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JP3031730B2 - Ceramics molded body and method of manufacturing ceramics molded body - Google Patents
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JP3031730B2 - Ceramics molded body and method of manufacturing ceramics molded body - Google Patents

Ceramics molded body and method of manufacturing ceramics molded body

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JP3031730B2
JP3031730B2 JP3060577A JP6057791A JP3031730B2 JP 3031730 B2 JP3031730 B2 JP 3031730B2 JP 3060577 A JP3060577 A JP 3060577A JP 6057791 A JP6057791 A JP 6057791A JP 3031730 B2 JP3031730 B2 JP 3031730B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、セラミックス成形体お
よびセラミックス成形体の製造方法に関し、一層詳細に
は、従来の製造工程を大幅に変更することなく、低コス
トで靭性と強度を著しく向上させることを可能とするセ
ラミックス成形体およびセラミックス成形体の製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic molded product and a method for producing a ceramic molded product, and more particularly to a method for significantly improving toughness and strength at a low cost without drastically changing a conventional production process. The present invention relates to a ceramic molded body and a method for manufacturing the ceramic molded body, which enables the above.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、セラミックス材料を金属材料と
比較する時、セラミックス材料の脆性および靭性は共に
低く、また、セラミックス成形体中の強度分布が偏在し
ているために、応力の局所集中を容易に発生する傾向を
示す。前記の理由から、セラミックス成形体を高い負荷
の掛かる複雑な形状の部材として用いることは非常な困
難を伴い、実用に供するには至っていない。
2. Description of the Related Art Generally, when a ceramic material is compared with a metal material, both the brittleness and the toughness of the ceramic material are low, and since the strength distribution in the ceramic molded body is unevenly distributed, local concentration of stress is facilitated. Shows the tendency to occur. For the above-mentioned reasons, it is extremely difficult to use a ceramic molded body as a member having a complicated shape with a high load, and it has not been put to practical use.

【0003】従って、セラミックス成形体を広範な利用
分野において多様な形状で実用に供すべく、脆性の低下
と靭性を向上させ、また、セラミックス成形体中の強度
分布を均一にすることにより、応力の局所集中を回避す
ることが希求され続けている。
[0003] Therefore, in order to put the ceramic molded body into practical use in various shapes in a wide range of applications, the brittleness is reduced and the toughness is improved, and the strength distribution in the ceramic molded body is made uniform to reduce the stress. There is a continuing need to avoid local concentration.

【0004】前記の要請に応じて、セラミックス成形体
の製造に際しては、ウィスカーによって複合化を図る製
造方法や、ニューマトリックスコンポジットによって複
合化を図る製造方法が採用されるに至っている。
[0004] In response to the above demand, in the production of a ceramic molded body, a production method for achieving a composite by using whiskers and a production method for achieving a composite by using a new matrix composite have been adopted.

【0005】[0005]

【発明が解しようとする課題】しかしながら、前記ウィ
スカーによる複合化方法により製造したセラミックス成
形体では、成長したウィスカーや添加した繊維成分の配
向により強度や物性に異方性を生じ、また、焼結に際し
ては、成長したウィスカーや添加した繊維成分が緻密化
を阻害している。従って、セラミックス成形体の緻密化
を達成すべく前記緻密化に対する阻害を克服するための
焼結駆動力を付与する必要がある。そして、前記焼結駆
動力を付与するための生産手段は、HIP焼結法あるい
はHotPress法に限定されるために、所望の形状
が得られないばかりか、製造コストの高騰を招く不都合
が顕在化している。
However, in the ceramic molded body manufactured by the whisker compounding method, strength and physical properties are anisotropic due to the orientation of the grown whiskers and the added fiber components. In this case, the grown whiskers and the added fiber components hinder densification. Therefore, it is necessary to provide a sintering driving force for overcoming the inhibition on the densification in order to achieve the densification of the ceramic molded body. Since the production means for applying the sintering driving force is limited to the HIP sintering method or the HotPress method, not only a desired shape cannot be obtained but also a disadvantage that causes a rise in manufacturing cost becomes apparent. ing.

【0006】また、前記ニューマトリックスコンポジッ
トによる複合化方法では、従来例と比較して強度の向上
は達成されるものの、使用する原料の調整に非常な困難
を伴うとともに、使用する原料自体が極めて高価なた
め、製造コストの高騰を招く不都合が存在する。
In the composite method using the new matrix composite, although the strength is improved as compared with the conventional example, it is very difficult to adjust the raw materials used, and the raw materials used are extremely expensive. Therefore, there is an inconvenience that causes a rise in manufacturing cost.

【0007】さらには、前記の二つの方法で得られたセ
ラミックス成形体は、図4に示すように、基本構成粒子
40であるウィスカーや繊維成分が隣接し絡み合った状
態で緻密化しているために基本構成粒子40同士により
間隙42が画成される。そして、この間隙42を破壊の
起点として、所謂、粒界破壊を生じる不都合を露呈して
いる。
Further, as shown in FIG. 4, the ceramic molded body obtained by the above two methods is dense because the whiskers and fiber components as the basic constituent particles 40 are adjacent and entangled. A gap 42 is defined by the basic constituent particles 40. Then, using the gap 42 as a starting point of destruction, a problem of so-called grain boundary destruction is revealed.

【0008】さらにまた、前記不都合を克服すべく、前
記間隙42を大量の焼結助剤あるいは添加剤で埋める方
法も考えられるが、該焼結助剤および添加剤はガラス質
であるために、結晶化しても基本構成粒子の強度には達
せず、また、高温で軟化し易いために所望の強度と靭性
を得るには至っていない。
Further, in order to overcome the above disadvantage, a method of filling the gap 42 with a large amount of a sintering aid or an additive is conceivable. However, since the sintering aid and the additive are glassy, Even if it is crystallized, it does not reach the strength of the basic constituent particles, and because it tends to soften at high temperatures, it has not yet achieved the desired strength and toughness.

【0009】従って、本発明の目的は、ウィスカーや繊
維成分等からなる基本構成粒子同士の画成する粒界の強
化を図ることにより、セラミックス成形体の強度と靭性
を向上させることができ、しかも生産手段についても限
定されることなく、併せて、所望の形状を得ることが可
能なセラミックス成形体およびセラミックス成形体の製
造方法を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to improve the strength and toughness of a ceramic molded body by strengthening the grain boundaries defined by basic constituent particles composed of whiskers, fiber components, and the like. It is another object of the present invention to provide a ceramic molded body capable of obtaining a desired shape and a method of manufacturing a ceramic molded body, without being limited to a production means.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は、窒化硅素(Si3N4)と炭化硅素(SiC)から
なる群のうち、少なくとも一種類以上を含有する基本構
成粒子と、前記基本構成粒子同士によって画成される間
隙に焼結助剤を充填して形成された粒界と、前記粒界中
に析出された粒界内析出粒子と、を有することを特徴と
する。
Means for Solving the Problems To solve the above problems, the present invention provides a basic structure containing at least one kind selected from the group consisting of silicon nitride (Si 3 N 4 ) and silicon carbide (SiC). Particles, and a grain boundary formed by filling a sintering aid into a gap defined by the basic constituent particles, and particles within the grain boundary precipitated in the grain boundary, And

【0011】また、本発明は、窒化硅素(Si3N4)と炭化
硅素(SiC)からなる群のうち、少なくとも一種類以上を
含有する基本構成粒子と、前記基本構成粒子同士の間隙
に焼結助剤を充填して形成された粒界と、前記粒界中に
析出された粒界内析出粒子とを有するセラミックス成形
体の製造方法であり、焼成あるいは熱処理により前記粒
界中に針状あるいは粒状の単結晶および複合結晶からな
る粒界内析出粒子を析出させることを特徴とする。
[0011] The present invention also provides a method for burning the basic constituent particles containing at least one kind selected from the group consisting of silicon nitride (Si 3 N 4 ) and silicon carbide (SiC) and the gap between the basic constituent particles. This is a method for producing a ceramic molded body having a grain boundary formed by filling a binder and particles precipitated in the grain boundary precipitated in the grain boundary, wherein needles are formed in the grain boundary by firing or heat treatment. Alternatively, the method is characterized in that precipitated particles in a grain boundary composed of a granular single crystal and a composite crystal are precipitated.

