JP3028064B2 - 加工条件決定装置および方法 - Google Patents
加工条件決定装置および方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 64
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 54
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 23
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Programmable Controllers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造設備の製造物
を加工する条件の決定装置および方法に関し、特に製造
物の前工程作業終了からの経過時間に影響される次工程
の製造設備の加工条件を決定する加工条件決定装置およ
び方法に関する。
を加工する条件の決定装置および方法に関し、特に製造
物の前工程作業終了からの経過時間に影響される次工程
の製造設備の加工条件を決定する加工条件決定装置およ
び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、加工条件決定装置は、製造設備が
製造物を加工するために必要となる条件を決定するもの
で、製品の種類、加工する工程から決定される。
製造物を加工するために必要となる条件を決定するもの
で、製品の種類、加工する工程から決定される。
【０００３】従来の加工条件決定装置の一例が、特開平
０４−１３５２０６号公報に記載されている。これに記
載されている加工条件自動決定装置は、ユーザが加工の
態様によって補正する加工条件データの名称と、その補
正に使用する入力条件データの名称とを指定し、その指
定に応じてニュートラルネットワークを形成することに
より、短時間で最適な加工条件が効率よく得られるよう
にする。
０４−１３５２０６号公報に記載されている。これに記
載されている加工条件自動決定装置は、ユーザが加工の
態様によって補正する加工条件データの名称と、その補
正に使用する入力条件データの名称とを指定し、その指
定に応じてニュートラルネットワークを形成することに
より、短時間で最適な加工条件が効率よく得られるよう
にする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の加工条件決定装
置では、半導体製造におけるウェハの洗浄時間の様な、
前工程終了時刻からの経過時間により、次工程の加工条
件が異なる場合、自動的に加工条件を決定するのが難し
く、加工条件の決定は作業者の管理に頼らなければなら
ないという問題がある。また、他品種混流生産の工場の
場合は、加工条件の決定が複雑になり、加工条件設定を
誤る危険性がある。
置では、半導体製造におけるウェハの洗浄時間の様な、
前工程終了時刻からの経過時間により、次工程の加工条
件が異なる場合、自動的に加工条件を決定するのが難し
く、加工条件の決定は作業者の管理に頼らなければなら
ないという問題がある。また、他品種混流生産の工場の
場合は、加工条件の決定が複雑になり、加工条件設定を
誤る危険性がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の加工条件決定装
置は、製造設備と通信する設備通信手段と、製造物番号
に対応して製造物の工程および品種が登録された製造物
情報記憶手段と、製造物番号に対応して製造物の製造履
歴情報を登録する製造物製造履歴記憶手段と、製造の各
工程、品種および前工程の終了時刻からの経過時間に紐
付けられた加工条件を登録する加工条件記憶手段と、前
記製造設備から前記設備通信手段を介して与えられる製
造物番号に対応する前記製造物情報記憶手段に記憶され
ている製造物の工程および品種ならびに前記製造物製造
履歴記憶手段に記憶されている製造履歴情報とを用いて
前記製造設備で加工する製造物の工程、品種および前工
程の終了時刻からの経過時間に紐付けられた加工条件を
前記加工条件記憶手段から得て前記外部通信手段を介し
て前記製造設備に与え当該製造設備に与えた加工条件に
