JP3105655B2 - クリーンルームの空調方式 - Google Patents
クリーンルームの空調方式Info
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- JP3105655B2 JP3105655B2 JP04219858A JP21985892A JP3105655B2 JP 3105655 B2 JP3105655 B2 JP 3105655B2 JP 04219858 A JP04219858 A JP 04219858A JP 21985892 A JP21985892 A JP 21985892A JP 3105655 B2 JP3105655 B2 JP 3105655B2
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
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- Central Air Conditioning (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームの空調方
式に関し、特に半導体製造装置を設置するクリーンルー
ムの空調方式に関する。
式に関し、特に半導体製造装置を設置するクリーンルー
ムの空調方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルームの空調方式は、稼
働中の発熱を除去するために室内に熱風を放出している
半導体製造装置と、浄化された冷風を室内に吹き出すフ
ィルターと、室内の熱風と冷風が混合された空気を室内
から取り出し、冷却して再びクリーンルームへ送気する
空調機とを有している。クリーンルーム内に設置された
半導体製造装置から放出されている熱風は、フィルター
から吹き出された冷風と室内にて混合されて温風とな
り、クリーンルームの温湿度を維持する様になってい
る。
働中の発熱を除去するために室内に熱風を放出している
半導体製造装置と、浄化された冷風を室内に吹き出すフ
ィルターと、室内の熱風と冷風が混合された空気を室内
から取り出し、冷却して再びクリーンルームへ送気する
空調機とを有している。クリーンルーム内に設置された
半導体製造装置から放出されている熱風は、フィルター
から吹き出された冷風と室内にて混合されて温風とな
り、クリーンルームの温湿度を維持する様になってい
る。
【０００３】フィルターから吹出される冷風量は、クリ
ーンルーム内の設備負荷と清浄度を維持する為の循環回
数で決まるが、設備負荷が大きいときは冷風量を多くし
て温風と混合させ、設定された温湿度を維持させる。こ
の混合されて一定温度の室内空気は、空調機にて冷却、
即ち冷媒にて間接冷却され再び室内へ送気される。
ーンルーム内の設備負荷と清浄度を維持する為の循環回
数で決まるが、設備負荷が大きいときは冷風量を多くし
て温風と混合させ、設定された温湿度を維持させる。こ
の混合されて一定温度の室内空気は、空調機にて冷却、
即ち冷媒にて間接冷却され再び室内へ送気される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のクリーンル
ームの空調方式では、クリーンルーム内で温風と冷風を
混合させている為、設定された温湿度にするためには排
出される温風の持っている熱量と同じか、それ以上の冷
風が必要である。冷風の取得し得る熱量は、温風と混合
する前後の温度差が一つの要因となって決まり、クリー
ンルームの特性上その温度は１４℃付近で冷風として吹
出し、２５℃付近で温風として空調機へ帰るようになっ
ているので、温度差が一定となってそれ以上大きな熱量
を得ることができない。また、清浄度を維持するのに必
要な風量以上の風量を常時循環させるには、設備投資と
運転コストが大きくなるという問題点があった。
ームの空調方式では、クリーンルーム内で温風と冷風を
混合させている為、設定された温湿度にするためには排
出される温風の持っている熱量と同じか、それ以上の冷
風が必要である。冷風の取得し得る熱量は、温風と混合
する前後の温度差が一つの要因となって決まり、クリー
ンルームの特性上その温度は１４℃付近で冷風として吹
出し、２５℃付近で温風として空調機へ帰るようになっ
ているので、温度差が一定となってそれ以上大きな熱量
を得ることができない。また、清浄度を維持するのに必
要な風量以上の風量を常時循環させるには、設備投資と
運転コストが大きくなるという問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
の空調方式は、サプライエアーが導入される上部、発熱
体が設置された室内、及び室内の室内空気を床下へ吸い
込みその吸い込んだ室内空気をリターンエアーとして排
出する下部を備えるクリーンルームと、上部と室内の間