【0012】[0012]

【構成の具体的説明】本発明に係るセラミックス成形体
およびセラミックス成形体の製造方法によれば、基本的
には、窒化硅素(Si3N4)と炭化硅素(SiC)のうち、少な
くとも一種類以上を主原料として含有する基本構成粒子
同士の間に発生する間隙に、焼結助剤を充填することに
より酸化セリウム(CeO2)、酸化ランタン(La2O3)、酸
化アルミニウム(Al2O3)、酸化イットリウム(Y2O3)、
酸化ジルコニウム(ZrO2) 、酸化ジスプロシウム(Dy 2 O
3)、酸化サマリウム(Sm2O3)、酸化ネオジウム(Nd
2O3)、酸化マグネシウム(MgO )、酸化チタン(TiO2)
、酸化硅素(SiO2)、酸化クロム(Cr2O3)に微量の炭
素(C ) 、窒素(N)を固溶した粒界を形成し、さらに前
記粒界中に炭化チタン(TiC)、炭化硅素(SiC)、窒化チ
タン(TiN)、炭化クロム(Cr4C 3 )、炭化ジルコニウム
(ZrC)、窒化ジルコニウム(ZrN)、窒化クロム(CrN)か
らなる群から選ばれる少なくとも一種類以上の針状ある
いは粒状の単結晶、あるいは複合結晶からなる粒界内析
出粒子を析出することにより強度および靭性を向上させ
るとともに、強度分布の均一化を図っている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE STRUCTURE According to the ceramic molded body and the method of manufacturing the ceramic molded body according to the present invention, basically, at least one of silicon nitride (Si 3 N 4 ) and silicon carbide (SiC) is used. By filling a sintering aid into a gap generated between the basic constituent particles containing the above as a main raw material, cerium oxide (CeO 2 ), lanthanum oxide (La 2 O 3 ), aluminum oxide (Al 2 O) 3), yttrium oxide (Y 2 O 3),
Zirconium oxide (ZrO 2 ), dysprosium oxide (Dy 2 O
3 ), samarium oxide (Sm 2 O 3 ), neodymium oxide (Nd
2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), titanium oxide (TiO 2 )
, Silicon oxide (SiO 2 ) and chromium oxide (Cr 2 O 3 ) to form a solid solution of a small amount of carbon (C) and nitrogen (N) to form a grain boundary. Further, titanium carbide (TiC), silicon carbide (SiC), titanium nitride (Ti N), chromium carbide (Cr 4 C 3), zirconium carbide (ZrC), zirconium nitride (ZrN), at least one or more selected from the group consisting of chromium nitride (CrN) Precipitation particles in a grain boundary made of a needle-like or granular single crystal or a composite crystal are precipitated to improve the strength and toughness, and to make the strength distribution uniform.

【0013】また、前記窒化硅素(Si3N4)と炭化硅素
(SiC)のうち、少なくとも一種類以上を主原料として含
有する基本構成粒子は、焼成あるいは熱処理により結晶
が成長した極めて純度の高い単結晶の六角柱状晶ウィス
カーから構成されている。
The basic constituent particles containing at least one of silicon nitride (Si 3 N 4 ) and silicon carbide (SiC) as a main raw material are extremely high in purity when crystals are grown by firing or heat treatment. It is composed of single crystal hexagonal column whiskers.

【0014】次に、当該セラミックス成形体の製造方法
を図3のフローチャートに示す。該製造方法では、基本
構成粒子として単結晶からなる六角柱状晶ウィスカーを
高い純度で成長させるために、前記基本構成粒子の粒成
長が行われる焼成過程では、他の成分が基本構成粒子中
に固溶することを厳しく抑制する。なぜならば、基本構
成粒子中に他の成分が固溶した場合には、ウィスカーは
不規則な成長を遂げたり、六角柱状とは異なる形状に成
長するために、基本構成粒子自体に欠陥を生じ、強度劣
化を招くからである。
Next, a method of manufacturing the ceramic molded body is shown in a flowchart of FIG. In the manufacturing method, in order to grow a hexagonal columnar crystal whisker made of a single crystal as the basic constituent particles with high purity, in the firing step in which the basic constituent particles are grown, other components are solidified in the basic constituent particles. Severely inhibits melting. Because, when other components are dissolved in the basic constituent particles, the whisker grows irregularly or grows into a shape different from a hexagonal column, so that defects are generated in the basic constituent particles themselves, This is because the strength is deteriorated.

【0015】また、間隙に充填され粒界を形成する焼結
助剤は、先ず、成形の過程において緻密化が開始され、
最終的には,焼成過程で緻密化を終了する。従って、焼
成過程においては、昇温速度、保持温度、保持時間、焼
結雰囲気等を厳しく管理する必要がある。
Further, sintering aid to form a grain boundary is filled in the gap, first, Oite densification is started over enough for molding,
Finally, densification is completed in the firing process. Therefore, in the firing process, it is necessary to strictly control the temperature rising rate, the holding temperature, the holding time, the sintering atmosphere, and the like.

【0016】粒界の体積は、焼結助剤の添加量により変
化する。粒界の脆性を減ずるために体積は小さい方が好
適であるので、粒界内析出粒子の種類および析出量に応
じて焼結助剤の添加量は調整される。粒界内析出粒子の
析出は、焼過程の後半で他の成分の緻密化が完了する
直前から開始され、保持温度の昇温に伴って進行する。
そして、熱処理過程では、粒界内析出粒子の安定化と均
質化がなされる。
The volume of the grain boundary changes depending on the amount of the sintering aid added. It is preferable that the volume is small in order to reduce the brittleness of the grain boundary, so that the amount of the sintering aid added is adjusted according to the type and the amount of the precipitated particles in the grain boundary. Precipitation of grain boundary in the precipitated particles are other densification components in the second half of the burn formation process is started from just before completion, proceed with the Atsushi Nobori of the holding temperature.
Then, in the heat treatment process, the precipitated particles in the grain boundaries are stabilized and homogenized.

【0017】[0017]

【実施例】次に、本発明に係るセラミックス成形体およ
びセラミックス成形体の製造方法について好適な実施例
を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明す
る。なお、本実施例においては、先ずセラミックス成形
体を説明した後、実験例1乃至実験例5おいてセラミッ
クス成形体の製造方法の作用並びに効果について説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. In the present embodiment, first, the ceramic molded body will be described, and then, in Examples 1 to 5, the operation and effect of the method of manufacturing the ceramic molded body will be described.

【0018】図1並びに図2において、参照符号10は
セラミックス成形体を構成する基本構成粒子10を示
す。該基本構成粒子10は、窒化硅素(Si3N4)と炭化硅
素(SiC)のうち、少なくとも一種類以上を主原料し、焼
成あるいは熱処理により結晶を成長させて得た、極めて
純度の高い単結晶からなる六角柱状晶ウィスカーにより
構成されている。
In FIG. 1 and FIG. 2, reference numeral 10 indicates basic constituent particles 10 constituting a ceramic molded body. The basic constituent particles 10 are obtained by using at least one of silicon nitride (Si 3 N 4 ) and silicon carbide (SiC) as a main raw material and growing a crystal by sintering or heat treatment. It is composed of hexagonal columnar whiskers made of crystals.

【0019】また該基本構成粒子10は、3種類の大き
さからなり、最も大径の第1の基本構成粒子12は、六
角形面の径が2μmから3.5μm程度で、長さが10
μmから14μm程度の六角柱状晶ウィスカー形状を示
す。前記第1基本構成粒子12はセラミックス成形体の
基本骨格をなし、この第1基本構成粒子12同士が画成
する大径の間隙は、中径の第2の基本構成粒子14によ
り充填される。第2基本構成粒子14は、六角形面の径
が0.5μmから1.0μm程度で、長さが5μmから
6μm程度の六角柱状晶ウィスカー形状を示す。さらに
第2基本構成粒子14同士あるいは、第1基本構成粒子
12と第2基本構成粒子14とが画成する中径の間隙
は、最も小径の第3の基本構成粒子16によって充填さ
れる。前記第3基本構成粒子16は、六角形の径が0.
3μmから0.5μm程度で、長さが10μmから14
μm程度の六角柱状晶ウィスカー形状を示す。
The basic constituent particles 10 have three sizes, and the first basic constituent particles 12 having the largest diameter have a hexagonal surface diameter of about 2 μm to 3.5 μm and a length of 10 μm.
It shows a hexagonal columnar whisker shape of about μm to about 14 μm. The first basic constituent particles 12 form the basic skeleton of the ceramic molded body, and the large-diameter gap defined by the first basic constituent particles 12 is filled with medium-sized second basic constituent particles 14. The second basic constituent particles 14 have a hexagonal columnar whisker shape having a hexagonal surface diameter of about 0.5 μm to 1.0 μm and a length of about 5 μm to 6 μm. Further, the gaps of the medium diameter defined by the second basic constituent particles 14 or between the first basic constituent particles 12 and the second basic constituent particles 14 are filled with the third basic constituent particles 16 having the smallest diameter. The third basic constituent particles 16 have a hexagonal diameter of 0.1.
About 3 μm to 0.5 μm and length from 10 μm to 14
It shows a hexagonal columnar whisker shape of about μm.

【0020】以上のように六角柱状晶ウィスカーを成長
させて得た充填状態を有するセラミックス成形体は、図
4に示す従来例の充填状態よりも間隙の占める割合を大
幅に減ずることができる。従って、セラミックス成形体
中において間隙を充填するために用いられる基本構成粒
子10よりも強度および靭性の大幅に劣る焼結助剤の占
める割合を低減化することができるので、靭性と強度を
向上させるとともに強度分布の均一化を図り、応力の局
所集中を回避することができる。
As described above, in the filled ceramic molded body obtained by growing hexagonal columnar whiskers, the ratio of the space occupied by the gap can be greatly reduced as compared with the conventional filled state shown in FIG. Accordingly, the ratio of the sintering aid, which is significantly inferior in strength and toughness to the basic constituent particles 10 used for filling the gap in the ceramic molded body, can be reduced, so that the toughness and strength are improved. At the same time, the strength distribution can be made uniform, and local concentration of stress can be avoided.

【0021】ところで、図1の円で囲繞した部分の拡大
図である図2から容易に諒解されるように、圧縮応力が
付与された後も2つの基本構成粒子10同士の間には、
粒界18が存在し、さらに3つの基本構成粒子10が囲
繞する部分にはより大きな粒界19が存在する。この粒
界18、19は、セラミックス成形体の脆性を増加させ
るとともに、強度分布を大きくし、応力の局所集中を受
け易くしている。従って、前記粒界18、19は、破壊
の起点となり粒界破壊を生じる原因となっている。
As can be easily understood from FIG. 2 which is an enlarged view of a portion surrounded by a circle in FIG. 1, even after the compressive stress is applied, the two basic constituent particles 10 still remain between each other.
A grain boundary 18 exists, and a larger grain boundary 19 exists in a portion surrounded by the three basic constituent particles 10. The grain boundaries 18 and 19 increase the brittleness of the ceramic molded body, increase the strength distribution, and make it easier to receive local concentration of stress. Therefore, the grain boundaries 18 and 19 serve as starting points of fracture and cause grain boundary fracture.

【0022】前記粒界破壊を回避すべく粒界18、19
の結晶化を行いながら、粒界18、19中に炭化チタン
(TiC)、炭化硅素(SiC)、窒化チタン(TiN)、炭化クロ
ム(Cr4C 3 )、炭化ジルコニウム(ZrC)、窒化ジルコニウ
(ZrN)、窒化クロム(CrN)からなる群から選ばれる少
なくとも一種類以上の針状あるいは粒状の単結晶、ある
いは複合結晶からなる粒界内析出粒子20を析出する。
この粒界内析出粒子20を粒界18、19中に析出させ
ることによりセラミックス成形体中で、粒界、すなわち
焼結助剤の占める割合を減ずることができるので脆性を
低減化させるとともに、粒界18、19の強化を図るこ
とができ
In order to avoid the grain boundary destruction, the grain boundaries 18, 19
While the crystallization, the titanium carbide in the grain boundary 18, 19 (TiC), silicon carbide (SiC), titanium nitride (TiN), chromium carbide (Cr 4 C 3), zirconium carbide (ZrC), nitride zirconium
At least one kind of needle-like or granular single crystal or composite crystal selected from the group consisting of silicon (ZrN) and chromium nitride (CrN).
By precipitating the precipitated particles 20 in the grain boundaries in the grain boundaries 18 and 19, the grain boundaries, that is, the ratio of the sintering aid occupied in the ceramics compact can be reduced, so that the brittleness can be reduced and Ru can to strengthen the field 18 and 19.

【0023】前記粒界内析出粒子20の大きさは、針状
結晶の場合は、径0.001μmから0.01μm程度
で、長さが0.01μmから0.03μm程度の形状が
好適であり、最大でも径0.2μm、長さ1.5μm以
下である必要がある。また、粒状結晶の場合は、径0.
001μmから0.03μm程度の形状が好適であり、
最大でも径0.5μm以下である必要がある。
In the case of needle-shaped crystals, the size of the precipitated particles 20 in the grain boundary is preferably about 0.001 μm to 0.01 μm in diameter and about 0.01 μm to 0.03 μm in length. , At most 0.2 μm in diameter and 1.5 μm in length. In the case of granular crystals, the diameter is 0.1 mm.
A shape of about 001 μm to 0.03 μm is preferable,
The diameter must be at most 0.5 μm or less.

【0024】なぜならば、粒界内析出粒子20の大きさ
が前記範囲以下であると、破壊の表面エネルギーはそれ
ほど大きくならないために効果は小さくなる。また、前
記範囲以上であると、それに伴って粒界18、19の体
積も増大するので脆性を増し靭性が低下するためであ
る。
If the size of the intragranular precipitated particles 20 is smaller than the above range, the effect is reduced because the surface energy of fracture does not increase so much. Further, when the ratio is more than the above range, the volume of the grain boundaries 18 and 19 increases with the increase, so that the brittleness increases and the toughness decreases.

【0025】本発明に係るセラミックス成形体は、基本
的には以上のように構成されるものであり、次に該セラ
ミックス成形体の製造方法についてその作用並びに効果
を含めて説明する。実験例1 粉体原料の全体重量を100重量部とする時、平均粒径
0.8μmの窒化硅素(Si3N4)89.67重量部、平均
粒径0.4μmの酸化アルミニウム(Al2O3)3重量部、
平均粒径0.9μmの酸化イットリウム(Y2O3)4重量
部、平均粒径1.2μmの酸化マグネシウム(MgO)0.
3重量部、平均粒径1.0μmの酸化ジスプロシウム
(Dy 2 O3)2重量部、平均粒径1.2μmの酸化第2セ
リウム(CeO2)0.5重量部、平均粒径1.5μmの酸
化ランタン(La2O3)0.5重量部、平均粒径50オング
ストローム(0.005μm)のカーボンブラック(C)
0.03重量部を各々秤取して、粉体原料とした。
The ceramic molded body according to the present invention is basically constructed as described above. Next, a method of manufacturing the ceramic molded body will be described including its operation and effects. Experimental Example 1 Assuming that the total weight of the powder material is 100 parts by weight, 89.67 parts by weight of silicon nitride (Si 3 N 4 ) having an average particle diameter of 0.8 μm and aluminum oxide (Al 2 ) having an average particle diameter of 0.4 μm O 3 ) 3 parts by weight,
4 parts by weight of yttrium oxide (Y 2 O 3 ) having an average particle size of 0.9 μm, and magnesium oxide (MgO) having an average particle size of 1.2 μm.
3 parts by weight, 2 parts by weight of dysprosium oxide (Dy 2 O 3 ) having an average particle size of 1.0 μm, 0.5 parts by weight of ceric oxide (CeO 2 ) having an average particle size of 1.2 μm, and 1.5 μm in average particle size Lanthanum oxide (La 2 O 3 ) 0.5 parts by weight, average particle size 50 angstrom (0.005 μm) carbon black (C)
0.03 parts by weight of each was weighed to obtain a powder raw material.

【0026】前記粉体原料100重量部に対して、精製
水を32重量部、適量のアルギン酸アンモニウム溶液お
よびアクリル樹脂エマルジョンからなる液状成分を添加
した後、ボールミルを用いて120時間分散混合して混
合原料を得た。
To 100 parts by weight of the powder raw material, 32 parts by weight of purified water and an appropriate amount of a liquid component comprising an ammonium alginate solution and an acrylic resin emulsion are added, and then dispersed and mixed using a ball mill for 120 hours. Raw material was obtained.

【0027】前記混合原料を石膏型を用いてスリップキ
ャスト法で20×20×100mmの形状の予備成形体
を成形した。
A preform having a shape of 20 × 20 × 100 mm was formed from the mixed material by slip casting using a gypsum mold.

【0028】前記予備成形体を乾燥し、脱脂した後、図
3の焼成工程に従って、窒素雰囲気中で焼成してセラミ
ックス成形体を得た。
After drying and degreasing the pre-formed body, the pre-formed body was fired in a nitrogen atmosphere according to the firing step shown in FIG. 3 to obtain a ceramic shaped body.

【0029】このセラミックス成形体をJIS1601
に準じて、後述の各種試験に供する試験材を切り出し
た。
[0029] This ceramic molded body was subjected to JIS1601.
According to the above, test materials to be subjected to various tests described below were cut out.

【0030】また、比較例1に供するべく、前記試験材
と同質の粉体原料を用い、この粉体原料の全体重量10
0重量部に対して、窒化硅素(Si3N4)90重量部、酸化
アルミニウム(Al2O3)4重量部、酸化イットリウム(Y2
O3)6重量部となるよう秤取した粉粒体原料を用いて、
実験例1の試験材と同一の工程を施し比較試験材を得
た。
Further, in order to provide for Comparative Example 1, a powder material of the same quality as the test material was used, and the total weight of the powder material was 10%.
90 parts by weight of silicon nitride (Si 3 N 4 ), 4 parts by weight of aluminum oxide (Al 2 O 3 ), and yttrium oxide (Y 2
O 3 ) Using the raw material powder weighed to 6 parts by weight,
The same process as the test material of Experimental Example 1 was performed to obtain a comparative test material.

