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JP3068658B2 - Heated gas sensor - Google Patents
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JP3068658B2 - Heated gas sensor - Google Patents

Heated gas sensor

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JP3068658B2
JP3068658B2 JP3050745A JP5074591A JP3068658B2 JP 3068658 B2 JP3068658 B2 JP 3068658B2 JP 3050745 A JP3050745 A JP 3050745A JP 5074591 A JP5074591 A JP 5074591A JP 3068658 B2 JP3068658 B2 JP 3068658B2
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sensor element
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atmosphere
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克明 中村
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Fujikura Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、加熱作動型ガスセン
サに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heating operation type gas sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、様々な加熱作動型ガスセンサが提
案され実用化されてきている。なかでも、固体電解質を
用いた限界電流式の酸素センサは、純粋なジルコニア
(ZrO2)にイットリア(Y23)、マグネシア(M
gO)、カルシア(CaO)等の2価または3価の金属
酸化物を数mol%程度固溶させて、低温までホタル石
型立方晶を保持させたもので、広範囲の酸素分圧の検知
が可能、応答速度が速い、起電力が安定、高温雰囲気中
で使用可能等の様々な特徴があるために、地下室等の密
室における酸欠事故防止、溶鋼中の酸素濃度測定、エン
ジンやボイラー等の燃焼管理、公害計測用等様々な目的
に適合したセンサである。
2. Description of the Related Art In recent years, various heating-actuated gas sensors have been proposed and put into practical use. Above all, a limiting current type oxygen sensor using a solid electrolyte is composed of pure zirconia (ZrO 2 ), yttria (Y 2 O 3 ), and magnesia (M
gO), calcia (CaO), and other divalent or trivalent metal oxides in a solid solution of about several mol% to hold fluorite-type cubic crystals at low temperatures. Possible, fast response speed, stable electromotive force, can be used in high temperature atmosphere, etc., to prevent oxygen deficiency accidents in closed rooms such as basements, oxygen concentration measurement in molten steel, engines and boilers, etc. This sensor is suitable for various purposes such as combustion management and pollution measurement.

【0003】この酸素センサの一例としては、アルミナ
(Al23)等のセラミック製のステムに垂直に設けら
れた4本のステムピンのそれぞれの先端部に、センサ素
子のリード線がそれぞれ接続され、センサ素子は通気性
を有する多孔質セラミック製のキャップにより覆われ、
該キャップは、非晶質ガラスによりステムに接合された
ものがある。
As one example of this oxygen sensor, lead wires of sensor elements are respectively connected to the respective tips of four stem pins provided vertically on a ceramic stem such as alumina (Al 2 O 3 ). , The sensor element is covered with a porous ceramic cap having air permeability,
Some of the caps are bonded to the stem by amorphous glass.

【0004】センサ素子は、通常、安定化ジルコニア
(例えば、ZrO2−8mol%Y23)等のイオン導
電性を有する固体電解質により薄厚に形成されたイオン
導電体が用いられ、4本のリード線により水平に保持さ
れた構成になっている。
[0004] The sensor element is usually made of a thin ionic conductor made of a solid electrolyte having ionic conductivity such as stabilized zirconia (eg, ZrO 2 -8 mol% Y 2 O 3 ). It is configured to be held horizontally by lead wires.