よる加工の工程および終了時刻を前記製造物製造履歴記
憶手段の製造履歴情報に追加登録する加工条件決定手段
を備えている。
置は、製造設備と通信する設備通信手段と、製造物番号
に対応して製造物の工程および品種が登録された製造物
情報記憶手段と、製造物番号に対応して製造物の製造履
歴情報を登録する製造物製造履歴記憶手段と、製造の各
工程、品種および前工程の終了時刻からの経過時間に紐
付けられた加工条件を登録する加工条件記憶手段と、前
記製造設備から前記設備通信手段を介して与えられる製
造物番号に対応する前記製造物情報記憶手段に記憶され
ている製造物の工程および品種ならびに前記製造物製造
履歴記憶手段に記憶されている製造履歴情報とを用いて
前記製造設備で加工する製造物の工程、品種および前工
程の終了時刻からの経過時間に紐付けられた加工条件を
前記加工条件記憶手段から得て前記外部通信手段を介し
て前記製造設備に与え当該製造設備に与えた加工条件に
よる加工の工程および終了時刻を前記製造物製造履歴記
憶手段の製造履歴情報に追加登録する加工条件決定手段
を備えている。
【０００６】本発明の加工条件決定方法は、製造物番号
に対応して製造物の工程および品種を製造物情報記憶手
段に登録し、製造物番号に対応して製造物の製造履歴情
報を製造物製造履歴記憶手段に登録し、製造物の各工
程、品種および前工程の終了時刻からの経過時間に紐付
けられた加工条件を加工条件記憶手段に登録し、加工す
る製造物の製造番号を製造設備から受信した時に、前記
製造物情報記憶手段および前記製造物製造履歴記憶手段
から当該製造番号に対応する工程、品種および製造履歴
情報を読み出し当該製造物の工程、品種および前工程の
終了時刻からの経過時間に紐付けられてた加工条件を前
記加工条件記憶手段から読み出して前記製造設備に送信
し、当該製造物の加工の工程および終了時刻を前記製造
物履歴記憶手段の製造履歴情報に追加登録することを特
徴とする。
に対応して製造物の工程および品種を製造物情報記憶手
段に登録し、製造物番号に対応して製造物の製造履歴情
報を製造物製造履歴記憶手段に登録し、製造物の各工
程、品種および前工程の終了時刻からの経過時間に紐付
けられた加工条件を加工条件記憶手段に登録し、加工す
る製造物の製造番号を製造設備から受信した時に、前記
製造物情報記憶手段および前記製造物製造履歴記憶手段
から当該製造番号に対応する工程、品種および製造履歴
情報を読み出し当該製造物の工程、品種および前工程の
終了時刻からの経過時間に紐付けられてた加工条件を前
記加工条件記憶手段から読み出して前記製造設備に送信
し、当該製造物の加工の工程および終了時刻を前記製造
物履歴記憶手段の製造履歴情報に追加登録することを特
徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【０００８】図１は、本発明の実施の形態の加工条件決
定装置のブロック図であり、図２はこの加工条件決定装
置が行う処理の流れ図である。
定装置のブロック図であり、図２はこの加工条件決定装
置が行う処理の流れ図である。
【０００９】図１を参照すると、本発明の実施の形態
は、製造設備（図示略）と通信を行う通信部１、プログ
ラム制御により、加工条件を決定する加工条件決定部
２、現在時刻を出力する時刻部３、加工条件や製造物の
情報を記憶する記憶装置４を有している。通信部１は、
製造設備から送信される製造物番号を受信し、加工条件
決定部２の加工条件決定手段２１に送信する設備通信手
段１１を有する。時刻部３は現在時刻を示す時刻制御手
段３１を有する。
は、製造設備（図示略）と通信を行う通信部１、プログ
ラム制御により、加工条件を決定する加工条件決定部
２、現在時刻を出力する時刻部３、加工条件や製造物の
情報を記憶する記憶装置４を有している。通信部１は、
製造設備から送信される製造物番号を受信し、加工条件
決定部２の加工条件決定手段２１に送信する設備通信手
段１１を有する。時刻部３は現在時刻を示す時刻制御手
段３１を有する。
【００１０】記憶装置４は、製造物情報記憶部４１と、
製造物製造履歴記憶部４２と、加工条件記憶部４３を有
する。製造物情報記憶部４１には、製造物の工程、品種
