JP3036873B2 - 超清浄囲繞コンテナ用吹き出しドア - Google Patents
超清浄囲繞コンテナ用吹き出しドアInfo
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- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
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- Ventilation (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
- Special Wing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、非常に清浄な雰囲気
の中に、定期的または常に一定に保存されなければなら
ない対象物の貯蔵および搬送に使用される超清浄囲繞コ
ンテナ用吹き出しドアに関する。
の中に、定期的または常に一定に保存されなければなら
ない対象物の貯蔵および搬送に使用される超清浄囲繞コ
ンテナ用吹き出しドアに関する。
【０００２】
【従来の技術】より詳しく説明すると、マイクロ電子工
学のような、ある産業分野で、一つまたは多数の対象
物、例えば、集積回路の製造に使用されるシリコンウェ
ハやチップを超清浄雰囲気中で保存する必要がある。ま
た、このような対象物を第１のコンテナ内部から第２の
コンテナ内部に移送する必要もしばしばある。
学のような、ある産業分野で、一つまたは多数の対象
物、例えば、集積回路の製造に使用されるシリコンウェ
ハやチップを超清浄雰囲気中で保存する必要がある。ま
た、このような対象物を第１のコンテナ内部から第２の
コンテナ内部に移送する必要もしばしばある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この場合、当該の二つ
のコンテナの同時あるいは連続した開放に関連する問題
が生じる。例えば、ドアの開放によっては、上記超清浄
雰囲気を汚染する望ましからざる粒子の発散を引き起こ
す運動や機械的摩擦が、必然的に起こる。同様の問題
は、コンテナのドアを元の位置に戻す時であるコンテナ
を閉じる間にも生じ、その開閉運動に伴う摩擦の結果と
して生じる粒子の侵入を避けることはできない。これら
の粒子は、ドアが摺動式に取付けられている場合、少な
くともドアの一つの面はより清浄でない空気と接触する
ことになるため、コンテナの外側からも入ってくる。
のコンテナの同時あるいは連続した開放に関連する問題
が生じる。例えば、ドアの開放によっては、上記超清浄
雰囲気を汚染する望ましからざる粒子の発散を引き起こ
す運動や機械的摩擦が、必然的に起こる。同様の問題
は、コンテナのドアを元の位置に戻す時であるコンテナ
を閉じる間にも生じ、その開閉運動に伴う摩擦の結果と
して生じる粒子の侵入を避けることはできない。これら
の粒子は、ドアが摺動式に取付けられている場合、少な
くともドアの一つの面はより清浄でない空気と接触する
ことになるため、コンテナの外側からも入ってくる。
【０００４】この発明が解決しようとする課題は、二つ
の超清浄コンテナ内部に普遍している雰囲気中に、多か
れ少なかれ汚染粒子を導入することなく、二つの超清浄
コンテナの間で対象物をやり取りすることを可能とする
ことである。
の超清浄コンテナ内部に普遍している雰囲気中に、多か
れ少なかれ汚染粒子を導入することなく、二つの超清浄
コンテナの間で対象物をやり取りすることを可能とする
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、この発明の請求項１記載の超清浄囲繞コンテナ用吹
き出しドアは、第２の囲繞コンテナ（５）と連結可能と
された第１の囲繞コンテナ（４）を気密に密閉すること
を目的とされた、超清浄囲繞コンテナ用の吹き出しドア
であって、これらコンテナが互いに連結される時、前記
二つのコンテナの一方から他方への平坦な対象物（６）
の通行を可能とするように移送可能とされており、第１
のコンテナ（４）の内部に面することの可能な第１の面
（１１，３４，４４）と、第２の面（１２，３３，４
３，６１）と、第１のコンテナへ取付けられるための取
付け手段とを有する吹き出しドアにおいて、超清浄雰囲
気を第２の面（１２，３３，４３，６１）に面する閉環
境内に維持するために、少なくとも前記第２の面（１
２，３３，４３，６１）を換気するための第１の換気手
段と、第１のコンテナ（４）の内部に面する第１の面
（１１，３４，４４）のための第１の密閉手段とを具備
するものである。
め、この発明の請求項１記載の超清浄囲繞コンテナ用吹
き出しドアは、第２の囲繞コンテナ（５）と連結可能と
された第１の囲繞コンテナ（４）を気密に密閉すること
を目的とされた、超清浄囲繞コンテナ用の吹き出しドア
であって、これらコンテナが互いに連結される時、前記
二つのコンテナの一方から他方への平坦な対象物（６）
の通行を可能とするように移送可能とされており、第１
のコンテナ（４）の内部に面することの可能な第１の面
（１１，３４，４４）と、第２の面（１２，３３，４
３，６１）と、第１のコンテナへ取付けられるための取
付け手段とを有する吹き出しドアにおいて、超清浄雰囲
気を第２の面（１２，３３，４３，６１）に面する閉環
境内に維持するために、少なくとも前記第２の面（１
２，３３，４３，６１）を換気するための第１の換気手
段と、第１のコンテナ（４）の内部に面する第１の面
（１１，３４，４４）のための第１の密閉手段とを具備
するものである。
【０００６】この発明の請求項２記載のドアは、請求項
１記載のドアにおいて、摺動ドアであって、第１のコン
テナ（４）の開口部に配置されるドアフレーム（１０，
３０）を具備し、ドアの第１の面に対して置かれた前記
第１の密閉手段を有し、また第２のコンテナ（５）に取
付けるための手段に対して置かれた第２の密閉手段を有
することを特徴とする。
１記載のドアにおいて、摺動ドアであって、第１のコン
テナ（４）の開口部に配置されるドアフレーム（１０，
３０）を具備し、ドアの第１の面に対して置かれた前記
第１の密閉手段を有し、また第２のコンテナ（５）に取