【0005】前記リード線としては、測定雰囲気中で酸
化され難く安定であること、機械的強度が低下しないこ
と等の観点から、主にPt線が用いられる。また、非晶
質ガラスとしては、硼珪酸鉛ガラス等が主に用いられ
る。また、キャップとしては、大量生産において取り扱
いが極めて容易であり、かつ、耐熱性に優れているAl
23やステアタイト((Mg3Si410(OH)2)等
が好適に用いられる。また、前記酸素センサの構造を防
爆構造とする必要の無い場合には、キャップの替わりに
ステンレス製のメッシュカバーを用いる場合もある。
As the lead wire, a Pt wire is mainly used from the viewpoints that it is hard to be oxidized in a measurement atmosphere and is stable, and that the mechanical strength does not decrease. As the amorphous glass, lead borosilicate glass or the like is mainly used. In addition, as a cap, Al which is extremely easy to handle in mass production and has excellent heat resistance is used.
2 O 3 , steatite ((Mg 3 Si 4 O 10 (OH) 2 ), etc. are preferably used. When it is not necessary to use an explosion-proof structure for the oxygen sensor, stainless steel may be used instead of the cap. There is also a case where a mesh cover made of steel is used.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
酸素センサにおいては、動作する温度が高温時(加熱
時)で500〜600℃程度にもなるために、次の様な
問題点を含んでいた。すなわち、キャップには前記動作
雰囲気を酸性雰囲気や塩基性雰囲気にし易い材料を含有
している場合が多く、この動作雰囲気はリード線である
Pt線にとって腐食性雰囲気になり易いという問題があ
った。
However, in the above-described oxygen sensor, since the operating temperature is as high as about 500 to 600 ° C. at the time of high temperature (at the time of heating), the following problems are included. . That is, the cap often contains a material that easily changes the operating atmosphere to an acidic atmosphere or a basic atmosphere, and there is a problem that the operating atmosphere tends to be a corrosive atmosphere for a Pt wire as a lead wire.

【0007】また、非晶質ガラス等にはPbOが含有さ
れていることが多く、このPbO入りガラスを用いてい
る場合では前記動作雰囲気がPbOに富んだ雰囲気にな
り、Pt線を脆化させるという問題もあった。これらの
雰囲気中におけるリード線の信頼性を考えた場合、特に
加熱(高温)と冷却(低温〜室温)を繰り返し行った場
合においてはPt線の脆化が著しくなり、動作中にリー
ド線の機械的強度が低下し、場合によってはリード線が
断線して前記酸素センサがセンサとしての機能を失うと
いう危険性があった。
Also, amorphous glass or the like often contains PbO, and when this PbO-containing glass is used, the operating atmosphere becomes an atmosphere rich in PbO, which embrittles the Pt wire. There was also a problem. Considering the reliability of the lead wire in these atmospheres, particularly when heating (high temperature) and cooling (low temperature to room temperature) are repeatedly performed, the embrittlement of the Pt wire becomes remarkable, and the mechanical properties of the lead wire during operation are increased. There was a danger that the target strength was reduced and the lead wire was broken in some cases, and the oxygen sensor lost its function as a sensor.

【0008】この発明は、上記の事情に鑑みてなされた
ものであって、酸性雰囲気、塩基性雰囲気、PbOに富
んだ雰囲気等において、加熱(高温)と冷却(低温〜室
温)を繰り返し行った場合でも脆化・断線することがな
く、かつ、機械的強度を良好に保持することができる加
熱作動型ガスセンサを提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and repeatedly performs heating (high temperature) and cooling (low temperature to room temperature) in an acidic atmosphere, a basic atmosphere, an atmosphere rich in PbO, and the like. It is an object of the present invention to provide a heating-actuated gas sensor that does not become brittle or break even in a case and that can maintain good mechanical strength.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は次の様な加熱作動型ガスセンサを採用し
た。すなわち、センサ素子と、該センサ素子を加熱する
ためのヒーターと、前記センサ素子及びヒーター各々に
接合される複数のリード線とを具備し、前記ヒーターが
前記センサ素子を加熱することにより該センサ素子が作
動し、周囲のガス濃度を測定する加熱作動型ガスセンサ
において、前記リード線は、Ptを70〜95重量%、
Rhを5〜30重量%含有する白金合金からなることを
特徴としている。さらに、Ptを80〜95重量%、R
hを5〜20重量%含有する白金合金を用いるのがより
好ましい。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention employs the following heat-actuated gas sensor. That is, a sensor element, a heater for heating the sensor element, and a plurality of lead wires joined to each of the sensor element and the heater, wherein the heater heats the sensor element, Operates , and the lead wire has a Pt of 70 to 95% by weight;
It is made of a platinum alloy containing 5 to 30% by weight of Rh . Further, 80 to 95% by weight of Pt, R
It is more preferable to use a platinum alloy containing 5 to 20% by weight of h.
preferable.