が製造単位（ロット）ごとに製造物に付けられる製造物
番号に対応して予め登録されている。製造物製造履歴記
憶部４２には、製造物の製造履歴情報である工程、処理
終了時刻が製造物番号に対応して登録される。加工条件
記憶部４３には、製造物の各工程、品種、前工程の処理
終了時刻からの経過時間とその３項目に紐付けられた加
工条件が登録されている。例えば、工程イ、品種Ａ、経
過時間１ならば加工条件は１１１１、工程イ、品種Ａ、
経過時間２ならば加工条件は２２２２、工程イ、品種
Ｂ、経過時間１ならば加工条件は３３３３、工程ロ、品
種Ｂ、経過時間３ならば加工条件は４４４４というよう
な情報が記録されている。
製造物製造履歴記憶部４２と、加工条件記憶部４３を有
する。製造物情報記憶部４１には、製造物の工程、品種
が製造単位（ロット）ごとに製造物に付けられる製造物
番号に対応して予め登録されている。製造物製造履歴記
憶部４２には、製造物の製造履歴情報である工程、処理
終了時刻が製造物番号に対応して登録される。加工条件
記憶部４３には、製造物の各工程、品種、前工程の処理
終了時刻からの経過時間とその３項目に紐付けられた加
工条件が登録されている。例えば、工程イ、品種Ａ、経
過時間１ならば加工条件は１１１１、工程イ、品種Ａ、
経過時間２ならば加工条件は２２２２、工程イ、品種
Ｂ、経過時間１ならば加工条件は３３３３、工程ロ、品
種Ｂ、経過時間３ならば加工条件は４４４４というよう
な情報が記録されている。
【００１１】加工条件決定部２は、設備通信手段１１か
ら送信される製造物番号と、時刻部３から得られる現在
時刻と、記憶装置４から得られる製造物情報、製造物製
造履歴情報、加工条件情報から、加工条件を決定する加
工条件決定手段２１を有する。
ら送信される製造物番号と、時刻部３から得られる現在
時刻と、記憶装置４から得られる製造物情報、製造物製
造履歴情報、加工条件情報から、加工条件を決定する加
工条件決定手段２１を有する。
【００１２】次に、図１及び図２を参照して、本実施の
形態の動作について説明する。
形態の動作について説明する。
【００１３】製造設備に製造物が到着すると製造設備が
通信部１の設備通信手段１１と通信を行い、設備通信手
段１１は製造設備に到着しこれから加工される製造物の
製造物番号を取得し、得られた情報を加工条件決定手段
２１に送る（ステップＡ１）。加工条件決定手段２１
は、ステップＡ１で得られた製造物番号から品種、工程
情報が、記憶装置４の製造物情報記憶部４１に記憶され
ているかどうかを検索する（ステップＡ２およびＡ
３）。製造物情報記憶部４１から、該当する製造物の情
報が得られなかった場合、加工条件決定手段２１は設備
通信手段１１に加工不可能を送信し、設備通信手段１１
は、加工不可能を製造設備に送信する（ステップＡ１
２）。
通信部１の設備通信手段１１と通信を行い、設備通信手
段１１は製造設備に到着しこれから加工される製造物の
製造物番号を取得し、得られた情報を加工条件決定手段
２１に送る（ステップＡ１）。加工条件決定手段２１
は、ステップＡ１で得られた製造物番号から品種、工程
情報が、記憶装置４の製造物情報記憶部４１に記憶され
ているかどうかを検索する（ステップＡ２およびＡ
３）。製造物情報記憶部４１から、該当する製造物の情
報が得られなかった場合、加工条件決定手段２１は設備
通信手段１１に加工不可能を送信し、設備通信手段１１
は、加工不可能を製造設備に送信する（ステップＡ１
２）。
【００１４】一方、ステップＡ３で、製造物情報記憶部
４１から、製造物の品種、工程情報が検索できた場合、
次にその製造物の製造履歴情報が、記憶装置４の製造物
製造履歴記憶部４２に記憶されているかどうかを検索す
る（ステップＡ４及びＡ５）。製造物製造履歴記憶部４
２から、該当する製造物の情報が得られなかった場合、
加工条件決定手段２１は設備通信手段１１に加工不可能
を送信し、設備通信手段１１は、加工不可能を製造設備
に送信する（ステップＡ１２）。一方、ステップＡ５
で、製造物製造履歴記憶部４２から、その製造物の製造
履歴情報が検索できた場合、時刻制御手段３１から得た
現在時刻と前工程の、すなわち製造履歴情報で最後に行
われたものとして示されている工程の終了時刻との差分
から経過時間を算出する（ステップＡ６）。
