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JP3089673B2 - Magnetic head - Google Patents
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JP3089673B2 - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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JP3089673B2
JP3089673B2 JP03029912A JP2991291A JP3089673B2 JP 3089673 B2 JP3089673 B2 JP 3089673B2 JP 03029912 A JP03029912 A JP 03029912A JP 2991291 A JP2991291 A JP 2991291A JP 3089673 B2 JP3089673 B2 JP 3089673B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録再生装置に用い
られる磁気ヘッドに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head used in a magnetic recording / reproducing apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気ヘッドは記録密度の向上に伴
い、より高磁束密度、高透磁率が必要とされるようにな
ってきている。しかしながら現在最も一般的に使用され
ているフェライトからなる磁気ヘッドは、記録密度を向
上させるために使用する高保磁力のテープにおいて飽和
磁束密度が相対的に小さく、市場が要求する特性を得る
ことができないといううらみがあった。そのような状況
の中で要求される特性を得る方法として、記録、再生を
行う磁気ギャップ近傍にアモルファス磁性体などの金属
磁性体を堆積させたメタル・イン・ギャップ法(以下M
IG法という)、金属磁性体と絶縁層を交互に積層させ
た積層法などが開発されている。
2. Description of the Related Art In recent years, a magnetic head has been required to have a higher magnetic flux density and a higher magnetic permeability as the recording density is improved. However, the magnetic head made of ferrite, which is most commonly used at present, has a relatively small saturation magnetic flux density in a high coercive force tape used to improve the recording density, and cannot obtain the characteristics required by the market. There was envy. In order to obtain the required characteristics in such a situation, a metal-in-gap method (hereinafter referred to as M-type) in which a metal magnetic material such as an amorphous magnetic material is deposited in the vicinity of a magnetic gap where recording and reproduction are performed.
An IG method), a lamination method in which a metal magnetic material and an insulating layer are alternately laminated, and the like have been developed.

【0003】積層法においては金属磁性体、絶縁層、支
持基板およびガラスとの接合、MIG法においてはフェ
ライト、金属磁性体およびガラスとの接合を必要とす
る。
[0003] The lamination method requires bonding with a metal magnetic material, an insulating layer, a supporting substrate and glass, and the MIG method requires bonding with ferrite, a metal magnetic material and glass.

【0004】以下に従来の磁気ヘッドについて説明す
る。図4は従来の積層型磁気ヘッドの要部拡大断面図で
あり、図5はMIG磁気ヘッドの要部拡大断面図であ
り、図6は従来の一般的なフェライトからなる磁気ヘッ
ドの要部拡大断面図である。1は支持基板、2は金属磁
性体、3は絶縁ガラス、4は接合ガラス、5はギャップ
ガラス、6,6′はフェライトである。
Hereinafter, a conventional magnetic head will be described. FIG. 4 is an enlarged sectional view of a main part of a conventional laminated magnetic head, FIG. 5 is an enlarged sectional view of a main part of a MIG magnetic head, and FIG. 6 is an enlarged view of a main part of a conventional general ferrite magnetic head. It is sectional drawing. 1 is a supporting substrate, 2 is a metal magnetic material, 3 is insulating glass, 4 is bonding glass, 5 is gap glass, and 6, 6 'is ferrite.

【0005】異種の材料を接合する場合、材料特有の熱
膨張率α(以下、αと略す)の違いが問題となってく
る。接合を行う材料どうしのαに大きな違いがある場
合、接合部に発生する引張応力または圧縮応力により磁
気特性が劣化し、極端な場合においては接合部にクラッ
クおよび金属磁性体の剥離が発生するようになる。一方
使用するフェライト、金属磁性体、絶縁層、支持基板お
よびガラス等においては超精密加工を行うために加工性
が良いことか、また使用する時に受ける衝撃に耐えうる
機械的強度を必要とすると共に、磁性媒体との相性(イ
ンターフェース耐摩耗性など)の良いことも必要とな
る。
[0005] In the case of joining different kinds of materials, a difference in the coefficient of thermal expansion α (hereinafter abbreviated as α) peculiar to the materials becomes a problem. If there is a large difference in α between the materials to be joined, the magnetic properties will be degraded due to the tensile stress or compressive stress generated at the joint, and in extreme cases, cracks and peeling of the metal magnetic material will occur at the joint become. On the other hand, the ferrite, metal magnetic material, insulating layer, support substrate, glass, etc. used must have good workability to perform ultra-precision processing, and must have mechanical strength that can withstand the impact received when used. Also, good compatibility with the magnetic medium (such as interface wear resistance) is required.

【0006】例えば図6に示すような従来の磁気ヘッド
においては、αが120×10-7/℃のフェライト6と
フェライト6′の間に、ギャップ形成のためにαが12
0×10-7/℃のギャップガラス5を使用している。ま
たギャップの機械的強度を得るためにαが120×10
-7/℃の接合ガラス4を使用している。
For example, in a conventional magnetic head as shown in FIG. 6, α is 12 × 10 −7 / ° C. between ferrite 6 and ferrite 6 ′ to form a gap.
The gap glass 5 of 0 × 10 −7 / ° C. is used. In order to obtain the mechanical strength of the gap, α is 120 × 10
The bonding glass 4 of -7 / ° C is used.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらαを満足
し、更に加工性がよく、機械的強度が強く、しかも媒体
との相性の良い材料を得ることは非常に困難であるとと
もに、理想的な組合せが非常に難しく、そのために最良
の磁気特性を有する磁気ヘッドを供給することができな
いという問題点があった。また、従来の一般的な磁気ヘ
ッドにおいても、完全に同じαのフェライト、ギャップ
ガラスおよび接合ガラスを得ることは困難である。その
ためフェライト、ギャップガラスおよび接合ガラスの若
干のαの違いにより発生する引張応力および圧縮応力で
磁気特性を劣化させるという問題点があった。
However, it is very difficult to obtain a material that satisfies α, has good workability, has high mechanical strength, and has good compatibility with the medium. However, it is very difficult to supply a magnetic head having the best magnetic characteristics. Further, it is difficult to obtain a ferrite, a gap glass, and a bonding glass having the same α even with a conventional general magnetic head. Therefore, there is a problem that the magnetic properties are degraded by tensile stress and compressive stress generated by a slight difference in α between ferrite, gap glass, and bonding glass.

【0008】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、αの相違による引張応力や圧縮応力を吸収し、磁気
特性の劣化を防止した磁気ヘッドを提供することを目的
とする。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic head which absorbs a tensile stress or a compressive stress caused by a difference in α and prevents deterioration of magnetic characteristics.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気ヘッドは、一対の磁気コア間に介在され
る磁気ギャップとなる非磁性物の各層間に部分安定化ジ
ルコニア(以後PSZと略す)の層を形成させた構成か
らなる。
In order to achieve the above object, a magnetic head according to the present invention comprises a partially stabilized zirconia (hereinafter referred to as PSZ) between respective layers of a non-magnetic material serving as a magnetic gap interposed between a pair of magnetic cores. ) Is formed.

【0010】[0010]

【作用】この構成によって、磁気ヘッド用材料として加
工性が良く、機械的強度に優れ、媒体との相性が良い材
料であってもαが大きく違うために使用することができ
なかった材料を、前記材料間に部分安定化ジルコニア層
を介在させることにより引張応力または圧縮応力を減少
させ、各種材料の使用を可能にすることができる。
With this configuration, even if the material for the magnetic head has good workability, excellent mechanical strength, and good compatibility with the medium, the material that could not be used due to a large difference in α, By interposing a partially stabilized zirconia layer between the materials, the tensile stress or the compressive stress can be reduced, and various materials can be used.

