JP3033893B2 - Appearance inspection device - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、移動する検査対象
物の画像を取り込み、所定の信号処理を行って品質検査
等を行うための外観検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a visual inspection apparatus for capturing an image of a moving inspection object, performing predetermined signal processing, and performing a quality inspection or the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、移動する検査対象物の画像を取り
込み、所定の信号処理を行って品質検査等を行うための
外観検査装置として、たとえば特開平9−297107
号公報に記載されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an appearance inspection apparatus for taking in an image of a moving inspection object and performing predetermined signal processing to perform a quality inspection or the like, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-297107.
No., published in Japanese Unexamined Patent Publication No.
【0003】また、異なる角度から検査対象物の突起部
を照射する複数の照明を設け、これらの照明を順次に切
り替えながら複数の画像取込を行うことで、より高い検
査性能が得られるという基本的な考えは、特公平9−3
11020号公報に記載されている。Further, by providing a plurality of illuminations for irradiating the projections of the inspection object from different angles and performing a plurality of image captures while sequentially switching these illuminations, a higher inspection performance can be obtained. Is the idea of Tokuho 9-3
No. 11020.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、ラインセンサ
で画像取込を行う場合、連続して移動して行くシート状
等の連続した検査対象物では、1通りの照明条件でしか
画像を取り込むことができなかった。However, when an image is captured by a line sensor, an image is captured only under one illumination condition for a continuous inspection object such as a sheet moving continuously. Could not.
【0005】すなわち、ラインセンサで異なる照明条件
の画像を取り込むには、1回ラインセンサまたは画像取
込対象側が移動して画像を取り込んだ後、照明条件を切
り替えて再度移動して画像を取り込む必要があったの
で、検査対象物が連続するシート状であったり、コンベ
アの上を移動する部品等のように連続して移動してくる
ものである場合は、従来はラインセンサで異なる照明条
件での複数の画像を取り込むことはできなかった。In other words, in order to capture an image under different illumination conditions with the line sensor, it is necessary to move the line sensor or the image capture target once to capture the image, then switch the illumination condition and move again to capture the image. In the case where the inspection target is a continuous sheet or a component that moves continuously, such as a part moving on a conveyor, conventionally, the line sensor is used under different lighting conditions. Could not capture multiple images.
【0006】また、複数の照明条件でラインセンサより
画像を取り込めるように構成されている場合でも、画像
取込を行いたい照明条件の回数に相当する回数だけライ
ンセンサを移動させる必要があった。特に、複数の照明
条件で画像取込が終わった検査対象物から搬送していく
システムでは、複数回にわたってラインセンサの移動を
行い、最後の移動による画像取込を行った検査対象物か
らでないと搬送できないので、搬送開始できるまでに時
間がかかっていた。In addition, even when the image sensor is configured to capture an image from the line sensor under a plurality of illumination conditions, it is necessary to move the line sensor a number of times corresponding to the number of illumination conditions in which the image capture is desired. In particular, in a system for transporting from an inspection object whose image has been captured under a plurality of lighting conditions, the line sensor must be moved a plurality of times, and only from the inspection object whose image has been captured by the last movement. Since it could not be transported, it took a long time to start transporting.
【0007】また画像取込対象の上を複数回移動して画
像取込を行うことのできる場合でも、従来の方式で取り
込む画像と同じ分解能を得ようとした場合は、画像取込
時のラインセンサと比較して、照明条件は、例えば2種
類の場合には半分の速度、照明条件が3種類の場合は3
分の1の速度でラインセンサを移動させる必要がある。[0007] Even if the image can be captured by moving over the image capturing target a plurality of times, if the same resolution as that of the image captured by the conventional method is to be obtained, the line at the time of image capture is required. Compared with the sensor, the illumination condition is, for example, half speed for two types, and 3 for three types of illumination conditions.
It is necessary to move the line sensor at one-half speed.