４１から、製造物の品種、工程情報が検索できた場合、
次にその製造物の製造履歴情報が、記憶装置４の製造物
製造履歴記憶部４２に記憶されているかどうかを検索す
る（ステップＡ４及びＡ５）。製造物製造履歴記憶部４
２から、該当する製造物の情報が得られなかった場合、
加工条件決定手段２１は設備通信手段１１に加工不可能
を送信し、設備通信手段１１は、加工不可能を製造設備
に送信する（ステップＡ１２）。一方、ステップＡ５
で、製造物製造履歴記憶部４２から、その製造物の製造
履歴情報が検索できた場合、時刻制御手段３１から得た
現在時刻と前工程の、すなわち製造履歴情報で最後に行
われたものとして示されている工程の終了時刻との差分
から経過時間を算出する（ステップＡ６）。
【００１５】ステップＡ２で得られた品種、工程情報、
ステップＡ４で得た履歴情報、ステップＡ６で得られた
経過時間をもとに、記憶装置４の加工条件記憶部４３を
検索し、これから行う工程、製造物の品種および経過時
間の条件にあった加工条件が記憶されているかどうかを
検索する（ステップＡ７およびＡ８）。加工条件記憶部
４３から、該当する加工条件情報が得られなかった場
合、加工条件決定手段２１は、設備通信手段１１に加工
不可能を送信し、設備通信手段１１は、加工不可能を製
造設備に送信する（ステップＡ１２）。加工条件が決定
できた場合、加工条件決定手段２１は、記憶装置４の製
造物情報記憶部４１に得られた加工条件を登録しておき
（ステップＡ９およびＡ１０）、作業者等が製造物情報
を把握するのに役立てる。
ステップＡ４で得た履歴情報、ステップＡ６で得られた
経過時間をもとに、記憶装置４の加工条件記憶部４３を
検索し、これから行う工程、製造物の品種および経過時
間の条件にあった加工条件が記憶されているかどうかを
検索する（ステップＡ７およびＡ８）。加工条件記憶部
４３から、該当する加工条件情報が得られなかった場
合、加工条件決定手段２１は、設備通信手段１１に加工
不可能を送信し、設備通信手段１１は、加工不可能を製
造設備に送信する（ステップＡ１２）。加工条件が決定
できた場合、加工条件決定手段２１は、記憶装置４の製
造物情報記憶部４１に得られた加工条件を登録しておき
（ステップＡ９およびＡ１０）、作業者等が製造物情報
を把握するのに役立てる。
【００１６】最後に、加工条件決定手段２１は、設備通
信手段１１にステップＡ９で得た加工条件情報を送信
し、設備通信手段１１は、加工条件情報を製造設備に送
信する（ステップＡ１１）。この加工条件情報に従い製
造設備は製造物を加工処理し、この処理が終了したらそ
の工程および終了時刻を製造物製造履歴記憶部４２にそ
の製造物の製造物番号に対応する製造履歴情報として追
加登録する。
信手段１１にステップＡ９で得た加工条件情報を送信
し、設備通信手段１１は、加工条件情報を製造設備に送
信する（ステップＡ１１）。この加工条件情報に従い製
造設備は製造物を加工処理し、この処理が終了したらそ
の工程および終了時刻を製造物製造履歴記憶部４２にそ
の製造物の製造物番号に対応する製造履歴情報として追
加登録する。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による加工
条件決定装置および方法は、決定処理の中に、前工程の
作業終了時刻からの経過時間を考慮するように構成した
ため、半導体ウェハの洗浄工程のように加工条件が経過
時間に影響される場合でも加工条件の決定処理の自動化
を可能にし、作業者の加工条件の誤選択を防止し、加工
条件設定に必要な作業工数・管理工数を短縮することが
できる。
条件決定装置および方法は、決定処理の中に、前工程の
作業終了時刻からの経過時間を考慮するように構成した
ため、半導体ウェハの洗浄工程のように加工条件が経過
時間に影響される場合でも加工条件の決定処理の自動化
を可能にし、作業者の加工条件の誤選択を防止し、加工
条件設定に必要な作業工数・管理工数を短縮することが
できる。
【図１】本発明の実施の形態の加工条件決定装置のブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】図１に示す加工条件決定装置が行う処理を示す
流れ図である。
流れ図である。
