JP3129720B2 - Monolithic microwave phase shifter - Google Patents
Monolithic microwave phase shifterInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) この発明は、モノリシックマイクロ波移相器の改良に
関する。Description of the Invention (Object of the Invention) (Field of Industrial Application) The present invention relates to an improvement of a monolithic microwave phase shifter.
(従来の技術) 近年、マイクロ波固体回路では、ガリウム・ヒ素(Ga
As)等の半導体基板上に入出力整合回路や電界効果トラ
ンジスタ(FET)などの半導体素子を一体化するモノリ
シックマイクロ波集積回路(以下、MMICと略称する)技
術が、装置の小形化等を目的として広く用いられる傾向
にある。例えばMMIC技術を用いた移相器は、フェーズド
・アレイ・アンテナ等に広く採用され、アンテナ等の装
置の小形化が実現されている。(Prior art) In recent years, gallium arsenide (Ga)
Monolithic microwave integrated circuit (MMIC) technology that integrates semiconductor elements such as input / output matching circuits and field-effect transistors (FETs) on a semiconductor substrate such as As Tend to be widely used. For example, phase shifters using the MMIC technology are widely used in phased array antennas and the like, and downsizing of devices such as antennas has been realized.
第7図及び第8図は、従来のモノリシックマイクロ波
移相器の回路構成図である。但し、バイアス供給回路は
省略して示している。7 and 8 are circuit diagrams of a conventional monolithic microwave phase shifter. However, the bias supply circuit is omitted.
第7図はローデッドライン形のモノリシックマイクロ
波移相器を示す回路構成図であり、マイクロ波の入出力
端子1,2間には、1/4波長の分布定数線路3が接続される
とともに、整合用分布定数線路41,42を介してソース接
地形のスイッチング用FET51,52のドレイン端子51a,52a
が接続されている。FIG. 7 is a circuit diagram showing a monolithic microwave phase shifter of a loaded line type. A 1/4 wavelength distributed constant line 3 is connected between input and output terminals 1 and 2 of the microwave. The drain terminals 51a and 52a of the switching FETs 51 and 52 of the common source type via the matching distributed constant lines 41 and 42
Is connected.
また、FET51,52の各ゲート端子51b,52bには制御信号Q
cが供給される制御端子6が共通に接続されている。こ
の第7図に示す回路構成により制御信号Qcによって2個
のFET51,52を同時に、オン状態あるいはオフ状態に切換
え、入力マイクロ波信号の通過位相を変化させ、所望の
移相量を得ることができる。このような移相器は設計性
がよい半面、1/4波長の分布定数線路3を用いているた
めチップサイズが大きくなるという欠点があった。例え
ば、Cバンド(およそ、5000M Hz帯)の移相器を構成し
た場合、チップサイズは1ビット当たり2×2mm程度も
の大きさとなる。The control signal Q is applied to each of the gate terminals 51b and 52b of the FETs 51 and 52.
The control terminals 6 to which c is supplied are commonly connected. With the circuit configuration shown in FIG. 7, the two FETs 51 and 52 can be simultaneously switched on or off by the control signal Qc to change the passing phase of the input microwave signal to obtain a desired phase shift amount. it can. Although such a phase shifter has good designability, it has a drawback that the chip size becomes large because the distributed constant line 3 of 1/4 wavelength is used. For example, when a phase shifter for the C band (approximately 5000 MHz band) is configured, the chip size is as large as about 2 × 2 mm per bit.
第8図はベクトル合成形のモノリシックマイクロ波移
相器を示した回路構成図であり、入出力端子1からの入
力マイクロ波信号は3個の90度電力分配器71a,71b,71c
により互いに90度位相差をなす信号に分配され、夫々利
得可変増幅器72a,72b,72c,72dに供給される。これ等各
利得可変増幅器72a〜72dは制御端子6a,6b,6c,6dからの
信号により適宜増幅制御を受けた後、2個の電力合成器
73a,73b及び同相電力合成器74を介して出力端子2から
導出される。FIG. 8 is a circuit diagram showing a vector synthesis type monolithic microwave phase shifter. The input microwave signal from the input / output terminal 1 is divided into three 90-degree power dividers 71a, 71b, 71c.