【0008】外観検査の処理工程としては、図3(a)
に示すように、検査対象部品が並んでいて、2種類の照
明条件で画像を取り込み、画像の取り込み終わった検査
対象部品から次工程へ搬送して行く工程がある。FIG. 3A shows an appearance inspection process.
As shown in (1), there is a process in which inspection target components are arranged, an image is captured under two types of illumination conditions, and the inspection target component after the image capturing is completed is transported to the next process.
【0009】他の処理工程では、図3(b)に示すよう
に、1列に並んだ全ての部品について一つの照明条件で
画像取込を行い、次に照明を切り替えて第2の照明条件
で画像取込を行う場合には、第2の照明条件で1個目の
部品の画像取込が最後になってしまい、1個目の部品を
移動できるのが遅くなってしまう。In another processing step, as shown in FIG. 3B, an image is captured under one illumination condition for all parts arranged in one line, and then the illumination is switched to the second illumination condition. In the case of performing the image capturing in step (2), the image capturing of the first component is last in the second illumination condition, and the movement of the first component is delayed.
【0010】また、図3(c)に示すように、部品1個
毎に照明条件を切り替えて複数の画像取込を行う場合に
は、それぞれの部品毎に2回ずつラインセンサの移動方
向を変えるために、部品毎に2回ずつ加速と減速を多く
行わなければならない。また1個目の部品で第2の照明
条件での画像取込が終了した時点で、ラインセンサは、
1個目の部品の、2個目の部品からは反対側にあるの
で、次に2個目の部品の画像取込を開始するためには、
2個目の部品まで移動しなければならない。以上の2つ
の理由により図3(c)に示す方式は、画像取込を開始
してから2種類の照明条件での画像取込が終わるまでの
時間が部品毎に遅くなっていくことがわかる。In addition, as shown in FIG. 3C, when a plurality of images are captured by switching the illumination condition for each component, the moving direction of the line sensor is changed twice for each component. In order to change, many acceleration and deceleration must be performed twice for each part. When the image capturing under the second lighting condition is completed for the first component, the line sensor
Since the first part is on the opposite side from the second part, to start capturing the image of the second part next,
You have to move to the second part. For the above two reasons, the method shown in FIG. 3C shows that the time from the start of image capture to the end of image capture under two types of illumination conditions is delayed for each component. .
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の外観検査装置
は、検査対象物を照明する複数の照明と、各照明により
所定の順序で所定時間だけ前記検査対象物を照明するよ
うに、照明点灯手段に所定のタイミングで制御信号を供
給する制御信号発生手段と、前記照明で照明された前記
検査対象物に対して相対的に移動し、前記検査対象物の
画像を取り込むラインセンサと、前記ラインセンサで取
り込まれた画像信号を、前記制御信号のタイミングで記
憶し、前回のタイミングで取り込まれた画像信号を送り
出す画像記憶手段と、前記画像記憶手段から送り出され
た画像信号と、あらかじめ設定された基準との比較にも
とづいて、当該検査対象物の判定を行う判定手段とを備
えていることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION A visual inspection apparatus according to the present invention is provided with a plurality of illuminations for illuminating an inspection object, and illuminating so that the illumination illuminates the inspection object for a predetermined time in a predetermined order. Control signal generating means for supplying a control signal to the means at a predetermined timing; a line sensor which moves relative to the inspection object illuminated by the illumination and captures an image of the inspection object; An image signal captured by the sensor is stored at the timing of the control signal, and an image storage unit that sends out the image signal captured at the previous timing, an image signal sent from the image storage unit, and a preset image signal. A determination unit configured to determine the inspection target based on comparison with a reference.
【0012】照明の照明範囲は、リング状、ライン状、
またはドーム状であってもよい。The illumination range of the illumination is ring-shaped, line-shaped,
Or it may be dome-shaped.