【0031】前記試験材並びに比較試験材に対して、曲
げ強度、硬度、Vノッチを導入したシェブロンノッチ法
による破壊靭性値、アルキメデス法による密度を各々測
定した。また、同様の前記試験材並びに比較試験材を用
いて、TEMを用いた粒界構造、光学顕微鏡並びにSE
Mを用いた鏡面研磨後の表面と断面方向の欠陥の観察を
実施した。
The bending strength, hardness, fracture toughness value by the chevron notch method in which a V notch was introduced, and density by the Archimedes method were measured for the test material and the comparative test material, respectively. Using the same test material and comparative test material, a grain boundary structure using TEM, an optical microscope, and SE
Observation of defects in the surface and cross-sectional direction after mirror polishing using M was performed.

【0032】なお、破断面の観察に際しては、フッ化水
素(HF) 10%と硝酸(HNO3) 25%との混液でエッチ
ングし、前記エッチング部分と未エッチング部分とを比
較観察した。
When observing the fractured surface, etching was performed with a mixed solution of 10% hydrogen fluoride (HF) and 25% nitric acid (HNO 3 ), and the etched portion and the unetched portion were compared and observed.

【0033】表1に各々の物性値を、表2に光学顕微鏡
による欠陥観察結果を、表3にSEMによる欠陥観察結
果を示す。
Table 1 shows the physical property values, Table 2 shows the results of defect observation by an optical microscope, and Table 3 shows the results of defect observation by SEM.

【0034】表1より実験例1では比較例1に比べ、強
度及び靭性が著しく向上したことが判る。
From Table 1, it can be seen that in Experimental Example 1, the strength and toughness were significantly improved as compared with Comparative Example 1.

【0035】表2並びに表3より比較例1に比して実験
例1では、空隙は少なく、また欠陥はほとんど存在しな
いことが判定される。
From Tables 2 and 3, it is determined that the number of voids in Experimental Example 1 is smaller than that in Comparative Example 1, and that there are almost no defects.

【0036】TEMによる観察では、実験例1におい
て、極めて結晶性の高い単結晶の六角柱状晶ウィスカー
から構成される結晶面を確認することができた。この結
晶面は、概ね3種類の大きさからなる基本構成粒子10
により規則的な結晶格子が構成されている。前記基本構
成粒子10は、セラミックス成形体の骨格を形成する1
1μmから13μmの形状の第1基本構成粒子12と、
前記第1基本構成粒子12同士が画成する間隙を充填す
る4.5μmから6μmの形状の第2基本構成粒子1
4、前記第1基本構成粒子12同士および前記第2基本
構成粒子14とが画成する小径の間隙を充填する0.3
μmから3μmの形状の第3基本構成粒子16とから構
成される。
Observation with a TEM confirmed that in Experimental Example 1, a crystal plane composed of hexagonal columnar whiskers of a single crystal having extremely high crystallinity was observed. This crystal plane is formed by three basic constituent particles 10 of approximately three sizes.
Form a regular crystal lattice. The basic constituent particles 10 form a skeleton of a ceramic molded body.
First basic constituent particles 12 having a shape of 1 μm to 13 μm,
4.5 μm to 6 μm shaped second basic constituent particles 1 filling the gap defined by the first basic constituent particles 12
4. Filling small gaps defined by the first basic constituent particles 12 and the second basic constituent particles 0.3
and third basic constituent particles 16 having a shape of μm to 3 μm.

【0037】前記第1基本構成粒子12、第2基本構成
粒子14、第3基本構成粒子16により画成され、各々
の大きさに対応する好適な大きさの基本構成粒子での充
填後もなお残留した間隙は、焼結助剤によりさらに充填
され、粒界18が形成される(図2参照)。
After the first basic constituent particles 12, the second basic constituent particles 14, and the third basic constituent particles 16 are filled with the basic constituent particles of a suitable size corresponding to the respective sizes, they are still formed. The remaining gaps are further filled with the sintering aid to form grain boundaries 18 (see FIG. 2).

【0038】実験例1では、前記粒界18中には、10
オングストローム(0.001μm)から70オングス
トローム(0.007μm)の針状および極微細な粒状
の炭化硅素(SiC)からなる粒界内析出粒子20が確認さ
れた。また3つの基本構成粒子により画成される粒界1
9では、粒界内析出粒子20は平均100オングストロ
ーム(0.01μm)から500オングストローム
(0.05μm)の大きさの析出をし、最大では、10
00オングストローム(0.1μm)の析出をなしてい
る。
In Experimental Example 1, 10
Acicular and ultrafine granular silicon carbide (SiC) -precipitated particles 20 of Å (0.001 μm) to 70 Å (0.007 μm) were confirmed. Also, a grain boundary 1 defined by three basic constituent particles
9, the particles 20 within the grain boundaries precipitate on average in a size of 100 angstroms (0.01 μm) to 500 angstroms (0.05 μm).
The deposit is 00 Å (0.1 μm).

【0039】実験例1において、破断面では、粒界破壊
と粒内破壊の両方が観察され、また、クラックディフレ
クション、クラックピン止め効果、プルアウト効果が生
起した痕跡が確認された。従って、これらの要因によ
り、表1に示された靭性と強度の著しい向上がなされた
と判定される。
In Experimental Example 1, in the fracture surface, both the intergranular fracture and the intragranular fracture were observed, and traces of crack deflection, crack pinning effect, and pull-out effect were confirmed. Therefore, it is determined that the toughness and strength shown in Table 1 were significantly improved by these factors.

【0040】実験例1において、粒界18では、粒界内
析出粒子20がクラックを分岐し、また、クラックにピ
ン止め効果をなした痕跡が確認された。従って、粒界破
壊に必要とされる破壊エネルギーが増大した分、強度も
向上されたと判定される。また、粒界18の凝固並びに
粒界内析出粒子20の析出により発生した残留応力によ
り、強度並びに靭性が向上されたと容易に諒解できる。
In Experimental Example 1, at the grain boundary 18, it was confirmed that the precipitated particles 20 in the grain boundary branched off the crack and that the crack had a pinning effect. Therefore, it is determined that the strength is improved by the increase in the fracture energy required for the grain boundary fracture. Further, it can be easily understood that the strength and the toughness are improved by the residual stress generated by the solidification of the grain boundaries 18 and the precipitation of the precipitated particles 20 in the grain boundaries.

【0041】前記実験例1に対して、比較例1ではセラ
ミックス成形体を構成する基本構成粒子は、針状あるい
は柱状を呈することが確認されたが、その結晶性は悪
く、粒界は、不均一な凝集物からなる厚層のガラス層か
ら構成される。従って、この粒界が粗大欠陥の原因とな
り、9割近くの粒界が破壊の起点となったことが確認さ
れた。実験例2 実験例1と同質の粉粒体原料を表4に記載した配合比と
なるように秤量した後、表4に記載した各々の焼成温
度、焼成雰囲気、熱処理温度で実験例1と同一の工程を
付与してセラミックス成形体を得る。なお、熱処理温度
は950℃から1450℃の温度範囲の他に焼後熱処
理を施さない場合も設定した。
In contrast to Experimental Example 1, in Comparative Example 1, it was confirmed that the basic constituent particles constituting the ceramic molded body had a needle shape or a column shape, but the crystallinity was poor and the grain boundaries were not good. It is composed of a thick glass layer composed of uniform aggregates. Therefore, it was confirmed that these grain boundaries caused coarse defects, and nearly 90% of the grain boundaries were the starting points of fracture. Experimental Example 2 After weighing the raw material having the same quality as that of Experimental Example 1 so as to have the compounding ratio shown in Table 4, the same firing temperature, firing atmosphere, and heat treatment temperature as those of Experimental Example 1 were used. To give a ceramic molded body. The heat treatment temperature was set even if not subjected to post-baked formation heat treatment to another temperature range 1450 ° C. from 950 ° C..

【0042】前記セラミックス成形体を50×25×6
0mmの形状に切り出して試験材を得た。
The above-mentioned ceramic molded body is 50 × 25 × 6
A test material was obtained by cutting into a shape of 0 mm.

【0043】前記試験材を #300、 #800、 #30
00のダイヤモンド砥石で研磨してその残留応力をX線
を用いて測定した後、シェブロンノッチ法により破壊靭
性K ICを測定した。
The test material was#300,#800,#30
Polished with a 00 diamond grindstone and the residual stress
After the measurement using the chevron notch method,
Sex K I cWas measured.

【0044】なお、比較例2として、実験例2と同質の
粉粒体原料を表5に記載した配合比となるよう秤量した
後、表5に記載した焼成温度、熱処理温度で実験例2と
同一の工程を付与してセラミックス成形体を得た後、試
験材と同様の形状に加工して比較試験材とした。
As Comparative Example 2, powder materials having the same quality as in Experimental Example 2 were weighed so as to have the compounding ratio shown in Table 5, and then the sintering temperature and the heat treatment temperature shown in Table 5 were used. After giving the same process to obtain a ceramic molded body, it was processed into the same shape as the test material to obtain a comparative test material.

