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JP3053653B2 - Optical liquid crystal display defect inspection system - Google Patents
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JP3053653B2 - Optical liquid crystal display defect inspection system - Google Patents

Optical liquid crystal display defect inspection system

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JP3053653B2
JP3053653B2 JP3011117A JP1111791A JP3053653B2 JP 3053653 B2 JP3053653 B2 JP 3053653B2 JP 3011117 A JP3011117 A JP 3011117A JP 1111791 A JP1111791 A JP 1111791A JP 3053653 B2 JP3053653 B2 JP 3053653B2
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crystal display
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inclination
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は光学式液晶ディスプレ
イ欠陥検査装置に関し、特に、液晶ディスプレイに形成
されている電極などの欠陥を検査するような光学式液晶
ディスプレイ欠陥検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical liquid crystal display defect inspection apparatus and, more particularly, to an optical liquid crystal display defect inspection apparatus for inspecting defects such as electrodes formed on a liquid crystal display.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近では、各種電子機器に液晶ディスプ
レイが多く用いられつつある。しかも、液晶ディスプレ
イに表示される情報量が多くなってきており、表示密度
の高い液晶ディスプレイが要求されている。表示密度を
高めるためには、液晶表示器と端子との間の配線パター
ンを細くし、しかも隣接するパターンとの間隔を少なく
する必要がある。ところが、パターンの密度を高める
と、パターンのエッチング工程で、エッチングが不十分
なために隣接するパターン同士が電気的に接続されてし
まうことがある。
2. Description of the Related Art Recently, liquid crystal displays have been widely used in various electronic devices. In addition, the amount of information displayed on the liquid crystal display is increasing, and a liquid crystal display with a high display density is required. In order to increase the display density, it is necessary to make the wiring pattern between the liquid crystal display and the terminal thinner and to reduce the interval between adjacent patterns. However, when the pattern density is increased, adjacent patterns may be electrically connected to each other due to insufficient etching in the pattern etching process.

【0003】従来はこのような欠陥の検出をするため
に、目視で検査したり、電極にピンを立てて電流を流
し、接触の有無を調べるというブロービングの方法が用
いられていた。しかしながら、目視による方法では、検
査に長時間を要し、ブロービングの方法では、その都度
電極にピンを立てる必要があり、検査に要する労力が多
大であった。
Conventionally, in order to detect such a defect, a blowing method has been used in which a visual inspection is carried out, or a pin is provided on an electrode to supply a current to check for the presence or absence of contact. However, the visual method requires a long time for the inspection, and the blowing method requires pinning the electrode each time, which requires a large amount of labor for the inspection.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】そこで、テーブルの上
に液晶ディスプレイを載置し、テーブルを一方方向に移
動させながら液晶ディスプレイに検査のためのパターン
を表示し、イメージセンサを用いてそのパターンを読取
り、読取出力と標準データとを比較し、一致していれば
良品と判断し、一致していなければ不良品と判別して液
晶ディスプレイの欠陥を検査する方法が考えられる。と
ころが、テーブルの上に検査のための液晶ディスプレイ
をローディングしたとき、テーブルに対して液晶ディス
プレイが傾いてしまうことがある。そのような状態でイ
メージセンサによって表示パターンを読取ると、標準デ
ータとの対応関係がとれなくなり、良品であるにもかか
わらず不良品であると判別されたり、不良品であるにも
かかわらず良品であると判別されてしまうことがある。
Therefore, a liquid crystal display is placed on a table, a pattern for inspection is displayed on the liquid crystal display while the table is moved in one direction, and the pattern is displayed using an image sensor. A method of comparing the read data, the read output, and the standard data, judging that they are good if they match, and judging defective if they do not match, and inspecting the defect of the liquid crystal display can be considered. However, when a liquid crystal display for inspection is loaded on the table, the liquid crystal display may be inclined with respect to the table. When the display pattern is read by the image sensor in such a state, the correspondence between the display pattern and the standard data is lost, and the display pattern is determined to be defective despite being good, or is determined to be good despite being defective. It may be determined that there is.