に設けられ上部に導入されたサプライエアーを清浄空気
として室内に吹き込むためのフィルターと、室内に設け
られた発熱体に対応してその上方に設けられ、発熱体か
ら上方へ吹き出された温風を吸い込む吸込口と、吸込口
から吸込まれた空気と下部から排出されたリターンエア
ーが合流された空気を受け、サプライエアーを排出する
空気調和機とを備えることを特徴とする。本発明によれ
ば、室内空調負荷の大分分である廃熱温風を空調機へ直
接帰すことにより、室内に放出する温風量を削減する作
用がある。
の空調方式は、サプライエアーが導入される上部、発熱
体が設置された室内、及び室内の室内空気を床下へ吸い
込みその吸い込んだ室内空気をリターンエアーとして排
出する下部を備えるクリーンルームと、上部と室内の間
に設けられ上部に導入されたサプライエアーを清浄空気
として室内に吹き込むためのフィルターと、室内に設け
られた発熱体に対応してその上方に設けられ、発熱体か
ら上方へ吹き出された温風を吸い込む吸込口と、吸込口
から吸込まれた空気と下部から排出されたリターンエア
ーが合流された空気を受け、サプライエアーを排出する
空気調和機とを備えることを特徴とする。本発明によれ
ば、室内空調負荷の大分分である廃熱温風を空調機へ直
接帰すことにより、室内に放出する温風量を削減する作
用がある。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１はクリーンルームに半導体測定用テスターを設
置したときの本発明の一実施例の空調方式を示す断面図
である。空調機７にて所定の温湿度に冷却されたサプラ
イエアー８は、ダクトを通ってＨＥＰＡフィルター３か
ら室内に清浄空気４として吹き込まれる。この清浄空気
４はテスター１以外の照明、人、建屋、その他の設備な
どと対流によって熱交換を行い、その結果室内空気１の
温度，相対温度が所定の規格値に達する。
る。図１はクリーンルームに半導体測定用テスターを設
置したときの本発明の一実施例の空調方式を示す断面図
である。空調機７にて所定の温湿度に冷却されたサプラ
イエアー８は、ダクトを通ってＨＥＰＡフィルター３か
ら室内に清浄空気４として吹き込まれる。この清浄空気
４はテスター１以外の照明、人、建屋、その他の設備な
どと対流によって熱交換を行い、その結果室内空気１の
温度，相対温度が所定の規格値に達する。
【０００７】次にこの室内空気１の一部はテスター２に
吸い込まれ、内部でさらに熱交換を行い、３０℃以上、
３５％ＲＨ以下の温風となって上方へ吹き出され、吸込
口５に吸い込まれる。一方、残りの室内空気１は床下へ
吸い込まれ、リターンエアー６となり空調機７へ帰ろう
とする。ここで、リターンエアー６と吸込口５からの空
気が空調機７の入口直前にて合流し、２８℃，３８％Ｒ
Ｈ前後の空気になって空調機７に入り、冷媒によって冷
却され、再びサプライエアー８となってＨＥＰＡフィル
ター３へ向う。
吸い込まれ、内部でさらに熱交換を行い、３０℃以上、
３５％ＲＨ以下の温風となって上方へ吹き出され、吸込
口５に吸い込まれる。一方、残りの室内空気１は床下へ
吸い込まれ、リターンエアー６となり空調機７へ帰ろう
とする。ここで、リターンエアー６と吸込口５からの空
気が空調機７の入口直前にて合流し、２８℃，３８％Ｒ
Ｈ前後の空気になって空調機７に入り、冷媒によって冷
却され、再びサプライエアー８となってＨＥＰＡフィル
ター３へ向う。
【０００８】本実施例において、仮に室内の総負荷を５
００００ｋｃａｌ／Ｈ，ＨＥＰＡフィルターからの冷風
吹出し温度を１４℃とした時の循環風量Ｑをリターンエ
アーが２５℃と２８℃の場合とで比較すると、 リターンエアー２５℃のとき Ｑ＝５００００÷｛１．
２×０．２４（２５−１４）｝＝１５７８５ｍ3 ／Ｈ リターンエアー２８℃のとき Ｑ＝５００００÷｛１．
２×０．２４（２８−１４）｝＝１２４００ｍ3 ／Ｈ となる。ただし、空気の密度を１．２ｋｇ／ｍ3 ，比熱
を０．２４ｋｃａｌ／ｋｇ・Ｋとする。
００００ｋｃａｌ／Ｈ，ＨＥＰＡフィルターからの冷風
吹出し温度を１４℃とした時の循環風量Ｑをリターンエ
アーが２５℃と２８℃の場合とで比較すると、 リターンエアー２５℃のとき Ｑ＝５００００÷｛１．
２×０．２４（２５−１４）｝＝１５７８５ｍ3 ／Ｈ リターンエアー２８℃のとき Ｑ＝５００００÷｛１．
２×０．２４（２８−１４）｝＝１２４００ｍ3 ／Ｈ となる。ただし、空気の密度を１．２ｋｇ／ｍ3 ，比熱
を０．２４ｋｃａｌ／ｋｇ・Ｋとする。
【０００９】本実施例によれば、複数個所の吸込口５で
吸引することによって室内の熱のよどみがなくなり、か
つリターンエアー６との合流点における温度を上昇させ
ることが可能となる。その結果、計算風量に示すように
所要吹出し風量を削減でき、それに伴って運転コストを
低減できる。
吸引することによって室内の熱のよどみがなくなり、か
つリターンエアー６との合流点における温度を上昇させ