【0010】[0010]

【作用】この発明の加熱作動型ガスセンサは、リード線
の材質を、Ptを70〜95重量%、Rhを5〜30重
量%含有する白金合金とすることにより、酸性雰囲気、
塩基性雰囲気、PbOに富んだ雰囲気等において、加熱
(高温)と冷却(低温〜室温)を繰り返し行った場合で
も脆化・断線がなく、機械的強度を良好に保持する。
According to the heating operation type gas sensor of the present invention, the material of the lead wire is 70 to 95% by weight of Pt and 5 to 30 weights of Rh.
% Of platinum alloy, acid atmosphere,
Even when heating (high temperature) and cooling (low temperature to room temperature) are repeatedly performed in a basic atmosphere, an atmosphere rich in PbO, or the like, there is no embrittlement or disconnection, and good mechanical strength is maintained.

【0011】[0011]

【実施例】図1はこの発明の加熱作動型ガスセンサの一
実施例である酸素センサ1を示す概略構成図である。こ
の酸素センサ1は、ステム2に垂直に設けられた4本の
ステムピン3,… のそれぞれの先端部3aに、センサ
素子4のリード線5がそれぞれ接続されており、センサ
素子4は通気性を有する多孔質セラミック製のキャップ
6により覆われている。該キャップ6は、非晶性ガラス
7によりステム2に接合されている。
FIG. 1 is a schematic structural view showing an oxygen sensor 1 which is an embodiment of a heating-actuated gas sensor according to the present invention. In this oxygen sensor 1, lead wires 5 of a sensor element 4 are respectively connected to tip portions 3a of four stem pins 3, provided vertically to a stem 2, and the sensor element 4 has air permeability. Covered with a porous ceramic cap 6. The cap 6 is joined to the stem 2 by an amorphous glass 7.

【0012】このセンサ素子4は、イオン導電体11、
電極12、電極保護層13、空隙部14、封止層15、
ヒーター16、4本のリード線5a〜5dとから概略構
成されている。
The sensor element 4 includes an ionic conductor 11,
An electrode 12, an electrode protection layer 13, a void 14, a sealing layer 15,
It is schematically constituted by a heater 16 and four lead wires 5a to 5d.

【0013】イオン導電体11は、安定化ジルコニア
(例えば、ZrO2−8mol%Y23)等のイオン導
電性を有する固体電解質により薄厚に形成され、その中
央部に上下に貫通する気体拡散孔11aが形成されてい
る。電極12は、Pt製の多孔質電極で、イオン導電体
11の上面に設けられたカソード電極12aと、下面に
設けられたアノード電極12bとから構成されている。
そして、カソード電極12aにはリード線5aが、ま
た、アノード電極12bにはリード線5bがそれぞれ接
合されている。
The ionic conductor 11 is made of a thin solid electrolyte having ionic conductivity such as stabilized zirconia (for example, ZrO 2 -8 mol% Y 2 O 3 ), and gas diffusion vertically penetrating the center thereof. A hole 11a is formed. The electrode 12 is a porous electrode made of Pt, and includes a cathode electrode 12a provided on the upper surface of the ionic conductor 11, and an anode electrode 12b provided on the lower surface.
The lead wire 5a is joined to the cathode electrode 12a, and the lead wire 5b is joined to the anode electrode 12b.

【0014】電極保護層13は、例えば、イオン導電体
11と線膨張係数が近似した結晶化ガラスからなるもの
で、イオン導電体11の上面のカソード電極12aの上
部位置に、このカソード電極12aを全体的に覆うよう
に略半球状に設けられており、この電極保護層13とイ
オン導電体11との間には空隙部14が形成されてい
る。そして、この電極保護層13の下端部13aは、イ
オン導電体11の上面に密着している。
The electrode protective layer 13 is made of, for example, crystallized glass having a linear expansion coefficient similar to that of the ion conductor 11. The cathode electrode 12 a is formed on the upper surface of the ion conductor 11 above the cathode electrode 12 a. It is provided in a substantially hemispherical shape so as to cover the whole, and a gap portion 14 is formed between the electrode protection layer 13 and the ion conductor 11. The lower end 13 a of the electrode protection layer 13 is in close contact with the upper surface of the ionic conductor 11.

【0015】封止層15は、例えば、気密性を有する封
止用ガラスからなるもので、電極保護層13の上面全面
に一体かつ略半球状に設けられ、該封止層15の下端部
15aは、イオン導電体11の上面に密着している。ヒ
ーター16は、イオン導電体11を所定の温度に加熱す
るためのヒーターであり、封止層15の上面に一体に設
けられている。このヒーター16には、一対のリード線
5c,5dが接合されている。
The sealing layer 15 is made of, for example, an airtight sealing glass. The sealing layer 15 is provided integrally and substantially hemispherically on the entire upper surface of the electrode protection layer 13. Is in close contact with the upper surface of the ionic conductor 11. The heater 16 is a heater for heating the ionic conductor 11 to a predetermined temperature, and is provided integrally on the upper surface of the sealing layer 15. A pair of lead wires 5c and 5d are joined to the heater 16.

【0016】リード線5a〜5dは、Ptを主成分と
し、副成分としてRhを5〜30重量%の範囲、特に好
ましくは〜20重量%の範囲で含有する白金合金線が
用いられる。また、該白金合金線は、この白金合金線に
不純物金属を添加したもの、例えば、Ptを主成分と
し、副成分としてRhを5〜30重量%の範囲で含有し
Ru、Pd、Os、Ir、Cu、Ag、Auからなる金
属群から選択された少なくとも1種類以上の元素を0.
01〜10.00重量%の範囲で含有した白金合金線と
してもよい。
As the lead wires 5a to 5d, platinum alloy wires containing Pt as a main component and Rh as a subcomponent in a range of 5 to 30 % by weight, particularly preferably in a range of 5 to 20% by weight are used. The platinum alloy wire is obtained by adding an impurity metal to the platinum alloy wire, for example, containing Pt as a main component and Rh as a subcomponent in a range of 5 to 30 % by weight, and containing Ru, Pd, Os, and Ir. At least one element selected from the group consisting of metals consisting of, Cu, Ag, and Au.
A platinum alloy wire contained in the range of 01 to 10.00% by weight may be used.

【0017】表1に上記白金合金線の組成比及び特性の
一例を示す。
Table 1 shows an example of the composition ratio and characteristics of the platinum alloy wire.

【表1】 これらの白金合金線は引張強度や硬度の点で従来のPt
線より優れていることがわかる。
[Table 1] These platinum alloy wires use conventional Pt in terms of tensile strength and hardness.
It turns out that it is superior to the line.

【0018】ここで、この発明のリード線5と従来のリ
ード線とを比較検討するために行ったヒートサイクル試
験の実験結果について説明する。
Here, a description will be given of experimental results of a heat cycle test performed for comparing and studying the lead wire 5 of the present invention and a conventional lead wire.

【0019】(実験例1)アルカリ雰囲気中におけるヒ
ートサイクル試験の結果を表2に示す。
(Experimental Example 1) The results of the heat cycle test in an alkaline atmosphere are shown in Table 2.

【表2】 ここでは、センサ素子4をAl2O3製のケーシング(ス
テム2、キャップ6等からなる)にセットし、キャップ
6とステム2との接合にはアルカリ成分として酸化ナト
リウム(Na2O)、酸化カリウム(K2O)を含有する
非晶質ガラスを用いた。また、ヒートサイクル試験の条
件は、1サイクルを450℃の高温中に5分放置後、2
5℃の室温中に2分放置とし、このサイクルを最大10
000回繰り返し行った。試験に供するセンサの個数は
各々20個とした。
[Table 2] Here, the sensor element 4 is set in an Al2O3 casing (consisting of a stem 2 and a cap 6 and the like), and sodium oxide (Na 2 O) and potassium oxide (K 2 O) using an amorphous glass containing. The conditions of the heat cycle test were as follows: one cycle was left at a high temperature of 450 ° C. for 5 minutes,
Leave at room temperature of 5 ° C. for 2 minutes and cycle up to 10
Repeated 000 times. The number of sensors used for the test was 20 each.

【0020】上記の結果から、本発明のリード線5は従
来のリード線と比較して表面の脆化がなく、また断線も
みられず、引張強度、硬度等の機械的強度が著しく向上
していることが明らかである。
From the above results, the lead wire 5 of the present invention has no surface embrittlement and no breakage as compared with the conventional lead wire, and the mechanical strength such as tensile strength and hardness is remarkably improved. It is clear that there is.

【0021】(実験例2)PbO雰囲気中におけるヒー
トサイクル試験の結果を表3に示す。
Experimental Example 2 Table 3 shows the results of the heat cycle test in a PbO atmosphere.

【表3】 ここでは、センサ素子4をAl23製のケーシングにセ
ットし、キャップ6とステム2との接合にはPbOを含
有する硼酸鉛系ガラスを用いた。また、ヒートサイクル
試験の条件及びセンサの個数は実験例1と同一とした。
[Table 3] Here, the sensor element 4 was set in a casing made of Al 2 O 3 , and a lead borate glass containing PbO was used for joining the cap 6 and the stem 2. The conditions of the heat cycle test and the number of sensors were the same as those in Experimental Example 1.

【0022】上記の結果から、本発明のリード線5は従
来のリード線と比較して表面の変化及び断線が全く認め
られず、引張強度、硬度等の機械的強度が著しく向上し
ていることが明らかである。
From the above results, it can be seen that the lead wire 5 of the present invention has no surface change and no breakage as compared with the conventional lead wire, and the mechanical strength such as tensile strength and hardness is remarkably improved. Is evident.

【0023】以上説明した様に、上記一実施例によれ
ば、酸素センサ1のリード線5の材質を、Ptを主成分
とし副成分としてRhを5〜30重量%含有する白金合
金としたので、酸性雰囲気、塩基性雰囲気、PbOに富
んだ雰囲気等において、加熱(高温)と冷却(低温〜室
温)を繰り返し行った場合でも該リード線5の脆化・断
線を防止することができ、引張強度、硬度等の機械的強
度を著しく向上させることができる。以上により、高信
頼性、小型化等に対応することができる酸素センサを提
供することが可能になる。
As described above, according to the above embodiment, the material of the lead wire 5 of the oxygen sensor 1 is a platinum alloy containing Pt as a main component and 5 to 30 % by weight of Rh as an auxiliary component. Even when heating (high temperature) and cooling (low temperature to room temperature) are repeatedly performed in an acidic atmosphere, a basic atmosphere, an atmosphere rich in PbO, or the like, the lead wire 5 can be prevented from being embrittled or broken, and the tensile strength can be reduced. Mechanical strength such as strength and hardness can be significantly improved. As described above, it is possible to provide an oxygen sensor capable of responding to high reliability, miniaturization, and the like.

【0024】なお、このリード線5は、上記の酸素セン
サ以外の様々なセンサに対しても適用可能である。例え
ば、加熱作動型の一酸化炭素センサや炭化水素センサ、
加熱クリーニング型の湿度センサ等においても上記酸素
センサと同様にリード線の脆化・断線を防止し、引張強
度、硬度等の機械的強度を著しく向上させることが可能
である。
The lead wire 5 can be applied to various sensors other than the above-described oxygen sensor. For example, heating activated carbon monoxide sensors and hydrocarbon sensors,
In a heat cleaning type humidity sensor or the like, similarly to the oxygen sensor, embrittlement and breakage of the lead wire can be prevented, and mechanical strength such as tensile strength and hardness can be significantly improved.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上詳細に説明した様に、この発明の加
熱作動型ガスセンサによれば、センサ素子と、該センサ
素子を加熱するためのヒーターと、前記センサ素子及び
ヒーター各々に接合される複数のリード線とを具備し、
前記ヒーターが前記センサ素子を加熱することにより該
センサ素子が作動し、周囲のガス濃度を測定する加熱作
動型ガスセンサにおいて、前記リード線は、Ptを主成
分とし、副成分としてRhを含有する白金合金からなる
こととしたので、酸性雰囲気、塩基性雰囲気、PbOに
富んだ雰囲気等において、加熱(高温)と冷却(低温〜
室温)を繰り返し行った場合でも該リード線の脆化・断
線を防止することができ、引張強度、硬度等の機械的強
度を著しく向上させることができる。以上により、高信
頼性、小型化等に対応することができる加熱作動型ガス
センサを提供することが可能になる。
As described above in detail, according to the heating-operated gas sensor of the present invention, the sensor element, the heater for heating the sensor element, and the plurality of the sensor elements and the heater which are joined to the heater, respectively. And a lead wire of
In the heating-actuated gas sensor, in which the heater operates the sensor element by heating the sensor element and measures the concentration of the surrounding gas, the lead wire is composed of platinum containing Pt as a main component and Rh as a subcomponent. Since it is made of an alloy, it can be heated (high temperature) and cooled (low temperature to low temperature) in an acidic atmosphere, a basic atmosphere, an atmosphere rich in PbO, or the like.
(Room temperature) can be prevented from becoming brittle and disconnected, and the mechanical strength such as tensile strength and hardness can be significantly improved. As described above, it is possible to provide a heating-actuated gas sensor that can cope with high reliability, miniaturization, and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例である酸素センサの概略構成
図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an oxygen sensor according to one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例である酸素センサのセンサ素
子を示す正断面図である。
FIG. 2 is a front sectional view showing a sensor element of the oxygen sensor according to one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 酸素センサ 2 ステム 3 ステムピン 4 センサ素子 5 リード線 6 キャップ 7 非晶性ガラス 11 イオン導電体 12 電極 13 電極保護層 14 空隙部 15 封止層 16 ヒーター DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Oxygen sensor 2 Stem 3 Stem pin 4 Sensor element 5 Lead wire 6 Cap 7 Amorphous glass 11 Ion conductor 12 Electrode 13 Electrode protection layer 14 Void 15 Sealing layer 16 Heater

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−203266(JP,A) 特開 昭54−68695(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/41 G01N 27/12 G01N 25/20 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-2-203266 (JP, A) JP-A-54-68695 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 27/41 G01N 27/12 G01N 25/20

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 センサ素子と、該センサ素子を加熱する
ためのヒーターと、前記センサ素子及びヒーター各々に
接合される複数のリード線とを具備し、前記ヒーターが
前記センサ素子を加熱することにより該センサ素子が作
動し、周囲のガス濃度を測定する加熱作動型ガスセンサ
において、 前記リード線は、Ptを70〜95重量%、Rhを5〜
30重量%含有する白金合金からなることを特徴とする
加熱作動型ガスセンサ。
1. A sensor element comprising: a sensor element; a heater for heating the sensor element; and a plurality of lead wires joined to the sensor element and the heater, wherein the heater heats the sensor element. In the heating-actuated gas sensor in which the sensor element operates and measures the concentration of the surrounding gas, the lead wire has a Pt of 70 to 95% by weight and a Rh of 5 to 5%.
A heating-actuated gas sensor comprising a platinum alloy containing 30% by weight .
【請求項2】 前記リード線は、Ptを80〜95重量2. The lead wire weighs 80 to 95 Pt.
%、Rhを5〜20重量%含有する白金合金からなるこ%, A platinum alloy containing 5 to 20% by weight of Rh.
とを特徴とする請求項1に記載の加熱作動型ガスセンThe heat-operated gas sensor according to claim 1, wherein
サ。Sa.
JP3050745A 1991-02-22 1991-02-22 Heated gas sensor Expired - Lifetime JP3068658B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3050745A JP3068658B2 (en) 1991-02-22 1991-02-22 Heated gas sensor

Applications Claiming Priority (1)

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JP3050745A JP3068658B2 (en) 1991-02-22 1991-02-22 Heated gas sensor

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JPH04268447A JPH04268447A (en) 1992-09-24
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ID=12867380

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