【0013】また制御信号発生手段により前記複数の照
明を順々に切り替えて前記検査対象物を照明するように
構成することもでき、制御信号発生手段により前記複数
の照明を任意の組み合わせで点灯させ、照明の組み合わ
せを順々に切り替えるように構成してもよい。[0013] The inspection object may be illuminated by sequentially switching the plurality of illuminations by a control signal generation means. The control signal generation means may illuminate the plurality of illuminations in any combination. Alternatively, a configuration may be adopted in which the combination of lighting is sequentially switched.
【0014】すなわち本発明の外観検査装置は、ライン
センサが画像を取り込むために、移動中にラインセンサ
の1ラインスキャン毎に点灯させる照明を切り替えるこ
とで、ラインセンサが1回の移動で照明条件の異なる複
数の画像を取り込むことができるように構成されてい
る。In other words, the visual inspection apparatus of the present invention switches the illumination to be turned on for each line scan of the line sensor during movement so that the line sensor captures an image. And a plurality of different images.
【0015】本発明の外観検査装置において、2つの照
明を用いる場合、制御信号発生手段は、ラインセンサの
ラインクロックを発生し、ラインセンサにラインクロッ
クを送ると共に、第1の照明点灯手段と第2の照明点灯
手段に、ラインクロックに同期してラインクロックの1
ラインおきに交互に照明が点灯されるように照明点灯信
号を発生する。画像記憶手段では、制御信号発生手段か
らのラインクロックにより画像信号をライン毎に交互に
異なる記憶領域に記憶することで、照明条件の異なる複
数の画像を1回のラインセンサ移動で取り込むことがで
きる。In the case where two lights are used in the visual inspection apparatus of the present invention, the control signal generating means generates a line clock of the line sensor, sends the line clock to the line sensor, and the first lighting lighting means and the first lighting lighting means. The second lighting means is provided with one of the line clocks in synchronization with the line clock.
An illumination lighting signal is generated so that the illumination is alternately turned on every other line. In the image storage unit, the image signals are alternately stored in different storage areas for each line by the line clock from the control signal generation unit, so that a plurality of images having different illumination conditions can be captured by one line sensor movement. .
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施形態を図
面を参照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0017】図1において、ラインセンサ1は、移動手
段2により、ラインセンサ1のスキャン方向と直交する
方向に移動しながら、検査対象物、この例では部品の画
像取り込みを行う。In FIG. 1, the line sensor 1 captures an image of an object to be inspected, in this example, a part while moving in a direction orthogonal to the scanning direction of the line sensor 1 by the moving means 2.
【0018】一方、制御信号発生手段3は、ラインセン
サ1に画像取り込みのためのラインクロックを供給する
と共に、第1の照明点灯手段4および第2の照明点灯手
段6に、それぞれラインクロックに同期して2つの照明
が交互に点灯するように照明点灯信号を送る。On the other hand, the control signal generating means 3 supplies a line clock for capturing an image to the line sensor 1 and synchronizes the first lighting lighting means 4 and the second lighting lighting means 6 with the line clock, respectively. Then, an illumination lighting signal is sent so that the two illuminations are alternately turned on.
【0019】第1の照明点灯手段4は、制御信号発生手
段3からの点灯信号がonであるときに第1の照明5を
点灯させ、offのときに消灯させる。第2の照明点灯
手段6も同様に、制御信号発生手段3からの点灯信号に
応じて、第2の照明7を点灯させたり消灯させたりす
る。The first illumination lighting means 4 turns on the first illumination 5 when the lighting signal from the control signal generating means 3 is on, and turns off the light when it is off. Similarly, the second illumination lighting means 6 turns on and off the second illumination 7 according to the lighting signal from the control signal generation means 3.
【0020】ラインセンサ1から出力されたアナログ画
像信号は、AD変換手段8によりディジタル画像信号に
変換され、画像記憶手段9に出力される。画像記憶手段
9は、制御信号発生手段3からラインクロックを取り込
み、このラインクロックを元に、AD変換手段より、入
力されたディジタル画像信号の記憶領域を決定し、記憶
する。The analog image signal output from the line sensor 1 is converted into a digital image signal by the AD converter 8 and output to the image storage 9. The image storage means 9 fetches a line clock from the control signal generation means 3 and, based on the line clock, determines a storage area for the input digital image signal from the AD conversion means and stores it.
