3010010B2 (ja) |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP7202751A patent/JP3010010B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0930888A (ja) | 1997-02-04 |
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