【0011】[0011]

【実施例】(実施例1)以下本発明の一実施例につい
て、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1) An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0012】図1は本発明のPSZ薄膜を形成した一般
的なフェライトからなる磁気ヘッドの要部拡大断面図で
ある。4は接合ガラス、5はギャップガラス、6,6′
はフェライト、7はPSZ薄膜である。フェライト6及
びフェライト6′の対向面にスパッタリング法により
0.1μmの厚さのPSZ薄膜を形成し、次いでギャッ
プガラス5により接合するとともにギャップの形成を行
い、更に接合ガラス4により接合してフェライト磁気ヘ
ッドを形成した。次に、PSZ薄膜の出力への効果を確
認したところ、PSZ薄膜を形成した磁気ヘッドはPS
Z薄膜を形成しない磁気ヘッドに比べ、磁気ヘッドの出
力が2.0dB向上していた。
FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part of a general ferrite magnetic head on which a PSZ thin film of the present invention is formed. 4 is a bonding glass, 5 is a gap glass, 6, 6 '
Is a ferrite and 7 is a PSZ thin film. A PSZ thin film having a thickness of 0.1 μm is formed on the opposing surface of the ferrite 6 and the ferrite 6 ′ by a sputtering method. A head was formed. Next, the effect of the PSZ thin film on the output was confirmed.
The output of the magnetic head was improved by 2.0 dB as compared with the magnetic head without forming the Z thin film.

【0013】(実施例2)同一材料からなるフェライト
6,6′と同一のαを有するギャップガラス及び接合ガ
ラス4を用いて、PSZの0.1μm厚みの薄膜を積層
形成した場合と形成しない場合の各々の磁気ヘッドを作
成し、αと磁気ヘッド出力との関係を確認した。
(Embodiment 2) A case where a thin film of PSZ having a thickness of 0.1 μm is formed and not formed by using a gap glass and a bonding glass 4 having the same α as ferrites 6 and 6 ′ made of the same material. Were prepared, and the relationship between α and the magnetic head output was confirmed.

【0014】その結果を(表1)に示す。尚、表中に示
す磁気ヘッドの出力は、αの差が0でPSZ薄膜を積層
形成しない場合の磁気ヘッドの出力(測定周波数は1M
Hz)と比較した値を示す。
The results are shown in (Table 1). The output of the magnetic head shown in the table is the output of the magnetic head when the difference of α is 0 and the PSZ thin film is not formed (measurement frequency is 1M).
(Hz).

【0015】[0015]

【表1】 [Table 1]

【0016】この(表1)から明らかなように、PSZ
薄膜を積層形成した場合、材料間のαの差が25×10
-7/℃以上においては、PSZ薄膜の形成がない場合の
αの差が0の場合よりも磁気ヘッド出力が小さくなる
が、クラックの発生が認められないので、他の材料との
組み合わせが可能であることを示している。
As is apparent from Table 1 above, PSZ
When the thin films are laminated, the difference in α between the materials is 25 × 10
Above -7 / ° C, the output of the magnetic head is smaller than when the difference in α is 0 when no PSZ thin film is formed, but no cracks are observed, so it can be combined with other materials. Is shown.

【0017】尚、PSZ薄膜を形成しない場合には、α
の差が15×10-7/℃以上でフェライト6及びフェラ
イト6′とギャップガラス5及び接合ガラス4との間に
クラックが発生した。
When a PSZ thin film is not formed, α
When the difference was 15 × 10 −7 / ° C. or more, cracks occurred between the ferrite 6 and the ferrite 6 ′ and the gap glass 5 and the bonding glass 4.

【0018】又、PSZ薄膜を積層形成した場合、αの
差が30×10-7/℃以上でクラックが発生した。
When a PSZ thin film was formed by lamination, cracks occurred when the difference α was 30 × 10 −7 / ° C. or more.