【0021】したがって、図1に示すように、照明が第
1および第2の照明5および7の2つである場合には、
ラインクロックが入力される毎に、2つの画像記憶領域
を交互に切り替えて画像データを記憶する。Therefore, as shown in FIG. 1, when the illuminations are the first and second illuminations 5 and 7,
Each time a line clock is input, two image storage areas are alternately switched to store image data.
【0022】画像処理手段10は、画像記憶手段9か
ら、第1の照明5が点灯したときには第1の画像データ
を読み出し、第2の照明が点灯したときには第2の画像
データを読み出して、それぞれあらかじめ設定された画
像処理を行い、それぞれの画像処理結果である第1の測
定値と第2の測定値を算出し、判定手段11に出力す
る。The image processing means 10 reads out the first image data from the image storage means 9 when the first illumination 5 is turned on, and reads out the second image data when the second illumination is turned on. A predetermined image processing is performed, and a first measurement value and a second measurement value, which are the respective image processing results, are calculated and output to the determination unit 11.
【0023】判定手段11は、画像処理手段10から出
力される第1の測定値と第2の測定値から、あらかじめ
設定された判定基準により良否判定を行う。The judging means 11 makes a pass / fail judgment on the basis of the first measured value and the second measured value output from the image processing means 10 according to a predetermined judging standard.
【0024】つぎに、図1の外観検査装置の動作を図2
を参照して説明する。Next, the operation of the appearance inspection apparatus of FIG. 1 will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG.
【0025】図2に、ラインクロック、および2つの照
明点灯信号のタイミングチャートを示す。制御信号発生
手段3は、図2に示した波形のラインクロックをライン
センサ1および画像記憶手段9へ出力する。ラインセン
サ1は、ラインクロックがLowの期間にCCDのチャ
ージを行うと共に、前回のラインでチャージした画像信
号の出力を行う。FIG. 2 shows a timing chart of the line clock and two illumination lighting signals. The control signal generator 3 outputs a line clock having the waveform shown in FIG. 2 to the line sensor 1 and the image storage 9. The line sensor 1 charges the CCD while the line clock is Low, and outputs the image signal charged in the previous line.
【0026】画像記憶手段10は、照明条件の数、この
例では照明の数に相当する数の画像記憶領域を有し、ラ
インクロックがLowからHighに切り替わる毎に、
画像を記憶する領域を順々に切り替える。The image storage means 10 has a number of image storage areas corresponding to the number of illumination conditions, in this example, the number of illuminations, and each time the line clock switches from low to high,
The area for storing the image is sequentially switched.
【0027】制御信号発生手段3は、ラインクロックに
同期させて複数の照明点灯信号を発生させる。図2は、
2つの照明を交互に切り替えて点灯信号を発生させた場
合を示し、ラインクロックに同期させて、第1の照明点
灯信号がonの時は第2の照明点灯信号はoffに、第
1の照明点灯信号がoffの時は第2の照明点灯信号は
onになるような信号を発生する。The control signal generating means 3 generates a plurality of illumination lighting signals in synchronization with the line clock. FIG.
A case where a lighting signal is generated by alternately switching two lights is shown. In synchronization with a line clock, when the first lighting lighting signal is on, the second lighting lighting signal is turned off, and the first lighting is turned off. When the lighting signal is off, a signal is generated such that the second lighting lighting signal is turned on.