【0045】実験例2および比較例2の破壊靭性と残留
応力との関係を図5に示す。また、●は比較例2、○は
実験例2の各々のデータを示す。
FIG. 5 shows the relationship between the fracture toughness and the residual stress in Experimental Example 2 and Comparative Example 2. In addition, ● shows the data of Comparative Example 2 and ○ shows the data of Experimental Example 2.

【0046】図5より、実験例2および比較例2共に残
留応力は、圧縮側となり、また、残留応力の増大に伴い
破壊靭性値も増大していることが判る。
From FIG. 5, it can be seen that in both Experimental Example 2 and Comparative Example 2, the residual stress is on the compression side, and the fracture toughness value is increased with the increase in the residual stress.

【0047】また、比較例2では、印加できる圧縮応力
は、100MPa付近を上限値としていたのに対して、
実験例2では、200MPa付近まで上限値を向上する
ことができた。実験例3 実験例1の試験材と同じセラミックス成形体を図6に示
す形状に加工して疲労試験に供する試験材を得た。前記
試験材28において、試験部30の長さは20mmと
し、表面を #600のダンヤモンド砥石により研磨した
後、鏡面仕上げして面粗さ0.8とした。
In Comparative Example 2, the upper limit of the compressive stress that could be applied was around 100 MPa.
In Experimental Example 2, the upper limit could be improved to around 200 MPa. Experimental Example 3 The same ceramic molded body as the test material of Experimental Example 1 was processed into the shape shown in FIG. 6 to obtain a test material to be subjected to a fatigue test. In the test material 28, the length of the test portion 30 was 20 mm, and the surface was polished with a # 600 dhammond grindstone and then mirror-finished to a surface roughness of 0.8.

【0048】疲労試験は、油圧サーボ式試験器を用いて
20Hzの正弦波で実施した。また、平均応力ρm と振
幅応力ρa の効果を顕著にするために負荷条件として、
応力比(最大応力と最小応力との比)R=−1:完全両
振り、R=0:完全片振り、R=1/5、R=1/2、
R=4/5:部分片振りの5つの場合を設定した。な
お、疲労試験前の予荷重による保証試験は実施しなかっ
た。
The fatigue test was performed with a sine wave of 20 Hz using a hydraulic servo type tester. In addition, in order to make the effects of the average stress ρ m and the amplitude stress ρ a remarkable,
Stress ratio (ratio of maximum stress to minimum stress) R = -1: complete swing, R = 0: complete swing, R = 1/5, R = 1/2,
R = 4/5: Five cases of partial swing were set. Note that a guarantee test using a preload before the fatigue test was not performed.

【0049】図7にR=−1での疲労試験の結果を、図
8にR=0での疲労試験の結果を各々示す。
FIG. 7 shows the results of the fatigue test at R = −1, and FIG. 8 shows the results of the fatigue test at R = 0.

【0050】R=−1の引っ張り−圧縮疲労試験では、
107 サイクルでの疲労強度は、引っ張り強度の約60
%程度であった。また、R=0、R=1/5、R=4/
5と応力比Rが逐次増加するに伴い、107 サイクルで
の疲労強度も増加し、応力比Rに対して4kgf/mm
2 から7kgf/mm2 程度の増加傾向が確認された。
In the tensile-compression fatigue test of R = -1,
Fatigue strength at 10 7 cycles, about the tensile strength 60
%. Also, R = 0, R = 1/5, R = 4 /
With the 5 and the stress ratio R is increased sequentially, also increases the fatigue strength at 10 7 cycles, 4 kgf / mm with respect to the stress ratio R
An increasing tendency of about 2 to 7 kgf / mm 2 was confirmed.

【0051】R=−1とR=0との108 サイクルでの
疲労強度を比較すると、約10kgf/mm2 の強度差
の存在が確認された。このことは、残留応力により、引
っ張り−引っ張り疲労強度に比して引っ張り−圧縮疲労
強度が相対的に低下したためと諒解される。
[0051] When comparing the fatigue strength at 108 cycles with R = -1 and R = 0, the presence of the intensity difference of about 10 kgf / mm 2 was confirmed. It is understood that this is because the tensile stress was relatively lower than the tensile fatigue strength due to the residual stress.

【0052】図7並びに図8に示した応力比Rを変えた
疲労試験における107 サイクルでの疲労強度を平均応
力ρm と振幅応力ρa を指標として整理して図9に示
す。
[0052] Figure 7 and to organize fatigue strength at 10 7 cycles in the fatigue test with different stress ratio R shown in FIG. 8 the mean stress [rho m and the amplitude stress [rho a as an index shown in FIG.

【0053】図9より、平均応力ρm の増大に伴い振幅
応力ρaは減少し、また、平均応力ρm と振幅応力ρa
の和、および最大応力は、平均応力ρm の増加に伴い増
加傾向を示すことが判る。そして最終的に疲労強度は、
引っ張り強度と一致する。
FIG. 9 shows that the amplitude stress ρ a decreases as the average stress ρ m increases, and the average stress ρ m and the amplitude stress ρ a
The sum of, and the maximum stress is seen to exhibit an increasing trend with increasing mean stress [rho m. And finally the fatigue strength
Matches tensile strength.

【0054】さらには、平均応力ρm と振幅応力ρa
の関係は、 ρa :振幅応力 ρe :両振り応力下の疲労強度 ρm :平均応力 ρt :引っ張り強度 の式1で示される。
Further, the relationship between the average stress ρ m and the amplitude stress ρ a is as follows: ρ a : Amplitude stress ρ e : Fatigue strength under double swing stress ρ m : Average stress ρ t : Tensile strength

【0055】図9において式1で示されるY軸上の両振
り応力下での疲労強度ρe とX軸上の(静的)引っ張り
強度ρt とを結ぶ破線の下側の領域が、繰り返し応力下
での安全応力を示す領域である。該実験例3の安全応力
を示す領域は、従来のセラミックス成形体、金属材料等
いずれの場合の安全応力を示す領域よりも著しく高い値
を上限として囲繞されている。
In FIG. 9, the area below the broken line connecting the fatigue strength ρ e under the double swing stress on the Y axis and the (static) tensile strength ρ t on the X axis represented by the equation 1 is a repetition. This is a region that shows safety stress under stress. The region showing the safety stress of Experimental Example 3 is surrounded by a value significantly higher than the region showing the safety stress in any of the conventional ceramics molded article, metal material and the like.

【0056】前記の結果より、引っ張り−引っ張り疲労
強度が引っ張り−圧縮疲労強度を上回る時、平均応力ρ
m の増加に伴い最大応力を指標とした疲労強度は増大傾
向を示すことが確認される。また、クラックの形成およ
び成長には平均応力ρm の関与は小さく、振幅応力ρa
に大きく影響されることが判る。
From the above results, when the tensile-tensile fatigue strength exceeds the tensile-compression fatigue strength, the average stress ρ
It is confirmed that the fatigue strength using the maximum stress as an index shows an increasing tendency with an increase in m . Further, the average stress ρ m is little involved in the formation and growth of cracks, and the amplitude stress ρ a
It can be seen that it is greatly affected by

【0057】以上のことより、疲労破壊は後述の二つの
作用機序により発生することが容易に諒解される。第一
の場合とは、予め、破壊の開始点となる大きな欠陥が存
在する時、繰り返し応力が付与されることによりマイク
ロクラックが生じる。そして、このマイクロクラックと
前記大きな欠陥の囲繞する部分の面積がある一定の閾値
を越える時に疲労破壊が生じる場合である。また、第2
の場合とは、予め存在した欠陥の応力集中部に繰り返し
応力が付与される。そして、前記繰り返し応力により粒
界に新たなマイクロクラックが生じる。さらに、この新
たなマイクロクラックと前記欠陥とが接合し亀裂を形成
して、この亀裂が徐々に拡大することにより疲労破壊を
生じる場合である。
From the above, it is easily understood that the fatigue fracture occurs by the following two mechanisms. In the first case, when a large defect serving as a starting point of destruction exists in advance, micro-cracks occur due to repeated application of stress. When the area of the microcrack and the area surrounding the large defect exceeds a certain threshold value, fatigue failure occurs. Also, the second
In this case, the stress is repeatedly applied to the stress concentration portion of the defect existing in advance. Then, new microcracks are generated at the grain boundaries due to the repeated stress. Further, this new micro crack and the defect are bonded to form a crack, and the crack gradually expands to cause fatigue fracture.