付けるための手段に対して置かれた第２の密閉手段を有
することを特徴とする。
【０００７】この発明の請求項３記載のドアは、請求項
１記載のドアにおいて、前記換気手段は、第１の加圧さ
れた流体をドア（２，３２，４２）内部に位置する第１
の内部流体室（１５，４５，４６）に供給し、前記換気
される第２の面（１２，３３，４３，６１）にフィルタ
（１４）を介して流出させる第１加圧流体入口（１７）
を有することを特徴とする。
１記載のドアにおいて、前記換気手段は、第１の加圧さ
れた流体をドア（２，３２，４２）内部に位置する第１
の内部流体室（１５，４５，４６）に供給し、前記換気
される第２の面（１２，３３，４３，６１）にフィルタ
（１４）を介して流出させる第１加圧流体入口（１７）
を有することを特徴とする。
【０００８】この発明の請求項４記載のドアは、請求項
１記載のドアにおいて、前記第１の面（１１，３４，４
４）に面する近傍の環境中の超清浄雰囲気を維持するた
め、ドア（２，３２，４２）の第１の面（１１，３４，
４４）を換気するための第２の換気手段をさらに具備す
ることを特徴とする。
１記載のドアにおいて、前記第１の面（１１，３４，４
４）に面する近傍の環境中の超清浄雰囲気を維持するた
め、ドア（２，３２，４２）の第１の面（１１，３４，
４４）を換気するための第２の換気手段をさらに具備す
ることを特徴とする。
【０００９】この発明の請求項５記載のドアは、請求項
４記載のドアにおいて、前記第２の換気手段は、第２の
加圧された流体をドア（４２）外側に位置する第２の内
部流体室（４６）に供給し、前記第２の面（４３）に第
２のフィルタ（１４）を介して流出させる第２加圧流体
入口（１７）を有することを特徴とする。
４記載のドアにおいて、前記第２の換気手段は、第２の
加圧された流体をドア（４２）外側に位置する第２の内
部流体室（４６）に供給し、前記第２の面（４３）に第
２のフィルタ（１４）を介して流出させる第２加圧流体
入口（１７）を有することを特徴とする。
【００１０】この発明の請求項６記載のドアは、請求項
４記載のドアにおいて、前記第２の換気手段は、ドア
（３２）の第１の面（３４）に向けて加圧流体を流出さ
せる第２のフィルタ（１４）の設けられている前記第１
の換気手段と同様の構成の換気手段によって構成されて
いることを特徴とする。
４記載のドアにおいて、前記第２の換気手段は、ドア
（３２）の第１の面（３４）に向けて加圧流体を流出さ
せる第２のフィルタ（１４）の設けられている前記第１
の換気手段と同様の構成の換気手段によって構成されて
いることを特徴とする。
【００１１】この発明の請求項７記載のドアは、請求項
４記載のドアにおいて、前記換気手段は、それぞれ、そ
の前記内部流体室（１５，４５，４６）の上流側に位置
する加圧流体入口（１７）に設けられた弁（２３）を有
することを特徴とする。
４記載のドアにおいて、前記換気手段は、それぞれ、そ
の前記内部流体室（１５，４５，４６）の上流側に位置
する加圧流体入口（１７）に設けられた弁（２３）を有
することを特徴とする。
【００１２】さらにまた、この発明の請求項８記載の超
清浄囲繞コンテナ（４）は、請求項２記載の吹き出しド
アを有し、前記ドアフレーム（１０，３０）は、コンテ
ナと一体的に形成されていることを特徴とする。
清浄囲繞コンテナ（４）は、請求項２記載の吹き出しド
アを有し、前記ドアフレーム（１０，３０）は、コンテ
ナと一体的に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
【作用】吹き出しドアが、第１のコンテナ（５）内部か
ら第２のコンテナ（４）への対象物（６）の移動を、こ
れら二つのコンテナ内部のそれぞれの雰囲気が汚染され
ることなく、可能とする。吹き出しドア（２）が、加圧
された流体の入口（１７）と、内部流体室（１５）とを
有する。内部流体室の少なくとも一つの面は、面（１
１）と、内部流体室（１５）との間に、設けられた換気
手段（フィルタ）によって換気される。これにより、ド
ア（２）を開く間、外気に接している面（１１）は換気
され、ドア（２）を閉じる間、汚染粒子がコンテナ
（４，５）内にもたらされることがない。
ら第２のコンテナ（４）への対象物（６）の移動を、こ
れら二つのコンテナ内部のそれぞれの雰囲気が汚染され
ることなく、可能とする。吹き出しドア（２）が、加圧
された流体の入口（１７）と、内部流体室（１５）とを
有する。内部流体室の少なくとも一つの面は、面（１
１）と、内部流体室（１５）との間に、設けられた換気
手段（フィルタ）によって換気される。これにより、ド
ア（２）を開く間、外気に接している面（１１）は換気
され、ドア（２）を閉じる間、汚染粒子がコンテナ
（４，５）内にもたらされることがない。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の様々な実施
例を説明する。なお、この実施例の説明は、この発明の
概念の理解を容易とするためのものであって、この発明
を限定する趣旨のものではないことは言うまでもない。
図１ないし図５は、この発明に係る第１実施例の吹き出
しドア２を説明するための図である。ドア２は、図２で
は、空になっている第１の囲繞コンテナ４に取付けられ
ている。この図面は、第１実施例の一つの使用例を例示
するだけのものであり、コンテナ４には、一つまたは複
数の対象物が入っていてもよい。この発明の有用性を明
らかに説明するため、便宜上、コンテナ４は、一つまた
は複数の対象物の入れられる前の搬送コンテナであるこ
とに仮定しておく。そして、この場合、第１のコンテナ
４は、収容コンテナである第２の囲繞コンテナ５にあら
かじめ収容されていた一つの対象物６を受け入れるもの
とする。収容コンテナ５は、図２ではドア無しで示され
ており、このことは、収容コンテナが動的に清浄化され
るコンテナであることを意味する。すなわち、この発明
は、超清浄雰囲気中での対象物の取り扱いに適用される
ものであるから、収容コンテナ５は、図１に示されるよ
うに、超清浄流体源７に接続され動的に清浄化されてい
る。流体は、好ましくは、空気であるが、アルゴンある
いは窒素であってもよい。超清浄流体は、好ましくは、