【0028】したがって、画像記憶手段9は、第1の照
明点灯信号がonになっている時、ラインセンサ1は、
第1の照明5の照明で画像をチャージし、前回の第2の
照明の点灯時に取り込んだ画像信号を出力することで、
リアルタイムにAD変換されたディジタル画像信号を第
2の記憶領域に記憶する。逆に、画像記憶手段9は、第
2の照明点灯信号がonになっている時、ラインセンサ
1は、第2の照明での画像をチャージすると共に、第1
の照明が点灯しているときに取り込んだ画像信号を出力
し、リアルタイムにAD変換されたディジタル画像信号
を第1の記憶領域へ記憶する。Therefore, when the first illumination lighting signal is on, the image storage means 9 sets the line sensor 1 to
By charging the image with the illumination of the first illumination 5 and outputting the image signal captured at the time of the previous illumination of the second illumination,
The digital image signal that has been A / D converted in real time is stored in the second storage area. Conversely, when the second illumination lighting signal is on, the image sensor 9 charges the image with the second illumination,
Then, the captured image signal is output when the illumination is turned on, and the digital image signal that has been A / D converted in real time is stored in the first storage area.
【0029】本発明の外観検査装置の利点がが最も有効
に発揮される処理工程は、図3(a)に示すように、検
査対象部品が並んでいて、2種類の照明条件で画像を取
り込み、画像の取り込み終わった検査対象部品から次工
程へ搬送して行く工程である。場合で、本発明では、画
像取込対象部品の上をラインセンサが1回通過し終わっ
た時点で、2種類の照明条件でのその部品の画像が取り
終わっているので、ラインセンサの通過が終わった部品
から順番に上から吸着する等により次工程へ搬送するこ
とが可能である。The processing step in which the advantages of the visual inspection device of the present invention are most effectively exhibited is as shown in FIG. This is a step of transporting the inspection target component from which the image has been captured to the next step. In this case, according to the present invention, when the line sensor has passed once over the image capturing target component, the image of the component has been captured under two types of lighting conditions. The finished parts can be conveyed to the next step by, for example, sucking them from above in order.
【0030】なお、図1に示した実施形態では、ライン
センサと照明が移動して画像を取り込む構成になってい
るが、ラインセンサと照明が固定で検査対象物側が移動
することでも本発明による画像取り込みは可能である。In the embodiment shown in FIG. 1, the line sensor and the illumination are moved to take in an image. However, the present invention can be applied to the case where the line sensor and the illumination are fixed and the object to be inspected moves. Image capture is possible.
【0031】また照明の形状は、図1に示したようなリ
ング状に限定されるものではなく、ライン状やドーム状
等であってもよい。さらに照明の数は2つに限定するも
のではなく、3つ以上の複数の照明を順々に切り替えて
画像を取り込む方式、及び複数の照明を任意の組み合わ
せで点灯させ照明の組み合わせを順々に切り替えて画像
を取り込む方式も適用することができる。The shape of the illumination is not limited to the ring shape as shown in FIG. 1, but may be a line shape or a dome shape. Further, the number of lights is not limited to two, but a method of sequentially switching three or more lights to take in an image, and a method of lighting a plurality of lights in any combination and sequentially changing the combination of lights. A method of switching and taking in an image can also be applied.
【0032】さらに画像記憶手段10として、ラインク
ロック毎に異なる記憶領域に順々に記憶する手段の他
に、記憶は全ラインクロックの画像を同じ記憶領域に記
憶してから、画像データの読み出し時にあらかじめ同じ
照明条件の画像として算出したアドレスから読み出す方
式も考えられる。Further, in addition to the means for sequentially storing the image data in different storage areas for each line clock as the image storage means 10, the image storage means 10 stores the images of all the line clocks in the same storage area and then stores the image data when reading out the image data. A method of reading from an address calculated in advance as an image under the same illumination condition is also conceivable.
【0033】複数の照明点灯手段としては、直接照明の
点灯をオン・オフする方法の他に、照明は点灯させたま
まで、それぞれの照明と検査対象部品の間にメカニカル
シャッタや液晶シャッタを設置してシャッタをオン・オ
フする方法も考えられる。As the plurality of illumination lighting means, in addition to the method of directly turning on and off the illumination, a mechanical shutter or a liquid crystal shutter is provided between each illumination and the part to be inspected while the illumination is kept on. It is also conceivable to turn on / off the shutter by using a switch.