【0019】(実施例3)図2は本発明の、PSZ薄膜
を積層形成したMIG磁気ヘッドの要部拡大断面図であ
る。2はセンダスト合金からなる金属磁性体、4は接合
ガラス、5はギャップガラス、6,6′はフェライト
で、それぞれ熱膨張率αが120×10-7/℃の材料を
使用して、フェライト6及び金属磁性体2とギャップガ
ラス5及び接合ガラス4との間に0.1μm厚みのPS
Z薄膜を積層した磁気ヘッドを作成した。これとPSZ
加工しないMIG磁気ヘッドを形成し、磁気ヘッド出力
を測定し比較したところ、PSZ薄膜を積層したMIG
磁気ヘッドはヘッド出力が1.8dB向上した。
(Embodiment 3) FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of a MIG magnetic head according to the present invention, in which a PSZ thin film is laminated. Reference numeral 2 denotes a metal magnetic material made of a sendust alloy, 4 denotes a joining glass, 5 denotes a gap glass, and 6,6 ′ denotes ferrite, each of which is made of a material having a coefficient of thermal expansion α of 120 × 10 −7 / ° C. And a 0.1 μm thick PS between the metal magnetic body 2 and the gap glass 5 and the bonding glass 4.
A magnetic head in which Z thin films were laminated was prepared. This and PSZ
An unprocessed MIG magnetic head was formed, and the magnetic head output was measured and compared.
The head output of the magnetic head was improved by 1.8 dB.

【0020】次に、フェライト6′と金属磁性体2の対
向面でのPSZ薄膜の出力への効果を確認した。
Next, the effect of the PSZ thin film on the output of the opposing surface of the ferrite 6 'and the metal magnetic material 2 was confirmed.

【0021】フェライト6′に0.001μm厚みのP
SZ薄膜をスパッタリング法で形成し、その上にセンダ
スト合金層2をスパッタリングにより形成すると、PS
Z薄膜を形成しない場合に比べ磁気ヘッドの出力が1.
5dB向上した。
The ferrite 6 'has a 0.001 .mu.m thick P
When an SZ thin film is formed by sputtering and a sendust alloy layer 2 is formed thereon by sputtering, PS
The output of the magnetic head is 1.
Improved by 5 dB.

【0022】従来、MIG磁気ヘッドは、フェライト対
向面へセンダスト合金層をスパッタする場合センダスト
合金の初期スパッタ層の歪みによりMIG磁気ヘッドの
出力が低下する現象があるが、PSZ薄膜をスパッタす
ることにより改善されることがわかった。
Conventionally, in the case of a MIG magnetic head, when the sendust alloy layer is sputtered on the ferrite-facing surface, the output of the MIG magnetic head is reduced due to the distortion of the initial sputtered layer of the sendust alloy. It was found to be improved.

【0023】(実施例4)図3は、本発明のPSZ薄膜
を形成した積層アモルファス磁気ヘッドの2層積層部の
要部拡大断面図である。
(Embodiment 4) FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of a two-layer laminated portion of a laminated amorphous magnetic head on which a PSZ thin film of the present invention is formed.

【0024】2はαが110×10-7/℃のアモルファ
スからなる厚さ5μmの金属磁性体、3は厚さ0.3μ
mのαが5×10-7/℃からなる絶縁ガラスで支持基板
1と金属磁性体2の間にPSZを0.3μmの厚みに積
層した。次に金属磁性体2と、絶縁ガラス3との間にP
SZを0.1μmの厚みに積層し、その上に絶縁ガラス
3を0.2μm積層し、これを繰り返して全体を8層と
し、図4と同様の積層型磁気ヘッドを得た。一方PSZ
を積層しない積層磁気ヘッドを作成し、磁気ヘッド出力
を比較したところ、PSZを積層したものは、磁気ヘッ
ド出力が1.4dB向上した。
2 is a metal magnetic material having a thickness of 5 μm and made of an amorphous material having α of 110 × 10 −7 / ° C., and 3 is a 0.3 μm-thick metal material.
PSZ was laminated to a thickness of 0.3 μm between the support substrate 1 and the metal magnetic material 2 using insulating glass having an α of 5 × 10 −7 / ° C. Next, P is placed between the metal magnetic body 2 and the insulating glass 3.
SZ was laminated to a thickness of 0.1 μm, and insulating glass 3 was laminated thereon to a thickness of 0.2 μm. This was repeated to form a total of eight layers, thereby obtaining a laminated magnetic head similar to FIG. On the other hand PSZ
A magnetic head output was compared, and the magnetic head output was improved by 1.4 dB for the magnetic head output of the laminated PSZ.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のように本発明は、フェライト、支
持基板、金属磁性体、絶縁ガラス、ギャップガラスおよ
び接合ガラス等との間にPSZを積層することにより、
PSZ薄膜で材料間に発生する引張応力や圧縮応力を吸
収し、磁気ヘッドの耐久性を著しく向上させるととも
に、異種の材料を磁気ヘッドの構成材料として使用する
ことを可能とし、更に磁気ヘッドの出力を向上させた優
れた磁気ヘッドを実現できるものである。
As described above, according to the present invention, a PSZ is laminated between a ferrite, a supporting substrate, a metal magnetic material, an insulating glass, a gap glass, a bonding glass and the like.
The PSZ thin film absorbs tensile stress and compressive stress generated between materials, remarkably improves the durability of the magnetic head, and enables the use of different types of materials as constituent materials of the magnetic head. Thus, an excellent magnetic head with improved characteristics can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のフェライト磁気ヘッドの要部拡大断面
FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part of a ferrite magnetic head according to the present invention.

【図2】本発明のMIG磁気ヘッドの要部拡大断面図FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of the MIG magnetic head of the present invention.

【図3】本発明の積層磁気ヘッドの要部拡大断面図FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of the laminated magnetic head of the present invention.

【図4】従来の積層磁気ヘッドの要部拡大断面図FIG. 4 is an enlarged sectional view of a main part of a conventional laminated magnetic head.

【図5】従来のMIG磁気ヘッドの要部拡大断面図FIG. 5 is an enlarged sectional view of a main part of a conventional MIG magnetic head.

【図6】従来のフェライト磁気ヘッドの要部拡大断面図FIG. 6 is an enlarged sectional view of a main part of a conventional ferrite magnetic head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 支持基板 2 金属磁性体 3 絶縁ガラス 4 接合ガラス 5 ギャップガラス 6 フェライト 6′ フェライト 7 PSZ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support substrate 2 Metal magnetic body 3 Insulating glass 4 Bonding glass 5 Gap glass 6 Ferrite 6 'Ferrite 7 PSZ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−17210(JP,A) 特開 平2−96908(JP,A) 特開 平1−290109(JP,A) 特開 平3−272004(JP,A) 特開 昭62−236107(JP,A) 特開 昭61−144710(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/127 - 5/255 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-61-17210 (JP, A) JP-A-2-96908 (JP, A) JP-A-1-290109 (JP, A) JP-A-3-3 272004 (JP, A) JP-A-62-236107 (JP, A) JP-A-61-144710 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 5 / 127-5 / 255

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】一対の磁気コアを磁気ギャップとなる非磁
性物を介して互いに接合した磁気ヘッドであって、前記
非磁性物と前記磁気コアの間に部分安定化ジルコニア層
を設けたことを特徴とする磁気ヘッド。
1. A magnetic head in which a pair of magnetic cores are joined to each other via a non-magnetic material serving as a magnetic gap, wherein a partially stabilized zirconia layer is provided between the non-magnetic material and the magnetic core. Characteristic magnetic head.
【請求項2】各構成部材の30℃から400℃における
熱膨張率αの差が±30×10-7以内にあることを特徴
とする請求項1記載の磁気ヘッド。
2. The magnetic head according to claim 1, wherein the difference in the coefficient of thermal expansion α between 30 ° C. and 400 ° C. of each constituent member is within ± 30 × 10 -7 .
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0679443U (en) * 1993-04-23 1994-11-08 吉扶 榎本 Placement equipment such as cooking containers

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0679443U (en) * 1993-04-23 1994-11-08 吉扶 榎本 Placement equipment such as cooking containers

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