【0058】また、図7並びに図8の結果から後述の現
象が諒解される。すなわち、引っ張り応力の負荷時に、
クラックが六角柱状晶ウィスカー等の形状を有する窒化
硅素(Si3N4)によりピン止めされクラックの拡大が阻止
されている場合においても、次の過程で圧縮応力が付与
されることによりクラックの先端部が閉塞して六角柱状
晶ウィスカーがクラックから離脱する。この結果、その
次の過程で引っ張り応力が負荷される時には、ピン止め
がなされずクラックが拡大する。そして、前記作用機序
によりクラックの拡大を繰り返し、ある閾値以上の大き
さのクラックが形成されると疲労破壊が発生する。
The phenomena to be described later can be understood from the results shown in FIGS. That is, when a tensile stress is applied,
Even when the crack is pinned by silicon nitride (Si 3 N 4 ) having the shape of a hexagonal columnar whisker or the like and the crack is prevented from spreading, the tip of the crack is given by applying compressive stress in the following process. The part is closed and the hexagonal columnar whiskers detach from the crack. As a result, when a tensile stress is applied in the next process, the pinning is not performed and the crack is enlarged. Then, the cracks are repeatedly expanded by the above-described mechanism, and when a crack having a size equal to or larger than a certain threshold is formed, fatigue fracture occurs.

【0059】さらにまた、前記作用機序によるクラック
の拡大が最も進行し易い粒界18、19内に粒界内析出
粒子20を析出することにより粒界強化がなされ、また
粒界内析出粒子20によりピン止め効果が発生するため
に破壊に必要とされるエネルギーは増大する。このこと
は、図9に平均応力ρm と振幅応力ρa で示される強度
が著しく向上したことからも確認される。実験例4 実験例1の試験材と同じセラミックス成形体を図10に
示す形状に加工して回転曲げ疲労試験に供する試験材3
2を得た。比較例としては、この実験例4の試験材32
に粒界内析出粒子を析出しない比較試験材を用いた比較
例4aと、比較例1と同じセラミックス成形体材料から
なる比較試験材を用いた比較例4bを実施した。
Further, the precipitation of the intragranular precipitation particles 20 in the grain boundaries 18 and 19 where crack propagation due to the above-mentioned action mechanism is most likely to progress enhances the grain boundaries. This increases the energy required for destruction in order to produce a pinning effect. This is also confirmed from the fact that the strength indicated by the average stress ρ m and the amplitude stress ρ a in FIG. 9 has been significantly improved. Experimental Example 4 A test material 3 which was formed by processing the same ceramic molded body as the test material of Experimental Example 1 into the shape shown in FIG.
2 was obtained. As a comparative example, the test material 32 of the experimental example 4 was used.
Comparative Example 4a using a comparative test material that does not precipitate precipitated particles in the grain boundaries, and Comparative Example 4b using a comparative test material made of the same ceramic molded body material as in Comparative Example 1.

【0060】図11に2960rpmでの回転曲げ疲労
試験結果を示す。なお、●は実験例4、○は比較例4
a、×は比較例4bのデータを各々示す。
FIG. 11 shows the results of a rotating bending fatigue test at 2960 rpm. In addition, ● represents Experimental Example 4 and ○ represents Comparative Example 4.
a and x show the data of Comparative Example 4b, respectively.

【0061】図11の結果より、比較例4bの107
イクルでの疲労強度は26kg/mm2 であったのに対
し、実験例4では60kg/mm2 を越える値を得た。
また粒界内析出粒子を析出しない比較例4bでは43k
g/mm2 であり、粒界18、19への粒界内析出粒子
の析出により約150%の疲労強度の向上が確認され
た。
From the results shown in FIG. 11, the fatigue strength at 10 7 cycles of Comparative Example 4b was 26 kg / mm 2 , while that of Experimental Example 4 was greater than 60 kg / mm 2 .
Further, in Comparative Example 4b in which no precipitated particles were precipitated in the grain boundary, 43 k was used.
g / mm 2 , and about 150% improvement in the fatigue strength was confirmed by precipitation of the precipitated particles in the grain boundaries 18 and 19.

【0062】前記の結果を単純曲げ試験の結果と比較す
ると、実験例4の疲労強度は、単純曲げ試験における疲
労強度の37%から42%の値を示し、比較例4bで
は、30%から35%を示した。
Comparing the above results with the results of the simple bending test, the fatigue strength of Experimental Example 4 indicates a value of 37% to 42% of the fatigue strength in the simple bending test, and the fatigue strength of Comparative Example 4b is 30% to 35%. %showed that.

【0063】また、前記の回転曲げ疲労試験結果を引っ
張り−引っ張り疲労試験結果と比較すると、実験例4の
疲労強度は、単純曲げ試験における疲労強度の約65%
の値を示し、比較例4bでは、約57%の値を示した。
When the results of the rotary bending fatigue test are compared with the results of the tensile-tensile fatigue test, the fatigue strength of Experimental Example 4 is about 65% of the fatigue strength in the simple bending test.
And Comparative Example 4b showed a value of about 57%.

【0064】以上の比較検討の結果から、引っ張り−引
っ張り疲労試験の疲労強度に比べて回転曲げ疲労試験強
度の疲労強度が低下したことにより、疲労破壊の作用機
序はマイクロクラックの形成および成長に律速されてい
ることが容易に諒解される。従って、このような疲労破
壊の作用機序を有するセラミックス成形体では、粒界内
に粒界内析出粒子等の微細結晶を析出させて、粒界強化
とピン止め効果によるクラックの成長を阻止することに
より強度と靭性を著しく向上することができる。実験例5 実験例1と同質の原料を用い、粉粒体原料の全重量を1
00重量部とする時、表6に記載した例1から例12の
組成となるよう各々の原料を秤取して粉粒体原料とす
る。
From the results of the above comparative study, it was found that the fatigue fracture strength of the rotary bending fatigue test was lower than that of the tensile-tensile fatigue test. It is easily understood that the speed is limited. Therefore, in the ceramic molded body having such a mechanism of the fatigue fracture, fine crystals such as precipitated particles in the grain boundaries are precipitated in the grain boundaries, thereby preventing crack growth due to grain boundary strengthening and pinning effect. Thereby, strength and toughness can be significantly improved. EXPERIMENTAL EXAMPLE 5 Using the same raw materials as in Experimental Example 1, the total weight of the granular material was reduced to 1
When the amount is 00 parts by weight, the respective raw materials are weighed so as to have the compositions of Examples 1 to 12 described in Table 6 to obtain powdery and granular raw materials.

【0065】前記粉粒体原料に分散媒としての精製水、
分散剤、バインダーを添加して、ボールミルを用いて1
20時間分散混合して混合原料を得た。
Purified water as a dispersion medium is added to the raw material
Add a dispersant and a binder and use a ball mill to add 1
The mixture was dispersed and mixed for 20 hours to obtain a mixed raw material.

【0066】次に、前記混合原料を25×10×80の
形状からなる石膏型を用いて予備成形体を成形した。
Next, a preform was formed from the mixed raw material using a gypsum mold having a shape of 25 × 10 × 80.

【0067】次いで、前記予備成形体を乾燥して脱脂処
理した後、表6に記載した焼成温度並びに熱処理条件で
焼成および熱処理を行いセラミックス成形体を得た。こ
の時のガス雰囲気は、焼成過程の1550℃までは、ア
ルゴンガス雰囲気で行い、その後窒素ガスで9.5kg
/cm2 まで加圧した。なお、焼成後の炉内のガスを分
析すると、窒素分圧70%から98%、アルゴンガス分
圧1.5%から29%、一酸化炭素分圧0.1%から1
%が検出された。
Next, the pre-formed body was dried and degreased, and then fired and heat-treated at the firing temperature and heat treatment conditions shown in Table 6 to obtain a ceramic formed body. The gas atmosphere at this time is an argon gas atmosphere until 1550 ° C. in the firing process, and then 9.5 kg with nitrogen gas.
/ Cm 2 . When the gas in the furnace after firing was analyzed, the partial pressure of nitrogen was 70% to 98%, the partial pressure of argon gas was 1.5% to 29%, and the partial pressure of carbon monoxide was 0.1% to 1%.
% Was detected.

【0068】そして、前記セラミックス成形体から、8
×60×5mmの形状からなり、面粗さが全面0.8
S、コーナ一部は全て0.3Cに面取りした試験材を形
成した。
Then, from the ceramic molded body, 8
× 60 × 5mm, surface roughness 0.8
S and all corners formed test materials chamfered to 0.3C.

【0069】前記試験材を用いて、支点間距離40mm
の3点曲げ試験を実施した。
Using the test material, the distance between fulcrums was 40 mm
Was performed in the three-point bending test.

【0070】また、前記セラミックス成形体からJIS
R1601試験材を形成してシェブロンノッチ法による
破壊靭性値の測定を実施した。なお、通常市販されてい
るSi 3N4 −Al2O3 −Y2O3系セラミックス成形体を比較例
5として用いた。
Further, the above-mentioned ceramic molded body can be used in accordance with JIS.
Form R1601 test material and use chevron notch method
Fracture toughness values were measured. In addition, it is usually
Ru Si ThreeNFour−AlTwoOThree−YTwoOThreeComparative example of ceramics compact
5 was used.

【0071】前記二つの試験から得られた物性値を表6
に示す。
Table 6 shows the physical property values obtained from the above two tests.
Shown in

【0072】表6より実験例5の例1乃至例12で得ら
れた物性値は、比較例5と比較する時、何れの場合にお
いても高強度、高靭性であることが確認された。
From Table 6, it was confirmed that the physical property values obtained in Examples 1 to 12 of Experimental Example 5 were high in strength and high in all cases when compared with Comparative Example 5.

【0073】また、結晶構造を観察する時、比較例5に
おいては異常粒成長した不規則な粒子構造が観察された
のに対して、該実験例5の例1乃至例12は、何れの場
合にでも実験例1と同様な3種類の大きさからなる極め
て結晶性の高い単結晶の六角柱状晶ウィスカーから構成
されていることが観察された。
When observing the crystal structure, an irregular grain structure with abnormal grain growth was observed in Comparative Example 5, whereas Examples 1 to 12 of Experimental Example 5 were in all cases. In this case, it was observed that the whiskers were formed of single crystal hexagonal columnar whiskers of extremely high crystallinity having three kinds of sizes similar to those of Experimental Example 1.

【0074】さらにまた、破断面では、粒界破壊のみな
らずマイクロクラックの拡大が進行した痕跡、および粒
内破壊が観察され、粒界強化のなされたことが確認され
た。
Further, in the fractured surface, not only the grain boundary fracture but also a trace of the progress of the microcrack and the intragranular fracture were observed, and it was confirmed that the grain boundary was strengthened.

【0075】[0075]

【表1】 [Table 1]

【0076】[0076]

【表2】 [Table 2]

【0077】[0077]

【表3】 [Table 3]

【0078】[0078]

【表4】 [Table 4]

【0079】[0079]

【表5】 [Table 5]

【0080】[0080]

【表6】 [Table 6]

【0081】[0081]

【発明の効果】以上のように、本発明に係るセラミック
ス成形体およびセラミックス成形体の製造方法によれ
ば、該セラミックス成形体は、3種類の大きさからなる
極めて結晶性の高い単結晶からなる六角柱状晶ウィスカ
ーにより構成され、また粒界に針状結晶もしくは極く微
細な粒状結晶等が粒界内析出粒子として析出される。こ
の結果、粒界強化がなされるとともに、クラックの拡大
が前記粒界内析出粒子によるピン止め効果等により阻止
される。従って、生産手段を限定することなく極めて高
い靭性と強度とを有するセラミックス成形体が得られる
効果を奏する。
As described above, according to the ceramic molded body and the method of manufacturing the ceramic molded body according to the present invention, the ceramic molded body is made of a single crystal having extremely large crystallinity having three kinds of sizes. It is composed of hexagonal columnar whiskers, and needle-like crystals or extremely fine granular crystals are precipitated at the grain boundaries as precipitated particles in the grain boundaries. As a result, the grain boundaries are strengthened, and the expansion of cracks is prevented by the pinning effect of the precipitated particles in the grain boundaries. Therefore, there is an effect that a ceramic molded body having extremely high toughness and strength can be obtained without limiting the production means.

【0082】この結果、セラミックス成形体の寿命予測
の設定、設計安全強度の診断を容易に遂行することがで
きる効果を奏する。
As a result, it is possible to easily set the life expectancy of the ceramic molded body and diagnose the design safety strength.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るセラミックス成形体の一部省略拡
大図である。
FIG. 1 is a partially omitted enlarged view of a ceramic molded body according to the present invention.

【図2】図1の一部省略拡大図の丸枠で囲繞した部分の
図1より拡大率の大きな拡大図である。
FIG. 2 is an enlarged view of a portion surrounded by a circle of a partially omitted enlarged view of FIG.

【図3】本発明に係るセラミックス成形体の製造方法の
好適な実施例の工程図である。
FIG. 3 is a process chart of a preferred embodiment of the method for producing a ceramic molded body according to the present invention.

【図4】従来の技術に係るセラミックス成形体の一部省
略拡大図である。
FIG. 4 is a partially omitted enlarged view of a ceramic molded body according to a conventional technique.

【図5】本発明に係るセラミックス成形体およびセラミ
ックス成形体の製造方法の好適な実施例において実験例
2と比較例2の破壊靭性と残留応力との関係を示す図で
ある。
FIG. 5 is a view showing the relationship between the fracture toughness and the residual stress of Experimental Example 2 and Comparative Example 2 in a preferred embodiment of the ceramic molded body and the method of manufacturing the ceramic molded body according to the present invention.

【図6】本発明に係るセラミックス成形体およびセラミ
ックス成形体の製造方法の好適な実施例において実験例
3に用いる試験材の形状を示す図である。
FIG. 6 is a view showing a shape of a test material used in Experimental Example 3 in a preferred embodiment of the ceramic molded body and the method of manufacturing the ceramic molded body according to the present invention.

【図7】本発明に係るセラミックス成形体およびセラミ
ックス成形体の製造方法の好適な実施例において実験例
3のR=−1の時の疲労強度試験の結果を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram showing the results of a fatigue strength test when R = −1 in Experimental Example 3 in a preferred embodiment of the ceramic molded body and the method for manufacturing the ceramic molded body according to the present invention.

【図8】本発明に係るセラミックス成形体およびセラミ
ックス成形体の製造方法の好適な実施例において実験例
3のR=0の時の疲労強度試験の結果を示す図である。
FIG. 8 is a view showing the results of a fatigue strength test when R = 0 in Experimental Example 3 in a preferred embodiment of the ceramic molded body and the method for manufacturing the ceramic molded body according to the present invention.

【図9】本発明に係るセラミックス成形体およびセラミ
ックス成形体の製造方法の好適な実施例において実験例
3の疲労強度を平均応力ρm と振幅応力ρa で示した図
である。
FIG. 9 is a diagram showing the fatigue strength of Experimental Example 3 in terms of the average stress ρ m and the amplitude stress ρ a in a preferred embodiment of the ceramic molded body and the method for manufacturing the ceramic molded body according to the present invention.

【図10】本発明に係るセラミックス成形体およびセラ
ミックス成形体の製造方法の好適な実施例において実験
例4の回転曲げ疲労試験に供する試験材の形状を示す図
である。
FIG. 10 is a view showing a shape of a test material to be subjected to a rotary bending fatigue test of Experimental Example 4 in a preferred embodiment of the ceramic molded body and the method for manufacturing the ceramic molded body according to the present invention.

【図11】本発明に係るセラミックス成形体およびセラ
ミックス成形体の製造方法の好適な実施例において実験
例4の回転曲げ疲労試験の結果を示す図である。
FIG. 11 is a view showing the results of a rotating bending fatigue test of Experimental Example 4 in a preferred embodiment of the ceramic molded body and the method for manufacturing the ceramic molded body according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…セラミックス成形体を構成する基本構成粒子 12…第1の基本構成粒子 14…第2の基本構成粒子 16…第3の基本構成粒子 18、19…粒界 20…粒界内析出粒子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Basic constituent particle which comprises a ceramic molded body 12 ... 1st basic constituent particle 14 ... 2nd basic constituent particle 16 ... 3rd basic constituent particle 18, 19 ... Grain boundary 20 ... Precipitated particle in a grain boundary