フィルタ９を介して収容コンテナ５の内部に流出する。
このように、対象物６は、一時的に収容コンテナ５に置
かれ、コンテナ４，５が連結された時、フィルタ９から
の超清浄空気流にのって、コンテナ５の開口部を通って
コンテナ５を後にする。
例を説明する。なお、この実施例の説明は、この発明の
概念の理解を容易とするためのものであって、この発明
を限定する趣旨のものではないことは言うまでもない。
図１ないし図５は、この発明に係る第１実施例の吹き出
しドア２を説明するための図である。ドア２は、図２で
は、空になっている第１の囲繞コンテナ４に取付けられ
ている。この図面は、第１実施例の一つの使用例を例示
するだけのものであり、コンテナ４には、一つまたは複
数の対象物が入っていてもよい。この発明の有用性を明
らかに説明するため、便宜上、コンテナ４は、一つまた
は複数の対象物の入れられる前の搬送コンテナであるこ
とに仮定しておく。そして、この場合、第１のコンテナ
４は、収容コンテナである第２の囲繞コンテナ５にあら
かじめ収容されていた一つの対象物６を受け入れるもの
とする。収容コンテナ５は、図２ではドア無しで示され
ており、このことは、収容コンテナが動的に清浄化され
るコンテナであることを意味する。すなわち、この発明
は、超清浄雰囲気中での対象物の取り扱いに適用される
ものであるから、収容コンテナ５は、図１に示されるよ
うに、超清浄流体源７に接続され動的に清浄化されてい
る。流体は、好ましくは、空気であるが、アルゴンある
いは窒素であってもよい。超清浄流体は、好ましくは、
フィルタ９を介して収容コンテナ５の内部に流出する。
このように、対象物６は、一時的に収容コンテナ５に置
かれ、コンテナ４，５が連結された時、フィルタ９から
の超清浄空気流にのって、コンテナ５の開口部を通って
コンテナ５を後にする。
【００１５】吹き出しドア２は、第１の面１１、この場
合、搬送コンテナ４側の面が、搬送コンテナ４の内部に
面するよう配置されて、搬送コンテナ４に取付けられて
いる。搬送コンテナ４とドア２との間には、第１の密閉
手段が設けられている。第１の密閉手段は、Ｏリングの
ような、第１の密閉接続部８によって好適に構成されて
いる。より詳しくは、吹き出しドア２は、搬送コンテナ
４に、ドア２を支持しているドアフレーム１０を介して
取付けられている。
合、搬送コンテナ４側の面が、搬送コンテナ４の内部に
面するよう配置されて、搬送コンテナ４に取付けられて
いる。搬送コンテナ４とドア２との間には、第１の密閉
手段が設けられている。第１の密閉手段は、Ｏリングの
ような、第１の密閉接続部８によって好適に構成されて
いる。より詳しくは、吹き出しドア２は、搬送コンテナ
４に、ドア２を支持しているドアフレーム１０を介して
取付けられている。
【００１６】ドアフレーム１０は、図示例では、搬送コ
ンテナ４と一体的に形成されている。ただし、ドアフレ
ーム１０は、搬送コンテナ４と別個の部品として構成さ
れて、搬送コンテナ４に取付けられていてもよい。後者
の場合、ドアフレーム１０は、従来の取付けと密閉手段
によって、搬送コンテナに取付けられる。例えば、前記
フレーム１０は、搬送コンテナ４に対して旋回運動可能
に取付けることも可能である。この場合、ドアフレーム
１０の一端は、ドアヒンジやフックによって搬送コンテ
ナ４に取付けられ、また他端は、コンテナ４に対し移動
され、掛け金、止め金、ねじによって、コンテナに止め
られる。一旦、搬送コンテナ４に取付けられたなら、ド
アフレーム１０は、吹き出しドア２を、搬送コンテナの
内部への出入りを可能とするように、摺動せしめること
ができる。第１の密閉手段を構成する前記第１の密閉接
続部８は、より詳しく言うと、吹き出しドア２とドアフ
レーム１０との間に設けられる。
ンテナ４と一体的に形成されている。ただし、ドアフレ
ーム１０は、搬送コンテナ４と別個の部品として構成さ
れて、搬送コンテナ４に取付けられていてもよい。後者
の場合、ドアフレーム１０は、従来の取付けと密閉手段
によって、搬送コンテナに取付けられる。例えば、前記
フレーム１０は、搬送コンテナ４に対して旋回運動可能
に取付けることも可能である。この場合、ドアフレーム
１０の一端は、ドアヒンジやフックによって搬送コンテ
ナ４に取付けられ、また他端は、コンテナ４に対し移動
され、掛け金、止め金、ねじによって、コンテナに止め
られる。一旦、搬送コンテナ４に取付けられたなら、ド
アフレーム１０は、吹き出しドア２を、搬送コンテナの
内部への出入りを可能とするように、摺動せしめること
ができる。第１の密閉手段を構成する前記第１の密閉接
続部８は、より詳しく言うと、吹き出しドア２とドアフ
レーム１０との間に設けられる。
【００１７】ドア２の第２の面（外面）１２は、収容コ
ンテナ５に向いている。もし、清浄でない通常の雰囲気
が、これら二つのコンテナ４，５の周囲を覆う場合、ド
アの開放によって収容コンテナ５内部が外面１２に向か
い合う時、吹き出しドア２の外面１２が、収容コンテナ
５の内部を汚染する可能性がある。従って、様々な粒
子、例えば、塵埃等が、対象物の全ての外面が清浄でな
い雰囲気中に置かれるように、多数、外面１２に付着す
る。
ンテナ５に向いている。もし、清浄でない通常の雰囲気
が、これら二つのコンテナ４，５の周囲を覆う場合、ド
アの開放によって収容コンテナ５内部が外面１２に向か
い合う時、吹き出しドア２の外面１２が、収容コンテナ
５の内部を汚染する可能性がある。従って、様々な粒
子、例えば、塵埃等が、対象物の全ての外面が清浄でな
い雰囲気中に置かれるように、多数、外面１２に付着す
る。
【００１８】この欠点を防ぐため、この発明では、ドア
２に、ドア２の外面１２または、より詳しくはそれによ
って閉じられる環境（コンテナ５内部）を清浄な雰囲気
に維持するため、換気手段が設けられている。このよう
にして、収容コンテナ５が外面１２に接近した時、その
内部は、前記外面１２に付着するはずであった粒子によ
って汚染されることがない。図１において、換気手段
は、加圧清浄流体源７を有して図示されている。フィル
タ１４を介して、加圧清浄流体を外面１２に流出させる
ため、加圧清浄流体源７には、吹き出しドア２内部に延
在する内部流体室１５に向けて、流出させるパイプ（第
１加圧流体入口）１７が取付けられている。
２に、ドア２の外面１２または、より詳しくはそれによ
って閉じられる環境（コンテナ５内部）を清浄な雰囲気
に維持するため、換気手段が設けられている。このよう
にして、収容コンテナ５が外面１２に接近した時、その
内部は、前記外面１２に付着するはずであった粒子によ
って汚染されることがない。図１において、換気手段
は、加圧清浄流体源７を有して図示されている。フィル
タ１４を介して、加圧清浄流体を外面１２に流出させる
ため、加圧清浄流体源７には、吹き出しドア２内部に延
在する内部流体室１５に向けて、流出させるパイプ（第
１加圧流体入口）１７が取付けられている。
【００１９】吹き出しドア２と収容コンテナ５との間の
密閉を確実にするため、第２の密閉手段が、ドアフレー
ム１０と収容コンテナ５との間に配置されている。第２
の密閉手段は、第１の密閉手段と同様の構成の、密閉接
続部１６として形成されている。コンテナ４，５は、そ
れぞれ、ドアフレーム１０が設けられるように、取付け
手段を有している。
密閉を確実にするため、第２の密閉手段が、ドアフレー
ム１０と収容コンテナ５との間に配置されている。第２
の密閉手段は、第１の密閉手段と同様の構成の、密閉接
続部１６として形成されている。コンテナ４，５は、そ
れぞれ、ドアフレーム１０が設けられるように、取付け
手段を有している。
【００２０】前述のように、ドアフレーム１０は、これ
ら二つのコンテナの一つ４と一体をなすように形成され
ていてもよい。この場合、ドアフレーム１０は、前記ド
アと共に永久的に設けられる状態となる。
ら二つのコンテナの一つ４と一体をなすように形成され
ていてもよい。この場合、ドアフレーム１０は、前記ド
アと共に永久的に設けられる状態となる。
【００２１】図１は、対象物６を一つのコンテナから他
方のコンテナへ搬送するための手段と、把握手段とを示
している。これら手段は、この発明の部分をなすもので
はないが、対象物を、コンテナ間に通過させるために必
要なものである。これらは、第１のコンテナの場合、収
容搬送対象物６の載置される板１８によって構成され
る。この板１８は、二つの操作ロッド１９の並進によっ
て可動とされている。これら操作ロッド１９は、じゃば
ら体２２によって、コンテナ壁内を通過するものであ
る。外側に設けられた制御装置２１が、前記搬送手段を
操作する。他方のコンテナは、これら搬送手段を有する
ことを必要とせず、単に、一つまたは複数の対象物を保
持する手段が設けられていればよい。
方のコンテナへ搬送するための手段と、把握手段とを示
している。これら手段は、この発明の部分をなすもので
はないが、対象物を、コンテナ間に通過させるために必
要なものである。これらは、第１のコンテナの場合、収
容搬送対象物６の載置される板１８によって構成され
る。この板１８は、二つの操作ロッド１９の並進によっ
て可動とされている。これら操作ロッド１９は、じゃば
ら体２２によって、コンテナ壁内を通過するものであ
る。外側に設けられた制御装置２１が、前記搬送手段を
操作する。他方のコンテナは、これら搬送手段を有する
ことを必要とせず、単に、一つまたは複数の対象物を保
持する手段が設けられていればよい。
【００２２】個々のコンテナ間の対象物のやり取りのサ
イクルの初めに当たり、二つのコンテナ４，５が連結さ
れて、その内の一つが動的に清浄化されている（図２の
コンテナ５のように）時、コンテナ内の圧力は、上昇
し、加圧された空気がコンテナ５の外側へ逃げる逃げ開
口３によって、所定の価で安定する。
イクルの初めに当たり、二つのコンテナ４，５が連結さ
れて、その内の一つが動的に清浄化されている（図２の
コンテナ５のように）時、コンテナ内の圧力は、上昇
し、加圧された空気がコンテナ５の外側へ逃げる逃げ開
口３によって、所定の価で安定する。
【００２３】図３は、この発明に係るドアを使用する過
程のこの状態を図示するものである。すなわち、対象物
６は、収容コンテナ５中の加圧された超清浄雰囲気中に
まだ存在している。コンテナ４，５は、ドアフレーム１
０によって連結されているが、吹き出しドア２はまだ閉
じている。
程のこの状態を図示するものである。すなわち、対象物
６は、収容コンテナ５中の加圧された超清浄雰囲気中に
まだ存在している。コンテナ４，５は、ドアフレーム１
０によって連結されているが、吹き出しドア２はまだ閉
じている。
【００２４】図３の状態では、二つのコンテナ４，５
は、ドアフレーム１０と、密閉接続部８，１６を介し
て、なお、互いに連結されている。
は、ドアフレーム１０と、密閉接続部８，１６を介し
て、なお、互いに連結されている。
【００２５】次いで、図４に示されるように、吹き出し
ドア２は、ドアフレーム１０内を摺動して移動される。
この動作は、自動的にも、例えば、加圧空気源のパイプ
１７を引くこと等、手動的にも行なうことが可能であ
る。吹き出しドア２の内部流体室１５には空気が供給さ
れ、ドア２の外面１２は、これに従い、その近傍の環境
が超清浄雰囲気の下におかれるように換気される。この
清浄な領域は、雲状に符号２０によって表されている。
この時、前述の搬送手段の使用によって、一つまたは複
数の対象物６がコンテナ４，５間をやり取りされる。
ドア２は、ドアフレーム１０内を摺動して移動される。
この動作は、自動的にも、例えば、加圧空気源のパイプ
１７を引くこと等、手動的にも行なうことが可能であ
る。吹き出しドア２の内部流体室１５には空気が供給さ
れ、ドア２の外面１２は、これに従い、その近傍の環境
が超清浄雰囲気の下におかれるように換気される。この
清浄な領域は、雲状に符号２０によって表されている。
この時、前述の搬送手段の使用によって、一つまたは複
数の対象物６がコンテナ４，５間をやり取りされる。
【００２６】そして、図５に示されるように、吹き出し
ドア２は、再度閉じられる。すなわち、再びドアフレー
ム１０内のの初期位置に戻るよう、反対方向へ押し戻さ
れる。この場合、吹き出しドア２の内面１１は、外部雰
囲気に接触してしまっている。従って、吹き出しドア２
が再度閉じられるやいなや、前記内面１１は、搬送コン
テナ４の内部に接触する。従って、前記内面１１は、搬
送コンテナ４の内部を汚染する恐れがある。従って、こ
の実施例では、搬送コンテナ４は、超清浄雰囲気の下の
対象物の収容のために要求される要求性能に欠けるとこ
ろがある。このわずかな欠点は、後述されるこの発明に
係る吹き出しドアの他の実施例によって解決される。
ドア２は、再度閉じられる。すなわち、再びドアフレー
ム１０内のの初期位置に戻るよう、反対方向へ押し戻さ
れる。この場合、吹き出しドア２の内面１１は、外部雰
囲気に接触してしまっている。従って、吹き出しドア２
が再度閉じられるやいなや、前記内面１１は、搬送コン
テナ４の内部に接触する。従って、前記内面１１は、搬
送コンテナ４の内部を汚染する恐れがある。従って、こ
の実施例では、搬送コンテナ４は、超清浄雰囲気の下の
対象物の収容のために要求される要求性能に欠けるとこ
ろがある。このわずかな欠点は、後述されるこの発明に
係る吹き出しドアの他の実施例によって解決される。
【００２７】図６に示されるように、最終的には、収容
コンテナ５は、吹き出しドア２、ドアフレーム１０、搬
送コンテナ４によって形成される構造から、取り外され
る。
コンテナ５は、吹き出しドア２、ドアフレーム１０、搬
送コンテナ４によって形成される構造から、取り外され
る。
【００２８】次いで、図７ないし図１０を参照して、こ
の発明に係る吹き出しドアの第２実施例について説明す
る。第２実施例においては、ドア２には、内部流体室１
５の上流側に位置する加圧空気パイプ１７に弁２３が設
けられている。このバルブ２３は、ドア使用の際の機能
として、吹き出しドアの内部流体室１５への供給を本来
の位置に制御することを可能とする。従って、前記のわ
ずかな欠点を防止するため、吹き出しドアの内壁を換気
することが可能である。このことは、結局前記した吹き
出しドアの使用と同じとなる。すなわち、図１ないし図
６で外壁１２を形成していた面は、今度は図７ないし図
１０で、内面となる。収容コンテナ４の内部は、吹き出
しドアによって伝達される圧力に露出される。
の発明に係る吹き出しドアの第２実施例について説明す
る。第２実施例においては、ドア２には、内部流体室１
５の上流側に位置する加圧空気パイプ１７に弁２３が設
けられている。このバルブ２３は、ドア使用の際の機能
として、吹き出しドアの内部流体室１５への供給を本来
の位置に制御することを可能とする。従って、前記のわ
ずかな欠点を防止するため、吹き出しドアの内壁を換気
することが可能である。このことは、結局前記した吹き
出しドアの使用と同じとなる。すなわち、図１ないし図
６で外壁１２を形成していた面は、今度は図７ないし図
１０で、内面となる。収容コンテナ４の内部は、吹き出
しドアによって伝達される圧力に露出される。
【００２９】図８を参照すると、このようなドアが、前
述と異なる方式で使用可能であることが分かる。
述と異なる方式で使用可能であることが分かる。
【００３０】つまり、二つのコンテナ４，５が互いに連
結され、それぞれ吹き出しドアが図７に示されるように
設けられている状態を想像することが可能である。これ
ら吹き出しドア２は、それぞれ、一時的あるいは永久的
にコンテナに取付けられ、これによって、外面１２を構
成していた面は、コンテナ内部に入る。この場合、一つ
のコンテナを他方のコンテナに取付ける手段は、二つの
ドアフレーム間に設けられる従来の取付け手段によって
構成される。二つの吹き出しドア２の二つの元々内面１
１であった部分を向かい合わせることによって、二つの
コンテナ４，５を連結することが可能となる。この発明
に係る、両コンテナの内方に向かう換気される面を有す
る吹き出しドアを使用する方法は、より詳しくは、二つ
の静的に密閉清浄化されたコンテナの間の対象物の搬送
に適用するものであり、この実施例の目的は、各コンテ
ナ内部を汚染しないことにある。
結され、それぞれ吹き出しドアが図７に示されるように
設けられている状態を想像することが可能である。これ
ら吹き出しドア２は、それぞれ、一時的あるいは永久的
にコンテナに取付けられ、これによって、外面１２を構
成していた面は、コンテナ内部に入る。この場合、一つ
のコンテナを他方のコンテナに取付ける手段は、二つの
ドアフレーム間に設けられる従来の取付け手段によって
構成される。二つの吹き出しドア２の二つの元々内面１
１であった部分を向かい合わせることによって、二つの
コンテナ４，５を連結することが可能となる。この発明
に係る、両コンテナの内方に向かう換気される面を有す
る吹き出しドアを使用する方法は、より詳しくは、二つ
の静的に密閉清浄化されたコンテナの間の対象物の搬送
に適用するものであり、この実施例の目的は、各コンテ
ナ内部を汚染しないことにある。
【００３１】この使用プロセスは、好ましくは、加圧さ
れた二つのコンテナを用いるものである。コンテナ同士
が吹き出しドアを介して接合されたなら、弁２３が開か
れるが、加圧された流体は、加圧流体源からは供給され
ない。二つのコンテナ４，５では、この時、大気圧値に
達するまで、圧力の急激な低下が発生する。
れた二つのコンテナを用いるものである。コンテナ同士
が吹き出しドアを介して接合されたなら、弁２３が開か
れるが、加圧された流体は、加圧流体源からは供給され
ない。二つのコンテナ４，５では、この時、大気圧値に
達するまで、圧力の急激な低下が発生する。
【００３２】次いで、図９に示されるように、二つの結
合された吹き出しドア２は、収容コンテナ５に収容され
た対象物６の搬送コンテナ４への通過が可能となるよう
に、外側に向かって移送される。二つのドア２は、これ
によって、汚染された環境内に位置するので、二つの吹
き出しドア２の各内部流体室１５は、パイプ１７（第１
加圧流体入り口、第２加圧流体入口）による加圧流体の
到着によって加圧された状態となる。二つの吹き出しド
ア２の外面１２の近傍の環境は、これに従って、超清浄
雰囲気の下に維持される。
合された吹き出しドア２は、収容コンテナ５に収容され
た対象物６の搬送コンテナ４への通過が可能となるよう
に、外側に向かって移送される。二つのドア２は、これ
によって、汚染された環境内に位置するので、二つの吹
き出しドア２の各内部流体室１５は、パイプ１７（第１
加圧流体入り口、第２加圧流体入口）による加圧流体の
到着によって加圧された状態となる。二つの吹き出しド
ア２の外面１２の近傍の環境は、これに従って、超清浄
雰囲気の下に維持される。
【００３３】このように、対象物６の収容コンテナ５か
ら搬送コンテナ４までの通過が行なわれたなら、図１０
に示されるように、二つの吹き出しドア２は、再度、二
つのコンテナ４，５間の通路を密閉状態とするように移
送される。二つのドア２の開放の間、これら二つの吹き
出しドア２の外面１２は、超清浄雰囲気の下に維持され
る。従って、コンテナ４，５の内部環境は汚染されるこ
とがない。圧力は、二つのコンテナ４，５の内部で上昇
する。この圧力が、所望の圧力値に達した時、弁２３は
閉じられて、二つのコンテナ４，５は、これらが静的に
気密であるか、すなわち気密に密閉清浄化されている
か、あるいは、これらが逃げ開口３によって動的に清浄
化されているかのいずれかの理由により、それらの作動
圧力の下に維持される。そして、これら二つのコンテナ
４，５は、二つのドアフレーム１０の連結を解くことに
よって、互いから取り外される。
ら搬送コンテナ４までの通過が行なわれたなら、図１０
に示されるように、二つの吹き出しドア２は、再度、二
つのコンテナ４，５間の通路を密閉状態とするように移
送される。二つのドア２の開放の間、これら二つの吹き
出しドア２の外面１２は、超清浄雰囲気の下に維持され
る。従って、コンテナ４，５の内部環境は汚染されるこ
とがない。圧力は、二つのコンテナ４，５の内部で上昇
する。この圧力が、所望の圧力値に達した時、弁２３は
閉じられて、二つのコンテナ４，５は、これらが静的に
気密であるか、すなわち気密に密閉清浄化されている
か、あるいは、これらが逃げ開口３によって動的に清浄
化されているかのいずれかの理由により、それらの作動
圧力の下に維持される。そして、これら二つのコンテナ
４，５は、二つのドアフレーム１０の連結を解くことに
よって、互いから取り外される。
【００３４】次に、図１１を参照して、この発明に係る
第３実施例の吹き出しドアを説明する。第３実施例の吹
き出しドアは、単一の吹き出しドア３２によって構成さ
れ、吹き出しドア３２は二つの面３３，３４を有し、二
つの面３３，３４にはそれぞれ一つのフィルタ１４が設
けられている。ドア３２の内部流体室１５は、まだ、加
圧流体源からのパイプ１７に接続されている。従って、
ドア３２の二つの面３３，３４は、フィルタ１４を通過
した内部流体室１５からの流体流れによって、常に超清
浄雰囲気の下に維持される。この場合、ドアフレーム３
０は、二つの密閉接続部８，１６によって、二つのコン
テナ４，５の両方に接触状態にある。この解決法は、外
部の環境に無関係に、完全に清浄なドア３２を実現す
る。この型式の吹き出しドア３２は、外部環境と等しい
内部圧力において用いられる必要のあるコンテナのため
に使用可能である。さらに、単一のドアでも、一対のコ
ンテナのためには十分である。
第３実施例の吹き出しドアを説明する。第３実施例の吹
き出しドアは、単一の吹き出しドア３２によって構成さ
れ、吹き出しドア３２は二つの面３３，３４を有し、二
つの面３３，３４にはそれぞれ一つのフィルタ１４が設
けられている。ドア３２の内部流体室１５は、まだ、加
圧流体源からのパイプ１７に接続されている。従って、
ドア３２の二つの面３３，３４は、フィルタ１４を通過
した内部流体室１５からの流体流れによって、常に超清
浄雰囲気の下に維持される。この場合、ドアフレーム３
０は、二つの密閉接続部８，１６によって、二つのコン
テナ４，５の両方に接触状態にある。この解決法は、外
部の環境に無関係に、完全に清浄なドア３２を実現す
る。この型式の吹き出しドア３２は、外部環境と等しい
内部圧力において用いられる必要のあるコンテナのため
に使用可能である。さらに、単一のドアでも、一対のコ
ンテナのためには十分である。
【００３５】この発明に係る第４実施例の吹き出しドア
は、図１２に描かれている。このドアは、図１１のドア
に用いられたものと同一のドアフレーム３０内に配置さ
れる。この吹き出しドア３２は、２重ドアである。すな
わち、ドア３２は、図７ないし図１０に示されているも
のと同様に二つのドアによって構成されている。二つの
面４３，４４には、それぞれ、一つのフィルタが設けら
れている。しかしながら、これら二つの面およびそのフ
ィルタ１４は、異なる内部流体室４５，４６に設けられ
るものである。二つの内部流体室４５，４６は、それぞ
れ、弁２３の設けられているパイプ１７を介して、加圧
空気源に接続されている。
は、図１２に描かれている。このドアは、図１１のドア
に用いられたものと同一のドアフレーム３０内に配置さ
れる。この吹き出しドア３２は、２重ドアである。すな
わち、ドア３２は、図７ないし図１０に示されているも
のと同様に二つのドアによって構成されている。二つの
面４３，４４には、それぞれ、一つのフィルタが設けら
れている。しかしながら、これら二つの面およびそのフ
ィルタ１４は、異なる内部流体室４５，４６に設けられ
るものである。二つの内部流体室４５，４６は、それぞ
れ、弁２３の設けられているパイプ１７を介して、加圧
空気源に接続されている。
【００３６】この実施例は、真空または圧力状態で、用
いられなければならないコンテナのために採用されるこ
とを目的としている。図１１および図１２に示される吹
き出しドアは、汚染された環境での、静的に密閉清浄化
されたコンテナ、例えば、気密ケースと他の動的に清浄
化されたコンテナ、すなわち、開放され換気されている
ケースとの間の、対象物の搬送を、二つのコンテナの各
内部の汚染を防止しつつ、可能とする。
いられなければならないコンテナのために採用されるこ
とを目的としている。図１１および図１２に示される吹
き出しドアは、汚染された環境での、静的に密閉清浄化
されたコンテナ、例えば、気密ケースと他の動的に清浄
化されたコンテナ、すなわち、開放され換気されている
ケースとの間の、対象物の搬送を、二つのコンテナの各
内部の汚染を防止しつつ、可能とする。
【００３７】第３実施例および第４実施例は、第１実施
例にあった欠点を解消している。より詳しくは、ドアの
内面が、図４および図５に示されているように、ドア開
放時に汚染されることがない。
例にあった欠点を解消している。より詳しくは、ドアの
内面が、図４および図５に示されているように、ドア開
放時に汚染されることがない。
【００３８】以上説明された実施例において、加圧流体
の清浄さは、様々な等級を持ちうるものであり、それに
は、一つまたは二つのフィルタのドアへの取付けが要求
される。しかしながら、図１３に示される第５実施例に
従えば、パイプ１７からの流体は、その清浄さが、これ
ら二つのコンテナの内部に相当するように、既に非常に
良好に濾過されている。この場合、前記フィルタを、一
つまたは二つの比較的平坦な散布器６０（面６１に設け
られている）に置き換えることが可能である。例えば、
散布器６０としては、細かい孔の形成されたシート状金
属、多孔質フィルム、紙、セラミック、または、スクリ
ーンを使用することができ、それらの機能は、放出する
流体流れを均質化することである。
の清浄さは、様々な等級を持ちうるものであり、それに
は、一つまたは二つのフィルタのドアへの取付けが要求
される。しかしながら、図１３に示される第５実施例に
従えば、パイプ１７からの流体は、その清浄さが、これ
ら二つのコンテナの内部に相当するように、既に非常に
良好に濾過されている。この場合、前記フィルタを、一
つまたは二つの比較的平坦な散布器６０（面６１に設け
られている）に置き換えることが可能である。例えば、
散布器６０としては、細かい孔の形成されたシート状金
属、多孔質フィルム、紙、セラミック、または、スクリ
ーンを使用することができ、それらの機能は、放出する
流体流れを均質化することである。
【００３９】以上の実施例の説明は、この発明の概念の
理解を容易とするためのものであって、この発明を限定
する趣旨のものではないことは言うまでもない。この発
明の概念は、特許請求の範囲に記載のものである。
理解を容易とするためのものであって、この発明を限定
する趣旨のものではないことは言うまでもない。この発
明の概念は、特許請求の範囲に記載のものである。
【００４０】
【発明の効果】この発明は、以下のような優れた効果を
奏する。
奏する。
【００４１】すなわち、請求項１記載の発明では、少な
くとも第２の面を換気するための第１の換気手段が設け
られているため、少なくとも第２の面に面する閉環境、
すなわち、第２のコンテナ内部を、超清浄雰囲気に維持
することが可能である。これと同時に、第１のコンテナ
と第２のコンテナとの間の、対象物の搬送を、可能とす
るものである。
くとも第２の面を換気するための第１の換気手段が設け
られているため、少なくとも第２の面に面する閉環境、
すなわち、第２のコンテナ内部を、超清浄雰囲気に維持
することが可能である。これと同時に、第１のコンテナ
と第２のコンテナとの間の、対象物の搬送を、可能とす
るものである。
【００４２】請求項２記載の発明は、第１の密閉手段
と、第２の密閉手段とをドアに設けることによって、第
１のコンテナおよび第２のコンテナの密閉性を高め、清
浄雰囲気を維持することに寄与する。
と、第２の密閉手段とをドアに設けることによって、第
１のコンテナおよび第２のコンテナの密閉性を高め、清
浄雰囲気を維持することに寄与する。
【００４３】請求項３記載の発明では、換気される面に
フィルタを設けることによって、第２のコンテナが静的
に密閉状態に清浄化されていても、動的に清浄化されて
いても、ドアをコンテナに適用することが可能となる。
フィルタを設けることによって、第２のコンテナが静的
に密閉状態に清浄化されていても、動的に清浄化されて
いても、ドアをコンテナに適用することが可能となる。
【００４４】請求項４記載の発明では、第２の換気手段
をドアの第１の面に設けることによって、さらに、第２
のコンテナ内部と同時に、第１のコンテナ内部を超清浄
雰囲気に維持することが可能となる。
をドアの第１の面に設けることによって、さらに、第２
のコンテナ内部と同時に、第１のコンテナ内部を超清浄
雰囲気に維持することが可能となる。
【００４５】請求項５記載の発明では、換気される第２
の面にフィルタを設けることによって、第１のコンテナ
が静的に密閉状態に清浄化されていても、動的に清浄化
されていても、ドアをコンテナに適用することが可能と
なる。さらに、単一の吹き出しドアによって、二つのコ
ンテナの超清浄雰囲気の維持を実現できる。
の面にフィルタを設けることによって、第１のコンテナ
が静的に密閉状態に清浄化されていても、動的に清浄化
されていても、ドアをコンテナに適用することが可能と
なる。さらに、単一の吹き出しドアによって、二つのコ
ンテナの超清浄雰囲気の維持を実現できる。
【００４６】請求項６記載の発明では、別個の同様の構
成の換気手段を設けることによって、二つのコンテナ内
部の超清浄雰囲気を別々に制御することができる。
成の換気手段を設けることによって、二つのコンテナ内
部の超清浄雰囲気を別々に制御することができる。
【００４７】請求項７記載の発明では、弁を設けること
によって、コンテナを密閉した時、コンテナ内部を加圧
状態、無加圧状態に任意に設定できる。
によって、コンテナを密閉した時、コンテナ内部を加圧
状態、無加圧状態に任意に設定できる。
【００４８】請求項８記載の発明は、ドアフレームとコ
ンテナが一体的に形成されているため、コンテナ内部の
密閉状態の向上に貢献する。
ンテナが一体的に形成されているため、コンテナ内部の
密閉状態の向上に貢献する。
【図１】この発明に係る吹き出しドアの第１実施例を、
その使用される二つのコンテナと共に示す側断面図であ
る。
その使用される二つのコンテナと共に示す側断面図であ
る。
【図２】図１に示される二つのコンテナが連結されてい
ない状態を示す側断面図である。
ない状態を示す側断面図である。
【図３】図１に示される二つのコンテナが連結された状
態を示す側断面図である。
態を示す側断面図である。
【図４】図１に示されるドアが開放された状態を示す側
断面図である。
断面図である。
【図５】図１に示される二つのコンテナの一方から他方
へと収容搬送対象物を搬送し、ドアを閉じた状態を示す
側断面図である。
へと収容搬送対象物を搬送し、ドアを閉じた状態を示す
側断面図である。
【図６】図１に示される二つのコンテナが、再度、互い
から取り外された状態を示す側断面図である。
から取り外された状態を示す側断面図である。
【図７】この発明に係る吹き出しドアの第２実施例を、
その使用されるコンテナに取付けて示す側断面図であ
る。
その使用されるコンテナに取付けて示す側断面図であ
る。
【図８】第２実施例の全体、すなわち、図７のドアを二
つ、互いにコンテナに取付けた状態を示す側断面図であ
る。
つ、互いにコンテナに取付けた状態を示す側断面図であ
る。
【図９】図８に示されるドアを開放した状態を示す側断
面図である。
面図である。
【図１０】図８に示される二つのコンテナの一方から他
方へと収容搬送対象物を搬送し、ドアを閉じた状態を示
す側断面図である。
方へと収容搬送対象物を搬送し、ドアを閉じた状態を示
す側断面図である。
【図１１】この発明に係る吹き出しドアの第３実施例
を、その使用されるコンテナに取付けて示す側断面図で
ある。
を、その使用されるコンテナに取付けて示す側断面図で
ある。
【図１２】この発明に係る吹き出しドアの第４実施例
を、その使用されるコンテナに取付けて示す側断面図で
ある。
を、その使用されるコンテナに取付けて示す側断面図で
ある。
【図１３】この発明に係る第５実施例のフィルタを持た
ない吹き出しドアを示す側断面図である。
ない吹き出しドアを示す側断面図である。
２ 吹き出しドア ４ 第１の囲繞コンテナ（搬送コンテナ） ５ 第２の囲繞コンテナ（収容コンテナ） ６ 対象物（収容搬送対象物） ７ 超清浄流体源 ８ 第１の密閉手段（密閉接続部、Ｏリング） １０ ドアフレーム １１ 第１の面 １２ 第２の面 １４ フィルタ １５ （第１の）内部流体室 １６ 第２の密閉手段（密閉接続部、Ｏリング） １７ 第１加圧流体入り口、第２加圧流体入り口（パイ
プ） ２３ 弁 ３０ ドアフレーム ３２ 吹き出しドア ３３ 第２の面 ３４ 第１の面 ４２ 吹き出しドア ４３ 第２の面 ４４ 第１の面 ４５ 第１の内部流体室 ４６ 第２の内部流体室 ６１ 第２の面。
プ） ２３ 弁 ３０ ドアフレーム ３２ 吹き出しドア ３３ 第２の面 ３４ 第１の面 ４２ 吹き出しドア ４３ 第２の面 ４４ 第１の面 ４５ 第１の内部流体室 ４６ 第２の内部流体室 ６１ 第２の面。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) E06B 5/00 F24F 7/06 E06B 7/28 B01L 1/00 - 1/04 B01L 11/00 - 11/02 H01L 21/68
Claims (8)
- 【請求項１】 第２の囲繞コンテナ（５）と連結可能と
された第１の囲繞コンテナ（４）を気密に密閉すること
を目的とされた、超清浄囲繞コンテナ用の吹き出しドア
であって、これらコンテナが互いに連結される時、前記
二つのコンテナの一方から他方への平坦な対象物（６）
の通行を可能とするように移送可能とされており、第１
のコンテナ（４）の内部に面することの可能な第１の面
（１１，３４，４４）と、第２の面（１２，３３，４
３，６１）と、第１のコンテナへ取付けられるための取
付け手段とを有する吹き出しドアにおいて、超清浄雰囲
気を第２の面（１２，３３，４３，６１）に面する閉環
境内に維持するために、少なくとも前記第２の面（１
２，３３，４３，６１）を換気するための第１の換気手
段と、第１のコンテナ（４）の内部に面する第１の面
（１１，３４，４４）のための第１の密閉手段とを具備
することを特徴とする吹き出しドア。 - 【請求項２】 請求項１記載のドアにおいて、摺動ドア
であって、第１のコンテナ（４）の開口部に配置される
ドアフレーム（１０，３０）を具備し、ドアの第１の面
に対して置かれた前記第１の密閉手段を有し、また第２
のコンテナ（５）に取付けるための手段に対して置かれ
た第２の密閉手段を有することを特徴とするドア。 - 【請求項３】 請求項１記載のドアにおいて、前記換気
手段は、第１の加圧された流体をドア（２，３２，４
２）内部に位置する第１の内部流体室（１５，４５，４
６）に供給し、前記換気される第２の面（１２，３３，
４３，６１）にフィルタ（１４）を介して流出させる第
１加圧流体入口（１７）を有することを特徴とするド
ア。 - 【請求項４】 請求項１記載のドアにおいて、前記第１
の面（１１，３４，４４）に面する近傍の環境中の超清
浄雰囲気を維持するため、ドア（２，３２，４２）の第
１の面（１１，３４，４４）を換気するための第２の換
気手段をさらに具備することを特徴とするドア。 - 【請求項５】 請求項４記載のドアにおいて、前記第２
の換気手段は、第２の加圧された流体をドア（４２）外
側に位置する第２の内部流体室（４６）に供給し、前記
第２の面（４３）に第２のフィルタ（１４）を介して流
出させる第２加圧流体入口（１７）を有することを特徴
とするドア。 - 【請求項６】 請求項４記載のドアにおいて、前記第２
の換気手段は、ドア（３２）の第１の面（３４）に向け
て加圧流体を流出させる第２のフィルタ（１４）の設け
られている前記第１の換気手段と同様の構成の換気手段
によって構成されていることを特徴とするドア。 - 【請求項７】 請求項４記載のドアにおいて、前記換気
手段は、それぞれ、その前記内部流体室（１５，４５，
４６）の上流側に位置する加圧流体入口（１７）に設け
られた弁（２３）を有することを特徴とするドア。 - 【請求項８】 請求項２記載の吹き出しドアを有し、前
記ドアフレーム（１０，３０）は、コンテナと一体的に
形成されていることを特徴とする超清浄囲繞コンテナ
（４）。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9002871A FR2659263B1 (fr) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | Porte soufflante pour conteneur de confinement ultrapropre. |
| FR9002871 | 1990-03-07 |
Publications (2)
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