ることが可能となる。その結果、計算風量に示すように
所要吹出し風量を削減でき、それに伴って運転コストを
低減できる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、クリーン
ルーム内の一つの空間において、空調負荷となる発熱体
からの廃熱ルートを２分化したことで、リターンエアー
温度を上昇させることができるので所要吹出し風量を削
減でき、かつ温湿度の管理規格値を逸脱することなく少
ない冷風量で単位風量当りの取得熱量を上げることがで
き、循環風量を最小化することができる。また、それに
伴い運転コストを低減できる。
ルーム内の一つの空間において、空調負荷となる発熱体
からの廃熱ルートを２分化したことで、リターンエアー
温度を上昇させることができるので所要吹出し風量を削
減でき、かつ温湿度の管理規格値を逸脱することなく少
ない冷風量で単位風量当りの取得熱量を上げることがで
き、循環風量を最小化することができる。また、それに
伴い運転コストを低減できる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
１ 室内空気 ２ テスター ３ ＨＥＰＡフィルター ４ 清浄空気 ５ 吸込口 ６ リターンエアー ７ 空調機 ８ サプライエアー
Claims (1)
- 【請求項１】 サプライエアーが導入される上部、発熱
体が設置された室内、及び前記室内の室内空気を床下へ
吸い込みその吸い込んだ室内空気をリターンエアーとし
て排出する下部を備えるクリーンルームと、前記上部と
前記室内の間に設けられ前記上部に導入された前記サプ
ライエアーを清浄空気として前記室内に吹き込むための
フィルターと、前記室内に設けられた前記発熱体に対応
してその上方に設けられ、前記発熱体から上方へ吹き出
された温風を吸い込む吸込口と、前記吸込口から吸込ま
れた空気と前記下部から排出された前記リターンエアー
が合流された空気を受け、前記サプライエアーを排出す
る空気調和機とを備えることを特徴とするクリーンルー
ムの空調方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04219858A JP3105655B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | クリーンルームの空調方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04219858A JP3105655B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | クリーンルームの空調方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666432A JPH0666432A (ja) | 1994-03-08 |
| JP3105655B2 true JP3105655B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=16742164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04219858A Expired - Fee Related JP3105655B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | クリーンルームの空調方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3105655B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009002634A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Unitec Inc | ユニット型クリーンルーム |
| ES2399776B1 (es) * | 2010-10-11 | 2013-11-15 | Tecnica En Instalaciones De Fluidos, S.L. | Sistema de climatizacion para recintos de reducidas dimensiones |
| JP5899561B2 (ja) * | 2012-09-06 | 2016-04-06 | 日本スピンドル製造株式会社 | 温調システム |
-
1992
- 1992-08-19 JP JP04219858A patent/JP3105655B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0666432A (ja) | 1994-03-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |