JP3014855B2 - 記録情報再生装置 - Google Patents
記録情報再生装置Info
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- JP3014855B2 JP3014855B2 JP4120660A JP12066092A JP3014855B2 JP 3014855 B2 JP3014855 B2 JP 3014855B2 JP 4120660 A JP4120660 A JP 4120660A JP 12066092 A JP12066092 A JP 12066092A JP 3014855 B2 JP3014855 B2 JP 3014855B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、探針と試料とを接近さ
せることによって生じる物理現象を利用して記録媒体に
記録された情報を再生する記録情報再生装置に関し、特
に、再生時に、往復両走査時のデータを抽出して比較す
る機構を有する記録情報再生装置に関する。
せることによって生じる物理現象を利用して記録媒体に
記録された情報を再生する記録情報再生装置に関し、特
に、再生時に、往復両走査時のデータを抽出して比較す
る機構を有する記録情報再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、探針と試料とを接近させ、そのと
きに生じる物理現象（トンネル現象等）を利用して物質
表面および表面近傍の電子構造を直接観察できる走査型
トンネル顕微鏡（以後ＳＴＭと略す）が開発され［G.Bi
nning et al.,Helvetica Physica Acta, 55,726(198
2)］単結晶、非晶質を問わず実空間像を高い分解能で測
定できるようになった。またＳＴＭは、媒体に対して電
流による損傷を与えずに低電力で観測できる利点をも有
し、更には超高真空中のみならず大気中、溶液中でも動
作し種々の材料に対して用いることができ、学術的ある
いは研究分野での広範囲な応用が期待されている。
きに生じる物理現象（トンネル現象等）を利用して物質
表面および表面近傍の電子構造を直接観察できる走査型
トンネル顕微鏡（以後ＳＴＭと略す）が開発され［G.Bi
nning et al.,Helvetica Physica Acta, 55,726(198
2)］単結晶、非晶質を問わず実空間像を高い分解能で測
定できるようになった。またＳＴＭは、媒体に対して電
流による損傷を与えずに低電力で観測できる利点をも有
し、更には超高真空中のみならず大気中、溶液中でも動
作し種々の材料に対して用いることができ、学術的ある
いは研究分野での広範囲な応用が期待されている。
【０００３】また、産業分野においても、近年、原子あ
るいは分子サイズの空間分解能を有する原理に着目し、
特開昭６３−１６１５５２号公報および特開昭６３−１
６１５５３号公報媒体に開示されているように、媒体に
記録層（例えば、π電子系有機化合物やカルコゲン化合
物類の薄膜層等）を用いることによる記録再生装置への
応用、実用化が精力的に進められている。
るいは分子サイズの空間分解能を有する原理に着目し、
特開昭６３−１６１５５２号公報および特開昭６３−１
６１５５３号公報媒体に開示されているように、媒体に
記録層（例えば、π電子系有機化合物やカルコゲン化合
物類の薄膜層等）を用いることによる記録再生装置への
応用、実用化が精力的に進められている。
【０００４】係る情報処理装置においては、探針を試料
面と平行に掃引しながら、何らかの電気的な方法によっ
て試料媒体の表面に情報を記録し、探針と試料との接近
によって生じる物理現象（トンネル電流等）を測定する
ことによって記録された情報を正確に再生することが主
たる目的である。このような場合、記録媒体や下地電極
等の表面構造が再生の正確さに大きく影響する。このた
め、記録媒体や下地電極等には原子オーダー平滑性が求
められ、下地電極として例えばＡｕを用いる場合には、
ＭＢＥ等の技術によってエピタキシャル成長させたＡｕ
薄膜を用いることが考えられる。
面と平行に掃引しながら、何らかの電気的な方法によっ
て試料媒体の表面に情報を記録し、探針と試料との接近
によって生じる物理現象（トンネル電流等）を測定する
ことによって記録された情報を正確に再生することが主
たる目的である。このような場合、記録媒体や下地電極
等の表面構造が再生の正確さに大きく影響する。このた
め、記録媒体や下地電極等には原子オーダー平滑性が求
められ、下地電極として例えばＡｕを用いる場合には、