【0005】それゆえに、この発明の主たる目的は、液
晶ディスプレイが傾いてテーブル上に載置されたとき、
その傾きを補正して液晶ディスプレイの欠陥を検査でき
るような光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置を提供す
ることである。
[0005] Therefore, a main object of the present invention is to provide a liquid crystal display which is mounted on a table at an angle.
An object of the present invention is to provide an optical liquid crystal display defect inspection apparatus capable of inspecting a defect of a liquid crystal display by correcting the inclination.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明は液晶ディスプ
レイの欠陥を検査するための光学式液晶ディスプレイ欠
陥検査装置であって、液晶ディスプレイを一方方向に移
動させるための可動ステージと、可動ステージの上に設
けられ、液晶ディスプレイを回転させるための回転手段
と、液晶ディスプレイの傾きを検出するためのパターン
と検査のためのパターンとを表示させる表示制御手段
と、液晶ディスプレイに表示されているパターンを上方
から読取るためのイメージセンサと、液晶ディスプレイ
に傾きを検出するためのパターンを該液晶ディスプレイ
表示させ可動ステージで液晶ディスプレイを一方方
向に移動させ、イメージセンサの出力に応じて液晶ディ
スプレイの傾きを演算し、その傾きを補正するように回
転手段を駆動するとともに可動ステージを復帰させ、液
晶ディスプレイに検査のためのパターンを表示して、液
晶ディスプレイを一方方向に移動させ、イメージセンサ
の出力と予め定める標準のパターンとを比較して液晶デ
ィスプレイの欠陥を判別する演算制御手段とを備えて構
成される。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an optical liquid crystal display defect inspection apparatus for inspecting defects in a liquid crystal display, comprising a movable stage for moving the liquid crystal display in one direction, and a movable stage for moving the liquid crystal display in one direction. Rotating means for rotating the liquid crystal display, display control means for displaying a pattern for detecting the inclination of the liquid crystal display and a pattern for inspection, and a pattern displayed on the liquid crystal display An image sensor for reading from the LCD and a pattern for detecting inclination on the liquid crystal display.
Is displayed on moving the LCD contrast in a direction by the movable stage, and calculates the inclination of the liquid crystal display in accordance with the output of the image sensor, to return the movable stage to drive the rotation means so as to correct the inclination, Arithmetic control means for displaying a pattern for inspection on the liquid crystal display, moving the liquid crystal display in one direction, and comparing the output of the image sensor with a predetermined standard pattern to determine a defect in the liquid crystal display; It is composed.

【0007】[0007]

【作用】この発明に係る光学式液晶ディスプレイ欠陥検
査装置は、液晶ディスプレイに傾きを検出するためのパ
ターンを表示させて液晶ディスプレイを一方方向に移動
させ、そのときのイメージセンサの出力に応じて液晶デ
ィスプレイの傾きを演算し、その傾きを補正するように
液晶ディスプレイを回転させるとともに可動ステージを
復帰させ、液晶ディスプレイに検査のためのパターンを
表示しながら一方方向に移動させ、イメージセンサの出
力と予め定める表示のパターンとを比較して液晶ディス
プレイの欠陥を判別する。
The optical liquid crystal display defect inspection apparatus according to the present invention displays a pattern for detecting tilt on the liquid crystal display, moves the liquid crystal display in one direction, and adjusts the liquid crystal in accordance with the output of the image sensor at that time. The tilt of the display is calculated, the liquid crystal display is rotated so as to correct the tilt, the movable stage is returned, and the display is moved in one direction while displaying a pattern for inspection on the liquid crystal display. The defect of the liquid crystal display is determined by comparing with a predetermined display pattern.

【0008】[0008]

【発明の実施例】図2はこの発明の一実施例の概略ブロ
ック図であり、図3は図2に示したθ軸テーブルの外観
斜視図である。
FIG. 2 is a schematic block diagram of an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an external perspective view of the θ-axis table shown in FIG.