Are distributed to signals having a phase difference of 90 degrees from each other, and supplied to variable gain amplifiers 72a, 72b, 72c, 72d, respectively. Each of these variable gain amplifiers 72a to 72d is appropriately amplified and controlled by signals from the control terminals 6a, 6b, 6c, and 6d, and then two power combiners.
It is derived from output terminal 2 via 73a, 73b and in-phase power combiner 74.
これら各電力分配器71a〜71c、電力合成器73a,73b及
び電力合成器74はいずれも1/4波長の分布定数線路を基
本として構成される。Each of the power dividers 71a to 71c, the power combiners 73a and 73b, and the power combiner 74 is basically configured using a 1/4 wavelength distributed constant line.
この移相器では、分配後の各信号の増幅を制御端子6a
〜6dからの制御信号により制御することで、合成後の信
号の通過位相を変化させ、所望の移相量を得るものであ
る。このようなベクトル合成形の移相器は、移相量は分
配後の信号の振幅の大きさだけで決定されるため、移相
量の設定は任意にでき、設定確度も高い。しかし、この
移相器においても、1/4波長の分布定数線路を基本とし
た電力分配・合成器を計6個も必要とするためローデッ
ドライン形移相器の場合と同様にチップサイズが大きく
なる欠点があった。In this phase shifter, the amplification of each signal after distribution is controlled by the control terminal 6a.
6d, the passing phase of the synthesized signal is changed to obtain a desired phase shift amount. In such a vector combining type phase shifter, since the phase shift amount is determined only by the magnitude of the amplitude of the signal after distribution, the phase shift amount can be set arbitrarily and the setting accuracy is high. However, this phase shifter also requires a total of six power dividers / combiners based on a 1/4 wavelength distributed constant line, so that the chip size is large as in the case of the loaded line type phase shifter. There was a disadvantage.
(発明が解決しようとする課題) 以上述べたように従来のモノリシックマイクロ波移相
器ではチップサイズが大形化し必ずしもMMIC技術を生か
したものとはいえなかった。(Problems to be Solved by the Invention) As described above, the conventional monolithic microwave phase shifter has a large chip size and cannot always be said to utilize the MMIC technology.
そこで本発明ではこのような欠点を除去し、小形のモ
ノリシックマイクロ波移相器を提供することを目的とす
る。Accordingly, an object of the present invention is to provide a compact monolithic microwave phase shifter which eliminates such disadvantages.
(課題を解決するための手段) この発明は、半導体基板上に形成されるモノリシック
マイクロ波移相器において、ゲート端子およびドレイン
端子をそれぞれ入出力端子としたソース接地形電界効果
トランジスタと、それぞれのアドミッタンス値が予め設
定され、前記ゲート端子および前記ドレイン端子間に選
択的に切替えられて接続される複数の二端子回路とを備
えたことを特徴とする。(Means for Solving the Problems) The present invention provides a monolithic microwave phase shifter formed on a semiconductor substrate, and a source grounded field effect transistor having a gate terminal and a drain terminal as input / output terminals, respectively. An admittance value is set in advance, and a plurality of two-terminal circuits are selectively switched and connected between the gate terminal and the drain terminal.
(作 用) 本発明によるモノリシックマイクロ波移相器での可変
移相量は、いずれも、入出力端子間に二端子回路を接続
し、この二端子回路のアドミッタンス値により決定され
る帰還回路の通過位相量の変化を利用したものである。
そこで、二端子回路は、集中定数素子で構成できるた
め、1/4波長の分布定数線路を用いた従来の移相器に比
べ、チップサイズの大幅な小形化が可能となった。(Operation) The variable phase shift amount of the monolithic microwave phase shifter according to the present invention can be obtained by connecting a two-terminal circuit between the input and output terminals and determining the feedback circuit determined by the admittance value of the two-terminal circuit. This is based on a change in the amount of passing phase.
Therefore, since the two-terminal circuit can be constituted by lumped elements, the chip size can be significantly reduced as compared with the conventional phase shifter using a quarter-wavelength distributed constant line.
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
なお、以下の図面においても、いずれもバイアス供給
回路は省略して示している。In the following drawings, the bias supply circuit is omitted.
第1図は本発明によるモノリシックマイクロ波移相器
の動作原理を示す回路構成図である。FIG. 1 is a circuit diagram showing the operation principle of a monolithic microwave phase shifter according to the present invention.
即ち、本発明移相器は、マイクロ波信号の入出力端子
1,2が夫々ソース接地形FET5のゲート端子5b,ドレイン端
子5aに接続されるとともに、FET5のゲート・ドレイン端
子(5b−5a)間には、制御端子6からの制御信号QCによ
ってアドミッタンス値が変化する二端子回路8が接続さ
れて構成される。従って、二端子回路8は、入出力端子
1,2間に接続され、制御端子6からの制御信号Qcによっ
て帰還量が変わる帰還回路を形成する。That is, the phase shifter of the present invention has an input / output terminal for a microwave signal.
1,2 gate terminal 5b of the respective source grounded form FET 5, is connected to the drain terminal 5a, between the gate and drain terminals of FET5 (5b-5a), admittance value by the control signal Q C from the control terminal 6 Is connected to a two-terminal circuit 8 that changes. Therefore, the two-terminal circuit 8 has input / output terminals
A feedback circuit is connected between the terminals 1 and 2 and the feedback amount is changed by the control signal Qc from the control terminal 6.
上記第1図に示す移相器の動作原理を、第2図に示す
等価回路を参照して説明する。The operation principle of the phase shifter shown in FIG. 1 will be described with reference to an equivalent circuit shown in FIG.
即ち、第2図において、RgはFET5のゲート抵抗、Cgs
は同じくゲート容量、gmは同じく相互コンダクタンス、
Zdは同じくドレインインピーダンスを示し、二端子回路
8のアドミッタンス値をYとする。ここで、入力端子1
に入力信号V1を印加し、出力端子2より出力信号V2を取
り出すものとすれば、V2とV1との位相差θ(通過位相)
は次式(1)で表わされる。That is, in FIG. 2, Rg is the gate resistance of FET5, Cgs
Is also the gate capacitance, gm is also the transconductance,
Zd also indicates the drain impedance, and the admittance value of the two-terminal circuit 8 is Y. Here, input terminal 1
If the input signal V1 is applied to and the output signal V2 is taken out from the output terminal 2, the phase difference θ between V2 and V1 (passing phase)
Is represented by the following equation (1).
θ=arg{[1/(1/Zd+Y)]*[Y−gm/(1+jωCgsRg)]} (1) ただし、ωは入力信号の角周波数を表す。θ = arg {[1 / (1 / Zd + Y)] * [Y−gm / (1 + jωCgsRg)]} (1) where ω represents the angular frequency of the input signal.
そこで、例えば|V2/V1|=1の場合について考える
と、二端子回路8のアドミッタンス値Yは次式(2)で
表わされる。Thus, for example, when the case of | V2 / V1 | = 1 is considered, the admittance value Y of the two-terminal circuit 8 is expressed by the following equation (2).
|Y−(−1/Zd)|=|Y−gm/(1+jωCgsRg)|
(2) この(2)式を満足する二端子回路8のアドミッタン
ス値Yを、アドミッタンス平面で表わすと第3図のよう
になる。第3図において二端子回路8のアドミッタンス
値Yは、−1/Zdの点Aとgm/(1+jωCgsRg)の点Bと
を結ぶ線分の垂直二等分線C上に存在し、通過位相差θ
は、Yを頂点とした点Aおよび点Bで構成される二等辺
三角形の頂角として表現される。アドミッタンスYの値
を直線C上の位置で適切に選べば通過位相差θは任意に
設定できる。従って制御信号により二端子回路8のアド
ミッタンス値Yが直線C上で変化させることにより通過
位相差θのみが所望の移相量となる移相器を構成でき
る。二端子回路8は、FETや集中定数素子等を別途組み
合わせて小形に構成できるため、FET5を形成したチップ
サイズには大きな影響を与えることがない。なお、第3
図では、|V2/V1|=1の場合について説明したが、|V2/V
1|を他の値に設定しても同様に移相器を構成できるもの
である。| Y − (− 1 / Zd) | = | Y−gm / (1 + jωCgsRg) |
(2) The admittance value Y of the two-terminal circuit 8 that satisfies the expression (2) is represented by an admittance plane as shown in FIG. In FIG. 3, the admittance value Y of the two-terminal circuit 8 is on a vertical bisector C of a line connecting the point A of −1 / Zd and the point B of gm / (1 + jωCgsRg), θ
Is expressed as the apex angle of an isosceles triangle formed by points A and B having Y as a vertex. If the value of the admittance Y is appropriately selected at a position on the straight line C, the passing phase difference θ can be set arbitrarily. Therefore, by changing the admittance value Y of the two-terminal circuit 8 on the straight line C by the control signal, a phase shifter in which only the passing phase difference θ has a desired phase shift amount can be configured. Since the two-terminal circuit 8 can be formed in a small size by separately combining an FET, a lumped element, and the like, it does not greatly affect the chip size on which the FET 5 is formed. The third
In the figure, the case where | V2 / V1 | = 1 is described, but | V2 / V
Even if 1 | is set to any other value, a phase shifter can be similarly configured.
第4図は、本発明のモノリシックマイクロ波移相器の
実施例を示す回路構成図であり、帰還回路を夫々アドミ
ッタンス値Yの異なる複数の二端子回路81,82,83,…8N
を並列に配置し、制御端子6からの制御信号Qcによっ
て、これ等の二端子回路81〜8Nを選択的にFET5のゲート
・ドレイン端子(5a−5b)間に切替え接続構成するもの
である。FIG. 4 is a circuit diagram showing an embodiment of the monolithic microwave phase shifter according to the present invention. The feedback circuit includes a plurality of two-terminal circuits 81, 82, 83,... 8N each having a different admittance value Y.
Are arranged in parallel, and these two-terminal circuits 81 to 8N are selectively switched and connected between the gate and drain terminals (5a to 5b) of the FET 5 by a control signal Qc from the control terminal 6.
この結果、制御端子6からの制御信号Qcにより適当な
二端子回路を選択することによって、任意の帰還アドミ
ッタンス量を選択することができる。従って、FET5を組
込むチップサイズを小形にして移相器を構成できる。As a result, by selecting an appropriate two-terminal circuit according to the control signal Qc from the control terminal 6, an arbitrary feedback admittance amount can be selected. Accordingly, the phase shifter can be configured with a small chip size in which the FET 5 is incorporated.
上記実施例によれば、二端子回路8によって構成され
た帰還回路の通過位相差θを利用し、従来のように1/4
波長分布定数線路等のような大きな寸法形状を要する回
路要素を使用しないため回路の小形化が図れる。According to the above embodiment, the phase difference θ of the feedback circuit formed by the two-terminal circuit 8 is used, and
Since a circuit element requiring a large size and shape such as a wavelength distribution constant line is not used, the circuit can be downsized.
なお、帰還回路による通過位相差θは負荷インピーダ
ンスの影響を受けやすい。そこで、入出力側に夫々イン
ピーダンス整合回路を付加して、その影響を軽減させる
ようにすることができる。The passing phase difference θ by the feedback circuit is easily affected by the load impedance. Therefore, an impedance matching circuit can be added to each of the input and output sides to reduce the influence.
第5図は、夫々入出力側にインピーダンス整合回路を
付加したモノリシックマイクロ波移相器の動作原理を示
す回路構成図である。FIG. 5 is a circuit diagram showing the operation principle of a monolithic microwave phase shifter in which an impedance matching circuit is added to each of the input and output sides.
即ち、第5図は第1図に示す回路構成において、入力
端子1側にはゲート接地形FET91によるインピーダンス
整合回路を、また出力端子2側にはドレイン接地形FET9
2によるインピーダンス整合回路を夫々付加して移相器
を構成したものである。That is, FIG. 5 shows a circuit configuration shown in FIG. 1, in which an input terminal 1 has an impedance matching circuit formed by a grounded-gate FET 91, and an output terminal 2 has a grounded-drain FET 9.
The phase shifter is constructed by adding impedance matching circuits according to 2 respectively.
第6図は、第5図の動作原理を利用したこの発明の他
の実施例を示す回路構成図であり、複数の二端子回路81
〜8Nの入出力側に夫々ゲート接地形FET911〜91N、ドレ
イン接地形FET921〜92Nによるインピーダンス整合回路
を対応して接続し、これらインピーダンス整合回路を含
む帰還回路を制御端子6からの制御信号によって選択的
に切替え、所望の通過位相差θを得るものである。FIG. 6 is a circuit diagram showing another embodiment of the present invention utilizing the operation principle of FIG.
入 出力 8N input / output sides are connected to impedance matching circuits of grounded gate type FETs 911 to 91N and grounded drain type FETs 921 to 92N, respectively, and a feedback circuit including these impedance matching circuits is selected by a control signal from the control terminal 6. And a desired passing phase difference θ is obtained.
以上説明のように、この発明によるモノリシックマイ
クロ波移相器は、たとえ移相器内にインピーダンス整合
回路を新たに付加したとしても、それ等整合回路もFET
で小形に構成できるものであるから、移相器全体のチッ
プサイズの大幅な小形化が実現できる。因みに、従来の
Cバンドにおけるローデッドライン形移相器ではチップ
サイズの大きさが1ビット当たり2×2mm程度であった
が、この発明によれば0.3×0.5mm程度に小形化が可能と
なり、顕著な効果が得られるものである。As described above, the monolithic microwave phase shifter according to the present invention can be used even if a new impedance matching circuit is added in the phase shifter.
Therefore, the chip size of the entire phase shifter can be significantly reduced. Incidentally, in the conventional loaded line type phase shifter in the C band, the chip size is about 2 × 2 mm per bit. However, according to the present invention, the size can be reduced to about 0.3 × 0.5 mm. The effect can be obtained.
以上述べたように本発明によれば、チップサイズが小
形なモノリシックマイクロ波移相器を提供できるもので
あり、実用に際し得られる効果大である。また、移相量
の調整を二端子回路の切替えで行っているため小形化で
き、移相量の調整も容易である。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a monolithic microwave phase shifter having a small chip size, and the effect obtained in practical use is large. Further, since the adjustment of the phase shift amount is performed by switching the two-terminal circuit, the size can be reduced, and the adjustment of the phase shift amount is easy.
第1図はこの発明によるモノリシックマイクロ波移相器
の動作原理を示す回路構成図、第2図は第1図に示す移
相器の等価回路図、第3図は第1図に示す移相器の動作
を説明するためのアドミッタンス特性図、第4図はこの
発明によるモノリシックマイクロ波移相器の実施例を示
す回路構成図、第5図及び第6図は夫々この発明による
他の移相器の動作原理および実施例を示す回路構成図、
第7図及び第8図は夫々従来のモノリシックマイクロ波
移相器を示す回路構成図である。 1……入力端子、2……出力端子、 5……電界効果トランジスタ(FET)、 6……制御端子、8……二端子回路。FIG. 1 is a circuit diagram showing the operation principle of a monolithic microwave phase shifter according to the present invention, FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of the phase shifter shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a phase shifter shown in FIG. FIG. 4 is a circuit diagram showing an embodiment of a monolithic microwave phase shifter according to the present invention, and FIGS. 5 and 6 are other phase shifters according to the present invention. Circuit configuration diagram showing the operation principle of the device and the embodiment,
7 and 8 are circuit diagrams each showing a conventional monolithic microwave phase shifter. 1 ... input terminal, 2 ... output terminal, 5 ... field effect transistor (FET), 6 ... control terminal, 8 ... two-terminal circuit.
Claims (1)
イクロ波移相器において、ゲート端子およびドレイン端
子をそれぞれ入出力端子としたソース接地形電界効果ト
ランジスタと、それぞれのアドミッタンス値が予め設定
され、前記ゲート端子および前記ドレイン端子間に選択
的に切替えられて接続される複数の二端子回路とを備え
たモノリシックマイクロ波移相器。1. A monolithic microwave phase shifter formed on a semiconductor substrate, wherein a grounded source field-effect transistor having a gate terminal and a drain terminal as input / output terminals, respectively, and admittance values thereof are set in advance. A monolithic microwave phase shifter comprising: a plurality of two-terminal circuits that are selectively switched and connected between a gate terminal and the drain terminal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01190863A JP3129720B2 (en) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | Monolithic microwave phase shifter |
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| JPH0354911A JPH0354911A (en) | 1991-03-08 |
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