ＭＢＥ等の技術によってエピタキシャル成長させたＡｕ
薄膜を用いることが考えられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した記録再生装置
では記録媒体や下地電極等の表面を原子オーダーの平滑
性とするためにＭＢＥ等の技術を用いた薄膜形成が行わ
れるが、エピタキシャル成長させた薄膜であっても、実
際には表面に原子オーダの結晶ステップ（以下、原子ス
テップと称する）が生じてしまうことを避けられない。
このような原子ステップであってもトンネル電流の値は
大きく変化してしまうため、記録情報を正確に再生する
うえで大きな霜害となり、より高精度データ再生を行う
ことができないという問題点がある。
では記録媒体や下地電極等の表面を原子オーダーの平滑
性とするためにＭＢＥ等の技術を用いた薄膜形成が行わ
れるが、エピタキシャル成長させた薄膜であっても、実
際には表面に原子オーダの結晶ステップ（以下、原子ス
テップと称する）が生じてしまうことを避けられない。
このような原子ステップであってもトンネル電流の値は
大きく変化してしまうため、記録情報を正確に再生する
うえで大きな霜害となり、より高精度データ再生を行う
ことができないという問題点がある。
【０００６】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、原子ステップ
が再生データに及ぼす影響を削減し、高精度な情報読み
出しが可能な記録情報再生装置を提供することを目的と
する。
る問題点に鑑みてなされたものであって、原子ステップ
が再生データに及ぼす影響を削減し、高精度な情報読み
出しが可能な記録情報再生装置を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の記録情報再生装
置は、探針と記録媒体を該記録媒体の同一領域に往復し
て平行に走査する走査機構と、前記走査機構による平行
走査時に探針と記録媒体との間に流れるトンネル電流値
が一定となるように両者間の位置制御を行う位置制御機
構と、前記トンネル電流値を所定値と比較する比較手段
と、前記比較手段による比較結果を記憶する記憶手段
と、前記走査機構による走査が行われると、前記記憶手
段の記憶内容より往走査時および復走査時の各比較結果
の論理積を求めて前記記録媒体に記録された内容を再生
する再生手段とを有する。
置は、探針と記録媒体を該記録媒体の同一領域に往復し
て平行に走査する走査機構と、前記走査機構による平行
走査時に探針と記録媒体との間に流れるトンネル電流値
が一定となるように両者間の位置制御を行う位置制御機
構と、前記トンネル電流値を所定値と比較する比較手段
と、前記比較手段による比較結果を記憶する記憶手段
と、前記走査機構による走査が行われると、前記記憶手
段の記憶内容より往走査時および復走査時の各比較結果
の論理積を求めて前記記録媒体に記録された内容を再生
する再生手段とを有する。
【０００８】この場合、記憶手段は往走査時および復走
査時の各比較結果をそれぞれ記憶するバッファメモリに
よって構成されてもよい。
査時の各比較結果をそれぞれ記憶するバッファメモリに
よって構成されてもよい。
【０００９】また、記憶手段は往走査時の比較結果を記
憶するバッファメモリによって構成され、再生手段は、
復走査時に比較手段が出力する比較結果と前記バッファ
メモリの出力内容からリアルタイムで記録媒体に記録さ
れた内容を再生するものとしてもよい。
憶するバッファメモリによって構成され、再生手段は、
復走査時に比較手段が出力する比較結果と前記バッファ
メモリの出力内容からリアルタイムで記録媒体に記録さ
れた内容を再生するものとしてもよい。
【００１０】
【作用】トンネル電流値は所定値と比較されることによ
って２値化される。探針と記録媒体とは位置制御機構に
よってトンネル電流値が一定となるように位置制御され
ているため、原子ステップによるトンネル電流の増加
は、原子ステップにより探針と記録媒体とが近付く方向
に走査されたときに発生することになる。
って２値化される。探針と記録媒体とは位置制御機構に
よってトンネル電流値が一定となるように位置制御され
ているため、原子ステップによるトンネル電流の増加
は、原子ステップにより探針と記録媒体とが近付く方向
に走査されたときに発生することになる。
【００１１】本発明では、往復走査を行ったときの各比
較結果の論理積を再生信号としているので、往走査時ま
たは復走査時に生じた原子ステップによるノイズが除去
される。
較結果の論理積を再生信号としているので、往走査時ま
たは復走査時に生じた原子ステップによるノイズが除去
される。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１３】図１は本発明の一実施例の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【００１４】本実施例は、マイカ基板上にエピタキシャ
ル成長させたＡｕ薄膜を電極基板とし、ＬＢ超薄膜を記
録媒体として記録情報の再生を行う記録情報再生装置を
示すものである。
ル成長させたＡｕ薄膜を電極基板とし、ＬＢ超薄膜を記
録媒体として記録情報の再生を行う記録情報再生装置を
示すものである。
【００１５】ステージ４上に載置される記録媒体２には
バイアス回路５によって所定のバイアス電圧が印加され
ている。Ｚ方向位置制御機構３は探針１のＺ方向（図面
上下方向）の位置制御を行うもので、探針１と記録媒体
２の間に上記のバイアス電圧によって流れるトンネル電
流を検出し、この値が一定となるように両者間の距離を
制御している。また、試料面に平行な方向の走査を行う
走査機構は、Ｘ方向走査制御回路６、Ｙ方向走査制御回
路７によって構成されており、走査はこれらによってス
テージ４を動かすことにより行なわれる。
バイアス回路５によって所定のバイアス電圧が印加され
ている。Ｚ方向位置制御機構３は探針１のＺ方向（図面
上下方向）の位置制御を行うもので、探針１と記録媒体
２の間に上記のバイアス電圧によって流れるトンネル電
流を検出し、この値が一定となるように両者間の距離を
制御している。また、試料面に平行な方向の走査を行う
走査機構は、Ｘ方向走査制御回路６、Ｙ方向走査制御回
路７によって構成されており、走査はこれらによってス
テージ４を動かすことにより行なわれる。
【００１６】探針１によって検出されたトンネル電流
は、Ｚ方向位置制御機構３とコンパレータ８とに送られ
る。比較手段であるコンパレータ８は送られてきたトン
ネル電流値と予め定められたリファレンス電流値とを比
較し、トンネル電流値がリファレンス電流値より大きい
場合に出力値としてＨレベルを出力、それ以外はＬレベ
ルを出力する。バッファメモリ９，１０はクロック１１
によって発生する読み取りクロック信号に同期してコン
パレータ８の出力レベルを取り込み保存する。取り込ま
れた両バッファメモリのデータは往復１走査終了後にＡ
ＮＤ回路１２によって記録媒体１上で対応する部分が論
理積演算を受け、再生データとして後段に設けられた信
号処理回路系１３に出力される。ＡＮＤ回路１２ととも
に信号処理回路系１３では、例えばＨレベルを１、Ｌレ
ベルを０としてデジタル信号として処理するように構成
されている。
は、Ｚ方向位置制御機構３とコンパレータ８とに送られ
る。比較手段であるコンパレータ８は送られてきたトン
ネル電流値と予め定められたリファレンス電流値とを比
較し、トンネル電流値がリファレンス電流値より大きい
場合に出力値としてＨレベルを出力、それ以外はＬレベ
ルを出力する。バッファメモリ９，１０はクロック１１
によって発生する読み取りクロック信号に同期してコン
パレータ８の出力レベルを取り込み保存する。取り込ま
れた両バッファメモリのデータは往復１走査終了後にＡ
ＮＤ回路１２によって記録媒体１上で対応する部分が論
理積演算を受け、再生データとして後段に設けられた信
号処理回路系１３に出力される。ＡＮＤ回路１２ととも
に信号処理回路系１３では、例えばＨレベルを１、Ｌレ
ベルを０としてデジタル信号として処理するように構成
されている。
【００１７】上述したＸ方向走査制御回路６、Ｙ方向走
査制御回路７等による位置制御動作やバッファメモリ
９，１０でのコンパレータ８の出力レベルを取り込む動
作は不図示の制御装置によって行われている。
査制御回路７等による位置制御動作やバッファメモリ
９，１０でのコンパレータ８の出力レベルを取り込む動
作は不図示の制御装置によって行われている。
【００１８】本実施例では上記の制御装置は、コンパレ
ータ８の出力レベルを、往走査時にはバッファメモリ９
に取り込み、復走査時にはバッファメモリ１０に取り込
むように構成されているが、実際には往走査時の信号の
みを保存できれば良く、復走査時にリアルタイムで往走
査信号と比較することも可能であり、このような制御を
行うものとしてもよい。
ータ８の出力レベルを、往走査時にはバッファメモリ９
に取り込み、復走査時にはバッファメモリ１０に取り込
むように構成されているが、実際には往走査時の信号の
みを保存できれば良く、復走査時にリアルタイムで往走
査信号と比較することも可能であり、このような制御を
行うものとしてもよい。
【００１９】次に、この情報処理装置を使用して再生し
た例を示す。
た例を示す。
【００２０】なお、本実施例に用いられる記録媒体は、
詳述すると、特開昭６３−１６１５５２号公報および特
開昭６３−１６１５５３号公報に開示されているＡｕ電
極上に積層されたＳＯＡＺ・ＬＢ膜（２層膜）を記録媒
体とし、電極にはマイカ上にエピタキシャル成長させた
Ａｕ薄膜を用いている。
詳述すると、特開昭６３−１６１５５２号公報および特
開昭６３−１６１５５３号公報に開示されているＡｕ電
極上に積層されたＳＯＡＺ・ＬＢ膜（２層膜）を記録媒
体とし、電極にはマイカ上にエピタキシャル成長させた
Ａｕ薄膜を用いている。
【００２１】記録媒体２には、バイアス回路５によりバ
イアス電圧として波高値−６Ｖおよび＋１．５Ｖの連続
したパルス波を重畳した電圧を試料・探針間にクロック
回路１１から出力されるクロック信号と同期させて印加
することで電気的な情報の書き込みがなされている。書
き込み領域はＸ方向１μｍ幅、Ｙ方向１０μｍで、Ｘ方
向走査周波数は６００Ｈｚ、書き込みクロックは１２０
ｋＨｚである。なお、この時のビット径は５ｎｍ、ビッ
ト間隔は１０ｎｍである。
イアス電圧として波高値−６Ｖおよび＋１．５Ｖの連続
したパルス波を重畳した電圧を試料・探針間にクロック
回路１１から出力されるクロック信号と同期させて印加
することで電気的な情報の書き込みがなされている。書
き込み領域はＸ方向１μｍ幅、Ｙ方向１０μｍで、Ｘ方
向走査周波数は６００Ｈｚ、書き込みクロックは１２０
ｋＨｚである。なお、この時のビット径は５ｎｍ、ビッ
ト間隔は１０ｎｍである。
【００２２】図２はこのような書き込みがなされた記録
媒体２の状態を模式的に示す断面図、図３（ａ）および
図３（ｂ）のそれぞれは、図２のＡ方向およびＢ方向に
探針を走査したときのトンネル電流信号を示す図であ
る。
媒体２の状態を模式的に示す断面図、図３（ａ）および
図３（ｂ）のそれぞれは、図２のＡ方向およびＢ方向に
探針を走査したときのトンネル電流信号を示す図であ
る。
【００２３】図２中の斜線部分が記録によって導電率が
上昇した部分である。図示される記録媒体２の中心付近
にはＡｕのエピタキシャル成長時に生成された１〜３Å
の高さを持つ原子ステップが存在している。この状態で
信号を再生する場合には原子ステップの位置で探針１と
記録媒体２を構成する電極とが近付いてトンネル電流が
増加するために図のＡ方向に探針を走査すると図３
（ａ）に示すようなトンネル電流信号が観測される。
上昇した部分である。図示される記録媒体２の中心付近
にはＡｕのエピタキシャル成長時に生成された１〜３Å
の高さを持つ原子ステップが存在している。この状態で
信号を再生する場合には原子ステップの位置で探針１と
記録媒体２を構成する電極とが近付いてトンネル電流が
増加するために図のＡ方向に探針を走査すると図３
（ａ）に示すようなトンネル電流信号が観測される。
【００２４】これをそのままコンパレータ８でのリファ
レンス電流値であるレベルαによって２値化し、０・１
データとして取り出した場合、原子ステップによるノイ
ズ信号もデータとして扱われてしまうことになる。つま
り、本来は（０１１００１１０）というデータが、（０
１１０１１１０）と判断されてしまい、謝りビットが混
入することになる。ところが図２中のＢ方向から走査
し、データ抽出を行なった場合、トンネル電流信号は図
３（ｂ）に示すように（０１１００１１０）という信号
として正確に認識することができる。これは、トンネル
電流値がコンパレータ８にてリファレンス電流値（レベ
ルα）と比較されて２値化されるため、原子ステップの
位置で探針１と記録媒体２を構成する電極とが物理的に
離れる場合には原子ステップによるノイズが発生しない
ためである。
レンス電流値であるレベルαによって２値化し、０・１
データとして取り出した場合、原子ステップによるノイ
ズ信号もデータとして扱われてしまうことになる。つま
り、本来は（０１１００１１０）というデータが、（０
１１０１１１０）と判断されてしまい、謝りビットが混
入することになる。ところが図２中のＢ方向から走査
し、データ抽出を行なった場合、トンネル電流信号は図
３（ｂ）に示すように（０１１００１１０）という信号
として正確に認識することができる。これは、トンネル
電流値がコンパレータ８にてリファレンス電流値（レベ
ルα）と比較されて２値化されるため、原子ステップの
位置で探針１と記録媒体２を構成する電極とが物理的に
離れる場合には原子ステップによるノイズが発生しない
ためである。
【００２５】本実施例ではＡ方向に走査する往走査時の
データをバッファメモリ９に保存し、Ｂ方向に走査する
復走査時のデータをバッファメモリ１０に保存し、これ
らの保存データの論理積をＡＮＤ回路１２にて生成し、
これを再生データとするため、原子ステップによって発
生したノイズ成分によるエラーが再生信号に生じること
を防止することができた。
データをバッファメモリ９に保存し、Ｂ方向に走査する
復走査時のデータをバッファメモリ１０に保存し、これ
らの保存データの論理積をＡＮＤ回路１２にて生成し、
これを再生データとするため、原子ステップによって発
生したノイズ成分によるエラーが再生信号に生じること
を防止することができた。
【００２６】なお、図２には原子ステップが図面右方向
に存在する例を示し、Ａ方向に走査したときに原子ステ
ップによるノイズ成分が生じる場合について示したが、
原子ステップが図面左方向に存在する場合には当然Ｂ方
向に走査するときにノイズ成分が生じることになる。本
実施例では、往走査時と復走査時のデータの論理積が再
生データとされるため、走査方向に関わらずに正確な再
生データを得ることができる。
に存在する例を示し、Ａ方向に走査したときに原子ステ
ップによるノイズ成分が生じる場合について示したが、
原子ステップが図面左方向に存在する場合には当然Ｂ方
向に走査するときにノイズ成分が生じることになる。本
実施例では、往走査時と復走査時のデータの論理積が再
生データとされるため、走査方向に関わらずに正確な再
生データを得ることができる。
【００２７】以上の構成によって実際に、書き込み信号
と再生信号とを比較したところ、原子ステップによるエ
ラー発生率（０を１と認識してしまう割合）を０．０１
％以下に抑えることが可能となった。
と再生信号とを比較したところ、原子ステップによるエ
ラー発生率（０を１と認識してしまう割合）を０．０１
％以下に抑えることが可能となった。
【００２８】なお、本発明は結晶表面のステップ状の構
造に起因する誤りを除去するものである。上記実施例で
はＬＢ膜の導電性変化を記録ビットとして用いた場合で
あるために記録媒体表面に形成されるステップについて
は述べていないが、記録媒体表面を結晶表面として物理
的な凹凸を形成して記録ビットとするものについても全
く同様に適用できるものである。
造に起因する誤りを除去するものである。上記実施例で
はＬＢ膜の導電性変化を記録ビットとして用いた場合で
あるために記録媒体表面に形成されるステップについて
は述べていないが、記録媒体表面を結晶表面として物理
的な凹凸を形成して記録ビットとするものについても全
く同様に適用できるものである。
【００２９】また、以上説明した実施例では、記録情報
の再生についてのみ記したが、特開昭６３−１６１５５
２号公報および特開昭６３−１６１５５３号公報に開示
されているような記録媒体に書き込みを行う機能を備え
た記録再生装置についても当然適用できるものである。
の再生についてのみ記したが、特開昭６３−１６１５５
２号公報および特開昭６３−１６１５５３号公報に開示
されているような記録媒体に書き込みを行う機能を備え
た記録再生装置についても当然適用できるものである。
【００３０】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
【００３１】原子ステップによって再生時に生じるエラ
ーを簡単に除去することができ、より精度の高いデータ
再生を行うことができる効果がある。また、精度の高い
データ再生を行うことができることから高速に走査する
ことができ、記録内容を高速に再生することができる効
果がある。
ーを簡単に除去することができ、より精度の高いデータ
再生を行うことができる効果がある。また、精度の高い
データ再生を行うことができることから高速に走査する
ことができ、記録内容を高速に再生することができる効
果がある。
【図１】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】図１に示した実施例において、記録情報が再生
される記録媒体２の状態を模式的に示す断面図である。
される記録媒体２の状態を模式的に示す断面図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）のそれぞれは、図２のＡ方
向およびＢ方向に探針を走査したときのトンネル電流信
号を示す図である。
向およびＢ方向に探針を走査したときのトンネル電流信
号を示す図である。
１ 探針 ２ 記録媒体 ３ Ｚ方向位置制御機構 ４ ステージ ５ バイアス回路 ６ Ｘ方向走査制御回路 ７ Ｙ方向走査制御回路 ８ コンパレータ ９，１０ バッファメモリ １１ クロック １２ ＡＮＤ回路 １３ 信号処理回路系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山野 明彦 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 畑中 勝則 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−31143（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 9/14
Claims (3)
- 【請求項１】 探針と記録媒体を該記録媒体の同一領域
に往復して平行に走査する走査機構と、 前記走査機構による平行走査時に探針と記録媒体との間
に流れるトンネル電流値が一定となるように両者間の位
置制御を行う位置制御機構と、 前記トンネル電流値を所定値と比較する比較手段と、 前記比較手段による比較結果を記憶する記憶手段と、 前記走査機構による走査が行われると、前記記憶手段の
記憶内容より往走査時および復走査時の各比較結果の論
理積を求めて前記記録媒体に記録された内容を再生する
再生手段とを有することを特徴とする記録情報再生装
置。 - 【請求項２】 請求項１記載の記録情報再生装置におい
て、 記憶手段が往走査時および復走査時の各比較結果をそれ
ぞれ記憶するバッファメモリによって構成されているこ
とを特徴とする記録情報再生装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の記録情報再生装置におい
て、 記憶手段が往走査時の比較結果を記憶するバッファメモ
リによって構成され、再生手段は、復走査時に比較手段
が出力する比較結果と前記バッファメモリの出力内容か
らリアルタイムで記録媒体に記録された内容を再生する
ことを特徴とする記録情報再生装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4120660A JP3014855B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 記録情報再生装置 |
| US08/055,087 US5432771A (en) | 1992-05-13 | 1993-05-03 | Information recording/reproducing apparatus for performing recording/reproduction of information by using probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4120660A JP3014855B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 記録情報再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05314550A JPH05314550A (ja) | 1993-11-26 |
| JP3014855B2 true JP3014855B2 (ja) | 2000-02-28 |
Family
ID=14791745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4120660A Expired - Fee Related JP3014855B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 記録情報再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3014855B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0981977A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-03-28 | Canon Inc | 記録再生装置 |
-
1992
- 1992-05-13 JP JP4120660A patent/JP3014855B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05314550A (ja) | 1993-11-26 |
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