【0009】図2および図3を参照して、テーブル1の
上に可動ステージ2が設けられる。可動ステージ2はテ
ーブル1の上を一方方向および逆方向にスライドするも
のであって、たとえばリニアモータあるいはボールねじ
によって駆動される。可動ステージ2の上には、図3に
示すようなθ軸テーブル20が設けられる。θ軸テーブ
ル20は液晶ディスプレイ3を保持し、その傾きを補正
する。すなわち、θ軸テーブル20は、可動ステージ2
上で回転可能な回転軸受21を含み、回転軸受21上に
は液晶ディスプレイ3を保持する保持台22が設けられ
る。可動ステージ2の側面にはアクチュエータ23が設
けられる。アクチュエータ23の内部にはモータが内臓
されていて、モータが回転することによってロッド24
が矢印方向に直線運動する。ロッド24の先端はアング
ル25に設けられたピン26に連結されている。アング
ル25は保持台22の側面に結合されている。したがっ
て、アクチュエータ23のロッド24が矢印方向に直線
運動をすることによって、アングル25が回動し、保持
台22も回転軸受21を中心にして回動し、液晶ディス
プレイ3の傾きを補正する。
Referring to FIG. 2 and FIG. 3, a movable stage 2 is provided on a table 1. The movable stage 2 slides on the table 1 in one direction and in the opposite direction, and is driven by, for example, a linear motor or a ball screw. A θ-axis table 20 as shown in FIG. 3 is provided on the movable stage 2. The θ-axis table 20 holds the liquid crystal display 3 and corrects its inclination. That is, the θ-axis table 20 is
The rotating table 21 includes a rotating bearing 21 rotatable thereon, and a holding table 22 for holding the liquid crystal display 3 is provided on the rotating bearing 21. An actuator 23 is provided on a side surface of the movable stage 2. A motor is built in the actuator 23, and the rod 24 is rotated by the rotation of the motor.
Moves linearly in the direction of the arrow. The tip of the rod 24 is connected to a pin 26 provided at an angle 25. The angle 25 is connected to the side surface of the holder 22. Therefore, when the rod 24 of the actuator 23 linearly moves in the direction of the arrow, the angle 25 rotates, and the holding table 22 also rotates about the rotary bearing 21 to correct the tilt of the liquid crystal display 3.

【0010】図2に示すように、可動ステージ2の上方
にはCCDユニット4が設けられる。CCDユニット4
は可動ステージ2によって一方方向に移動する液晶ディ
スプレイ3の表示パターンを読取るものであって、CC
Dイメージセンサが用いられる。
As shown in FIG. 2, a CCD unit 4 is provided above the movable stage 2. CCD unit 4
Is for reading the display pattern of the liquid crystal display 3 which moves in one direction by the movable stage 2, and CC
A D image sensor is used.

【0011】全体の制御を行なうために、パーソナルコ
ンピュータ5が設けられる。パーソナルコンピュータ5
はCCDユニット4を制御するために、CCD制御回路
6からCCD駆動回路7に制御信号を出力させ、CCD
駆動回路7はその制御信号に応じてCCDユニット4を
駆動する。CCDユニット4の読取出力はパーソナルコ
ンピュータ5に与えられる。さらにパーソナルコンピュ
ータ5はパルス発生器8,31からパルス信号を発生さ
せ、このパルス信号はテーブル位置決めユニット9に与
えられ、テーブル位置決めユニット9はそのパルス信号
に応じて可動ステージ2を一方方向に順次移動させ、可
動ステージ2の位置決めを行なう。また、パルス発生器
31から発生されたパルス信号は回転制御回路32に与
えられる。回転制御回路32は、そのパルス信号に応じ
て、θ軸テーブル20のアクチュエータ23を駆動す
る。パーソナルコンピュータ5はさらにパターンジェネ
レータ10から液晶ディスプレイ3の傾きを検出するた
めの表示パターンデータと欠陥検出のための表示パター
ンデータを発生させる。このパターンデータはLCD駆
動回路11に与えられ、LCD駆動回路11は液晶ディ
スプレイ3を駆動して、与えられたパターンデータに応
じてそのパターンを表示させる。
A personal computer 5 is provided for performing overall control. Personal computer 5
Outputs a control signal from the CCD control circuit 6 to the CCD drive circuit 7 to control the CCD unit 4;
The drive circuit 7 drives the CCD unit 4 according to the control signal. The read output of the CCD unit 4 is given to a personal computer 5. Further, the personal computer 5 generates pulse signals from the pulse generators 8 and 31, and the pulse signals are given to the table positioning unit 9. The table positioning unit 9 sequentially moves the movable stage 2 in one direction according to the pulse signals. Then, the movable stage 2 is positioned. The pulse signal generated from the pulse generator 31 is provided to the rotation control circuit 32. The rotation control circuit 32 drives the actuator 23 of the θ-axis table 20 according to the pulse signal. The personal computer 5 further generates display pattern data for detecting the inclination of the liquid crystal display 3 and display pattern data for detecting a defect from the pattern generator 10. The pattern data is provided to the LCD drive circuit 11, and the LCD drive circuit 11 drives the liquid crystal display 3 to display the pattern according to the provided pattern data.

【0012】図1はこの発明の一実施例の動作を説明す
るためのフロー図であり、図4は液晶ディスプレイの傾
きと位置とを検出するサブルーチンを示すフロー図であ
り、図5は液晶ディスプレイの傾きを演算するのに必要
な点の座標を演算するためのサブルーチンを示すフロー
図であり、図6および図7は液晶ディスプレイの傾きを
検出する方法を説明するための図である。
FIG. 1 is a flowchart for explaining the operation of one embodiment of the present invention. FIG. 4 is a flowchart showing a subroutine for detecting the inclination and position of the liquid crystal display. FIGS. 6 and 7 are flowcharts showing a subroutine for calculating coordinates of points required for calculating the tilt of the liquid crystal display. FIGS. 6 and 7 are diagrams for explaining a method of detecting the tilt of the liquid crystal display.

【0013】次に、図1〜図7を参照して、この発明の
一実施例の具体的な動作について説明する。まず、液晶
ディスプレイ3をθ軸テーブル20の保持台22の上に
ローディングする。このとき、液晶ディスプレイ3は可
動ステージ2に対して、角度θだけ傾いてロードされた
ものとする。パーソナルコンピュータ5は液晶ディスプ
レイ3の傾きと位置を検出する。すなわち、パーソナル
コンピュータ5は図4に示すサブルーチンに進む。パー
ソナルコンピュータ5はパターンジェネレータ10から
図6(b)に示すように、暗画素で「L」を表示するよ
うにパターンデータを発生させる。LCD駆動回路11
はそのパターンデータに応じて、液晶ディスプレイ3に
表示パターンを表示させる。パーソナルコンピュータ5
はパルス発生器8からパルス信号を発生させ、テーブル
位置決めユニット9はそのパルス信号に応じて可動ステ
ージ2を一方方向に順次移動させる。パーソナルコンピ
ュータ5はCCD制御回路6から制御信号を発生させ、
CCD駆動回路7はその制御信号に応じてCCDユニッ
ト4を駆動する。CCDユニット4は順次移動する可動
ステージ2上の液晶ディスプレイ3に表示された「L」
の表示パターンを読取り、その読取出力をパーソナルコ
ンピュータ5に与える。
Next, a specific operation of one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, the liquid crystal display 3 is loaded on the holding table 22 of the θ-axis table 20. At this time, it is assumed that the liquid crystal display 3 is loaded at an angle θ with respect to the movable stage 2. The personal computer 5 detects the inclination and the position of the liquid crystal display 3. That is, the personal computer 5 proceeds to a subroutine shown in FIG. The personal computer 5 generates pattern data from the pattern generator 10 so as to display “L” with dark pixels as shown in FIG. 6B. LCD drive circuit 11
Causes the liquid crystal display 3 to display a display pattern according to the pattern data. Personal computer 5
Generates a pulse signal from the pulse generator 8, and the table positioning unit 9 sequentially moves the movable stage 2 in one direction according to the pulse signal. The personal computer 5 generates a control signal from the CCD control circuit 6,
The CCD drive circuit 7 drives the CCD unit 4 according to the control signal. The CCD unit 4 displays “L” displayed on the liquid crystal display 3 on the movable stage 2 that moves sequentially.
And outputs the read output to the personal computer 5.

【0014】ここで、図6(a)に示すように、CCD
ユニット4から出力されるi行目,j列目のデータをC
(i,j)とする。また、液晶画素の明画素と暗画素と
を判定するしきい値をSとする。パーソナルコンピュー
タ5はCCDユニット4の出力のうち、図6(c)に示
すようにl列目,m列目,n行目のデータを取込む。そ
して、パーソナルコンピュータ5は図6(d)に示すa
点の座標(ax ,ay )と、b点の座標(bx ,by
と、c点の座標(cx ,cy )とを求める。すなわち、
a点の座標を求めるために、パーソナルコンピュータ5
は図5(a)に示すように、i=1に設定して、l列目
のデータC(i,l)(iは変数)がしきい値より大き
いか否かを判別し、小さければiを+1して、再びしき
い値より大きいか否かを判別する。表示パターン「L」
は暗画素で表示されているため、データC(i,l)が
しきい値Sよりも小さければ、図7(a)に示すように
a点の座標(ax ,ay )=(i,l)を出力する。同
様にして、b点の座標を求めるときには、図5(b)に
示すように、m列目のデータC(i,m)がしきい値S
よりも大きいか否かを判別して、大きければiを+1
し、小さければその点の座標(i,m)を図7(b)に
示すようにb点の座標(bx ,by )とする。
Here, as shown in FIG.
The data of the i-th row and j-th column output from the unit 4 is represented by C
(I, j). A threshold value for determining a bright pixel and a dark pixel of a liquid crystal pixel is S. The personal computer 5 takes in the data of the l-th column, the m-th column, and the n-th row from the output of the CCD unit 4 as shown in FIG. Then, the personal computer 5 is connected to the a shown in FIG.
Point coordinates (a x, a y) and, for b coordinates (b x, b y)
And the coordinates (c x , c y ) of point c are obtained. That is,
To obtain the coordinates of the point a, the personal computer 5
Is set to i = 1 as shown in FIG. 5A, and it is determined whether or not the data C (i, l) (i is a variable) in the first column is larger than a threshold value. The value of i is incremented by 1 to determine whether or not the value is larger than the threshold value again. Display pattern "L"
Is displayed as a dark pixel. If the data C (i, l) is smaller than the threshold value S, the coordinates (a x , a y ) of the point a as shown in FIG. , L). Similarly, when obtaining the coordinates of the point b, as shown in FIG. 5B, the data C (i, m) in the m-th column is equal to the threshold value S.
It is determined whether or not it is greater than i.
If it is smaller, the coordinates (i, m) of the point are set to the coordinates (b x , b y ) of the point b as shown in FIG. 7B.

【0015】同様にして、c点の座標は図5(c)に示
すように、n行目のデータC(n,j)(jは変数)が
しきい値Sよりも大きいか否かを判別して、大きければ
jを+1して、小さければその点(m,j)を図7
(c)に示すようにc点の座標(cx ,cy )とする。
Similarly, as shown in FIG. 5C, the coordinate of the point c is determined as to whether or not the data C (n, j) (j is a variable) in the n-th row is larger than the threshold value S. Judgment is made, and if it is large, j is incremented by 1;
As shown in (c), the coordinates of point c are (c x , cy ).

【0016】次に、パーソナルコンピュータ5は表示パ
ターン「L」の傾きの計算を行なう。すなわち、パーソ
ナルコンピュータ5は傾きをθとすると、a点の座標
(ax ,ay )とb点の座標(bx ,by )とから次の
演算式に従って、図7(d)に示す傾きθを計算する。
Next, the personal computer 5 calculates the inclination of the display pattern "L". That is, assuming that the inclination is θ, the personal computer 5 uses the coordinates (a x , a y ) of the point a and the coordinates (b x , b y ) of the point b in accordance with the following equation, as shown in FIG. Calculate the slope θ.

【0017】 θ=tan-1(bx −ax )/(by −ay ) さらに、パーソナルコンピュータ5は表示パターン
「L」の位置を計算し、それによって液晶ディスプレイ
3の傾きと位置を求め、その後可動ステージ2を原点に
復帰させる。
Θ = tan −1 (b x −a x ) / (b y −a y ) Further, the personal computer 5 calculates the position of the display pattern “L”, thereby calculating the inclination and the position of the liquid crystal display 3. Then, the movable stage 2 is returned to the origin.

【0018】パーソナルコンピュータ5は再び図1に示
す処理に戻り、傾きθを補正するために、傾きθに対応
した数のパルス信号をパルス発生器31から発生させ
る。回転制御回路32はパルス発生器31から発生され
たパルスに応じて、θ軸テーブル20のアクチュエータ
23を駆動する。それによって、アクチュエータ23は
液晶ディスプレイ3の傾きθを補正するように保持台2
2を時計方向あるいは反時計方向に回動して、液晶ディ
スプレイ3の端部と可動ステージ2の端部とを平行にさ
せる。
The personal computer 5 returns to the processing shown in FIG. 1 again, and generates pulse signals of the number corresponding to the inclination θ from the pulse generator 31 in order to correct the inclination θ. The rotation control circuit 32 drives the actuator 23 of the θ-axis table 20 according to the pulse generated from the pulse generator 31. As a result, the actuator 23 moves the holding base 2 so that the inclination θ of the liquid crystal display 3 is corrected.
2 is rotated clockwise or counterclockwise to make the end of the liquid crystal display 3 and the end of the movable stage 2 parallel.

【0019】次に、パーソナルコンピュータ5は検査の
ためのパターンデータをパターンジェネレータ10から
発生させる。LCD駆動回路11はそのパターンデータ
に応じて液晶ディスプレイ3に表示パターンを表示させ
る。パーソナルコンピュータ5はパルス発生器8からパ
ルス信号を発生させ、テーブル位置決めユニット9はそ
のパルス信号に応じて可動ステージ2を一方方向に順次
移動させる。パーソナルコンピュータ5はCCD制御回
路6から制御信号を発生させ、CCD駆動回路7はその
制御信号に応じてCCDユニット4を駆動する。CCD
ユニット4は液晶ディスプレイ3に表示されたパターン
を読取り、パーソナルコンピュータ5に与える。パーソ
ナルコンピュータ5はその読取出力からデータを処理し
て、予め記憶されている標準のパターンとの一致を判別
する。不一致であれば、検査した液晶ディスプレイ3が
不良品であると判断して処理し、良品であれば良品の処
理をし、その結果を図示しないプリンタで印字したり、
あるいは図示しないCRTディスプレイに表示させる。
その後、パーソナルコンピュータ5は可動ステージ2を
逆方向に移動させ、元の位置に戻ると液晶ディスプレイ
3をアンローディングする。そして、上述の動作を繰返
し、次の液晶ディスプレイの検査を行なう。
Next, the personal computer 5 causes the pattern generator 10 to generate pattern data for inspection. The LCD drive circuit 11 displays a display pattern on the liquid crystal display 3 according to the pattern data. The personal computer 5 generates a pulse signal from the pulse generator 8, and the table positioning unit 9 sequentially moves the movable stage 2 in one direction according to the pulse signal. The personal computer 5 generates a control signal from the CCD control circuit 6, and the CCD drive circuit 7 drives the CCD unit 4 according to the control signal. CCD
The unit 4 reads the pattern displayed on the liquid crystal display 3 and gives it to the personal computer 5. The personal computer 5 processes the data from the read output and determines whether the data matches a standard pattern stored in advance. If they do not match, the inspected liquid crystal display 3 is determined to be defective and processed. If it is good, the non-defective product is processed and the result is printed by a printer (not shown).
Alternatively, it is displayed on a CRT display (not shown).
Thereafter, the personal computer 5 moves the movable stage 2 in the reverse direction, and unloads the liquid crystal display 3 when returning to the original position. Then, the above-described operation is repeated to inspect the next liquid crystal display.

【0020】なお、上述の実施例では、液晶ディスプレ
イ3として反射式のものを用いたが、これに限ることな
く、透過式のものを用いてもよい。その場合には、液晶
ディスプレイ3の下部から光を照射するようにすればよ
い。
In the above-described embodiment, the liquid crystal display 3 is of a reflection type, but is not limited thereto, and may be of a transmission type. In that case, light may be emitted from the lower part of the liquid crystal display 3.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば液晶デ
ィスプレイに傾きを検出するためのパターンを表示させ
ながら液晶ディスプレイを一方方向に移動させ、イメー
ジセンサの出力に応じて、液晶ディスプレイの傾きを演
算し、その傾きを補正するように液晶ディスプレイを回
転させ、液晶ディスプレイに検査のためのパターンを表
示して再び液晶ディスプレイを一方方向に移動させ、イ
メージセンサの出力と予め定める標準パターンとを比較
して液晶ディスプレイの欠陥を判別することができる。
したがって、液晶ディスプレイが傾いてローディングさ
れても、その傾きを補正して液晶ディスプレイの欠陥を
検査できるので、判別結果が不良になる恐れを少なくで
きる。
As described above, according to the present invention, the liquid crystal display is moved in one direction while displaying the pattern for detecting the tilt on the liquid crystal display, and the tilt of the liquid crystal display is changed according to the output of the image sensor. The LCD is rotated so as to correct the inclination, a pattern for inspection is displayed on the LCD, and the LCD is moved in one direction again, and the output of the image sensor and the predetermined standard pattern are compared. The defect of the liquid crystal display can be determined by comparison.
Therefore, even if the liquid crystal display is tilted and loaded, the inclination can be corrected and the defect of the liquid crystal display can be inspected, so that the possibility of a defective determination result can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例の動作を説明するためのフ
ロー図である。
FIG. 1 is a flowchart for explaining the operation of an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の一実施例の概略ブロック図である。FIG. 2 is a schematic block diagram of one embodiment of the present invention.

【図3】図2に示したθ軸テーブルの外観斜視図であ
る。
FIG. 3 is an external perspective view of the θ-axis table shown in FIG. 2;

【図4】液晶ディスプレイの傾きと位置を検出するサブ
ルーチンを示すフロー図である。
FIG. 4 is a flowchart showing a subroutine for detecting a tilt and a position of a liquid crystal display.

【図5】液晶ディスプレイの傾きを演算するのに必要な
点の座標を演算するためのサブルーチン示すフロー図で
ある。
FIG. 5 is a flowchart showing a subroutine for calculating coordinates of points required for calculating the inclination of the liquid crystal display.

【図6】液晶ディスプレイの傾きを検出する方法を説明
するための図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining a method of detecting the inclination of the liquid crystal display.

【図7】液晶ディスプレイの傾きを検出する方法を説明
するための図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining a method of detecting the inclination of the liquid crystal display.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 テーブル 2 可動ステージ 3 液晶ディスプレイ 4 CCDユニット 5 パーソナルコンピュータ 6 CCD制御回路 7 CCD駆動回路 8,31 パルス発生器 9 テーブル位置決めユニット 10 パターンジェネレータ 11 LCD駆動回路 20 θ軸テーブル 21 回転軸受 22 保持台 23 アクチュエータ 24 ロッド 25 ピン 26 アングル 32 回転制御回路 Reference Signs List 1 table 2 movable stage 3 liquid crystal display 4 CCD unit 5 personal computer 6 CCD control circuit 7 CCD drive circuit 8, 31 pulse generator 9 table positioning unit 10 pattern generator 11 LCD drive circuit 20 θ axis table 21 rotating bearing 22 holding stand 23 Actuator 24 Rod 25 Pin 26 Angle 32 Rotation control circuit

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 液晶ディスプレイの欠陥を検査するため
の光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置であって、 前記液晶ディスプレイを一方方向に移動させるための可
動ステージ、 前記可動ステージの上に設けられ、前記液晶ディスプレ
イを回転させるための回転手段、 前記液晶ディスプレイの傾きを検出するためのパターン
と検査のためのパターンとを表示させる表示制御手段、 前記液晶ディスプレイに表示されているパターンを前記
液晶ディスプレイの上方から読取るためのイメージセン
サ、および前記表示制御手段によって前記液晶ディスプ
レイの傾きを検出するためのパターンを該液晶ディスプ
レイに表示させて前記可動ステージで前記液晶ディスプ
レイを一方方向に移動させ、前記イメージセンサの出力
に応じて前記液晶ディスプレイの傾きを演算し、その傾
きを補正するように前記回転手段を駆動するとともに前
記可動テーブルを復帰させ、前記液晶ディスプレイに検
査のためのパターンを表示して前記可動ステージで前記
液晶ディスプレイを一方方向に移動させ、前記イメージ
センサの出力と予め定める標準のパターンとを比較し
前記液晶ディスプレイの欠陥を判別する演算制御手段を
備えた、光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置。
1. An optical liquid crystal display defect inspection apparatus for inspecting a defect of a liquid crystal display, comprising: a movable stage for moving the liquid crystal display in one direction; Rotation means for rotating the display, display control means for displaying a pattern for detecting the inclination of the liquid crystal display and a pattern for inspection, and displaying the pattern displayed on the liquid crystal display from above the liquid crystal display. an image sensor, and the pattern of the liquid crystal Disupu for detecting a tilt of the liquid crystal display by said display control means for reading
By displaying the ray moves the LCD contrast in a direction in the movable stage, and calculates the inclination of the front Symbol LCD according to an output of the image sensor, driving the rotation means so as to correct the inclination to return the pre <br/> Symbol movable table together, the displays a pattern for inspecting the liquid crystal display by moving the liquid crystal display contrast in a direction in the movable stage, predetermined output of the image sensor standard of comparing the pattern with an arithmetic control means for determining a defect of <br/> the liquid crystal display, an optical liquid crystal display defect inspection apparatus.
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