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】窒化硅素(Si3N4)と炭化硅素(SiC)からな
る群のうち、少なくとも一種類以上を含有する基本構成
粒子と、 前記基本構成粒子同士の間隙に焼結助剤を充填して形成
された粒界と、 前記粒界中に析出された粒界内析出粒子と、 を有することを特徴とするセラミックス成形体。
1. A basic constituent particle containing at least one kind selected from the group consisting of silicon nitride (Si 3 N 4 ) and silicon carbide (SiC), and a sintering aid in a gap between the basic constituent particles. A ceramic molded body, comprising: a grain boundary formed by filling; and intragranular precipitated particles precipitated in the grain boundary.
【請求項2】請求項1記載のセラミックス成形体におい
て、粒界内析出粒子は、炭化チタン(TiC)、炭化硅素
(SiC)、窒化チタン(TiN)、炭化クロム(Cr4C 3 )、炭化
ジルコニウム(ZrC)、窒化ジルコニウム(ZrN)、窒化ク
ロム(CrN)からなる群から選ばれる少なくとも一種類以
上の針状あるいは粒状からなる単結晶および複合結晶を
有することを特徴とするセラミックス成形体。
2. The ceramic molded body according to claim 1, wherein the precipitated particles in the grain boundary are titanium carbide (TiC), silicon carbide (SiC), titanium nitride (Ti N ), chromium carbide (Cr 4 C 3 ), A ceramic molded body comprising at least one or more needle-like or granular single crystal and composite crystal selected from the group consisting of zirconium carbide (ZrC), zirconium nitride (ZrN), and chromium nitride (CrN).
【請求項3】請求項1または2記載のセラミックス成形
体において、粒界内析出粒子は、10オングストローム
以上1000オングストローム以下の範囲内の大きさか
らなることを特徴とするセラミックス成形体。
3. The ceramic molded body according to claim 1, wherein the precipitated particles in the grain boundary have a size in the range of 10 Å to 1000 Å.
【請求項4】請求項1乃至3のいずれかに記載のセラミ
ックス成形体において、粒界は、酸化セリウム(Ce
O2)、酸化ランタン(La2O3)、酸化アルミニウム(Al2O
3)、酸化イットリウム(Y2O3)、酸化ジルコニウム(Zr
O2) 、酸化ジスプロシウム(Dy 2 O3)、酸化サマリウム
(Sm2O3)、酸化ネオジウム(Nd2O3)、酸化マグネシウム
(MgO )、酸化チタン(TiO2) 、酸化硅素(SiO2)、酸
化クロム(Cr2O3)からなる群と、 前記群中に微量固溶された炭素(C)並びに窒素(N)と、 を含有することを特徴とするセラミックス成形体。
4. The ceramic compact according to claim 1, wherein the grain boundary is cerium oxide (Ce).
O 2 ), lanthanum oxide (La 2 O 3 ), aluminum oxide (Al 2 O
3 ), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), zirconium oxide (Zr
O 2 ), dysprosium oxide (Dy 2 O 3 ), samarium oxide (Sm 2 O 3 ), neodymium oxide (Nd 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), titanium oxide (TiO 2 ), silicon oxide (SiO 2 ) And a group consisting of chromium oxide (Cr 2 O 3 ), and carbon (C) and nitrogen (N) dissolved in trace amounts in the group.
【請求項5】請求項1乃至4のいずれかに記載のセラミ
ックス成形体において、基本構成粒子は、3種類の異な
る大きさから構成される高純度な単結晶の六角柱状晶ウ
ィスカーからなり、 前記基本構成粒子は、六角柱状晶ウィスカーの六角形面
の面積が最も大きくセラミックス成形体の骨格をなす第
1の基本構成粒子と、 六角柱状晶ウィスカーの六角形面の面積が第1基本構成
粒子についで大きく且つ第1基本構成粒子同士の画成す
る大径の間隙に配設される第2の基本構成粒子と、 六角柱状晶ウィスカーの六角形面の面積が最も小さく、
第1基本構成粒子並びに第2基本構成粒子により画成さ
れる小径の間隙に配設される第3の基本構成粒子と、 を有することを特徴とするセラミックス成形体。
5. The ceramic molded body according to claim 1, wherein the basic constituent particles are made of high-purity single-crystal hexagonal column whiskers having three different sizes, The basic constituent particles are the first basic constituent particles having the largest area of the hexagonal surface of the hexagonal columnar whisker and forming the skeleton of the ceramic molded body, and the first basic constituent particles having the hexagonal surface area of the hexagonal columnar whisker. And the second basic constituent particles disposed in a large-diameter gap defined by the first basic constituent particles, and the area of the hexagonal surface of the hexagonal columnar whisker is the smallest;
And a third basic constituent particle disposed in a small gap defined by the first basic constituent particle and the second basic constituent particle.
【請求項6】窒化硅素(Si3N4)と炭化硅素(SiC)からな
る群のうち、少なくとも一種類以上を含有する基本構成
粒子と、前記基本構成粒子同士の間隙に焼結助剤を充填
して形成された粒界と、前記粒界中に析出された粒界内
析出粒子とを有するセラミックス成形体の製造方法であ
り、焼成あるいは熱処理により前記粒界中に針状あるい
は粒状の単結晶および複合結晶からなる粒界内析出粒子
を析出させることを特徴とするセラミックス成形体の製
造方法。
6. A basic constituent particle containing at least one kind selected from the group consisting of silicon nitride (Si 3 N 4 ) and silicon carbide (SiC), and a sintering aid in a gap between the basic constituent particles. A method for producing a ceramic molded body having a grain boundary formed by filling and particles precipitated in the grain boundary precipitated in the grain boundary, wherein a needle-like or granular single body is formed in the grain boundary by firing or heat treatment. A method for producing a ceramic molded body, comprising: depositing precipitated particles in a grain boundary comprising a crystal and a composite crystal.
【請求項7】請求項6記載のセラミックス成形体の製造
方法において、焼あるいは熱処理は、トータル圧力値
で窒素分圧が70%以上98%以下、アルゴンあるいは
ヘリウムの分圧が1.5%以上28%以下で、前記2成
分の分圧の残部を一酸化炭素分圧からなる雰囲気中で遂
行されることを特徴とするセラミックス成形体の製造方
法。
7. A method of producing a ceramic molded body according to claim 6, baked growth or heat treatment, the nitrogen partial pressure of 98% 70% or less in total pressure value, partial pressure of argon or helium 1.5% A method for producing a ceramic molded body, characterized in that the remaining part of the partial pressure of the two components is carried out in an atmosphere consisting of a partial pressure of carbon monoxide at 28% or less.
【請求項8】請求項6または7記載のセラミックス成形
体の製造方法において、焼結助剤100重量%に対し
て、0.001重量%以上2.0重量%以下の炭素を添
加して焼成あるいは熱処理により前記粒界中に針状ある
いは粒状の単結晶および複合結晶からなる粒界内析出粒
子を析出させることを特徴とするセラミックス成形体の
製造方法。
8. A method for producing a ceramic molded body according to claim 6, wherein 0.001% by weight to 2.0% by weight of carbon is added to 100% by weight of the sintering aid. Alternatively, a method for producing a ceramic molded body, characterized in that needle-shaped or granular single-crystal and composite-crystal precipitated particles in a grain boundary are precipitated in the grain boundary by heat treatment.
【請求項9】請求項6乃至8のいずれかに記載のセラミ
ックス成形体の製造方法において、粒界内析出粒子は、
炭化チタン(TiC)、炭化硅素(SiC)、窒化チタン(Ti
N)、炭化クロム(Cr4C 3 )、炭化ジルコニウム(ZrC)、
窒化ジルコニウム(ZrN)、窒化クロム(CrN)からなる群
から選ばれた少なくとも一種類以上の針状あるいは粒状
からなる単結晶および複合結晶であることを特徴とする
セラミックス成形体の製造方法。
9. The method for producing a ceramic molded body according to claim 6, wherein the precipitated particles in the grain boundary are:
Titanium carbide (TiC), silicon carbide (SiC), titanium nitride (Ti
N), chromium carbide (Cr 4 C 3), zirconium carbide (ZrC),
A method for producing a ceramic molded body, comprising at least one kind of needle-shaped or granular single crystal and composite crystal selected from the group consisting of zirconium nitride (ZrN) and chromium nitride (CrN).
【請求項10】請求項6乃至9のいずれかに記載のセラ
ミックス成形体の製造方法において、粒界内析出粒子
は、10オングストローム以上1000オングストロー
ム以下の範囲の大きさを有することを特徴とするセラミ
ックス成形体の製造方法。
10. The method for producing a ceramic molded body according to claim 6, wherein the precipitated particles in the grain boundary have a size in the range of 10 Å to 1000 Å. A method for producing a molded article.
【請求項11】請求項6乃至10のいずれかに記載のセ
ラミックス成形体の製造方法において、粒界は、酸化セ
リウム(CeO2)、酸化ランタン(La2O3)、酸化アルミニ
ウム(Al2O3)、酸化イットリウム(Y2O3)、酸化ジルコ
ニウム(ZrO2) 、酸化ジスプロシウム(Dy 2 O3)、酸化
サマリウム(Sm2O3)、酸化ネオジウム(Nd2O3)、酸化マ
グネシウム(MgO )、酸化チタン(TiO2) 、酸化硅素
(SiO2)、酸化クロム(Cr2O3)を凝集析出させる焼結助
剤中に、微量の炭素(C ) 並びに窒素(N)を固溶させる
ことを特徴とするセラミックス成形体の製造方法。
11. A method according to claim 6, wherein the grain boundaries are cerium oxide (CeO 2 ), lanthanum oxide (La 2 O 3 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ). 3 ), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), dysprosium oxide (Dy 2 O 3 ), samarium oxide (Sm 2 O 3 ), neodymium oxide (Nd 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO ), Titanium oxide (TiO 2 ), silicon oxide (SiO 2 ), and chromium oxide (Cr 2 O 3 ) in a sintering aid that coagulate and precipitate a small amount of carbon (C) and nitrogen (N) A method for producing a ceramic molded body, characterized by comprising:
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