【0034】[0034]
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の外観検
査装置によれば、ラインセンサを用いて複数の照明条件
で画像取込を短時間で行うことができる。またラインセ
ンサのラインクロックに同期して複数の照明条件を切り
替えて画像取込を行うことにより、1回の移動で複数の
照明条件での画像を取り込むことができる。したがって
高い精度での外観検査を高速で遂行することが可能にな
る。As described above, according to the appearance inspection apparatus of the present invention, an image can be captured in a short time under a plurality of illumination conditions using a line sensor. In addition, by switching a plurality of illumination conditions in synchronization with the line clock of the line sensor to capture an image, it is possible to capture images under a plurality of illumination conditions in one movement. Therefore, it is possible to perform a high-accuracy appearance inspection at a high speed.
【図1】本発明の一実施形態による外観検査装置の構成
を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a visual inspection device according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1の外観検査装置における各部の信号のタイ
ミングチャート。FIG. 2 is a timing chart of signals of each unit in the appearance inspection apparatus of FIG. 1;
【図3】(a),(b),(c)はそれぞれ従来の外観
検査装置の画像取り込み形態を示す説明図。FIGS. 3A, 3B, and 3C are explanatory diagrams showing image capturing modes of a conventional visual inspection device.
1 ラインセンサ 2 移動手段 3 制御信号発生手段 4 第1の照明点灯手段 5 第1の照明 6 第2の照明点灯手段 7 第2の照明 8 AD変換手段 9 画像記憶手段 10 画像処理手段 11 判定手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Line sensor 2 Moving means 3 Control signal generating means 4 First illumination lighting means 5 First illumination 6 Second illumination lighting means 7 Second illumination 8 AD conversion means 9 Image storage means 10 Image processing means 11 Judgment means
Claims (4)
照明により所定の順序で所定時間だけ前記検査対象物を
照明するように、照明点灯手段に所定のタイミングで制
御信号を供給する制御信号発生手段と、前記照明で照明
された前記検査対象物に対して相対的に移動し、前記検
査対象物の画像を取り込むラインセンサと、前記ライン
センサで取り込まれた画像信号を、前記制御信号のタイ
ミングで記憶し、前回のタイミングで取り込まれた画像
信号を送り出す画像記憶手段と、前記画像記憶手段から
送り出された画像信号と、あらかじめ設定された基準と
の比較にもとづいて、当該検査対象物の判定を行う判定
手段とを備えていることを特徴とする外観検査装置。1. A control for supplying a control signal to illumination lighting means at a predetermined timing so that a plurality of illuminations for illuminating an inspection object and each illumination illuminates the inspection object for a predetermined time in a predetermined order. A signal generation unit, a line sensor that moves relative to the inspection object illuminated by the illumination and captures an image of the inspection object, and an image signal captured by the line sensor, the control signal Image storage means for storing the image signal sent at the previous timing and sending out the image signal captured at the previous timing; and the image signal sent from the image storage means, and comparing the image signal sent from the image storage means with a preset reference. And a determination unit for performing a determination of (1).
状、またはドーム状である請求項1に記載の外観検査装
置。2. The visual inspection device according to claim 1, wherein the illumination range of the illumination is a ring shape, a line shape, or a dome shape.
照明を順々に切り替えて前記検査対象物を照明するよう
に構成されている請求項1または2に記載の外観検査装
置。3. The visual inspection device according to claim 1, wherein the control signal generating means is configured to sequentially switch the plurality of illuminations to illuminate the inspection object.
照明を任意の組み合わせで点灯させ、照明の組み合わせ
を順々に切り替えるように構成されている請求項1また
は2に記載の外観検査装置。4. The visual inspection apparatus according to claim 1, wherein the plurality of lights are turned on in an arbitrary combination by the control signal generating means, and the combination of the lights is sequentially switched.
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1998
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