１ 通信部 ２ 加工条件決定部 ３ 時刻部 ４ 記憶装置 ５ 設備通信手段 ２１ 加工条件決定手段 ３１ 時刻制御手段 ４１ 製造物情報記憶部 ４２ 製造物製造履歴記憶部 ４３ 加工条件記憶部
Claims (2)
- 【請求項１】 製造設備と通信する設備通信手段と、製
造物番号に対応して製造物の工程および品種が登録され
た製造物情報記憶手段と、製造物番号に対応して製造物
の製造履歴情報を登録する製造物製造履歴記憶手段と、
製造の各工程、品種および前工程の終了時刻からの経過
時間に紐付けられた加工条件を登録する加工条件記憶手
段と、前記製造設備から前記設備通信手段を介して与え
られる製造物番号に対応する前記製造物情報記憶手段に
記憶されている製造物の工程および品種ならびに前記製
造物製造履歴記憶手段に記憶されている製造履歴情報と
を用いて前記製造設備で加工する製造物の工程、品種お
よび前工程の終了時刻からの経過時間に紐付けられた加
工条件を前記加工条件記憶手段から得て前記外部通信手
段を介して前記製造設備に与え当該製造設備に与えた加
工条件による加工の工程および終了時刻を前記製造物製
造履歴記憶手段の製造履歴情報に追加登録する加工条件
決定手段を備えたことを特徴とする加工条件決定装置。 - 【請求項２】 製造物番号に対応して製造物の工程およ
び品種を製造物情報記憶手段に登録し、製造物番号に対
応して製造物の製造履歴情報を製造物製造履歴記憶手段
に登録し、製造物の各工程、品種および前工程の終了時
刻からの経過時間に紐付けられた加工条件を加工条件記
憶手段に登録し、加工する製造物の製造番号を製造設備
から受信した時に、前記製造物情報記憶手段および前記
製造物製造履歴記憶手段から当該製造番号に対応する工
程、品種および製造履歴情報を読み出し当該製造物の工
程、品種および前工程の終了時刻からの経過時間に紐付
けられてた加工条件を前記加工条件記憶手段から読み出
して前記製造設備に送信し、当該製造物の加工の工程お
よび終了時刻を前記製造物履歴記憶手段の製造履歴情報
に追加登録することを特徴とする加工条件決定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8126860A JP3028064B2 (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 加工条件決定装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8126860A JP3028064B2 (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 加工条件決定装置および方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09309047A JPH09309047A (ja) | 1997-12-02 |
| JP3028064B2 true JP3028064B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=14945638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8126860A Expired - Fee Related JP3028064B2 (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 加工条件決定装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3028064B2 (ja) |
-
1996
- 1996-05-22 JP JP8126860A patent/JP3028064B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09309047A (ja) | 1997-12-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19991207 |
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